JP2006331763A - プラズマ処理装置及びそれを用いたプラズマ処理方法 - Google Patents
プラズマ処理装置及びそれを用いたプラズマ処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006331763A JP2006331763A JP2005151981A JP2005151981A JP2006331763A JP 2006331763 A JP2006331763 A JP 2006331763A JP 2005151981 A JP2005151981 A JP 2005151981A JP 2005151981 A JP2005151981 A JP 2005151981A JP 2006331763 A JP2006331763 A JP 2006331763A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- gas
- plasma generating
- processed
- sterilized
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明のプラズマ処理装置10は、プラズマ発生手段1と、搬送手段2に加えて、プラズマ発生用ガスGとして空気よりも軽量な軽量ガスをプラズマ発生手段1及びその近傍に導入することが可能なプラズマ発生用ガス(軽量ガス)導入手段3、並びに、プラズマ発生手段1をその上部から覆蓋するように配設された、プラズマ発生用ガス(軽量ガス)導入手段3から導入されたプラズマ発生用ガス(軽量ガス)Gをプラズマ発生手段1及びその近傍に集中的に貯留させることが可能なガス貯留手段4をさらに備える構成とする。
【選択図】図1
Description
前記プラズマ発生手段、前記ガス貯留手段及び前記搬送手段の前記通過部が、前記搬送手段の前記搬入部及び前記搬出部よりもそれぞれ上方に配設されてなるとともに、前記搬送手段が、前記被処理物を、前記搬入部の配設位置から前記通過部の配設位置まで上昇させること及び前記通過部の配設位置から前記搬出部の配設位置まで下降させることがそれぞれ可能な昇降部をさらに有する前記[1]又は[2]に記載のプラズマ処理装置。
[7]前記プラズマ発生手段が、その内部に存在する前記プラズマ発生用ガス(軽量ガス)中の菌の有無の検証のためのサンプリングを可能とするサンプリングノズルを有する前記[5]又は[6]に記載のプラズマ処理装置。
[8]前記[1]〜[7]のいずれかに記載のプラズマ処理装置を用いて、被処理物を処理することを特徴とするプラズマ処理方法。
50mm×90mmの平板電極4枚を用い、上面2枚、下面2枚をそれぞれ対向配置し、電極間隔を5〜15mmとし、その間に80mm×80mmのポリプロピレンシートを設置して表面の殺菌・滅菌を行った。この時、4枚の電極は150mm×150mm×50mmのステンレス製で上端が密閉された容器で覆い、これをリアクターとした。プラズマ発生器としてSIサイリスタパルス電源(ピーク電圧:1〜20kV、周波数:0.1〜5kHz)を用いた。消費電力は20〜400Wで行った。ヘリウム(約1000mL)、酸素(約100mL)を混合させ、リアクター内に充填させた。殺菌・滅菌効果の評価は、枯草菌(Geobacillus stearothermophilus(ATCC#7953))のバイオロジカルインディケータ(米国Raven社製、以下「BI」と略すことがある)を用いて行った。1×106個の菌が付着したセルロース製の担体がグラシン紙(グラシン紙:1mm平方当り、200個程度のメッシュがあり、外部からの菌の進入と内部の胞子の飛散を阻止し、気流の流入は容易な構造)に包埋されている。試験紙型のBIをポリプロピレンシート上に所定の枚数貼り付け、殺菌・滅菌処理後に1次包装(グラシン紙)から無菌状態で担体を取り出し、培養を行った。培養にはAcumedia製TSB(Tryptic Soy Broth.)培地とpHインジケータ(Bromocresol Purpule)がガラス試験管に入れてある培養液を用い、殺菌・滅菌処理を施した試験紙型BIの担体を無菌状態を保持したまま試験管に入れて58〜60℃で7日間培養を行い、培養液の色の変化で殺菌・滅菌の有無を確認した。培養液の色の変化は無く、殺菌・滅菌ができていることが分かった。殺菌・滅菌不良であれば、培養液が紫色から黄色に変化する。プラズマ放電の結果、1分間の放電により殺菌・滅菌が可能であった。さらにエネルギーを印加することにより短時間に殺菌・滅菌が可能である。この時のガスの漏洩は1%程度であった。
Claims (13)
- 対向電極の相互間のプラズマ発生用ガスを含む雰囲気中でプラズマを発生させることが可能なプラズマ発生手段と、被処理物を前記プラズマ発生手段に搬入させること、前記プラズマ発生手段の内部を通過させること及び前記プラズマ発生手段から搬出させることがそれぞれ可能であるとともに、前記被処理物が前記プラズマ発生手段中を通過する際に、前記被処理物を前記プラズマ発生手段で発生させたプラズマによって処理することが可能な搬送手段とを備えたプラズマ処理装置であって、
前記プラズマ発生用ガスとして空気よりも軽量な軽量ガスを前記プラズマ発生手段及びその近傍に導入することが可能なプラズマ発生用ガス(軽量ガス)導入手段、並びに、
前記プラズマ発生手段をその上部から覆蓋するように配設された、前記プラズマ発生用ガス(軽量ガス)導入手段から導入された前記プラズマ発生用ガス(軽量ガス)を前記プラズマ発生手段及びその近傍に集中的に貯留させることが可能なガス貯留手段をさらに備えてなることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記プラズマ発生用ガス(軽量ガス)がヘリウムガスである請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記搬送手段が、前記被処理物を前記プラズマ発生手段に搬入させることが可能な搬入部と、前記プラズマ発生手段の内部を通過させることが可能な通過部と、前記プラズマ発生手段から搬出させることが可能な搬出部とを有し、
前記プラズマ発生手段、前記ガス貯留手段及び前記搬送手段の前記通過部が、前記搬送手段の前記搬入部及び前記搬出部よりもそれぞれ上方に配設されてなるとともに、前記搬送手段が、前記被処理物を、前記搬入部の配設位置から前記通過部の配設位置まで上昇させること及び前記通過部の配設位置から前記搬出部の配設位置まで下降させることがそれぞれ可能な昇降部をさらに有する請求項1又は2に記載のプラズマ処理装置。 - 前記被処理物を、前記プラズマ発生手段で発生させたプラズマによって連続的又はセミバッチ的に処理することが可能である請求項1〜3のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記被処理物の処理が、被殺菌・滅菌物の殺菌・滅菌処理である請求項1〜4のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記搬送手段が、前記被処理物(被殺菌・滅菌物)とともに前記プラズマ発生手段の内部を通過するとともにプラズマ処理されて前記被処理物(被殺菌・滅菌物)における前記殺菌・滅菌処理の検証が可能なバイオロジカルインディケータを取り付けるためのバイオロジカルインディケータ取り付け部を有する請求項5に記載のプラズマ処理装置。
- 前記プラズマ発生手段が、その内部に存在する前記プラズマ発生用ガス(軽量ガス)中の菌の有無の検証のためのサンプリングを可能とするサンプリングノズルを有する請求項5又は6に記載のプラズマ処理装置。
- 前記1〜7のいずれかに記載のプラズマ処理装置を用いて、被処理物を処理することを特徴とするプラズマ処理方法。
- 前記プラズマ発生用ガス(軽量ガス)に加えて、0.1〜25%の酸素ガスを前記ガス貯留手段に導入する請求項8に記載のプラズマ処理方法。
- 前記被処理物の近傍に水分を配設した後に、又は前記被処理物に水分を予め噴霧若しくは添加した後に、プラズマ処理する請求項8又は9に記載のプラズマ処理方法。
- 前記被処理物の処理が、被殺菌・滅菌物の殺菌・滅菌処理である請求項8〜10のいずれかに記載のプラズマ処理方法。
- 前記搬送手段として、前記被処理物(被殺菌・滅菌物)とともに前記プラズマ発生手段の内部を通過するとともにプラズマ処理されて前記被処理物(被殺菌・滅菌物)における前記殺菌・滅菌処理の検証が可能なバイオロジカルインディケータを取り付けるためのバイオロジカルインディケータ取り付け部を有するものを用いて、前記被処理物(被殺菌・滅菌物)の前記殺菌・滅菌処理の検証をする請求項11に記載のプラズマ処理方法。
- 前記プラズマ発生手段として、その内部に存在する前記プラズマ発生用ガス(軽量ガス)中の菌の有無の検証のためのサンプリングが可能なサンプリングノズルを有するものを用いて、前記プラズマ発生用ガス(軽量ガス)中の菌の有無の検証をする請求項11又は12に記載のプラズマ処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005151981A JP2006331763A (ja) | 2005-05-25 | 2005-05-25 | プラズマ処理装置及びそれを用いたプラズマ処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005151981A JP2006331763A (ja) | 2005-05-25 | 2005-05-25 | プラズマ処理装置及びそれを用いたプラズマ処理方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006331763A true JP2006331763A (ja) | 2006-12-07 |
Family
ID=37553248
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005151981A Pending JP2006331763A (ja) | 2005-05-25 | 2005-05-25 | プラズマ処理装置及びそれを用いたプラズマ処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006331763A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010036973A (ja) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Toyo Seikan Kaisha Ltd | 無菌充填システムにおける「容器の無菌性レベル」検証方法および無菌充填システム |
WO2017065235A1 (ja) * | 2015-10-13 | 2017-04-20 | サントリーホールディングス株式会社 | 殺菌方法 |
WO2017065234A1 (ja) * | 2015-10-13 | 2017-04-20 | サントリーホールディングス株式会社 | 殺菌装置 |
JP2017094059A (ja) * | 2015-10-13 | 2017-06-01 | サントリーホールディングス株式会社 | 殺菌装置 |
WO2017110501A1 (ja) * | 2015-12-25 | 2017-06-29 | サントリーホールディングス株式会社 | 殺菌システム |
JP2017119085A (ja) * | 2015-12-25 | 2017-07-06 | サントリーホールディングス株式会社 | 殺菌方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11501530A (ja) * | 1994-12-29 | 1999-02-09 | グレーヴズ,クリントン・ジイ | プラズマ殺菌用装置と方法 |
JP2002538896A (ja) * | 1999-03-16 | 2002-11-19 | アブシス | プラズマによる殺菌工程及び装置 |
JP2003523053A (ja) * | 2000-02-11 | 2003-07-29 | ダウ・コーニング・アイルランド・リミテッド | 大気圧プラズマシステム |
WO2003086031A1 (en) * | 2002-04-10 | 2003-10-16 | Dow Corning Ireland Limited | An atmospheric pressure plasma assembly |
JP2004173704A (ja) * | 2002-11-22 | 2004-06-24 | Air Water Inc | 滅菌方法 |
-
2005
- 2005-05-25 JP JP2005151981A patent/JP2006331763A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11501530A (ja) * | 1994-12-29 | 1999-02-09 | グレーヴズ,クリントン・ジイ | プラズマ殺菌用装置と方法 |
JP2002538896A (ja) * | 1999-03-16 | 2002-11-19 | アブシス | プラズマによる殺菌工程及び装置 |
JP2003523053A (ja) * | 2000-02-11 | 2003-07-29 | ダウ・コーニング・アイルランド・リミテッド | 大気圧プラズマシステム |
WO2003086031A1 (en) * | 2002-04-10 | 2003-10-16 | Dow Corning Ireland Limited | An atmospheric pressure plasma assembly |
JP2005524930A (ja) * | 2002-04-10 | 2005-08-18 | ダウ・コーニング・アイルランド・リミテッド | 大気圧プラズマアセンブリ |
JP2004173704A (ja) * | 2002-11-22 | 2004-06-24 | Air Water Inc | 滅菌方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010036973A (ja) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Toyo Seikan Kaisha Ltd | 無菌充填システムにおける「容器の無菌性レベル」検証方法および無菌充填システム |
WO2017065235A1 (ja) * | 2015-10-13 | 2017-04-20 | サントリーホールディングス株式会社 | 殺菌方法 |
WO2017065234A1 (ja) * | 2015-10-13 | 2017-04-20 | サントリーホールディングス株式会社 | 殺菌装置 |
JP2017094059A (ja) * | 2015-10-13 | 2017-06-01 | サントリーホールディングス株式会社 | 殺菌装置 |
JPWO2017065235A1 (ja) * | 2015-10-13 | 2018-09-06 | サントリーホールディングス株式会社 | 殺菌方法 |
WO2017110501A1 (ja) * | 2015-12-25 | 2017-06-29 | サントリーホールディングス株式会社 | 殺菌システム |
JP2017119085A (ja) * | 2015-12-25 | 2017-07-06 | サントリーホールディングス株式会社 | 殺菌方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Ehlbeck et al. | Low temperature atmospheric pressure plasma sources for microbial decontamination | |
JP2006331763A (ja) | プラズマ処理装置及びそれを用いたプラズマ処理方法 | |
KR100381495B1 (ko) | 소재 처리용 플라즈마 처리 장치 | |
US4321232A (en) | Package and sterilizing process for same | |
Gadri et al. | Sterilization and plasma processing of room temperature surfaces with a one atmosphere uniform glow discharge plasma (OAUGDP) | |
De Geyter et al. | Nonthermal plasma sterilization of living and nonliving surfaces | |
JP2006210178A (ja) | プラズマ発生用電極装置 | |
JP2006205085A (ja) | プラズマ処理装置 | |
EP1375357B1 (en) | Method and device for sterilizing packaging materials by using high voltage pulses | |
EP3652332B1 (en) | Process for determining viability of test microorganisms of biological indicator and sterilization detection device for determining same | |
JP4015581B2 (ja) | プラズマ滅菌装置 | |
KR20180000815A (ko) | 플라즈마 멸균장치 | |
JP2003310719A (ja) | 殺菌装置、及び、殺菌方法 | |
JP2007145407A (ja) | 殺菌方法および殺菌装置 | |
JP4608511B2 (ja) | 表面処理装置 | |
US10900062B2 (en) | Process for determining viability of test microorganisms of biological indicator and sterilization detection device for determining same | |
Bose et al. | Inactivation of B. subtilis spores using flexible microplasma discharge device | |
WO2022064866A1 (ja) | 連続除染装置 | |
JP3762375B2 (ja) | プラズマ滅菌装置 | |
CN111494697B (zh) | 电磁消毒装置及其消毒方法 | |
EP3652334B1 (en) | Process for determining viability of test microorganisms of biological indicator and sterilization detection device for determining same | |
Blajan et al. | Inactivation of Staphylococcus Aureus by microplasma | |
CN112512598B (zh) | 使用等离子体的灭菌方法 | |
US20230262867A1 (en) | Low-temperature dielectric barrier discharge devices | |
Pawłat et al. | Mini glide-arc plasma reactor for biological decontamination |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080215 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100705 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100720 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100902 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110816 |