JP2007036085A - Collet and work conveyor using it - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a collet capable of surely sucking a work even in the miniaturized work and a work conveyor using the collet. <P>SOLUTION: The collet 40 sucks the work 10 with a metallic section 24. The collet 40 has an internal space 48 extended in the direction approaching and separating to and from the work 10 in the collet 40 and a magnet 50 movable in the internal space 48. The collet 40 further has a partitioning section 52 separating the internal space 48 and an external space on the side approaching to the work 10. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、ワークを保持するコレット、及びこれを用いたワーク搬送装置に関する。   The present invention relates to a collet that holds a workpiece and a workpiece transfer device using the collet.

図１１は、ワークを保持している状態の従来のコレットの先端部分の概略縦断面図である（例えば、特許文献１参照）。
このコレット１に保持されるワーク５は例えば電子デバイスであって、この図の場合は圧電振動子の製造過程における状態である。すなわち、全体が矩形状とされ、圧電振動片４を収容するための収容空間Ｓ１が開口した状態のパッケージ６である。 FIG. 11 is a schematic longitudinal cross-sectional view of a tip portion of a conventional collet in a state where a workpiece is held (see, for example, Patent Document 1).
The work 5 held by the collet 1 is, for example, an electronic device. In the case of this figure, the work 5 is in a manufacturing process of the piezoelectric vibrator. That is, the package 6 has a rectangular shape as a whole, and an accommodation space S1 for accommodating the piezoelectric vibrating reed 4 is opened.

そして、コレット１は、角錐コレット部３の傾斜面３ａにワーク５の角を接しさせて、コレット１に対するワーク５の位置ずれを規制しつつ、角錐部３より内側であって、中央線Ｃに沿って形成された吸着孔８により真空吸着して、ワーク５を吸着保持するようになっている。   And the collet 1 makes the angle | corner of the workpiece | work 5 contact | connect the inclined surface 3a of the pyramid collet part 3, and controls the position shift of the workpiece | work 5 with respect to the collet 1, and is inside the pyramid part 3, Comprising: The workpiece 5 is sucked and held by vacuum suction by the suction holes 8 formed along.

特開２００５−９３６８９の公開特許公報Japanese Patent Laid-Open No. 2005-93689

ところが、近年、ハード・ディスク・ドライブ、モバイルコンピュータ、あるいはＩＣカード等の小型の情報機器や、携帯電話等の移動体通信機器などの電気製品については小型薄型化がめざましく、それらに用いられる圧電振動子等の電子デバイスもまた極めて小型化されている。
このため、コレット１は、従来のように中央に吸着孔８を正確に加工することが困難になってきており、また、たとえ吸着孔８を正確に形成できたとしても、その孔の直径が小さくなってしまって、上手くワーク５を吸着できない恐れも生じてきている。 However, in recent years, electrical appliances such as small information devices such as hard disk drives, mobile computers, and IC cards, and mobile communication devices such as mobile phones have been dramatically reduced in size. Electronic devices such as children are also extremely miniaturized.
For this reason, it is difficult for the collet 1 to accurately process the suction hole 8 in the center as in the prior art, and even if the suction hole 8 can be accurately formed, the diameter of the hole is small. There is also a fear that the workpiece 5 cannot be attracted well because it has become smaller.

本発明は、上述の課題を解決するためのものであり、小型化されたワークであっても、ワークを確実に吸着することができるコレット、及びそのコレットを用いたワーク搬送装置を提供することを目的とする。   The present invention is for solving the above-described problems, and provides a collet capable of reliably adsorbing a workpiece even with a miniaturized workpiece, and a workpiece transfer device using the collet. With the goal.

上述の目的は、第１の発明によれば、金属部を有するワークを吸着するようにしたコレットであって、前記コレット内に前記ワークと接近及び離間する方向に延びる内部空間と、前記内部空間を移動可能な磁石と、前記ワークに接近する側の前記内部空間と外部空間とを隔てる仕切り部とを備えているコレットにより達成される。   According to the first aspect of the present invention, there is provided a collet that adsorbs a workpiece having a metal part, the internal space extending in a direction approaching and separating from the workpiece in the collet, and the internal space This is achieved by a collet including a movable magnet and a partition that separates the internal space and the external space on the side approaching the workpiece.

第１の発明の構成によれば、コレット内には、ワークと接近及び離間する方向に延びる内部空間と、この内部空間を移動可能な磁石とが備えられている。このため、磁石は、内部空間内をワークと接近・離間することができ、接近してワークの金属部に作用し、これによりコレットはワークを吸着することができる。
そして、このコレットは、ワークに接近する側の内部空間と外部空間とを隔てる仕切り部が備えられている。このため、内部空間内の磁石がワークと離間する側に移動しようとすると、外部空間に存在するワークは、仕切り部により磁石の動きに追従することができなくなって、磁石から遠ざかる。したがって、ワークに対する磁石の磁場の影響が小さくなって、ワークはコレットから離れることになる。
かくして、本発明の効果として、小型化されたワークであっても、ワークを確実に吸着することができるコレットを提供することができる。 According to the configuration of the first invention, the collet is provided with an internal space extending in a direction approaching and separating from the work and a magnet movable in the internal space. For this reason, the magnet can approach and separate from the work in the internal space, and approaches the metal part of the work so that the collet can attract the work.
And this collet is provided with the partition part which separates the internal space and external space of the side which approaches a workpiece | work. For this reason, when the magnet in the internal space tries to move away from the work, the work existing in the external space cannot follow the movement of the magnet by the partition part and moves away from the magnet. Therefore, the influence of the magnetic field of the magnet on the work is reduced, and the work is separated from the collet.
Thus, as an effect of the present invention, it is possible to provide a collet that can reliably adsorb a workpiece even if the workpiece is downsized.

第２の発明は、第１の発明の構成において、前記仕切り部は、前記内部空間を塞いで封止しないように、外部空間とつながった連通部を有している。
第２の発明の構成によれば、仕切り部は、内部空間を塞いで封止しないように、外部空間とつながった連通部を有している。したがって、内部空間内の磁石は、連通部を介して外部に露出し、磁力を確実にワークにかけて、コレットのワークに対する保持力を向上させることができる。 According to a second aspect of the present invention, in the configuration of the first aspect, the partition portion has a communication portion connected to the external space so as not to seal the internal space and seal it.
According to the structure of 2nd invention, the partition part has a communication part connected with external space so that it may not block | close and seal internal space. Therefore, the magnet in the internal space is exposed to the outside through the communication portion, and the magnetic force can be reliably applied to the work, so that the holding power of the collet for the work can be improved.

