JP2007040853A - 表面検査方法および同装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 検査対象領域の各部に対して、表面欠陥がなければ照明光の反射光がカメラに検出される明領域となる光学条件と、反射光が検出されない暗領域となる光学条件を含む、複数種類の光学条件下で表面欠陥の検出を行い、各光学条件下における欠陥検出の有無の組合せパターンに基づいて、検出された表面欠陥の種類を判定する。
【選択図】 図16
Description
[1]検査対象領域に照明光を照射し、その反射光をカメラで検出することにより表面欠陥を検出する表面検査方法であって、
検査対象領域の各部に対して、表面欠陥がなければ照明光の反射光がカメラに検出される明領域となる光学条件と、反射光が検出されない暗領域となる光学条件を含む、複数種類の光学条件下で表面欠陥の検出を行い、
各光学条件下における欠陥検出の有無の組合せパターンに基づいて、検出された表面欠陥の種類を判定することを特徴とする表面検査方法。
管体の軸方向に沿ったカメラの検出領域に、表面欠陥がなければ照明光の反射光がカメラに検出される明領域と、反射光が検出されない暗領域とを交互に繰り返して形成し、
管体を軸回りに回転させながら、前記明領域及び暗領域の形成位置を管体の軸方向に移動させ、管体が複数回転する間、カメラにより管体の外周面を連続して撮影することにより、管体の外周面の各部に対して、前記明領域、前記暗領域および前記明領域と暗領域の境界領域となる光学条件を含む、複数の光学条件下での欠陥検出を行い、
各光学条件下における欠陥検出の有無の組合せパターンに基づいて、検出された表面欠陥の種類を判定することを特徴とする管体の表面検査方法。
前記物品を検査対象物として前項1〜11のいずれかに記載の表面検査方法を行う表面検査工程と、
前記表面検査工程により判定された欠陥の種類が所定の基準を満たすか否かにより物品を判別し、前記所定の基準を満たす場合に当該物品を完成品とする判別工程と、
を備えたことを特徴とする物品の製造方法。
検査対象領域の各部に対して、表面欠陥がなければ照明光の反射光がカメラに検出される明領域と、反射光が検出されない暗領域とを形成可能な照明系と、
前記照明系による明領域および暗領域の形成位置を変化させながら、前記カメラにより検査対象領域の各部に対して明領域となる光学条件および暗領域となる光学条件を含む、複数の光学条件下で欠陥検出を行わせる制御手段と、
各光学条件下における欠陥検出の有無の組合せパターンに基づいて、検出された表面欠陥の種類を判定する判定手段と、
を備えたことを特徴とする表面検査装置。
前記物品を検査対象とする前項14に記載の表面検査装置と、
前記表面検査装置により判定された表面欠陥の種類が所定の基準を満たすか否かにより物品を分別し、前記所定の基準を満たす場合に当該物品を完成品とする判別手段と、
を備えたことを特徴とする製造システム。
管体の外周面に照明光を照射する照明と、
管体の軸方向に沿った検出領域における照明光の反射光を検出するカメラと、
複数の透光部と遮光部とが交互に繰り返すように形成され、照明光を管体の軸方向について断続的に遮ることにより、表面欠陥がなければ照明光の反射光がカメラに検出される明領域と、反射光が検出されない暗領域を交互に繰り返し形成するスリット体と、
管体を軸回りに回転させながら、前記スリット体を管体の軸方向に移動させ、管体が複数回転する間、カメラにより管体の外周面を連続して撮影させることにより、管体の外周面の各部に対して、前記明領域、前記暗領域および前記明領域と暗領域の境界領域となる光学条件を含む、複数の光学条件下で欠陥検出を行わせる制御手段と、
各光学条件下における欠陥検出の有無の組合せパターンに基づいて、検出された表面欠陥の種類を判定する判定手段と、
を備えたことを特徴とする管体の表面検査装置。
前記管体を検査対象物とする前項16に記載の表面検査装置と、
前記表面検査装置により判定された表面欠陥の種類が所定の基準を満たすか否かにより管体を分別し、前記所定の基準を満たす場合に当該管体を完成品とする判別手段と、
を備えたことを特徴とする管体の製造システム。
本発明の第1実施形態について、模式的な説明図を参照しながら説明する。
