JP2007019270A - 顕微鏡を用いた欠陥観察方法および観察装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】欠陥検査装置から送られてくる欠陥情報及び実際のレビュー中に得られる情報に基づき、種々の条件を自動的に決定することによって、レビュー前に予め詳細条件を設定する手間を省き自動的かつ短時間で適正な条件を決定する。
【選択図】図1
Description
た、これらを組み合わせて、最初の特定の数点を選択する時は、明視野または暗視野光学系の画像を用い、それ以降はSEM画像を用いることもできる。この場合、最初の座標系間の大きなオフセットを画像領域の広い光学的撮像装置の画像を用いることで、より効果的に短時間で補正することが可能となる。これらは任意に組み合わせることが可能である。
203:欠陥レビューレシピ入力部
Claims (10)
- 他の検査装置で取得した試料上の欠陥座標に顕微鏡の視野を移動して欠陥を観察する方法において、
他の検査装置で取得した座標情報とサイズ情報を含む欠陥データを読み込む工程と、
前記欠陥データを欠陥サイズの大きな順にソートする工程と、
前記ソート結果に従い、サイズの大きな欠陥から順に当該欠陥の欠陥座標で示される試料上の位置に視野移動する工程と、
視野移動して観察された欠陥の座標と前記他の検査装置で取得した前記欠陥座標の誤差を求める工程と、
蓄積した前記座標誤差を用いて、他の検査装置で取得した欠陥座標に対する座標変換のための補正項を導出する工程と、
を有することを特徴とする欠陥観察方法。 - 請求項1記載の欠陥観察方法において、前記座標変換のための補正項を導出するための欠陥観察数を動的に求め、求められた数の座標誤差を取得した時点で、前記座標変換式を求めることを特徴とする欠陥観察方法。
- 請求項2記載の欠陥観察方法において、前記座標変換のための補正項を導出した後は、残りの欠陥の観察順序を欠陥のサイズ順からスループット重視の観察順序に切り替えることを特徴とする欠陥観察方法。
- 請求項3記載の欠陥観察方法において、欠陥のサイズ情報に基づいて、視野領域、画像サイズ、欠陥を検出できなかった場合の周辺探索の有無、画像処理パラメータのうち、少なくとも1つの条件を決定することを特徴とする欠陥観察方法。
- 試料上の欠陥座標に顕微鏡の視野を移動して欠陥の画像を表示する画面を備えた観察装置において、前記顕微鏡で画像を取得するときのレシピ条件の自動設定と手動設定の選択部を備えたことを特徴とする観察装置。
- 請求項5記載の観察装置において、前記手動設定が選択されたときは、前記欠陥の大きさで欠陥に関する情報を並べ替えるときの最大の大きさを設定可能であることを特徴とする観察装置。
- 請求項6記載の観察装置において、前記設定された最大の大きさを超える大きさの欠陥の情報は、前記並べ替えられた欠陥の情報の後に位置づけられることを特徴とする観察装置。
- 請求項5記載の観察装置において、前記手動設定が選択されたときは、前記欠陥の大きさで欠陥に関する情報を並べ替え、該欠陥の位置座標と実際に検出された位置座標との誤差量を求める演算部と、該誤差量を記憶する記憶部とを備えたことを特徴とする観察装置。
- 請求項8記載の観察装置において、前記誤差量を求めるための欠陥の数は検出された全欠陥の数よりも少ないことを特徴とする観察装置。
- 請求項8記載の観察装置において、前記画面は前記誤差量に基づいて変換された座標に基づいて欠陥の画像を表示することを特徴とする観察装置。
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