第３の発明は、第１または第２の発明の構成において、前記磁石よりも前記ワークと離間する側の前記内部空間に、真空圧が供給されるようにしたことを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、磁石よりもワークと離間する側の内部空間に、真空圧が供給されるようにしたので、真空圧を供給すると、磁石はワークと離間する側に吸引され、これにより、上述のように、仕切り部の位置でワークをコレットから切り離せる。また、真空圧の供給を止めると、磁石は例えば自由落下してワークに接近し、磁石がワークを吸着できる。 A third invention is characterized in that, in the configuration of the first or second invention, a vacuum pressure is supplied to the internal space on the side farther from the work than the magnet.
According to the configuration of the third aspect of the invention, the vacuum pressure is supplied to the internal space on the side farther from the work than the magnet. Therefore, when the vacuum pressure is supplied, the magnet is attracted to the side away from the work. Thus, as described above, the work can be separated from the collet at the position of the partition portion. Further, when the supply of the vacuum pressure is stopped, for example, the magnet freely falls and approaches the workpiece, and the magnet can attract the workpiece.

第４の発明は、第３の発明の構成において、前記磁石よりも前記ワークと離間する側の前記内部空間に、高圧空気が供給されるようにしたことを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、磁石よりもワークと離間する側の内部空間に、高圧空気が供給されるようにしたので、高圧空気が供給されると、磁石はワークと接近する側に迅速に押されて、磁石がワークを迅速に吸着する。 According to a fourth aspect of the invention, in the configuration of the third aspect of the invention, high-pressure air is supplied to the internal space that is closer to the work than the magnet.
According to the configuration of the fourth aspect of the invention, since the high pressure air is supplied to the internal space on the side farther from the work than the magnet, when the high pressure air is supplied, the magnet is moved closer to the work. When pushed quickly, the magnet quickly attracts the workpiece.

第５の発明は、第３または第４の発明の構成において、前記磁石は、前記ワークと接近する側に向かって付勢力を有する伸縮性部材と接続されていることを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、磁石は、ワークと接近する側に向かって付勢力を有する伸縮性部材と接続されている。このため、例えば、磁石よりもワークと離間する側の内部空間に真空圧を供給した後、この真空圧の供給を中止すると、伸縮性部材により磁石はワークと接近する側に押されてワークに確実に接近し、磁石がワークを確実に吸着する。 A fifth invention is characterized in that, in the configuration of the third or fourth invention, the magnet is connected to an elastic member having a biasing force toward a side approaching the workpiece.
According to the structure of 5th invention, the magnet is connected with the elastic member which has urging | biasing force toward the side approaching a workpiece | work. For this reason, for example, after supplying the vacuum pressure to the internal space on the side farther from the work than the magnet, if the supply of this vacuum pressure is stopped, the magnet is pushed to the work closer to the work by the elastic member. It approaches closely and the magnet attracts the workpiece reliably.

第６の発明は、第１または第２の発明の構成において、前記磁石は、前記ワークと接近及び離間する方向に移動するアクチュエータと接続されていることを特徴とする。
第６の発明の構成によれば、磁石は、ワークと接近および離間する方向に移動するアクチュエータと接続されている。このため、アクチュエータを駆動させて、磁石をワークと接近および離間する方向に移動させて、第１または第２の発明のようにワークを吸着したり離したりすることができる。 A sixth invention is characterized in that, in the configuration of the first or second invention, the magnet is connected to an actuator that moves in a direction approaching and separating from the workpiece.
According to the structure of 6th invention, the magnet is connected with the actuator which moves to the direction which approaches and separates from a workpiece | work. For this reason, the actuator can be driven to move the magnet in a direction approaching and separating from the workpiece, and the workpiece can be attracted and separated as in the first or second invention.

また、上述の目的は、第７の発明によれば、金属部を有するワークを吸着するようにしたコレットと、このコレットを移動させることで前記ワークを搬送するようにした搬送手段とを備えたワーク搬送装置であって、前記コレットは、その内側に前記ワークと接近及び離間する方向に延びる内部空間と、前記内部空間を移動可能な磁石と、前記ワークに接近する側の前記内部空間と外部空間とを隔てる仕切り部とを備えているワーク搬送装置により達成される。   In addition, according to the seventh aspect of the present invention, the above-described object includes a collet configured to adsorb a workpiece having a metal part, and a conveying unit configured to convey the workpiece by moving the collet. The work transport device, wherein the collet has an internal space extending in a direction approaching and separating from the work, a magnet movable in the internal space, the internal space on the side approaching the work, and an external side This is achieved by a workpiece transfer device that includes a partition that separates the space.

第７の発明の構成によれば、ワーク搬送装置は、コレットを移動させることでワークを搬送するようにした搬送手段を有するため、コレットで吸着されたワークを搬送することができる。
そして、コレットは、その内側にワークと接近及び離間する方向に延びる内部空間と、内部空間を移動可能な磁石と、ワークに接近する側の内部空間と外部空間とを隔てる仕切り部を備えている。したがって、コレットは、第１の発明と同様に磁石の内部空間の移動に応じて、ワークを吸着したり離したりして、ワークを搬送できる。 According to the configuration of the seventh aspect of the invention, since the work transport device has the transport means that transports the work by moving the collet, the work attracted by the collet can be transported.
The collet includes an internal space extending in a direction approaching and separating from the work, a magnet that can move in the internal space, and a partition that separates the internal space and the external space on the side approaching the work. . Therefore, the collet can convey the work by attracting or separating the work in accordance with the movement of the internal space of the magnet as in the first invention.

図１および図２は、本発明の第１の実施形態に係るワーク搬送装置を用いて搬送されるワーク１０の例示として、弾性表面波装置（以下、「ＳＡＷ（Ｓｕｒｆａｃｅ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｗａｖｅ）デバイス」という）を示しており、図１はＳＡＷデバイスの概略平面図、図２は図１のＡ−Ａ線切断端面図である。
なお、図１は、理解の便宜のため、後述する蓋体を透視して図示している。 1 and 2 show a surface acoustic wave device (hereinafter referred to as a “SAW (Surface Acoustic Wave) device”) as an example of a workpiece 10 conveyed using the workpiece conveyance device according to the first embodiment of the present invention. FIG. 1 is a schematic plan view of a SAW device, and FIG. 2 is an end view taken along line AA of FIG.
Note that FIG. 1 is shown through a lid, which will be described later, for convenience of understanding.