この図1に示すように、円筒体(管体)90は、たとえば電子写真システムを構成する複写機、プリンタ、FAX装置、これらの複合機等において、感光ドラム、転写ローラ、現像ローラ、その他各部に利用されるものであり、その外周面91が表面検査の検査対象領域とされる。
図2は、本発明の第1実施形態にかかる表面検査装置の正面図である。図3は、同装置の平面図である。図4は、同装置の側面図である。
検査前後の搬送コンベア61,62の間には、円筒体90を検査位置Bに移送する回転移送装置64が配置されている。この回転移送装置64は、円筒体90を支持するチャック部70を複数(ここでは4個)備えている。
図5は、第1実施形態におけるチャック部70の正面図である。図6は、同チャック部70の側面図である。
照明(光源)10は、検査位置Bに搬送されてきた円筒体90の外表面に対して検査のための照明光を照射する。この照明10は、高輝度が得られる蛍光灯等のライン状光源から構成され、円筒体90の長手方向に沿った広がりを有している。この照明10は、図2に示すように、光源支持フレーム13によって、検査位置Bにある円筒体90のほぼ真上に配置され、照射する光を効率的に円筒体90側に向けるため、光源フード12によって下方以外が覆われている。
遮光体20は、光源10から照射される光の一部を遮光して、円筒体90の外周面91に明暗縞を形成することで種々の異なる光学条件を構成する。この遮光体20は照明10とともに照明系として機能している。
カメラ30は、多数の光量検出要素が一次元的に配列されてなるラインセンサ32と、円筒体90の軸方向に延びる所定の検出領域31をラインセンサ32上に結像するレンズ等を備えたラインセンサカメラとして構成されており、検出領域31の各部から入射する光量を検出する。
遮光体20が取り付けられる遮光体支持台25およびカメラ30が取り付けられるカメラ支持台34は、ともにスライドテーブル40上に取り付けられ、検査位置Bの円筒体90の軸方向についてスライド移動動作可能となっている。すなわち、スライドテーブル40は、本体フレームに固定されたスライドテーブル支持台42上をスライドコロ41によってスライド移動動作可能に支持され、スライド駆動モータ43によってスライド駆動されるようになっている。
図8は、第1実施形態にかかる円筒体90の表面検査装置の要部の概略を表した側面図である。図9は、同斜視図である。
図16は、各光学条件下における欠陥検出の有無の組合せパターンと表面欠陥の種類との関係の一例である。
次に、本発明の第2実施形態について、図面を参照しながら説明する。
(1)上記実施形態では、欠陥検出の有無の組合せパターンを設定する際、光学条件を明領域、暗領域および境界領域の3つに分類したが、明領域および暗領域の2つとしても、明領域や暗領域をさらに複数に分類してもよい。
20 遮光体(スリット体)
23 透光部
24 遮光部
27 境界領域
28 明領域
29 暗領域
30 カメラ
31 検出領域
80 管理コンピュータ
90 円筒体
Claims (17)
- 検査対象領域に照明光を照射し、その反射光をカメラで検出することにより表面欠陥を検出する表面検査方法であって、
検査対象領域の各部に対して、表面欠陥がなければ照明光の反射光がカメラに検出される明領域となる光学条件と、反射光が検出されない暗領域となる光学条件を含む、複数種類の光学条件下で表面欠陥の検出を行い、
各光学条件下における欠陥検出の有無の組合せパターンに基づいて、検出された表面欠陥の種類を判定することを特徴とする表面検査方法。 - 前記明領域および暗領域の形成位置を移動させる請求項2に記載の表面検査方法。
- 前記明領域と暗領域を同時に形成する請求項1または2に記載の表面検査方法。
- 前記複数の光学条件には、前記明領域と暗領域の境界領域となる光学条件を含む請求項3に記載の表面検査方法。
- 検査対象領域に照射される照明光を遮光体によって遮ることにより、前記暗領域を形成する請求項1〜4のいずれかに記載の表面検査方法。
- 複数の透光部と遮光部とが交互に繰り返すように形成されたスリット体によって、検査対象領域に照射される照明光を断続的に遮ることにより、検査対象領域上に複数の前記明領域および暗領域を交互に繰り返し形成する請求項1〜4のいずれかに記載の表面検査方法。
- 複数の光学条件のうち少なくとも1条件については複数回の表面欠陥の検出が行われる請求項1〜6のいずれかに記載の表面検査方法。
- 管体の外周面に照明光を照射し、その反射光をカメラで検出することにより表面欠陥を検出する表面検査方法であって、
管体の軸方向に沿ったカメラの検出領域に、表面欠陥がなければ照明光の反射光がカメラに検出される明領域と、反射光が検出されない暗領域とを交互に繰り返して形成し、
管体を軸回りに回転させながら、前記明領域及び暗領域の形成位置を管体の軸方向に移動させ、管体が複数回転する間、カメラにより管体の外周面を連続して撮影することにより、管体の外周面の各部に対して、前記明領域、前記暗領域および前記明領域と暗領域の境界領域となる光学条件を含む、複数の光学条件下での欠陥検出を行い、
各光学条件下における欠陥検出の有無の組合せパターンに基づいて、検出された表面欠陥の種類を判定することを特徴とする管体の表面検査方法。 - 複数の透光部と遮光部とが交互に繰り返すように形成されたスリット体によって、管体に照射される照明光を断続的に遮ることにより、前記明領域と暗領域とを交互に繰り返し形成する請求項8に記載の表面検査方法。
- 前記明領域および暗領域とともに、前記カメラによる検出領域を前記管体の軸方向に移動させることを特徴とする請求項8または9に記載の表面検査方法。
- 前記管体は、感光ドラム用基体であることを特徴とする請求項8〜10のいずれかに記載の表面検査方法。
- 表面精度が求められる物品を成形する工程と、
前記物品を検査対象物として請求項1〜11のいずれかに記載の表面検査方法を行う表面検査工程と、
前記表面検査工程により判定された欠陥の種類が所定の基準を満たすか否かにより物品を判別し、前記所定の基準を満たす場合に当該物品を完成品とする判別工程と、
を備えたことを特徴とする物品の製造方法。 - 請求項12に記載の物品の製造方法により製造されたことを特徴とする感光ドラム用基体。
- 検査対象領域に照明光を照射し、その反射光をカメラで検出することにより表面欠陥を検出する表面検査装置であって、
検査対象領域の各部に対して、表面欠陥がなければ照明光の反射光がカメラに検出される明領域と、反射光が検出されない暗領域とを形成可能な照明系と、
前記照明系による明領域および暗領域の形成位置を変化させながら、前記カメラにより検査対象領域の各部に対して明領域となる光学条件および暗領域となる光学条件を含む、複数の光学条件下で欠陥検出を行わせる制御手段と、
各光学条件下における欠陥検出の有無の組合せパターンに基づいて、検出された表面欠陥の種類を判定する判定手段と、
を備えたことを特徴とする表面検査装置。 - 表面精度が求められる物品を成形する成形手段と、
前記物品を検査対象とする請求項14に記載の表面検査装置と、
前記表面検査装置により判定された表面欠陥の種類が所定の基準を満たすか否かにより物品を分別し、前記所定の基準を満たす場合に当該物品を完成品とする判別手段と、
を備えたことを特徴とする製造システム。 - 管体の表面欠陥を検出する表面検査装置であって、
管体の外周面に照明光を照射する照明と、
管体の軸方向に沿った検出領域における照明光の反射光を検出するカメラと、
複数の透光部と遮光部とが交互に繰り返すように形成され、照明光を管体の軸方向について断続的に遮ることにより、表面欠陥がなければ照明光の反射光がカメラに検出される明領域と、反射光が検出されない暗領域を交互に繰り返し形成するスリット体と、
管体を軸回りに回転させながら、前記スリット体を管体の軸方向に移動させ、管体が複数回転する間、カメラにより管体の外周面を連続して撮影させることにより、管体の外周面の各部に対して、前記明領域、前記暗領域および前記明領域と暗領域の境界領域となる光学条件を含む、複数の光学条件下で欠陥検出を行わせる制御手段と、
各光学条件下における欠陥検出の有無の組合せパターンに基づいて、検出された表面欠陥の種類を判定する判定手段と、
を備えたことを特徴とする管体の表面検査装置。 - 表面精度が求められる管体を成形する成形手段と、
前記管体を検査対象物とする請求項16に記載の表面検査装置と、
前記表面検査装置により判定された表面欠陥の種類が所定の基準を満たすか否かにより管体を分別し、前記所定の基準を満たす場合に当該管体を完成品とする判別手段と、
を備えたことを特徴とする管体の製造システム。
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