JP2007033790A - 顕微鏡照明装置 - Google Patents
顕微鏡照明装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007033790A JP2007033790A JP2005215992A JP2005215992A JP2007033790A JP 2007033790 A JP2007033790 A JP 2007033790A JP 2005215992 A JP2005215992 A JP 2005215992A JP 2005215992 A JP2005215992 A JP 2005215992A JP 2007033790 A JP2007033790 A JP 2007033790A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- microscope
- optical element
- central region
- peripheral region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
- G02B21/08—Condensers
- G02B21/082—Condensers for incident illumination only
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
- G02B21/08—Condensers
- G02B21/082—Condensers for incident illumination only
- G02B21/084—Condensers for incident illumination only having annular illumination around the objective
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
【課題】極力簡単な構成で、効率よく、均一な照明分布を得ることが可能な顕微鏡照明装置を提供する。
【解決手段】光源２と、光源２からの光を略平行光束に変換するコレクタレンズ３と、該略平行光束を集光するフィールドレンズ５と、フィールドレンズ５により集光された光束を被照明面８に導くコンデンサレンズ７と、コンデンサレンズ７の入射側焦点位置に配置された開口絞り６を有し、コレクタレンズ３とフィールドレンズ５を介して、開口絞り６と光源２とがほぼ共役な位置関係にある照明光学系において、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子１１が略平行光束に変換された光路中に配置される構成を備える。
【選択図】図１
【解決手段】光源２と、光源２からの光を略平行光束に変換するコレクタレンズ３と、該略平行光束を集光するフィールドレンズ５と、フィールドレンズ５により集光された光束を被照明面８に導くコンデンサレンズ７と、コンデンサレンズ７の入射側焦点位置に配置された開口絞り６を有し、コレクタレンズ３とフィールドレンズ５を介して、開口絞り６と光源２とがほぼ共役な位置関係にある照明光学系において、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子１１が略平行光束に変換された光路中に配置される構成を備える。
【選択図】図１
Description
本発明は、顕微鏡照明装置に関する。
図２１は従来一般に用いられている顕微鏡照明装置の一構成例を示す概略構成図である。
図２１に示すような従来一般の顕微鏡照明装置では、光源２と光源２から発せられる発散光を略平行光束に変換するコレクタレンズ３とを備えるランプハウス１と、被照明面８と共役な位置に配置され、照明範囲を限定する視野絞り４と、ランプハウス１からの略平行光束を集光光束へと変換するフィールドレンズ５とを有している。そして、コレクタレンズ３とフィールドレンズ５を介して、光源２をコンデンサレンズ７の入射側焦点位置に配置された開口絞り６の位置に投影する。また、開口絞り６に集光された光源１からの光を、コンデンサレンズ７を介して被照明面８である標本面へと照明するようになっている。なお、図２１中、２０はミラーである。
図２１に示したような従来一般に用いられている顕微鏡照明装置の照明光学系は、例えば、次の特許文献１に開示されている。
特開平０８−１０１３４４号公報
図２１に示すような従来一般の顕微鏡照明装置では、光源２と光源２から発せられる発散光を略平行光束に変換するコレクタレンズ３とを備えるランプハウス１と、被照明面８と共役な位置に配置され、照明範囲を限定する視野絞り４と、ランプハウス１からの略平行光束を集光光束へと変換するフィールドレンズ５とを有している。そして、コレクタレンズ３とフィールドレンズ５を介して、光源２をコンデンサレンズ７の入射側焦点位置に配置された開口絞り６の位置に投影する。また、開口絞り６に集光された光源１からの光を、コンデンサレンズ７を介して被照明面８である標本面へと照明するようになっている。なお、図２１中、２０はミラーである。
図２１に示したような従来一般に用いられている顕微鏡照明装置の照明光学系は、例えば、次の特許文献１に開示されている。
ところで、近年、顕微鏡観察においては、デジタルカメラを介して標本の撮影をする機会が増えてきている。しかるに、ＣＣＤやＣＭＯＳ等のセンサを用いたデジタルカメラは、人間の直接的な目視による観察や銀塩フィルムカメラによる写真撮影に比べて、明るさの変化に対して敏感である。このため、デジタルカメラによる撮影では、直接的な目視や銀塩フィルムカメラによる撮影では問題となっていなかった照明ムラも顕著に現れてしまう。従って、デジタルカメラを用いて撮影をする顕微鏡においては、照明装置に対し、照明ムラを極力なくして一様に照明する必要性が大きくなってきている。
図２１に一構成例として示した照明系はケーラー照明と呼ばれるものであり、理論上は標本に対して照明ムラのない照明を与えることができる構成となっている。しかしながら、実際には、光源が発する光線の角度方向に対する光の強度分布は、例えば図２２(a)に示すように一様ではない。このため、例えば図２１の顕微鏡照明装置におけるＡの面内での光軸からの距離に対する光の強度分布も、例えば図２２(b)に示すように一様ではなくなるため、照明ムラが生じてしまう。仮に、光源から発せられる光線の角度分布を一様にすることができれば、照明ムラのない一様な照明を得ることができるが、実際には困難である。
そこで、従来、光源が発する光線の角度分布に起因する照明ムラを改善する手段として、フライアイレンズに代表されるインテグレータを介して、光束を多数に分割して各光束により一様に照明させる手法が用いられてきている。
図２３はインテグレータを用いた顕微鏡照明装置の一従来例を示す概略構成図である。なお、図２３中、２０はミラーである。
インテグレータを用いた顕微鏡照明装置では、光源２からの発散光をコレクタレンズ３を介して略平行光束に変換してインテグレータ９に入射させる。インテグレータ９は、投影レンズ１０とフィールドレンズ５とを介してコンデンサレンズ７の入射側焦点位置に配置された開口絞り６と共役な位置関係にある。
図２３はインテグレータを用いた顕微鏡照明装置の一従来例を示す概略構成図である。なお、図２３中、２０はミラーである。
インテグレータを用いた顕微鏡照明装置では、光源２からの発散光をコレクタレンズ３を介して略平行光束に変換してインテグレータ９に入射させる。インテグレータ９は、投影レンズ１０とフィールドレンズ５とを介してコンデンサレンズ７の入射側焦点位置に配置された開口絞り６と共役な位置関係にある。
インテグレータ９に入射した光は、光軸上及びその周辺領域ともに同じ大きさの開口角で広がる。このとき、インテグレータ９とコンデンサレンズ７の入射側焦点位置は共役な位置関係にあるため、インテグレータ９の光軸上を出射した光（実線）と、その周辺領域を出射した光（点線）は、共に被照射面８の同じ範囲を照明することになる。
このため、コレクタレンズ３を介して形成された略平行光束の光量分布が一様でなくても、インテグレータ９で分割し、且つ、分割した夫々の光束を分散させることで、被照明面８では、一様な照明ムラのない照明が得られることになる。
図２３に示したようなインテグレータを用いた顕微鏡照明装置は、例えば、次の特許文献２に開示されている。
特開２００２−６２２５号公報
このため、コレクタレンズ３を介して形成された略平行光束の光量分布が一様でなくても、インテグレータ９で分割し、且つ、分割した夫々の光束を分散させることで、被照明面８では、一様な照明ムラのない照明が得られることになる。
図２３に示したようなインテグレータを用いた顕微鏡照明装置は、例えば、次の特許文献２に開示されている。
しかしながら、図２３に示したようなインテグレータを用いた顕微鏡照明装置の場合、図２１に示した顕微鏡照明装置に比べて、インテグレータ９を開口絞り６へと投影するために投影レンズ１０を加える必要がある。このため、照明光学系全体が大型化してしまう。さらに、インテグレータは、入射光線が光軸におおよそ平行な光線であることを前提として構成されている。このため、例えば、インテグレータ９への入射光線が光軸に対して角度を持った光線が存在した場合、その光線は、図２４に点線で示すように、インテグレータ９を通過するとより大きな開口角を持つことになる。開口角が大きくなると、本来必要としていた照明範囲８よりも外側を照明することになってしまう。しかるに、光源２からの光の一部は、コレクタレンズ３を介してもインテグレータ９に入射する光線が入射光軸に対して角度を持ってしまい易い。このため、図２３に示したようなインテグレータ９を用いた照明系の構成では、光量のロスが大きく照明効率の点で劣ってしまうという問題があった。
本発明は上記従来の問題点を鑑みてなされたものであり、極力簡単な構成で、効率よく、均一な照明分布を得ることが可能な顕微鏡照明装置を提供することを目的としている。
上記目的を達成するため、本発明による顕微鏡照明装置は、光源と、光源からの光を略平行光束に変換するコレクタレンズと、該略平行光束を集光するフィールドレンズと、該フィールドレンズにより集光された光束を被照明面に導くコンデンサレンズと、該コンデンサレンズの入射側焦点位置に配置された開口絞りを有し、前記コレクタレンズと前記フィールドレンズを介して、前記開口絞りと前記光源とがほぼ共役な位置関係にある照明光学系において、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子が前記略平行光束に変換された光路中に配置される構成を備えたことを特徴としている。
また、本発明の顕微鏡照明装置においては、前記光学素子が、次の条件式を満たす位置と共役な位置に配置されるのが好ましい。
但し、ｆCDは前記コンデンサレンズの焦点距離、Ｌは前記被照明面からの距離である。
但し、ｆCDは前記コンデンサレンズの焦点距離、Ｌは前記被照明面からの距離である。
また、本発明の顕微鏡照明装置においては、前記光学素子が、中心領域に入射する光線を遮断する遮蔽部と、その周辺領域に入射する光線を通過させる透過部とからなるのが好ましい。
また、本発明の顕微鏡照明装置においては、前記光学素子が、光線を一部のみ透過させる減光部からなり、前記減光部が、中心領域で透過率が最も低く、その最周辺領域で透過率が最も高い特性を有するのが好ましい。
また、本発明の顕微鏡照明装置においては、前記減光部が、中心領域からその周辺領域へかけて透過率が段階的に変化する特性を有するのが好ましい。
また、本発明の顕微鏡照明装置においては、前記光学素子が、光線を拡散する拡散部からなり、前記拡散部が、中心領域で拡散角度が最も大きく、その最周辺領域で拡散角が最も小さい特性を有するのが好ましい。
また、本発明の顕微鏡照明装置においては、前記拡散部が、中心領域からその周辺領域へかけて拡散角が段階的に変化する特性を有するのが好ましい。
また、本発明の顕微鏡照明装置においては、前記光学素子が、中心領域に入射する光線を拡散する拡散部と、その周辺領域に入射する光線の光量を減光する減光部とからなるのが好ましい。
また、本発明の顕微鏡照明装置においては、前記光学素子が、中心領域に入射する光線を拡散する拡散部と、その周辺領域に入射する光線を通過させる透過部とからなるのが好ましい。
また、本発明の顕微鏡照明装置においては、前記光学素子が、中心領域からその周辺領域へ向かうにしたがって開口が小さくなるように開口特性が分布されたオプティカルインテグレータからなるのが好ましい。
また、本発明の顕微鏡照明装置においては、前記光学素子が、中心領域に配置された、オプティカルインテグレータと、その周辺領域に配置された、光量を減光する減光部とからなるのが好ましい。
また、本発明の顕微鏡照明装置においては、さらに、前記光学素子を挿脱可能な機構を有するのが好ましい。
また、本発明の顕微鏡照明装置においては、前記光学素子が、ＬＣＤからなり、前記ＬＣＤが、中心領域で透過率が最も低く、その周辺領域で透過率が最も高くなる状態と、全面で透過率が均一となる状態とに透過率特性を可変に構成されているのが好ましい。
また、本発明の顕微鏡照明装置においては、前記光学素子が、ＤＭＤからなり、前記ＤＭＤを構成する個々の微小ミラーが、該ＤＭＤの中心領域からその周辺領域へ向かうにしたがって、前記コレクタレンズからの入射光を前記コンデンサレンズから外れる方向から前記コンデンサレンズに入る方向へ反射するように反射面の向きを制御可能に構成されているのが好ましい。
また、本発明の顕微鏡照明装置においては、前記光源部が、中心領域からその周辺領域へ向かうにしたがって、発光強度が大きくなるように構成された面発光タイプのＬＥＤ群からなり、前記光学素子が、該光源部からなるのが好ましい。
また、本発明の顕微鏡照明装置においては、前記光源部が、中心領域からその周辺領域へ向かうにしたがって、指向性が狭くなるように構成された面発光タイプのＬＥＤ群からなり、前記光学素子が、該光源部からなるのが好ましい。
また、本発明の顕微鏡照明装置においては、前記ＬＥＤ群が、該ＬＥＤ群の中心領域からその周辺領域へ向かうにしたがって、発光強度が同じ複数個の面発光ＬＥＤを密度が高くなるように配置して構成されているのが好ましい。
また、本発明の顕微鏡照明装置においては、前記ＬＥＤ群が、該ＬＥＤ群の中心領域からの周辺周囲にかけて配置された複数個のブロックからなり、前記夫々のブロックが、異なるブロック間では中心領域からその周辺領域へ向かうにしたがって発光強度が大きいＬＥＤとなり、同一ブロック内では発光強度が同じＬＥＤとなるように、複数個の面発光ＬＥＤを配置して構成されているのが好ましい。
また、本発明の顕微鏡照明装置においては、前記ＬＥＤ群が、該ＬＥＤ群の中心領域からの周辺周囲にかけて配置された複数個のブロックからなり、前記夫々のブロックごとに面発光ＬＥＤの発光強度を調整することができるようにするのが好ましい。
また、本発明の顕微鏡照明装置においては、前記ＬＥＤ群が、該ＬＥＤ群の中心領域からの周辺周囲にかけて配置された複数個のブロックからなり、前記夫々のブロックが、異なるブロック間では中心領域からその周辺領域へ向かうにしたがって指向性が狭いＬＥＤとなり、同一ブロック内では指向性が同じＬＥＤとなるように、複数個の面発光ＬＥＤを配置して構成されているのが好ましい。
また、本発明の顕微鏡照明装置においては、更に、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する第２の光学素子を、前記コンデンサレンズの入射側焦点位置に配置される構成を備えるのが好ましい。
また、本発明の顕微鏡照明装置においては、前記第２の光学素子が、光線を一部のみ透過させる第２の減光部からなり、前記第２の減光部が、中心領域で透過率が最も高く、その最周辺領域で透過率が最も低い特性を有するのが好ましい。
また、本発明の顕微鏡照明装置においては、前記第２の減光部が、中心領域からその周辺領域へかけて透過率が段階的に変化する特性を有するのが好ましい。
本発明によれば、極力簡単な構成で、効率よく、均一な照明分布を得ることが可能な顕微鏡照明装置が得られる。
実施形態の説明に先立ち、本発明の顕微鏡照明装置のより具体的な作用効果を説明する。
本発明の顕微鏡照明装置では、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子を配置する構成を備えている。そして、この光学素子を、特に、中心領域に入射する光線を遮蔽、減光、又は拡散させるように構成している。このようにすれば、被照明面において、光軸領域の照明強度を落として一様な照明を得ることができる。
本発明の顕微鏡照明装置では、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子を配置する構成を備えている。そして、この光学素子を、特に、中心領域に入射する光線を遮蔽、減光、又は拡散させるように構成している。このようにすれば、被照明面において、光軸領域の照明強度を落として一様な照明を得ることができる。
また、本発明の顕微鏡照明装置では、光源とコンデンサレンズの入射側焦点位置とが共役な位置関係となる構成において、一様な照明を得るための上記光学素子を、平行光束の光路に配置するように構成としている。このようにすれば、図２３に示したような、投影レンズ１０を配置し、投影レンズ１０とフィールドレンズ５とを介してインテグレータ９をコンデンサレンズ７の入射側焦点位置と共役な位置関係となるように構成された照明光学系に比べて、投影レンズ１０を配置しない分、照明光学系の全長を短縮化し、小型化することができる。
なお、本発明の顕微鏡照明装置では、中心領域を通る光軸上の光線を遮蔽、減光、又は拡散させるため、被照明面における全体の照明光量が低下することになる。しかし、本発明の顕微鏡照明装置によれば、図２３に示したような、全面に均一な開口のインテグレータ９を介して光束を分割する構成に比べて、所望の照明範囲の外側を照明する光量のロスを極力抑えて、効率よく一様な照明を得ることができる。
また、本発明の顕微鏡照明装置では、前記光学素子を、次の条件式(1)を満たす位置と共役な位置に配置させるのが好ましい。
但し、ｆCDは前記コンデンサレンズの焦点距離、Ｌは前記被照明面からの距離である。
条件式(1)の下限値が０．０３を下回ると、コンデンサレンズの焦点距離が被照明面に近づき過ぎる。このため、条件式(1)の下限値が０．０３を下回る位置と共役な位置に、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子を配置させた場合、その光学素子のゴミ、傷等が撮像面に写りこんでしまう。
一方、条件式(1)の上限値が０．４を上回ると、コンデンサレンズの焦点距離が被照明面から遠くに離れすぎてしまう。このため、条件式(1)の上限値が０．４を上回る位置と共役な位置に、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子を挿入しても、照明ムラをなくして一様な照明にする作用が得られない。
但し、ｆCDは前記コンデンサレンズの焦点距離、Ｌは前記被照明面からの距離である。
条件式(1)の下限値が０．０３を下回ると、コンデンサレンズの焦点距離が被照明面に近づき過ぎる。このため、条件式(1)の下限値が０．０３を下回る位置と共役な位置に、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子を配置させた場合、その光学素子のゴミ、傷等が撮像面に写りこんでしまう。
一方、条件式(1)の上限値が０．４を上回ると、コンデンサレンズの焦点距離が被照明面から遠くに離れすぎてしまう。このため、条件式(1)の上限値が０．４を上回る位置と共役な位置に、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子を挿入しても、照明ムラをなくして一様な照明にする作用が得られない。
図１は後述する本発明の第１〜第１１実施形態にかかる顕微鏡照明装置に共通の構成を示す概略構成図である。
本発明の第１〜第１１実施形態の顕微鏡照明装置は、光源２と光源２から発せられる発散光を略平行光束に変換するコレクタレンズ３とを備えるランプハウス１と、コレクタレンズを介して返還された略平行光束を集光するフィールドレンズ５と、フィールドレンズ５により集光された光束を被照明面８に導くコンデンサレンズ７と、コンデンサレンズ７の入射側焦点位置に配置された開口絞り６を有し、コレクタレンズ３とフィールドレンズ５を介して、開口絞り６と光源２とがほぼ共役な位置関係にある照明光学系において、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子１１が、略平行光束に変換された光路中に配置される構成を備えている。なお、図１中、２０はミラーである。
また、光学素子１１は、次の条件式(1)を満たす位置と共役な位置に配置される。
但し、ｆCDはコンデンサレンズ７の焦点距離、Ｌは被照明面８からの距離である。
本発明の第１〜第１１実施形態の顕微鏡照明装置は、光源２と光源２から発せられる発散光を略平行光束に変換するコレクタレンズ３とを備えるランプハウス１と、コレクタレンズを介して返還された略平行光束を集光するフィールドレンズ５と、フィールドレンズ５により集光された光束を被照明面８に導くコンデンサレンズ７と、コンデンサレンズ７の入射側焦点位置に配置された開口絞り６を有し、コレクタレンズ３とフィールドレンズ５を介して、開口絞り６と光源２とがほぼ共役な位置関係にある照明光学系において、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子１１が、略平行光束に変換された光路中に配置される構成を備えている。なお、図１中、２０はミラーである。
また、光学素子１１は、次の条件式(1)を満たす位置と共役な位置に配置される。
但し、ｆCDはコンデンサレンズ７の焦点距離、Ｌは被照明面８からの距離である。
このように構成された本発明の各実施形態の顕微鏡照明装置では、光源２から発せられた発散光は、コレクタレンズ３を介して平行光束に変換されて、光学素子１１に入射する。光学素子１１を通過した光は、ミラー２０で反射され、フィールドレンズ５を介して開口絞り６位置で集光された後、コンデンサレンズ７を介して被照明面８を照射する。
このとき、本発明の顕微鏡照明装置では、光学素子１１が中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する。このため、本発明の各実施形態の顕微鏡照明装置における光学素子１１を、周辺領域に入射する光線が通過する光量に比べて中心領域に入射する光線が通過する光量が落ちるように構成することで、被照明面８において光軸領域の照明強度が落ちて均一な照明光を得ることが可能になる。
このとき、本発明の顕微鏡照明装置では、光学素子１１が中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する。このため、本発明の各実施形態の顕微鏡照明装置における光学素子１１を、周辺領域に入射する光線が通過する光量に比べて中心領域に入射する光線が通過する光量が落ちるように構成することで、被照明面８において光軸領域の照明強度が落ちて均一な照明光を得ることが可能になる。
また、本発明の各実施形態の顕微鏡照明装置では、光学素子１１を上記条件式(1)を満たす位置と共役な位置に配置される構成としたので、コンデンサレンズ７の焦点距離が被照明面に近づき過ぎず、光学素子１１にゴミ、傷等があったとしても写りこむことがない。また、コンデンサレンズ７の焦点距離が被照明面より遠く離れすぎることもないので、光学素子１１を挿入することによって、均一な照明光にする作用が十分に得られる。
（第１実施形態）
図２は本発明の第１実施形態にかかる顕微鏡照明装置に用いる、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子１１の説明図であり、(a)は側面図、(b)は正面図である。
第１実施形態の顕微鏡照明装置では、光学素子１１は、中心領域に入射する光線を遮断する遮蔽部１２と、その周辺領域に入射する光線を通過させる透過部１３とで構成されている。
遮蔽部１２は、円形状の遮蔽板で構成されている。そして、遮蔽部１２は、遮蔽部１２よりも径の大きな円形状の透明な平行平板に同軸配置されている。透過部１３は、遮蔽部１２よりも径の大きな円形状の透明な平行平板における、同軸配置された遮蔽部１２の領域を除いた環状部分で構成されている。
その他の構成は、図１に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
図２は本発明の第１実施形態にかかる顕微鏡照明装置に用いる、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子１１の説明図であり、(a)は側面図、(b)は正面図である。
第１実施形態の顕微鏡照明装置では、光学素子１１は、中心領域に入射する光線を遮断する遮蔽部１２と、その周辺領域に入射する光線を通過させる透過部１３とで構成されている。
遮蔽部１２は、円形状の遮蔽板で構成されている。そして、遮蔽部１２は、遮蔽部１２よりも径の大きな円形状の透明な平行平板に同軸配置されている。透過部１３は、遮蔽部１２よりも径の大きな円形状の透明な平行平板における、同軸配置された遮蔽部１２の領域を除いた環状部分で構成されている。
その他の構成は、図１に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
このように構成された第１実施形態の顕微鏡照明装置によれば、コレクタレンズ３からの光が光学素子１１に入射したときに、光学素子１１が、遮蔽部１２を介して中心領域に入射する光線を遮断し、透過部１３を介して周辺領域に入射する光線のみを通過させるので、被照明面８において光軸領域の照明強度が相対的に落ち、その結果として被照明面８の全領域において均一な照明光を得ることができる。
その他の作用効果は、図１に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
その他の作用効果は、図１に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
（第２実施形態）
図３は本発明の第２実施形態にかかる顕微鏡照明装置に用いる、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子１１の説明図であり、(a)は正面図、(b)は光軸からの距離に対する透過率特性を示すグラフである。
第２実施形態の顕微鏡照明装置では、光学素子１１は、光線を一部のみ透過させる減光部１４で構成されている。減光部１４は、図３(b)に示すように、中心領域（即ち、光軸からの距離が最も近い位置）で透過率が最も低く、その最周辺領域（即ち、光軸からの距離が最も遠い位置）で透過率が最も高い特性を有している。また、減光部１４は、中心領域からその周辺領域へかけて透過率が段階的に変化するように構成されている。
その他の構成は、図１に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
図３は本発明の第２実施形態にかかる顕微鏡照明装置に用いる、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子１１の説明図であり、(a)は正面図、(b)は光軸からの距離に対する透過率特性を示すグラフである。
第２実施形態の顕微鏡照明装置では、光学素子１１は、光線を一部のみ透過させる減光部１４で構成されている。減光部１４は、図３(b)に示すように、中心領域（即ち、光軸からの距離が最も近い位置）で透過率が最も低く、その最周辺領域（即ち、光軸からの距離が最も遠い位置）で透過率が最も高い特性を有している。また、減光部１４は、中心領域からその周辺領域へかけて透過率が段階的に変化するように構成されている。
その他の構成は、図１に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
このように構成された第２実施形態の顕微鏡照明装置によれば、コレクタレンズ３からの光が光学素子１１に入射したときに、光学素子１１が、減光部１４を介して中心領域に入射する光線の透過率が低く、その周辺領域に入射する光線の透過率が高くなるようにしたので、被照明面８において光軸領域の照明強度が相対的に落ち、その結果として被照明面８の全領域において均一な照明光を得ることができる。
その他の作用効果は、図１に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
その他の作用効果は、図１に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
（第３実施形態）
