JP2006333601A - リニアモータ、工作機械及び計測器 - Google Patents
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Abstract
応答遅れ等を低減でき位置決め精度を高めることができるリニアモータを提供する。
【解決手段】
リニアモータ50によれば、導体53,53と永久磁石MGとが相対的に移動することで、永久磁石MGの磁束を相対的な移動によって横切ることにより、その速度に比例した誘導電流(渦電流)VIを発生し、その電流により発生する磁界MFが永久磁石MGとの磁界により磁力(誘導起電力)を発生し抗力となるので、応答遅れがないスライドテーブル13の移動を実現できるため、高精度な加工を実現できる。
【選択図】 図4
Description
前記永久磁石からの磁力を受ける位置に配置され、前記永久磁石のピッチ以上の長さを有する導体を有していることを特徴とする。
P=Fc(i)−Fe(v) (3)
固定体と移動体のうち一方に配置され、所定のピッチで並べられた複数の永久磁石と、
前記固定体と前記移動体のうち他方に配置されたコイルと、
前記永久磁石の前記所定のピッチ以上の長さを有し、前記永久磁石に対向する位置に配置された導体と、を有することを特徴とする。
M+S≦A+B+C (1)
M−C≧S (2)
M+S≦2A+C
M−C≧S
図3に示す工作機械において、高圧油によって浮上している静圧スライドテーブルに、図4に示すように、ピッチ25mmで板状の永久磁石を2列取り付け、その間をコイルケースとこれに延在する銅板をベース側に取り付けた。銅体の幅は永久磁石の幅の半分としたので、スライドテーブルの移動に伴って導体が横切る磁束は、コイル電流による磁力の約半分であるから、この導体が無い場合に対してスライドテーブルの推力は1.5倍の電流を必要とすることになる。言い換えれば、ループゲインを1.5倍高く設定することができる。
実施例1に用いた静圧スライドテーブルにおいて、100mmの距離を速度10mm/minで連続往復運動させ、コイルの温度上昇を測定した。図7は、コイル温度を縦軸に、起動からの経過時間を横軸にとって示すグラフである。コイルは23±0.1℃の水によって冷却されている。コイルの温度は2時間経過して約0.7℃の温度上昇で飽和した。ベースの温度上昇は0.1℃以下でほとんど検知できなかった。これは、コイルケースがはるかに大きなベースに固定されているので熱容量が大きく、温度制御された静圧油が静圧面から排出されコイルの近くを流れているためと判断される。
11 アクティブエアマウント
12 ベース
13(Z軸)スライドテーブル
14 旋回テーブル
15 サポートブロック
16(X軸)スライドテーブル
17(Y軸)スライドテーブル
18 旋回テーブル
50 リニアモータ
51 磁石ケース
52 コイルケース
53 導体
54、55 配管
56 配線
CL コイル
MG 永久磁石
Claims (13)
- 固定体と移動体のうち一方に配置され所定のピッチで並べられた複数の永久磁石と、前記固定体と前記移動体のうち他方に前記永久磁石に対向して配置されたコイルとを有するリニアモータにおいて、
前記永久磁石からの磁力を受ける位置に配置され、前記永久磁石のピッチ以上の長さを有する導体を有していることを特徴とするリニアモータ。 - 固定体と移動体のうち一方に配置され、所定のピッチで並べられた複数の永久磁石と、
前記固定体と前記移動体のうち他方に配置されたコイルと、
前記永久磁石の前記所定のピッチ以上の長さを有し、前記永久磁石に対向する位置に配置された導体と、を有することを特徴とするリニアモータ。 - 前記導体は、前記永久磁石に対向する位置であって、前記コイルが配置される側に配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のリニアモータ。
- 前記導体は、前記永久磁石の並び方向において、前記コイルに対して両側に配置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のリニアモータ。
- 前記永久磁石の並び方向において、前記コイルに対して一方の側に配置された前記導体の長さをA、他方の側に配置された前記導体の長さをB、前記コイルの長さをCとしたときに、前記複数の永久磁石の並び長さMと、前記移動体の駆動ストロークSとの間に、以下の式を満たす関係があることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のリニアモータ。
M+S≦A+B+C (1)
M−C≧S (2) - 前記永久磁石は2列に並べられており、前記コイルと前記導体は、前記永久磁石の列間に配置されてなることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のリニアモータ。
- 前記永久磁石は円筒状又は円柱状であり、前記コイルと前記導体は、並んだ前記永久磁石の周囲に配置されてなることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のリニアモータ。
- 前記コイルと前記導体とが前記固定体に固定されており、前記永久磁石が前記移動体に固定されており、前記コイルに電力を供給することによって前記固定体に対して前記移動体が移動することを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のリニアモータ。
- 請求項1〜8のいずれかに記載のリニアモータを搭載した工作機械であって、前記移動体はスライドテーブルであることを特徴とする工作機械。
- 前記スライドテーブルは、静圧により浮上保持されていることを特徴とする請求項9に記載の工作機械。
- 光学素子の光学面又は光学素子を形成する光学素子成形用金型の光学転写面を加工することを特徴とする請求項9又は10に記載の工作機械。
- 請求項1〜8のいずれかに記載のリニアモータを搭載した計測器であって、前記移動体はスライドテーブルであることを特徴とする計測器。
- 前記スライドテーブルは、静圧により浮上保持されていることを特徴とする請求項12に記載の計測器。
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