JP2007022874A - ガラス管の加工方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ガラス管に対して相対的に移動する加熱源により前記ガラス管を加熱する工程を含むガラス管の加工プロセスにおいて、厚み、径及び特性の均一なガラス管を得ることができるガラス管の加工方法を提供すること。
【解決手段】 ガラス管に対して加熱源を前記ガラス管の軸方向に相対的に移動させ、前記加熱源により前記ガラス管の一部を加熱しながら加工するガラス管の加工方法であって、前記加熱により前記ガラス管が軟化している部分を含む範囲の複数の測定点でガラス管外径およびガラス管表面温度を測定し、各測定点での測定径と設定径との差分、又は各測定点での測定径と前記ガラス管が軟化している部分の近似的形状での外径との差分に、その点の温度から求められるガラスの粘度を重みとして掛け合わせ、得られた値を足し合わせ、その和がゼロとなるように前記ガラス管の内圧を調整する。
【選択図】 図1
【解決手段】 ガラス管に対して加熱源を前記ガラス管の軸方向に相対的に移動させ、前記加熱源により前記ガラス管の一部を加熱しながら加工するガラス管の加工方法であって、前記加熱により前記ガラス管が軟化している部分を含む範囲の複数の測定点でガラス管外径およびガラス管表面温度を測定し、各測定点での測定径と設定径との差分、又は各測定点での測定径と前記ガラス管が軟化している部分の近似的形状での外径との差分に、その点の温度から求められるガラスの粘度を重みとして掛け合わせ、得られた値を足し合わせ、その和がゼロとなるように前記ガラス管の内圧を調整する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、例えば肉付けMCVD法による光ファイバ用母材(プリフォーム)用のガラス管の製造やガラスパイプの延伸等、ガラス管に対して相対的に移動する加熱源により前記ガラス管を加熱する工程を含むガラス管の加工方法に関する。
ガラス管の製造方法には、ガラス管に対して相対的に移動する加熱源により前記ガラス管を加熱する工程を含むものがある。
例えば、内付けCVD法(MCVD法:Modified Chemical Vapor Deposition)による光ファイバ用ガラス母材などのガラス管の製造は、一般に図3(a)及び図3(b)に示すように、出発材であるガラス管1を回転させつつ該ガラス管1内にガス供給側(上流側)から排気側(下流側)に向けてガラスの主原料であるSiCl4またはGeCl4、POCl3やBCl3等の添加物及びO2等からなるガラス原料含有ガス(原料ガス)2を流しながら、ガラス管1の外側に設けた加熱源(この例では加熱用のバーナ3)とガラス管1とを相対的に移動(トラバース)させて外側から加熱する方法で行われている。以下、説明の簡略化のため、バーナ3を移動させる形で記載する。
例えば、内付けCVD法(MCVD法:Modified Chemical Vapor Deposition)による光ファイバ用ガラス母材などのガラス管の製造は、一般に図3(a)及び図3(b)に示すように、出発材であるガラス管1を回転させつつ該ガラス管1内にガス供給側(上流側)から排気側(下流側)に向けてガラスの主原料であるSiCl4またはGeCl4、POCl3やBCl3等の添加物及びO2等からなるガラス原料含有ガス(原料ガス)2を流しながら、ガラス管1の外側に設けた加熱源(この例では加熱用のバーナ3)とガラス管1とを相対的に移動(トラバース)させて外側から加熱する方法で行われている。以下、説明の簡略化のため、バーナ3を移動させる形で記載する。
バーナ3の移動に従い主原料ガスであるSiCl4が酸化されて生成するガラス微粒子(以下、ススと記載することもある)がバーナ3の下流側のガラス管1の内壁に堆積しガラス微粒子層4が形成され、さらにバーナ3が移動して堆積したガラス微粒子が加熱されると透明化してガラス層5が形成される。バーナ3はトラバースターン部6まで移動した後、上流側の初期の位置に戻される。このトラバースを所定の回数繰り返して所望の厚さの堆積ガラス層5を形成させる。
このようなMCVD法でガラス管を製造する場合、加熱源の移動に伴いガラス管の長手方向に反応点が移動する。ガラス管内にはガス供給側から原料ガスを供給し、余剰のガスは排気側から排気するようにしているのでガラス管内には圧力勾配、圧力のばらつきが生じている。圧力に変動があるとガスの密度にも変動が生じるため、同じ温度条件でも反応及び堆積状態、ガラス層の性状なども変化し、得られるガラス部材の特性が長手方向で変動するという問題がある。このようにガラス管の製造に当たってはガラス管の外径を安定させることは非常に重要である。
ところで、MCVD法などの中空石英管等のガラス管に対して相対的に移動する加熱源によりガラス管を加熱する工程において、該ガラス管を制御する手段の1つとして、加熱中の前記ガラス管の加熱源の位置におけるガラス管内圧を測定し、この測定値が所定の値となるようにガラス管内圧を制御しながら加熱する方法が提案されている(特許文献1、特許文献2等参照)。
しかしながら、ある範囲をもって加熱されたガラス管では、ガラス管の内圧の調整が加熱された範囲に対して影響を与え、内圧の操作によりある一定の範囲にわたって外径に振動的な変動を起こして径変動が生じる。外径が振動的な変化をするメカニズムとして、図7に示すように、内圧の操作によりある一定の範囲にわたって加熱されたガラスの粘度に応じて外径に変動が生じるため、一点の測定値のみを設定径に合致させるように制御してゆく従来の方法だと測定箇所の前後でガラス管に外径変動が発生し、径変動を増長してしまう。
図6は1点のみを設定径に合致させるように制御していく、一点測定PID制御による従来の方法によりガラス管内圧を制御して加熱しながらガラス管を延伸した場合の、ガラス管外径の時間的な変動(ガラス管長手方向の外径変動)を例示したものであるが、このように1点もしくは2点での測定値のみを所定の径(設定径)に合致させるように制御していく従来の方法だと測定箇所の前後で径変動が発生し、これを増長させるところから均一な肉厚や径のガラス管を製造することが難かしかった。
本発明はこのような従来技術の問題点を解決し、ガラス管に対して相対的に移動する加熱源により前記ガラス管を加熱する工程を含むガラス部材の製造プロセスにおいて、均一な厚み、径、特性のガラス部材を得ることができるガラス管の加工方法を提供することを課題とするものである。
本発明者等は軟化したガラス管外径をその内圧により調整する際に、加熱された部分を含む範囲の複数の位置でのガラス管の実測径と予め設定された設定径との偏差量に、各測定位置に応じてその場所のガラス粘度を重みとして掛け合わせた偏差量の変動に基づいてガラス管の内圧を調整しながら加熱すれば上記課題が解決されることを見いだし、本発明に到った。
本発明は上記課題を解決する手段として次の(1)〜(4)の構成を採るものである。
本発明は上記課題を解決する手段として次の(1)〜(4)の構成を採るものである。
(1)ガラス管に対して加熱源を前記ガラス管の軸方向に相対的に移動させ、前記加熱源により前記ガラス管の一部を加熱しながら加工するガラス管の加工方法であって、前記加熱により前記ガラス管が軟化している部分を含む範囲の複数の測定点でガラス管外径およびガラス管表面温度を測定し、各測定点での測定径と設定径との差分に、その点の温度から求められるガラスの粘度で前記測定点のうちの最高温度のガラス粘度を割った値を掛け合わせ、得られた値を足し合わせ、その和がゼロとなるように前記ガラス管の内圧を調整するガラス管の加工方法。
(2)ガラス管に対して加熱源を前記ガラス管の軸方向に相対的に移動させ、前記加熱源により前記ガラス管の一部を加熱しながら加工するガラス管の加工方法であって、前記加熱により前記ガラス管が軟化している部分を含む範囲の複数の測定点でガラス管外径を測定し、前記ガラス管が軟化している部分の前記測定点のうちの最高温度の測定点のガラス管外径、前記相対的移動方向の最も後方にある測定点のガラス管外径およびガラス管の目標外径から、ガラスが十分固い位置にあり、かつ前記ガラス管の前記加熱源に対する相対移動方向の最も前方にある測定点のガラス管の外径が前記目標外径に収束するように前記ガラス管が軟化している部分の近似的形状を求め、各測定点ごとに前記近似的形状でのガラス外径と測定径との差分を求め、得られた前記差分に、その点の温度から求められるガラスの粘度で前記最高温度の測定点のガラス粘度を割った値を掛け合わせ、得られた値を足し合わせ、その和がゼロとなるように前記ガラス管の内圧を調整するガラス管の加工方法。
(3)前記(1)または(2)に記載のガラス管の加工方法において、前記ガラス管を加熱しながら、ガラス原料ガスおよび酸化ガスを前記ガラス管内に流し、前記ガラス管内面にガラス層を形成するガラス管の加工方法。
(4)前記(1)または(2)に記載のガラス管の加工方法において、前記ガラス管を加熱しながらガラス管の両端が遠ざかるように前記ガラス管の両端をそれぞれ移動させて該ガラス管を延伸するガラス管の加工方法。
(4)前記(1)または(2)に記載のガラス管の加工方法において、前記ガラス管を加熱しながらガラス管の両端が遠ざかるように前記ガラス管の両端をそれぞれ移動させて該ガラス管を延伸するガラス管の加工方法。
本発明によれば、ガラス管に対して相対的に移動する加熱源により前記ガラス管を加熱する工程を含むガラスパイプの加工方法において、軟化しているガラス管の実測径と、設定径もしくは近似的形状のガラス管外径との偏差量に、各測定点の温度から求められるガラスの粘度で最高温度の測定点のガラス粘度を割った値を掛け合わせ、この値の変動量に対応させて加熱中のガラス管の内圧を調整することによって、ガラス管の加熱中の外径変動が抑制され、均一な外径及び肉厚のガラス管の製造が可能となる。
本発明のガラス管の加工方法は、ガラス管に対して相対的に移動する加熱源によりガラス管を加熱する際に、加熱によりガラス管が軟化している部分の複数の点においてガラス管の外径を測定し、それぞれの点での測定径と予め設定される設定径との差分に、各測定点での温度により求めた粘度を重みとして掛け合わせたものを足し合わせ、これをゼロ(0)とするようにフィードバック制御(例えばPID制御)により前記ガラス管の内圧を調整することで、軟化したガラス管の振動的なガラス管外径変動の発生を抑制する加工方法である。ここで、ガラス粘度を重みとして掛け合わせるということは、測定点のガラス粘度で最高温度の測定点のガラス粘度を割った値を掛けるということである。例えば、測定点のガラス粘度をηiとし最高温度の測定点のガラス粘度をηmaxとすると、ηmax/ηiを掛けることになる。ガラス粘度は、温度と粘度との関係式から求めることができる。一般的には、粘度ηはη=A・exp(E/RT)で表すことができる。A及びRは係数、Eはガラスの活性化エネルギーであり、実験的に求めることができる。
更に、別の実施形態としては、加熱により前記ガラス管が軟化している部分を含む範囲の複数の測定点のガラス管外径を測定し、これらの部分の前記測定点のうちの最高温度の測定点のガラス管外径、前記相対的移動方向の最も後方にある測定点のガラス管外径およびガラス管の目標外径から、ガラスが十分固い位置にあり、かつ前記ガラス管の前記加熱源に対する相対移動方向の最も前方にある測定点のガラス管の外径が前記目標外径に収束するように前記ガラス管が軟化している部分の近似的形状を求め、各測定点ごとに前記近似的形状でのガラス外径と測定径との差分を求め、得られた前記差分に、その点の温度から求められるガラスの粘度で最高温度の測定点のガラス粘度を割った値を重みとして掛け合わせたものを足し合わせ、これをゼロ(0)とするようにフィードバック制御(例えばPID)を行うことで目標とするガラス管の外径からオーバーシュートを抑制する加工方法である。
測定の間隔および調整の間隔は適宜設定できる。例えば、数十ミリ秒ないし数秒の間の一定の間隔でガラス管外径およびガラス管表面温度を測定する。ガラス管の測定径と設定径との差分またはガラス管の測定外径と近似形状の外径との差分に粘度を重みとして掛け合わせた値の和は測定ごとに計算することができるが、測定間隔が短い場合は、複数回の測定値の移動平均値に基づいて計算することもできる。内圧調整の間隔は、前記測定や前記計算とは独立に設定することができる。例えば測定は数十ミリ秒間隔で行うが内圧調整は数秒間隔で行うことができる。前記測定、前記計算、前記内圧調整の間隔を同じにすることもできる。
以下、本発明のガラス管の加工方法について、MCVD法によりガラス管を製造する場合を例にとって、本発明のガラス管の第1の加工方法について図面を参照して更に具体的に説明する。図1はMCVD法によりガラス部材(ガラス管)を製造する場合の本発明の1実施形態を模式的に示す説明図である。図1の例においては、ガラス旋盤12に両端を把持され、回転する出発材であるガラス管1内に原料ガス2を供給し、加熱源であるバーナ3を原料ガス2の上流側から下流側へ移動させる。なお、加熱源であるバーナ3としては特に制限はなく、電気ヒータや酸水素バーナ等が用いられるが、プラズマトーチを用いるのが特に有効である。本例ではガラス管1をその両端のガラス旋盤で固定しておき、バーナ3を図1の矢印方向(左から右)へ移動させる例を示したが、反対にバーナ3を固定しておいてガラス管1を左右に移動させるようにしてもよく、ガラス管1とバーナ3とを相対的に移動させればよい。バーナ3により加熱されている位置(反応点)では、原料ガス2中のガラス原料が反応してガラス微粒子が生成し、ガラス管1の内壁に堆積したガラス微粒子はさらに加熱されてガラス化してガラス層が形成される。このバーナ3の移動を所定の回数繰り返すことによって任意の厚さのガラス層が形成される。
この方法ではガラス管1の一方(上流側)の端部からガラス原料を含む酸化性ガスが供給され、他方(下流側)の端部から排気される。そのため通常は上流側端部の圧力が下流側端部の圧力よりも高くなり、両端部間には圧力勾配が生じており、バーナ3の位置によって反応条件が異なることになるので、ガラス管1の長手方向で外径が均一にならず、製品性能にばらつきを生じる原因となる。そこで本発明では、バーナ3により加熱されて軟化している部分を含む範囲の複数の点でのガラス管1の外径を実測し、実測されたそれぞれの測定径と予め設定される設定径との差分に、測定位置に応じてガラス管1の粘度を重みとして掛け合わせて得た値がゼロとなるようにガラス管1の内圧を制御する。
さらに具体的には、ガラス管1がバーナ3により加熱されて軟化した部分を含む範囲の複数のガラス管外径測定点をXi(i=1〜n)、ガラス管1の設定径(設定外径)をDとし、(1)Xi(i=1〜n)の各点おけるガラス管1の外径di(i=1〜n)をそれぞれ実測する。この際のガラス管1の外径diは、例えば光学式外径測定器、CCDカメラ等によりほぼ同時刻に実測することができる。(2)このとき同時に前記の外径di(i=1〜n)が実測されたガラス管1の各外径実測点Xi(i=1〜n)における、該ガラス管1のそれぞれの温度を放射温度計等により測定して、その温度をもとにそれぞれの点Xi(i=1〜n)おけるにおける粘度ηi(i=1〜n)を算出する。(3)ガラス管1の前記各外径測定点Xi(i=1〜n)において、その点での設定径Diと前記(1)で実測されたガラス管1の外径の各測定径di(i=1〜n)との差分に、前記(2)で求めたそれぞれの点での粘度ηi(i=1〜n)で各測定点のうちの最高温度の測定点のガラス粘度ηmaxを割った値ηmax/ηi(i=1〜n)を重みとして掛け合わせた値を算出し、下記式〔1〕で表されるこれらの総和S1を演算する。なお、外径の均一なガラス管とするためには、ガラス管外径の測定点Xi(i=1〜n)は10点以上設ける(iが10以上である)ことが望ましい。
S1=(D1−d1)・(ηmax/η1)+(D2−d2)・(ηmax/η2)+…………
+(Dn−dn)・(ηmax/ηn)………………〔1〕
前記(1)〜(3)の操作をほぼ同時に行いながら、その時に得られる前記S1値が加熱工程中、常にゼロ(0)となるようにガラス管1内の圧力をPIDフィードバック制御しながらガラス管1の加熱を行う。
+(Dn−dn)・(ηmax/ηn)………………〔1〕
前記(1)〜(3)の操作をほぼ同時に行いながら、その時に得られる前記S1値が加熱工程中、常にゼロ(0)となるようにガラス管1内の圧力をPIDフィードバック制御しながらガラス管1の加熱を行う。
ガラス管1内の圧力を制御する方法は特に限定されるものではないが、前記の総和S1の値がゼロ(0)となるように、バルブ14により流量を調整しながら配管13から窒素等の加圧用ガス15を導入することによってガラス管1内の圧力を制御することができる。この総和S1値がゼロ(0)より大きいとガラス管1の内圧を下げることによりガラス管1の外径は小さくなって、前記の総和はゼロに近づき、反対に前記の総和S1値がゼロ(0)より小さいとガラス管1の内圧を上げることによりガラス管1の外径が大きくなり前記の総和S1値がゼロ(0)に近づく。前記の総和S1値がゼロ(0)のときならガラス管1内の加圧用ガスの量を増減することなくそのままとする。
この例のガラス管の加工プロセスでは、ガラス微粒子がガラス管1の内周に堆積した直後に該ガラス微粒子が加熱源により加熱されて透明なガラスとなるが、ガラス部材製造プロセスとして、一旦ガラス微粒子堆積層が形成された後で該ガラス微粒子堆積層が透明化されてガラス層となる場合もあり、本発明におけるガラス管を加熱して加工する工程はこのガラス微粒子堆積層を形成する工程、及びガラス微粒子堆積層を透明化する工程を含むものである。
図4は前記のようにしてMCVD法によりガラス部材(ガラス管)を形状差分フィードバック制御しながら製造したときのガラス管1の外径の時間的な変動(ガラス管1の軸方向での外径変動)を示すグラフである。図4からわかるようにこの方法によれば得られたガラス管の外径変動が大幅に抑制される。
次に本発明の別の実施形態であるガラス管の第2の加工方法について同じく図1をもとに説明する。この第2の加工方法は、(1)ガラス管1がバーナ3により加熱されて軟化した部分を含む範囲の複数の点Xi(i=1〜n)の中で最も温度の高い点をXmax、加熱源であるバーナ3に対する相対的移動方向の最も前方にある点(加熱源が左から右へ移動する場合であれば右端の点)をXn、加熱源であるバーナ3に対する相対的移動方向の最も後方にある点(前記Xnとは反対側の点)をX1としたとき、ガラス管1上のこれらX1、XmaxおよびXnの3点におけるガラス管1の外径をそれぞれほぼ同時刻に実測して、これら3点での実測径から、ガラス管1が軟化している部分(点X1−Xn間)のガラス管1のある時刻での近似的形状を求める。(2)次に、複数の点Xi(i=1〜n)おけるガラス管1の外径di(i=1〜n)をそれぞれ実測する。(3)外径di(i=1〜n)が実測されたガラス管1の各外径測定点Xi(i=1〜n)におけるそれぞれの温度を測定して、その各温度をもとに該各外径測定点Xi(i=1〜n)におけるガラス管1の粘度ηi(i=1〜n)を算出する。(4)前記(1)で求めたガラス管1の近似的形状での前記各外径測定点Xi(i=1〜n)のガラス管1の外径Di(i=1〜n)と、前記(2)で求めた各外径測定点Xi(i=1〜n)のガラス管1の実測外径di(i=1〜n)との差分に、前記(3)で求めたそれぞれの外径測定点での粘度ηi(i=1〜n)で前記最も温度の高い点Xmaxでの粘度ηmaxを割った値(ηmax/ηi)を重みとして掛け合わせた値を算出し、下記式〔2〕で表される、これらの総和S2を演算する。
S2=(D1−d1)・(ηmax/η1)+……+(Dmax−dmax)・(ηmax/ηmax)
+……+(Dn−dn)・(ηmax/ηn)………………〔2〕
そしてこのS2値がゼロ(0)となるようにガラス管1内の圧力をPIDフィードバック制御しながらガラス管1の加熱を行う。
なお、上記式〔2〕中、Dmax、dmax及びηmaxはそれぞれ、加熱されて軟化しているガラス管1上の最も温度の高い点Xmaxにおける近似的形状でのガラス管1の外径、実測外径及びガラス管1の粘度である。
+……+(Dn−dn)・(ηmax/ηn)………………〔2〕
そしてこのS2値がゼロ(0)となるようにガラス管1内の圧力をPIDフィードバック制御しながらガラス管1の加熱を行う。
なお、上記式〔2〕中、Dmax、dmax及びηmaxはそれぞれ、加熱されて軟化しているガラス管1上の最も温度の高い点Xmaxにおける近似的形状でのガラス管1の外径、実測外径及びガラス管1の粘度である。
前記(1)〜(3)の操作を繰り返し行いながら、前記S2値が加熱工程中、常にゼロ(0)となるようにガラス管1内の圧力をPIDフィードバック制御しながらガラス管1の加熱を行う。なお、本実施例の場合も軟化したガラス管1のガラス管外径の測定点Xi(i=1〜n)は10点以上設ける(iが10以上である)ことが望ましい。
図5は前記のようにしてMCVD法によりガラス部材(ガラス管)を前記の設定値操作型形状差分フィードバック制御によって第2の加工方法でガラス管を製造したときの、ガラス管1の時間的な外径変動(ガラス管1の軸方向での外径変動)を例示するグラフである。図5からわかるように、この方法によれば前記第1の形態の加工方法による場合に比べて得られたガラス管の外径変動をさらに抑制することができる。
本発明の方法はガラス管を加熱炉内で加熱し、延伸する工程にも有効に適用できる。例えば図2において、ガラス管10内には不活性ガス9が図の上から下へ流される。軸に平行に上下方向(矢印方向)に移動するガラス管10の縮径部11は、ヒータ8により加熱され軟化している。この軟化した部分の複数の点Xi(i=1〜n)おけるガラス管10の外径di(i=1〜n)及び、前記の各点における軟化したガラス管の温度から前記各点における粘度ηi(i=1〜n)を求め、前記の〔1〕式に従ってS1値を演算して、この演算値(S1)がゼロ(0)となるように図におけるガラス管10の上から流入させる不活性ガス9またはガラス管から排気する不活性ガス9の流量を調整することによって、ガラス管10の入り口側の圧力P1及び出口側の圧力P2を調節しながらヒーター8により加熱して延伸する。これにより縮径部11内の圧力が変化して、軟化したガラス10が管の外側に膨れたり、内側に凹むのを抑制することができる。つまり、縮径部11内の圧力を所定の圧力に制御することにより延伸によるガラス管10の外径変動を抑えることができる。なお、ガラス管10を加熱しながら延伸する場合、該ガラス管の両端が遠ざかるようにガラス管10の両端をそれぞれ移動させて該ガラス管を延伸する。
本発明のガラス管の加工方法は、ある範囲をもって熱変形を起こすようなプロセスが含まれる、前記のMCVD法によるプリフォームの製造やガラス管の延伸、プリフォームの延伸など、ガラス管の外径や肉厚の変動をできるだけ少なくして軸方向に対して均一な特性が要求されるガラス部材の製造に適用できる。
1 ガラス管
2 原料ガス
3 バーナ
4 ガラス微粒子層
5 ガラス層
6 トラバースターン部
7 加熱炉
8 ヒータ
9 不活性ガス
10 ガラス管
11 縮径部
12 ガラス旋盤
13 配管
14 バルブ
15 不活性ガス
16 上流側圧力測定点
17 下流側圧力測定点
2 原料ガス
3 バーナ
4 ガラス微粒子層
5 ガラス層
6 トラバースターン部
7 加熱炉
8 ヒータ
9 不活性ガス
10 ガラス管
11 縮径部
12 ガラス旋盤
13 配管
14 バルブ
15 不活性ガス
16 上流側圧力測定点
17 下流側圧力測定点
Claims (4)
- ガラス管に対して加熱源を前記ガラス管の軸方向に相対的に移動させ、前記加熱源により前記ガラス管の一部を加熱しながら加工するガラス管の加工方法であって、前記加熱により前記ガラス管が軟化している部分を含む範囲の複数の測定点でガラス管外径およびガラス管表面温度を測定し、各測定点での測定径と設定径との差分に、その点の温度から求められるガラスの粘度で前記測定点のうちの最高温度のガラス粘度を割った値を掛け合わせ、得られた値を足し合わせ、その和がゼロとなるように前記ガラス管の内圧を調整するガラス管の加工方法。
- ガラス管に対して加熱源を前記ガラス管の軸方向に相対的に移動させ、前記加熱源により前記ガラス管の一部を加熱しながら加工するガラス管の加工方法であって、前記加熱により前記ガラス管が軟化している部分を含む範囲の複数の測定点でガラス管外径を測定し、前記ガラス管が軟化している部分の前記測定点のうちの最高温度の測定点のガラス管外径、前記相対的移動方向の最も後方にある測定点のガラス管外径およびガラス管の目標外径から、ガラスが十分固い位置にあり、かつ前記ガラス管の前記加熱源に対する相対移動方向の最も前方にある測定点のガラス管の外径が前記目標外径に収束するように前記ガラス管が軟化している部分の近似的形状を求め、各測定点ごとに前記近似的形状でのガラス外径と測定径との差分を求め、得られた前記差分に、その点の温度から求められるガラスの粘度で前記最高温度の測定点のガラス粘度を割った値を掛け合わせ、得られた値を足し合わせ、その和がゼロとなるように前記ガラス管の内圧を調整するガラス管の加工方法。
- 請求項1または2に記載のガラス管の加工方法において、前記ガラス管を加熱しながら、ガラス原料ガスおよび酸化ガスを前記ガラス管内に流し、前記ガラス管内面にガラス層を形成するガラス管の加工方法。
- 請求項1または2に記載のガラス管の加工方法において、前記ガラス管を加熱しながらガラス管の両端が遠ざかるように前記ガラス管の片端または両端を移動させて該ガラス管を延伸するガラス管の加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005209479A JP2007022874A (ja) | 2005-07-20 | 2005-07-20 | ガラス管の加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007022874A true JP2007022874A (ja) | 2007-02-01 |
Family
ID=37784130
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005209479A Withdrawn JP2007022874A (ja) | 2005-07-20 | 2005-07-20 | ガラス管の加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007022874A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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2005
- 2005-07-20 JP JP2005209479A patent/JP2007022874A/ja not_active Withdrawn
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