図４は本発明の第３実施形態にかかる顕微鏡照明装置に用いる、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子１１の説明図であり、(a)は正面図、(b)は光軸からの距離に対する透過率特性を示すグラフである。
第３実施形態の顕微鏡照明装置では、光学素子１１は、光線を一部のみ透過させる減光部１４’で構成されている。減光部１４’は、図４(b)に示すように、中心領域（即ち、光軸からの距離が最も近い位置）で透過率が最も低く、その最周辺領域（即ち、光軸からの距離が最も遠い位置）で透過率が最も高い特性を有している。また、減光部１４’は、中心部からその周辺領域へかけて透過率がなだらかに変化するように構成されている。
その他の構成は、図１に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
図４は本発明の第３実施形態にかかる顕微鏡照明装置に用いる、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子１１の説明図であり、(a)は正面図、(b)は光軸からの距離に対する透過率特性を示すグラフである。
第３実施形態の顕微鏡照明装置では、光学素子１１は、光線を一部のみ透過させる減光部１４’で構成されている。減光部１４’は、図４(b)に示すように、中心領域（即ち、光軸からの距離が最も近い位置）で透過率が最も低く、その最周辺領域（即ち、光軸からの距離が最も遠い位置）で透過率が最も高い特性を有している。また、減光部１４’は、中心部からその周辺領域へかけて透過率がなだらかに変化するように構成されている。
その他の構成は、図１に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
このように構成された第３実施形態の顕微鏡照明装置によれば、第２実施形態の顕微鏡照明装置と同様、コレクタレンズ３からの光が光学素子１１に入射したときに、光学素子１１が、減光部１４’を介して中心領域に入射する光線の透過率が低く、その周辺領域に入射する光線の透過率が高くなるようにしたので、被照明面８において光軸領域の照明強度が相対的に落ち、その結果として被照明面８の全領域において均一な照明光を得ることができる。
また、第３実施形態の顕微鏡照明装置によれば、光学素子１１を構成する減光部１４’を、中心領域からその周辺部へかけて透過率がなだらかに変化するように構成したので、より均一な照明光を得ることができる。
その他の作用効果は、図１に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
また、第３実施形態の顕微鏡照明装置によれば、光学素子１１を構成する減光部１４’を、中心領域からその周辺部へかけて透過率がなだらかに変化するように構成したので、より均一な照明光を得ることができる。
その他の作用効果は、図１に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
（第４実施形態）
図５は本発明の第４実施形態にかかる顕微鏡照明装置に用いる、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子１１の説明図であり、(a)は側面図、(b)は正面図である。
第４実施形態の顕微鏡照明装置では、光学素子１１は、中心領域に入射する光線を拡散する拡散部１５と、その周辺領域に入射する光線を通過させる透過部１３とで構成されている。
拡散部１５は、円形状の拡散板で構成されている。そして、拡散部１５は、拡散部１５よりも径の大きな円形状の透明な平行平板に同軸配置されている。透過部１３は、拡散部１５よりも径の大きな円形状の透明な平行平板における、同軸配置された拡散部１５の領域を除いた環状部分で構成されている。
その他の構成は、図１に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
図５は本発明の第４実施形態にかかる顕微鏡照明装置に用いる、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子１１の説明図であり、(a)は側面図、(b)は正面図である。
第４実施形態の顕微鏡照明装置では、光学素子１１は、中心領域に入射する光線を拡散する拡散部１５と、その周辺領域に入射する光線を通過させる透過部１３とで構成されている。
拡散部１５は、円形状の拡散板で構成されている。そして、拡散部１５は、拡散部１５よりも径の大きな円形状の透明な平行平板に同軸配置されている。透過部１３は、拡散部１５よりも径の大きな円形状の透明な平行平板における、同軸配置された拡散部１５の領域を除いた環状部分で構成されている。
その他の構成は、図１に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
このように構成された第４実施形態の顕微鏡照明装置によれば、コレクタレンズ３からの光が光学素子１１に入射したときに、光学素子１１が、拡散部１５を介して中心領域に入射する光線を拡散して通過する光量を低減し、透過部１３を介して周辺領域に入射する光線をそのまま通過させるので、被照明面８において光軸領域の照明強度が相対的に落ち、その結果として被照明面８の全領域において均一な照明光を得ることができる。
その他の作用効果は、図１に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
その他の作用効果は、図１に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
（第５実施形態）
図６は本発明の第５実施形態にかかる顕微鏡照明装置に用いる、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子１１の説明図であり、(a)は正面図、(b)は光軸からの距離に対する拡散角の半減値を示すグラフである。
第５実施形態の顕微鏡照明装置では、光学素子１１は、光線を拡散する拡散部１５’で構成されている。拡散部１５’は、図６(b)に示すように、中心領域（即ち、光軸からの距離が最も近い位置）で拡散角度が最も大きく、その最周辺領域（即ち、光軸からの距離が最も遠い位置）で拡散角度が最も小さい特性を有している。また、拡散部１５’は、中心領域からその周辺領域へかけて拡散角度が段階的に変化するように構成されている。
その他の構成は、図１に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
図６は本発明の第５実施形態にかかる顕微鏡照明装置に用いる、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子１１の説明図であり、(a)は正面図、(b)は光軸からの距離に対する拡散角の半減値を示すグラフである。
第５実施形態の顕微鏡照明装置では、光学素子１１は、光線を拡散する拡散部１５’で構成されている。拡散部１５’は、図６(b)に示すように、中心領域（即ち、光軸からの距離が最も近い位置）で拡散角度が最も大きく、その最周辺領域（即ち、光軸からの距離が最も遠い位置）で拡散角度が最も小さい特性を有している。また、拡散部１５’は、中心領域からその周辺領域へかけて拡散角度が段階的に変化するように構成されている。
その他の構成は、図１に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
このように構成された第５実施形態の顕微鏡照明装置によれば、コレクタレンズ３からの光が光学素子１１に入射したときに、光学素子１１が、拡散部１５’を介して中心領域に入射する光線の拡散角度を大きくして光軸の周囲に光線を向かわせるとともに、その周辺領域に入射する光線の拡散角度を小さくしてほぼそのまま光線を通過させるので、被照明面８において光軸領域の照明強度が相対的に落ち、その結果として被照明面８の全領域において均一な照明光を得ることができる。
その他の作用効果は、図１に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
その他の作用効果は、図１に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
（第６実施形態）
図７は本発明の第６実施形態にかかる顕微鏡照明装置に用いる、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子１１の説明図であり、(a)は正面図、(b)は光軸からの距離に対する拡散角の半減値を示すグラフである。
第６実施形態の顕微鏡照明装置では、光学素子１１は、光線を拡散する拡散部１５”で構成されている。拡散部１５”は、図７(b)に示すように、中心領域（即ち、光軸からの距離が最も近い位置）で拡散角度が最も大きく、その最周辺領域（即ち、光軸からの距離が最も遠い位置）で拡散角度が最も小さい特性を有している。また、拡散部１５”は、中心領域からその周辺領域へかけて拡散角度がなだらかに変化するように構成されている。
その他の構成は、図１に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
図７は本発明の第６実施形態にかかる顕微鏡照明装置に用いる、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子１１の説明図であり、(a)は正面図、(b)は光軸からの距離に対する拡散角の半減値を示すグラフである。
第６実施形態の顕微鏡照明装置では、光学素子１１は、光線を拡散する拡散部１５”で構成されている。拡散部１５”は、図７(b)に示すように、中心領域（即ち、光軸からの距離が最も近い位置）で拡散角度が最も大きく、その最周辺領域（即ち、光軸からの距離が最も遠い位置）で拡散角度が最も小さい特性を有している。また、拡散部１５”は、中心領域からその周辺領域へかけて拡散角度がなだらかに変化するように構成されている。
その他の構成は、図１に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
このように構成された第５実施形態の顕微鏡照明装置によれば、第４実施形態の顕微鏡照明装置と同様、コレクタレンズ３からの光が光学素子１１に入射したときに、光学素子１１が、拡散部１５”を介して中心領域に入射する光線の拡散角度を大きくして光軸の周囲に光線を向かわせるとともに、その周辺領域に入射する光線の拡散角度を小さくしてほぼそのまま光線を通過させるので、被照明面８において光軸領域の照明強度が相対的に落ち、その結果として被照明面８の全領域において均一な照明光を得ることができる。
また、第５実施形態の顕微鏡照明装置によれば、光学素子１１を構成する拡散部１５”を、中心領域からその周辺領域へかけて拡散角度がなだらかに変化するように構成したので、より均一な照明光を得ることができる。
その他の作用効果は、図１に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
また、第５実施形態の顕微鏡照明装置によれば、光学素子１１を構成する拡散部１５”を、中心領域からその周辺領域へかけて拡散角度がなだらかに変化するように構成したので、より均一な照明光を得ることができる。
その他の作用効果は、図１に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
（第７実施形態）
図８は本発明の第７実施形態にかかる顕微鏡照明装置に用いる、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子１１の説明図であり、(a)は側面図、(b)は正面図である。
第７実施形態の顕微鏡照明装置では、光学素子１１は、中心領域に入射する光線を拡散する拡散部１５”’と、その周辺領域に入射する光線の光量を減光する減光部１４”とで構成されている。
拡散部１５”’は、円形状の拡散板で構成されている。また、減光部１４”は、拡散部１５”’の外周を覆う所定幅の円環状に形成されている。
そして、拡散部１５”’と減光部１４”は、互いに嵌合されている。
また、減光部１４”の減光量は極力低く抑えられている。
その他の構成は、図１に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
図８は本発明の第７実施形態にかかる顕微鏡照明装置に用いる、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子１１の説明図であり、(a)は側面図、(b)は正面図である。
第７実施形態の顕微鏡照明装置では、光学素子１１は、中心領域に入射する光線を拡散する拡散部１５”’と、その周辺領域に入射する光線の光量を減光する減光部１４”とで構成されている。
拡散部１５”’は、円形状の拡散板で構成されている。また、減光部１４”は、拡散部１５”’の外周を覆う所定幅の円環状に形成されている。
そして、拡散部１５”’と減光部１４”は、互いに嵌合されている。
また、減光部１４”の減光量は極力低く抑えられている。
その他の構成は、図１に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
このように構成された第３実施形態の顕微鏡照明装置によれば、コレクタレンズ３からの光が光学素子１１に入射したときに、光学素子１１が、拡散部１５”’を介して中心領域に入射する光線を拡散して通過する光量を低減し、減光部１４”を介して周辺領域に入射する光線の減光率を極力低くして光線をほぼそのまま通過させるので、被照明面８において光軸領域の照明強度が相対的に落ち、その結果として被照明面８の全領域において均一な照明光を得ることができる。
その他の作用効果は、図１に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
その他の作用効果は、図１に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
（第８実施形態）
図９は本発明の第８実施形態にかかる顕微鏡照明装置に用いる、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子１１の説明図であり、(a)は側面図、(b)は正面図である。図１０は第８実施形態にかかる顕微鏡照明装置の概略構成及び光線の状態を示す説明図である。
第８実施形態の顕微鏡照明装置では、光学素子１１は、中心領域からその周辺領域へ向かうにしたがって開口が小さくなるように開口特性が分布されたオプティカルインテグレータ１６で構成されている。
その他の構成は、図１に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
図９は本発明の第８実施形態にかかる顕微鏡照明装置に用いる、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子１１の説明図であり、(a)は側面図、(b)は正面図である。図１０は第８実施形態にかかる顕微鏡照明装置の概略構成及び光線の状態を示す説明図である。
第８実施形態の顕微鏡照明装置では、光学素子１１は、中心領域からその周辺領域へ向かうにしたがって開口が小さくなるように開口特性が分布されたオプティカルインテグレータ１６で構成されている。
その他の構成は、図１に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
このように構成された第８実施形態の顕微鏡照明装置によれば、コレクタレンズ３からの光が光学素子１１であるオプティカルインテグレータ１６に入射したときに、オプティカルインテグレータ１６の中心領域では大きな開口を介して、拡散作用が強く働いて、中心領域の周辺に光が分散される。このため、オプティカルインレグレータ１６の中心領域を通過した光は、実線で示すように、より大きな開口角を持つことになり、本来照明する範囲である視野の中心部付近よりもより広い範囲（被照明範囲８内における周辺領域に及ぶ範囲）を照明する光へと変換される。
一方、オプティカルインテグレータ１６の周辺領域では小さな開口を介して、拡散作用が弱められて、光の分散が抑えられる。このため、オプティカルインレグレータ１６の周辺領域を通過した光は、点線で示すように、開口角は小さいままであり、視野周辺部のみ（被照明範囲８内における周辺領域のみ）を照明する。
このように、第８実施形態の顕微鏡照明装置によれば、オプティカルインテグレータ１６の特性により、オプティカルインテグレータ１６に入射する光のうち、光量の強い光軸上（即ち、オプティカルインテグレータ１６の中心領域）に入射する光線を被照射面８のより広い範囲に照明し、光量の弱いオプティカルインテグレータ１６の周辺領域に入射する光線を被照射面８の周辺部のみへ照明することになる。
このため、第８実施形態の顕微鏡照明装置によれば、被照明面８において光軸領域の照明強度が相対的に落ち、その結果として被照明面８の全領域において均一な照明光を得ることができる。しかも、図２３に示したような、中心領域からその周辺領域にかけて全面に均一な開口のインテグレータ９を介して光束を分割する構成に比べて、所望の照明範囲の外側を照明する光量のロスを極力抑えて、効率よく一様な照明を得ることができる。
このため、第８実施形態の顕微鏡照明装置によれば、被照明面８において光軸領域の照明強度が相対的に落ち、その結果として被照明面８の全領域において均一な照明光を得ることができる。しかも、図２３に示したような、中心領域からその周辺領域にかけて全面に均一な開口のインテグレータ９を介して光束を分割する構成に比べて、所望の照明範囲の外側を照明する光量のロスを極力抑えて、効率よく一様な照明を得ることができる。
また、第８実施形態の顕微鏡照明装置では、オプティクルインテグレータ１６は光学素子１１として、光源とコンデンサレンズの入射側焦点位置とが共役な位置関係となる構成において、平行光束の光路に配置しており、図２３に示したような投影レンズ１０は配置しない構成となっている。
このため、第８実施形態の顕微鏡照明装置によれば、インレグレータレンズを用いながらも、図２３に示したような投影レンズ１０を配置した構成の照明光学系に比べて、投影レンズ１０を配置しない分、照明光学系の全長を短縮化し、小型化することができる。
その他の作用効果は、図１に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
このため、第８実施形態の顕微鏡照明装置によれば、インレグレータレンズを用いながらも、図２３に示したような投影レンズ１０を配置した構成の照明光学系に比べて、投影レンズ１０を配置しない分、照明光学系の全長を短縮化し、小型化することができる。
その他の作用効果は、図１に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
（第９実施形態）
図１１は本発明の第９実施形態にかかる顕微鏡照明装置に用いる、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子１１の説明図であり、(a)は側面図、(b)は正面図である。
第９実施形態の顕微鏡照明装置では、光学素子１１は、中心領域に配置された、オプティカルインテグレータ１６’と、その周辺領域に配置された、光量を減光する減光部１４”’とで構成されている。
その他の構成は、図１に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
図１１は本発明の第９実施形態にかかる顕微鏡照明装置に用いる、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子１１の説明図であり、(a)は側面図、(b)は正面図である。
第９実施形態の顕微鏡照明装置では、光学素子１１は、中心領域に配置された、オプティカルインテグレータ１６’と、その周辺領域に配置された、光量を減光する減光部１４”’とで構成されている。
その他の構成は、図１に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
このように構成された第９実施形態の顕微鏡照明装置によれば、コレクタレンズ３からの光が光学素子１１に入射したときに、光学素子１１が、オプティカルインテグレータ１６’を介して中心領域に入射する光線を拡散して通過する光量を低減し、減光部１４”’を介して周辺領域に入射する光線の減光率を極力低くして光線をほぼそのまま通過させるので、被照明面８において光軸領域の照明強度が相対的に落ち、その結果として被照明面８の全領域において均一な照明光を得ることができる。しかも、図２３に示したような、全面に均一な開口のインテグレータ９を介して光束を分割する構成に比べて、所望の照明範囲の外側を照明する光量のロスを極力抑えて、効率よく一様な照明を得ることができる。
また、第９実施形態の顕微鏡照明装置では、オプティクルインテグレータ１６’は光学素子１１として、光源とコンデンサレンズの入射側焦点位置とが共役な位置関係となる構成において、平行光束の光路に配置しており、図２３に示したような投影レンズ１０は配置しない構成となっている。
このため、第９実施形態の顕微鏡照明装置によれば、インレグレータレンズを用いながらも、図２３に示したような投影レンズ１０を配置した構成の照明光学系に比べて、投影レンズ１０を配置しない分、照明光学系の全長を短縮化し、小型化することができる。
その他の作用効果は、図１に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
このため、第９実施形態の顕微鏡照明装置によれば、インレグレータレンズを用いながらも、図２３に示したような投影レンズ１０を配置した構成の照明光学系に比べて、投影レンズ１０を配置しない分、照明光学系の全長を短縮化し、小型化することができる。
その他の作用効果は、図１に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
なお、上記第１〜第９実施形態の顕微鏡照明装置においては、光学素子１１は、光路に挿脱可能に構成するのが好ましい。
顕微鏡での撮影において、対物レンズが高倍率の場合など、対物レンズの構成によってはデジタルレンズで撮影しても、照明光のムラが顕著に現れないことがある。また、デジタルレンズで撮影しない場合もある。このような場合には、被照明面において照明光を均一化させる必要がなく、光学素子１１が不要な場合がある。そのような場合に、光学素子１１を光路から外すことができれば、光学素子１１を介して低減されていた光量分の明るさが増加した照明光が得られる。
顕微鏡での撮影において、対物レンズが高倍率の場合など、対物レンズの構成によってはデジタルレンズで撮影しても、照明光のムラが顕著に現れないことがある。また、デジタルレンズで撮影しない場合もある。このような場合には、被照明面において照明光を均一化させる必要がなく、光学素子１１が不要な場合がある。そのような場合に、光学素子１１を光路から外すことができれば、光学素子１１を介して低減されていた光量分の明るさが増加した照明光が得られる。
（第１０実施形態）
図１２は本発明の第１０実施形態にかかる顕微鏡照明装置に用いる、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子１１の説明図であり、(a)は正面図、(b)は光軸からの距離に対する透過率特性を示すグラフである。
第１０実施形態の顕微鏡照明装置では、光学素子１１は、ＬＣＤ１７で構成されている。ＬＣＤは、中心領域で透過率が最も低く、その周辺領域で透過率が最も高くなる状態と、全面で透過率が均一となる状態とに透過率特性を可変に構成されている。
透過率特性の変更は、図示省略したＬＣＤ駆動手段をＯＮ／ＯＦＦ切換することによって行うように構成されている。
その他の構成は、図１に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
図１２は本発明の第１０実施形態にかかる顕微鏡照明装置に用いる、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子１１の説明図であり、(a)は正面図、(b)は光軸からの距離に対する透過率特性を示すグラフである。
第１０実施形態の顕微鏡照明装置では、光学素子１１は、ＬＣＤ１７で構成されている。ＬＣＤは、中心領域で透過率が最も低く、その周辺領域で透過率が最も高くなる状態と、全面で透過率が均一となる状態とに透過率特性を可変に構成されている。
透過率特性の変更は、図示省略したＬＣＤ駆動手段をＯＮ／ＯＦＦ切換することによって行うように構成されている。
その他の構成は、図１に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
このように構成された第１０実施形態の顕微鏡照明装置によれば、図示省略したＬＣＤ駆動手段をＯＮにした状態において、コレクタレンズ３からの光が光学素子１１に入射したときに、光学素子１１を構成するＬＣＤ１７を介して、中心領域で透過率が最も低く、その周辺領域で透過率が最も高くなるようにすることができるので、被照明面８において光軸領域の照明強度が相対的に落ち、その結果として被照明面８の全領域において均一な照明光を得ることができる。
また、図示省略したＬＣＤ駆動手段をＯＦＦにすれば、ＬＣＤ１７の全面で透過率が均一となる状態となるので、顕微鏡観察において、対物レンズが高倍率の場合や、デジタルレンズで撮影しない場合など、被照明面において照明光を均一化させる必要がない場合において、光学素子１１を光路から外すことなく、ＬＣＤ１７をＯＮしたときに低減されていた光量分の明るさが増加した照明光が得られる。
さらに、第１０実施形態の顕微鏡照明装置の構成を応用して、光学素子１１の全領域における所望の部位ごとに所望の透過率に調整可能となるように構成してもよい。そのように構成すれば、観察対象や観察手法に応じて被照明面における照明光を自在に調整することができ、顕微鏡照明の用途を広げることができる。
その他の作用効果は、図１に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
また、図示省略したＬＣＤ駆動手段をＯＦＦにすれば、ＬＣＤ１７の全面で透過率が均一となる状態となるので、顕微鏡観察において、対物レンズが高倍率の場合や、デジタルレンズで撮影しない場合など、被照明面において照明光を均一化させる必要がない場合において、光学素子１１を光路から外すことなく、ＬＣＤ１７をＯＮしたときに低減されていた光量分の明るさが増加した照明光が得られる。
さらに、第１０実施形態の顕微鏡照明装置の構成を応用して、光学素子１１の全領域における所望の部位ごとに所望の透過率に調整可能となるように構成してもよい。そのように構成すれば、観察対象や観察手法に応じて被照明面における照明光を自在に調整することができ、顕微鏡照明の用途を広げることができる。
その他の作用効果は、図１に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
（第１１実施形態）
図１３は本発明の第１１実施形態にかかる顕微鏡照明装置の概略構成図である。なお、図１３中、２０はミラーである。
第１１実施形態の顕微鏡照明装置では、光学素子１１は、ＤＭＤ１８で構成されている。
ＤＭＤ１８は、ランプハウス１からの光をコンデンサレンズ方向へ反射させる。ＤＭＤ１８を構成する個々の微小ミラーは独立して動かすことができるようになっている。そして、中心領域からその周辺領域へ向かうにしたがって、コレクタレンズ３からの入射光をコンデンサレンズ７から外れる方向からコンデンサレンズ７に入る方向へ反射するように反射面の向きを制御可能に構成されている。各微小ミラーの制御は、図示省略したＤＭＤ駆動制御手段を介して行うようになっている。そして、例えば、ＤＭＤ１８の中心領域の微小ミラーは、コレクタレンズ３からの入射光線をコンデンサレンズ７から外れる方向へ導き、ＤＭＤ１８の周辺部の微小ミラーは、コレクタレンズ３からの入射光線をコンデンサレンズ７に入る方向へ導くように、各ミラー面が制御されるようになっている。
その他の構成は、図１に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
図１３は本発明の第１１実施形態にかかる顕微鏡照明装置の概略構成図である。なお、図１３中、２０はミラーである。
第１１実施形態の顕微鏡照明装置では、光学素子１１は、ＤＭＤ１８で構成されている。
