JP2006338729A - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ストレージノード電圧が低下した場合でも、確実な読み出しを可能にする。
【解決手段】メモリセル1Aごとに可変容量キャパシタCを有する。可変容量キャパシタCは、ストレージノードSNに一方電極が接続され、データ出力時にハイレベル電圧が印加される制御線(読み出しワード線RWL)に他方電極が接続されている。可変容量キャパシタCは、データ保持時のストレージノードSNの電圧レベルに応じて容量値が変化し、読み出しワード線RWLへのハイレベル電圧の印加によりストレージノードの電圧を昇圧する。
【選択図】図1
【解決手段】メモリセル1Aごとに可変容量キャパシタCを有する。可変容量キャパシタCは、ストレージノードSNに一方電極が接続され、データ出力時にハイレベル電圧が印加される制御線(読み出しワード線RWL)に他方電極が接続されている。可変容量キャパシタCは、データ保持時のストレージノードSNの電圧レベルに応じて容量値が変化し、読み出しワード線RWLへのハイレベル電圧の印加によりストレージノードの電圧を昇圧する。
【選択図】図1
Description
本発明は、メモリセルアレイを構成する各メモリセルが、書き込みトランジスタと、読み出しトランジスタと、ストレージノードとを備える半導体記憶装置に関する。
図12に、DRAMセルの一種である、3トランジスタ型のゲインセルを示す。
図示のゲインセル100は、1つの書き込みトランジスタTwと、2つの読み出しトランジスタ、すなわち選択トランジスタTsおよびアンプトランジスタTaとを有する。
図示のゲインセル100は、1つの書き込みトランジスタTwと、2つの読み出しトランジスタ、すなわち選択トランジスタTsおよびアンプトランジスタTaとを有する。
書き込みトランジスタTwのソースとドレインの一方が書き込みビット線WBLに接続され、他方がストレージノードSNに接続され、ゲートが書き込みワード線WWLに接続されている。選択トランジスタTsのソースとドレインの一方が読み出しビット線RBLに接続され、他方がアンプトランジスタTaに接続され、ゲートが読み出しワード線RWLに接続されている。アンプトランジスタTaのソースとドレインの一方が接地電圧(コモンソース線CSL)に接続され、他方が選択トランジスタTsに接続され、ゲートがストレージノードSNに接続されている。
このようなゲインセル100が、図13(A)に示すようにマトリックス状に配置されメモリセルアレイが形成されている。書き込みビット線WBL1〜WBL4および読み出しビット線RBL1〜RBL4は、列(カラム)方向に並ぶ複数のゲインセル100で共有され、書き込みワード線WWL1〜WWL4および読み出しワード線RWL1〜RWL4は、行(ロウ)方向に並ぶ複数のゲインセル100で共有されている。
このようなゲインセル100が、図13(A)に示すようにマトリックス状に配置されメモリセルアレイが形成されている。書き込みビット線WBL1〜WBL4および読み出しビット線RBL1〜RBL4は、列(カラム)方向に並ぶ複数のゲインセル100で共有され、書き込みワード線WWL1〜WWL4および読み出しワード線RWL1〜RWL4は、行(ロウ)方向に並ぶ複数のゲインセル100で共有されている。
つぎに、図13(A)の2行目のセル群を選択して、そのメモリセルの1つ置きに、“1”データまたは“0”データを書き込む動作を説明する。
図13(B)〜図13(F)は、ワード線およびビット線等の各種制御線について、その電圧変化を示すタイミングチャートである。
任意の一の書き込みワード線(本例ではWWL2)を選択し、それに直交して配置された書き込みビット線WBL1〜WBL2を選択する。
任意の一の書き込みワード線(本例ではWWL2)を選択し、それに直交して配置された書き込みビット線WBL1〜WBL2を選択する。
書き込み対象のメモリセルに“1”データを格納する場合は、図13(C)に示すように、該当するメモリセルが接続された書き込みビット線WBL1およびWBL3に電源電圧Vddを印加する。また、書き込み対象メモリセルに“0”データを格納する場合は、図13(D)に示すように、当該メモリセルに接続された書き込みビット線WBL2およびWBL4を0[V]で維持する。
これらビット線電圧の制御とほぼ同じタイミングで、選択された書き込みワード線WWL2の電圧を立ち上げる。ここで、図12に示すゲインセル100は、その書き込みトランジスタTwにNMOSトランジスタを用いていることから、それがオンしたときにドレイン電圧から閾値電圧だけ下がった電圧がソースに伝達される。したがって、“1”データ書き込みの際に、ストレージノードSNに電源電圧Vddを設定するためには、図13(B)に示すように、選択された書き込みワード線WWLに電源電圧Vddを、閾値電圧Vthだけ昇圧した電圧を印加する必要がある。なお、“1”データに対応する電圧として、ストレージノードSNに電源電圧Vdd以下の電圧を書き込む場合は、選択された書き込みワード線WWL2に電源電圧Vddを印加してもよい。
図13(E)および図13(F)に示す非選択の書き込みワード線WWL1,WWL3,WWL4および読み出しワード線RWL1〜RWL4、ならびに、コモンソース線CSLは0[V]で維持する。
これらビット線電圧の制御とほぼ同じタイミングで、選択された書き込みワード線WWL2の電圧を立ち上げる。ここで、図12に示すゲインセル100は、その書き込みトランジスタTwにNMOSトランジスタを用いていることから、それがオンしたときにドレイン電圧から閾値電圧だけ下がった電圧がソースに伝達される。したがって、“1”データ書き込みの際に、ストレージノードSNに電源電圧Vddを設定するためには、図13(B)に示すように、選択された書き込みワード線WWLに電源電圧Vddを、閾値電圧Vthだけ昇圧した電圧を印加する必要がある。なお、“1”データに対応する電圧として、ストレージノードSNに電源電圧Vdd以下の電圧を書き込む場合は、選択された書き込みワード線WWL2に電源電圧Vddを印加してもよい。
図13(E)および図13(F)に示す非選択の書き込みワード線WWL1,WWL3,WWL4および読み出しワード線RWL1〜RWL4、ならびに、コモンソース線CSLは0[V]で維持する。
このような書き込みワード線と書き込みビット線の電圧制御により、所望のメモリセルに“0”または“1”のデータを任意に書き込むことが可能となる。
一方、非選択の書き込みワード線WWL1,WWL3,WWL4に接続されたメモリセル(非選択セル)の書き込みトランジスタTwは、そのドレインに電源電圧Vdd相当の高い電圧が印加される。ところが、非選択セルの書き込みトランジスタTwは、そのゲートが閉じていることから、格納されたデータが変化しない。
一方、非選択の書き込みワード線WWL1,WWL3,WWL4に接続されたメモリセル(非選択セル)の書き込みトランジスタTwは、そのドレインに電源電圧Vdd相当の高い電圧が印加される。ところが、非選択セルの書き込みトランジスタTwは、そのゲートが閉じていることから、格納されたデータが変化しない。
3トランジスタ型のメモリセル100のデータ保持時に、メモリセルアレイ内の制御線(ビット線およびワード線)全てを0[V]にする。このとき、書き込みトランジスタTwがオフし、全てのメモリセル100のストレージノードSNが電気的にフローティングになることから、格納されたデータが保持される。
とくに、ストレージノードSNに“0”(たとえば、ローレベル)データが格納されている場合、メモリアレイ内の制御線(ビット線およびワード線)が全て0[V](ローレベル)になっていることから、この“0”データは安定的に保持される。
これに対し、ストレージノードSNに“1”(たとえば、ハイレベル)データが格納されている場合、メモリアレイ内の制御線(ビット線およびワード線)が全て0[V](ローレベル)になっていると、ストレージノードSNに溜められた電荷がリークにより各制御線に抜ける。そのため“1”データは、ストレージノードSNのハイレベル電圧が読み出し不能なレベルに減衰するまでの期間だけ保持される。
とくに、ストレージノードSNに“0”(たとえば、ローレベル)データが格納されている場合、メモリアレイ内の制御線(ビット線およびワード線)が全て0[V](ローレベル)になっていることから、この“0”データは安定的に保持される。
これに対し、ストレージノードSNに“1”(たとえば、ハイレベル)データが格納されている場合、メモリアレイ内の制御線(ビット線およびワード線)が全て0[V](ローレベル)になっていると、ストレージノードSNに溜められた電荷がリークにより各制御線に抜ける。そのため“1”データは、ストレージノードSNのハイレベル電圧が読み出し不能なレベルに減衰するまでの期間だけ保持される。
図14に、ストレージノードSNに格納された“1”データのリークパスを示す。
第1に、ストレージノードSNから、オフ状態の書き込みトランジスタTwを介して書き込みビット線WBLにオフリーク電流が流れるパスP1が存在する。
第2に、ストレージノードSNである書き込みトランジスタTwのN+領域から基板(P型ウェル)に接合リーク電流が流れるパスLP2が存在する。
第3に、ストレージノードSNから、アンプトランジスタTaのゲート電極、ゲート絶縁膜を通って基板(Pウェル)にゲートリーク電流が流れるパスP3が存在する。
第1に、ストレージノードSNから、オフ状態の書き込みトランジスタTwを介して書き込みビット線WBLにオフリーク電流が流れるパスP1が存在する。
第2に、ストレージノードSNである書き込みトランジスタTwのN+領域から基板(P型ウェル)に接合リーク電流が流れるパスLP2が存在する。
第3に、ストレージノードSNから、アンプトランジスタTaのゲート電極、ゲート絶縁膜を通って基板(Pウェル)にゲートリーク電流が流れるパスP3が存在する。
図15に、上記3つのパスP1〜P3を流れる電流の合計が1[pA]と仮定した場合に、“1”データのリークによる経時変化を計算した結果を示す。この計算では、ストレージノードSNの負荷容量を2[fF]、“1”データを書き込み直後のストレージノード電圧を1[V]としている。
この計算結果によれば、ストレージノードSNに格納されていた1[V]の電圧が、約1[msec]で0.5[V]に減衰し、約2[msec]で接地電圧に到達する。
この計算結果によれば、ストレージノードSNに格納されていた1[V]の電圧が、約1[msec]で0.5[V]に減衰し、約2[msec]で接地電圧に到達する。
図16は、図13に示す方法によって書き込まれたデータを読み出す動作を示す図である。図16(A)は、メモリセルアレイの等価回路図であり、図16(B)〜図16(F)は、ワード線およびビット線等の各種制御線について、その電圧変化を示すタイミングチャートである。
読み出しワード線RWL2を選択し、それに直交して配置された読み出しビット線RBL1〜RBL4を選択する。この選択時に、以下の電圧設定を行う。
読み出しワード線RWL2を選択し、それに直交して配置された読み出しビット線RBL1〜RBL4を選択する。この選択時に、以下の電圧設定を行う。
図16(C)および図16(D)に示すように、時間T1にて、選択した全ての読み出しビット線RBL1〜RBL4を電源電圧Vddにプリチャージし、ハイインピーダンス(電気的フローティング状態)で保持する。
つぎに、図16(B)に示すように、時間T2にて、選択した読み出しワード線RWL2に電源電圧Vddを印加する。
図16(E)および図16(F)に示す非選択の書き込みワード線WWL1〜WWL4、非選択の読み出しワード線RWL1,RWL3,RWL4、ならびに、コモンソース線CSLは0[V]で維持する。
つぎに、図16(B)に示すように、時間T2にて、選択した読み出しワード線RWL2に電源電圧Vddを印加する。
図16(E)および図16(F)に示す非選択の書き込みワード線WWL1〜WWL4、非選択の読み出しワード線RWL1,RWL3,RWL4、ならびに、コモンソース線CSLは0[V]で維持する。
読み出し対象のメモリセルのストレージノードSNに“1”が格納されている場合、アンプトランジスタTaがオン可能な状態になっている。このため、図16(C)の時間T2にて当該メモリセルの選択トランジスタTsがオンすると、図16(A)に示すように、選択された読み出しビット線RBL1,RBL3から読み出し電流Irが流れ出す。読み出し電流Irは、当該メモリセルの選択トランジスタTsとアンプトランジスタTaを介して、コモンソース線CSLに流れる。その結果、図16(C)に示すように、選択された読み出しビット線RBL1,RBL3の電圧が時間T2を境にプリチャージレベル(Vddレベル)から低下する。このとき読み出しビット線の負荷容量が大きいと、それをディスチャージするのにある程度の時間がかかる。
一方、読み出し対象メモリセルのストレージノードSNに“0”データが格納されている場合、アンプトランジスタTaがオン可能な状態にならないことから、読み出し電流Irが流れず、図16(D)に示すように、選択された読み出しビット線RBL2R,BL4はプリチャージレベルに保たれたままとなる。
なお、非選択のメモリセルは、図16(E)に示すように、その読み出しワード線RWL1,RWL3,RWL4が0[V]のままで、選択トランジスタTsのゲートが閉じていることから、読み出し電流Irが流れない。
なお、非選択のメモリセルは、図16(E)に示すように、その読み出しワード線RWL1,RWL3,RWL4が0[V]のままで、選択トランジスタTsのゲートが閉じていることから、読み出し電流Irが流れない。
図16(C)および図16(D)の時間T3にて、読み出しビット線RBL1〜RBL4の各々に接続されている不図示のセンスアンプを起動し、上記読み出し電流Irが流れる/流れないに応じた電圧変化を増幅して、読み出し信号として外部に出力する。
このような読み出しワード線と読み出しビット線の電圧制御により、所望のメモリセルに格納されている“0”または“1”のデータに応じた読み出し信号を得ることができる。
図17に、ストレージノード電圧Vsnと読み出し電流Irの関係を例示する。
電源電圧Vddを1.8[V]とすると、“1”データを書き込み直後のストレージノード電圧Vsnは1[V]程度である。この場合、図17から、読み出し電流Irは25[μA]程度流れることが分かる。
ところが、前述したようにリークによりストレージノード電圧Vsnがデータ保持中に低下する。したがって、データ保持時間が長いほど、読み出し電流Irが小さくなる。
電源電圧Vddを1.8[V]とすると、“1”データを書き込み直後のストレージノード電圧Vsnは1[V]程度である。この場合、図17から、読み出し電流Irは25[μA]程度流れることが分かる。
ところが、前述したようにリークによりストレージノード電圧Vsnがデータ保持中に低下する。したがって、データ保持時間が長いほど、読み出し電流Irが小さくなる。
上記読み出し信号の“0”と“1”を判定するために、“1”データに対応した読み出し電流Irが10[μA]以上必要と仮定する。このとき、読み出し電流Ir≧10[μA]を満たすストレージノード電圧Vsnは0.8[V]以上となる。
また、図15より、ストレージノード電圧Vsnが1[V]から0.8[V]に低下する時間は0.4[msec]と見積もられる。
このため、確実なデータ読み出しのためには、“1”データを書き込んでから0.4[msec]以内にメモリセルをリフレッシュ(再書き込み)する必要がある。
また、図15より、ストレージノード電圧Vsnが1[V]から0.8[V]に低下する時間は0.4[msec]と見積もられる。
このため、確実なデータ読み出しのためには、“1”データを書き込んでから0.4[msec]以内にメモリセルをリフレッシュ(再書き込み)する必要がある。
3トランジスタ型メモリセル(ゲインセル)は、前述したように、リーク電流によりストレージノード電圧の低下が避けられない。このため、確実なデータ読み出しのためには、ストレージノードSNに“1”が格納されている場合の保持電圧(ストレージノード電圧Vsn)を予め大きくしなければならない。
また、高速読み出しのためには読み出し電流Irを大きくする必要がある。
また、高速読み出しのためには読み出し電流Irを大きくする必要がある。
ところが、メモリセルの微細化と電源電圧の低電圧化が進展しており、そのためストレージノード電圧を大きくすることは困難である。
また、高速読み出しのためには読み出し時のプリチャージ電圧を上げる必要があるが、上記電源電圧の低電圧化により、プリチャージ電圧を上げることは困難である。
また、高速読み出しのためには読み出し時のプリチャージ電圧を上げる必要があるが、上記電源電圧の低電圧化により、プリチャージ電圧を上げることは困難である。
これに対処するために、メモリセルアレイを駆動する周辺回路に、電源電圧を昇圧する昇圧回路を設けることがある。しかし、この場合は高耐圧トランジスタが必要となり製造プロセスが複雑となる。また、面積的な不利益も被る。
したがって、電源電圧を大きな電圧値まで昇圧する回路を設けることは微細化の効果をコスト面で打ち消してしまう。
したがって、電源電圧を大きな電圧値まで昇圧する回路を設けることは微細化の効果をコスト面で打ち消してしまう。
本発明が解決しようとする課題は、ストレージノード電圧が低下しても確実な読み出しが可能なメモリセルを有する半導体記憶装置を実現することである。
本発明に係る半導体記憶装置は、メモリセルアレイを構成する各メモリセルが、データ入力用の書き込みトランジスタと、データ出力用の読み出しトランジスタと、前記書き込みトランジスタから入力したデータを電気的フローティング状態で保持するストレージノードと、を備える半導体記憶装置であって、前記ストレージノードに一方電極が接続され、データ出力時にハイレベル電圧が印加される制御線に他方電極が接続され、データ保持時の前記ストレージノードの電圧レベルに応じて容量値が変化し、前記制御線への前記ハイレベル電圧の印加により前記ストレージノードの電圧を昇圧する可変容量キャパシタを、前記メモリセルごとに有する。
本発明では好適に、前記可変容量キャパシタの容量値は、前記データ保持時のストレージノード電圧がハイレベルのときは、ローレベルのときより大きい。
本発明では好適に、前記読み出しトランジスタは、前記ストレージノードの電圧に応じて導通状態が変化する第1読み出しトランジスタと、前記第1読み出しトランジスタとともにデータ出力線と所定電圧線との間に縦続接続され、前記第1読み出しトランジスタの導通状態と読み出し制御線の電圧とに応じて導通状態が変化し、前記ストレージノードの電圧として記憶されているデータを、前記データ出力線の電圧変化に変換して出力する第2読み出しトランジスタと、を含み、前記可変容量キャパシタの前記他方電極が、前記読み出し制御線に接続されている。
本発明では好適に、前記可変容量キャパシタの容量値は、前記データ保持時のストレージノード電圧がハイレベルのときは、ローレベルのときより大きい。
本発明では好適に、前記読み出しトランジスタは、前記ストレージノードの電圧に応じて導通状態が変化する第1読み出しトランジスタと、前記第1読み出しトランジスタとともにデータ出力線と所定電圧線との間に縦続接続され、前記第1読み出しトランジスタの導通状態と読み出し制御線の電圧とに応じて導通状態が変化し、前記ストレージノードの電圧として記憶されているデータを、前記データ出力線の電圧変化に変換して出力する第2読み出しトランジスタと、を含み、前記可変容量キャパシタの前記他方電極が、前記読み出し制御線に接続されている。
本発明では好適に、前記可変容量キャパシタは絶縁ゲート電界効果トランジスタからなる。
更に好適に、前記可変容量キャパシタは、ゲートが前記ストレージノードに接続され、2つのソース・ドレイン領域の少なくとも一方が前記制御線に接続されているNチャネル型MOSトランジスタからなる。
更に好適に、前記可変容量キャパシタは、ゲートが前記ストレージノードに接続され、2つのソース・ドレイン領域の少なくとも一方が前記制御線に接続されているNチャネル型MOSトランジスタからなる。
上記構成によれば、データ入力時に書き込みトランジスタを介してデータが入力される。このときハイレベルの入力電圧によりストレージノードに接続されている負荷容量が充電される。本発明ではストレージノードに可変容量キャパシタの一方電極が接続され、その他方電極は、データ出力時にハイレベル電圧が印加される制御線に接続されている。
可変容量キャパシタは、その一方電極側のストレージノードに保持されている電圧値に応じて、キャパシタ自身がもつ容量値が変化する。たとえばMOSトランジスタからなる場合、ストレージノード側のゲート電極がハイレベル電圧で保持されているときはチャネルが形成され、その容量が寄与するため容量値が大きくなり、ゲート電極がローレベル電圧で保持されているときはチャネル容量の寄与がなく容量値は小さい。
この状態で、可変容量キャパシタの他方電極に接続された制御線にハイレベル電圧を設定する。すると、可変容量キャパシタは、その容量値をカップリング容量としてストレージノード電圧を昇圧する。このときカップリング容量が大きいほど高い電圧までストレージノード電圧が上昇する。したがって、ハイレベルのストレージノード電圧の昇圧量は、ローレベルのストレージノード電圧の昇圧量より大きくなる。
この状態で、可変容量キャパシタの他方電極に接続された制御線にハイレベル電圧を設定する。すると、可変容量キャパシタは、その容量値をカップリング容量としてストレージノード電圧を昇圧する。このときカップリング容量が大きいほど高い電圧までストレージノード電圧が上昇する。したがって、ハイレベルのストレージノード電圧の昇圧量は、ローレベルのストレージノード電圧の昇圧量より大きくなる。
以上より、データ出力時に、ストレージノードの電圧差が増幅される。
読み出しトランジスタが第1および第2トランジスタから構成されている場合、この増幅後の電圧差で第1読み出しトランジスタの導通状態(オン可能な状態か否か)が決まる。ストレージノード電圧がハイレベルのときは第1読み出しトランジスタがオン可能な状態であり、このとき第2読み出しトランジスタがオンすると、これら2つの読み出しトランジスタを介して読み出し電流がデータ出力線から所定電圧線へ、または逆に、所定電圧線からデータ出力線に流れる。
読み出しトランジスタが第1および第2トランジスタから構成されている場合、この増幅後の電圧差で第1読み出しトランジスタの導通状態(オン可能な状態か否か)が決まる。ストレージノード電圧がハイレベルのときは第1読み出しトランジスタがオン可能な状態であり、このとき第2読み出しトランジスタがオンすると、これら2つの読み出しトランジスタを介して読み出し電流がデータ出力線から所定電圧線へ、または逆に、所定電圧線からデータ出力線に流れる。
本発明によれば、ストレージノード電圧が低下しても確実な読み出しが可能であるという利点がある。
以下、本発明を3トランジスタ型のゲインセル(増幅型メモリセル)に適用した場合を例として、本発明の実施形態を説明する。
[第1実施形態]
図1に、本実施形態のメモリセルの等価回路を示す。また、図2に、メモリセルアレイの基本構成を4×4セルで示す。
図1に示すメモリセル1Aは、1つの書き込みトランジスタTwと、2つの読み出しトランジスタ、すなわち「第1読み出しトランジスタ」としてのアンプトランジスタTaおよび「第2読み出しトランジスタ」としての選択トランジスタTsと、可変容量キャパシタCとを有する。このメモリセル1Aは、図12に示す3トランジスタ型のメモリセル100に、可変容量キャパシタCを追加したものである。
図1に、本実施形態のメモリセルの等価回路を示す。また、図2に、メモリセルアレイの基本構成を4×4セルで示す。
図1に示すメモリセル1Aは、1つの書き込みトランジスタTwと、2つの読み出しトランジスタ、すなわち「第1読み出しトランジスタ」としてのアンプトランジスタTaおよび「第2読み出しトランジスタ」としての選択トランジスタTsと、可変容量キャパシタCとを有する。このメモリセル1Aは、図12に示す3トランジスタ型のメモリセル100に、可変容量キャパシタCを追加したものである。
書き込みトランジスタTwのソースとドレインの一方が書き込みビット線WBLに接続され、他方がストレージノードSNに接続され、ゲートが書き込みワード線WWLに接続されている。選択トランジスタTsのソースとドレインの一方が読み出しビット線RBLに接続され、他方がアンプトランジスタTaに接続され、ゲートが読み出しワード線RWLに接続されている。アンプトランジスタTaのソースとドレインの一方が接地電圧(コモンソース線CSL)に接続され、他方が選択トランジスタTsに接続され、ゲートがストレージノードSNに接続されている。
可変容量キャパシタCは、図示例のものに限定されないが、ここでは絶縁ゲート電界効果トランジスタ(FET)の一種であるN型チャネルのMOSトランジスタから構成されている。
このMOSトランジスタのゲートがストレージノードSNに接続され、2つのソース・ドレイン領域の一方が、読み出し時(データ出力時)にハイレベル電圧が印加される制御線、たとえば読み出しワード線RWLに接続されている。なお、この制御線としては、読み出し昇圧線として読み出しワード線RWLと別に設けてもよい。ただし、この制御線を読み出しワード線RWLと兼用すると配線面積の縮小、ひいてはセル面積縮小が図りやすいことから、望ましい。
可変容量キャパシタCを構成するMOSトランジスタの他方のソース・ドレイン領域は、ここではオープンとなっている。
このMOSトランジスタのゲートがストレージノードSNに接続され、2つのソース・ドレイン領域の一方が、読み出し時(データ出力時)にハイレベル電圧が印加される制御線、たとえば読み出しワード線RWLに接続されている。なお、この制御線としては、読み出し昇圧線として読み出しワード線RWLと別に設けてもよい。ただし、この制御線を読み出しワード線RWLと兼用すると配線面積の縮小、ひいてはセル面積縮小が図りやすいことから、望ましい。
可変容量キャパシタCを構成するMOSトランジスタの他方のソース・ドレイン領域は、ここではオープンとなっている。
このようなメモリセル1Aが、図2に示すようにマトリックス状に配置され、メモリセルアレイが形成されている。
書き込みビット線WBL1〜WBL4および読み出しビット線RBL1〜RBL4は、列(カラム)方向に並ぶ複数のメモリセル1Aで共有され、書き込みワード線WWL1〜WWL4および読み出しワード線RWL1〜RWL4は、行(ロウ)方向に並ぶ複数のメモリセル1Aで共有されている。なお、コモンソース線CSLは図示を省略しているが、これを同様にして複数のメモリセル1Aで共有させるとよい。
書き込みビット線WBL1〜WBL4および読み出しビット線RBL1〜RBL4は、列(カラム)方向に並ぶ複数のメモリセル1Aで共有され、書き込みワード線WWL1〜WWL4および読み出しワード線RWL1〜RWL4は、行(ロウ)方向に並ぶ複数のメモリセル1Aで共有されている。なお、コモンソース線CSLは図示を省略しているが、これを同様にして複数のメモリセル1Aで共有させるとよい。
図3に、メモリセル1Aのレイアウト例を示す。
周囲を素子分離絶縁層により囲まれたPウェルのアクティブ領域2A,2B,2Cが図示のように配置されている。アクティブ領域2Aは書き込みトランジスタTwの形成用で、不図示の隣接セルと共用されている。アクティブ領域2Bは、選択トランジスタTsとアンプトランジスタTaの形成用である。アクティブ領域2Cは可変容量キャパシタCとなるMOSトランジスタの形成用である。
周囲を素子分離絶縁層により囲まれたPウェルのアクティブ領域2A,2B,2Cが図示のように配置されている。アクティブ領域2Aは書き込みトランジスタTwの形成用で、不図示の隣接セルと共用されている。アクティブ領域2Bは、選択トランジスタTsとアンプトランジスタTaの形成用である。アクティブ領域2Cは可変容量キャパシタCとなるMOSトランジスタの形成用である。
ポリシリコンからなる選択トランジスタTsのゲート配線3Bが、アクティブ領域2Bを横切って配置されている。ポリシリコンからなるアンプトランジスタTaのゲート配線3Cがアクティブ領域2Bおよび2Cを横切って配置されている。同様に、ポリシリコンからなる書き込みトランジスタTwのゲート配線、すなわち書き込みワード線WWLがアクティブ領域2Aを横切って配置されている。
これらのポリシリコンと重なっていないアクティブ領域2A,2B,2Cの部分にN型不純物がイオン注入され、各トランジスタのソース・ドレイン領域が形成せれている(符号省略)。ただし、可変容量キャパシタCとなるMOSトランジスタは、そのゲート配線3Cの片側にのみソース・ドレイン領域を有し、もう片側には素子分離絶縁層が位置している。したがって、このMOSトランジスタは、ソースとドレインの片側がオープンの構造を有する。
選択トランジスタTsのゲート配線3Bは、コンタクトを介して第2メタル層(2M)からなる読み出しワード線RWLに接続されている。可変容量キャパシタCのソース・ドレイン領域は、コンタクトを介して読み出しワード線RWLの第2メタル層(2M)に接続されている。
選択トランジスタTsの一方のソース・ドレイン領域は、多層コンタクトを介して更に上層の第3メタル層(3M)からなる読み出しビット線RBLに接続されている。また、他方のソース・ドレイン領域は、アンプトランジスタTaの一方のソース・ドレイン領域と共用されている。
アンプトランジスタTaの他方のソース・ドレイン領域は、コンタクトを介して第2メタル層(2M)からなるコモンソース線CSLに接続されている。
選択トランジスタTsの一方のソース・ドレイン領域は、多層コンタクトを介して更に上層の第3メタル層(3M)からなる読み出しビット線RBLに接続されている。また、他方のソース・ドレイン領域は、アンプトランジスタTaの一方のソース・ドレイン領域と共用されている。
アンプトランジスタTaの他方のソース・ドレイン領域は、コンタクトを介して第2メタル層(2M)からなるコモンソース線CSLに接続されている。
書き込みトランジスタTwの一方のソース・ドレイン領域は、コンタクトを介して第1メタル層(1M)からなるノード配線4に接続されている。ノード配線4はアンプトランジスタTaのゲート配線3Cの上方に延び、両者がコンタクトを介して接続されている。
書き込みトランジスタTwの他方のソース・ドレイン領域は、多層コンタクトを介して第3メタル層(3M)からなる書き込みビット線WBLに接続されている。
書き込みトランジスタTwの他方のソース・ドレイン領域は、多層コンタクトを介して第3メタル層(3M)からなる書き込みビット線WBLに接続されている。
つぎに、図4に示すメモリセルアレイにおいて、2行目のセル群を選択して、そのメモリセルの1つ置きに、“1”データまたは“0”データを書き込む動作を説明する。
図4(B)〜図4(F)は、ワード線およびビット線等の各種制御線について、その電圧変化を示すタイミングチャートである。
任意の一の書き込みワード線(本例ではWWL2)を選択し、それに直交して配置された書き込みビット線WBL1〜WBL2を選択する。
任意の一の書き込みワード線(本例ではWWL2)を選択し、それに直交して配置された書き込みビット線WBL1〜WBL2を選択する。
書き込み対象のメモリセルに“1”データを格納する場合は、図4(C)に示すように、該当するメモリセルが接続された書き込みビット線WBL1およびWBL3に電源電圧Vddを印加する。また、書き込み対象メモリセルに“0”データを格納する場合は、図4(D)に示すように、当該メモリセルに接続された書き込みビット線WBL2およびWBL4を0[V]で維持する。
図4(B)に示すように、これらビット線電圧の制御とほぼ同じタイミングで、選択された書き込みワード線WWL2の電圧を立ち上げる。ここで、図1に示すメモリセル1Aは、その書き込みトランジスタTwにNMOSトランジスタを用いていることから、それがオンしたときにドレイン電圧から閾値電圧だけ下がった電圧がソースに伝達される。したがって、“1”データ書き込みの際に、ストレージノードSNに電源電圧Vddを設定するためには、図4(B)に示すように、選択された書き込みワード線WWLに電源電圧Vddを、閾値電圧Vthだけ昇圧(ブースト)した電圧を印加する必要がある。なお、“1”データに対応する電圧として、ストレージノードSNに電源電圧Vdd以下の電圧を書き込む場合は、選択された書き込みワード線WWL2に電源電圧Vddを印加してもよい。
図4(E)および図4(F)に示す非選択の書き込みワード線WWL1,WWL3,WWL4および読み出しワード線RWL1〜RWL4、ならびに、コモンソース線CSLは0[V]で維持する。
図4(B)に示すように、これらビット線電圧の制御とほぼ同じタイミングで、選択された書き込みワード線WWL2の電圧を立ち上げる。ここで、図1に示すメモリセル1Aは、その書き込みトランジスタTwにNMOSトランジスタを用いていることから、それがオンしたときにドレイン電圧から閾値電圧だけ下がった電圧がソースに伝達される。したがって、“1”データ書き込みの際に、ストレージノードSNに電源電圧Vddを設定するためには、図4(B)に示すように、選択された書き込みワード線WWLに電源電圧Vddを、閾値電圧Vthだけ昇圧(ブースト)した電圧を印加する必要がある。なお、“1”データに対応する電圧として、ストレージノードSNに電源電圧Vdd以下の電圧を書き込む場合は、選択された書き込みワード線WWL2に電源電圧Vddを印加してもよい。
図4(E)および図4(F)に示す非選択の書き込みワード線WWL1,WWL3,WWL4および読み出しワード線RWL1〜RWL4、ならびに、コモンソース線CSLは0[V]で維持する。
このような書き込みワード線と書き込みビット線の電圧制御により、所望のメモリセルに“0”または“1”のデータを任意に書き込むことが可能となる。
一方、非選択の書き込みワード線WWL1,WWL3,WWL4に接続されたメモリセル(非選択セル)の書き込みトランジスタTwは、そのドレインに電源電圧Vdd相当の高い電圧が印加される。ところが、非選択セルの書き込みトランジスタTwは、そのゲートが閉じていることから、格納されたデータが変化しない。
一方、非選択の書き込みワード線WWL1,WWL3,WWL4に接続されたメモリセル(非選択セル)の書き込みトランジスタTwは、そのドレインに電源電圧Vdd相当の高い電圧が印加される。ところが、非選択セルの書き込みトランジスタTwは、そのゲートが閉じていることから、格納されたデータが変化しない。
メモリセル1Aのデータ保持時に、メモリセルアレイ内の制御線(ビット線およびワード線)全てを0[V]にする。このとき、書き込みトランジスタTwがオフし、全てのメモリセル100のストレージノードSNが電気的にフローティングになることから、格納されたデータが保持される。
とくに、ストレージノードSNに“0”(たとえば、ローレベル)データが格納されている場合、メモリアレイ内の制御線(ビット線およびワード線)が全て0[V](ローレベル)になっていることから、この“0”データは安定的に保持される。
これに対し、ストレージノードSNに“1”(たとえば、ハイレベル)データが格納されている場合、メモリアレイ内の制御線(ビット線およびワード線)が全て0[V](ローレベル)になっていると、ストレージノードSNに溜められた電荷がリークにより各制御線に抜ける。そのため“1”データは、ストレージノードSNのハイレベル電圧が読み出し不能なレベルに減衰するまでの期間だけ保持される。
とくに、ストレージノードSNに“0”(たとえば、ローレベル)データが格納されている場合、メモリアレイ内の制御線(ビット線およびワード線)が全て0[V](ローレベル)になっていることから、この“0”データは安定的に保持される。
これに対し、ストレージノードSNに“1”(たとえば、ハイレベル)データが格納されている場合、メモリアレイ内の制御線(ビット線およびワード線)が全て0[V](ローレベル)になっていると、ストレージノードSNに溜められた電荷がリークにより各制御線に抜ける。そのため“1”データは、ストレージノードSNのハイレベル電圧が読み出し不能なレベルに減衰するまでの期間だけ保持される。
図5は、図4に示す方法によって書き込まれたデータを読み出す動作を示す図である。図5(A)は、メモリセルアレイの等価回路図であり、図5(B1)〜図5(F)は、ワード線およびビット線等の各種制御線、ならびにストレージノードSNについて、その電圧変化を示すタイミングチャートである。
ここで図5(B2)に、“1”書き込みのストレージノードSNの電圧Vsn(ハイレベル電圧)を示し、図5(C2)に、“0”書き込みのストレージノードSNの電圧Vsn(ローレベル電圧)を示す。このうちハイレベル電圧は、図5(B2)に示すように、書き込み直後の電圧値(電源電圧Vdd)からリークによって徐々に低下する。
ここで図5(B2)に、“1”書き込みのストレージノードSNの電圧Vsn(ハイレベル電圧)を示し、図5(C2)に、“0”書き込みのストレージノードSNの電圧Vsn(ローレベル電圧)を示す。このうちハイレベル電圧は、図5(B2)に示すように、書き込み直後の電圧値(電源電圧Vdd)からリークによって徐々に低下する。
読み出しワード線RWL2を選択し、それに直交して配置された読み出しビット線RBL1〜RBL4を選択する。この選択時に、以下の電圧設定を行う。
図5(C1)および図5(D)に示すように、時間T1にて、選択した全ての読み出しビット線RBL1〜RBL4を電源電圧Vddにプリチャージし、ハイインピーダンス(電気的フローティング状態)で保持する。
つぎに、図5(B1)に示すように、時間T2にて、選択した読み出しワード線RWL2に電源電圧Vddを印加する。
図5(E)および図5(F)に示す非選択の書き込みワード線WWL1〜WWL4、非選択の読み出しワード線RWL1,RWL3,RWL4、ならびに、コモンソース線CSLは0[V]で維持する。
つぎに、図5(B1)に示すように、時間T2にて、選択した読み出しワード線RWL2に電源電圧Vddを印加する。
図5(E)および図5(F)に示す非選択の書き込みワード線WWL1〜WWL4、非選択の読み出しワード線RWL1,RWL3,RWL4、ならびに、コモンソース線CSLは0[V]で維持する。
選択した読み出しワード線RWL2に電源電圧Vddを印加すると、可変容量キャパシタCをカップリング容量としてストレージノードSNの昇圧が行われる。
図6(A)および図6(B)に、図3に示すA−A線の略断面図を示す。
Pウェル7の表面部に素子分離絶縁層5が形成され、これによりアクティブ領域2Cが規定される。アクティブ領域2Cの上方には、不図示のゲート絶縁膜を介してアンプトランジスタのゲート配線3Cが形成されている。ゲート配線3Cを自己整合マスクとするN型不純物のイオン注入により、アクティブ領域2Cの表面部に、可変容量キャパシタとなるMOSトランジスタのソース・ドレイン領域6が形成されている。ソース・ドレイン領域6は読み出しワード線RWLに接続されている。
Pウェル7の表面部に素子分離絶縁層5が形成され、これによりアクティブ領域2Cが規定される。アクティブ領域2Cの上方には、不図示のゲート絶縁膜を介してアンプトランジスタのゲート配線3Cが形成されている。ゲート配線3Cを自己整合マスクとするN型不純物のイオン注入により、アクティブ領域2Cの表面部に、可変容量キャパシタとなるMOSトランジスタのソース・ドレイン領域6が形成されている。ソース・ドレイン領域6は読み出しワード線RWLに接続されている。
ソース・ドレイン領域6は、そのN型不純物がゲート配線3Cのエッジ部下方に熱拡散し、この部分とゲート配線3Cとがゲート絶縁膜を介して容量結合する。この容量成分を「オーバーラップ容量Cov.」という。また、ゲート配線3Cは周囲の導電層、とくにソース・ドレイン領域6の本体と容量結合する。この容量成分を「フリンジング容量Cfr.」という。
この2つの容量成分、すなわちオーバーラップ容量Cov.とフリンジング容量Cfr.は、ストレージノードSN(ゲート配線3C)に保持された電圧の大小に無関係に常に生じる。
この2つの容量成分、すなわちオーバーラップ容量Cov.とフリンジング容量Cfr.は、ストレージノードSN(ゲート配線3C)に保持された電圧の大小に無関係に常に生じる。
一方、当該MOSトランジスタは、そのソース(ソース・ドレイン領域6)を基準として、ゲート電圧が閾値電圧を越えると、図6(B)に示すようにチャネルCHが形成され、チャネルCHとゲート電極、すなわちゲート配線3Cとが強く容量結合する。この容量成分を「チャネル容量Cch.」という。
以上より、当該MOSトランジスタは、その自身が持つ容量値がゲート電圧、すなわちストレージノードSNの電圧に応じて変化する可変容量キャパシタとして機能する。具体的には、ストレージノードSNの電圧がローレベル“L(=0[V])”である“0”データ記憶のときは、MOSトランジスタの容量値は、オーバーラップ容量Cov.とフリンジング容量Cfr.との和(Cov.+Cfr.)となり、ストレージノードSNの電圧がハイレベル“H(たとえば電源電圧Vdd)”のときは、(Cov.+Cfr.)にチャネル容量Cch.が付加される。
以上より、当該MOSトランジスタは、その自身が持つ容量値がゲート電圧、すなわちストレージノードSNの電圧に応じて変化する可変容量キャパシタとして機能する。具体的には、ストレージノードSNの電圧がローレベル“L(=0[V])”である“0”データ記憶のときは、MOSトランジスタの容量値は、オーバーラップ容量Cov.とフリンジング容量Cfr.との和(Cov.+Cfr.)となり、ストレージノードSNの電圧がハイレベル“H(たとえば電源電圧Vdd)”のときは、(Cov.+Cfr.)にチャネル容量Cch.が付加される。
このチャネル容量Cch.の形成されるストレージノード電圧の臨界点は閾値電圧で調整でき、最適化されている。
望ましくは、この閾値電圧を0[V]から若干高い程度に設定しておくと、ストレージノードSNの電圧がハイレベル“H”(データからリークにより減少しても、比較的長い時間チャネル容量Cch.が形成された状態を維持できる。
望ましくは、この閾値電圧を0[V]から若干高い程度に設定しておくと、ストレージノードSNの電圧がハイレベル“H”(データからリークにより減少しても、比較的長い時間チャネル容量Cch.が形成された状態を維持できる。
ここで図5の説明に戻る。
図5(B1)の時間T2にて、選択された読み出しワード線RWL2に電源電圧Vddが印加されると、図5(B2)に示すように、ストレージノードSNに“1”データが格納されているメモリセルでは、もともとハイレベルのストレージノード電圧Vsnがさらに高い電圧まで昇圧される。これに対し、図5(C2)に示すように、“0”データが格納されているメモリセルでは、余り昇圧されない。この結果、データ“1”と“0”に応じた保持電圧差が増幅される。
これは、“1”書き込みでは可変容量キャパシタの容量値が大きく、昇圧ドライブ能力が高いのに対し、“0”書き込みでは可変容量キャパシタの容量値が小さく、昇圧ドライブ能力が低いからである。
図5(B1)の時間T2にて、選択された読み出しワード線RWL2に電源電圧Vddが印加されると、図5(B2)に示すように、ストレージノードSNに“1”データが格納されているメモリセルでは、もともとハイレベルのストレージノード電圧Vsnがさらに高い電圧まで昇圧される。これに対し、図5(C2)に示すように、“0”データが格納されているメモリセルでは、余り昇圧されない。この結果、データ“1”と“0”に応じた保持電圧差が増幅される。
これは、“1”書き込みでは可変容量キャパシタの容量値が大きく、昇圧ドライブ能力が高いのに対し、“0”書き込みでは可変容量キャパシタの容量値が小さく、昇圧ドライブ能力が低いからである。
このような動作は、図5(B2)に時間T2にて、ハイレベルのストレージノード電圧Vsnが、可変容量キャパシタとしてのMOSトランジスタの閾値電圧以上であれば可能である。
したがって、閾値電圧の設定にも依存するが、従来では読み出し不可能なまでハイレベルが低下したストレージノード電圧Vsnであっても昇圧によって、読み出し可能なレベルまで回復することができる。
したがって、閾値電圧の設定にも依存するが、従来では読み出し不可能なまでハイレベルが低下したストレージノード電圧Vsnであっても昇圧によって、読み出し可能なレベルまで回復することができる。
ストレージノードSNに“1”データが格納されているメモリセルでは、アンプトランジスタTaがオン可能な状態になる。このため、図5(C1)に示す時間T2にて当該メモリセルの選択トランジスタTsがオンすると、図5(A)に示すように、選択された読み出しビット線RBL1,RBL3から読み出し電流Irが流れ出す。読み出し電流Irは、対象メモリセルの選択トランジスタTsとアンプトランジスタTaを介して、コモンソース線CSLに流れる。その結果、図5(C1)に示すように、選択された読み出しビット線RBL1,RBL3の電圧が時間T2を境にプリチャージレベル(Vddレベル)から低下する。このとき読み出しビット線の負荷容量が大きいと、それをディスチャージするのにある程度の時間がかかる。
一方、読み出し対象メモリセルのストレージノードSNに“0”データが格納されている場合、アンプトランジスタTaがオン可能な状態にならないことから、読み出し電流Irが流れず、図5(D)に示すように、選択された読み出しビット線RBL2R,BL4はプリチャージレベルに保たれたままとなる。
なお、非選択のメモリセルは、図5(E)に示すように、その読み出しワード線RWL1,RWL3,RWL4が0[V]のままで、選択トランジスタTsのゲートが閉じていることから、読み出し電流Irが流れない。
なお、非選択のメモリセルは、図5(E)に示すように、その読み出しワード線RWL1,RWL3,RWL4が0[V]のままで、選択トランジスタTsのゲートが閉じていることから、読み出し電流Irが流れない。
図5(C1)および図5(D)の時間T3にて、読み出しビット線RBL1〜RBL4の各々に接続されている不図示のセンスアンプを起動し、その電圧変化を増幅して、読み出し信号として外部に出力する。
このような読み出しワード線と読み出しビット線の電圧制御により、所望のメモリセルに格納されている“0”または“1”のデータに応じた読み出し信号を得ることができる。
図7は、読み出し前と読み出し中のストレージノード電圧の変化を示すグラフである。横軸に読み出し前のストレージノード電圧Vsn、縦軸に読み出し中のストレージノード電圧Vsn、つまりMOSキャパシタによる昇圧後の電圧を示す。
ストレージノードSNに“0”データが格納されている場合、読み出し前に0[V]であったストレージノード電圧Vsnの値が、読み出し時のMOSキャパシタによる昇圧により0.4[V]まで上昇する。
また、ストレージノードSNに“1”データが格納され、その電圧がリークにより0.5[V]まで低下している場合は、この読み出し前のストレージノード電圧Vsnが、読み出し時のMOSキャパシタによる昇圧により1.3[V]まで上昇する。
ストレージノードSNに“0”データが格納されている場合、読み出し前に0[V]であったストレージノード電圧Vsnの値が、読み出し時のMOSキャパシタによる昇圧により0.4[V]まで上昇する。
また、ストレージノードSNに“1”データが格納され、その電圧がリークにより0.5[V]まで低下している場合は、この読み出し前のストレージノード電圧Vsnが、読み出し時のMOSキャパシタによる昇圧により1.3[V]まで上昇する。
つぎに、MOSキャパシタによる昇圧の効果を、図17および図15を用いて説明する。
図17はストレージノード電圧Vsnと読み出し電流Irの関係を示すグラフである。データ読み出しを行うためには読み出し電流Irが10[μA]以上必要であるとする。図17から、その条件を満たす読み出し時ストレージノード電圧Vsnは0.8[V]以上であることが分かる。
また、図7からは、読み出し時ストレージノード電圧Vsnが0.8[V]以上となる読み出し前ストレージノード電圧Vsnは0.25[V]以上であることが分かる。
また、図7からは、読み出し時ストレージノード電圧Vsnが0.8[V]以上となる読み出し前ストレージノード電圧Vsnは0.25[V]以上であることが分かる。
以上より、データ保持中に、書き込み直後の電圧1[V]が0.25[V]になるまでは、読み出し可能であることになる。
つまり、本発明の適用前は読み出し直前の“1”書き込みのストレージノード電圧Vsnは最低でも0.8[V]必要であったのに対し、本発明の適用によって、その電圧範囲が約0.55(=0.8−0.25)[V]拡大されている。
つまり、本発明の適用前は読み出し直前の“1”書き込みのストレージノード電圧Vsnは最低でも0.8[V]必要であったのに対し、本発明の適用によって、その電圧範囲が約0.55(=0.8−0.25)[V]拡大されている。
このことは、データ保持時間に換算すると、つぎの如くである。
図15より、本発明の適用前には、ストレージノード電圧が書き込み直後の1[V]から低下し、読み出し可能な最低電圧0.8[V]になるまでの時間が0.4[msec]であった。
これに対し、本発明の適用によって読み出し可能な最低電圧が0.25[V]と低くなることから、この場合、読み出し可能なデータ保持時間は1.5[msec]と見積もられる。
つまり、本実施形態では、本発明の適用によって、データ保持時間が0.4[msec]から1.5[msec]と、約3.75倍に長時間化する。
図15より、本発明の適用前には、ストレージノード電圧が書き込み直後の1[V]から低下し、読み出し可能な最低電圧0.8[V]になるまでの時間が0.4[msec]であった。
これに対し、本発明の適用によって読み出し可能な最低電圧が0.25[V]と低くなることから、この場合、読み出し可能なデータ保持時間は1.5[msec]と見積もられる。
つまり、本実施形態では、本発明の適用によって、データ保持時間が0.4[msec]から1.5[msec]と、約3.75倍に長時間化する。
一方、“0”データ書き込みのストレージノード電圧は、読み出し中に0[V]から0.4[V]と上昇する。ただし、このとき図17に示すように、読み出し電流Irはほぼゼロ(厳密には1[μA]以下)であり、これは“1”データの読み出し電流Ir(≧10[μA])に比べ無視できるほど小さい。
また、“0”データ書き込みのストレージノード電圧が0.4[V]と上昇したときに、“0”データ書き込みのストレージノード電圧は0.8[V]であり、その電圧差は最低でも0.4[V]ある。この電圧差に応じてアンプトランジスタTaがオンまたはオフする閾値電圧の設定は容易である。
以上より、ストレージノード電圧のローレベル側昇圧は、正確なデータ読み出しを阻害する要因とならない。
また、“0”データ書き込みのストレージノード電圧が0.4[V]と上昇したときに、“0”データ書き込みのストレージノード電圧は0.8[V]であり、その電圧差は最低でも0.4[V]ある。この電圧差に応じてアンプトランジスタTaがオンまたはオフする閾値電圧の設定は容易である。
以上より、ストレージノード電圧のローレベル側昇圧は、正確なデータ読み出しを阻害する要因とならない。
[第2実施形態]
図8に、本実施形態のメモリセルの等価回路を示す。図9に、メモリセルのレイアウト例を示す。
図8に、本実施形態のメモリセルの等価回路を示す。図9に、メモリセルのレイアウト例を示す。
この図示したメモリセル1Bは、可変容量キャパシタCとなるMOSトランジスタに、2つのソース・ドレイン領域が形成され、その使用していない片側をオープンとする。
第1実施形態では、ゲート配線3Cと素子分離絶縁層5がアライメントずれで重なると、チャネル容量Cch.の値がばらつくが、第2実施形態では、そのようなことがないという利点が得られる。このときセル面積の増大(エリアペナルティ)はない。
[第3実施形態]
図10に、本実施形態のメモリセルの等価回路を示す。図11に、メモリセルのレイアウト例を示す。
図10に、本実施形態のメモリセルの等価回路を示す。図11に、メモリセルのレイアウト例を示す。
この図示したメモリセル1Cは、可変容量キャパシタCとなるMOSトランジスタに、2つのソース・ドレイン領域が形成され、それらを2つのコンタクトを介して第1メタル層(1M)のショート線10で接続している。
第1および第2実施形態では、ソース・ドレイン領域の片側がオープンまたは存在しないと、チャネルの電荷分布が不均一になり、チャネル形成が安定しないことがある。
第3実施形態では、2つのソース・ドレイン領域をショートしていることから、チャネルが安定に形成されるという利点がある。
なお、第3実施形態では、図6の場合よりオーバーラップ容量Cov.とフリンジング容量Cfr.が更に付加され、その結果、容量値の変化率が低下する。ただし、この変化率は、詳細は後述するが、アクティブ領域幅W1及び/又はキャパシタ部のゲート配線幅W2を大きくすると上がるので、実質的な不都合はない。
また、セル面積の増大(エリアペナルティ)はない。
なお、第3実施形態では、図6の場合よりオーバーラップ容量Cov.とフリンジング容量Cfr.が更に付加され、その結果、容量値の変化率が低下する。ただし、この変化率は、詳細は後述するが、アクティブ領域幅W1及び/又はキャパシタ部のゲート配線幅W2を大きくすると上がるので、実質的な不都合はない。
また、セル面積の増大(エリアペナルティ)はない。
上述した第1〜第3実施形態によれば、ストレージノードSNのハイレベル側の保持電圧値が、より低くてもデータ読み出し可能となる。上記例では、その保持電圧範囲の拡大(低下)幅は約0.55[V]であり、その分、書き込み電圧および電源電圧Vddの低電圧化が可能である。
電源電圧Vddを書き込む場合の閾値電圧Vth分の昇圧も不要となる。そのため、メモリセルアレイの構成が簡略化できる。
読み出し可能なデータ保持時間が大幅に(上記例では約3.75倍に)長くでき、結果として、リフレッシュの頻度を削減でき、結果として、低消費電力化を実現することが可能となる。
また、読み出し時には、とくに“1”データの保持電圧を大きく昇圧することから、読み出し電流Irを大きくとることができる。これにより、たとえば図5(C1)に示すように、時間T2から始まる読み出しビット線の電圧低下が、本発明適用前(破線)より急速になり、その結果として、読み出し開始時間T2からセンシング時間T3までの時間を短くして高速読み出しが可能となる。
さらに、3トランジスタを有するメモリセルでは、1トランジスタ−1キャパシタ型のDRAMセルとは異なり、保持データを破壊せずに読み出すことができる。
なお、MOSキャパシタによるストレージノード電圧の昇圧、データ保持時間の増大は、図6に示すチャネル容量Cch.の比率を大きくすれば、それだけ変化幅を大きくできる。具体的には、図3の平面図において、アクティブ領域幅W1及び/又は可変容量キャパシタ(MOSキャパシタ)C部分のゲート配線幅W2を変えることにより、これらのストレージノード電圧の昇圧幅、データ保持時間の増大幅を調整することができる。また、MOSキャパシタの閾値電圧の調整を、他のMOSトランジスタと別に行うことにより、その最適化が可能である。
また、メモリセル内の書き込みトランジスタTw、選択トランジスタTsとアンプトランジスタTa、及び/又は、可変容量キャパシタCのMOSトランジスタを、Pチャネル型とすることもできる。その場合、これに合わせてワード線およびビット線のアクティブな電圧レベルを適宜、変更する必要がある。
ただし、メモリセル内にPチャネル型とNチャネル型のトランジスタを混在させると、つぎの不利益が生じやすい。
第1に、PウェルとNウェルの形成が必要で、その分セル面積が大きくなる。
第2に、Pチャネル型トランジスタを用いると、データ保持時にハイレベル(たとえば電源電圧Vdd)で保持する制御線が必要となり、その制御線に接続されたトランジスタを介したリーク電流が増大し、消費電力の点で不利となる。
第3に、ストレージノードSNに流れ込むリーク電流と流れ出すリーク電流とが存在し、その比率がばらつくと、アンプトランジスタTaの動作点の設定、MOSキャパシタのサイズ設計等が難しく、誤動作防止のために無駄な電圧マージンをとる必要が生じやすい。
メモリセル内のトランジスタを全てNチャネル型とすると、これらの不利益がないことが、逆に利点となる。
第1に、PウェルとNウェルの形成が必要で、その分セル面積が大きくなる。
第2に、Pチャネル型トランジスタを用いると、データ保持時にハイレベル(たとえば電源電圧Vdd)で保持する制御線が必要となり、その制御線に接続されたトランジスタを介したリーク電流が増大し、消費電力の点で不利となる。
第3に、ストレージノードSNに流れ込むリーク電流と流れ出すリーク電流とが存在し、その比率がばらつくと、アンプトランジスタTaの動作点の設定、MOSキャパシタのサイズ設計等が難しく、誤動作防止のために無駄な電圧マージンをとる必要が生じやすい。
メモリセル内のトランジスタを全てNチャネル型とすると、これらの不利益がないことが、逆に利点となる。
1A,1B,1C…メモリセル、2A,2B,2C…アクティブ領域、3B,3C…ゲート配線、4…ノード配線、5…素子分離絶縁層、6…ソース・ドレイン領域、7…Pウェル、10…ショート線、Tw…書き込みトランジスタ、Ts…選択トランジスタ、Ta…アンプトランジスタ、C…可変容量キャパシタ、SN…ストレージノード、WBL…書き込みビット線、RBL…読み出しビット線、WWL…書き込みワード線、RWL…読み出しワード線、CSL…コモンソース線、Vsn…ストレージノード電圧、Ir…読み出し電流、Cov.…オーバーラップ容量、Cfr.…フリンジング容量、Cch.…チャネル容量
Claims (6)
- メモリセルアレイを構成する各メモリセルが、データ入力用の書き込みトランジスタと、データ出力用の読み出しトランジスタと、前記書き込みトランジスタから入力したデータを電気的フローティング状態で保持するストレージノードと、を備える半導体記憶装置であって、
前記ストレージノードに一方電極が接続され、データ出力時にハイレベル電圧が印加される制御線に他方電極が接続され、データ保持時の前記ストレージノードの電圧レベルに応じて容量値が変化し、前記制御線への前記ハイレベル電圧の印加により前記ストレージノードの電圧を昇圧する可変容量キャパシタを、前記メモリセルごとに有する
半導体記憶装置。 - 前記可変容量キャパシタの容量値は、前記データ保持時のストレージノード電圧がハイレベルのときは、ローレベルのときより大きい
請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 前記読み出しトランジスタは、
前記ストレージノードの電圧に応じて導通状態が変化する第1読み出しトランジスタと、
前記第1読み出しトランジスタとともにデータ出力線と所定電圧線との間に縦続接続され、前記第1読み出しトランジスタの導通状態と読み出し制御線の電圧とに応じて導通状態が変化し、前記ストレージノードの電圧として記憶されているデータを、前記データ出力線の電圧変化に変換して出力する第2読み出しトランジスタと、を含み、
前記可変容量キャパシタの前記他方電極が、前記読み出し制御線に接続されている
請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 前記可変容量キャパシタは絶縁ゲート電界効果トランジスタからなる
請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 前記可変容量キャパシタは、ゲートが前記ストレージノードに接続され、2つのソース・ドレイン領域の少なくとも一方が前記制御線に接続されているNチャネル型MOSトランジスタからなる
請求項4に記載の半導体記憶装置。 - 前記メモリセル内の全てのトランジスタがNチャネル型トランジスタである
請求項1に記載の半導体記憶装置。
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- 2005-05-31 JP JP2005159712A patent/JP2006338729A/ja active Pending
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