JP2007024641A - 磁歪式トルクセンサおよび磁歪式トルクセンサの磁歪膜の形成方法 - Google Patents
磁歪式トルクセンサおよび磁歪式トルクセンサの磁歪膜の形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007024641A JP2007024641A JP2005205980A JP2005205980A JP2007024641A JP 2007024641 A JP2007024641 A JP 2007024641A JP 2005205980 A JP2005205980 A JP 2005205980A JP 2005205980 A JP2005205980 A JP 2005205980A JP 2007024641 A JP2007024641 A JP 2007024641A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetostrictive
- torque sensor
- film
- steering
- steering shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Steering Controls (AREA)
- Power Steering Mechanism (AREA)
Abstract
【課題】 磁歪式トルクセンサの磁歪膜の損傷を防止して感度の低下を回避する。
【解決手段】 磁歪式の操舵トルクセンサは、ステアリングシャフト11の表面にメッキ処理により形成した磁歪膜12を備える。ステアリングシャフト11の磁歪膜12が形成されない部分の直径Dに対して、ステアリングシャフト11の磁歪膜12が形成される部分の直径を小さく設定したので、ステアリングシャフト11の運搬時や組付時に磁歪膜12が他の物体に接触して損傷するのを防止し、操舵トルクセンサの検出精度の低下を防止することができる。
【選択図】 図1
【解決手段】 磁歪式の操舵トルクセンサは、ステアリングシャフト11の表面にメッキ処理により形成した磁歪膜12を備える。ステアリングシャフト11の磁歪膜12が形成されない部分の直径Dに対して、ステアリングシャフト11の磁歪膜12が形成される部分の直径を小さく設定したので、ステアリングシャフト11の運搬時や組付時に磁歪膜12が他の物体に接触して損傷するのを防止し、操舵トルクセンサの検出精度の低下を防止することができる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、回転軸の外周面の一部に環状の磁歪膜を形成し、回転軸が捩じれ変形したときの磁歪膜の磁歪特性の変化を検出することで該回転軸のトルクを検出する磁歪式トルクセンサと、その磁歪式トルクセンサの磁歪膜の形成方法とに関する。
自動車のステアリングホイールに入力される操舵トルクを検出する磁歪式の操舵トルクセンサにおいて、ステアリングシャフトの表面の一部に電気メッキを行うことで磁歪膜を形成する際に、その磁歪膜の厚さを一定にするためにステアリングシャフトの外周に円筒状のマスキング治具を嵌合させた状態で電気メッキを施すものが、下記特許文献1により公知である。
特開2005−3622号公報
ところで上記従来のものは、ステアリングシャフトの表面に形成された磁歪膜の表面が、該ステアリングシャフトの磁歪膜を持たない部分の表面よりも径方向外側に突出しているので、ステアリングシャフトの組付時等に磁歪膜が他の物品に接触して磁気特性に変化が生じてしまい、そのために操舵トルクセンサの検出精度が低下してしまう可能性があった。
本発明は前述の事情に鑑みてなされたもので、磁歪式トルクセンサの磁歪膜の損傷を防止して感度の低下を回避することを目的とする。
上記目的を達成するために、請求項1に記載された発明によれば、回転軸の外周面の一部に環状の磁歪膜を形成し、回転軸が捩じれ変形したときの磁歪膜の磁歪特性の変化を検出することで該回転軸のトルクを検出する磁歪式トルクセンサにおいて、回転軸の磁歪膜が形成されない部分の直径に対して、回転軸の磁歪膜が形成される部分の直径を小さく設定したことを特徴とする磁歪式トルクセンサが提案される。
また請求項2に記載された発明によれば、請求項1の構成に加えて、前記磁歪式トルクセンサは、電動パワーステアリング装置のアクチュエータを制御するための操舵トルクを検出することを特徴とする磁歪式トルクセンサが提案される。
また請求項3に記載された発明によれば、請求項1または請求項2に記載の磁歪式トルクセンサの磁歪膜の形成方法であって、回転軸の外周面に円筒状のマスキング治具を嵌合させて固定する工程と、回転軸をメッキ槽に入れてメッキを施すことで磁歪膜を形成する工程と、回転軸からマスキング治具を取り外す工程とを含むことを特徴とする磁歪式トルクセンサの磁歪膜の形成方法が提案される。
尚、実施例のステアリングシャフト11は本発明の回転軸に対応し、実施例の操舵トルクセンサ13は本発明の磁歪式トルクセンサに対応し、実施例の第1、第2マスキング治具16,17は本発明のマスキング治具に対応する。
請求項1の構成によれば、磁歪式トルクセンサの回転軸の磁歪膜が形成されない部分の直径に対して、回転軸の磁歪膜が形成される部分の直径を小さく設定したので、回転軸の運搬時や組付時に磁歪膜が他の物体に接触して磁気特性に変化が生じるのを防止し、磁歪式トルクセンサの検出精度の低下を防止することができる。
請求項2の構成によれば、磁歪式トルクセンサで電動パワーステアリング装置のアクチュエータを制御するための操舵トルクを検出するので、精度良く検出された操舵トルクに基づいてアクチュエータを制御して操舵フィーリングを高めることができる。
請求項3の構成によれば、磁歪式トルクセンサの回転軸の外周面に円筒状のマスキング治具を嵌合させて固定し、その回転軸をメッキ槽に入れてメッキを施すことで磁歪膜を形成した後に、回転軸からマスキング治具を取り外すので、回転軸のマスキング治具に覆われていない部分に形成される磁歪膜の膜厚を軸方向に均一化し、トルクの検出精度を高めることができる。
以下、本発明の実施の形態を、添付の図面に示した本発明の実施例に基づいて説明する。
図1〜図9は本発明の第1実施例を示すもので、図1は磁歪膜が形成されたステアリングシャフトを示す図、図2は操舵トルクセンサの構造を示す図、図3は磁歪膜の均一性が透磁率に与える影響を示す図、図4はステアリングシャフトおよび操舵トルクセンサの位置関係がエアギャップに与える影響を示す図、図5は第1マスキング治具の形状を示す図、図6は第2マスキング治具の形状を示す図、図7はステアリングシャフトに第1、第2マスキング治具を取り付けた状態を示す図、図8は電気メッキで磁歪膜を形成する工程を示す図、図9はステアリングシャフトの組付後の操舵トルクセンサの感度変化を示すグラフである。
図1に示すように、電動パワーステアリング装置のステアリングシャフト11の外周面にはNi−Feメッキよりなる環状の磁歪膜12,12が形成される。二つの磁歪膜12,12は間隔を有して形成されており、実施例では、ステアリングシャフト11の直径Dは20mmであり、磁歪膜12,12の幅Wは14mmであり、磁歪膜12,12の間隔wは8mmであり、磁歪膜12,12の目標厚さtは数十μmである。
ステアリングシャフト11の直径Dは20mmであるが、磁歪膜12,12が形成される部分の直径D′(図7参照)は、それよりも0.6mm細い19.4mmである。従って、ステアリングシャフト11の磁歪膜12,12が形成される部分の表面の高さは、磁歪膜12,12が形成されない部分の表面の高さよりも0.3mmだけ低くなっている。磁歪膜12,12の目標厚さtは数十μmであって前記0.3mmよりも遥かに小さいため、磁歪膜12,12の表面の高さは、ステアリングシャフト11の磁歪膜12,12が形成されない部分の表面の高さよりも低くなっている。
図2に示すように、電動パワーステアリング装置のステアリングシャフト11に入力される操舵トルクを検出する操舵トルクセンサ13は、ステアリングシャフト11の各磁歪膜12に対向するヨーク14と、そのヨーク14に巻回されたコイル15とを備えており、ヨーク14および磁歪膜12で構成される磁路に沿う磁束密度の変化に基づいて操舵トルクを検出する。
即ち、図3(A)に示すように、操舵トルクによりステアリングシャフト11が磁歪膜12と共に捩じれ変形すると、磁歪膜12の透磁率が変化することで磁束密度が変化し、その磁束密度の変化に基づいて操舵トルクを検出することができる。このとき、磁歪膜12の厚さが軸方向に均一であれば、図4(A)に示すように、ヨーク14およびコイル15に対する磁歪膜12の軸方向位置がαだけずれていても、操舵トルクの検出精度に影響はない。
しかしながら、図3(B)に示すように、磁歪膜12の厚さが軸方向に不均一であると、磁歪膜12の透磁率が軸方向に不均一になって操舵トルクの検出精度が低下するだけでなく、図4(B)に示すように、ヨーク14およびコイル15に対する磁歪膜12の軸方向位置がずれると、ヨーク14および磁歪膜12間のエアギャップgが変化するために操舵トルクの検出精度が低下する問題がある。
またメッキ生成時の電流分布、即ち電流密度がメッキを施す面に対して不均一であると、メッキに含まれる鉄成分の割合、即ちメッキの磁歪特性が変わってしまい、やはりヨーク14およびコイル15に対する磁歪膜12の軸方向位置のずれによって操舵トルクの検出精度が変化してしまう問題がある。従って、操舵トルクセンサ13の検出精度を確保するには、メッキを行う際の電流密度を均一化して磁歪膜12,12の軸方向厚さを均一化する必要がある。
そこで本実施例では、ステアリングシャフト11に磁歪膜12,12を電気メッキで形成する際に、例えば絶縁体材料である樹脂製の2個の第1マスキング治具16,16と1個の第2マスキング治具17とを使用することで、磁歪膜12,12の膜厚の軸線方向分布の均一化を図っている。
図5に示すように、第1マスキング治具16はステアリングシャフト11の外周面に隙間なく嵌合する円筒状の部材であって、ステアリングシャフト11に対して着脱できるように、その軸線を含む分割面で第1半体18および第2半体19に2分割される。第1、第2半体18,19の内周面の一端には、ステアリングシャフト11の段部に嵌合する環状突起18a,19aが形成される。第1半体18には2個の切欠18b,18bが形成されており、そこから分割面にボルト孔18c,18cが貫通する。また第2半体19には前記ボルト孔18c,18cに連通するボルト孔19b,19bが形成される。
図6に示すように、第2マスキング治具17はステアリングシャフト11の外周面に隙間なく嵌合する円筒状の部材であって、ステアリングシャフト11に対して着脱できるように、その軸線を含む分割面で第1半体20および第2半体21に2分割される。第1、第2半体20,21の内周面の両端には、ステアリングシャフト11の段部に嵌合する環状突起20a,20a;21a,21aが形成される。第1半体20には2個の切欠20b,20bが形成されており、そこから分割面にボルト孔20c,20cが貫通する。また第2半体21には前記ボルト孔20c,20cに連通するボルト孔21b,21bが形成される。
図7に示すように、第1マスキング治具16の第1、第2半体18,19は、その環状突起18a,19aがステアリングシャフト11の段部に係合するように取り付けられ、2本のボルト22,22を第1半体18のボルト孔18c,18cに挿入し、第2半体19のボルト孔19b,19bにねじ込むことで固定される。段部および環状突起18a,19aの係合により、第1マスキング治具16はステアリングシャフト11の軸線方向に精密に位置決めされる。
第2マスキング治具17の第1、第2半体20,21は、その環状突起20a,20a;21a,21aがステアリングシャフト11の段部に係合するように取り付けられ、2本のボルト23,23を第1半体20のボルト孔20c,20cに挿入し、第2半体21のボルト孔21b,21bにねじ込むことで固定される。段部および環状突起20a,20a;21a,21aの係合により、第2マスキング治具17はステアリングシャフト11の軸線方向に精密に位置決めされる。
尚、2個の第1マスキング治具16,16の外側でステアリングシャフト11の外周面が露出する部分は、マスキングテープ24を貼ることでマスキングされる。
図8に示すように、2個の第1マスキング治具16,16および1個の第2マスキング治具17を装着したステアリングシャフト11を、電解液を貯留したメッキ槽25の内部に浸漬して陰極26および陽極27に通電することで、ステアリングシャフト11の第1、第2マスキング治具16,16;17およびマスキングテープ24に覆われていない部分が、Ni−Feメッキされる。
そしてステアリングシャフト11を一方向に捩じって加熱してから捩じりを解放し、更にステアリングシャフト11を他方向に捩じって加熱してから捩じりを解放することで、磁歪膜12,12に異方性を持たせてステアリングシャフト11を完成する。
さて、仮に第1、第2マスキング治具16,16;17を使用せずにマスキングテープを使用して磁歪膜12,12を形成した場合には、マスキングテープに接する磁歪膜12,12の軸線方向の両端部の膜厚が急激に増加してしまう問題があるが、第1、第2マスキング治具16,16;17を用いて磁歪膜12,12を形成すると、磁歪膜12,12の膜厚を軸線方向に均一化することができる。その理由は、メッキ時に磁歪膜12,12の両端部に電流が集中するのが防止されるためと考えられる。
またステアリングシャフト11の磁歪膜12,12が形成されていない部分の直径Dを、磁歪膜12,12が形成されている部分の直径D′よりも小さくし、ステアリングシャフト11の磁歪膜12,12が形成されていない部分の表面から磁歪膜12,12が突出するのを防止したので、完成したステアリングシャフト11を運搬する際や組み付ける際に、磁歪膜12,12が他の部分に接触して磁気特性に変化が生じるのを防止することで、操舵トルクセンサ13の検出精度を高めることができる。
図9の比較例はステアリングシャフト11の外径が全てDであって、磁歪膜12,12がステアリングシャフト11の表面から突出しているものであり、実施例のステアリングシャフト11が組付後に殆ど感度低下を起こしていないのに対し、比較例のステアリングシャフト11は組付後に6%〜7%の感度低下を起こしているのが分かる。
しかして、厚さが均一であってかつ損傷し難い磁歪膜12,12を有する高精度の操舵トルクセンサ13を用いて電動パワーステアリング装置のアクチュエータを制御するので、電動パワーステアリング装置による操舵フィーリングを高めることができる。
次に、図10に基づいて本発明の第2実施例を説明する。
第2実施例は、ステアリングシャフト11の磁歪膜12,12が形成されない部分と、磁歪膜12,12が形成される部分との境界に、環状溝11a,11a,11b,11bが形成される。環状溝11aおよび環状突起18a,19aの係合により、第1マスキング治具16はステアリングシャフト11の軸線方向に一層精密に位置決めされ、環状溝11b,11bおよび環状突起20a,20a;21a,21aの係合により、第2マスキング治具17はステアリングシャフト11の軸線方向に一層精密に位置決めされる。
以上、本発明の実施例を説明したが、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々の設計変更を行うことが可能である。
例えば、本発明の磁歪式トルクセンサは、電動パワーステアリング装置用の操舵トルクセンサ13以外の任意の用途に適用することができる。
11 ステアリングシャフト(回転軸)
12 磁歪膜
13 操舵トルクセンサ(磁歪式トルクセンサ)
16 第1マスキング治具(マスキング治具)
17 第2マスキング治具(マスキング治具)
25 メッキ槽
D 直径
D′ 直径
12 磁歪膜
13 操舵トルクセンサ(磁歪式トルクセンサ)
16 第1マスキング治具(マスキング治具)
17 第2マスキング治具(マスキング治具)
25 メッキ槽
D 直径
D′ 直径
Claims (3)
- 回転軸(11)の外周面の一部に環状の磁歪膜(12)を形成し、回転軸(11)が捩じれ変形したときの磁歪膜(12)の磁歪特性の変化を検出することで該回転軸(11)のトルクを検出する磁歪式トルクセンサにおいて、
回転軸(11)の磁歪膜(12)が形成されない部分の直径(D)に対して、回転軸(11)の磁歪膜(12)が形成される部分の直径(D′)を小さく設定したことを特徴とする磁歪式トルクセンサ。 - 前記磁歪式トルクセンサ(13)は、電動パワーステアリング装置のアクチュエータを制御するための操舵トルクを検出することを特徴とする、請求項1に記載の磁歪式トルクセンサ。
- 請求項1または請求項2に記載の磁歪式トルクセンサの磁歪膜の形成方法であって、
回転軸(11)の外周面に円筒状のマスキング治具(16,17)を嵌合させて固定する工程と、
回転軸(11)をメッキ槽(25)に入れてメッキを施すことで磁歪膜(12)を形成する工程と、
回転軸(11)からマスキング治具(16,17)を取り外す工程と、
を含むことを特徴とする磁歪式トルクセンサの磁歪膜の形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005205980A JP2007024641A (ja) | 2005-07-14 | 2005-07-14 | 磁歪式トルクセンサおよび磁歪式トルクセンサの磁歪膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005205980A JP2007024641A (ja) | 2005-07-14 | 2005-07-14 | 磁歪式トルクセンサおよび磁歪式トルクセンサの磁歪膜の形成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007024641A true JP2007024641A (ja) | 2007-02-01 |
Family
ID=37785606
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005205980A Pending JP2007024641A (ja) | 2005-07-14 | 2005-07-14 | 磁歪式トルクセンサおよび磁歪式トルクセンサの磁歪膜の形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007024641A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2436367A (en) * | 2006-03-20 | 2007-09-26 | Honda Motor Co Ltd | Magnetostrictive Torque Sensor and Electric Power Steering Apparatus |
JP2008267865A (ja) * | 2007-04-17 | 2008-11-06 | Toshiba Corp | 磁歪式トルクセンサシャフトの製造方法及び製造装置 |
JP2010249733A (ja) * | 2009-04-17 | 2010-11-04 | Honda Motor Co Ltd | 磁歪式トルクセンサ及びその製造方法 |
JP2013053950A (ja) * | 2011-09-05 | 2013-03-21 | Honda Motor Co Ltd | 磁歪式トルクセンサ |
US8667854B2 (en) | 2010-08-05 | 2014-03-11 | Tri-Force Management Corporation | Torque sensor |
US10557766B2 (en) | 2016-07-20 | 2020-02-11 | Tri-Force Management Corporation | Torque sensor for detecting occurrence of metal fatigue in an elastic body |
US10557764B2 (en) | 2015-01-26 | 2020-02-11 | Tri-Force Management Corporation | Torque sensor which detects torque around a predetermined rotation axis |
US10775250B2 (en) | 2016-05-31 | 2020-09-15 | Tri-Force Management Corporation | Torque sensor |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01114729A (ja) * | 1987-10-28 | 1989-05-08 | Mitsubishi Electric Corp | 歪検出器 |
JPH0295228A (ja) * | 1988-09-30 | 1990-04-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | トルクセンサ |
JPH07280673A (ja) * | 1994-02-16 | 1995-10-27 | Koyo Electron Ind Co Ltd | トルクセンサ |
JPH10339678A (ja) * | 1997-06-06 | 1998-12-22 | Toyota Autom Loom Works Ltd | トルクセンサ |
JP2005003622A (ja) * | 2003-06-16 | 2005-01-06 | Honda Motor Co Ltd | 磁歪式トルクセンサにおける磁歪膜の形成方法 |
-
2005
- 2005-07-14 JP JP2005205980A patent/JP2007024641A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01114729A (ja) * | 1987-10-28 | 1989-05-08 | Mitsubishi Electric Corp | 歪検出器 |
JPH0295228A (ja) * | 1988-09-30 | 1990-04-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | トルクセンサ |
JPH07280673A (ja) * | 1994-02-16 | 1995-10-27 | Koyo Electron Ind Co Ltd | トルクセンサ |
JPH10339678A (ja) * | 1997-06-06 | 1998-12-22 | Toyota Autom Loom Works Ltd | トルクセンサ |
JP2005003622A (ja) * | 2003-06-16 | 2005-01-06 | Honda Motor Co Ltd | 磁歪式トルクセンサにおける磁歪膜の形成方法 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7677115B2 (en) | 2006-03-20 | 2010-03-16 | Honda Motor Co., Ltd. | Magnetostrictive torque sensor and electric power steering apparatus |
GB2436367B (en) * | 2006-03-20 | 2010-09-22 | Honda Motor Co Ltd | Magnetostrictive torque sensor and electric power steering apparatus |
GB2436367A (en) * | 2006-03-20 | 2007-09-26 | Honda Motor Co Ltd | Magnetostrictive Torque Sensor and Electric Power Steering Apparatus |
JP2008267865A (ja) * | 2007-04-17 | 2008-11-06 | Toshiba Corp | 磁歪式トルクセンサシャフトの製造方法及び製造装置 |
JP2010249733A (ja) * | 2009-04-17 | 2010-11-04 | Honda Motor Co Ltd | 磁歪式トルクセンサ及びその製造方法 |
US8011256B2 (en) | 2009-04-17 | 2011-09-06 | Honda Motor Co., Ltd. | Magnetostrictive torque sensor and method of manufacturing same |
US8667854B2 (en) | 2010-08-05 | 2014-03-11 | Tri-Force Management Corporation | Torque sensor |
JP2013053950A (ja) * | 2011-09-05 | 2013-03-21 | Honda Motor Co Ltd | 磁歪式トルクセンサ |
US10557764B2 (en) | 2015-01-26 | 2020-02-11 | Tri-Force Management Corporation | Torque sensor which detects torque around a predetermined rotation axis |
US11118987B2 (en) | 2015-01-26 | 2021-09-14 | Tri-Force Management Corporation | Torque sensor used for robot arm, has an exertion support body exerting the torque to an annular deformation body |
US11703402B2 (en) | 2015-01-26 | 2023-07-18 | Tri-Force Management Corporation | Torque sensor having detection element which detects elastic deformation by exertion of torque to be detected |
US10775250B2 (en) | 2016-05-31 | 2020-09-15 | Tri-Force Management Corporation | Torque sensor |
US10557766B2 (en) | 2016-07-20 | 2020-02-11 | Tri-Force Management Corporation | Torque sensor for detecting occurrence of metal fatigue in an elastic body |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007024641A (ja) | 磁歪式トルクセンサおよび磁歪式トルクセンサの磁歪膜の形成方法 | |
US9514878B2 (en) | Coil and manufacturing method for same, and reactor | |
EP3584332B1 (en) | Thin strip component, method for manufacturing same, and motor using thin strip component | |
US20130134827A1 (en) | Method for manufacturing stator for motor and stator for motor | |
TWI550257B (zh) | 磁性編碼器 | |
WO2016208688A1 (ja) | 磁歪式センサ、磁性構造体およびその製造方法、ならびに、磁歪式センサを備えたモータ駆動ユニットおよび電動アシスト付き自転車 | |
EP2988102A1 (en) | Magnetic encoder and production method therefor | |
JP3854249B2 (ja) | 磁歪式トルクセンサにおける磁歪膜の形成方法 | |
US10281346B2 (en) | Magnetostrictive sensor | |
JP7069833B2 (ja) | モータ | |
WO2018143143A1 (ja) | 磁気エンコーダおよびその製造方法 | |
JP5144960B2 (ja) | エンコーダの着磁方法及び着磁装置 | |
JP5573592B2 (ja) | 多極磁石エンコーダの着磁方法 | |
JP2004278590A (ja) | ロール用軸体 | |
JP2009171654A (ja) | 永久磁石埋込型ロータおよびその製造方法 | |
JP4890506B2 (ja) | 電流検出器 | |
JP2009184317A (ja) | 脆性リングのインサート成形方法および金型 | |
JP2001143931A (ja) | 磁性ゴム環の着磁方法 | |
KR102233658B1 (ko) | 허브 유닛을 제조하는 방법 | |
JP3855111B2 (ja) | 磁石素材の電着塗装方法 | |
JP2009169258A (ja) | マグネットロール | |
JP2011007709A (ja) | 磁気エンコーダおよびその製造方法 | |
JP2007114062A (ja) | 誘導加熱コイルおよびその製造方法、並びに高周波加熱装置 | |
US20200300930A1 (en) | Method for producing mi element and mi element | |
JPH0526746A (ja) | トルクセンサ用シールドの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20071129 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20101222 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20110427 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |