JP2006324465A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】サファイアR面(10−12)基板上にA軸配向したGaNをMOCVD法により結晶成長する。まずサファイア基板を1000℃以上まで昇温し、例えばNH3雰囲気、N2雰囲気あるいはH2雰囲気での熱処理による表面クリーニングを行う。その後600℃以下まで降温して、低温GaNバッファ層の結晶成長を行う。その後、1000℃以上まで昇温してGaN層を例えば1μm成長させる。このような成長シーケンスにすることで深さ方向に分極電界が生じない無極性面であるA面((11−20)面)窒化物半導体が形成できる。
【選択図】図6
Description
図1は第1の実施形態におけるサファイアR面(10−12)基板上にA軸配向したGaNをMOCVD(有機金属気相エピタキシャル成長)法により結晶成長する際の成長シーケンスを示している。まずサファイア基板を1000℃以上まで昇温し、例えばNH3雰囲気、N2雰囲気あるいはH2雰囲気での熱処理による表面クリーニングを行う。その後600℃以下まで降温して、低温GaNバッファ層の結晶成長を行う。その後、1000℃以上まで昇温してGaN層を例えば1μm成長させる。このような成長シーケンスにすることでA面GaNを作製することができる。
図5は第2の実施形態におけるサファイアR面(10−12)基板上にA軸配向したAlxGa1−xN(0<x<1)/GaNによるHFET用エピタキシャルウェハをMOCVD法により結晶成長する際の成長シーケンスを示している。まずサファイア基板を1000℃まで昇温し、例えばNH3雰囲気、N2雰囲気あるいはH2雰囲気での熱処理による表面クリーニングを行う。その後600℃まで降温して、低温GaNバッファ層の結晶成長を行う。その後、1000℃まで昇温してGaN層を例えば1μm成長させる。その後、続いてAlxGa1−xN層をi−AlxGa1−xN(ここでi−はintrinsicすなわち無ドープであることを意味する)、n−AlxGa1−xN(ここでn−はn型の導電性にドープされていることを意味する)、i−AlxGa1−xNの順で25nm成長させる。このような成長シーケンスにすることで、A軸配向したAlxGa1−xN(0<x<1)/GaNによるHFET用エピタキシャルウェハを作製することができる。n−AlxGa1−xN層のドーピング濃度は必要な閾値電圧を考慮し決定され、例えば0V付近にしたい場合には4×1013cm−2のドーピングが必要である。なお、基板はGaNまたはAlxGa1−xNの無極性面の成長が可能である限り、Si基板、SiC基板、ZnO基板、GaN基板などいずれの基板であってもかまわない。また、結晶成長はMBE法やHVPE法により行ってもかまわない。
図12は第3の実施形態におけるサファイアR面(10−12)基板上にA軸配向したAlxGa1−xN(0<x<1)/GaNによるHFET用エピタキシャルウェハをMOCVD法により結晶成長する際の成長シーケンスを示している。まずサファイア基板を1000℃以上まで昇温し、例えばNH3雰囲気あるいはN2雰囲気あるいはH2雰囲気での熱処理による表面クリーニングを行う。その後1000℃以上の温度にしてAlN層を例えば500nm成長させる。その後、基板温度を下げてGaN層を例えば1μm成長させる。続いてAlxGa1−xN層をi−AlxGa1−xN、n−AlxGa1−xN、i−AlxGa1−xNの順で25nm成長させる。このような成長シーケンスにすることで、A軸配向したAlxGa1−xN(0<x<1)/GaNによるHFET用エピタキシャルウェハを作製することができる。n−AlxGa1−xN層のドーピング濃度は必要な閾値電圧を考慮し決定され、例えば0V付近にしたい場合には4×1013cm−2のドーピングが必要である。なお、基板はGaNまたはAlxGa1−xNまたはAlNの無極性面の成長が可能である限り、Si基板、SiC基板、ZnO基板、GaN基板などいずれの基板であってもかまわない。また、結晶成長はMBE法やHVPE法により行ってもかまわない。
602 n型ドープAlGaN電子供給層
603 AlGaNスペーサ層
604 アンドープGaN層
605 GaNバッファ層
606 サファイアR面基板
607 ソース電極
608 ドレイン電極
609 ゲート電極
610 熱酸化層
701 すじ状モフォロジ
Claims (16)
- (10−12)面を主面とする基板上に形成された[11−20]軸配向のInxAlyGa1-x-yN(0≦x<1、0<y<1)層を有することを特徴とする半導体装置。
- 前記InxAlyGa1-x-yN(0≦x<1、0<y<1)層の層厚が2μmより小さいことを特徴とする半導体装置。
- (10−12)面を主面とする基板上に形成されたIII族窒化物半導体よりなるバッファ層と、前記バッファ層の上に形成されたA軸配向のIII族窒化物半導体層とを有することを特徴とする半導体装置。
- 前記バッファ層が低温成長したGaNであることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。
- 前記バッファ層が高温成長したAlNであることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。
- 前記バッファ層の膜厚が500nm以上であることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。
- 前記InxAlyGa1-x-yN(0≦x<1、0<y<1)層がAlwGa1-wN(0<w<1)層とGaN層とのヘテロ接合を含むことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記半導体装置は電界効果トランジスタであり、この電界効果トランジスタのゲート長方向が[1−100]であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記基板がサファイア基板であることを特徴とする請求項1または3に記載の半導体装置。
- (10−12)面基板上において基板温度を1000℃以上にする熱処理工程と、前記熱処理工程後にInxAlyGa1-x-yN(0≦x<1、0<y<1)層を結晶成長する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 前記熱処理工程後に基板温度を降温する工程と、バッファ層を形成する工程と、基板温度を昇温する工程と、InxAlyGa1-x-yN(0≦x<1、0<y<1)を成長する工程とを有することを特徴とする請求項10記載の半導体装置の製造方法。
- 前記熱処理終了後に1000℃以上においてAlN層を形成する工程と、InxAlyGa1-x-yN(0≦x<1、0<y<1)を成長する工程とを有することを特徴とする請求項10記載の半導体装置の製造方法。
- 前記InxAlyGa1-x-yN(0≦x<1、0<y<1)層を結晶成長する工程においてInxAlyGa1-x-yNを4μm/hr以上の成長速度にて形成することを特徴とする請求項10記載の半導体装置の製造方法。
- 前記熱処理工程後に基板温度を降温する工程と、バッファ層を形成する工程と、基板温度を昇温する工程と、AlwGa1-wN(0<w<1)層とGaN層とのヘテロ接合を成長する工程とを有することを特徴とする請求項10記載の半導体装置の製造方法。
- 前記AlwGa1-wN(0<w<1)層とGaN層とのヘテロ接合を成長する工程において、GaNの成長温度を1015℃以上かつ1045℃以下とする請求項14記載の半導体装置の製造方法。
- 前記基板がサファイア基板であることを特徴とする請求項10に記載の半導体装置の製造方法。
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