ワーク１０は、パッケージ２０内に部品を収容するようになっている。
パッケージ２０は、例えば複数のセラミックベースを積層して焼結されることで形成されており、全体が矩形状あるいは箱状となっている。このパッケージ２０は、図２に示すように、中央付近を凹状とすることで、上部に開口した開口部２８を有する収容空間Ｓが設けられ、この収容空間Ｓは周囲の壁部２０ｂに囲まれるようになっている。 The workpiece 10 is configured to house components in the package 20.
The package 20 is formed, for example, by laminating and sintering a plurality of ceramic bases, and has a rectangular or box shape as a whole. As shown in FIG. 2, the package 20 has a concave portion in the vicinity of the center, thereby providing an accommodation space S having an opening 28 opened at the top, and the accommodation space S is surrounded by a surrounding wall portion 20b. It is like that.

また、パッケージ２０は、開口部２８側の端面（壁部２０ｂの端面）２０ａに、ロウ材２４を用いて蓋体２６を接合し、これにより収容空間Ｓが封止されている。
ロウ材２４には、低融点ガラスやシームリング等が利用できるが、本実施形態では、後述するように、コレット内の磁石がパッケージ２０を確実に吸着する金属部となるように、シームリングが採用されている。 Further, the package 20 is joined to the end face (end face of the wall portion 20b) 20a on the opening 28 side by using a brazing material 24 to seal the accommodation space S.
As the brazing material 24, low melting point glass, seam ring, or the like can be used. However, in this embodiment, as will be described later, the seam ring is formed so that the magnet in the collet is a metal part that reliably attracts the package 20. It has been adopted.

具体的には、ロウ材２４は、例えば、開口部側の端面２０ａにタングステンメタライズを施してニッケルメッキをし、その上にコバールからなるシームリングを接着させている。また、このロウ材２４は、開口部側の端面２０ａの全周に施されているので、図１の平行斜線の部分で示すように、平面視において、対向する二辺が平行となるように形成されている。
そして、このシームリングとニッケルメッキ及び金メッキが周縁に施された金属製の蓋体２６とが電気溶接されて、蓋封止されている。 Specifically, the brazing material 24 has, for example, tungsten metallization applied to the end surface 20a on the opening side and nickel plating, and a seam ring made of Kovar is adhered thereon. Further, since the brazing material 24 is applied to the entire periphery of the end surface 20a on the opening side, as shown by the parallel oblique line portion in FIG. 1, the two opposite sides are parallel in a plan view. Is formed.
The seam ring and a metal lid 26 having nickel plating and gold plating on its periphery are electrically welded to seal the lid.

このようなパッケージ２０の収容空間Ｓには、圧電素子１２等が収容されている。
圧電素子１２は、例えば水晶で矩形状に形成され、その表面に、すだれ状電極である櫛型電極（ＩＤＴ（Ｉｎｔｅｒ Ｄｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ））１６及び反射器１８，１８が備えられたＳＡＷチップとなっている。
この圧電素子１２は、弾性表面波の伝搬面に応力が生じないようにするため、ＩＤＴ１６や反射器１８，１８が設けられていない領域が、接着剤２２を用いて収容空間Ｓ内に接合されており、片持ち式にパッケージ２０に接合されている。
接着剤２２は、本実施形態では、例えば、エポキシ、ウレタン、シリコーン、ポリイミド、その他の熱硬化性樹脂接着剤や、これらに導電フィラーとして銀を添加した所謂銀ペースト等の導電性接着剤が用いられている。 In the accommodation space S of such a package 20, the piezoelectric element 12 and the like are accommodated.
The piezoelectric element 12 is formed into a rectangular shape with, for example, quartz, and is a SAW chip provided with a comb-shaped electrode (IDT (Inter Digital Transducer)) 16 and reflectors 18 and 18 on its surface. Yes.
In the piezoelectric element 12, a region where the IDT 16 and the reflectors 18 and 18 are not provided is joined in the accommodation space S using an adhesive 22 so that stress is not generated on the propagation surface of the surface acoustic wave. It is joined to the package 20 in a cantilever manner.
In this embodiment, the adhesive 22 is made of, for example, epoxy, urethane, silicone, polyimide, other thermosetting resin adhesives, or a conductive adhesive such as a so-called silver paste in which silver is added as a conductive filler. It has been.

また、圧電素子１２は、図１に示されるように、ボンディングパッド１７，１７・・・や、金線等でなるボンディングワイヤ１５，１５・・・を介して、半導体集積回路１４と電気的に接続され、これにより、本実施形態のワーク１０はＳＡＷ発振器となっている。なお、半導体集積回路１４は、収容空間Ｓの内側に接着剤（図示せず）を用いて接合されており、好ましくは、圧電素子１２の特性に応じた温度補償用のデータが書き込まれ、温度検出手段としてのサーモセンサ（図示せず）を備えている。   Further, as shown in FIG. 1, the piezoelectric element 12 is electrically connected to the semiconductor integrated circuit 14 via bonding pads 17, 17... And bonding wires 15, 15. Thus, the workpiece 10 of this embodiment is a SAW oscillator. The semiconductor integrated circuit 14 is bonded to the inside of the accommodation space S using an adhesive (not shown), and preferably, temperature compensation data corresponding to the characteristics of the piezoelectric element 12 is written and the temperature is A thermosensor (not shown) is provided as detection means.

次に、以上のようなワーク（ＳＡＷデバイス）１０の製造工程を説明する。
図３はＳＡＷデバイスを形成する一般的な製造工程を示しており、この図３及び図１、図２を用いて概説する。
先ず、図１及び図２で示したパッケージ２０を形成する（図３のＳＴ１）。なお、このパッケージ形成の際には、開口部側の端面２０ａに、上述したシームリング等でなるロウ材２４を接着しておく。
次いで、このパッケージ２０の収容空間Ｓに露出した内側底面に接着剤２２を塗布し、その上に予め形成しておいた圧電素子１２を載置して軽く加重をかけて仮止めをする（図３のＳＴ２）。
次いで、蓋封止されていないパッケージ２０を、後述するワーク搬送装置を用いて、加熱炉に搬送し（図３のＳＴ３）、接着剤２２を加熱して（図３のＳＴ４）、圧電素子１２をパッケージ２０に確実に接合固定する。
そして、パッケージ２０の開口側端面２０ａに設けたシームリングでなるロウ材２４と金属製の蓋体２６とを電気溶接して、蓋封止する（図３のＳＴ５）。 Next, a manufacturing process of the above workpiece (SAW device) 10 will be described.
FIG. 3 shows a general manufacturing process for forming a SAW device, which will be outlined with reference to FIG. 3, FIG. 1, and FIG.
First, the package 20 shown in FIGS. 1 and 2 is formed (ST1 in FIG. 3). When forming the package, the brazing material 24 made of the above-described seam ring or the like is bonded to the end surface 20a on the opening side.
Next, the adhesive 22 is applied to the inner bottom surface exposed in the accommodation space S of the package 20, and the piezoelectric element 12 previously formed thereon is placed thereon and lightly applied and temporarily fixed (see FIG. 3 ST2).
Next, the package 20 that is not sealed is transported to a heating furnace (ST3 in FIG. 3) by using a work transport device described later (ST3 in FIG. 3), and the adhesive 22 is heated (ST4 in FIG. 3). Are securely bonded to the package 20.
Then, the brazing material 24 made of a seam ring provided on the opening side end surface 20a of the package 20 and the metal lid 26 are electrically welded to seal the lid (ST5 in FIG. 3).

次に、上述のワーク１０を搬送するためのワーク搬送装置について説明する。
図４は、ワークを加熱炉に搬送（図３のＳＴ３）する際におけるワーク搬送装置３０の概略図である。
図４に示されるように、ワーク搬送装置３０は、コレット４０と、このコレット４０を移動させることでワークを搬送する搬送手段３２とを備えている。 Next, a workpiece transfer device for transferring the workpiece 10 described above will be described.
FIG. 4 is a schematic diagram of the workpiece transfer device 30 when transferring the workpiece to the heating furnace (ST3 in FIG. 3).
As shown in FIG. 4, the workpiece transfer device 30 includes a collet 40 and a transfer unit 32 that transfers the workpiece by moving the collet 40.

搬送手段３２は、Ｘ−Ｙ軸方向に移動可能なＸ軸方向移動手段３４と、Ｙ軸方向移動手段３６とを備えている。
Ｙ軸方向移動手段３６には、例えば、駆動時の摩擦が小さく、スティックスリップが少ない等の利点を有するエアスライドが用いられている。エアスライドは、スライドテーブル３６ａが、アクチュエータでＹ軸方向に可動する際、空気軸受によりエアスライドガイド３６ｂと接触せずに可動するようになっている。 The transport unit 32 includes an X-axis direction moving unit 34 that can move in the XY directions, and a Y-axis direction moving unit 36.
As the Y-axis direction moving means 36, for example, an air slide having advantages such as low friction during driving and less stick slip is used. When the slide table 36a is moved in the Y-axis direction by the actuator, the air slide is movable without contacting the air slide guide 36b by the air bearing.

このエアスライドを用いたＹ軸方向移動手段３６は、Ｘ軸方向移動手段３４と接続されており、Ｘ軸方向移動手段３４は、例えばボールねじが用いられたアクチュエータによりＸ軸方向に移動可能な装置となっている。
なお、本実施形態の搬送手段３２は以上のような構成になっているが、本発明はこれに限られるものではなく、ワークをＸ−Ｙ軸方向あるいはこれにθ軸方向の動きを加えて搬送可能としたアームロボット等の装置であっても勿論よい。 The Y-axis direction moving means 36 using this air slide is connected to the X-axis direction moving means 34, and the X-axis direction moving means 34 can be moved in the X-axis direction by an actuator using, for example, a ball screw. It is a device.
Although the conveying means 32 of the present embodiment is configured as described above, the present invention is not limited to this, and the workpiece is moved in the XY axis direction or in the θ axis direction. Of course, it may be an arm robot or the like that can be transported.

コレット４０は、ワーク搬送装置３０の先端に取り付けられており、その先端部は、水平方向についてワーク１０の外形と略同じ外形を有している。具体的には、コレット４０はワーク１０に接続するためのコレット取付け部３９に取り付けられている。すなわち、コレット取付け部３９にはコレット４０を嵌入するための嵌入孔（図示せず）が開けられており、鍔部４４が密着するようにして、その嵌入孔（図示せず）にシャンク部４２が嵌入されている。なお、このシャンク部４２は、好ましくは、嵌入孔内で回転しないように、平面状に面取りされた平取部４２ａ（図５参照）を有しており、嵌入孔の形状もこの平取部４２ａに対応した形状となっている。   The collet 40 is attached to the tip of the workpiece transfer device 30, and the tip has an outer shape that is substantially the same as the outer shape of the workpiece 10 in the horizontal direction. Specifically, the collet 40 is attached to a collet attachment portion 39 for connecting to the workpiece 10. That is, a fitting hole (not shown) for fitting the collet 40 is opened in the collet mounting portion 39, and the shank portion 42 is fitted into the fitting hole (not shown) so that the flange portion 44 is in close contact. Is inserted. The shank portion 42 preferably has a flat chamfered portion 42a (see FIG. 5) chamfered so as not to rotate in the fitting hole, and the shape of the fitting hole is also in the flattening portion 42a. It has a corresponding shape.

そして、本実施形態の場合、このコレット取付け部３９は、真空供給手段３８および高圧供給手段３３と接続されている。真空供給手段３８は、後述するコレット４０内の磁石を吸着するために真空圧を供給する手段であり、例えば真空ポンプが用いられている。具体的には、真空供給手段３８に接続された管３８ａと、シャンク部４２内の通気路４６とが、コレット取付け部３９内の空間（図示せず）で連通されている。また、高圧供給手段３３は、後述するコレット４０内の磁石を押圧するために高圧空気を供給する手段であり、コンプレッサーや、コンピュータ（図示せず）で制御されたレギュレーター等が用いられている。具体的には、高圧供給手段３３に接続された管３３ａと、シャンク部４２内の通気路４６とが、コレット取付け部３９内の空間（図示せず）で連通されている。   In the case of this embodiment, the collet mounting portion 39 is connected to the vacuum supply means 38 and the high-pressure supply means 33. The vacuum supply means 38 is a means for supplying a vacuum pressure to attract a magnet in the collet 40 to be described later, and for example, a vacuum pump is used. Specifically, the pipe 38 a connected to the vacuum supply means 38 and the air passage 46 in the shank portion 42 are communicated with each other in a space (not shown) in the collet mounting portion 39. The high-pressure supply means 33 is means for supplying high-pressure air to press a magnet in the collet 40 described later, and uses a compressor, a regulator controlled by a computer (not shown), or the like. Specifically, the pipe 33a connected to the high pressure supply means 33 and the air passage 46 in the shank part 42 are communicated with each other in a space (not shown) in the collet mounting part 39.

なお、コレット取付け部３９は、Ｙ軸方向移動手段３６に接続されたアーム３７と、バネ等の伸縮部材３５を利用して接続されており、これにより、コレット４０をワークに接触させた際に生じる衝撃を和らげるようになっている。   The collet mounting portion 39 is connected to the arm 37 connected to the Y-axis direction moving means 36 by using an elastic member 35 such as a spring, so that when the collet 40 is brought into contact with the workpiece. It is designed to relieve the impact that occurs.

次に、コレット４０について詳細に説明する。
図５はコレット４０の概略斜視図、図６は図５のＢ−Ｂ線切断断面図、図７はコレット４０の底面図である。なお、図６では理解の便宜のためにワークを点線で示している。
コレット４０は、後述する磁石５０を除いて、全体が非金属性の例えばプラスチックから形成されており、その内側に、ワークと接近及び離間する方向（図５および図６のＹ軸方向）に延びる内部空間４８を有している。 Next, the collet 40 will be described in detail.
5 is a schematic perspective view of the collet 40, FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. 5, and FIG. In FIG. 6, the work is indicated by a dotted line for convenience of understanding.
The collet 40 is formed entirely of non-metallic plastic, for example, except for the magnet 50 described later, and extends in the direction approaching and separating from the workpiece (the Y-axis direction in FIGS. 5 and 6). An internal space 48 is provided.

内部空間４８は、ワーク１０と離間する側（図６の上側）において、真空供給手段３８および高圧供給手段３３（図４参照）に接続されている通気路４６とつながっており、これにより、内部空間４８の後述する磁石５０よりも図６の上側に、真空圧および高圧空気が供給されるようになっている。
また、内部空間４８の内径Ｌ２は通気路４６の内径Ｌ１よりも大きく形成されており、これにより、内部空間４８の通気路４６側には下向きの段部４８ａが形成されている。 The internal space 48 is connected to the air passage 46 connected to the vacuum supply means 38 and the high pressure supply means 33 (see FIG. 4) on the side away from the workpiece 10 (upper side in FIG. 6). Vacuum pressure and high-pressure air are supplied to the upper side of FIG.
Further, the inner space 48 has an inner diameter L2 that is larger than the inner diameter L1 of the air passage 46, whereby a downward stepped portion 48a is formed on the air passage 46 side of the inner space 48.

そして、この内部空間４８には移動可能な磁石５０が設けられている。この磁石５０は、ワーク１０をコレット４０に吸着させる手段であり、本実施形態では永久磁石が用いられている。具体的には、磁石５０は一つのみ設けられており、その幅方向（Ｘ方向）の寸法は、通気路４６の内径Ｌ１よりも大きく形成されており、好ましくは、内部空間４８の内径Ｌ２と略同じか或いは僅かに小さくなっている。これにより、内部空間４８内での揺動を抑制して、ワーク１０と接近及び離間する方向（Ｙ軸方向）にのみ移動可能となっている。また、磁石５０の高さ寸法（Ｙ軸方向の寸法）は、少なくとも磁石５０が内部空間４８の通気路４６側（図６の上側）にあるとき、後述する仕切り部５２に位置するワーク１０に対して与える磁力が弱くなって、磁石５０がワーク１０を吸着しなくなるような高さ寸法を有している。   A movable magnet 50 is provided in the internal space 48. The magnet 50 is means for attracting the work 10 to the collet 40, and a permanent magnet is used in this embodiment. Specifically, only one magnet 50 is provided, and the dimension in the width direction (X direction) is formed larger than the inner diameter L1 of the air passage 46, and preferably the inner diameter L2 of the inner space 48. It is almost the same as or slightly smaller. Accordingly, the swinging in the internal space 48 is suppressed, and the movement is possible only in the direction approaching and separating from the workpiece 10 (Y-axis direction). Further, the height dimension of the magnet 50 (dimension in the Y-axis direction) is such that the workpiece 10 located in the partition portion 52 to be described later is at least when the magnet 50 is on the air passage 46 side (upper side in FIG. 6) of the internal space 48. The magnet 50 has such a height that the magnetic force is weakened and the magnet 50 does not attract the workpiece 10.

そして、コレット４０は、磁石５０がワーク１０に接近する側の内部空間４８と外部空間とを隔てる仕切り部５２を有している。
図８は仕切り部５２を備える部品５４の概略斜視図であり、この図８及び図５ないし図７により、仕切り部５２を説明する。
仕切り部５２は、磁石５０が内部空間４８から落下しないように設けられると共に、ワーク１０が内部空間４８に挿入してこないようにするための手段である。
本実施形態の仕切り部５２は、内部空間４８が形成された部品に接合された部品５４に備えられている。この仕切り部５２が備えられている部品５４は、水平方向について、後述する連通部５６の部分を除いて、ワーク１０の外形と略同じ外形となっている。また、部品５４の内部空間４８側（図８の上面）の形状は、磁石５０が水平に収まるように、内部空間４８の内径と同様の寸法で形成され、磁石５０の水平方向の形状に略対応して形成されている。 The collet 40 has a partition 52 that separates the internal space 48 and the external space on the side where the magnet 50 approaches the workpiece 10.
FIG. 8 is a schematic perspective view of the component 54 including the partition portion 52. The partition portion 52 will be described with reference to FIGS. 8 and 5 to 7.
The partition 52 is a means for preventing the magnet 50 from falling from the internal space 48 and preventing the work 10 from being inserted into the internal space 48.
The partition portion 52 of this embodiment is provided in a component 54 joined to a component in which the internal space 48 is formed. The component 54 provided with the partition portion 52 has substantially the same outer shape as the workpiece 10 in the horizontal direction, except for a communication portion 56 described later. Further, the shape of the component 54 on the side of the internal space 48 (the upper surface in FIG. 8) is formed with the same size as the inner diameter of the internal space 48 so that the magnet 50 can be horizontally accommodated. Correspondingly formed.

そして、仕切り部５２は、図７及び図８に示すように、内部空間４８を完全に塞いで封止しないように、外部空間とつながった連通部５６を有している。このため、連通部５６からは内部空間４８内の磁石５０の一部（図７の平行斜線で示す部分）が外部に露出するようになっており、連通部５６は、磁石５０のワーク１０に及ぼす磁力を向上させている。なお、連通部５６は仕切り部５２が備えられている部品５４の一部を切り欠くようにして形成されている。   And the partition part 52 has the communication part 56 connected with the exterior space so that the interior space 48 may be completely plugged and not sealed as shown in FIG.7 and FIG.8. For this reason, a part of the magnet 50 in the internal space 48 (a part indicated by the parallel oblique lines in FIG. 7) is exposed to the outside from the communication part 56, and the communication part 56 is connected to the workpiece 10 of the magnet 50. The magnetic force exerted is improved. The communication part 56 is formed so as to cut out a part of the part 54 provided with the partition part 52.

さらに、この連通部５６はワーク１０の金属部に対応して配置されている。すなわち、図５や図７に示すように、連通部５６は、パッケージの開口部側の端面２０ａに設けられたシームリング等でなるロウ材２４（図２参照）に対応した位置に設けられている。
本実施形態の場合、連通部５６は、複数設けられており、平面視において対向する二辺が平行となるように形成されたロウ材２４に対応して、図７に示すように、平面視において平行な二辺の各々に長方形状に形成されており、より具体的には、図５ないし図８に示すように、パッケージ２０の長手方向に沿って設けられた二箇所のロウ材２４に対向して配置されるようになっている。 Further, the communication portion 56 is disposed corresponding to the metal portion of the workpiece 10. That is, as shown in FIGS. 5 and 7, the communication portion 56 is provided at a position corresponding to the brazing material 24 (see FIG. 2) made of a seam ring or the like provided on the end surface 20a on the opening side of the package. Yes.
In the case of this embodiment, a plurality of communication portions 56 are provided, and as shown in FIG. 7, corresponding to the brazing material 24 formed so that two opposite sides in parallel in plan view are parallel. Are formed in a rectangular shape on each of two parallel sides. More specifically, as shown in FIGS. 5 to 8, two brazing members 24 provided along the longitudinal direction of the package 20 are formed. It is arranged to face each other.

これにより、磁石５０がワーク１０に及ぼす磁力について、仕切り部５６の連通部５６以外の領域に比べて連通部５６からの磁力の方が大きいので、連通部５６の位置を金属部（ロウ材２４）の位置に対応させることで、コレット４０に対してワーク１０の位置がずれないようにしている。
なお、連通部５６の位置、数、形状は上述に限られるものではなく、例えば、保持力は弱まるかも知れないが、パッケージ２０の短手方向に沿って設けられた二箇所のロウ材２４に対向して配置してもよく、また、例えば、ロウ材２４の４辺に対応させて４箇所に設けても勿論よい。 As a result, the magnetic force exerted on the workpiece 10 by the magnet 50 is greater than the magnetic force from the communication portion 56 compared to the region other than the communication portion 56 of the partition portion 56, so that the position of the communication portion 56 is set to the metal portion (the brazing material 24 ), The position of the work 10 is prevented from being displaced with respect to the collet 40.
Note that the position, number, and shape of the communication portion 56 are not limited to those described above. For example, the holding force may be weakened, but the two brazing materials 24 provided along the short direction of the package 20 may be used. Of course, they may be arranged facing each other, and for example, they may be provided at four locations corresponding to the four sides of the brazing material 24.

本発明の第１の実施形態は以上のように構成されており、コレット４０は、ワーク１０と接近及び離間する方向に延びる内部空間４８を有すると共に、内部空間４８内を移動可能な磁石５０を有する。このため、図６に示すように、磁石５０は、内部空間４８内をワーク１０と接近・離間することができ、接近してワーク１０の金属部（ロウ材２４）に作用し、これによりコレット４０はワーク１０を吸着することができる。
そして、このコレット４０は、ワーク１０に接近する側の内部空間４８と外部空間とを隔てる仕切り部５２が備えられている。このため、内部空間４８内の磁石５０がワーク１０と離間する側に移動（図６の点線の位置に移動）すると、外部空間に存在するワーク１０は、仕切り部５２により磁石５０の動きに追従することができなくなって、磁石５０から遠ざかる。したがって、ワーク１０に対する磁石の磁場の影響が小さくなって、ワーク１０はコレット４０から離れることになる。 The first embodiment of the present invention is configured as described above, and the collet 40 has an internal space 48 extending in a direction approaching and separating from the workpiece 10 and includes a magnet 50 movable in the internal space 48. Have. Therefore, as shown in FIG. 6, the magnet 50 can approach and separate from the workpiece 10 in the internal space 48, and approaches the metal portion (the brazing material 24) of the workpiece 10, thereby colleting. 40 can adsorb the workpiece 10.
The collet 40 is provided with a partition 52 that separates the internal space 48 on the side approaching the workpiece 10 and the external space. Therefore, when the magnet 50 in the internal space 48 moves to the side away from the workpiece 10 (moves to the position indicated by the dotted line in FIG. 6), the workpiece 10 existing in the external space follows the movement of the magnet 50 by the partition portion 52. It can no longer be done and moves away from the magnet 50. Therefore, the influence of the magnetic field of the magnet on the workpiece 10 is reduced, and the workpiece 10 is separated from the collet 40.

また、このように磁石５０を用いてワーク１０を吸着するようにしたことで、真空ポンプ等でワーク１０を真空吸着するタイプのコレットが、気流によりワーク１０に載置された部品の位置をずらしてしまうという問題を解決することもできる。特に、ワーク１０がＳＡＷデバイスの場合、図３のように、圧電振動片をパッケージに完全に接合固定しない状態で加熱炉に搬送するため（図３のＳＴ３）、真空吸着により収容空間内に気流が発生して、圧電振動片の位置がずれてしまう恐れが高くなってしまうが、本実施形態の場合は、気流が発生しないので、そのような恐れを防止することができる。   In addition, since the work 10 is attracted by using the magnet 50 as described above, a collet of a type that vacuum-sucks the work 10 with a vacuum pump or the like shifts the position of the component placed on the work 10 by an air flow. Can also solve the problem. In particular, when the workpiece 10 is a SAW device, as shown in FIG. 3, the piezoelectric vibrating piece is transported to the heating furnace without being completely bonded and fixed to the package (ST3 in FIG. 3). However, in the case of this embodiment, no airflow is generated, so that such a fear can be prevented.

図９は、本発明の第１の実施形態の第１の変形例を示すコレット６０の概略断面図であり、図６の概略断面図に対応している。この図において、第１の実施形態で用いた符号と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複した説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
この図のコレット６０が図４ないし図８のコレット４０と相違する点は、磁石５０の移動手段についてのみである。 FIG. 9 is a schematic cross-sectional view of a collet 60 showing a first modification of the first embodiment of the present invention, and corresponds to the schematic cross-sectional view of FIG. In this figure, since the part which attached | subjected the code | symbol same as the code | symbol used in 1st Embodiment is a common structure, the overlapping description is abbreviate | omitted and it demonstrates centering on difference below.
The collet 60 in this figure is different from the collet 40 in FIGS. 4 to 8 only in the moving means of the magnet 50.

すなわち、コレット６０は、磁石５０がワーク１０と接近する側（図９の下側）に向かって付勢力を有する伸縮性部材６２と接続されている。
具体的には、伸縮性部材６２は、例えばバネから形成されており、その伸縮方向とワーク１０と接近離間する方向とが一致するようになっている。
この伸縮性部材６２は、伸縮方向の一端が、内部空間４８のワーク１０と離間する側（図９の上側）、或いは通気路４６の内部空間４８側に接続されており、伸縮方向の他端が、磁石５０の中央付近に接続されている。 That is, the collet 60 is connected to the elastic member 62 having a biasing force toward the side where the magnet 50 approaches the workpiece 10 (the lower side in FIG. 9).
Specifically, the stretchable member 62 is formed of, for example, a spring, and the stretchable direction and the direction of approaching and separating from the workpiece 10 coincide with each other.
The elastic member 62 has one end in the expansion / contraction direction connected to the side of the internal space 48 that is separated from the workpiece 10 (the upper side in FIG. 9) or the internal space 48 side of the air passage 46, and the other end in the expansion / contraction direction. Is connected near the center of the magnet 50.

そして、伸縮性部材６２は、外部から力を加えない状態では、磁石５０をワーク１０と接近する側（図９の内部空間４８の下側）に配置させるようになっており、内部空間４８の磁石５０よりも上側（通気路４６側）に真空圧を供給することにより、磁石５０をワーク１０と離間する側（図９の内部空間４８の上側）に移動させるようになっている。
なお、図９のコレット６０の場合は、内部空間４８の磁石５０よりも上側に、高圧空気を供給するようにはなっていない。 The elastic member 62 is arranged to place the magnet 50 on the side approaching the workpiece 10 (below the internal space 48 in FIG. 9) when no force is applied from the outside. By supplying a vacuum pressure above the magnet 50 (on the air passage 46 side), the magnet 50 is moved to the side away from the workpiece 10 (above the internal space 48 in FIG. 9).
In the case of the collet 60 in FIG. 9, high-pressure air is not supplied to the upper side of the magnet 50 in the internal space 48.

本発明の第１の実施形態の第１の変形例は以上のように構成されており、このため、第１の実施形態と同様の作用効果を発揮する。
すなわち、ワーク１０を吸着させたい場合は、伸縮性部材６２によって、迅速かつ確実に磁石５０を仕切り部５２の位置まで移動させることができる。そして、ワーク１０をコレット６０から離したい場合は、真空圧を内部空間４８に供給して、磁石５０を通気路４６側に移動させて、ワーク１０の追従を仕切り部５２の位置で制限することができる。
また、このように伸縮性部材６２を用いることで、高圧空気を内部空間４８に供給するためのコンプレッサーやレギュレーター等といった高価な装置を不要とできる。 The first modification of the first embodiment of the present invention is configured as described above, and thus exhibits the same operational effects as the first embodiment.
That is, when it is desired to attract the workpiece 10, the elastic member 62 can move the magnet 50 to the position of the partition portion 52 quickly and reliably. When the work 10 is desired to be separated from the collet 60, vacuum pressure is supplied to the internal space 48, the magnet 50 is moved to the air passage 46 side, and the follow-up of the work 10 is restricted at the position of the partition portion 52. Can do.
Further, by using the stretchable member 62 in this manner, an expensive device such as a compressor or a regulator for supplying high-pressure air to the internal space 48 can be eliminated.

図１０は、本発明の第１の実施形態の第２の変形例を示すコレット７０の概略断面図であり、図６の概略断面図に略対応している。この図において、第１の実施形態で用いた符号と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複した説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
この図のコレット７０が図４ないし図８のコレット４０と相違する点は、磁石５０の移動手段についてのみである。 FIG. 10 is a schematic sectional view of a collet 70 showing a second modification of the first embodiment of the present invention, and substantially corresponds to the schematic sectional view of FIG. In this figure, since the part which attached | subjected the code | symbol same as the code | symbol used in 1st Embodiment is a common structure, the overlapping description is abbreviate | omitted and it demonstrates centering on difference below.
The collet 70 in this figure is different from the collet 40 in FIGS. 4 to 8 only in the moving means of the magnet 50.

すなわち、コレット７０は、磁石５０が、ワーク１０と接近および離間する方向に移動するアクチュエータ７２と接続されている。
具体的には、アクチュエータ７２は、例えば、シリンダ内に図示しないモータと、このモータで回転する図示しないボールねじと、このボールねじの回転によって移動する図示しないナットを有している。そして、このナットと接続された棒状部７８が、コレット取付け部３９の中心に設けられた空間７６、及びコレット７０のシャンク部４６の中心に設けられた空間７４を通って、内部空間４８まで挿入されており、磁石５０と接続されている。
なお、図１０のコレット７０の場合は、内部空間４８の磁石５０よりも上側に、真空圧や高圧空気が供給されるようにはなっていない。 That is, the collet 70 is connected to an actuator 72 in which the magnet 50 moves in a direction in which the magnet 50 approaches and separates from the workpiece 10.
Specifically, the actuator 72 includes, for example, a motor (not shown) in the cylinder, a ball screw (not shown) that is rotated by the motor, and a nut (not shown) that is moved by the rotation of the ball screw. The rod-like portion 78 connected to the nut is inserted into the internal space 48 through the space 76 provided at the center of the collet mounting portion 39 and the space 74 provided at the center of the shank portion 46 of the collet 70. It is connected to the magnet 50.
In the case of the collet 70 in FIG. 10, vacuum pressure or high-pressure air is not supplied above the magnet 50 in the internal space 48.

本発明の第１の実施形態の第２の変形例は以上のように構成されており、このため、第１の実施形態と同様の作用効果を発揮する。
すなわち、ワーク１０を吸着させたい場合は、アクチュエータ７２を作動させて棒状部７８に接続された磁石５０を仕切り部５２の位置まで移動させることができる。そして、ワーク１０をコレット６０から離したい場合は、アクチュエータ７２を作動させて棒状部７８に接続された磁石５０を通気路４６側に移動させて、ワーク１０の追従を仕切り部５２の位置で制限することができる。 The 2nd modification of the 1st Embodiment of this invention is comprised as mentioned above, Therefore, the same effect as 1st Embodiment is exhibited.
That is, in order to attract the workpiece 10, the actuator 50 can be operated to move the magnet 50 connected to the rod-shaped portion 78 to the position of the partition portion 52. When the work 10 is desired to be separated from the collet 60, the actuator 72 is operated to move the magnet 50 connected to the rod-shaped part 78 to the air passage 46 side, thereby restricting the follow-up of the work 10 at the position of the partition part 52. can do.

本発明は上述の実施形態に限定されない。各実施形態や各変形例の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
例えば、図１及び図２では圧電素子１２の例としてＳＡＷチップを図示したが、本発明はこれに限られるものではなく、例えば、片持ち式にパッケージに接合される音叉型圧電振動片やＡＴカット振動片等であってもよい。
また、図１および図２では、半導体集積回路が収容されたＳＡＷ発振器を図示したが、本発明はこれに限られるものではなく、例えば、半導体集積回路１４が収容されていない圧電振動子であっても勿論よい。
また、磁石をワークと接近離間する方向に移動させる手段を、上述した図４ないし図１０で示した移動手段の組み合わせとしてもよく、例えば、磁石５０をワーク１０に近づけるための手段として、図４の高圧供給手段３３と図９の伸縮性部材６２とを併用してもよい。 The present invention is not limited to the above-described embodiment. Each configuration of each embodiment and each modification may be combined or omitted as appropriate, and may be combined with other configurations not shown.
For example, in FIGS. 1 and 2, a SAW chip is illustrated as an example of the piezoelectric element 12, but the present invention is not limited to this, for example, a tuning fork type piezoelectric vibrating piece or AT that is joined to a package in a cantilever manner. A cut vibrating piece or the like may be used.
1 and 2 illustrate the SAW oscillator in which the semiconductor integrated circuit is accommodated, the present invention is not limited to this. For example, the SAW oscillator is a piezoelectric vibrator in which the semiconductor integrated circuit 14 is not accommodated. Of course.
The means for moving the magnet in the direction of approaching and separating from the work may be a combination of the moving means shown in FIGS. 4 to 10 described above. For example, as means for bringing the magnet 50 close to the work 10, FIG. The high pressure supply means 33 and the stretchable member 62 of FIG. 9 may be used in combination.

本発明の第１の実施形態に係るワーク搬送装置を用いて搬送されるワークの例示として、ＳＡＷデバイスの概略平面図。The schematic plan view of a SAW device as an illustration of the work conveyed using the work conveyance device concerning a 1st embodiment of the present invention. 図１のＡ−Ａ線切断端面図。The AA cut | disconnection end elevation of FIG. ＳＡＷデバイスを形成する一般的な製造工程。General manufacturing process for forming SAW devices. ワークを加熱炉に搬送する際におけるワーク搬送装置の概略図。Schematic of the workpiece conveyance apparatus at the time of conveying a workpiece | work to a heating furnace. コレットの概略斜視図。The schematic perspective view of a collet. 図５のＢ−Ｂ線切断断面図。FIG. 6 is a sectional view taken along line BB in FIG. コレットの底面図。Bottom view of collet. 仕切り部を備える部品の概略斜視図。The schematic perspective view of components provided with a partition part. 本発明の第１の実施形態の第１の変形例を示すコレットの概略断面図。The schematic sectional drawing of the collet which shows the 1st modification of the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施形態の第２の変形例を示すコレットの概略断面図。The schematic sectional drawing of the collet which shows the 2nd modification of the 1st Embodiment of this invention. ワークを保持している状態の従来のコレットの先端部分の概略縦断面図。The schematic longitudinal cross-sectional view of the front-end | tip part of the conventional collet in the state holding the workpiece | work.

符号の説明Explanation of symbols

１０・・・ワーク、２４・・・金属部、３０・・・ワーク搬送装置、４０・・・コレット、４８・・・内部空間、５０・・・磁石、５２・・・仕切り部、５６・・・連通部   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Work, 24 ... Metal part, 30 ... Work conveying apparatus, 40 ... Collet, 48 ... Internal space, 50 ... Magnet, 52 ... Partition part, 56 ...・ Communication part

Claims (7)

金属部を有するワークを吸着するようにしたコレットであって、
前記コレット内に前記ワークと接近及び離間する方向に延びる内部空間と、
前記内部空間を移動可能な磁石と、
前記ワークに接近する側の前記内部空間と外部空間とを隔てる仕切り部と
を備えていることを特徴とするコレット。 A collet adapted to adsorb a workpiece having a metal part,
An internal space extending in a direction approaching and separating from the workpiece in the collet;
A magnet movable in the internal space;
A collet comprising: a partition portion that separates the internal space and the external space on the side approaching the workpiece. 前記仕切り部は、前記内部空間を塞いで封止しないように、外部空間とつながった連通部を有していることを特徴とする請求項１に記載のコレット。   The collet according to claim 1, wherein the partition portion has a communication portion connected to an external space so as not to seal the internal space by sealing. 前記磁石よりも前記ワークと離間する側の前記内部空間に、真空圧が供給されるようにしたことを特徴とする請求項１または２に記載のコレット。   The collet according to claim 1, wherein a vacuum pressure is supplied to the internal space that is closer to the workpiece than the magnet. 前記磁石よりも前記ワークと離間する側の前記内部空間に、高圧空気が供給されるようにしたことを特徴とする請求項３に記載のコレット。   4. The collet according to claim 3, wherein high-pressure air is supplied to the internal space on the side farther from the work than the magnet. 前記磁石は、前記ワークと接近する側に向かって付勢力を有する伸縮性部材と接続されていることを特徴とする請求項３または４に記載のコレット。   The collet according to claim 3 or 4, wherein the magnet is connected to an elastic member having an urging force toward a side approaching the workpiece. 前記磁石は、前記ワークと接近及び離間する方向に移動するアクチュエータと接続されていることを特徴とする請求項１または２に記載のコレット。   The collet according to claim 1, wherein the magnet is connected to an actuator that moves in a direction approaching and separating from the workpiece. 金属部を有するワークを吸着するようにしたコレットと、このコレットを移動させることで前記ワークを搬送するようにした搬送手段とを備えたワーク搬送装置であって、
前記コレットは、
その内側に前記ワークと接近及び離間する方向に延びる内部空間と、
前記内部空間を移動可能な磁石と、
前記ワークに接近する側の前記内部空間と外部空間とを隔てる仕切り部と
を備えていることを特徴とするワーク搬送装置。 A work transport device comprising a collet that attracts a work having a metal part, and a transport means that transports the work by moving the collet,
The collet is
An internal space extending in the direction of approaching and separating from the workpiece inside,
A magnet movable in the internal space;
A work transfer device comprising: a partition that separates the internal space and the external space on the side approaching the work.

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