JP2006524338A - マイクロフィルタアレイを有する集積分光マイクロボロメータ - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は一般的に、集積回路の分野に係わり、より具体的には、マイクロフィルタアレイを含む集積分光マイクロボロメータに係る。
[発明の背景]
赤外光のスペクトルにおける特定の波長又は波長範囲の検出は、作像及び分光学の両方に有用である。作像では、フィルタが、光学検出器の前に配置され、赤外光といったエネルギーがフィルタを通り光学検出器まで案内され得る。フィルタは、赤外光のスペクトルのうちの特定の波長又は波長範囲を阻止し、その他全ての波長を光学検出器による検出のためにフィルタを通過することを許可し得る。或いは、フィルタは、特定の波長又は波長範囲がフィルタを通過することを許可し、一方でその他全ての波長を阻止するよう動作し得る。どちらの場合においても、赤外光は、単色又は多色の像に変換され得る。
[例示的な実施例の概要]
本発明では、スペーサ層を形成する方法に関連付けられる不利点及び問題が低減又は除去される。
[例示的な実施例の詳細な説明]
本発明及びその特徴並びに利点のより完全な理解のために、添付図面と共に以下の説明を参照する。
Claims (39)
- 集積回路を形成する方法であって、
第1の基板層の外面に近接して、透過エネルギーのスペクトルにおける1つ以上の波長の有無を検出するよう動作可能な検出器のアレイを設ける段階と、
第2の基板層に近接して、1つ以上のフィルタを通る前記透過エネルギーのスペクトルに作用するよう動作可能な該1つ以上のフィルタを設ける段階と、
前記検出器のアレイを真空環境に閉じ込めるよう前記第2の基板層を前記第1の基板層の前記外面に近接して配置する段階と、
を含む方法。 - 前記検出器のアレイにおける各検出器は、ボロメータのサブアレイを含む請求項1記載の方法。
- 前記第2の基板層に近接して前記1つ以上のフィルタを設ける段階は、前記第2の基板層の外面に近接して1つ以上のフィルタを形成する段階を含む請求項1記載の方法。
- 前記第2の基板層に近接して前記1つ以上のフィルタを設ける段階は、前記第2の基板層の内面に近接して1つ以上のフィルタを形成する段階を含み、
該1つ以上のフィルタは、前記真空内に閉じ込められる請求項1記載の方法。 - 前記第2の基板層に近接して前記1つ以上のフィルタを設ける段階は、
前記第1の基板層の前記外面に近接して1つ以上のスペーサを配置する段階と、
前記1つ以上のスペーサ上に中間基板層を配置する段階と、
前記中間基板層に近接して1つ以上のフィルタを設ける段階と、
を含み、
前記中間基板層は、前記1つ以上のスペーサによって支持され、
前記検出器のアレイは、前記第1の基板層と前記中間基板層との間に位置付けられ、
該1つ以上のフィルタは、前記真空内に閉じ込められる請求項1記載の方法。 - 各フィルタは、複数の交互の誘電体層を含み、
第1の誘電体層は、第1の誘電体材料を含み、
第2の誘電体層は、第2の誘電体材料を含む、請求項1記載の方法。 - 前記1つ以上のフィルタは、内部に形成される1つ以上の開口を含む金属のシートを含む請求項1記載の方法。
- 前記1つ以上のフィルタは、1つ以上の誘電体支持層に近接して形成される1つ以上の誘電体塔を含み、
前記誘電体塔の高さ及び間隔は、前記1つ以上のフィルタを通る前記透過エネルギーのスペクトルに作用するよう選択される請求項1記載の方法。 - 前記1つ以上のフィルタは、1つ以上の偏光フィルタを含む請求項1記載の方法。
- 前記集積回路は、前記スペクトルにおける前記1つ以上の波長の有無からガスの存在を判断するよう動作可能である請求項1記載の方法。
- 前記第2の基板層の前記外面に近接して1つ以上の生物反応パッチを設ける段階を更に含み、
前記1つ以上の生物反応パッチは、生物剤を検出するよう前記エネルギーの透過によって作用される請求項1記載の方法。 - 前記1つ以上のフィルタの外面に近接して1つ以上の生物反応パッチを設ける段階を更に含み、
前記1つ以上の生物反応パッチは、生物剤を検出するよう前記エネルギーの透過によって作用される請求項1記載の方法。 - 前記集積回路は、作像及び分光を実行するよう動作可能である請求項1記載の方法。
- 集積回路に透過エネルギーのスペクトルを方向付ける段階と、
前記スペクトルにおける1つ以上の波長の有無を検出する段階と、
を含み、
前記集積回路は、第1の基板層の外面に近接して設けられる検出器のアレイと、前記検出器のアレイを真空環境内に閉じ込めるよう前記第1の基板層の前記外面に近接して配置される第2の基板層とを含み、前記第2の基板層は、1つ以上のフィルタを通る前記透過エネルギーのスペクトルに作用するよう動作可能である該1つ以上のフィルタを含む、分光方法。 - 前記検出器のアレイにおける各検出器は、ボロメータのサブアレイを含む請求項14記載の方法。
- 前記1つ以上のフィルタは、前記第2の基板層の外面に近接して配置される請求項14記載の方法。
- 前記1つ以上のフィルタは、前記第2の基板層の内面に近接して配置され、
該1つ以上のフィルタは、前記真空内に閉じ込められる請求項14記載の方法。 - 前記1つ以上のフィルタは、前記第1の基板層の前記外面に近接する1つ以上のスペーサによって支持される中間基板層に近接して配置され、
前記検出器のアレイは、前記第1の基板層と前記中間基板層との間に位置付けられ、
該1つ以上のフィルタは、前記真空内に閉じ込められる請求項14記載の方法。 - 各フィルタは、複数の交互の誘電体層を含み、
第1の誘電体層は、第1の誘電体材料を含み、
第2の誘電体層は、第2の誘電体材料を含む請求項14記載の方法。 - 前記1つ以上のフィルタは、内部に形成される1つ以上の開口を含む金属のシートを含む請求項14記載の方法。
- 前記1つ以上のフィルタは、1つ以上の誘電体支持層に近接して形成される1つ以上の誘電体塔を含み、
前記誘電体塔の高さ及び間隔は、前記1つ以上のフィルタを通る前記透過エネルギーのスペクトルに作用するよう選択される請求項14記載の方法。 - 前記1つ以上のフィルタは、1つ以上の偏光フィルタを含む請求項14記載の方法。
- 前記スペクトルにおける前記1つ以上の波長の有無の検出からガスの存在を判断する段階を更に含む請求項14記載の方法。
- 前記第2の基板層の前記外面に近接して1つ以上の生物反応パッチを設ける段階を更に含み、
前記1つ以上の生物反応パッチは、生物剤の検出するよう前記エネルギーの透過によって作用される請求項14記載の方法。 - 前記1つ以上のフィルタの外面に近接して1つ以上の生物反応パッチを設ける段階を更に含み、
前記1つ以上の生物反応パッチは、生物剤を検出するよう前記エネルギーの透過によって作用される請求項14記載の方法。 - 前記集積回路は、作像及び分光を実行するよう動作可能である請求項14記載の方法。
- 第1の基板層の外面に近接して設けられ、透過エネルギーにおける1つ以上の波長の有無を検出するよう動作可能な検出器のアレイと、
前記検出器のアレイを真空環境内に閉じ込めるよう前記第1の基板層の前記外面に近接して配置される第2の基板層と、
前記第2の基板層に近接して設けられ、1つ以上のフィルタを通る前記透過エネルギーのスペクトルに作用するよう動作可能な該1つ以上のフィルタと、
を含む分光用の集積回路。 - 前記検出器のアレイにおける各検出器は、ボロメータのサブアレイを含む請求項27記載の集積回路。
- 前記1つ以上のフィルタは、前記第2の基板層の外面に近接して形成される請求項27記載の集積回路。
- 前記1つ以上のフィルタは、前記第2の基板層の内面に近接して形成され、
該1つ以上のフィルタは、前記真空内に閉じ込められる請求項27記載の集積回路。 - 前記1つ以上のフィルタは、前記第1の基板層の前記外面に近接する1つ以上のスペーサによって支持される中間基板層に近接して配置され、
前記検出器のアレイは、前記第1の基板層と前記中間基板層との間に位置付けられ、
該1つ以上のフィルタは、前記真空内に閉じ込められる請求項27記載の集積回路。 - 各フィルタは、複数の交互の誘電体層を含み、
第1の誘電体層は、第1の誘電体材料を含み、
第2の誘電体層は、第2の誘電体材料を含む請求項27記載の集積回路。 - 前記1つ以上のフィルタは、内部に形成される1つ以上の開口を含む金属のシートを含む請求項27記載の集積回路。
- 前記1つ以上のフィルタは、1つ以上の誘電体支持層に近接して形成される1つ以上の誘電体塔を含み、
前記誘電体塔の高さ及び間隔は、前記1つ以上のフィルタを通る前記透過エネルギーのスペクトルに作用するよう選択される請求項27記載の集積回路。 - 前記1つ以上のフィルタは、1つ以上の偏光フィルタを含む請求項27記載の集積回路。
- 前記検出器のアレイは更に、前記スペクトルにおける前記1つ以上の波長の有無からガスの存在を判断するよう動作可能である請求項27記載の集積回路。
- 前記第2の基板層の外面に近接する1つ以上の生物反応パッチを更に含み、
前記1つ以上の生物反応パッチは、生物剤を検出するよう前記エネルギーの透過によって作用される請求項27記載の集積回路。 - 前記1つ以上のフィルタの外面に近接する1つ以上の生物反応パッチを更に含み、
前記1つ以上の生物反応パッチは、生物剤を検出するよう前記エネルギーの透過によって作用される請求項27記載の集積回路。 - 前記集積回路は、作像及び分光を実行するよう動作可能である請求項27記載の集積回路。
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