ＤＭＤ１８は、ランプハウス１からの光をコンデンサレンズ方向へ反射させる。ＤＭＤ１８を構成する個々の微小ミラーは独立して動かすことができるようになっている。そして、中心領域からその周辺領域へ向かうにしたがって、コレクタレンズ３からの入射光をコンデンサレンズ７から外れる方向からコンデンサレンズ７に入る方向へ反射するように反射面の向きを制御可能に構成されている。各微小ミラーの制御は、図示省略したＤＭＤ駆動制御手段を介して行うようになっている。そして、例えば、ＤＭＤ１８の中心領域の微小ミラーは、コレクタレンズ３からの入射光線をコンデンサレンズ７から外れる方向へ導き、ＤＭＤ１８の周辺部の微小ミラーは、コレクタレンズ３からの入射光線をコンデンサレンズ７に入る方向へ導くように、各ミラー面が制御されるようになっている。
その他の構成は、図１に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
このように構成された第１１実施形態の顕微鏡照明装置によれば、コレクタレンズ３からの光が光学素子１１に入射したときに、光学素子１１を構成するＤＭＤ１８の各微小ミラーがＤＭＤ１８の中心領域からその周辺領域へ向かうにしたがって、コレクタレンズ３からの入射光をコンデンサレンズ７から外れる方向からコンデンサレンズ７に入る方向へ反射するので、被照明面８において光軸領域の照明強度が相対的に落ち、その結果として被照明面８の全領域において均一な照明光を得ることができる。
また、第１１実施形態の顕微鏡照明装置によれば、光学素子１１を構成するＤＭＤ１８の各微小ミラーの反射面の向きを光学素子１１の全領域にわたって同じにすることができる。このため、顕微鏡観察において、対物レンズが高倍率の場合や、デジタルレンズで撮影しない場合など、被照明面において照明光を均一化させる必要がない場合において、光学素子１１を光路から外すことなく、ＤＭＤ１８の各微小ミラーの反射面の向きをＤＭＤ１８の中心領域からその周辺領域へ向かうにしたがって異ならせた場合に低減されていた光量分の明るさが増加した照明光が得られる。
さらに、第１１実施形態の顕微鏡照明装置の構成を応用して、ＤＭＤ１８の各微小ミラーの反射面の向きを光学素子１１の全領域における所望の部位ごとに所望の向きに調整可能となるように構成してもよい。観察対象や観察手法に応じて被照明面における照明光を自在に調整することができ、顕微鏡照明の用途を広げることができる。
その他の作用効果は、図１に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
また、第１１実施形態の顕微鏡照明装置によれば、光学素子１１を構成するＤＭＤ１８の各微小ミラーの反射面の向きを光学素子１１の全領域にわたって同じにすることができる。このため、顕微鏡観察において、対物レンズが高倍率の場合や、デジタルレンズで撮影しない場合など、被照明面において照明光を均一化させる必要がない場合において、光学素子１１を光路から外すことなく、ＤＭＤ１８の各微小ミラーの反射面の向きをＤＭＤ１８の中心領域からその周辺領域へ向かうにしたがって異ならせた場合に低減されていた光量分の明るさが増加した照明光が得られる。
さらに、第１１実施形態の顕微鏡照明装置の構成を応用して、ＤＭＤ１８の各微小ミラーの反射面の向きを光学素子１１の全領域における所望の部位ごとに所望の向きに調整可能となるように構成してもよい。観察対象や観察手法に応じて被照明面における照明光を自在に調整することができ、顕微鏡照明の用途を広げることができる。
その他の作用効果は、図１に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
（第１２実施形態）
図１４は本発明の第１２実施形態にかかる顕微鏡照明装置の概略構成図である。図１５は図１４に示した顕微鏡照明装置における光学素子１１’の説明図であり、(a)は正面図、(b)は光軸からの距離に対する発光強度を示すグラフである。なお、図１４中、２０はミラーである。
第１２実施形態の顕微鏡照明装置では、光学素子１１’は、面発光タイプのＬＥＤ群２１を配置して構成されている。そして、ＬＥＤ群２１で構成された光学素子１１’は、図１に示したランプハウス１と光学素子１１とを合わせた機能を備えている。
図１４は本発明の第１２実施形態にかかる顕微鏡照明装置の概略構成図である。図１５は図１４に示した顕微鏡照明装置における光学素子１１’の説明図であり、(a)は正面図、(b)は光軸からの距離に対する発光強度を示すグラフである。なお、図１４中、２０はミラーである。
第１２実施形態の顕微鏡照明装置では、光学素子１１’は、面発光タイプのＬＥＤ群２１を配置して構成されている。そして、ＬＥＤ群２１で構成された光学素子１１’は、図１に示したランプハウス１と光学素子１１とを合わせた機能を備えている。
ＬＥＤ群２１は、中心領域から周辺周囲にかけて同心円状に配置された複数個の環状のＬＥＤ群のブロック２２1〜２２nで構成されている。
夫々のブロック２２1〜２２nは、異なるブロック間では中心領域からその周辺領域へ向かうにしたがって発光強度が大きいＬＥＤとなり、同一ブロック内では発光強度が同じＬＥＤとなるように、複数個の面発光ＬＥＤ２１1〜２１nを配置して構成されている。
その他の構成は、図１に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
夫々のブロック２２1〜２２nは、異なるブロック間では中心領域からその周辺領域へ向かうにしたがって発光強度が大きいＬＥＤとなり、同一ブロック内では発光強度が同じＬＥＤとなるように、複数個の面発光ＬＥＤ２１1〜２１nを配置して構成されている。
その他の構成は、図１に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
このように構成された第１２実施形態の顕微鏡照明装置によれば、光学素子１１’が、各ＬＥＤ群のブロック２２1〜２２nにおいて、中心領域のブロックから周辺領域のブロックに向かうにしたがって発光強度が強くなるように配置された複数個の面発光ＬＥＤ２１1〜２１nを介して光を発するので、被照明面８において光軸領域の照明強度が相対的に落ち、その結果として被照明面８の全領域において均一な照明光を得ることができる。
また、第１２実施形態の顕微鏡照明装置によれば、ＬＥＤ群２１で構成された光学素子１１’で、図１に示したランプハウス１と光学素子１１とを合わせた機能を備えるので、その分、構成部材の数を簡素化することができ、コストも低減できる。
その他の作用効果は、図１に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
その他の作用効果は、図１に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
なお、図１５の例では、ＬＥＤ群２１を夫々のブロックごとに発光強度の異なるＬＥＤを配置して構成したが、発光強度が同じ複数個の面発光ＬＥＤを、夫々のブロックごとに、中心領域のブロックからその周辺領域のブロックへ向かうにしたがって、密度が高くなるように配置して構成してもよい。
又は、ＬＥＤ群２１を、例えば、図示省略した制御回路を介して、ＬＥＤ群２１の中心領域から周辺領域にかけて発光強度が大きくなるように、夫々のブロックごとに発光強度を調整することができるように制御可能に構成してもよい。
その場合は、さらに、用いる対物レンズに対応して、照明光のムラをなくすための光量調整を行なうように、夫々のブロックごとに発光強度を調整することができるようにするのが好ましい。なお、各ブロックにおける光量調整の駆動は、ＩＣ等で制御したり、調光ボリュームと連動させることで可能である。
また、さらに、図示省略した制御回路を介して夫々のブロックごとに発光強度を調整する構成を応用して、カメラの撮像状態をフィードバックさせて撮像範囲ごとに光量を異ならせるように、夫々のブロックごとのＬＥＤの発光強度に強弱をつけるようにしてもよい。
その場合は、さらに、用いる対物レンズに対応して、照明光のムラをなくすための光量調整を行なうように、夫々のブロックごとに発光強度を調整することができるようにするのが好ましい。なお、各ブロックにおける光量調整の駆動は、ＩＣ等で制御したり、調光ボリュームと連動させることで可能である。
また、さらに、図示省略した制御回路を介して夫々のブロックごとに発光強度を調整する構成を応用して、カメラの撮像状態をフィードバックさせて撮像範囲ごとに光量を異ならせるように、夫々のブロックごとのＬＥＤの発光強度に強弱をつけるようにしてもよい。
（第１３実施形態）
図１６は本発明の第１３実施形態にかかる顕微鏡照明装置に用いる、光学素子１１’の説明図であり、(a)は正面図、(b)は光軸からの距離に対する発光強度を示すグラフである。
本発明の第１３実施形態の顕微鏡照明装置は、光学素子１１’は、面発光タイプのＬＥＤ群２１’を配置して構成されている。ＬＥＤ群２１’は、複数個の面発光ＬＥＤ２１1’で構成されている。そして、ＬＥＤ群２１’で構成された光学素子１１’は、図１に示したランプハウス１と光学素子１１とを合わせた機能を備えている。
図１６は本発明の第１３実施形態にかかる顕微鏡照明装置に用いる、光学素子１１’の説明図であり、(a)は正面図、(b)は光軸からの距離に対する発光強度を示すグラフである。
本発明の第１３実施形態の顕微鏡照明装置は、光学素子１１’は、面発光タイプのＬＥＤ群２１’を配置して構成されている。ＬＥＤ群２１’は、複数個の面発光ＬＥＤ２１1’で構成されている。そして、ＬＥＤ群２１’で構成された光学素子１１’は、図１に示したランプハウス１と光学素子１１とを合わせた機能を備えている。
また、複数個の面発光ＬＥＤ２１1’は、マトリックス状に配置されている。また、マトリックス状に配置された個々の面発光ＬＥＤ２１1’は、例えば、図示省略した制御回路を介して、ＬＥＤ群２１’の中心領域から周辺領域にかけて発光強度を調整することができるように制御可能に構成されている。
その他の構成は図１４に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
その他の構成は図１４に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
このように構成された第１３実施形態の顕微鏡照明装置によれば、光学素子１１’が、図示省略した制御回路を介して、マトリックス状に配置された個々の面発光ＬＥＤ２１1’から、中心領域から周辺領域に向かうにしたがって発光強度が強くなるように、光を発するので、被照明面８において光軸領域の照明強度が相対的に落ち、その結果として被照明面８の全領域において均一な照明光を得ることができる。
また、第１３実施形態の顕微鏡照明装置によれば、ＬＥＤ群２１’で構成された光学素子１１’で、図１に示したランプハウス１と光学素子１１とを合わせた機能を備えるので、その分、構成部材の数を簡素化することができ、コストも低減できる。
その他の作用効果は、図１４に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
その他の作用効果は、図１４に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
なお、図１６の例では、ＬＥＤ群２１’を、図示省略した制御回路を介して、マトリックス状に配置された個々の面発光ＬＥＤ２１1’の発光強度が、ＬＥＤ群２１’の中心領域から周辺領域に向かうにしたがって強くなるように制御可能に構成したが、発光強度が同じ複数個の面発光ＬＥＤ２１1’を、中心領域からその周辺領域へ向かうにしたがって、密度が高くなるように配置して構成してもよい。
さらに、用いる対物レンズに対応して、照明光のムラをなくすための光量調整を行なうように、マトリックス状に配置された個々の面発光ＬＥＤ２１1’の発光強度を調整することができるようにするのが好ましい。なお、各面発光ＬＥＤ２１1’の発光強度の調整駆動は、ＩＣ等での制御や、調光ボリュームと連動させることで可能である。
また、さらに、図示省略した制御回路を介して発光強度の調整をする構成を応用して、カメラの撮像状態をフィードバックさせて撮像範囲ごとに光量を異ならせるように、各位置の面発光ＬＥＤ２１1’の発光強度に強弱をつけるようにしてもよい。
また、さらに、図示省略した制御回路を介して発光強度の調整をする構成を応用して、カメラの撮像状態をフィードバックさせて撮像範囲ごとに光量を異ならせるように、各位置の面発光ＬＥＤ２１1’の発光強度に強弱をつけるようにしてもよい。
（第１４実施形態）
図１７は本発明の第１４実施形態にかかる顕微鏡照明装置に用いる、光学素子１１’の説明図であり、(a)は正面図、(b)は中心領域に配置されるＬＥＤの指向性を示す説明図、(c)はその周辺領域に配置されるＬＥＤの指向性を示す説明図である。
本発明の第１４実施形態の顕微鏡照明装置は、光学素子１１’は、面発光タイプのＬＥＤ群２１”を配置して構成されている。そして、ＬＥＤ群２１”で構成された光学素子１１’は、図１に示したランプハウス１と光学素子１１とを合わせた機能を備えている。
図１７は本発明の第１４実施形態にかかる顕微鏡照明装置に用いる、光学素子１１’の説明図であり、(a)は正面図、(b)は中心領域に配置されるＬＥＤの指向性を示す説明図、(c)はその周辺領域に配置されるＬＥＤの指向性を示す説明図である。
本発明の第１４実施形態の顕微鏡照明装置は、光学素子１１’は、面発光タイプのＬＥＤ群２１”を配置して構成されている。そして、ＬＥＤ群２１”で構成された光学素子１１’は、図１に示したランプハウス１と光学素子１１とを合わせた機能を備えている。
ＬＥＤ群２１”は、中心領域から周辺周囲にかけて同心円状に配置された２個の環状のＬＥＤ群のブロック２２1’，２２2’で構成されている。
ブロック２２1’には、複数個の面発光ＬＥＤ２１1”が配置され、ブロック２２1’には、複数個の面発光ＬＥＤ２１2”が配置されている。面発光ＬＥＤ２１1”は、指向性が広いＬＥＤとして構成され、面発光ＬＥＤ２１2”は、指向性が狭いＬＥＤとして構成されている。
その他の構成は、図１４に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
ブロック２２1’には、複数個の面発光ＬＥＤ２１1”が配置され、ブロック２２1’には、複数個の面発光ＬＥＤ２１2”が配置されている。面発光ＬＥＤ２１1”は、指向性が広いＬＥＤとして構成され、面発光ＬＥＤ２１2”は、指向性が狭いＬＥＤとして構成されている。
その他の構成は、図１４に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
このように構成された第１４実施形態の顕微鏡照明装置によれば、中心領域のブロック２２1’に配置された複数個の面発光ＬＥＤ２１1”が、指向性が広いため、拡散した光を発するとともに、周辺領域のブロック２２2’に配置された複数個の面発光２１2”が、指向性が狭いため、ほとんど拡散させないで光を発する。このため、被照明面８において光軸領域の照明強度が相対的に落ち、その結果として被照明面８の全領域において均一な照明光を得ることができる。
また、第１４実施形態の顕微鏡照明装置によれば、ＬＥＤ群２１”で構成された光学素子１１’で、図１に示したランプハウス１と光学素子１１とを合わせた機能を備えるので、その分、構成部材の数を簡素化することができ、コストも低減できる。
その他の作用効果は、図１４に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
その他の作用効果は、図１４に示した顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
なお、図１７の例では、ＬＥＤ群２１”を構成するブロックの個数を２個としたが、それ以上の複数個で構成し、それぞれのブロックにおいて、異なるブロック間では中心領域からその周辺領域へ向かうにしたがって指向性が狭いＬＥＤとなり、同一ブロック内では指向性が同じＬＥＤとなるように、指向性の異なる面発光ＬＥＤを配置しても良い。
（第１５実施形態）
図１８は本発明の第１５実施形態にかかる顕微鏡照明装置の概略構成を示すとともに、第２の光学素子２３による作用を示す説明図である。図１９は図１８に示した顕微鏡照明装置における第２の光学素子２３の説明図であり、(a)は正面図、(b)は光軸からの距離に対する発光強度を示すグラフである。図２０は図１８に示した顕微鏡照明装置における光学素子１１による作用を示す説明図である。なお、図１９中、２０はミラーである。
第１５実施形態の顕微鏡照明装置は、第１〜第１１実施形態の顕微鏡照明装置として構成された図１の顕微鏡照明装置の構成に加えて、更に、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する第２の光学素子２３を、コンデンサレンズ７の入射側焦点位置（即ち、入射瞳面上）に配置される構成を備えている。
第２の光学素子２３は、光線を一部のみ透過させる第２の減光部２４で構成されている。第２の減光部２４は、図１９(b)に示すように、中心領域（即ち、光軸からの距離が最も近い位置）で透過率が最も高く、その最周辺領域（即ち、光軸からの距離が最も遠い位置）で透過率が最も低い特性を有している。また、第２の減光部２４は、中心領域からその周辺領域へかけて透過率が段階的に変化するように構成されている。
その他の構成は、図１に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
図１８は本発明の第１５実施形態にかかる顕微鏡照明装置の概略構成を示すとともに、第２の光学素子２３による作用を示す説明図である。図１９は図１８に示した顕微鏡照明装置における第２の光学素子２３の説明図であり、(a)は正面図、(b)は光軸からの距離に対する発光強度を示すグラフである。図２０は図１８に示した顕微鏡照明装置における光学素子１１による作用を示す説明図である。なお、図１９中、２０はミラーである。
第１５実施形態の顕微鏡照明装置は、第１〜第１１実施形態の顕微鏡照明装置として構成された図１の顕微鏡照明装置の構成に加えて、更に、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する第２の光学素子２３を、コンデンサレンズ７の入射側焦点位置（即ち、入射瞳面上）に配置される構成を備えている。
第２の光学素子２３は、光線を一部のみ透過させる第２の減光部２４で構成されている。第２の減光部２４は、図１９(b)に示すように、中心領域（即ち、光軸からの距離が最も近い位置）で透過率が最も高く、その最周辺領域（即ち、光軸からの距離が最も遠い位置）で透過率が最も低い特性を有している。また、第２の減光部２４は、中心領域からその周辺領域へかけて透過率が段階的に変化するように構成されている。
その他の構成は、図１に示した顕微鏡照明装置とほぼ同じである。
上述したように、本発明の各実施形態の顕微鏡照明装置では、光学素子１１を介して被照明面８において、光軸領域の照明強度を落として一様な照明を得ることができるように構成されている。ここで、光学素子１１は光軸上の透過率が最も低く、周辺部が最も透過率が高くなるような特性を有している。コンデンサレンズ７の入射側瞳位置６は光学素子１１と共役な位置に配置されるわけではないものの、コンデンサレンズ７の入射瞳位置６の中心を照明する光線は、図１８に実線で示すように、光学素子１１の中心領域を通過し、コンデンサレンズ７の入射瞳位置６の周辺を照明する光線は、図１８に破線で示すように、光学素子１１の中心領域から外側にずれた位置を通過して来ている。このため、光学素子１１の特性に起因して、コンデンサレンズ７の入射瞳位置６での強度分布が不均一になる。
しかるに、第１５実施形態の顕微鏡照明装置では、コンデンサレンズ７の入射瞳位置６に、光軸上（中心領域）が最も透過率が高く、周辺領域が最も透過率が低くなる特性を有する第２の光学素子２３を配置したので、コンデンサレンズ７の入射瞳位置６上での強度分布の不均一性（照明ムラ）を解消することができる。また、第２の光学素子２３は、コンデンサレンズ７の入射瞳面６上に配置される構成となっているため、開口絞り６が被照明面８の照明ムラに影響を及ぼさないのと同様に、被照明面８の照明ムラには影響を及ぼさない（図１８参照）。
一方、光源２に角度方向の放射強度分布がある場合、光学素子１１が配置される位置の面上でも強度分布が生じる。光学素子１１は被照明面８と共役な位置に配置されてはいないものの、被照明面８内における中心領域を照明する光線は、図２０に実線で示すように、光学素子１１の中心領域付近を通過し、被照明面８内における周辺領域を照明する光線は、図２０に破線で示すように、光学素子１１の周辺領域付近を通過して来ている。このため、従来の顕微鏡照明装置のように光学素子１１を配置しない構成の場合において、光学素子１１が配置されるべき位置で強度分布が生じていると、被照明面８において照明ムラを生じてしまうことになる。しかるに、第１５実施形態の顕微鏡照明装置によれば、上記第１〜第１１実施形態の顕微鏡照明装置と同様に、中心領域に入射する光線を減光または拡散し、周辺領域の光線を透過させる特性を有した光学素子１１を介して、被照明面８において光軸領域の照明強度を相対的に落として、その結果として被照明面８の全領域において均一な照明光を得ることができる（図２０参照）。
このため、第１５実施形態の顕微鏡照明装置によれば、光学素子１１によって照明ムラの改善を行い、なおかつ第２の光学素子２３により入射瞳面６上での強度分布の不均一性（照明ムラ）の改善もすることが可能になる。
その他の作用効果は、第１〜第１１実施形態の顕微鏡照明装置として構成された図１の顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
その他の作用効果は、第１〜第１１実施形態の顕微鏡照明装置として構成された図１の顕微鏡照明装置における作用効果とほぼ同じである。
なお、第１５実施形態の顕微鏡照明装置では、第２の光学素子２３を、第１〜第１１実施形態の顕微鏡照明装置として構成された図１の顕微鏡照明装置のコンデンサレンズ７の入射側焦点位置（即ち、入射瞳面６上）に配置するように構成したが、第１２〜第１４実施形態の顕微鏡装置として構成された図１４の顕微鏡照明装置の構成においても、第２の光学素子２３をコンデンサレンズ７の入射側焦点位置（即ち、入射瞳面６上）に配置するように構成してもよい。
また、図１９の例では、減光部２４を、中心領域からその周辺領域へかけて透過率が段階的に低くなるように構成したが、中心領域からその周辺領域へかけて透過率がなだらかに低くなるように構成してもよい。
又は、第２の光学素子２３は、中心領域に入射する光線を通過させる第２の透過部（図示省略）と、その周辺領域に入射する光線を遮断する第２の遮蔽部（図示省略）とで構成してもよい。
又は、第２の光学素子２３は、中心領域で拡散角度が最も小さく、その最周辺領域で拡散角が最も大きい特性を有するように構成された第２の拡散部（図示省略）で構成してもよい。その場合、第２の拡散部を、中心領域からその周辺領域へかけて拡散角が段階的に又はなだらかに、大きくなるように構成するとよい。
又は、第２の光学素子２３は、中心領域に入射する光線を通過させる第２の透過部（図示省略）と、その周辺領域に入射する光線を拡散する第２の拡散部（図示省略）とで構成してもよい。
第１５実施形態の顕微鏡照明装置において、これらのように構成された第２の光学素子２３を用いても、図１９に示した第２の光学素子２３を用いた場合と同様の作用効果が得られる。
又は、第２の光学素子２３は、中心領域に入射する光線を通過させる第２の透過部（図示省略）と、その周辺領域に入射する光線を遮断する第２の遮蔽部（図示省略）とで構成してもよい。
又は、第２の光学素子２３は、中心領域で拡散角度が最も小さく、その最周辺領域で拡散角が最も大きい特性を有するように構成された第２の拡散部（図示省略）で構成してもよい。その場合、第２の拡散部を、中心領域からその周辺領域へかけて拡散角が段階的に又はなだらかに、大きくなるように構成するとよい。
又は、第２の光学素子２３は、中心領域に入射する光線を通過させる第２の透過部（図示省略）と、その周辺領域に入射する光線を拡散する第２の拡散部（図示省略）とで構成してもよい。
第１５実施形態の顕微鏡照明装置において、これらのように構成された第２の光学素子２３を用いても、図１９に示した第２の光学素子２３を用いた場合と同様の作用効果が得られる。
以上、本発明の顕微鏡照明装置について説明したが、本発明の顕微鏡照明装置は、特許請求の範囲に記載の発明の他に次に示すような特徴を備えている。
（１）前記第２の光学素子が、中心領域に入射する光線を通過させる第２の透過部と、その周辺領域に入射する光線を遮断する第２の遮蔽部とからなることを特徴とする請求項２２に記載の顕微鏡照明装置。
（２）第２の光学素子が、光線を拡散する第２の拡散部からなり、前記第２の拡散部が、中心領域で拡散角度が最も小さく、その最周辺領域で拡散角が最も大きい特性を有することを特徴とする請求項２２に記載の顕微鏡照明装置。
（３）前記第２の拡散部が、中心領域からその周辺領域へかけて拡散角が段階的に変化する特性を有することを特徴とする請求項２２に記載の顕微鏡照明装置。
（４）第２の光学素子２３が、中心領域に入射する光線を通過させる第２の透過部と、その周辺領域に入射する光線を拡散する第２の拡散部とからなることを特徴とする請求項２２に記載の顕微鏡照明装置。
本発明の顕微鏡照明装置は、顕微鏡観察においてデジタルカメラで撮影することが求められる医学、生物学の分野において有用である。
１ ランプハウス
２ 光源
３ コレクタレンズ
４ 視野絞り
５ フィールドレンズ
６ 開口絞り（入射瞳面）
７ コンデンサレンズ
８ 被照明面
９ インテグレータ
１０ 投影レンズ
１１，１１’ 中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子
１２ 遮蔽部
１３ 透過部
１４、１４’、１４”、１４”’ 減光部
１５、１５’、１５”、１５”’ 拡散部
１６、１６’ オプティカルインテグレータ
１７ ＬＣＤ
１８ ＤＭＤ
２０ ミラー
２１、２１’、２１” ＬＥＤ群
２１1〜２１n、２１1’、２１1”、２１2” 面発光ＬＥＤ
２２1〜２２n、２１1’、２２2’ ＬＥＤ群のブロック
２３ 第２の光学素子
２４ 第２の減光部
２ 光源
３ コレクタレンズ
４ 視野絞り
５ フィールドレンズ
６ 開口絞り（入射瞳面）
７ コンデンサレンズ
８ 被照明面
９ インテグレータ
１０ 投影レンズ
１１，１１’ 中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子
１２ 遮蔽部
１３ 透過部
１４、１４’、１４”、１４”’ 減光部
１５、１５’、１５”、１５”’ 拡散部
１６、１６’ オプティカルインテグレータ
１７ ＬＣＤ
１８ ＤＭＤ
２０ ミラー
２１、２１’、２１” ＬＥＤ群
２１1〜２１n、２１1’、２１1”、２１2” 面発光ＬＥＤ
２２1〜２２n、２１1’、２２2’ ＬＥＤ群のブロック
２３ 第２の光学素子
２４ 第２の減光部
Claims (24)
- 光源を有し、略平行光束を出射する光源部と、該略平行光束を集光するフィールドレンズと、該フィールドレンズにより集光された光束を被照明面に導くコンデンサレンズと、該コンデンサレンズの入射側焦点位置に配置された開口絞りを有し、前記開口絞りと前記光源とがほぼ共役な位置関係にある照明光学系において、
中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子が前記略平行光束となる光路に配置される構成を備えたことを特徴とする顕微鏡照明装置。 - 光源と、前記光源からの光を略平行光束に変換するコレクタレンズと、該略平行光束を集光するフィールドレンズと、該フィールドレンズにより集光された光束を被照明面に導くコンデンサレンズと、該コンデンサレンズの入射側焦点位置に配置された開口絞りを有し、前記コレクタレンズと前記フィールドレンズを介して、前記開口絞りと前記光源とがほぼ共役な位置関係にある照明光学系において、
中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子が前記略平行光束に変換された光路に配置される構成を備えたことを特徴とする顕微鏡照明装置。 - 前記光学素子が、次の条件式を満たす位置と共役な位置に配置されることを特徴とする請求項１又は２に記載の顕微鏡照明装置。
但し、ｆCDは前記コンデンサレンズの焦点距離、Ｌは前記被照明面からの距離である。 - 前記光学素子が、中心領域に入射する光線を遮断する遮蔽部と、その周辺領域に入射する光線を通過させる透過部とからなることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の顕微鏡照明装置。
- 前記光学素子が、光線を一部のみ透過させる減光部からなり、
前記減光部が、中心領域で透過率が最も低く、その最周辺領域で透過率が最も高い特性を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の顕微鏡照明装置。 - 前記減光部が、中心領域からその周辺領域へかけて透過率が段階的に変化する特性を有することを特徴とする請求項５に記載の顕微鏡照明装置。
- 前記光学素子が、光線を拡散する拡散部からなり、
前記拡散部が、中心領域で拡散角度が最も大きく、その最周辺領域で拡散角が最も小さい特性を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の顕微鏡照明装置。 - 前記拡散部が、中心領域からその周辺領域へかけて拡散角が段階的に変化する特性を有することを特徴とする請求項７に記載の顕微鏡照明装置。
- 前記光学素子が、中心領域に入射する光線を拡散する拡散部と、その周辺領域に入射する光線の光量を減光する減光部とからなることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の顕微鏡照明装置。
- 前記光学素子が、中心領域に入射する光線を拡散する拡散部と、その周辺領域に入射する光線を通過させる透過部とからなることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の顕微鏡照明装置。
- 前記光学素子が、中心領域からその周辺領域へ向かうにしたがって開口が小さくなるように開口特性が分布されたオプティカルインテグレータからなることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の顕微鏡照明装置。
- 前記光学素子が、中心領域に配置された、オプティカルインテグレータと、その周辺領域に配置された、光量を減光する減光部とからなることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の顕微鏡照明装置。
- さらに、前記光学素子を挿脱可能な機構を有することを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載の顕微鏡照明装置。
- 前記光学素子が、ＬＣＤからなり、
前記ＬＣＤが、中心領域で透過率が最も低く、その周辺領域で透過率が最も高くなる状態と、全面で透過率が均一となる状態とに透過率特性を可変に構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の顕微鏡照明装置。 - 前記光学素子が、ＤＭＤからなり、
前記ＤＭＤを構成する個々の微小ミラーが、該ＤＭＤの中心領域からその周辺領域へ向かうにしたがって、前記コレクタレンズからの入射光を前記コンデンサレンズから外れる方向から前記コンデンサレンズに入る方向へ反射するように反射面の向きを制御可能に構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の顕微鏡照明装置。 - 前記光源部が、中心領域からその周辺領域へ向かうにしたがって、発光強度が大きくなるように構成された面発光タイプのＬＥＤ群からなり、
前記光学素子が、該光源部からなることを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡照明装置。 - 前記光源部が、中心領域からその周辺領域へ向かうにしたがって、指向性が狭くなるように構成された面発光タイプのＬＥＤ群からなり、
前記光学素子が、該光源部からなることを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡照明装置。 - 前記ＬＥＤ群が、該ＬＥＤ群の中心領域からその周辺領域へ向かうにしたがって、発光強度が同じ複数個の面発光ＬＥＤを密度が高くなるように配置して構成されていることを特徴とする請求項１６に記載の顕微鏡照明装置。
- 前記ＬＥＤ群が、該ＬＥＤ群の中心領域からの周辺周囲にかけて配置された複数個のブロックからなり、
前記夫々のブロックが、異なるブロック間では中心領域からその周辺領域へ向かうにしたがって発光強度が大きいＬＥＤとなり、同一ブロック内では発光強度が同じＬＥＤとなるように、複数個の面発光ＬＥＤを配置して構成されていることを特徴とする請求項１６に記載の顕微鏡照明装置。 - 前記ＬＥＤ群が、該ＬＥＤ群の中心領域からの周辺周囲にかけて配置された複数個のブロックからなり、
前記夫々のブロックごとに面発光ＬＥＤの発光強度を調整することができるようにしたことを特徴とする請求項１６に記載の顕微鏡照明装置。 - 前記ＬＥＤ群が、該ＬＥＤ群の中心領域からの周辺周囲にかけて配置された複数個のブロックからなり、
前記夫々のブロックが、異なるブロック間では中心領域からその周辺領域へ向かうにしたがって指向性が狭いＬＥＤとなり、同一ブロック内では指向性が同じＬＥＤとなるように、複数個の面発光ＬＥＤを配置して構成されていることを特徴とする請求項１７に記載の顕微鏡照明装置。 - 更に、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する第２の光学素子を、前記コンデンサレンズの入射側焦点位置に配置される構成を備えたことを特徴とする請求項１〜２１のいずれかに記載の顕微鏡照明装置。
- 前記第２の光学素子が、光線を一部のみ透過させる第２の減光部からなり、
前記第２の減光部が、中心領域で透過率が最も高く、その最周辺領域で透過率が最も低い特性を有することを特徴とする請求項２２に記載の顕微鏡照明装置。 - 前記第２の減光部が、中心領域からその周辺領域へかけて透過率が段階的に変化する特性を有することを特徴とする請求項２３に記載の顕微鏡照明装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005215992A JP4837325B2 (ja) | 2005-07-26 | 2005-07-26 | 顕微鏡照明装置 |
| US11/491,084 US7443578B2 (en) | 2005-07-26 | 2006-07-24 | Microscopic illumination apparatus |
| EP06015522.3A EP1750154B2 (en) | 2005-07-26 | 2006-07-25 | Microscope illumination apparatus |
| US12/284,547 US7800821B2 (en) | 2005-07-26 | 2008-09-22 | Microscopic illumination apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005215992A JP4837325B2 (ja) | 2005-07-26 | 2005-07-26 | 顕微鏡照明装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2007033790A true JP2007033790A (ja) | 2007-02-08 |
| JP4837325B2 JP4837325B2 (ja) | 2011-12-14 |
Family
ID=37074630
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005215992A Expired - Fee Related JP4837325B2 (ja) | 2005-07-26 | 2005-07-26 | 顕微鏡照明装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US7443578B2 (ja) |
| EP (1) | EP1750154B2 (ja) |
| JP (1) | JP4837325B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012242532A (ja) * | 2011-05-18 | 2012-12-10 | Nikon Corp | 顕微鏡システム |
| JP2013190760A (ja) * | 2012-03-15 | 2013-09-26 | Olympus Corp | 顕微鏡用照明装置 |
| JP2015084056A (ja) * | 2013-10-25 | 2015-04-30 | 株式会社キーエンス | 顕微鏡撮像装置、顕微鏡撮像方法および顕微鏡撮像プログラム |
| JP2015084055A (ja) * | 2013-10-25 | 2015-04-30 | 株式会社キーエンス | 顕微鏡撮像装置、顕微鏡撮像方法および顕微鏡撮像プログラム |
| KR20160021018A (ko) | 2014-08-15 | 2016-02-24 | 삼성전자주식회사 | 조명 장치, 광학 검사 장치, 및 광학 현미경 |
| US9594240B2 (en) | 2013-12-06 | 2017-03-14 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Lighting apparatus, and optical inspection apparatus and optical microscope using the lighting apparatus |
| JP2018106894A (ja) * | 2016-12-26 | 2018-07-05 | 中央精機株式会社 | 照明システム |
| JP2020071051A (ja) * | 2018-10-29 | 2020-05-07 | 三星電子株式会社Ｓａｍｓｕｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． | 照明装置及び検査装置 |
| JP2022084859A (ja) * | 2017-10-02 | 2022-06-07 | ナノトロニクス イメージング インコーポレイテッド | 顕微鏡撮像における口径食を低減するための装置および方法 |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006096130A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Murakami Corp | ミラー及び角度検出装置 |
| JP5086580B2 (ja) * | 2006-08-04 | 2012-11-28 | オリンパス株式会社 | 照明装置 |
| US8624967B2 (en) * | 2006-10-17 | 2014-01-07 | Dan O'Connell | Integrated portable in-situ microscope |
| DE102007021823A1 (de) * | 2007-05-07 | 2008-11-13 | Vistec Semiconductor Systems Gmbh | Messsystem mit verbesserter Auflösung für Strukturen auf einem Substrat für die Halbleiterherstellung und Verwendung von Blenden bei einem Messsystem |
| JP5189509B2 (ja) * | 2009-01-21 | 2013-04-24 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡用照明光学系、及び顕微鏡 |
| CN104024913A (zh) * | 2011-12-22 | 2014-09-03 | 松下健康医疗器械株式会社 | 观察***、观察***的控制方法以及程序 |
| CN104808328A (zh) * | 2015-05-27 | 2015-07-29 | 南通江中光电有限公司 | 一种新型显微镜的聚光镜 |
| WO2018207255A1 (ja) * | 2017-05-09 | 2018-11-15 | オリンパス株式会社 | 合焦機能を備えた標本観察装置 |
| JP6913513B2 (ja) * | 2017-05-25 | 2021-08-04 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡用照明装置、及び、顕微鏡 |
| US11314073B2 (en) * | 2018-10-29 | 2022-04-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Lighting device and inspection apparatus having the same |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS501756A (ja) * | 1973-05-04 | 1975-01-09 | ||
| JPS597326A (ja) * | 1982-07-05 | 1984-01-14 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 照明光源装置用光束分割フイルタ− |
| JPS59111124A (ja) * | 1982-12-15 | 1984-06-27 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡用照明光学系 |
| JPH04125609A (ja) * | 1990-09-18 | 1992-04-27 | Satoshi Kawada | 光学顕微鏡 |
| JPH0560982A (ja) * | 1991-08-30 | 1993-03-12 | Nikon Corp | ケーラー照明光学系 |
| JPH07225342A (ja) * | 1994-02-10 | 1995-08-22 | Kowa Co | 顕微鏡の照明装置 |
| JP2001208977A (ja) * | 2000-01-26 | 2001-08-03 | Nikon Corp | 光学顕微鏡 |
| JP2001521205A (ja) * | 1997-10-29 | 2001-11-06 | ディジタル オプティカル イメージング コーポレイション | 空間的に光変調された顕微鏡法に関する装置及び方法 |
| JP2004004169A (ja) * | 2002-05-30 | 2004-01-08 | Nikon Corp | 顕微鏡照明装置及び顕微鏡装置 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5459951A (en) | 1977-10-21 | 1979-05-15 | Olympus Optical Co Ltd | Transmission lighting device for microscopes |
| JPH0247724B2 (ja) | 1982-07-05 | 1990-10-22 | Nippon Kogaku Kk | Keeraashomeikogakukei |
| JPS609763B2 (ja) | 1982-07-06 | 1985-03-13 | 株式会社 麗光 | 農園芸用遮光ネツト |
| DE4344908A1 (de) * | 1993-01-08 | 1994-07-14 | Nikon Corp | Kondensorlinsensystem |
| JP3556283B2 (ja) | 1994-09-30 | 2004-08-18 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡用照明光学系 |
| DE19644662C2 (de) | 1996-10-25 | 2000-04-13 | Leica Microsystems | Beleuchtungseinrichtung für ein Mikroskop |
| WO1999012068A1 (fr) * | 1997-08-29 | 1999-03-11 | Olympus Optical Co., Ltd. | Dispositif d'eclairage a emission pour microscopes |
| US6344263B1 (en) * | 1998-03-30 | 2002-02-05 | 3M Innovative Properties Company | Light dispersing film and method of manufacture |
| DE19832665A1 (de) † | 1998-07-21 | 2000-01-27 | Leica Microsystems | Homogenisierungsfilter für ein optisches Strahlungsfeld |
| DE19835072A1 (de) * | 1998-08-04 | 2000-02-10 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Anordnung zur Beleuchtung und/oder Detektion in einem Mikroskop |
| JP2002006225A (ja) | 2000-06-23 | 2002-01-09 | Nikon Corp | 顕微鏡照明装置 |
| US6856457B2 (en) * | 2001-03-27 | 2005-02-15 | Prairie Technologies, Inc. | Single and multi-aperture, translationally-coupled confocal microscope |
| US6614596B2 (en) * | 2001-07-25 | 2003-09-02 | Mitutoyo Corporation | Systems and methods for increasing illumination density within a field of view of an imaging system |
| JP4020714B2 (ja) * | 2001-08-09 | 2007-12-12 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡 |
-
2005
- 2005-07-26 JP JP2005215992A patent/JP4837325B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-07-24 US US11/491,084 patent/US7443578B2/en active Active
- 2006-07-25 EP EP06015522.3A patent/EP1750154B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-09-22 US US12/284,547 patent/US7800821B2/en active Active
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS501756A (ja) * | 1973-05-04 | 1975-01-09 | ||
| JPS597326A (ja) * | 1982-07-05 | 1984-01-14 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 照明光源装置用光束分割フイルタ− |
| JPS59111124A (ja) * | 1982-12-15 | 1984-06-27 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡用照明光学系 |
| JPH04125609A (ja) * | 1990-09-18 | 1992-04-27 | Satoshi Kawada | 光学顕微鏡 |
| JPH0560982A (ja) * | 1991-08-30 | 1993-03-12 | Nikon Corp | ケーラー照明光学系 |
| JPH07225342A (ja) * | 1994-02-10 | 1995-08-22 | Kowa Co | 顕微鏡の照明装置 |
| JP2001521205A (ja) * | 1997-10-29 | 2001-11-06 | ディジタル オプティカル イメージング コーポレイション | 空間的に光変調された顕微鏡法に関する装置及び方法 |
| JP2001208977A (ja) * | 2000-01-26 | 2001-08-03 | Nikon Corp | 光学顕微鏡 |
| JP2004004169A (ja) * | 2002-05-30 | 2004-01-08 | Nikon Corp | 顕微鏡照明装置及び顕微鏡装置 |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012242532A (ja) * | 2011-05-18 | 2012-12-10 | Nikon Corp | 顕微鏡システム |
| US9261690B2 (en) | 2011-05-18 | 2016-02-16 | Nikon Corporation | Microscope system |
| JP2013190760A (ja) * | 2012-03-15 | 2013-09-26 | Olympus Corp | 顕微鏡用照明装置 |
| JP2015084056A (ja) * | 2013-10-25 | 2015-04-30 | 株式会社キーエンス | 顕微鏡撮像装置、顕微鏡撮像方法および顕微鏡撮像プログラム |
| JP2015084055A (ja) * | 2013-10-25 | 2015-04-30 | 株式会社キーエンス | 顕微鏡撮像装置、顕微鏡撮像方法および顕微鏡撮像プログラム |
| US9829690B2 (en) | 2013-10-25 | 2017-11-28 | Keyence Corporation | Microscopic imaging device, microscopic imaging method, and microscopic imaging program |
| US9594240B2 (en) | 2013-12-06 | 2017-03-14 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Lighting apparatus, and optical inspection apparatus and optical microscope using the lighting apparatus |
| KR20160021018A (ko) | 2014-08-15 | 2016-02-24 | 삼성전자주식회사 | 조명 장치, 광학 검사 장치, 및 광학 현미경 |
| JP2018106894A (ja) * | 2016-12-26 | 2018-07-05 | 中央精機株式会社 | 照明システム |
| JP2022084859A (ja) * | 2017-10-02 | 2022-06-07 | ナノトロニクス イメージング インコーポレイテッド | 顕微鏡撮像における口径食を低減するための装置および方法 |
| US11880028B2 (en) | 2017-10-02 | 2024-01-23 | Nanotronics Imaging, Inc. | Apparatus and method to reduce vignetting in microscopic imaging |
| JP2020071051A (ja) * | 2018-10-29 | 2020-05-07 | 三星電子株式会社Ｓａｍｓｕｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． | 照明装置及び検査装置 |
| JP7221648B2 (ja) | 2018-10-29 | 2023-02-14 | 三星電子株式会社 | 照明装置及び検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US7800821B2 (en) | 2010-09-21 |
| JP4837325B2 (ja) | 2011-12-14 |
| US20090034063A1 (en) | 2009-02-05 |
| US20070024966A1 (en) | 2007-02-01 |
| EP1750154B1 (en) | 2011-09-07 |
| US7443578B2 (en) | 2008-10-28 |
| EP1750154A1 (en) | 2007-02-07 |
| EP1750154B2 (en) | 2015-09-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4837325B2 (ja) | 顕微鏡照明装置 | |
| JP6478900B2 (ja) | レンズ装置及びそれを有する撮像装置 | |
| JP4286271B2 (ja) | 照明装置及び画像投影装置 | |
| KR100903908B1 (ko) | 투사형 표시 장치 | |
| JP3640391B1 (ja) | 照明光学装置 | |
| EP1302812A3 (en) | Illumination system and projector adopting the same | |
| JP2008532093A (ja) | 拡大撮影のためのカメラのフラッシュディフューザ | |
| JP2002072128A (ja) | 光学装置およびこれを用いた投写型表示装置 | |
| JP2006065202A (ja) | 投写型画像表示装置 | |
| JP2009072213A (ja) | 内視鏡光源ユニットおよび内視鏡システム | |
| CN113225544A (zh) | 照明***和投影设备 | |
| JPH0996763A (ja) | 照明光学系及び光源装置 | |
| JP2006208682A (ja) | 照明光学装置及び光学装置 | |
| JP2010091846A (ja) | 投写型表示装置 | |
| JP6391274B2 (ja) | 照明装置 | |
| JP2022133325A (ja) | 顕微観察装置、検出器及び顕微観察方法 | |
| JP2010145780A (ja) | インテグレータ、このインテグレータを有する照明装置、及び、この照明装置を有する顕微鏡装置 | |
| JP6478928B2 (ja) | レンズ装置及びそれを有する撮像装置 | |
| JP2002199253A (ja) | 書画カメラの原稿照明装置 | |
| JPH10241437A (ja) | 光源装置、照明系及び画像投射装置 | |
| CN210136386U (zh) | 光积分柱及投影装置 | |
| JP2008145666A (ja) | 照明装置およびそれを用いた画像投影装置 | |
| JP2009019882A (ja) | 照明用アダプタ、照明装置、及び撮像素子検査用照明装置 | |
| JP2022089104A (ja) | 照明装置 | |
| JP2001183509A (ja) | 拡散光学素子、照明光学系およびフィルム読み取り装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080724 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110524 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110719 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110906 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110928 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141007 Year of fee payment: 3 |
|
| R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4837325 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141007 Year of fee payment: 3 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |