JP2006503415A - 薄膜燃料電池用電解質及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
電解質(10)は、コア(12)と、当該コア(12)から延びる少なくとも1つの突出部(16)を有する。コア(12)は、基材上に支持されており、且つ少なくとも1つの突出部(16)は、基材(14)とは離れている。
Description
本発明は、薄膜燃料電池の分野に関する。本発明は、詳細には、薄膜電解質、薄膜構造、薄膜燃料電池、薄膜燃料電池を内蔵する電子装置、及び薄膜電解質と燃料電池を製造する方法に関する。
燃料電池は、水素や酸素などの、燃料と酸化剤とを直接結合させて、電気と、水などの排出物とを生成する電気化学装置である。それは、電解質によって分離された、陰極すなわち燃料極と、陽極すなわち空気極とを有する。水素は、燃料極上でプロトンへと酸化され、これに伴い電子が放出される。空気極では、分子状酸素が反応して酸素イオンとなり、このプロセスで電子が消費される。電子は、外部負荷を通って燃料極から空気極に流れ、回路は、電解質を通るイオン電流輸送によって完結する。水素燃料電池は有毒ガスを放出しない。それらは、静かに作動し、最大約80パーセントの潜在的効率を有する。
燃料電池の1つの具体的種類に、固体電解質層を備える薄膜電池がある。この種の燃料電池は、小型装置やマイクロエレクトロニクス装置などの用途に特に適している。一般に、燃料電池の電力出力は、電解質と燃料極間並びに電解質と空気極間の有効境界面積にほぼ正比例して変化する。薄膜電池からの出力を高めるために、より長く幅の広い燃料極、空気極及び電解質層が提供されてきた。これらの層を大きくすると、電池のための設置面積を大きくする必要があった。これは、マイクロエレクトロニクス装置では望ましくない。
固体酸化物薄膜燃料電池に関しては、さらに他の問題も知られている。例えば、この燃料電池は、一般に、700〜1000℃の範囲の比較的高い作動温度を必要とする。このような高い温度によって、薄膜燃料電池の層間剥離問題が引き起こされることがある。詳細には、そのような作動温度への/からの熱サイクルによって、様々な燃料電池層の実質的な熱膨張と収縮が起こり得る。当該層は様々な熱膨張係数を有する種々の材料で製造されているため、それらは異なる程度にて膨張収縮し得る。この結果、層は互いに剥離し得る。
これらの問題のいくつかに対する解決策が提案されている。例えば、類似の熱膨張係数を有する燃料極、空気極及び電解質層を用いる燃料電池を構成することが提案されている。しかしながら、これは、熱膨張係数を厳密に一致させることが必ずしも燃料電池性能を高めることと相関しないため困難な場合がある。
本発明によれば、薄膜燃料電池と共に用いるための電解質は、基材上に支持されている電解質コアを含んで成る。少なくとも1つの電解質突出部が、前記コアから突出し且つ基材の上方で懸架されている。
本発明は、薄膜燃料電池、薄膜燃料電池用電解質、薄膜燃料電池を内蔵する電子装置、及び電解質と薄膜燃料電池を製造する方法に関する。本発明は、多くの利点を提供する。例えば、本発明を実施することによって得られる薄膜電解質の形状は、薄膜燃料電池の層の良好な機械的結合を可能にし、したがって層剥離に対する耐性の改善を可能にする。さらに、中間層の表面積が大きくなるため反応速度が比較的速くなり、流れ場における乱れを大きくする曲がりくねった構造を形成することができる。本発明の以上その他の利点は、本明細書に記載し且つ図面に示す例示的な発明の実施形態に関する詳細な説明を検討することによって、より良く理解されよう。次に図面に移ると、図1及び図2は、本発明の薄膜電解質の実施形態を概略的に10で示す。電解質10は、基材14上に支持されている実質的に垂直なコア12を有する。基材14は、コア12と導電的に接続される導体とも、絶縁体ともし得る。コア12は、3次元の概して長方形の形状を有しているが、本発明は、限定はしないが、例えば円形、楕円形、多角形などをはじめとする様々な他の形状のコアを用いて実施することができる。複数の突出部16は、コア12に一体的に接続されており、且つ基材14の上方において懸架されている。本明細書で用いるとき、用語「一体的に接続された」とは、同一完全体の一部及び連続したものの一部であることを広義に指すよう意図されている。
突出部16は、ほぼ平面のコアの第1の側面20及び反対のほぼ平面の第2の側面22から外方に延在している。したがって、突出部16は、基材14の上方において支持されており、それらの間に画定された間隙18を有する。突出部16は、他の形状も考えられるが、概して、三次元の長方形に形成され、それらの上面及び下面の表面積が最大となるように、概して、コア12よりも幅が広くて薄い。
例示的な電解質10のような本発明の薄膜電解質にはいくつかの利点がある。例えば、突出部16は、燃料極及び空気極との大きい接触表面積を提供する。さらに、突出部16は、燃料極及び空気極に対し強力な機械的結合をもたらすため、層剥離問題が軽減される点で有利である。また、これらの構造を非線形構造にて配置することで、燃料流及び酸化剤流のための曲がりくねった経路が形成され、気体/表面の相互作用の機会を高めることができる。
薄膜電解質は、当分野で一般的に知られているような適切な材料を用いて製造し得ることが理解されよう。例を示せば、電解質10が、固体酸化物燃料電池に使用されるものである場合、限定はしないが、例えば、イットリア安定化ジルコニア、サマリアドープドセリア、ガドリニアドープドセリア、ランタンストロンチウムガリウムマンガナイトなどのセラミックスのような材料で作ることができる。電解質10は、固体酸化物燃料電池と共に使用するよう限定されるものではなく、異なる材料からなる電解質10を形成することが望まれるような、他の多くの種類の燃料電池に有効であり得ることが理解されよう。例えば、電解質10(及び/又は電解質支持構造)は、プロトンセラミック燃料電池、プロトン交換膜燃料電池、溶融炭酸塩燃料電池、アルカリ電解質燃料電池、又はりん酸燃料電池のいずれにも有効である。コア12は、図2に寸法Aとして示す約1〜約1000ミクロンの幅を有することができる。好ましい幅は、約1〜約250ミクロンである。突出部16はそれぞれ、図2に示すように、約0.25〜約1500ミクロンの幅Bを有する。コア12は、図1に示すように、小さければ約0.25ミクロン、大きければ約500ミクロンの高さCを有することができる。突出部16はそれぞれ、図1にDとして示す、約1ミクロン〜約50ミクロンの高さを有することが好ましい。
長さをはじめとする、コア12、突出部16、及び基材14の詳細な寸法は、具体的用途により変更し得る。例えば、境界面積を最大にしたり、層剥離を最大限に減少させたり、又はガスチャネルを形成するように、形状と寸法を決めた電解質10を提供することが望ましい。表面積が大きく層剥離が少ない例示的なケースでは、ガスチャネル用途と比較して単位面積当たりの密度が高い、より小さい電解質10を使用することが好ましい場合がある。
例えば図2を参照すると、表面積を大きくし且つ層剥離を減少させるために有効な本発明の電解質構造の実施形態においては、寸法Aは約1ミクロン以下であり、そのような用途では寸法Bは約0.25〜約5ミクロンであり、寸法D(図1)は約1ミクロン〜約2ミクロンである。ガスチャネルを形成する例示的なケースでは、より大きな電解質を使用してより大きなチャネルを形成し、それによって空気及び/又は燃料の流れの制約を少なくすることが好ましい場合がある。ガスチャネル電解質の用途では、例えば、図2の寸法Aは約250ミクロンであり、寸法Bは約500ミクロンであり、寸法D(図1)は約50ミクロンである。
さらに、これらの用途では、他の形状のコア12及び突出部16が有効な場合がある。例えば、表面積を大きくし、層剥離を減らし、当該構造を通過するガス流の乱れを大きくするためには、独立した正方形、長方形、又は円形の構造が有効であり得る。実際に、本発明の他の例示的な実施形態では、電解質構造上に形成された燃料電池を通って流れるガスの乱れを大きくするために、複数の別個の電解質構造を非線形配列にて設けている。図3は、ガス流の乱れを大きくすべく、基材14上に非線形配列にて構成された、複数の概して六角形の電解質コア12及び突出部16を表す上面図である。図3のコア、突出部及び基材を表すために、図1〜図2と共通の要素番号を用いているが、図3の突出部及びコアが図1〜図2のものとは異なる形状を有していることが理解されよう。表面積を最大にし流れの乱れを大きくするために、他の多くの形状及び配列もまた有効であることが当業者には理解されよう。
本発明の電解質の利点は、本発明の燃料電池の実施形態を検討する際に、より良く理解されよう。図4は、図1及び図2の例示的な電解質10を備える、全体を30で示した燃料電池を示している。燃料極32は、電解質の第1の側面20と、その側面から延在する複数の突出部16とに付着している。空気極34は、反対の第2の側面22と、その側面から延在する複数の突出部16とに付着している。同じ電池の燃料極32と空気極34は互いに離れていることが好ましいが、隣接する電池の燃料極32と空気極34とは、積み重ねるために接続することができる。当分野で一般的に知られているように、燃料極32と空気極34との間で電流を伝え、且つマイクロプロセッサや他の電子機器又はマイクロエレクトロニクス装置などの電気負荷37に電流を送るために、電流コレクタ35を設けることができる。この図に示す電流コレクタ35は単なる例示にすぎず、多くの異なる設計を検討することができる。当業者は、電流コレクタ35が、電極の性能を妨げるべきでないことも理解されよう。それは、例えば多孔質電流コレクタ35を利用することによって達成し得る。
電解質10の構造に起因して、従来技術のほぼ平坦な層状の電解質と比較して、燃料極32及び空気極34は電解質10に対し比較的強く機械的に結合することが理解されよう。さらに、比較的小さい設置面積を維持しながら、電解質10と燃料極32及び空気極34の間の境界表面積を比較的大きくすることができる。これにより、有効表面積が大きくなるため、比較的高い電流出力がもたらされる。
図5は、例示的な燃料電池40の様式の、他の発明の実施形態を示している。電池40は、燃料極42及び空気極44が電解質10の表面にほぼ整合するような薄い層で形成されている点以外は、電池30に類似する。燃料極42及び空気極44の厚さは、約0.5ミクロン以下と小さくできる。これは、図4の構成よりも大きい反応表面積をもたらすのに有利であり得る。
燃料極32又は42は、当分野で一般的に知られている有用な材料で作ることができる。例えば、SOFC用途の例示的な燃料極材料は、セラミックス/金属混合物(「サーメット」)であり、具体例として、限定はしないが、イットリア安定化ジルコニア/ニッケル、サマリアドープドセリア/ニッケル、サマリアドープドセリア/銅などが挙げられ、また、触媒作用が高く、導電性で、イオン伝導性のセラミックスの複合混合物も考慮することができる。空気極34又は44もまた、当分野で有効であることが知られている材料で形成することができ、SOFC用の例示的な材料として、電極触媒と酸素イオン伝導体との複合混合物が挙げられる。具体例として、限定はしないが、ランタンストロンチウムマンガナイト/イットリア安定化ジルコニア、ランタンストロンチウム輝コバルト鉱フェライト/サマリアドープドセリア、サマリウムストロンチウム輝コバルト鉱/サマリアドープドセリアなどが挙げられる。
様々な構成及び種類の電解質と燃料電池とを用いて本発明を実施できることが理解されよう。図6は、全体を50で示す、さらに他の電解質の実施形態を示している。2つのほぼ垂直なコア52が、基材54の両側にある。複数の突出部56が、コア52の両側の平らな側面60及び62から延在している。基材54は、電解質50の一体部であることが好ましい。
図7は、電解質50を備える、本発明のさらに他の燃料電池の実施形態を全体を70で示している。燃料電池70では、燃料極72は、基材50の第1の側のコア52と突出部56に付着しており、空気極74は、基材50の反対側の第2の側のコア52と突出部56に付着している。空気極72と燃料極74の各々を包囲する2つの筐体76及び78もまた設けられている。当業者には理解されるように、筐体76及び78は、燃料極74及び/又は空気極72と反応する燃料及び/又は酸化剤ガスを収容するために用いることができる。これらの筐体76及び78はまた、多孔質の燃料極74及び空気極72材料も収容することができる。筐体76及び78には、限定はしないが、例えばマニホルドや壁で構成されたチャンバなどをはじめとする、当分野で有効であることが一般的に知られている任意の筐体が包含され得る。
単一の電解質、単一の空気極及び単一の燃料極で構成された個別の燃料電池は、多くの用途において不十分であろう、比較的少ない電流及び電圧をもたらすことが当業者には理解されよう。当該理由並びにその他の理由のため、個別の燃料電池は、より大きくより有効な強度の合計電流及び電圧を提供すべく、多くの場合、組み合わされ、直列又は並列にて電気的に接続される。本発明の燃料電池は、そのような構成にて提供することができる。
例えば、図8は、図1の電解質10と同じ全体を10で示した複数の個別の電解質を備え且つ基材114上に支持されたほぼ垂直なコア、即ちコア12を備える、全体を100で示す本発明の燃料電池アセンブリを示している。それぞれのコア12の両側から複数の突出部16が延在している。それぞれのコア12の側面とその側面から延在している複数の突出部16に燃料極132が接続されている。それぞれのコア12の両側とその側面から延在している複数の突出部16に空気極134が接続されている。基材114、電解質12、複数の燃料極32、及び複数の空気極34を覆うようにマニホルド136が設けられている。
マニホルド136はまた、複数のチャネル138を画定する機能を有する。各チャネル138は、チャネル間でガスを行き来させるための少なくとも1つのポート(図示せず)を有する。燃料極132と空気極134は、チャネル138の各々が燃料極132だけ又は空気極134だけを含むように配置される。すなわち、燃料極312は、隣接した対として配置され、空気極は、隣接した対として配置される。即ち、燃料電池アセンブリ100は、隣接する電解質10に互いに隣接するよう接続された2つの燃料極132を有し、同様に隣接する電解質10に互いに隣接するよう接続された2つの空気極134を有する。燃料極132と空気極134がそれぞれ接続される個々の電解質10の各々は、電流コレクタ(図示せず)によって直列又は並列にて電気的に接続することができる。
本発明の他の多くの構成の電解質及び燃料電池にも長所のあることが理解されよう。例えば、図9に全体を200で示す燃料電池アセンブリは、それぞれが最大4つの燃料極232又は空気極234を有する複数のチャネル238を有している。燃料極232及び空気極234は、図1の電解質10と同じで且つコアとコアから延在する複数の突出部とを含んで成る電解質10の両側に接続されている。図示するように、チャネル238は、2つの対向する基材214の間に延在する壁240によって画定されており、壁240のいくつかは電解質10によって受けられており、端の2つの壁は基材214によって受けられている。
燃料極232と空気極234は、各チャネル238が燃料極232か空気極234だけを含むように配置される。即ち、連続した電解質10に接続される燃料極232が隣接するように、燃料極232は、各基材214上において、第1の電解質10の第1の側面と、隣接する電解質10の第2の側面に接続される。同様に、空気極234は、各基材214上において、連続した電解質10からの空気極234が互いに隣接するように配置される。
図10は、本発明のさらに別の燃料電池構成を示している。全体を300で示す燃料電池は、その上面及び下面両側のそれぞれに支持されている複数の個別の電解質構成体310を有する基材314を含んで成る。電解質構成体310の各々は、図1の電解質10と同じであり、コア又はコア、並びにコアから延在している複数の突出部又は突出部を含む。基材314は、電解質構成体310と同じ材料で作られており、電解質の一部をなすように電解質構成体310と一体的に接続されることが好ましい。したがって、基材314の各両側の電解質構成体310が電気的に接続されており、且つ構成体310と基材314は一緒になって機能的に単一の電解質を構成している。
基材の対向する側のうち一方の上にある複数の電解質構成体310に燃料極332が接続されており、対向する側の他方の上にある複数の構成体310に空気極334が接続されている。それによって、燃料極332と空気極334は、複数の構成体310によって電解質314にしっかりと固定化されている。少なくとも1つのポート(図示せず)を使用してガスを送ることができるチャネル338を画定するために、電解質基材314の一方の側にマニホルド336が接続される。空気極334を収容するチャネルを画定するためにさらに他のマニホルドを設け得ることは理解されよう。また、本発明の燃料電池の他の実施形態では、互いに直列又は並列に電気的に接続された複数の燃料電池300が含まれ得ることも理解されよう。
本明細書で述べた本発明の燃料電池及び燃料電池アセンブリの他の実施形態も同様に、、直列、並列、又は他の方法で組み合わせ得ることが理解されよう。例えば、図11は、図9のアセンブリ200の2つを互いに積み重ねて含む燃料電池アセンブリ400を示している。基材215は、2つのアセンブリ200を互いに隔てさせ、その上面及び下面の両側に電解質110を支持している。基材215は、互いに層状に積み重ねられた2つの基材214を含んで成ることも、単一の基材層とすることもできる。各電池アセンブリ200の燃料極232及び空気極234を直列あるいは並列に接続することによって、アセンブリ200の全てからの累計の電流を供給することができる。2つの燃料電池アセンブリ200のみを示したが、任意の所望の数の燃料電池アセンブリ200を積み重ねることができることは理解されよう。当該構成は、比較的小さな設置面積しか必要としないが、電力出力が比較的大きいという利点をもたらす。
電解質及び燃料電池に加えて、本発明はまた、電解質を製造する方法並びに燃料電池を製造する方法に関する。図12は、本発明の電解質を製造するための、本発明の方法の一実施形態を示すフローチャートである。最初のステップで、基材上に複数の層を付着させるが、当該層のうち少なくとも2つの層は、異なるエッチ選択性を有している(ブロック402)。当該層は、限定はしないが、例えば、シリコン、シリコン酸化物、ポリシリコン、不純物添加シリコン、スピンオンガラスなどをはじめとする、当分野で一般的に知られている様々な適切な材料で作ることができる。当該層は、限定はしないが、真空蒸着やスパッタリングなどをはじめとする、当分野で一般的に知られている付着方法を利用して付着させることができる。当該層のうち、異なるエッチ選択性を有する少なくとも2つの層は、異なる材料で作ることが好ましい。しかしながら、同じ材料で作製された層が異なるエッチ選択性を有し得ることは理解されよう。例えば、同じ材料では作られているが粒子径の異なる2つの層は、異なるエッチ選択性を有し得る。
次に、当該層を異方性エッチングすることによって、電解質コアを画定する第1のチャンバを、複数の層内に画定する(ブロック404)。層内にチャンバを画定するためのエッチング以外の除去方法は既知であり、本発明の実施に有効であることが当業者には理解されよう。コアチャンバを画定する際、異なる材料で作成された2つの層の各々の一部が除去される。複数の層の各々の一部を除去することが好ましい。したがって、2つの異なる材料、即ちそれぞれ異なるエッチ選択性を有する材料の両方を処理するのに有効なエッチングあるいは他の除去方法が使用される。
次のステップにおいて、複数の層のうちの1つ又は複数の特定の層の一部から少なくとも1つの追加のチャンバを画定することで、少なくとも1つの電解質突出部を画定するた(ブロック406)。当該ステップは、複数の層のうちの特定の層のみが反応するエッチングや他の除去法を用いるか、又は層のうちのいくつかが他の層よりも強く反応するエッチングを用いることによって達成し得る。例えば、2つの層AとBがそれぞれ異なるエッチ選択性を有する場合、Aよりも高い比率でBに作用するエッチング技術を利用することで、Bでできた層のみに作用するか、あるいはAの部分よりもBの部分を実質的に大きくエッチングすることができる。複数の突出チャンバを形成することが好ましい。
コア及び突出部チャンバを画定するこれらのステップの後には、電解質を画定するパターンが複数の層内に存在する。次いで、この電解質画定チャンバに電解質材料を充填する(ブロック408)。パターンの充填は、真空蒸着やスパッタリングなど、当分野で一般的に知られている技術を利用して達成することができる。また、電解質材料として使用するために種々の材料が適しており、例示的な材料としては、本発明の電解質の実施形態に関して説明したセラミックスがある。
次いで、複数の層の残りの部分を除去して、基材上に自立した電解質構造を残す(ブロック410)。例えば、この実施形態の方法ステップによって構成された自立形電解質は、図1に示した電解質10に一致する。当該電解質を備える燃料電池を製造すべく、次いで、電解質上に燃料極と空気極を形成するステップを実施する(ブロック412)。燃料極は電解質構造の一方の側に形成させ、空気極は他方の側に形成させ、そして2つを互いに離すことが好ましい。燃料極と空気極はそれぞれ、電解質コアから延在する複数の突出部に接続することが好ましい。これらのステップによって構成された例示的な燃料電池は、図4の燃料電池30とほぼ一致し得る。
図13(a)〜13(g)を検討することによって、本発明の電解質及び燃料電池を製造する方法に関する本発明の実施形態をさらに詳しく説明することができる。図13(a)は、基材504上に付着した複数の層502を示している。複数の層502は、異なるエッチ選択性を有する少なくとも2つの個別の層506及び508を含む。即ち、少なくとも1つの第1の層506が第1のエッチ選択性を有し、少なくとも1つの第2の層508が第2のエッチ選択性を有する。2つの層506及び508は、互いに異なる材料で作ることが好ましい。第1及び第2の材料は、エッチングのような特定の除去方法に対する耐性が互いに異なることが好ましい。本発明の実施に際し、第1の材料又は第2の材料に様々な材料が適するであろうことは当業者には理解されよう。例えば、第1の材料には、等方性SF6エッチング工程によって容易に除去され得るシリコンを用いることができ、第2の材料には、等方性SF6エッチングによる除去に耐えるSiO2を用いることができる。
複数の層502を付着させた後、図13(b)に示すように、エッチング工程や他の工程によってそれらの層の一部を除去してチャンバ510を形成する。即ち、チャンバ510を形成するために、層506及び508の各々の一部を除去している。チャンバ510は、電解質コアを画定することになり、それ故チャンバ510はコアチャンバと称し得る。両方の層の除去は、両方の層に作用する除去法によって実現することができ、又は特定の層に対し望ましいような異なる技術を利用して1つの層、そして次の層といった、複数の除去ステップによって実現することができる。
次の除去ステップにおいて、図13(c)に示すように、層508の一部のみを除去して、複数の突出部チャンバ512を形成させる。これらの突出部チャンバを画定する当該除去ステップは、層506のかなりの量を除去するのには効果のない方法であることが好ましい。突出部チャンバ512の各々が、電解質の複数の突出部のうちの1つを画定する。この第2のエッチングステップにおいて、第1の層506のわずかな部分が除去され得ることは理解されよう。しかしながら、この除去される量は、層508の除去部分よりも少ない。層506は、実質的にどの部分も除去されないことが好ましい。
チャンバ510及び512は、組み合わせで、コアと複数の突出部から成る電解質ためのパターン514を画定する。次に、図13(d)に示すように、このパターン514に電解質材料516を充填することによって、電解質を形成することができる。パターンを充填するには、真空蒸着やスパッタリングなどの技術を利用することができる。電解質材料516がパターン514内で硬化した後に、層506及び508の残りの部分を除去して、図13(e)に示す自立形の電解質518を残す。図13を検討する際に、例えば電流コレクタを形成したり、構造コネクタを形成したりするための他のステップもまた設け得ることが理解されよう。
他の構成の電解質及び/又は燃料電池を製造するために、本発明の方法の他の実施形態を実施できることも当業者には理解されよう。例えば、本発明の方法に関する実施形態を実施することにより、本明細書で説明し、図1〜図11に示した電解質又は燃料電池の何れの実施形態も製造できることは明らかであろう。
特定の例として、図14は、本発明の電解質の他の実施形態を製造するのに有効な、本発明の方法のさらに他の実施形態を示す際に役立つ。図14(a)では、基材604上に複数の層602が付着している。複数の層602は、第1のエッチ選択性を有する複数の第1の層606と、第2のエッチ選択性を有する複数の第2の層608から構成される。層606及び608両方の一部をエッチング又は除去して、図14(b)に示すようなコアチャンバ610を画定する。次のステップにおいて第1の層の材料606の一部のみを除去して、図14(c)に示すように複数の突出部チャンバ612を画定する。除去部分を異なる寸法にすることで、異なる寸法の突出部を作成することができる。
次いで、図14(d)に示すように、コアチャンバ610及び突出部チャンバ612に電解質材料614を充填する。図14(e)において、充填されたコアチャンバ610及び最も上の複数の層602の残存部分の上に、電解質基材616を付着させる。電解質基材616は、電解質材料610と同じ化学組成のものであることが好ましい。図14(f)は、電解質基材616上に追加の複数の層618を付着させた結果を示している。複数の層602と同様に、追加の複数の層618は、複数の第1の層606及び複数の第2の層608から構成される。次いで、図14(g)に示すように、第1の層606及び第2の層608の各々の一部を除去することによって、複数の層618内に第2のコアチャンバ620を画定する。図示するように、第2のコアチャンバ620は、第1のコアチャンバ610とは異なる寸法又は形状とし得る。
次いで、図14(h)に示すように、第2の層608の一部のみを除去することにより、複数の突出部チャンバ622を画定する。次いで、図14(i)に示すように、コアチャンバ618及び突出部チャンバ622に電解質材料610を充填する。複数の層618及び602の両方から全ての第1の層606及び第2の層608の残存部分を除去すると、図14(j)に示す電解質構造624が残る。電解質構造624は、基材616の両側に異なる寸法の下側コア628と上側コア626を有し、寸法が均一でない上側突出部630と下側突出部632を有することに留意されたい。上側電解質コア626と突出部630の総表面積は、下側コア628と突出部632の総表面積と実質的に同じであることが好ましい。
図14(k)は、燃料電池を製造すべく、電解質コア626及び628と、突出部630及び632とにそれぞれ取り付けられた燃料極634及び空気極636を示している。燃料極634と空気極636とは互いに離れている。例えば電流コレクタや、ガスを1つ又は複数の燃料極634及び空気極636に送るための1つ又は複数の筐体をはじめとする、一般的に知られている他の燃料電池構成要素をさらに設け得ることは当業者には理解されよう。
本発明の電解質コアを形成する方法のさらに他の実施形態では、電解質構造を基材上に形成させ、次いでエッチングすることで、少なくとも1つの突出部を有する電解質構造を形成することができる。図15は、当該方法を示すのに有用である。図15(a)は、基材704上に形成された電解質構造702を示しており、当該構造702は複数の個別の層706から構成されている。層706のうちの少なくとも2つは異なるエッチ選択性を有する。当業者は、エッチ選択性を様々な手段によって制御することができ、その2つの例は、粒子径及びバインダの選択であることが理解されよう。構造712をエッチング工程にかけると、層716の異なるエッチ選択性のために、層に応じて異なる程度でエッチングが進行し、電解質コアから延在する複数の突出部を有するところの図15(b)に示すような例示的結果が得られる。
本発明の特定の実施形態を示し説明してきたが、当業者には、他の修正、代替及び変更が明らかであることを理解されたい。そのような修正、代替及び変更は、添付の特許請求の範囲により定義される本発明の趣旨及び範囲から逸脱することなく、実施することができる。本発明の様々な特徴は、添付の特許請求の範囲に記載される。
Claims (10)
- 薄膜燃料電池と共に用いるための電解質であって、
基材(14)上に支持された電解質コア(12)、及び
前記コア(12)に接続され且つ前記基材(14)から離された少なくとも1つの電解質突出部(16)
を含む電解質。 - 請求項1記載の電解質を含む薄膜燃料電池であって、
前記コア(12)が、対向する2つの側面(20、22)を有し、少なくとも1つの電解質突出部(16)が、複数の電解質突出部(16)を含み、
前記複数の電解質突出部(16)のうちの少なくとも第1の電解質突出部と、前記対向する2つのコア側面のうちの第1のコア側面(20)とに接している空気極(32);及び
前記対向する2つのコア側面のうちの他方のコア側面(22)と、前記複数の電解質突出部(16)のうちの少なくとも第2の電解質突出部とに接している燃料極(34)であって、前記空気極(32)と分離されている燃料極(34)
をさらに含む薄膜燃料電池。 - 前記複数の電解質突出部(16)のうちの前記少なくとも第1の電解質突出部が、少なくとも2つの電解質突出部(16)と、前記少なくとも2つの電解質突出部間に画定された第1の間隙とを含み、前記空気極(32)が前記第1の間隙を実質的に満たしており、
前記複数の電解質突出部(16)のうちの前記少なくとも第2の電解質突出部が、少なくとも2つの電解質突出部(16)と、前記少なくとも2つの電解質突出部(16)間に画定された第2の間隙とを含み、前記燃料極(34)が前記第2の間隙を実質的に満たしている、請求項2に記載の薄膜燃料電池。 - 前記電解質コア(12)が、前記基材(114)上に支持された複数の電解質コア(12)のうちの1つであり、前記複数の電解質コア(12)がそれぞれ互いに分離されており、前記複数の電解質コア(12)が、複数のチャネル(138)を画定するように配置され且つさらに前記複数の電解質コア(12)のそれぞれに接続された燃料極(134)と空気極(132)を含み、前記燃料極(134)が前記複数のチャネル(138)のうち1つおきのチャネルのチャネル壁を画定し、前記空気極(132)が前記複数のチャネル(138)のうち介在するチャネルのチャネル壁を画定するように前記燃料極(134)と前記空気極(132)とが配置されている、請求項1に記載の薄膜燃料電池と共に用いるための電解質。
- 前記コア(12)が、約1ミクロン以下の幅(A)と、約0.25〜約5ミクロンの高さ(C)を有し、前記少なくとも1つの突出部(16)がそれぞれ、約2〜約5ミクロンの幅(B)と、約1〜約2ミクロンの高さ(D)を有する、請求項1に記載の薄膜燃料電池と共に用いるための電解質。
- 薄膜燃料電池と共に用いるための、少なくとも1つの自立形電解質を製造する方法であって、
基材(504)上に第1の構造(502)を形成するステップ、
前記第1の構造(502)内に少なくとも1つのチャンバを形成するステップであって、前記少なくとも1つのチャンバが、コア(510)と、前記コア(510)から延在する少なくとも1つの突出部(512)とを画定する、ステップ、
前記少なくとも1つのチャンバに電解質材料(516)を充填するステップ、及び
前記第1の構造を除去して、コア(12)とそこから延在する少なくとも1つの突出部(16)とを有する自立形電解質を露出させるステップであって、前記少なくとも1つの突出部(16)が前記基材(14)から離れている、ステップ、
を包含する方法。 - 前記第1の構造(502)を形成するステップが、前記基材(504)上に複数の層(502)を付着させることを包含し、且つ前記チャンバ(510)を形成するステップが、前記複数の層(502)をエッチングしてパターン(514)を形成する1つ又は複数のステップを包含する、請求項6に記載の少なくとも1つの自立形電解質を製造する方法。
- 前記複数の層(502)のうちの少なくとも第1の層(506)が第1のエッチ選択性を有し、前記複数の層(502)のうちの少なくとも第2の層(508)が第2のエッチ選択性を有し、且つ前記複数の層(502)に前記パターン(514)をエッチングするステップが、前記第1の層(506)と前記第2の層(508)から前記少なくとも1つのチャンバのコア部分(510)をエッチングする第1のステップと、前記第2の層(508)の少なくとも一部はエッチングするが前記第1の層(506)は実質的にエッチングしないことにより、前記チャンバの複数の突出部分(512)をエッチングする第2のステップとを包含する、請求項7に記載の少なくとも1つの自立形電解質を製造する方法。
- 前記基材(616)が、対向する第1及び第2の側を有し、少なくとも前記第1の構造(602)が前記第1の側に形成されており、さらに
前記基材(616)の前記第2の側に第2の構造(618)を形成するステップ、
前記第2の構造(618)内に少なくとも1つのチャンバを形成するステップであって、前記少なくとも1つのチャンバが、コア(620)と、前記コア(620)から延在する少なくとも1つの突出部(622)とを画定する、ステップ、
前記基材上の前記少なくとも1つのチャンバに電解質(610)を充填するステップ、及び
前記第2の構造を除去して、コア(626)とそこから延在する少なくとも1つの突出部(630)とを有する少なくとも1つの自立形電解質を前記基材の第2の側に残すステップであって、前記少なくとも1つの突出部(630)が前記基材の第2の側から離れている、ステップ
を包含する、請求項6に記載の少なくとも1つの自立形電解質を製造する方法。 - 前記電解質材料が充填された前記チャンバと前記構造(602)の上に電解質基材層(616)を付着させるステップ、
前記電解質層(616)の上に第2の構造(618)を形成するステップ、
前記第2の構造内に第2のチャンバを画定するステップであって、前記第2のチャンバがコアチャンバ(620)と少なくとも1つの突出部チャンバ(622)とを画定する、ステップ、
前記第2のチャンバに前記電解質材料(610)を充填するステップ、及び
前記第2の構造を除去して前記電解質基材層(616)上に自立形電解質を露出させるステップであって、前記自立形電解質が、コア(626)とそこから延在する少なくとも1つの突出部(630)とを有し、前記少なくとも1つの突出部(630)が前記電解質基材層(616)から離れている、ステップ、
をさらに包含する、請求項6に記載の少なくとも1つの自立形電解質を製造する方法。
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