JP2007030157A - 研磨装置及び研磨方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研磨装置は、円形の研磨面を有し研磨面の中心回りに回転する研磨パッド12と、研磨パッド12との間にウエハを保持する保持面を有しウエハをその中心回りに回転させる研磨ヘッドとを備え、研磨面によってウエハを研磨する。研磨面には溝21が形成されており、溝21は、研磨面の摩耗速度に依存する深さを有し、中央領域24及び周辺領域26では2mmの深さに、中間領域25では3mmの深さにそれぞれ形成されている。
【選択図】図2
Description
前記研磨面には溝が形成されており、該溝の少なくとも一部の幅部分は、前記研磨面の摩耗速度に依存する深さを有し、一の領域における溝の前記少なくとも一部の幅部分の深さは、該一の領域よりも小さな摩耗速度を有する他の領域における溝の前記少なくとも一部の幅部分の深さよりも深く形成されていることを特徴とする。
前記研磨面が、平坦面と、該平坦面内にアレイ状に形成された複数の凹部と、該凹部に収容され該凹部の深さと同等以上の高さのブロックとから構成されることを特徴とする。
前記研磨面が、平坦面と、該平坦面上にアレイ状に形成された複数の凸部とから成り、一の領域の凸部は、他の領域の凸部よりも低く形成されていることを特徴とする。
前記研磨面は、アレイ状に配設された複数の凸部を有し、一の領域では他の領域よりも、領域全体の面積に対する凸部の面積の割合が小さいことを特徴とする。
前記被研磨体の周縁部分を前記研磨面の外側にオーバーハングさせることを特徴とする。
11:テーブル
11a:テーブルの中心軸
12,27,28,31:研磨パッド
12a:研磨パッドの中心
13:ウエハ
13a:ウエハの中心
14:研磨ヘッド
14a:研磨ヘッドの中心軸
15:スラリ供給管
16:吐出口
17:コンディショナ
18:アーム
19:ドレッサ
19a:ドレッサの中心軸
21:溝
22:凸部
23:凸部の上面
24:中央領域
25:中間領域
26:周辺領域
29:浅溝部
30:深溝部
32:研磨パッドの外縁に接して形成された凸部
33:研磨ブロック
34:凹部
35:平坦化ブロック
41:ウエハの中心が研磨パッドの中間領域を移動する軌跡
42:ウエハの外縁の一点が研磨パッドの周辺領域を移動する軌跡
43:オーバーハングした状態のウエハ
44:オーバーハングした状態のウエハを保持する研磨ヘッド
51:研磨パッド
52:研磨パッド本体
53:研磨ブロック
54:仮固定基材
55:研磨ブロック形成用基材
56:研磨パッド
57:研磨パッド
58:研磨パッド上の位置
61:研磨パッド
62:凸部調節領域
63:凹部
64:研磨ブロック
65:研磨ブロックの本体部分
66:研磨ブロックの突起部分
67:溝ブロック
Claims (12)
- 円形の研磨面を有し該研磨面の中心回りに回転する研磨パッドと、該研磨パッドとの間に被研磨体を保持する保持面を有し前記被研磨体をその中心回りに回転させる研磨ヘッドとを備え、前記研磨面によって前記被研磨体を研磨する研磨装置において、
前記研磨面には溝が形成されており、該溝の少なくとも一部の幅部分は、前記研磨面の摩耗速度に依存する深さを有し、一の領域における溝の前記少なくとも一部の幅部分の深さは、該一の領域よりも小さな摩耗速度を有する他の領域における溝の前記少なくとも一部の幅部分の深さよりも深く形成されていることを特徴とする研磨装置。 - 前記研磨パッドの回転方向と前記研磨ヘッドによる被研磨体の回転方向とが同じ方向であり、前記研磨面の中間領域の溝が、該中間領域よりも内周側の中央領域の溝、及び、前記中間領域よりも外周側の周辺領域の溝よりも深く形成されている、請求項1に記載の研磨装置。
- 前記中央領域の溝が、前記周辺領域の溝よりも深く形成される、請求項2に記載の研磨装置。
- 前記溝は、前記研磨面上で格子状に形成される、請求項1〜3の何れか一に記載の研磨装置。
- 前記溝は、前記一部の幅部分以外の幅部分が、前記一の領域及び前記他の領域で同じ深さを有する、請求項1〜4の何れか一に記載の研磨装置。
- 円形の研磨面を有し該研磨面の中心回りに回転する研磨パッドと、該研磨パッドとの間に被研磨体を保持する保持面を有し前記被研磨体をその中心回りに回転させる研磨ヘッドとを備え、前記研磨面によって前記被研磨体を研磨する研磨装置において、
前記研磨面が、平坦面と、該平坦面内にアレイ状に形成された複数の凹部と、該凹部に収容され該凹部の深さと同等以上の高さのブロックとから構成されることを特徴とする研磨装置。 - 円形の研磨面を有し該研磨面の中心回りに回転する研磨パッドと、該研磨パッドとの間に被研磨体を保持する保持面を有し前記被研磨体をその中心回りに回転させる研磨ヘッドとを備え、前記研磨面によって前記被研磨体を研磨する研磨装置において、
前記研磨面が、平坦面と、該平坦面上にアレイ状に形成された複数の凸部とから成り、一の領域の凸部は、他の領域の凸部よりも低く形成されていることを特徴とする研磨装置。 - 前記複数の凸部の少なくとも一部は、前記平坦面に対して個別に取外し可能に形成されている、請求項7に記載の研磨装置。
- 円形の研磨面を有し該研磨面の中心回りに回転する研磨パッドと、該研磨パッドとの間に被研磨体を保持する保持面を有し前記被研磨体をその中心回りに回転させる研磨ヘッドとを備え、前記研磨面によって前記被研磨体を研磨する研磨装置において、
前記研磨面は、アレイ状に配設された複数の凸部を有し、一の領域では他の領域よりも、領域全体の面積に対する凸部の面積の割合が小さいことを特徴とする研磨装置。 - 少なくとも前記一の領域の凸部は、凹部に収容され該凹部の深さと同等以上の高さを有するブロックによって形成されている、請求項9に記載の研磨装置。
- 請求項6〜10の何れか一に記載の研磨装置を用いて研磨する方法であって、前記被研磨体の回転中心から外縁に向かって離隔する各点が前記各ブロック上を移動する軌跡を計算して、前記各点の研磨レートをそれぞれ算出し、該算出された研磨レートに基づいて前記各ブロックの高さ、前記各凸部の高さ、又は、各領域全体の面積に対する凸部の面積の割合を設定することを特徴とする研磨方法。
- 円形の研磨面を有し該研磨面の中心回りに回転する研磨パッドと、該研磨パッドとの間に被研磨体を保持する保持面を有し前記被研磨体をその中心回りに回転させる研磨ヘッドとを用い、前記研磨面によって前記被研磨体を研磨する研磨方法において、
前記被研磨体の周縁部分を前記研磨面の外側にオーバーハングさせることを特徴とする研磨方法。
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