JP2006344731A - レーザー光周回装置及びレーザー光周回方法 - Google Patents
レーザー光周回装置及びレーザー光周回方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006344731A JP2006344731A JP2005168252A JP2005168252A JP2006344731A JP 2006344731 A JP2006344731 A JP 2006344731A JP 2005168252 A JP2005168252 A JP 2005168252A JP 2005168252 A JP2005168252 A JP 2005168252A JP 2006344731 A JP2006344731 A JP 2006344731A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- convex lens
- laser
- lens
- polarized light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
【解決手段】 レーザー光3を外部から導入し、レーザー光を周回する周回路5内に閉じ込めて、周回路内のレーザー光集光点9を繰り返し通過させ、かつレーザー光集光点の位置を調整し、同一のレーザー光を同一のレーザー光集光点に複数回集光させる。
【選択図】 図2
Description
X線管は、真空中でフィラメントを加熱して得られる熱電子を高電圧で加速して金属陽極(ターゲット)に衝突させて、X線を発生させる装置である。X線管から発生するX線は、電子の制動放射による連続X線と、輝線スペクトルである特性X線とからなる。連続X線は特定の波長のX線を必要としない用途、例えば医療用や工業用の透過法の光源として用いられる。また特性X線は、特定の波長のX線を必要とする用途、例えばX線回折や蛍光X線分光等に用いられる。
また、本発明と関連する先行技術として、非特許文献1、2が開示されている。
この装置は、一般に線形加速器で用いられるSバンド(2.856GHz)の4倍の周波数にあたるXバンド(11.424GHz)をRFとして用いて小型化を図っており、例えばX線強度(光子数):約1×109photons/s、パルス幅:約10psの強力な硬X線の発生が予測されている。
しかし、電子ビームのパルス幅(例えば数100ns〜数1000ns)に対し、パルスレーザー光のパルス幅は非常に短い(例えばNd:YAGレーザーの場合10ns)ため、X線の発生に寄与するのは全体のごく一部にすぎずレーザー光の利用効率が低い問題点があった。
また、例えばレーザー光を希薄なガスの分子とレーザー光の相互作用に利用するような場合、レーザー光の利用効率が低い問題点があった。
また、この場合、多数の反射鏡を微調整して光の軌道を調整するため、調整が非常に困難であり、電子ビームとレーザー光の位置ずれが起こりやすく、非常に細い電子ビーム(例えば直径100μm程度)を同様に非常に細いレーザー光(例えば直径100μm程度)に正確に衝突させることがほとんど不可能に近い問題点があった。
前記レーザー光集光点の位置を調整するレーザー光集光点調整装置とを備え、これにより同一のレーザー光を同一のレーザー光集光点に複数回集光させる、ことを特徴とするレーザー光周回装置が提供される。
第2凸レンズの焦点距離f2と第3凸レンズの焦点距離f3の和は、第2凸レンズと第3凸レンズの間の周回路長d23に等しく設定されている。
該凹レンズの焦点距離f5は、焦点距離f3の1/4と焦点距離f4の1/4に等しく、かつ
第3凸レンズと凹レンズの間の周回路長d35と、凹レンズと第4凸レンズとの間の周回路長d54は、焦点距離f3の1/2に等しく設定されている。
該偏光ビームスプリッターを出たレーザー光を複数回反射して前記偏光ビームスプリッターに周回させる複数の反射ミラーと、
前記周回路内に位置し電圧の印加時に通過するレーザー光の偏光方向を90度回転するポッケルスセルと、
偏光ビームスプリッターに周回するレーザー光が常に第2直線偏光となるようにポッケルスセルを制御する制御装置とを備え、
前記偏光ビームスプリッターによりレーザー光を直角に反射して、レーザー光を周回する周回路内に閉じ込める。
更に、前記ポッケルスセルの上流側に位置し通過するパルスレーザー光の偏光面を90度回転させる2分の1波長板を備え、
前記制御装置により、パルスレーザー光の最初の周回時には、ポッケルスセルに電圧を印加せずに第2直線偏光をそのまま通し、2周目以降はポッケルスセルに電圧を印加し第1直線偏光を第2直線偏光にして通す。
前記制御装置により、パルスレーザー光の最初の周回時に、ポッケルスセルに電圧を印加し第1直線偏光を第2直線偏光にして通し、2周目以降はポッケルスセルに電圧を印加せずに第2直線偏光をそのまま通す。
かつレーザー光集光点の位置を調整し、同一のレーザー光を同一のレーザー光集光点に複数回集光させる、ことを特徴とするレーザー光周回方法が提供される。
該偏光ビームスプリッターを出たレーザー光を同一平面内で複数回反射して前記偏光ビームスプリッターに周回させる周回路を形成し、
前記周回路内に位置するポッケルスセルを用いて、偏光ビームスプリッターに周回するレーザー光が常に第1直線偏光と直交する第2直線偏光となるようにポッケルスセルを制御し、
偏光ビームスプリッターによりレーザー光を直角に反射して、レーザー光を周回する周回路内に閉じ込める。
この例において、電子ビーム発生装置10は、RF電子銃11、α‐磁石12、加速管13、ベンディング磁石14、Q−磁石15、減速管16、およびビームダンプ17を備える。
特にパルス電子ビーム1は、1つの電子の塊に、周回するレーザー光を何度も衝突させるため、レーザー光の周回時間(約10ns)よりも、大きな電子ビームを発生する必要があるため、マルチバンチパルス電子ビームであるのが良い。
レーザー装置21は、例えば波長1064nmのNd−YAGレーザーである。またパルスレーザー光3は、この例に限定されず、エキシマレーザーのArF(波長193nm),KrF(波長248nm),XeCl(波長308nm),XeF(波長351nm),F2(波長157nm)やYAGレーザーの第3高調波(波長355nm)、第4高調波(波長266nm)、第5高調波(波長213nm)、その他を用いてもよい。
以下、レーザー光がパルスレーザー光3であり、レーザー装置21がパルスレーザー装置である場合について説明する。
レーザー光周回装置30は、レーザー光周回光学系32を有し、パルスレーザー光3(p偏光3a)を外部のレーザー発生装置20から反射ミラー31を介して周回路5内に導入し、このパルスレーザー光3を周回する周回路5内に閉じ込めて、周回路内のレーザー光集光点9を繰り返し通過させるようになっている。周回路5は、この例では同一平面上の位置a,b,c,dを通る矩形光路である。
レーザー光集光点9は、図1の例における電子ビームとの衝突位置(直線軌道2上の衝突点2a)に相当する。しかし、本発明は、電子ビームとの衝突に限定されず、ガス等にも適用できる。
3枚の反射ミラー36a,36b,36cは、偏光ビームスプリッター34を出たパルスレーザー光3を複数回(この例では3回)反射して、偏光ビームスプリッター34に周回させ、同一平面上の矩形光路である周回路5を構成する。
なお、本発明において、周回路5は同一平面上の矩形光路に限定されず、3次元光路でも、3角形又は5角以上の多角形でもよい。
なお、この構成は必須ではなく、単色硬X線4の放射方向がパルス電子ビーム1と異なる場合には、反射ミラー36a,36b,36cをX線透過率の低い材料(例えば金属)で構成してもよい。
制御装置40は、偏光ビームスプリッター34に周回して入るパルスレーザー光3が常に第2直線偏光3b(S偏光)となるようにポッケルスセル38を制御する。
第3凸レンズ53及び第4凸レンズ54は、ポッケルスセル38を挟んでその上流側と下流側に位置する。
また、第1〜第4凸レンズ51,52,53,54を第1レンズ位置調整装置58と第2レンズ位置調整装置59で周回路5に直交する方向に微調整することにより、入射角度と位置の両方を容易かつ正確に微調整することができ、これによりX線の発生効率(すなわちレーザー光の利用効率)を大幅に高めることができる。
また、この例において、第4凸レンズの焦点距離f4と第1凸レンズの焦点距離f1の和(f4+f1)は、第4凸レンズと第1凸レンズの間の周回路長d41に等しく設定されている。
また、同様に、第2凸レンズの焦点距離f2と第3凸レンズの焦点距離f3の和(f2+f3)は、第2凸レンズと第3凸レンズの間の周回路長d23に等しく設定されている。
この2つの関係は、レーザー光の周回条件である。
レーザー光集光点9でレーザー光を集光させることにより、パルス電子ビーム1との衝突により発生するX線の強度(すなわちレーザー光の利用効率)を高めることができる。
また、第3凸レンズ53と第4凸レンズ54の間でレーザー光を集光させることにより、ポッケルスセル38の応答性を高めることができる。なおポッケルスセル38に位置は、その保護のため、焦点位置から任意にずらすこともできる。
この例においてλ/2波長板41は、ポッケルスセル38とその上流側の位置dとの間に位置し、通過するパルスレーザー光3(3a又は3b)の偏光面を常に90度回転させるようになっている。その他の構成は、第1実施形態図と同様である。
この構成によっても、パルスレーザー光3の最初の周回時には、2分の1波長板58を通過して偏向面が90度回転した第2直線偏光3bをポッケルスセル38に電圧を印加せずにそのまま通し、2周目以降は2分の1波長板58を通過して偏向面が90度回転した第1直線偏光3aをポッケルスセル38に電圧を印加し第2直線偏光3bにして通すことで、偏光ビームスプリッター34に入るパルスレーザー光3が常に第2直線偏光3b(S偏光)となり、パルスレーザー光3を周回する周回路5内に閉じ込めることができる。
この例において、本発明のレーザー光集光点調整装置50は、さらに2つの同焦点距離の第3凸レンズ53と第4凸レンズ54を互いに焦点距離だけ離して設け、その中央に凹レンズ55を備える。この凹レンズ55は単レンズでも複合レンズでもよい。
またこの例において、凹レンズ55の焦点距離f5は、焦点距離f3の1/4と焦点距離f4の1/4に等しい。また、第3凸レンズ53と凹レンズ55の間の周回路長d35と、凹レンズ55と第4凸レンズ54との間の周回路長d54は、焦点距離f3の1/2に等しく設定されている。この2つの関係は、この構成におけるレーザー光の周回条件である。
その他の構成は、一部を省略して示しているが第1実施形態図と同様である。
この例では、図4の第4実施形態図における偏光ビームスプリッター34と反射ミラー36cの位置を逆にしたものである。
また、3枚の反射ミラー36a,36b,36cは、偏光ビームスプリッター34を出たパルスレーザー光3を複数回(この例では3回)反射して、偏光ビームスプリッター34に周回させ、同一平面上の矩形光路である周回路5を構成する。
その他の構成は、一部を省略して示しているが第3実施形態図と同様である。
従来使用されて来たS-band(2856MHz、波長10.5cm)の1/4の波長であるX-band(11.424GHz、波長2.6cm)ライナックからの電子ビームと高強度パルスレーザー光との衝突(逆Compton散乱)により単色硬X線を発生させる場合、上述したように、レーザー光のパルス幅(10ns,FWHM)が電子ビームのパルス幅(1μs)に比べ短いため、X線発生に寄与するのは電子ビームのごく一部である問題点があった。
そこで、レーザーパルスをある周回路中に閉じ込め、繰り返し利用することでX線強度を増強する方法として本発明のレーザー光周回装置及び方法を創案した。
原理実証実験の構成図を図7に示す。この図において、各符号は、図1と共通であり、6はCCD、7はバイプラナー光電管である。
実験に使用したパルスレーザー光3はQ-switch Nd:YAGの2倍波(λ=532nm)でエネルギーは25mJ/pulse、パルス幅は8ns(FWHM)である。原理実証実験では、1周が6mである。よって、レーザーパルスが1周する時間は20nsである。
周回の原理について述べる。レーザー装置21から出たレーザー光3はビームステアラーと入射レンズ群によってサイズ傾きなどが調整される。拡大されたレーザー光は偏光ビームスプリッター34を通して周回路5中に入射される。レーザー光3はλ/2波長板41により、S偏光3bとなって衝突点2aに導かれ再度偏光ビームスプリッター34に向かう。S偏光3bは偏光ビームスプリッター34により反射されるから、レーザー光3は周回路5に戻る。再び、λ/2波長板41を通過しp偏光3aとなってしまうため、偏光ビームスプリッターを透過し周回しない。そこで、2周目以降はポッケルスセル38に電圧を印加し、p偏光をS偏光として偏光ビームスプリッターで反射させ、レーザー光を周回させる。
本発明のレーザー光周回装置及び方法では、図6に示したように同一のパルスレーザー光3を同一のパルス電子ビーム2に複数回衝突させる。これによるX線強度の増幅を見積もった。
レーザーパルスのエネルギーは周回によって等比数列的に減衰していくため、N 周目のエネルギーINは1周目のエネルギーをI0とすれば、IN=AN-1I0となる。そこで、図8から透過率Aを求めるとA=0:91となり、見かけ上の総エネルギー増幅は等比数列の和の公式(1)(数1に示す)より、電子ビームのパルス幅1μsであるのでN=50として計算すると約10倍になると見積もられた。なお、レーザーパルス単発と電子ビームの衝突では108photons/secであると算出されるので、レーザー光周回システムの導入によりX線発生量は109photons/secに達すると見込まれる。
効率の良いX線発生のためには衝突点におけるレーザー光の位置、光軸の傾き、スポットサイズ、広がり(ダイバージェンス)を電子ビームにあわせて調整しなくてはならない。さらに、周回するレーザー光が繰り返し同じ条件で衝突点に導かれる必要がある。以下、これを「周回の条件」と呼ぶことにする。
図10は本発明による衝突点の位置調整手段の説明図である。調整は周回路中のレンズの位置で行う。
レーザー光位置は第1凸レンズ51の調整量に比例していて、しかもレーザー光は集まった状態を維持していた。
この2つの位置調整の結果から、凸レンズ4枚を同量移動させることでレーザー光の位置をすべての周回において同じにすることができるということが確認できた。
以上からこの手段によってレーザー光の周回の条件を崩すことのない調整法が確立されたと言える。
実証機に導入するレーザー光はQ-switch Nd:YAGの2倍波(λ=532nm)、エネルギーは1.4J/pulse、パルス幅は10ns(FWHM) と高出力である。すると、実験体系と同様の体系では、ポッケルスセル側の凸レンズ
の焦点で空気のプラズマ化が問題となる。
この構成では図14で示す通り、ポッケルスセル側の凸レンズ間中央に凹レンズを挿入している。凹レンズによってレーザー光の集光を防ぐことができる。さらに、凹レンズの焦点距離を凸レンズの焦点距離の1/4にすることで、レンズ間距離dがトランスファーマトリックスで2d分となり小型化ができる。
しかし、この体系では、1周のトランスファーマトリックスが数3の式(4)となるため、入射光の条件を変更した場合は周回路内の再調整が必要となる。しかし、凸レンズが4枚あるため、調整の自由度は実験の体系と同様であり、実験で用いた調整法が可能である。
また、周回路中の凸レンズを同量移動させることで周回の条件を崩すことなくレーザー光を衝突点に導けるという手段が確立できた。この手段により比較的容易にレーザー光を電子ビームに衝突させることができ、X線を発生できる。
さらに、実際の単色硬X線源に導入するレーザー光周回システムにおいて、空気のプラズマ化などを衝突や周回に影響の出るものを防止する策として、凸レンズ間に凹レンズを挿入することにより、周回の条件を崩すことのない調整方法を用いることができる。
従ってこのレーザー光周回システムの導入によりX線強度の増幅が可能となり、X線の応用利用の幅が広がることが期待できる。
3 レーザー光(パルスレーザー光)、3a 第1直線偏光(p偏光)、
3b 第2直線偏光(S偏光)、4 単色硬X線、5 周回路、
6 CCD、7 バイプラナー光電管、9 レーザー光集光点
10 電子ビーム発生装置、11 RF電子銃、12 α‐磁石、
13 加速管、14 ベンディング磁石、15 Q−磁石、
16 減速管、17 ビームダンプ、18 高周波電源、
19 同期装置、20 レーザー発生装置、
21 レーザー装置、22 可変ビームエキスパンダ、
30 レーザー光周回装置、31 反射ミラー、
32 レーザー光周回光学系、34 偏光ビームスプリッター、
36a,36b,36c 反射ミラー、38 ポッケルスセル、
40 制御装置、41 2分の1波長板(λ/2波長板)、
50 レーザー光集光点調整装置、
51 第1凸レンズ、52 第2凸レンズ、53 第3凸レンズ、
54 第4凸レンズ、55 凹レンズ、
58 第1レンズ位置調整装置(調整移動機構)
59 第2レンズ位置調整装置(調整移動機構)
Claims (14)
- レーザー光を外部から導入し、該レーザー光を周回する周回路内に閉じ込めて、該周回路内のレーザー光集光点を繰り返し通過させるレーザー光周回光学系と、
前記レーザー光集光点の位置を調整するレーザー光集光点調整装置とを備え、これにより同一のレーザー光を同一のレーザー光集光点に複数回集光させる、ことを特徴とするレーザー光周回装置。 - 前記レーザー光集光点調整装置は、レーザー光集光点の上流側に位置する第1凸レンズと、レーザー光集光点の下流側に位置する第2凸レンズと、前記第1凸レンズと第2凸レンズを光軸に直交する方向に移動可能な第1レンズ位置調整装置とを備える、ことを特徴とする請求項1に記載のレーザー光周回装置。
- 前記レーザー光集光点調整装置は、更に、前記第1凸レンズと第2凸レンズとで2つの区画に分割される半周回路の内、レーザー光集光点を含まない側の半周回路において上流側に位置する第4凸レンズと下流側に位置する第3凸レンズを、第2凸レンズと第3凸レンズの間の周回路長d23と、第4凸レンズと第1凸レンズの間の周回路長d41とを等しく設け、さらに前記第3凸レンズと第4凸レンズを光軸に直交する方向に移動可能な第2レンズ位置調整装置を備えたことを特徴とする請求項2に記載のレーザー光周回装置。
- 第4凸レンズの焦点距離f4と第1凸レンズの焦点距離f1の和は、第4凸レンズと第1凸レンズの間の周回路長d41に等しく、かつ
第2凸レンズの焦点距離f2と第3凸レンズの焦点距離f3の和は、第2凸レンズと第3凸レンズの間の周回路長d23に等しく設定されている、ことを特徴とする請求項3に記載のレーザー光周回装置。 - 前記レーザー光集光点調整装置は、更に、2つの同焦点距離の第3凸レンズと第4凸レンズを互いに焦点距離だけ離して設け、その中央に凹レンズを設け、
該凹レンズの焦点距離f5は、焦点距離f3の1/4と焦点距離f4の1/4に等しい、ことを特徴とする請求項3に記載のレーザー光周回装置。 - 前記第3凸レンズと凹レンズの間の周回路長d35と、凹レンズと第4凸レンズとの間の周回路長d54は、焦点距離f3の1/2に等しく設定されている、ことを特徴とする請求項5に記載のレーザー光周回装置。
- 前記レーザー光周回光学系は、第1直線偏光をそのまま通し、これに直交する第2直線偏光を直角に反射する偏光ビームスプリッターと、
該偏光ビームスプリッターを出たレーザー光を複数回反射して前記偏光ビームスプリッターに周回させる複数の反射ミラーと、
前記周回路内に位置し電圧の印加時に通過するレーザー光の偏光方向を90度回転するポッケルスセルと、
偏光ビームスプリッターに周回するレーザー光が常に第2直線偏光となるようにポッケルスセルを制御する制御装置とを備え、
前記偏光ビームスプリッターによりレーザー光を直角に反射して、レーザー光を周回する周回路内に閉じ込める、ことを特徴とする請求項1に記載のレーザー光周回装置。 - 前記レーザー光は、パルスレーザー光であり、
更に、前記ポッケルスセルの上流側に位置し通過するパルスレーザー光の偏光面を90度回転させる2分の1波長板を備え、
前記制御装置により、パルスレーザー光の最初の周回時には、ポッケルスセルに電圧を印加せずに第2直線偏光をそのまま通し、2周目以降はポッケルスセルに電圧を印加し第1直線偏光を第2直線偏光にして通す、ことを特徴とする請求項7に記載のレーザー光周回装置。 - 前記レーザー光は、パルスレーザー光であり、
前記制御装置により、パルスレーザー光の最初の周回時に、ポッケルスセルに電圧を印加し第1直線偏光を第2直線偏光にして通し、2周目以降はポッケルスセルに電圧を印加せずに第2直線偏光をそのまま通す、ことを特徴とする請求項7に記載のレーザー光周回装置。 - レーザー光を外部から導入し、該レーザー光を周回する周回路内に閉じ込めて、該周回路内のレーザー光集光点を繰り返し通過させ、
かつレーザー光集光点の位置を調整し、同一のレーザー光を同一のレーザー光集光点に複数回集光させる、ことを特徴とするレーザー光周回方法。 - レーザー光集光点の上流側に第1凸レンズを位置決めし、レーザー光集光点の下流側に第2凸レンズを位置決めし、第1凸レンズと第2凸レンズを光軸に直交する方向に移動してレーザー光集光点の位置を調整する、ことを特徴とする請求項10に記載のレーザー光周回方法。
- 更に、第1凸レンズの上流側に第3凸レンズを位置決めし、第2凸レンズの下流側に第4凸レンズを位置決めし、前記第1乃至第4の凸レンズを光軸に直交する方向に移動してレーザー光集光点の位置と入射角度を調整する、ことを特徴とする請求項11に記載のレーザー光周回方法。
- 前記第3凸レンズと第4凸レンズの間に凹レンズを設け、これにより周回路を小型化し、かつ第3凸レンズと第4凸レンズの間のレーザー光の集光強度を低減する、ことを特徴とする請求項12に記載のレーザー光周回方法。
- 第1直線偏光のレーザー光を偏光ビームスプリッターを通して外部から導入し、
該偏光ビームスプリッターを出たレーザー光を同一平面内で複数回反射して前記偏光ビームスプリッターに周回させる周回路を形成し、
前記周回路内に位置するポッケルスセルを用いて、偏光ビームスプリッターに周回するレーザー光が常に第1直線偏光と直交する第2直線偏光となるようにポッケルスセルを制御し、
偏光ビームスプリッターによりレーザー光を直角に反射して、レーザー光を周回する周回路内に閉じ込める、ことを特徴とする請求項10に記載のレーザー光周回方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005168252A JP2006344731A (ja) | 2005-06-08 | 2005-06-08 | レーザー光周回装置及びレーザー光周回方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005168252A JP2006344731A (ja) | 2005-06-08 | 2005-06-08 | レーザー光周回装置及びレーザー光周回方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006344731A true JP2006344731A (ja) | 2006-12-21 |
Family
ID=37641478
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005168252A Pending JP2006344731A (ja) | 2005-06-08 | 2005-06-08 | レーザー光周回装置及びレーザー光周回方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006344731A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009005061A1 (ja) * | 2007-07-04 | 2009-01-08 | Ihi Corporation | X線計測装置及びx線計測方法 |
WO2009005059A1 (ja) * | 2007-07-03 | 2009-01-08 | Ihi Corporation | 高輝度x線発生装置および方法 |
JP2009016119A (ja) * | 2007-07-03 | 2009-01-22 | Ihi Corp | X線発生装置の波長変更装置および方法 |
US8000448B2 (en) | 2007-07-03 | 2011-08-16 | Ihi Corporation | Device and method for adjusting collision timing between electron beam and laser light |
JP2012078359A (ja) * | 2011-11-01 | 2012-04-19 | Ihi Corp | X線計測装置及びx線計測方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07171223A (ja) * | 1993-12-21 | 1995-07-11 | Toshiba Medical Eng Co Ltd | レーザ装置 |
JPH09288251A (ja) * | 1996-02-22 | 1997-11-04 | Nikon Corp | パルス幅伸長光学系および該光学系を備えた露光装置 |
JPH10326928A (ja) * | 1997-05-26 | 1998-12-08 | Agency Of Ind Science & Technol | 光短波長化装置及び光短波長化方法 |
JP2001133600A (ja) * | 1999-11-08 | 2001-05-18 | Tokyo Denshi Kk | X線発生装置 |
JP2001345503A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Toshiba Corp | レーザ逆コンプトン光生成装置 |
JP2003151800A (ja) * | 2001-11-12 | 2003-05-23 | Laser Gijutsu Sogo Kenkyusho | 超高輝度放射光発生方法及び装置 |
JP2003288999A (ja) * | 2002-03-28 | 2003-10-10 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | レーザコンプトン散乱x線用レーザ光学系及びそれを用いたx線発生装置 |
-
2005
- 2005-06-08 JP JP2005168252A patent/JP2006344731A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07171223A (ja) * | 1993-12-21 | 1995-07-11 | Toshiba Medical Eng Co Ltd | レーザ装置 |
JPH09288251A (ja) * | 1996-02-22 | 1997-11-04 | Nikon Corp | パルス幅伸長光学系および該光学系を備えた露光装置 |
JPH10326928A (ja) * | 1997-05-26 | 1998-12-08 | Agency Of Ind Science & Technol | 光短波長化装置及び光短波長化方法 |
JP2001133600A (ja) * | 1999-11-08 | 2001-05-18 | Tokyo Denshi Kk | X線発生装置 |
JP2001345503A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Toshiba Corp | レーザ逆コンプトン光生成装置 |
JP2003151800A (ja) * | 2001-11-12 | 2003-05-23 | Laser Gijutsu Sogo Kenkyusho | 超高輝度放射光発生方法及び装置 |
JP2003288999A (ja) * | 2002-03-28 | 2003-10-10 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | レーザコンプトン散乱x線用レーザ光学系及びそれを用いたx線発生装置 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009005059A1 (ja) * | 2007-07-03 | 2009-01-08 | Ihi Corporation | 高輝度x線発生装置および方法 |
JP2009016488A (ja) * | 2007-07-03 | 2009-01-22 | Ihi Corp | 高輝度x線発生装置および方法 |
JP2009016119A (ja) * | 2007-07-03 | 2009-01-22 | Ihi Corp | X線発生装置の波長変更装置および方法 |
US8000448B2 (en) | 2007-07-03 | 2011-08-16 | Ihi Corporation | Device and method for adjusting collision timing between electron beam and laser light |
US8102968B2 (en) | 2007-07-03 | 2012-01-24 | Ihi Corporation | High brightness X-ray generating device and method |
WO2009005061A1 (ja) * | 2007-07-04 | 2009-01-08 | Ihi Corporation | X線計測装置及びx線計測方法 |
JP2009016147A (ja) * | 2007-07-04 | 2009-01-22 | Ihi Corp | X線計測装置及びx線計測方法 |
US8345824B2 (en) | 2007-07-04 | 2013-01-01 | Ihi Corporation | X-ray metering apparatus, and X-ray metering method |
JP2012078359A (ja) * | 2011-11-01 | 2012-04-19 | Ihi Corp | X線計測装置及びx線計測方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6333966B1 (en) | Laser accelerator femtosecond X-ray source | |
US5825847A (en) | Compton backscattered collimated x-ray source | |
JP5030772B2 (ja) | コンプトン後方散乱によりx線を発生させるためのシステム及び方法 | |
CN1678163B (zh) | 用于x射线产生的***和方法 | |
JP2528622B2 (ja) | 高輝度X線又はγ線の発生方法及び装置 | |
JP4674802B2 (ja) | 多色x線発生装置 | |
JP4612466B2 (ja) | 診断・治療用x線切換え発生装置 | |
EP1933430B1 (en) | Linear x-ray laser generator | |
Marcus et al. | Cavity-based free-electron laser research and development: A Joint Argonne National Laboratory and SLAC National Laboratory collaboration | |
JP4863395B2 (ja) | 高輝度x線発生装置および方法 | |
US10863613B2 (en) | EUV light generator | |
US7817288B2 (en) | Device and method for measuring profiles of electron beam and laser beam | |
JP2006344731A (ja) | レーザー光周回装置及びレーザー光周回方法 | |
O’Neill | Laser-plasma XUV sources | |
Pikuz et al. | Formation of a plasma with the determining role of radiative processes in thin foils irradiated by a pulse of the PEARL subpetawatt laser | |
CN113455107B (zh) | 强、窄带、完全相干、软x射线的可调谐源 | |
JP2009016123A (ja) | 電子ビームとレーザ光の衝突タイミング調整装置および方法 | |
JP2009016119A (ja) | X線発生装置の波長変更装置および方法 | |
JP5454837B2 (ja) | 硬x線ビーム走査装置および方法 | |
Dunn et al. | Tabletop transient collisional excitation X-ray lasers | |
JP4998786B2 (ja) | X線発生装置用のレーザ導入兼x線取出機構 | |
Desai et al. | X-ray emission from laser-irradiated gold targets with surface modulation | |
Nilsen et al. | Reinterpretation of the neon-like titanium laser experiments | |
Svensson | Experiments on laser-based particle acceleration: Beams of energetic electrons and protons | |
JP2006172898A (ja) | レーザープラズマx線発生装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20080128 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100519 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20100525 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100702 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20100802 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |