JP2006318581A - Information recording medium, recording/reproducing device, and stamper - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an information recording medium having a servo pattern capable of surely reading magnetic signals in all areas from the inner peripheral side to the outer peripheral side. <P>SOLUTION: A servo pattern (recessed and projected pattern 20sa) is formed by a recessed and projected pattern in at least one surface side of a base material, and a concentric circular or spiral data recording track is formed in one surface side to form a data track pattern (recessed and projected pattern 20t). The recessed and projected pattern 20sa constituting the servo pattern is divided into a plurality of annular areas A1a, A2a... (annular area Aa) concentric to the data track pattern, and a unit recessed part length is defined for each annular area Aa so that a value obtained by dividing an average length in each annular area Aa of the unit recessed part length along the rotational direction (arrow R) of the base material by a distance from the center of the data track pattern to each annular area As is smaller in the annular area Aa of the outer peripheral side than in the annular area Aa of the inner peripheral side. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、凹凸パターンによってサーボパターンが形成された情報記録媒体、その情報記録媒体を備えた記録再生装置、およびその情報記録媒体を製造するためのスタンパーに関するものである。   The present invention relates to an information recording medium on which a servo pattern is formed by a concavo-convex pattern, a recording / reproducing apparatus including the information recording medium, and a stamper for manufacturing the information recording medium.

半導体素子や情報記録媒体などを製造する工程において、ナノメートルサイズの凹凸パターンを形成したスタンパーを基材上の樹脂層に押し付けてスタンパーの凹凸形状を樹脂層に転写することで基材の上にナノメートルサイズの凹凸パターンを形成するナノインプリントリソグラフィ法（ナノメートルサイズの凹凸パターンを形成するインプリント方法：以下、「インプリント方法」ともいう）が米国特許５７７２９０５号明細書に開示されている。このインプリント方法では、まず、その転写面にナノメートルサイズ（一例として、最小幅が２５ｎｍ程度）の凹凸パターンが形成されたスタンパー（mold）を製造する。具体的には、シリコン基板（silicon substrate ）の表面に形成された酸化シリコン等の薄膜（molding layer ）を覆うようにして形成された樹脂層に電子ビームリソグラフィ装置を用いて所望のパターンを描画した後に、反応性イオンエッチング装置によって樹脂層をマスクとして薄膜をエッチング処理することによって複数の凸部（features）を有する凹凸パターンを薄膜の厚み内に形成する。これにより、スタンパーが製造される。   In the process of manufacturing a semiconductor element, an information recording medium, etc., a stamper with a nanometer-sized uneven pattern is pressed against the resin layer on the substrate to transfer the uneven shape of the stamp onto the resin layer. US Pat. No. 5,772,905 discloses a nanoimprint lithography method for forming a nanometer-sized uneven pattern (an imprint method for forming a nanometer-sized uneven pattern: hereinafter also referred to as “imprint method”). In this imprint method, first, a stamper (mold) in which a concavo-convex pattern having a nanometer size (for example, a minimum width of about 25 nm) is formed on the transfer surface is manufactured. Specifically, a desired pattern is drawn using an electron beam lithography apparatus on a resin layer formed so as to cover a thin film (molding layer) such as silicon oxide formed on the surface of a silicon substrate. Thereafter, a thin film is etched using a resin layer as a mask by a reactive ion etching apparatus to form a concave / convex pattern having a plurality of features within the thickness of the thin film. Thereby, a stamper is manufactured.

次いで、例えば、シリコン製の基材（substrate ）の表面にポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ：樹脂材料）をスピンコートして厚み５５ｎｍ程度の樹脂層（薄膜：thin film layer ）を形成する。続いて、基材および樹脂層の積層体、並びにスタンパーの双方を加熱した後に、基材上の樹脂層にスタンパーの各凸部を押し付ける。この際には、スタンパーの凸部が押し込まれた部位の樹脂材料がスタンパーの凹部に向けて移動することにより、凸部が押し込まれた部位に凹部（regions ）が形成（転写）される。次いで、スタンパーを押し付けた状態の積層体を室温となるまで放置した後に（冷却処理した後に）、樹脂層からスタンパーを剥離する。これにより、スタンパーの凹凸パターンにおける各凸部が樹脂層に転写されて、基材の上（樹脂層）にナノメートルサイズの凹凸パターンが形成される。この後、凹凸パターンが形成された樹脂層をマスクとして用いて基材をエッチング処理することにより、基材に複数の凹部が形成される。したがって、上記のような技術（インプリント方法）によって情報記録媒体用基材上の樹脂層に凹部を形成することにより、その樹脂層をマスクとして用いたエッチング処理によってナノメートルサイズの凹凸パターンを有する情報記録媒体を製造することが可能となる。
米国特許５７７２９０５号明細書 Next, for example, polymethyl methacrylate (PMMA: resin material) is spin-coated on the surface of a silicon substrate to form a resin layer (thin film layer) having a thickness of about 55 nm. Subsequently, after heating both the laminate of the base material and the resin layer, and the stamper, each convex portion of the stamper is pressed against the resin layer on the base material. At this time, the resin material at the portion where the convex portion of the stamper is pushed moves toward the concave portion of the stamper, whereby concave portions (regions) are formed (transferred) at the portion where the convex portion is pushed. Next, the laminate with the stamper pressed is allowed to stand until it reaches room temperature (after cooling), and then the stamper is peeled from the resin layer. Thereby, each convex part in the uneven | corrugated pattern of a stamper is transcribe | transferred to a resin layer, and the uneven | corrugated pattern of nanometer size is formed on a base material (resin layer). Thereafter, the substrate is etched using the resin layer having the concavo-convex pattern as a mask, thereby forming a plurality of recesses in the substrate. Therefore, by forming a recess in the resin layer on the information recording medium base material by the technique (imprint method) as described above, an etching process using the resin layer as a mask has a nanometer-sized uneven pattern. An information recording medium can be manufactured.
US Pat. No. 5,772,905

ところが、従来のインプリント方法（製造方法）に従って製造された情報記録媒体には、以下の問題点がある。すなわち、従来の製造方法では、基材上に形成した樹脂層にスタンパーの凸部を押し込むことによって樹脂層に凹部を設けて凹凸パターンを形成し、凹凸パターンが形成された樹脂層をマスクとして用いて基材をエッチング処理することによって基材に凹凸パターンを形成している。しかし、この製造方法に従って例えばディスクリートトラック型の磁気記録媒体（情報記録媒体）を製造したときには、磁気記録媒体の外周側となる領域において樹脂層に対する凸部（スタンパーの凸部）の押し込み量が不足して、樹脂層に形成される（転写される）凹凸パターンにおける凹部の底部に大量の樹脂材料が残存するおそれがある。この結果、従来の製造方法に従って磁気記録媒体を製造したときには、凹部の底部に残存する樹脂材料の取り除き処理時に凹部が過剰に拡がることに起因して磁気記録媒体に凹凸パターンを高精度で形成するのが困難となるおそれがある。なお、以下の説明では、スタンパーの押し付けによって樹脂層に形成される凹部の底面と基材との間に取り残された樹脂材料を「残渣」ともいう。   However, the information recording medium manufactured according to the conventional imprint method (manufacturing method) has the following problems. That is, in the conventional manufacturing method, the concave portion is formed in the resin layer by pressing the convex portion of the stamper into the resin layer formed on the substrate, and the concave / convex pattern is formed, and the resin layer on which the concave / convex pattern is formed is used as a mask. The uneven pattern is formed on the substrate by etching the substrate. However, when, for example, a discrete track type magnetic recording medium (information recording medium) is manufactured in accordance with this manufacturing method, the amount of pressing of the convex portion (the convex portion of the stamper) into the resin layer is insufficient in the outer peripheral region of the magnetic recording medium. As a result, a large amount of the resin material may remain at the bottom of the recess in the uneven pattern formed (transferred) on the resin layer. As a result, when the magnetic recording medium is manufactured according to the conventional manufacturing method, the concave / convex pattern is formed on the magnetic recording medium with high accuracy due to excessive expansion of the concave portion during the removal process of the resin material remaining on the bottom of the concave portion. May be difficult. In the following description, the resin material left between the bottom surface of the recess formed in the resin layer by pressing the stamper and the base material is also referred to as “residue”.

具体的には、例えば、図２２に示すように、上記の製造方法に従って製造した磁気ディスク１０ｘは、同心円状の複数の記録トラックで構成された凹凸パターン２０ｔが形成されたトラックパターン領域Ａｔと、トラッキングサーボ用の凹凸パターン２０ｓｘが形成されたサーボパターン領域Ａｓｘとが磁気ディスク１０ｘの回転方向（同図に示す矢印Ｒの向き）で交互に並ぶように規定されて製造されている。この場合、この種の磁気記録媒体を搭載した記録再生装置では、記録再生時に磁気記録媒体を角速度一定で回転させるのが一般的となっている。したがって、この磁気ディスク１０ｘでは、単位時間当たりに磁気ヘッド（図示せず）の下方を通過させられる磁気ディスク１０ｘ上の長さに比例して、磁気ディスク１０ｘの回転方向に沿ったサーボパターン領域Ａｓｘの長さが内周側から外周側に向かうほど長くなるように（サーボパターン領域Ａｓｘが外周側ほど幅広となるように）規定されている。具体的には、図２３，２４に示すように、凹凸パターン２０ｔの中心Ｏ（図２２参照）からの距離に比例して、内周側サーボパターン領域Ａｓｘｉの回転方向に沿った長さよりも、外周側サーボパターン領域Ａｓｘｏの回転方向に沿った長さの方が長くなっている。   Specifically, for example, as shown in FIG. 22, the magnetic disk 10x manufactured according to the above-described manufacturing method includes a track pattern region At in which a concavo-convex pattern 20t formed of a plurality of concentric recording tracks is formed. The servo pattern area Asx on which the concave / convex pattern 20sx for tracking servo is formed is defined and manufactured so as to be alternately arranged in the rotation direction of the magnetic disk 10x (direction of arrow R shown in the figure). In this case, in a recording / reproducing apparatus equipped with this type of magnetic recording medium, it is common to rotate the magnetic recording medium at a constant angular velocity during recording / reproduction. Therefore, in this magnetic disk 10x, the servo pattern area Asx along the rotation direction of the magnetic disk 10x is proportional to the length on the magnetic disk 10x that is allowed to pass under a magnetic head (not shown) per unit time. Is defined to be longer as it goes from the inner circumference side toward the outer circumference side (so that the servo pattern area Asx becomes wider toward the outer circumference side). Specifically, as shown in FIGS. 23 and 24, in proportion to the distance from the center O (see FIG. 22) of the concave / convex pattern 20t, rather than the length along the rotation direction of the inner peripheral servo pattern region Asxi, The length along the rotation direction of the outer peripheral servo pattern region Asxo is longer.

また、この種の磁気ディスクでは、サーボパターン領域Ａｓｘ（凹凸パターン２０ｓｘ）における凸部２１ｓｘｉ，２１ｓｘｏ（以下、区別しないときは「凸部２１ｓｘ」ともいう）の回転方向に沿った単位凸部長（磁気信号の読み取りに際して「１つの凸部有り」と検出される基準の長さ：図２３，２４におけるＬ１ｘｉ，Ｌ１ｘｏ）と、凹部２２ｓｘｉ，２２ｓｘｏ（以下、区別しないときは「凹部２２ｓｘ」ともいう）の回転方向に沿った単位凹部長（磁気信号の読み取りに際して「１つの凹部有り」と検出される基準の長さ：図２３，２４におけるＬ２ｘｉ，Ｌ２ｘｏ）とが磁気ディスク１０ｘの内周側領域Ａｘｉから外周側領域Ａｘｏまでの全域において１：１の比（単位凸部長に対する単位凹部長の比が１）となるように規定されている。したがって、この磁気ディスク１０ｘでは、内周側サーボパターン領域Ａｓｘｉにおける凹部２２ｓｘｉの長さＬ２ｘｉよりも、外周側サーボパターン領域Ａｓｘｏにおける凹部２２ｓｘｏの長さＬ２ｘｏの方が凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して長くなっている。   In this type of magnetic disk, the length of the unit convex portion (magnetic) along the rotation direction of the convex portions 21sxi and 21sxo (hereinafter also referred to as “convex portion 21sx” when not distinguished) in the servo pattern area Asx (uneven pattern 20sx). Reference lengths detected as “there is one convex portion” at the time of signal reading: L1xi and L1xo in FIGS. 23 and 24 and concave portions 22sxi and 22sxo (hereinafter also referred to as “concave portion 22sx” when not distinguished) The unit recess length along the rotation direction (reference lengths detected as “there is one recess” when reading a magnetic signal: L2xi and L2xo in FIGS. 23 and 24) is from the inner peripheral area Axi of the magnetic disk 10x. It is defined so that a ratio of 1: 1 (ratio of unit concave portion length to unit convex portion length is 1) in the entire area up to the outer peripheral side region Axo. To have. Accordingly, in this magnetic disk 10x, the distance L2xo of the concave portion 22sxo in the outer servo pattern area Asxo is more distance from the center O of the concave / convex pattern 20t than the length L2xi of the concave portion 22sxi in the inner peripheral servo pattern area Asxi. Is longer in proportion to

一方、上記の磁気ディスク１０ｘを製造するためのスタンパー（図２５，２６参照）には、磁気ディスク１０ｘに形成すべき凹凸パターン２０ｔ，２０ｓｘとは凹凸位置関係が反転している凹凸パターン３９ｘが形成されている。したがって、図２５，２６に示すように、磁気ディスク１０ｘを製造するためのスタンパーでは、内周側サーボパターン領域Ａｓｘｉにおける凹部２２ｓｘｉに対応する凸部（図２５に示す凸部３９ａｘ）の回転方向に沿った長さＬＳｘｉよりも、外周側サーボパターン領域Ａｓｘｏにおける凹部２２ｓｘｏに対応する凸部（図２６に示す凸部３９ａｘ）の回転方向に沿った長さＬＳｘｏの方が長くなっている。   On the other hand, the stamper (see FIGS. 25 and 26) for manufacturing the magnetic disk 10x is provided with a concavo-convex pattern 39x in which the concavo-convex positional relationship with the concavo-convex patterns 20t and 20sx to be formed on the magnetic disk 10x is reversed. Has been. Therefore, as shown in FIGS. 25 and 26, in the stamper for manufacturing the magnetic disk 10x, in the rotational direction of the convex portion (the convex portion 39ax shown in FIG. 25) corresponding to the concave portion 22sxi in the inner peripheral servo pattern region Asxi. The length LSxo along the rotation direction of the convex portion (the convex portion 39ax shown in FIG. 26) corresponding to the concave portion 22sxo in the outer peripheral servo pattern region Asxo is longer than the length LSxi along the length.

この場合、従来の製造方法では、スタンパーの全域に亘ってほぼ均一な押圧力で凹凸パターン３９ｘを樹脂層に押し付けている。したがって、図２５に示すように、回転方向に沿った長さＬＳｘｉが比較的短い凸部３９ａｘが形成されている部位（内周側サーボパターン領域Ａｓｘｉの凹凸パターン２０ｓｘが形成される部位）では、凸部３９ａｘが押し込まれた部位の樹脂材料がスタンパーの凹部３９ｂｘ，３９ｂｘ内に向けてスムーズに移動する結果、凸部３９ａｘを十分に奥深くまで樹脂層に押し込むことができる。この結果、凸部３９ａｘの先端と基材との間（凹部４１ｂｘの底部）の樹脂層の厚みＴ１が十分に薄い凹凸パターン４１ｘを基材の上に形成することができる。これに対して、図２６に示すように、回転方向に沿った長さＬＳｘｏが比較的長い凸部３９ａｘが形成されている部位（外周側サーボパターン領域Ａｓｘｏの凹凸パターン２０ｓｘが形成される部位）では、凸部３９ａｘが押し込まれた部位の樹脂材料がスタンパーの凹部３９ｂｘ，３９ｂｘ内に向けて移動するのが困難となる結果、凸部３９ａｘを樹脂層に奥深くまで十分に押し込むのが困難となる。この結果、凸部３９ａｘの先端と基材との間（凹部４１ｂｘの底部）に厚みＴ２の残渣が生じることとなる。   In this case, in the conventional manufacturing method, the uneven pattern 39x is pressed against the resin layer with a substantially uniform pressing force over the entire area of the stamper. Therefore, as shown in FIG. 25, in the portion where the convex portion 39ax having a relatively short length LSxi along the rotation direction is formed (the portion where the uneven pattern 20sx of the inner peripheral servo pattern region Asxi is formed), As a result of the resin material at the portion where the convex portion 39ax is pushed in smoothly moving into the concave portions 39bx and 39bx of the stamper, the convex portion 39ax can be pushed deeply into the resin layer. As a result, the uneven pattern 41x having a sufficiently thin resin layer thickness T1 between the tip of the convex portion 39ax and the base material (the bottom portion of the concave portion 41bx) can be formed on the base material. On the other hand, as shown in FIG. 26, a portion where a convex portion 39ax having a relatively long length LSxo along the rotation direction is formed (a portion where the concave and convex pattern 20sx of the outer peripheral servo pattern region Asxo is formed). Then, it becomes difficult for the resin material at the portion where the convex portion 39ax is pushed into to move into the concave portions 39bx and 39bx of the stamper. As a result, it is difficult to push the convex portion 39ax deeply into the resin layer. . As a result, a residue having a thickness T2 is generated between the tip of the convex portion 39ax and the base material (the bottom portion of the concave portion 41bx).

一方、凹凸パターン４１ｘが形成された樹脂層をマスクとして用いて基材をエッチング処理する際には、凹凸パターン４１ｘにおける凹部４１ｂｘの底面の残渣をエッチング処理等によって除去する必要がある（前述した取り除き処理）。この場合、前述したように、回転方向に沿ったＬＳｘｉが短い凸部３９ａｘ，３９ａｘ・・を押し込んだ部位の残渣の厚みＴ１は、回転方向に沿ったＬＳｘｏが長い凸部３９ａｘ，３９ａｘ・・を押し込んだ部位の残渣の厚みＴ２よりも十分に薄くなっている。したがって、後に外周側サーボパターン領域Ａｓｘｏとなる外周側の領域において厚みＴ２の残渣を確実に取り除くことができるように十分な時間のエッチング処理（取り除き処理）を実行したときには、厚みＴ２の残渣の取り除きが完了するのに先立ち、内周側の領域において厚みＴ１の残渣の取り除きが完了する。この結果、厚みＴ１の残渣が取り除かれた部位（回転方向に沿った長さが短い凹部４１ｂｘの部位）では、厚みＴ２の残渣の取り除きが完了するまでエッチングされ続けることによって凹部４１ｂｘの内側壁（凸部４１ａｘの側面）が浸食されて凹部４１ｂｘが過剰に拡がってしまう。このため、従来の製造方法に従って製造した磁気ディスク１０ｘには、所望する広さの凹部４１ｂｘを形成するのが困難であることに起因して、内周側サーボパターン領域Ａｓｘｉにおいて凹部２２ｓｘｉが過剰に拡がり、これに起因して磁気的信号の確実な読み取りが困難となるおそれがある。   On the other hand, when the substrate is etched using the resin layer on which the concavo-convex pattern 41x is formed as a mask, the residue on the bottom surface of the concave portion 41bx in the concavo-convex pattern 41x needs to be removed by an etching process or the like (removal described above) processing). In this case, as described above, the thickness T1 of the residue where the convex portions 39ax, 39ax,... Having a short LSxi along the rotational direction are pushed into the convex portions 39ax, 39ax,. It is sufficiently thinner than the thickness T2 of the residue at the pushed-in portion. Therefore, when the etching process (removal process) is performed for a sufficient time so as to reliably remove the residue of the thickness T2 in the outer peripheral area that will be the outer peripheral servo pattern area Asxo later, the removal of the residue of the thickness T2 is performed. Prior to completion of the process, removal of the residue of thickness T1 is completed in the inner peripheral region. As a result, at the portion where the residue of thickness T1 is removed (the portion of the recess 41bx having a short length along the rotation direction), the etching is continued until the removal of the residue of thickness T2 is completed, whereby the inner wall ( The side surface of the convex portion 41ax) is eroded and the concave portion 41bx expands excessively. For this reason, in the magnetic disk 10x manufactured according to the conventional manufacturing method, it is difficult to form the recess 41bx having a desired width, and therefore the recess 22sxi is excessive in the inner peripheral servo pattern area Asxi. Due to the spread, it may be difficult to reliably read magnetic signals.

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その内周側から外周側までの全域において磁気的信号の確実な読み取りが可能なサーボパターンを有する情報記録媒体および記録再生装置、並びに、このような情報記録媒体を製造し得るスタンパーを提供することを主目的とする。   The present invention has been made in view of such problems, and an information recording medium and a recording / reproducing apparatus having a servo pattern capable of reliably reading a magnetic signal in the entire region from the inner periphery side to the outer periphery side, and The main object of the present invention is to provide a stamper that can manufacture such an information recording medium.

上記目的を達成すべく本発明に係る情報記録媒体は、基材の少なくとも一面側に凹凸パターンによってサーボパターンが形成されると共に、同心円状または螺旋状のデータ記録トラックが当該一面側に設けられてデータトラックパターンが形成され、前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記データトラックパターンと同心の複数の環状領域に区分けされると共に、前記基材の回転方向に沿った単位凹部長の当該各環状領域内における平均長を当該データトラックパターンの中心から当該環状領域までの距離で除した値が内周側の当該環状領域よりも外周側の当該環状領域ほど小さくなるように当該各環状領域毎に当該単位凹部長が規定されている。   In order to achieve the above object, the information recording medium according to the present invention has a servo pattern formed by a concavo-convex pattern on at least one surface side of a substrate, and concentric or spiral data recording tracks are provided on the one surface side. A data track pattern is formed, and the concave / convex pattern constituting the servo pattern is divided into a plurality of annular regions concentric with the data track pattern, and each of the unit recess lengths along the rotation direction of the base material For each annular region, the value obtained by dividing the average length in the annular region by the distance from the center of the data track pattern to the annular region is smaller for the annular region on the outer peripheral side than for the annular region on the inner peripheral side. The unit recess length is defined in FIG.

なお、本明細書における「同心円状または螺旋状のデータ記録トラック」には、凹凸パターンの凹部によって情報記録媒体における半径方向および回転方向の双方に対して分離された凸部（単位記録要素）が同心円状または螺旋状に配列させられたパターンド媒体のデータトラックパターンにおけるトラック状のデータ記録部が含まれる。また、本明細書における「単位凹部長」とは、情報記録媒体からの磁気信号の読み取りに際して「１つの凹部有り」と検出するための基準の長さをいう。したがって、実際の情報記録媒体では、サーボデータの内容に応じて、単位凹部長の整数倍の長さの凹部が形成されてサーボパターンが構成される。この場合、「１つの凹部有り」と検出するための基準の長さについては、サーボパターン全体において１つの共通する長さに規定してもよいし、サーボパターンを構成する各種パターンの種類（プリアンブルパターン、アドレスパターンおよびバーストパターン等）に応じて各パターン毎に相違する長さに規定することもできる。また、一般的には、凹部の形成部位は「検出信号の出力なし」または「信号レベルがLow の検出信号」として検出される。さらに、本明細書における「データトラックパターンの中心から環状領域までの距離」とは、例えば、「データトラックパターンの中心から、環状領域の最内周部位までの距離」や、「データトラックパターンの中心から、環状領域の最外周部位までの距離」のみならず、「データトラックパターンの中心から、環状領域の半径方向における中央部位などの任意の部位までの距離」などがこれに含まれる。ただし、この距離を規定する部位はすべての環状領域において同じ部位とする。   Note that the “concentric or spiral data recording track” in the present specification has convex portions (unit recording elements) separated from both the radial direction and the rotational direction of the information recording medium by the concave portions of the concave-convex pattern. A track-shaped data recording unit in a data track pattern of a patterned medium arranged concentrically or spirally is included. In addition, the “unit recess length” in this specification refers to a reference length for detecting “there is one recess” when reading a magnetic signal from the information recording medium. Therefore, in an actual information recording medium, a servo pattern is formed by forming a recess having an integral multiple of the unit recess length according to the content of servo data. In this case, the reference length for detecting “one recess is present” may be defined as one common length in the entire servo pattern, or the various types of patterns (preamble) constituting the servo pattern. Depending on the pattern, the address pattern, the burst pattern, etc., the length can be defined differently for each pattern. In general, the formation site of the recess is detected as “no detection signal output” or “detection signal having a low signal level”. Furthermore, “the distance from the center of the data track pattern to the annular region” in this specification is, for example, “the distance from the center of the data track pattern to the innermost peripheral portion of the annular region” or “the distance of the data track pattern” This includes not only “the distance from the center to the outermost peripheral portion of the annular region” but also “the distance from the center of the data track pattern to an arbitrary portion such as the central portion in the radial direction of the annular region”. However, the part which defines this distance is the same part in all the annular regions.

また、本発明に係る情報記録媒体は、前記基材の回転方向に沿った単位凸部長に対する前記単位凹部長の比が前記環状領域内において当該環状領域の内周側から当該環状領域の外周側に向かうほど小さくなるように当該単位凸部長および当該単位凹部長が規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。なお、本明細書における「単位凸部長」とは、情報記録媒体からの磁気信号の読み取りに際して「１つの凸部有り」と検出するための基準の長さをいう。したがって、実際の情報記録媒体では、サーボデータの内容に応じて、単位凸部長の整数倍の長さの凸部が形成されてサーボパターンが構成される。この場合、「１つの凸部有り」と検出するための基準の長さについては、サーボパターン全体において１つの共通する長さに規定してもよいし、サーボパターンを構成する各種パターンの種類（プリアンブルパターン、アドレスパターンおよびバーストパターン等）に応じて各パターン毎に相違する長さに規定することもできる。また、一般的には、凸部の形成部位は「検出信号の出力有り」または「信号レベルがHighの検出信号」として検出される。   Further, in the information recording medium according to the present invention, the ratio of the unit concave portion length to the unit convex portion length along the rotation direction of the base material is within the annular region from the inner peripheral side of the annular region to the outer peripheral side of the annular region. The concave / convex pattern constituting the servo pattern is formed by defining the unit convex part length and the unit concave part length so as to become smaller toward. In the present specification, the “unit convex portion length” refers to a reference length for detecting “one convex portion is present” when reading a magnetic signal from the information recording medium. Therefore, in an actual information recording medium, a servo pattern is formed by forming a convex portion having a length that is an integral multiple of the unit convex portion length in accordance with the contents of the servo data. In this case, the reference length for detecting that “there is one convex portion” may be defined as one common length in the entire servo pattern, or the types of various patterns constituting the servo pattern ( Depending on the preamble pattern, address pattern, burst pattern, etc.), the length can be defined differently for each pattern. Further, generally, the formation site of the convex portion is detected as “detection signal output” or “detection signal with high signal level”.

さらに、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凸部長が前記環状領域内において当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど長くなるように規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。   Further, the information recording medium according to the present invention is such that the unit convex portion length is defined so as to become longer from the inner peripheral side of the annular region toward the outer peripheral side of the annular region in the annular region. The concavo-convex pattern is formed.

また、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凹部長が前記環状領域内における当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側までの全域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。なお、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、凹凸パターンにおける単位凹部長が各環状領域内において僅かにばらついた状態になったとしても、それらの長さは等しい長さの範疇に含まれるものとする。また、本明細書における「ほぼ等しい長さ」には、製造目標としての所定の長さを中心として、製造誤差とは別に当初から規定した僅かな幅の許容範囲内の長さが含まれるものとする。   Further, in the information recording medium according to the present invention, the unit recess length is the same length or substantially the same length in the entire region from the inner peripheral side of the annular region to the outer peripheral side of the annular region in the annular region. The concavo-convex pattern that defines the servo pattern and forms the servo pattern is formed. In the present invention, even if a slight slight manufacturing error occurs and the unit recess length in the uneven pattern slightly varies in each annular region, the lengths of the recesses are equal. It shall be included in the category. In addition, the “substantially equal length” in this specification includes a length within the allowable range of a slight width defined from the beginning separately from a manufacturing error, centering on a predetermined length as a manufacturing target. And

さらに、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凸部長および前記単位凹部長の合計長が前記環状領域内において前記データトラックパターンの中心からの距離に比例して当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど長くなるように規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。なお、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、凹凸パターンにおける単位凸部長と単位凹部長との合計長が環状領域内においてデータトラックパターンの中心からの距離に対して比例する長さとは僅かに相違する長さになったとしても、その凹凸パターンにおける単位凸部長と単位凹部長との合計長は、中心からの距離に比例している長さの範疇に含まれるものとする。   Furthermore, in the information recording medium according to the present invention, the total length of the unit convex portion length and the unit concave portion length is proportional to the distance from the center of the data track pattern in the annular region. The concavo-convex pattern that defines the servo pattern so as to become longer toward the outer peripheral side of the annular region is formed. In the present invention, a very slight manufacturing error occurs, and the total length of the unit convex portion length and the unit concave portion length in the concavo-convex pattern is proportional to the distance from the center of the data track pattern in the annular region. Even if the length is slightly different from the length, the total length of the unit convex portion length and the unit concave portion length in the concavo-convex pattern is included in the category of length proportional to the distance from the center. To do.

また、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凹部長が前記環状領域内において前記データトラックパターンの中心からの距離に比例して当該環状領域の内周側から当該環状領域の外周側に向かうほど長くなるように規定されると共に、前記基材の回転方向に沿った前記単位凹部長と単位凸部長の合計長が当該環状領域内において前記データトラックパターンの中心からの距離に比例して当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど長くなるように当該単位凸部長および当該単位凹部長が規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。なお、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、凹凸パターンにおける単位凹部長が環状領域内においてデータトラックパターンの中心からの距離に対して比例する長さとは僅かに相違する長さになったとしても、その凹凸パターンにおける単位凹部長は、中心からの距離に比例している長さの範疇に含まれるものとする。   Further, in the information recording medium according to the present invention, the unit recess length is proportional to the distance from the center of the data track pattern in the annular area and goes from the inner circumference side of the annular area to the outer circumference side of the annular area. The total length of the unit concave portion length and the unit convex portion length along the rotation direction of the base material is proportional to the distance from the center of the data track pattern in the annular region. The convex / concave pattern constituting the servo pattern is formed by defining the unit convex portion length and the unit concave portion length so as to increase from the inner peripheral side of the annular region toward the outer peripheral side of the annular region. In the present invention, a very slight manufacturing error occurs, and the unit recess length in the uneven pattern is slightly different from the length proportional to the distance from the center of the data track pattern in the annular region. Even if it is, the unit recess length in the uneven pattern is included in the category of length proportional to the distance from the center.

さらに、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凹部長の前記環状領域内における前記平均長が前記内周側の環状領域から前記外周側の環状領域までの全環状領域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。なお、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、各環状領域毎の単位凹部長の平均長が僅かに相違する状態になったとしても、それらの平均長は等しい長さの範疇に含まれるものとする。   Furthermore, in the information recording medium according to the present invention, the average length in the annular region of the unit recess length is equal in all annular regions from the inner peripheral side annular region to the outer peripheral side annular region, or The concavo-convex pattern that is defined to have substantially the same length and constitutes the servo pattern is formed. In the present invention, even if a very slight manufacturing error occurs and the average length of the unit recess lengths for each annular region is slightly different, the average lengths are equal. It shall be included in the category.

また、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凹部長を前記データトラックパターンの中心からの距離で除した値が前記環状領域内において当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど小さくなるように当該単位凹部長が規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。   Further, in the information recording medium according to the present invention, the value obtained by dividing the unit recess length by the distance from the center of the data track pattern is the outer circumference of the annular area from the inner circumference side of the annular area in the annular area. The concave / convex pattern constituting the servo pattern is formed by defining the unit concave portion length so as to become smaller toward the side.

さらに、本発明に係る情報記録媒体は、前記基材の回転方向に沿った単位凸部長を前記データトラックパターンの中心からの距離で除した値が前記環状領域内において当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど小さくなるように当該単位凸部長が規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。   Further, in the information recording medium according to the present invention, the value obtained by dividing the unit convex portion length along the rotation direction of the base material by the distance from the center of the data track pattern is the inner circumference of the annular area in the annular area. The unit convex portion length is defined so as to decrease from the side toward the outer peripheral side of the annular region, and the concave / convex pattern constituting the servo pattern is formed.

また、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凹部長が前記環状領域内における当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側までの全域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。なお、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、凹凸パターンにおける単位凹部長が各環状領域内において僅かにばらついた状態になったとしても、それらの長さは等しい長さの範疇に含まれるものとする。   Further, in the information recording medium according to the present invention, the unit recess length is the same length or substantially the same length in the entire region from the inner peripheral side of the annular region to the outer peripheral side of the annular region in the annular region. The concavo-convex pattern that defines the servo pattern and forms the servo pattern is formed. In the present invention, even if a slight slight manufacturing error occurs and the unit recess length in the uneven pattern slightly varies in each annular region, the lengths of the recesses are equal. It shall be included in the category.

さらに、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凸部長が前記環状領域内における当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側までの全域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。なお、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、凹凸パターンにおける単位凸部長が各環状領域内において僅かにばらついた状態になったとしても、それらの長さは等しい長さの範疇に含まれるものとする。   Further, in the information recording medium according to the present invention, the unit convex portion length is equal or substantially equal over the entire region from the inner peripheral side of the annular region to the outer peripheral side of the annular region in the annular region. The concavo-convex pattern that defines the servo pattern and forms the servo pattern is formed. In the present invention, even if a slight slight manufacturing error occurs and the unit convex portion length in the concave / convex pattern slightly varies in each annular region, those lengths are equal in length. It shall be included in the category.

また、本発明に係る記録再生装置は、上記のいずれかの情報記録媒体と、前記サーボパターンに対応付けられているサーボデータに基づいてサーボ制御を実行する制御部とを備えている。   A recording / reproducing apparatus according to the present invention includes any one of the above information recording media and a control unit that executes servo control based on servo data associated with the servo pattern.

また、本発明に係る記録再生装置は、上記のいずれかの情報記録媒体と、前記各環状領域毎に予め規定された読み出し周波数情報に基づいて前記情報記録媒体から前記サーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出してサーボ制御する制御部とを備えている。   The recording / reproducing apparatus according to the present invention is associated with the servo pattern from the information recording medium based on any one of the information recording media described above and read frequency information defined in advance for each annular region. And a control unit that reads out the servo data and performs servo control.

また、本発明に係る記録再生装置は、上記のいずれかの情報記録媒体と、前記データトラックパターンの中心からの距離に応じて予め規定された読み出し周波数情報に基づいて前記情報記録媒体から前記サーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出してサーボ制御する制御部とを備えている。   Further, the recording / reproducing apparatus according to the present invention provides the servo from the information recording medium based on any one of the above information recording media and read frequency information defined in advance according to the distance from the center of the data track pattern. And a control unit that reads out servo data associated with the pattern and performs servo control.

また、本発明に係るスタンパーは、情報記録媒体製造用のスタンパーであって、上記のいずれかの情報記録媒体における前記凹凸パターンの凹部に対応して形成された凸部と、前記情報記録媒体における前記凹凸パターンの凸部に対応して形成された凹部とを有する凹凸パターンが形成されている。   The stamper according to the present invention is a stamper for manufacturing an information recording medium, and includes a convex portion formed corresponding to the concave portion of the concave / convex pattern in any one of the above information recording media, and the information recording medium. A concave / convex pattern having a concave portion formed corresponding to the convex portion of the concave / convex pattern is formed.

本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、各環状領域内における単位凹部長の平均長をデータトラックパターンの中心から環状領域までの距離で除した値が内周側の環状領域よりも外周側の環状領域ほど小さくなるように各環状領域毎に単位凹部長を規定してサーボパターンを構成する凹凸パターンを構成したことにより、単位凹部長がその内周側から外周側に向けて徐々に長くなるように凹凸パターンが形成されている従来の磁気ディスク１０ｘと比較して、外周側の環状領域における単位凹部長を十分に短くすることができる。したがって、この情報記録媒体を製造するためのスタンパーにおいて情報記録媒体の各凹部に対応する各凸部の回転方向に沿った長さを十分に短くすることができるため、インプリント処理時に厚手の残渣を生じさせることなく、スタンパーの各凸部を十分に奥深くまで樹脂層に押し込むことができる。この結果、残渣の厚みが内周側の環状領域に対応する部位と外周側の環状領域に対応する部位とで大きく相違することなくほぼ同様の厚みとなるため、残渣の取り除き処理時に内周側の環状領域に対応する部位の各凹部が過剰に拡がる事態が回避される。したがって、樹脂層における各凹部の部位に最終的に形成される凹部（サーボパターン用の凹部）が過剰に拡がる事態が回避されてサーボパターン用の凹凸パターンを高精度で形成することができる。このため、サーボパターン形成領域の全域において磁気的信号の確実な読み取りが可能なサーボパターンを有する情報記録媒体、およびその情報記録媒体を備えた記録再生装置を提供することができる。   According to the information recording medium and the recording / reproducing apparatus of the present invention, the value obtained by dividing the average length of the unit recess length in each annular region by the distance from the center of the data track pattern to the annular region is greater than the annular region on the inner peripheral side. Since the concave and convex pattern constituting the servo pattern is defined by defining the unit concave portion length for each annular region so that the annular region on the outer peripheral side becomes smaller, the unit concave portion length is directed from the inner peripheral side toward the outer peripheral side. Compared with the conventional magnetic disk 10x in which the concavo-convex pattern is formed so as to gradually become longer, the unit recess length in the annular region on the outer peripheral side can be sufficiently shortened. Therefore, in the stamper for manufacturing this information recording medium, the length along the rotation direction of each convex portion corresponding to each concave portion of the information recording medium can be sufficiently shortened, so that a thick residue is generated during imprint processing. Without causing the above, each convex part of the stamper can be pushed into the resin layer sufficiently deeply. As a result, the thickness of the residue is not substantially different between the portion corresponding to the annular region on the inner peripheral side and the portion corresponding to the annular region on the outer peripheral side. The situation where each recessed part of the site | part corresponding to this cyclic | annular area | region expands excessively is avoided. Therefore, it is possible to avoid a situation in which the recesses (servo pattern recesses) finally formed at the respective recess portions in the resin layer are excessively expanded, and to form the servo pattern uneven pattern with high accuracy. Therefore, it is possible to provide an information recording medium having a servo pattern capable of reliably reading a magnetic signal in the entire servo pattern forming area, and a recording / reproducing apparatus including the information recording medium.

この場合、単位凹部長の平均長をデータトラックパターンの中心から環状領域までの距離で除した値が外周側の環状領域よりも内周側の環状領域ほど大きくなるように各環状領域毎に単位凹部長が規定されているため、内周側の環状領域においても単位凹部長が過度に短くなる事態が回避されている。したがって、インプリント法以外の各種製造方法によって情報記録媒体を製造する際にも凹部の形成処理（レジスト層に対する現像処理や、磁性層などに対するエッチング処理等）が困難となる事態を回避することができる結果、サーボパターン形成領域の全域において凹部を高精度で形成することができる。   In this case, the unit of each annular region is such that the value obtained by dividing the average length of the unit recess length by the distance from the center of the data track pattern to the annular region is larger in the annular region on the inner circumferential side than in the annular region on the outer circumferential side. Since the recess length is defined, a situation in which the unit recess length is excessively shortened in the annular region on the inner peripheral side is avoided. Therefore, it is possible to avoid a situation in which the formation process of the recesses (development process for the resist layer, etching process for the magnetic layer, etc.) becomes difficult even when the information recording medium is manufactured by various manufacturing methods other than the imprint method. As a result, the concave portion can be formed with high accuracy in the entire servo pattern formation region.

また、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凸部長に対する単位凹部長の比が各環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど小さくなるように単位凸部長および単位凹部長を規定したことにより、各環状領域内における外周側の単位凹部長を十分に短くすることができる。したがって、この情報記録媒体を製造するためのスタンパーにおいて各環状領域の外周側に対応する部位に過剰に長い凸部が存在しないため、インプリント処理時に、スタンパーにおける各凸部を一層スムーズに樹脂層に押し込むことができる。また、単位凸部長に対する単位凹部長の比が環状領域の外周側から内周側に向かうほど大きくなるように単位凸部長および単位凹部長が規定されているため、環状領域の内周側においても単位凹部長が過度に短くなる事態が回避されている。したがって、インプリント法以外の各種製造方法によって情報記録媒体を製造する際にも凹部の形成処理（レジスト層に対する現像処理や、磁性層などに対するエッチング処理等）が困難となる事態を回避することができる結果、サーボパターン形成領域の全域において凹部を高精度で形成することができる。   In addition, according to the information recording medium and the recording / reproducing apparatus of the present invention, the ratio of the unit concave portion length to the unit convex portion length decreases in each annular region from the inner peripheral side of the annular region toward the outer peripheral side of the annular region. By defining the unit convex part length and the unit concave part length, the unit concave part length on the outer peripheral side in each annular region can be sufficiently shortened. Therefore, in the stamper for manufacturing this information recording medium, there is no excessively long convex portion at the portion corresponding to the outer peripheral side of each annular region, so that each convex portion in the stamper can be more smoothly formed during imprint processing. Can be pushed into. In addition, since the unit convex portion length and the unit concave portion length are defined so that the ratio of the unit concave portion length to the unit convex portion length increases from the outer peripheral side to the inner peripheral side of the annular region, also on the inner peripheral side of the annular region A situation in which the unit recess length becomes excessively short is avoided. Therefore, it is possible to avoid a situation in which the formation process of the recesses (development process for the resist layer, etching process for the magnetic layer, etc.) becomes difficult even when the information recording medium is manufactured by various manufacturing methods other than the imprint method. As a result, the concave portion can be formed with high accuracy in the entire servo pattern formation region.

さらに、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凸部長が環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど長くなるように規定したことにより、例えば単位凸部長を環状領域内における環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域に亘って等しい長さに規定して単位凹部長を変化させることで単位凸部長に対する単位凹部長の比を環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど小さくする構成とは異なり、環状領域における外周側において単位凹部長が過度に短くなる事態を回避することができる。したがって、この情報記録媒体に対する記録再生時に各環状領域における外周側の凹部を確実に検出することができる結果、サーボデータの読み出しエラーの発生を確実に回避することができる。   Furthermore, according to the information recording medium and the recording / reproducing apparatus according to the present invention, by defining the unit convex portion length so as to increase from the inner peripheral side of the annular region toward the outer peripheral side of the annular region in the annular region, for example, The ratio of the unit concave portion length to the unit convex portion length by changing the unit concave portion length by defining the unit convex portion length to be equal over the entire area from the inner peripheral side of the annular region to the outer peripheral side of the annular region in the annular region. Unlike the configuration in which the length of the concave portion decreases from the inner peripheral side of the annular region toward the outer peripheral side of the annular region, it is possible to avoid a situation in which the unit recess length becomes excessively short on the outer peripheral side of the annular region. Therefore, it is possible to reliably detect the concave portion on the outer peripheral side in each annular region during recording / reproduction with respect to this information recording medium, and it is possible to reliably avoid occurrence of servo data read errors.

また、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凹部長が環状領域における環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域において等しい長さとなるように規定したことにより、例えばインプリント法によってこの情報記録媒体を製造する際にサーボパターン用の凹部に対応する部位に形成される残渣の厚みを各環状領域の内周側から外周側の全域において均一にすることができる。したがって、同一の環状領域内における各凹部の長さ（単位凹部長）にばらつきが生じる事態を回避して均一にすることができる。また、各環状領域内における内周側から外周側までの全域において単位凹部長を等しい長さ、または、ほぼ等しい長さに規定したことにより、インプリント法以外の各種製造方法によって情報記録媒体を製造する場合にも、凹部の形成処理（レジスト層に対する現像処理や、磁性層などに対するエッチング処理等）が容易となる結果、サーボパターン形成領域の全域において凹部を高精度で形成することができる。   Further, according to the information recording medium and the recording / reproducing apparatus of the present invention, the unit recess length is defined to be equal over the entire area from the inner peripheral side of the annular region to the outer peripheral side of the annular region in the annular region. For example, when the information recording medium is manufactured by the imprint method, the thickness of the residue formed in the portion corresponding to the concave portion for the servo pattern is made uniform from the inner peripheral side to the outer peripheral side of each annular region. it can. Therefore, it is possible to avoid the occurrence of variations in the length of each recess (unit recess length) in the same annular region and make it uniform. In addition, by defining the unit recess length to be equal length or almost equal length in the entire region from the inner peripheral side to the outer peripheral side in each annular region, the information recording medium can be obtained by various manufacturing methods other than the imprint method. Also in the manufacturing process, the recess formation process (development process for the resist layer, etching process for the magnetic layer, etc.) is facilitated. As a result, the recesses can be formed with high accuracy in the entire servo pattern formation region.

さらに、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凸部長および単位凹部長の合計長（すなわち、凸部および凹部の形成ピッチ）がデータトラックパターンの中心からの距離に比例して環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど長くなるように規定したことにより、情報記録媒体を角速度一定の条件で回転させつつサーボパターン領域からサーボデータを読み出す際に使用されるクロックの基準となる周波数情報（読み出し周波数情報）を一つの環状領域内において変化させることなく、その環状領域における環状領域の内周側から環状領域の外周側までのサーボパターン領域からサーボデータを確実に読み出す（検出する）ことができる。したがって、例えば、環状領域の内周側から外周側まで磁気ヘッドをシーク動作させる際における読み出し周波数情報の周波数切替え処理を不要とすることができる結果、シーク動作を短時間で実行することができる。このため、データアクセスを高速に行うことができる。また、読み出し周波数情報として環状領域の数に対応する種類の周波数情報を出力できればよいため、簡易な構成の制御部によってトラッキングサーボを行うことができる。   Further, according to the information recording medium and the recording / reproducing apparatus of the present invention, the total length of the unit convex part length and the unit concave part length (that is, the formation pitch of the convex part and the concave part) is proportional to the distance from the center of the data track pattern. When the servo data is read from the servo pattern area while rotating the information recording medium at a constant angular velocity, it is defined that the length increases from the inner circumference side of the annular area toward the outer circumference side of the annular area. From the servo pattern area from the inner circumference side of the annular area to the outer circumference side of the annular area without changing the frequency information (reading frequency information) used as a reference for the clock in the annular area. Servo data can be reliably read (detected). Therefore, for example, the frequency switching process of the read frequency information when performing the seek operation of the magnetic head from the inner circumference side to the outer circumference side of the annular region can be made unnecessary. As a result, the seek operation can be executed in a short time. For this reason, data access can be performed at high speed. Further, since it is only necessary to output frequency information of a type corresponding to the number of annular regions as read frequency information, tracking servo can be performed by a controller having a simple configuration.

また、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凹部長が環状領域内においてデータトラックパターンの中心からの距離に比例して環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど長くなり、かつ単位凸部長と単位凹部長の合計長が環状領域内においてデータトラックパターンの中心からの距離に比例して環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど長くなるように単位凸部長および単位凹部長を規定したことにより、外周側の環状領域において単位凹部長が長くなる事態を回避しつつ、１つの環状領域内において読み出し周波数情報の周波数を変化させることなく、サーボデータの読み取りができるため、例えば、環状領域の内周側から外周側まで磁気ヘッドをシーク動作させる際における読み出し周波数情報の周波数切替え処理を不要とすることができる。したがって、シーク動作を短時間で実行することができるため、データアクセスを高速に行うことができる。また、読み出し周波数情報として環状領域の数に対応する種類の周波数情報を出力できればよいため、簡易な構成の制御部によってトラッキングサーボを行うことができる。また、この情報記録媒体および記録再生装置によれば、磁気ヘッドの下方を単位凸部長の凸部および単位凹部長の凹部が通過させられる時間が１つの環状領域内における内周側と外周側とで等しくすることができる。したがって、磁気ヘッドが検出するサーボデータの単位凸部長および単位凹部長の信号形状を１つの環状領域内における内周側から外周側までの全域において等しくすることができる。このため、より一層確実にサーボデータを読み出す（検出する）ことができる。   Further, according to the information recording medium and the recording / reproducing apparatus of the present invention, the unit recess length is proportional to the distance from the center of the data track pattern in the annular region from the inner peripheral side of the annular region to the outer peripheral side of the annular region. The total length of the unit convex portion length and the unit concave portion length increases in proportion to the distance from the center of the data track pattern in the annular region, and becomes longer from the inner peripheral side of the annular region toward the outer peripheral side of the annular region. By defining the unit convex part length and the unit concave part length in this way, without changing the frequency of the read frequency information in one annular area, avoiding the situation where the unit concave part length becomes long in the annular area on the outer peripheral side, Since servo data can be read, for example, the read frequency when the magnetic head seeks from the inner circumference side to the outer circumference side of the annular area A frequency switching processing of the broadcast can be made unnecessary. Therefore, since the seek operation can be executed in a short time, data access can be performed at high speed. Further, since it is only necessary to output frequency information of a type corresponding to the number of annular regions as read frequency information, tracking servo can be performed by a controller having a simple configuration. Further, according to the information recording medium and the recording / reproducing apparatus, the time during which the convex part having the unit convex part length and the concave part having the unit concave part length are allowed to pass under the magnetic head is the inner peripheral side and the outer peripheral side in one annular region. Can be made equal. Therefore, the signal shape of the unit convex portion length and the unit concave portion length of the servo data detected by the magnetic head can be made equal in the entire region from the inner peripheral side to the outer peripheral side in one annular region. For this reason, servo data can be read (detected) more reliably.

さらに、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凹部長の環状領域内における平均長が内周側の環状領域から外周側の環状領域までの全環状領域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定したことにより、例えば、インプリント法によって情報記録媒体を製造する際に、サーボパターン用の凹部に対応する部位に生じる残渣の厚みを内周側の環状領域から外周側の環状領域までほぼ均一にすることができる。したがって、各環状領域毎の凹部の拡がり度合いを大きくばらつかせることなく、すべての環状領域（すなわち、情報記録媒体の内周側から外周側までの全域）に亘って所望の長さの凹部を高精度で形成することができる。また、インプリント法以外の各種製造方法によって情報記録媒体を製造する場合にも、凹部の形成処理（レジスト層に対する現像処理や、磁性層などに対するエッチング処理等）が容易となる結果、サーボパターン形成領域の全域において凹部を高精度で形成することができる。   Furthermore, according to the information recording medium and the recording / reproducing apparatus of the present invention, the average length in the annular region of the unit recess length is the same length in the entire annular region from the annular region on the inner peripheral side to the annular region on the outer peripheral side, Alternatively, by defining the length to be substantially equal, for example, when manufacturing an information recording medium by the imprint method, the thickness of the residue generated in the portion corresponding to the concave portion for the servo pattern is set to the annular region on the inner peripheral side. To the annular region on the outer peripheral side. Therefore, a recess having a desired length is formed over all the annular regions (that is, the entire region from the inner periphery side to the outer periphery side of the information recording medium) without greatly varying the degree of expansion of the recesses for each annular region. It can be formed with high accuracy. In addition, when manufacturing information recording media by various manufacturing methods other than the imprint method, the formation of recesses (development processing for the resist layer, etching processing for the magnetic layer, etc.) is facilitated, resulting in servo pattern formation. The concave portion can be formed with high accuracy over the entire region.

また、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凹部長をデータトラックパターンの中心からの距離で除した値が環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど小さくなるように単位凹部長を規定したことにより、各環状領域内における外周側の単位凹部長を十分に短くすることができる。したがって、この情報記録媒体を製造するためのスタンパーにおいて各環状領域の外周側に対応する部位に過剰に長い凸部が存在しないため、インプリント処理時に、スタンパーの各凸部を一層スムーズに樹脂層に押し込むことができる。また、単位凹部長をデータトラックパターンの中心からの距離で除した値が環状領域の外周側から環状領域の内周側に向かうほど大きくなるように単位凹部長が規定されているため、各環状領域の内周側においても単位凹部長が過度に短くなる事態が回避されている。したがって、インプリント法以外の各種製造方法によって情報記録媒体を製造する際にも凹部の形成処理（レジスト層に対する現像処理や、磁性層などに対するエッチング処理等）が困難となる事態を回避することができる。   According to the information recording medium and the recording / reproducing apparatus of the present invention, the value obtained by dividing the unit recess length by the distance from the center of the data track pattern is within the annular area from the inner circumference side of the annular area to the outer circumference side of the annular area. By defining the unit recess length so as to decrease toward the center, the unit recess length on the outer peripheral side in each annular region can be sufficiently shortened. Therefore, in the stamper for manufacturing this information recording medium, there is no excessively long convex portion at the portion corresponding to the outer peripheral side of each annular region, so that the convex portion of the stamper is more smoothly formed during imprint processing. Can be pushed into. The unit recess length is defined so that the value obtained by dividing the unit recess length by the distance from the center of the data track pattern increases from the outer peripheral side of the annular region toward the inner peripheral side of the annular region. A situation in which the unit recess length is excessively shortened on the inner peripheral side of the region is also avoided. Therefore, it is possible to avoid a situation in which the formation process of the recesses (development process for the resist layer, etching process for the magnetic layer, etc.) becomes difficult even when the information recording medium is manufactured by various manufacturing methods other than the imprint method. it can.

さらに、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凸部長をデータトラックパターンの中心からの距離で除した値が環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど小さくなるように単位凸部長を規定してサーボパターンを構成する凹凸パターンを形成したことにより、基材の回転方向に沿った単位凸部長がデータトラックパターンの中心からの距離に比例して長くなるように（単位凸部長を中心からの距離で除した値が内周側から外周側までの全域に亘って等しくなるように）凹凸パターンが形成されている従来の情報記録媒体（磁気ディスク１０ｘ）と比較して、環状領域内における外周側の単位凸部長を十分に短くすることができる。したがって、この情報記録媒体を製造するためのスタンパーにおいて環状領域内に対応する領域の外周側に形成された各凹部の回転方向に沿った長さを十分に短くすることができるため、インプリント処理時に、スタンパーにおける凸部の押し込みによってその凸部に隣接する凹部内に移動させられた樹脂材料によって十分な高さの凸部（十分な厚みのマスク）を形成することができる。この結果、十分な厚みのマスク（十分な高さの凸部）を用いてサーボパターン用の凹部を高精度で形成することができる。   Furthermore, according to the information recording medium and the recording / reproducing apparatus of the present invention, the value obtained by dividing the unit convex portion length by the distance from the center of the data track pattern is within the annular region from the inner peripheral side of the annular region to the outer peripheral side of the annular region. By defining the unit convex part length so as to decrease toward the, and forming the concave and convex pattern constituting the servo pattern, the unit convex part length along the rotation direction of the substrate is proportional to the distance from the center of the data track pattern. Conventional information recording medium on which a concavo-convex pattern is formed (so that the value obtained by dividing the unit convex portion length by the distance from the center is equal over the entire area from the inner peripheral side to the outer peripheral side) Compared with the disk 10x), the unit convex part length on the outer peripheral side in the annular region can be made sufficiently short. Therefore, since the length along the rotation direction of each recess formed on the outer peripheral side of the region corresponding to the annular region in the stamper for manufacturing the information recording medium can be sufficiently shortened, the imprint process Sometimes, a sufficiently high convex portion (sufficient thickness mask) can be formed by the resin material moved into the concave portion adjacent to the convex portion by pressing the convex portion in the stamper. As a result, the concave portion for the servo pattern can be formed with high accuracy using a sufficiently thick mask (a sufficiently high convex portion).

また、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凹部長が環状領域における環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域において等しい長さとなるように規定してサーボパターンを構成する凹凸パターンを形成したことにより、例えばインプリント法によってこの情報記録媒体を製造する際にサーボパターン用の凹部に対応する部位に形成される残渣の厚みを各環状領域の内周側から外周側の全域において均一にすることができる。したがって、同一の環状領域内における各凹部の長さ（単位凹部長）にばらつきが生じる事態を回避して均一にすることができる。また、各環状領域内における内周側から外周側までの全域において単位凹部長を等しい長さ、または、ほぼ等しい長さに規定したことにより、インプリント法以外の各種製造方法によって情報記録媒体を製造する場合にも、凹部の形成処理（レジスト層に対する現像処理や、磁性層などに対するエッチング処理等）が容易となる結果、サーボパターン形成領域の全域において凹部を高精度で形成することができる。   Further, according to the information recording medium and the recording / reproducing apparatus of the present invention, the unit recess length is specified to be equal in the entire region from the inner peripheral side of the annular region to the outer peripheral side of the annular region in the annular region. By forming the concavo-convex pattern constituting the pattern, for example, when manufacturing this information recording medium by the imprint method, the thickness of the residue formed in the portion corresponding to the concave portion for the servo pattern is set to the inner peripheral side of each annular region. To the entire outer peripheral side. Therefore, it is possible to avoid the occurrence of variations in the length of each recess (unit recess length) in the same annular region and make it uniform. In addition, by defining the unit recess length to be equal length or almost equal length in the entire region from the inner peripheral side to the outer peripheral side in each annular region, the information recording medium can be obtained by various manufacturing methods other than the imprint method. Also in the manufacturing process, the recess formation process (development process for the resist layer, etching process for the magnetic layer, etc.) is facilitated. As a result, the recesses can be formed with high accuracy in the entire servo pattern formation region.

さらに、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凸部長が環状領域内における環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域において等しい長さとなるように規定してサーボパターンを構成する凹凸パターンを形成したことにより、この情報記録媒体を製造するためのスタンパーにおいて情報記録媒体の各凸部に対応する各凹部の回転方向に沿った長さを各環状領域における内周側に対応する部位から外周側に対応する部位まで均一にすることができるため、インプリント処理時に、スタンパーにおける各凸部の押し込みによって各凹部内に移動させられた樹脂材料によって形成される凸部（マスクとして機能する樹脂材料）の高さを環状領域内における内周側から外周側まで均一にすることができる。この結果、均一な厚みのマスク（均一な高さの凸部）を用いてサーボパターン用の凹部を高精度で形成することができる。   Furthermore, according to the information recording medium and the recording / reproducing apparatus of the present invention, the unit convex portion length is defined to be equal over the entire area from the inner peripheral side of the annular region to the outer peripheral side of the annular region in the annular region. By forming the concavo-convex pattern constituting the servo pattern, the length along the rotation direction of each concave portion corresponding to each convex portion of the information recording medium in the stamper for manufacturing this information recording medium is set in each annular region. Since it can be made uniform from the part corresponding to the peripheral side to the part corresponding to the outer peripheral side, the convex formed by the resin material moved into each concave part by pressing the convex part in the stamper during the imprint process The height of the portion (resin material functioning as a mask) can be made uniform from the inner peripheral side to the outer peripheral side in the annular region. As a result, the concave portion for the servo pattern can be formed with high accuracy using a mask having a uniform thickness (a convex portion having a uniform height).

また、本発明に係る記録再生装置によれば、サーボパターンに対応付けられているサーボデータに基づいてサーボ制御を実行する制御部を備え、各環状領域毎に予め規定された読み出し周波数情報に基づいて制御部が情報記録媒体からサーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出すように構成したことにより、例えば、情報記録媒体の内周側の環状領域内から外周側の環状領域内まで磁気ヘッドをシーク動作させる際における検出用クロックの周波数切替え処理の回数を少なくすることができる。したがって、シーク動作を短時間で実行することができるため、データアクセスを高速に行うことができる。   In addition, according to the recording / reproducing apparatus of the present invention, the recording / reproducing apparatus includes a control unit that performs servo control based on the servo data associated with the servo pattern, and is based on read frequency information defined in advance for each annular region. By configuring the control unit to read servo data associated with the servo pattern from the information recording medium, for example, the magnetic head from the inner annular region of the information recording medium to the outer annular region The number of frequency switching processes of the detection clock when performing the seek operation can be reduced. Therefore, since the seek operation can be executed in a short time, data access can be performed at high speed.

また、本発明に係る記録再生装置によれば、サーボパターンに対応付けられているサーボデータに基づいてサーボ制御を実行する制御部を備え、データトラックパターンの中心からの距離に応じて予め規定された読み出し周波数情報に基づいて制御部が情報記録媒体からサーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出すように構成したことにより、情報記録媒体を角速度一定の条件で回転させつつサーボパターン（サーボデータ）を確実に読み出すことができる。   The recording / reproducing apparatus according to the present invention further includes a control unit that performs servo control based on the servo data associated with the servo pattern, and is specified in advance according to the distance from the center of the data track pattern. The control unit is configured to read the servo data associated with the servo pattern from the information recording medium based on the read frequency information, so that the servo pattern (servo data) is rotated while the information recording medium is rotated at a constant angular velocity. ) Can be read reliably.

また、本発明に係るスタンパーによれば、上記の情報記録媒体における凹凸パターンの凹部に対応して形成した凸部と、情報記録媒体における凹凸パターンの凸部に対応して形成した凹部とを有する凹凸パターンを備えたことにより、スタンパーの外周側に回転方向に沿った長さが過剰に長い凸部が存在しないため、凹凸パターンを形成するためのインプリント処理時（情報記録媒体製造用の中間体における樹脂層にスタンパーの凹凸パターンを転写する処理時）に、樹脂層に対してスタンパーの凹凸パターン（各凸部）をスムーズに押し込むことができる。したがって、各凸部の押し込み量の不足に起因する不都合（厚手の残渣が生じることに起因して各凹部が過剰に拡がる事態）が生じる事態を回避することができる。これにより、サーボデータの確実な読み取りが可能な情報記録媒体を製造することができる。また、回転方向に沿った長さが過剰に長い凹部がスタンパーに存在しないため、インプリント処理時にこのスタンパーの凸部の押し込みによってスタンパーの凹部内に移動させられる樹脂材料によって、十分に高い凸部を樹脂層に形成する（十分に厚い樹脂マスクを形成する）ことができる。   Further, the stamper according to the present invention has a convex portion formed corresponding to the concave portion of the concave / convex pattern in the information recording medium and a concave portion formed corresponding to the convex portion of the concave / convex pattern in the information recording medium. By providing the concavo-convex pattern, there is no excessively long convex part along the rotation direction on the outer peripheral side of the stamper. Therefore, during imprint processing for forming the concavo-convex pattern (intermediate for manufacturing information recording media) During the process of transferring the concave / convex pattern of the stamper to the resin layer in the body, the concave / convex pattern (each convex portion) of the stamper can be smoothly pushed into the resin layer. Therefore, it is possible to avoid a situation in which inconvenience (a situation in which each concave portion expands excessively due to the occurrence of a thick residue) due to an insufficient pushing amount of each convex portion occurs. Thereby, an information recording medium capable of reliably reading servo data can be manufactured. Also, since there is no recess in the stamper that is excessively long along the rotation direction, the protrusion is sufficiently high by the resin material that is moved into the recess of the stamper by pressing the protrusion of this stamper during the imprint process. Can be formed on the resin layer (a sufficiently thick resin mask can be formed).

以下、本発明に係る情報記録媒体、記録再生装置およびスタンパーの最良の形態について、添付図面を参照して説明する。   Hereinafter, the best mode of an information recording medium, a recording / reproducing apparatus, and a stamper according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

図１に示すハードディスクドライブ１は、本発明に係る記録再生装置の一例としての磁気記録再生装置であって、スピンドルモータ２、磁気ヘッド３、信号変換部４、検出用クロック出力部５、サーボデータ検出部６、ドライバ７、制御部８、ＲＯＭ９および磁気ディスク１０ａを備えて構成されている。この場合、磁気ディスク１０ａは、一例として、垂直記録方式で記録データを記録可能なディスクリートトラック型の磁気ディスク（パターンド媒体）であって、本発明における情報記録媒体に相当する。具体的には、図２に示すように、この磁気ディスク１０ａは、軟磁性層１２、中間層１３および磁性層１４がガラス基材１１の上にこの順で形成されている。この場合、中間層１３の上に形成されている磁性層１４は、磁性材料で形成された凸部２１，２１・・と凹部２２，２２・・とが交互に形成されることによって所定の凹凸パターン２０を構成する。また、凹部２２，２２・・には、ＳｉＯ２等の非磁性材料１５が埋め込まれている。さらに、凹部２２に埋め込まれた非磁性材料１５、および凸部２１の上には、一例としてダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）の薄膜がＣＶＤ法によって成膜されて厚みが２ｎｍ程度の保護層（ＤＬＣ膜）１６が形成されている。また、この磁気ディスク１０ａでは、保護層１６の表面に潤滑剤（一例として、フッ素系の潤滑剤）が塗布されている。 A hard disk drive 1 shown in FIG. 1 is a magnetic recording / reproducing apparatus as an example of a recording / reproducing apparatus according to the present invention, and includes a spindle motor 2, a magnetic head 3, a signal conversion unit 4, a detection clock output unit 5, servo data. It comprises a detection unit 6, a driver 7, a control unit 8, a ROM 9, and a magnetic disk 10a. In this case, as an example, the magnetic disk 10a is a discrete track type magnetic disk (patterned medium) capable of recording recording data by a perpendicular recording method, and corresponds to the information recording medium in the present invention. Specifically, as shown in FIG. 2, in the magnetic disk 10a, a soft magnetic layer 12, an intermediate layer 13, and a magnetic layer 14 are formed on a glass substrate 11 in this order. In this case, the magnetic layer 14 formed on the intermediate layer 13 has predetermined irregularities by alternately forming the convex portions 21, 21... And the concave portions 22, 22. A pattern 20 is formed. In addition, a nonmagnetic material 15 such as SiO 2 is embedded in the recesses 22, 22. Further, a diamond-like carbon (DLC) thin film is formed on the nonmagnetic material 15 embedded in the concave portion 22 and the convex portion 21 by a CVD method as an example, and a protective layer (DLC film) having a thickness of about 2 nm. ) 16 is formed. In the magnetic disk 10a, a lubricant (for example, a fluorine-based lubricant) is applied to the surface of the protective layer 16.

ガラス基材１１は、本発明における基材に相当し、直径２．５インチのガラス板を表面研磨して厚みが０．６ｍｍ程度となるように形成されている。なお、本発明における基材は、ガラス材料に限定されるものではなく、アルミニウムやセラミックなどの各種非磁性材料で形成することができる。軟磁性層１２は、ＣｏＺｒＮｂ合金などの軟磁性材料をスパッタリングすることによって厚みが１００ｎｍ〜２００ｎｍ程度となるように形成されている。中間層１３は、磁性層１４を形成するための下地層として機能する層であって、ＣｒやＣｏＣｒ非磁性合金などの中間層形成用材料をスパッタリングすることによって厚みが４０ｎｍ程度となるように形成されている。磁性層１４は、磁性材料で形成された凸部２１，２１・・で構成された層であって、例えばＣｏＣｒＰｔ合金をスパッタリングする処理と、レジストパターン等をマスクとして用いてエッチング処理して凹部２２，２２・・を形成する処理とがこの順で実行されることによって、凸部２１，２１・・（凹凸パターン２０）が形成されて構成されている。   The glass substrate 11 corresponds to the substrate in the present invention, and is formed such that a glass plate having a diameter of 2.5 inches is subjected to surface polishing to a thickness of about 0.6 mm. In addition, the base material in this invention is not limited to glass material, It can form with various nonmagnetic materials, such as aluminum and a ceramic. The soft magnetic layer 12 is formed to have a thickness of about 100 nm to 200 nm by sputtering a soft magnetic material such as a CoZrNb alloy. The intermediate layer 13 is a layer that functions as an underlayer for forming the magnetic layer 14, and is formed to have a thickness of about 40 nm by sputtering an intermediate layer forming material such as Cr or a CoCr nonmagnetic alloy. Has been. The magnetic layer 14 is a layer composed of convex portions 21, 21,... Made of a magnetic material. For example, a process of sputtering a CoCrPt alloy and an etching process using a resist pattern or the like as a mask to form the concave portion 22. , 22... Are executed in this order to form the convex portions 21, 21... (Concave pattern 20).

この場合、図３に示すように、この磁気ディスク１０ａでは、凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ）の中心Ｏを中心とする同心円状の（すなわち、凹凸パターン２０ｔと同心の）４つの環状領域Ａ１ａ〜Ａ４ａ（本発明における複数の環状領域の一例：以下、区別しないときには、環状領域Ａａともいう）に区分けされて凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ、凹凸パターン２０ｓａ）が形成されている。なお、本発明における「複数の環状領域」の数は上記の４つに限定されず、磁気ディスク１０ａの内周側から外周側までを２つ以上の任意の数に区分けすることができる。また、この磁気ディスク１０ａでは、トラックパターン領域Ａｔ，Ａｔの間にサーボパターン領域Ａｓａが設けられてトラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓａが磁気ディスク１０ａの回転方向（矢印Ｒの向き）において交互に並ぶように形成されている。   In this case, as shown in FIG. 3, in this magnetic disk 10a, four annular regions A1a to A1a that are concentric with the center O of the uneven pattern 20 (uneven pattern 20t) (that is, concentric with the uneven pattern 20t). The concavo-convex pattern 20 (the concavo-convex pattern 20t, the concavo-convex pattern 20sa) is formed by being divided into A4a (an example of a plurality of annular regions in the present invention: hereinafter, also referred to as an annular region Aa when not distinguished). Note that the number of “a plurality of annular regions” in the present invention is not limited to the above four, and the number from the inner circumference side to the outer circumference side of the magnetic disk 10a can be divided into two or more arbitrary numbers. In the magnetic disk 10a, the servo pattern area Asa is provided between the track pattern areas At and At, and the track pattern area At and the servo pattern area Asa are alternately arranged in the rotation direction of the magnetic disk 10a (direction of the arrow R). It is formed to line up.

また、図５，６に示すように、トラックパターン領域Ａｔ（各環状領域Ａａにおける内周側の内周側トラックパターン領域Ａｔｉ、および各環状領域Ａａにおける外周側の外周側トラックパターン領域Ａｔｏ）には、データトラックパターンとしての凹凸パターン２０ｔが形成されている。この場合、凹凸パターン２０ｔは、磁気ディスク１０ａの回転中心を中心Ｏ（図３参照）とする同心円状の多数の凸部２１ｔ，２１ｔ・・（データ記録用トラック）と、各凸部２１ｔ，２１ｔ・・の間の凹部２２ｔ，２２ｔ・・とで構成されている。なお、磁気ディスク１０ａの回転中心と凹凸パターン２０ｔの中心Ｏとが一致しているのが好ましいが、実際には、製造誤差に起因する３０〜５０μｍ程度の極く小さなずれが生じることがある。しかし、この程度のずれ量であれば磁気ヘッド３に対するトラッキングサーボ制御が十分に可能であるため、回転中心と中心Ｏとは、実質的には同様であるといえる。また、凹凸パターン２０ｔの凹部２２ｔ，２２ｔ・・には、非磁性材料１５が埋め込まれてトラックパターン領域Ａｔの表面が平坦化されている。   In addition, as shown in FIGS. 5 and 6, in the track pattern area At (the inner circumference side track pattern area Ati in each annular area Aa and the outer circumference side track pattern area Ato in each annular area Aa). Is formed with an uneven pattern 20t as a data track pattern. In this case, the concavo-convex pattern 20t includes a plurality of concentric convex portions 21t, 21t... (Data recording tracks) centering on the rotation center of the magnetic disk 10a (see FIG. 3), and the convex portions 21t, 21t. .. Between the recesses 22t, 22t,. Although it is preferable that the center of rotation of the magnetic disk 10a and the center O of the concavo-convex pattern 20t coincide with each other, in reality, a very small deviation of about 30 to 50 μm may occur due to a manufacturing error. However, since the tracking servo control with respect to the magnetic head 3 is sufficiently possible with this amount of deviation, it can be said that the center of rotation and the center O are substantially the same. Further, the nonmagnetic material 15 is embedded in the concave portions 22t, 22t,... Of the concave / convex pattern 20t so that the surface of the track pattern region At is flattened.

また、図４〜６に示すように、サーボパターン領域Ａｓａ（各環状領域Ａａにおける内周側の内周側サーボパターン領域Ａｓａｉ、および各環状領域Ａａにおける外周側の外周側サーボパターン領域Ａｓａｏ）には、サーボパターンとしての凹凸パターン２０ｓａが形成されている。この場合、図５，６に示すように、凹凸パターン２０ｓａは、プリアンブルパターン、アドレスパターンおよびバーストパターンなどの各種サーボパターンを構成する凸部２１ｓ，２１ｓ・・（凸部２１ｓｉおよび凸部２１ｓｏ）並びに凹部２２ｓ，２２ｓ・・（凹部２２ｓｉおよび凹部２２ｓｏ）で構成されている。また、この磁気ディスク１０ａでは、回転方向（各図における矢印Ｒの向き）に沿った凸部２１ｓの長さと凹部２２ｓの長さとの合計長（すなわち、凸部２１ｓおよび凹部２２ｓの形成ピッチ）が各環状領域Ａａ内において凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例してその内周側からその外周側に向けて徐々に長くなるように規定されている。したがって、図４に示すように、各環状領域Ａａは、回転方向に沿った長さが環状領域Ａａにおける内周側の長さＬ４ｉよりも、外周側の長さＬ４ｏの方が僅かに長くなっている。   Also, as shown in FIGS. 4 to 6, the servo pattern area Asa (the inner peripheral servo pattern area Asai on the inner peripheral side in each annular area Aa and the outer peripheral servo pattern area Asao on the outer peripheral side in each annular area Aa). Is formed with an uneven pattern 20sa as a servo pattern. In this case, as shown in FIGS. 5 and 6, the concavo-convex pattern 20sa is composed of convex portions 21s, 21s... Consists of recesses 22s, 22s (recesses 22si and recesses 22so). Further, in this magnetic disk 10a, the total length of the length of the convex portion 21s and the length of the concave portion 22s along the rotation direction (direction of arrow R in each figure) (that is, the formation pitch of the convex portion 21s and the concave portion 22s). Within each annular region Aa, the length is defined so as to gradually increase from the inner peripheral side toward the outer peripheral side in proportion to the distance from the center O of the concave-convex pattern 20t. Therefore, as shown in FIG. 4, each annular region Aa has a length along the rotation direction that is slightly longer at the outer peripheral side length L4o than at the inner peripheral side length L4i in the annular region Aa. ing.

また、この磁気ディスク１０ａでは、回転方向に沿った凹部２２ｓの長さが環状領域Ａａにおける内周側から外周側までの全域において等しい長さとなるように（本発明における「単位凹部長が等しい長さ、または、ほぼ等しい長さ」となるように規定した一例）各凹部２２ｓ，２２ｓ・・が形成されると共に、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さが各環状領域Ａａの内周側から外周側に向けて徐々に長くなるように各凸部２１ｓ，２１ｓ・・が形成されている。したがって、この磁気ディスク１０ａでは、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さに対する凹部２２ｓの長さの比が各環状領域Ａａにおいてその内周側からその外周側に向けて徐々に小さくなるように規定されている。さらに、このこの磁気ディスク１０ａでは、凹部２２ｓの長さがすべての環状領域Ａａに亘って等しい長さとなるように規定されている。この結果、この磁気ディスク１０ａでは、各環状領域Ａａ内の凹部２２ｓの平均長がすべての環状領域Ａａにおいて等しくなると共に、各環状領域Ａａ内の凹部２２ｓの平均長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏから環状領域Ａａまでの距離（一例として、環状領域Ａａにおける最内周の部位とする）で除した値が内周側の環状領域Ａ１ａから外周側の環状領域Ａ４ａに向かうほど小さくなっている。また、図４に示すように、この磁気ディスク１０ａでは、各環状領域Ａａの内周側の長さＬ４ｉ，Ｌ４ｉ・・が互いに等しくなるように規定され、各環状領域Ａａの外周側の長さＬ４ｏ，Ｌ４ｏ・・が互いに等しくなるように規定されている。   Further, in this magnetic disk 10a, the length of the concave portion 22s along the rotation direction is the same length in the entire region from the inner peripheral side to the outer peripheral side in the annular region Aa (the “unit concave portion length in the present invention is equal length”). An example that is defined to be “or substantially equal length”) The concave portions 22s, 22s,... Are formed, and the length of the convex portion 21s along the rotation direction is the inner peripheral side of each annular region Aa. Each convex part 21s, 21s... Is formed so as to gradually become longer toward the outer peripheral side. Therefore, in this magnetic disk 10a, the ratio of the length of the concave portion 22s to the length of the convex portion 21s along the rotation direction is gradually decreased from the inner peripheral side toward the outer peripheral side in each annular region Aa. It is prescribed. Further, in this magnetic disk 10a, the length of the recess 22s is defined to be equal over the entire annular area Aa. As a result, in this magnetic disk 10a, the average length of the recess 22s in each annular area Aa is equal in all the annular areas Aa, and the average length of the recess 22s in each annular area Aa is determined from the center O of the uneven pattern 20t. The value divided by the distance to the annular region Aa (as an example, the innermost peripheral portion in the annular region Aa) decreases from the inner circumferential side annular region A1a toward the outer circumferential side annular region A4a. As shown in FIG. 4, in this magnetic disk 10a, the lengths L4i, L4i,... Of each annular area Aa are defined to be equal to each other, and the length of each annular area Aa on the outer circumference side. L4o, L4o,... Are defined to be equal to each other.

具体的には、図５に示すように、各環状領域Ａａにおける内周側領域Ａｉａ（一例として、環状領域Ａ１ａ内における中心Ｏからの距離が１１ｍｍの部位におけるプリアンブルパターンの形成領域）では、凸部２１ｓｉの長さＬ１ｉ（一例として、２２０ｎｍ）と凹部２２ｓｉの長さＬ２ｉ（一例として、２２０ｎｍ）との合計長である長さＬ３ｉが４４０ｎｍとなるように規定されている。これに対して、図６に示すように、各環状領域Ａａにおける外周側領域Ａｏａ（一例として、環状領域Ａ１ａ内における中心Ｏからの距離が１６ｍｍの部位におけるプリアンブルパターンの形成領域）では、凸部２１ｓｏの長さＬ１ｏ（一例として、４２０ｎｍ）と凹部２２ｓｏの長さＬ２ｏ（一例として、凹部２２ｓｉの長さＬ２ｉと等しい２２０ｎｍ）との合計長である長さＬ３ｏが６４０ｎｍとなっている。この結果、図５に示すように、この磁気ディスク１０ａでは、各環状領域Ａａにおいて、その内周側領域Ａｉａにおける凹凸パターン２０ｓａの凸部２１ｓｉの長さＬ１ｉに対する凹部２２ｓｉの長さＬ２ｉの比が１であるのに対して、図６に示すように、外周側領域Ａｏａにおける凸部２１ｓｏの長さＬ１ｏに対する凹部２２ｓｏの長さＬ２ｏの比が１１／２１となっている。   Specifically, as shown in FIG. 5, in the inner circumferential side area Aia in each annular area Aa (as an example, the formation area of the preamble pattern in a part having a distance from the center O in the annular area A1a) is 11 mm. The length L3i, which is the total length of the length L1i (for example, 220 nm) of the portion 21si and the length L2i (for example, 220 nm) of the recess 22si, is defined to be 440 nm. On the other hand, as shown in FIG. 6, in the outer peripheral side area Aoa in each annular area Aa (as an example, the formation area of the preamble pattern in the part having a distance of 16 mm from the center O in the annular area A1a) The length L3o, which is the total length of the length L1o of 21so (as an example, 420 nm) and the length L2o of the recess 22so (as an example, 220 nm equal to the length L2i of the recess 22si), is 640 nm. As a result, as shown in FIG. 5, in this magnetic disk 10a, in each annular area Aa, the ratio of the length L2i of the recess 22si to the length L1i of the protrusion 21si of the uneven pattern 20sa in the inner peripheral area Aia is set. 6, the ratio of the length L2o of the concave portion 22so to the length L1o of the convex portion 21so in the outer peripheral side area Aoa is 11/21.

この場合、各環状領域Ａａ毎の凸部２１ｓの長さ（単位凸部長）に対する凹部２２ｓの長さ（単位凹部長）の比については、上記のプリアンブルパターンのみならず、アドレスパターンやバーストパターンを構成する凹凸パターン２０ｓａについても同様に規定されている。また、バーストパターンについては、磁気ディスク１０ａの回転方向に沿って複数の矩形状の凹部２２ｓ，２２ｓ・・が凸部２１ｓを挟んで並んでいる領域において、単位凸部長に対する単位凹部長の比が上記の条件を満たすように規定されている。なお、図５，６では、本発明についての理解を容易とするために、凸部２１ｓｏの長さＬ１ｏに対する凹部２２ｓｏの長さＬ２ｏの比を誇張して小さくした状態（凸部の長さを誇張して長くした状態）を図示している。また、両図では、サーボパターンにおけるプリアンブルパターンおよびバーストパターンを模式的に図示しており、理解を容易にすべく、回転方向に沿った各凸部２１ｓ，２１ｓ・・や各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さをサーボパターンの単位凸部長および単位凹部長のみで図示している。したがって、実際の磁気ディスク１０ａでは、凸部２１ｓ，２１ｓ・・や凹部２２ｓ，２２ｓ・・の数、形成位置および長さが各図に示す状態とは異なり、トラッキングサーボ制御に必要なトラックアドレスおよびセクターアドレス等の情報（パターン）を含む各種の制御用データに対応して、凸部２１ｓや凹部２２ｓのそれぞれの数、形成位置および長さが規定されて凹凸パターン２０ｓａが形成されている。この場合、凸部２１ｓや凹部２２ｓの実際の長さは、凸部２１ｓや凹部２２ｓの長さ（単位凸部長および単位凹部長）の整数倍の長さとなる。   In this case, with respect to the ratio of the length of the concave portion 22s (unit concave portion length) to the length of the convex portion 21s (unit convex portion length) for each annular region Aa, not only the preamble pattern but also the address pattern and burst pattern are used. The concavo-convex pattern 20sa constituting the same is defined in the same manner. For the burst pattern, the ratio of the unit concave portion length to the unit convex portion length in a region where a plurality of rectangular concave portions 22s, 22s... Are arranged with the convex portions 21s sandwiched along the rotation direction of the magnetic disk 10a. It is defined to satisfy the above conditions. 5 and 6, in order to facilitate understanding of the present invention, the ratio of the length L2o of the concave portion 22so to the length L1o of the convex portion 21so is exaggerated and reduced (the length of the convex portion is reduced). The state is exaggerated and lengthened). In both figures, a preamble pattern and a burst pattern in the servo pattern are schematically shown. For easy understanding, the convex portions 21s, 21s,... And the concave portions 22s, 22s, along the rotation direction are shown. The length of * is illustrated only by the unit convex part length and the unit concave part length of the servo pattern. Therefore, in the actual magnetic disk 10a, the number of the convex portions 21s, 21s... And the concave portions 22s, 22s. Corresponding to various control data including information (pattern) such as sector address, the number, the forming position and the length of the convex portions 21s and the concave portions 22s are defined, and the concave / convex pattern 20sa is formed. In this case, the actual length of the convex portion 21s and the concave portion 22s is an integral multiple of the length of the convex portion 21s and the concave portion 22s (unit convex portion length and unit concave portion length).

一方、スピンドルモータ２は、制御部８の制御下で磁気ディスク１０ａを一例として４２００ｒｐｍの回転数で定速回転させる。磁気ヘッド３は、図１に示すように、スイングアーム３ａを介してアクチュエータ３ｂに取り付けられて磁気ディスク１０ａに対する記録データの記録再生時において磁気ディスク１０ａ上を移動させられる。また、磁気ヘッド３は、磁気ディスク１０ａの各環状領域Ａａにおけるサーボパターン領域Ａｓａからのサーボデータの読み出しと、各環状領域Ａａにおけるトラックパターン領域Ａｔ（凸部２１ｔ，２１ｔ・・）に対する記録データの磁気的な書き込みと、各環状領域Ａａにおけるトラックパターン領域Ａｔに磁気的に書き込まれている記録データの読み出しとを実行する。なお、磁気ヘッド３は、実際には磁気ディスク１０ａに対して磁気ヘッド３を浮上させるためのスライダの底面（エアベアリング面）に形成されているが、このスライダについての説明および図示を省略する。アクチュエータ３ｂは、制御部８の制御下でドライバ７から供給される駆動電流によってスイングアーム３ａをスイングさせることにより、磁気ヘッド３を磁気ディスク１０ａ上の任意の記録再生位置に移動させる。   On the other hand, the spindle motor 2 rotates the magnetic disk 10a as an example at a constant speed of 4200 rpm under the control of the control unit 8. As shown in FIG. 1, the magnetic head 3 is attached to an actuator 3b via a swing arm 3a and is moved on the magnetic disk 10a during recording / reproduction of recording data on the magnetic disk 10a. Further, the magnetic head 3 reads servo data from the servo pattern area Asa in each annular area Aa of the magnetic disk 10a, and records data to the track pattern area At (projections 21t, 21t,...) In each annular area Aa. Magnetic writing and reading of recording data magnetically written in the track pattern area At in each annular area Aa are executed. The magnetic head 3 is actually formed on the bottom surface (air bearing surface) of the slider for floating the magnetic head 3 with respect to the magnetic disk 10a, but the description and illustration of this slider are omitted. The actuator 3b moves the magnetic head 3 to an arbitrary recording / reproducing position on the magnetic disk 10a by swinging the swing arm 3a with the drive current supplied from the driver 7 under the control of the control unit 8.

信号変換部４は、アンプ、ＬＰＦ（Ｌｏｗ Ｐａｓｓ Ｆｉｌｔｅｒ）およびＡ／Ｄ変換器等（図示せず）を備え、磁気ヘッド３によって磁気ディスク１０ａから取得された各種信号を増幅してノイズを除去した後にＡ／Ｄ変換して出力する。ＲＯＭ９は、制御部８が出力すべき読み出し周波数情報についてのクロックデータＤｃｌを各環状領域Ａａ毎に記憶している。この場合、制御部８は、後述するように、クロックデータＤｃｌに基づき、一例として、同一の環状領域Ａａ内では周波数を変化させず、かつ、凹凸パターン２０ｔの中心Ｏから離れている環状領域Ａａ内の記録トラックにオントラックさせるときほど周波数が高くなるように読み出し周波数情報の周波数を変化させて検出用クロック出力部５に出力する。検出用クロック出力部５は、制御部８がクロックデータＤｃｌに基づいて出力する読み出し周波数情報を取得すると共に、信号変換部４から出力されたデジタルデータのうちから、磁気ヘッド３を介して各環状領域Ａａのサーボパターン領域Ａｓａから読み出されたプリアンブル用のデータ（プリアンブル用の信号）を取得（検出）する。また、検出用クロック出力部５は、読み出し周波数情報とプリアンブル用のデータとに基づいて位相や周波数等の調整を行うことにより、実際のサーボデータ検出時に使用される検出用クロックＣｌｓを生成してサーボデータ検出部６に出力する。   The signal conversion unit 4 includes an amplifier, an LPF (Low Pass Filter), an A / D converter and the like (not shown), and amplifies various signals acquired from the magnetic disk 10a by the magnetic head 3 to remove noise. After A / D conversion, output. The ROM 9 stores clock data Dcl for read frequency information to be output by the control unit 8 for each annular area Aa. In this case, as will be described later, for example, the control unit 8 does not change the frequency in the same annular region Aa based on the clock data Dcl, and the annular region Aa that is separated from the center O of the uneven pattern 20t. The frequency of the read frequency information is changed and output to the detection clock output unit 5 so that the frequency becomes higher as the recording track is turned on track. The detection clock output unit 5 obtains read frequency information output from the control unit 8 based on the clock data Dcl, and each of the digital data output from the signal conversion unit 4 via the magnetic head 3. Preamble data (preamble signal) read from the servo pattern area Asa of the area Aa is acquired (detected). Further, the detection clock output unit 5 generates a detection clock Cls used at the time of actual servo data detection by adjusting the phase and frequency based on the read frequency information and the preamble data. Output to the servo data detector 6.

この場合、この磁気ディスク１０ａでは、前述したように、各環状領域Ａａにおける長さＬ４ｉ，Ｌ４ｉ・・が互いに等しく、かつ長さＬ４ｏ，Ｌ４ｏ・・が互いに等しくなるように凹凸パターン２０ｓａが形成されている。このため、磁気ディスク１０ａを角速度一定の回転速度で定速回転させたときには、磁気ヘッド３の下方をサーボパターン領域Ａｓａが通過させられる時間が外周側の環状領域Ａａほど短時間となる。したがって、制御部８は、一例として、磁気ディスク１０ａが４２００ｒｐｍで定速回転させられている状態において、磁気ヘッド３が環状領域Ａ１ａ内の記録トラック（凸部２１ｔ）にオントラックさせられているときには、２２ＭＨｚの読み出し周波数情報を出力し、磁気ヘッド３が環状領域Ａ２ａ内の記録トラックにオントラックさせられているときには、３２ＭＨｚの読み出し周波数情報を出力し、環状領域Ａ３ａ内の記録トラックにオントラックさせられているときには、４２ＭＨｚの読み出し周波数情報を出力し、環状領域Ａ４ａ内の記録トラックにオントラックさせられているときには、５２ＭＨｚの読み出し周波数情報を出力する。   In this case, in the magnetic disk 10a, as described above, the concave / convex pattern 20sa is formed so that the lengths L4i, L4i,... In each annular region Aa are equal to each other and the lengths L4o, L4o,. ing. Therefore, when the magnetic disk 10a is rotated at a constant angular velocity, the time during which the servo pattern area Asa is allowed to pass under the magnetic head 3 is shorter in the annular area Aa on the outer peripheral side. Therefore, for example, when the magnetic disk 10a is rotated at a constant speed of 4200 rpm, the control unit 8 performs the on-track operation on the recording track (convex portion 21t) in the annular area A1a. When the magnetic head 3 is on-tracked to the recording track in the annular area A2a, the readout frequency information of 32 MHz is output and on-tracked to the recording track in the annular area A3a. When read, the read frequency information of 42 MHz is output, and when read on the recording track in the annular area A4a, the read frequency information of 52 MHz is output.

サーボデータ検出部６は、検出用クロック出力部５から出力された検出用クロックＣｌｓに同期して読み込むことにより、信号変換部４から出力されたデジタルデータからサーボデータＤｓを取得（検出）して制御部８に出力する。ドライバ７は、制御部８からの制御信号に従ってアクチュエータ３ｂを制御して磁気ヘッド３を所望の記録トラック（凸部２１ｔ）にオントラックさせる。制御部８は、ハードディスクドライブ１を総括的に制御する。また、制御部８は、サーボデータ検出部６から出力されるヘッド位置情報に基づいて磁気ヘッド３が磁気ディスク１０ａ上の内周側の各環状領域Ａａから外周側の各環状領域Ａａまでの間のいずれの環状領域Ａａ内の記録トラックにオントラックしているかを特定すると共に、所望の磁気ヘッド３の位置（磁気ヘッド３を移動させようとする環状領域Ａａおよび記録トラックの位置）に応じて、環状領域Ａａ毎に予め規定されてＲＯＭ９に記憶させられているクロックデータＤｃｌ（周波数変更条件についてのデータ）に応じて前述したように読み出し周波数情報の周波数を変化させて検出用クロック出力部５に出力する。さらに、制御部８は、サーボデータ検出部６から出力されたサーボデータＤｓに基づいてドライバ７を制御する。   The servo data detection unit 6 acquires (detects) servo data Ds from the digital data output from the signal conversion unit 4 by reading in synchronization with the detection clock Cls output from the detection clock output unit 5. Output to the control unit 8. The driver 7 controls the actuator 3b in accordance with a control signal from the control unit 8 to turn the magnetic head 3 on the desired recording track (convex portion 21t). The control unit 8 comprehensively controls the hard disk drive 1. Further, the control unit 8 controls the magnetic head 3 from the inner circumferential side area Aa to the outer circumferential side area Aa on the magnetic disk 10a based on the head position information output from the servo data detection unit 6. Which of the annular areas Aa is on-track to the recording track, and depending on the desired position of the magnetic head 3 (the position of the annular area Aa and the recording track to which the magnetic head 3 is to be moved). The detection clock output unit 5 changes the frequency of the read frequency information as described above according to the clock data Dcl (data on the frequency change condition) preliminarily defined for each annular area Aa and stored in the ROM 9. Output to. Further, the control unit 8 controls the driver 7 based on the servo data Ds output from the servo data detection unit 6.

次に、磁気ディスク１０ａの製造方法、および使用方法について説明する。   Next, a method for manufacturing and using the magnetic disk 10a will be described.

上記の磁気ディスク１０ａの製造に際しては、図７に示す中間体３０と図８に示すスタンパー３５ａとを使用する。この場合、図７に示すように、中間体３０は、軟磁性層１２、中間層１３、および磁性層１４がガラス基材１１の上にこの順で形成されると共に、磁性層１４の上に、マスク層１７と、厚み８０ｎｍ程度の樹脂層（レジスト層）１８とが形成されて構成されている。一方、スタンパー３５ａは、本発明に係る情報記録媒体製造用のスタンパーの一例であって、図８に示すように、磁気ディスク１０ａにおける凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ，２０ｓａ）とは凹凸位置関係が反転している凹凸パターン３９が形成されて、インプリント法による磁気ディスク１０ａの製造が可能に構成されている。この場合、スタンパー３５ａの凹凸パターン３９は、凸部３９ａ，３９ａ・・が磁気ディスク１０ａの凹凸パターン２０における凹部２２，２２・・に対応し、凹部３９ｂ，３９ｂ・・が凹凸パターン２０における凸部２１，２１・・に対応して形成されている。したがって、このスタンパー３５ａでは、凸部３９ａの回転方向に沿った長さが凹凸パターン２０における凹部２２の回転方向に沿った長さとほぼ等しく、かつ凹部３９ｂの回転方向に沿った長さが凹凸パターン２０における凸部２１の回転方向に沿った長さとほぼ等しくなっている。なお、中間体３０およびスタンパー３５ａの製造方法については、特に限定されず、公知の各種製造方法によって製造することができる。   In manufacturing the magnetic disk 10a, the intermediate 30 shown in FIG. 7 and the stamper 35a shown in FIG. 8 are used. In this case, as shown in FIG. 7, the intermediate 30 includes a soft magnetic layer 12, an intermediate layer 13, and a magnetic layer 14 formed in this order on the glass substrate 11, and on the magnetic layer 14. The mask layer 17 and a resin layer (resist layer) 18 having a thickness of about 80 nm are formed. On the other hand, the stamper 35a is an example of a stamper for manufacturing an information recording medium according to the present invention. As shown in FIG. 8, the stamper 35a has a concavo-convex position relationship with the concavo-convex pattern 20 (the concavo-convex patterns 20t and 20sa) in the magnetic disk 10a. An inverted concavo-convex pattern 39 is formed so that the magnetic disk 10a can be manufactured by the imprint method. In this case, the concave / convex pattern 39 of the stamper 35a corresponds to the convex portions 39a, 39a,... Corresponding to the concave portions 22, 22 ... in the concave / convex pattern 20 of the magnetic disk 10a, and the concave portions 39b, 39b,. It is formed corresponding to 21, 21,. Therefore, in this stamper 35a, the length along the rotational direction of the convex portion 39a is substantially equal to the length along the rotational direction of the concave portion 22 in the concave / convex pattern 20, and the length along the rotational direction of the concave portion 39b is equal to the concave / convex pattern. 20 is substantially equal to the length along the rotation direction of the convex portion 21. In addition, it does not specifically limit about the manufacturing method of the intermediate body 30 and the stamper 35a, It can manufacture with a well-known various manufacturing method.

この中間体３０およびスタンパー３５ａを用いた磁気ディスク１０ａの製造に際しては、図９に示すように、まず、中間体３０の樹脂層１８にスタンパー３５ａの凹凸パターン３９をインプリント法によって転写する。具体的には、スタンパー３５ａにおける凹凸パターン３９の形成面を中間体３０の樹脂層１８に押し付けることにより、凹凸パターン３９の凸部３９ａ，３９ａ・・を中間体３０の樹脂層１８に押し込む。   When manufacturing the magnetic disk 10a using the intermediate 30 and the stamper 35a, first, as shown in FIG. 9, the uneven pattern 39 of the stamper 35a is transferred to the resin layer 18 of the intermediate 30 by the imprint method. Specifically, the convex portions 39a, 39a,... Of the concavo-convex pattern 39 are pressed into the resin layer 18 of the intermediate body 30 by pressing the formation surface of the concavo-convex pattern 39 on the stamper 35a against the resin layer 18 of the intermediate body 30.

この場合、このスタンパー３５ａを用いて製造する磁気ディスク１０ａは、前述したように、各環状領域Ａａ内における内周側の凹部２２ｓｉ，２２ｓｉ・・の長さＬ２ｉと、環状領域Ａａ内における外周側の凹部２２ｓｏ，２２ｓｏ・・の長さＬ２ｏとが等しい長さ（この例では、２２０ｎｍ）となるように形成されている。また、磁気ディスク１０ａでは、環状領域Ａ１ａ〜Ａ４ａのすべて（すなわち、磁気ディスク１０ａの全域）の凹部２２ｓｉ，２２ｓｉ・・の長さＬ２ｉと、外周側の凹部２２ｓｏ，２２ｓｏ・・の長さＬ２ｏとが等しい長さとなるように形成されている。この結果、各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の長さ（単位凸部長）に対する各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さ（単位凹部長）の比が各環状領域Ａａ内において内周側から外周側に向かうほど小さくなるように規定されて凹凸パターン２０が形成されている。したがって、磁気ディスク１０ａを製造するためのスタンパー３５ａには、磁気ディスク１０ａにおけるサーボパターン領域Ａｓａに対応する全域において、回転方向に沿った長さが長さＬ２ｉ，Ｌ２ｏを大きく超える凸部３９ａが存在しないように（凸部３９ａの長さが長さＬ２ｉ，Ｌ２ｏとほぼ等しくなるように）凹部３９ｂ，３９ｂ・・が形成されている。この結果、凸部３９ａ，３９ａ・・が樹脂層１８にスムーズに押し込まれる。これにより、スタンパー３５ａにおける凸部３９ａの先端部と中間体３０のマスク層１７との間に厚手の残渣が生じることなく、スタンパー３５ａの凸部３９ａ，３９ａ・・が十分に奥深くまで中間体３０の樹脂層１８に押し込まれる。   In this case, as described above, the magnetic disk 10a manufactured using this stamper 35a includes the length L2i of the inner peripheral recesses 22si, 22si... In each annular area Aa and the outer peripheral side in the annular area Aa. Are formed so that the lengths L2o of the recesses 22so, 22so,... Have the same length (220 nm in this example). Further, in the magnetic disk 10a, the length L2i of the recesses 22si, 22si,... In all of the annular areas A1a to A4a (that is, the entire area of the magnetic disk 10a) and the length L2o of the recesses 22so, 22so,. Are formed to have equal lengths. As a result, the ratio of the length of each concave portion 22s, 22s,... To the length of each convex portion 21s, 21s,... (Unit convex portion length) (unit concave portion length) is changed from the inner peripheral side to the outer peripheral side in each annular region Aa. The concavo-convex pattern 20 is formed so as to be smaller as it goes to. Accordingly, the stamper 35a for manufacturing the magnetic disk 10a has a convex portion 39a whose length along the rotation direction greatly exceeds the lengths L2i and L2o in the entire area corresponding to the servo pattern area Asa in the magnetic disk 10a. The recesses 39b, 39b,... Are formed so that the length of the projection 39a is substantially equal to the lengths L2i, L2o. As a result, the convex portions 39a, 39a,... Are smoothly pushed into the resin layer 18. Thereby, the thickened residue is not generated between the tip of the convex portion 39a of the stamper 35a and the mask layer 17 of the intermediate body 30, and the convex portions 39a, 39a,. Is pushed into the resin layer 18.

次いで、中間体３０からスタンパー３５ａを剥離し、さらに、凹部４１ｂの底面に残存する樹脂（残渣：図示せず）を酸素プラズマ処理によって除去することにより、図１０に示すように、中間体３０におけるマスク層１７の上に樹脂層１８からなる凹凸パターン４１が形成される。この場合、前述したように中間体３０の樹脂層１８に対してスタンパー３５ａにおける内周側の凸部３９ａ，３９ａ・・（内周側の環状領域Ａａに対応して形成された凸部）から外周側の凸部３９ａ，３９ａ・・（外周側の環状領域Ａａに対応して形成された凸部）までがほぼ均等に押し込まれてマスク層１７上の残渣の厚みが全域においてほぼ均等となっているため、いずれかの環状領域Ａａにおける内周側の各凹部２２ｓｉ，２２ｓｉ・・において残渣の取り除きが完了した時点で、他の部位においてもほぼ同時に残渣の取り除きが完了する。次いで、残渣の取り除きが完了した凹凸パターン４１（樹脂層１８）をマスクとして用いてエッチング処理を実行することにより、凹凸パターン４１における凹部４１ｂ，４１ｂ・・の底部においてマスク（凸部４１ａ，４１ａ・・）から露出しているマスク層１７をエッチングする。   Next, the stamper 35a is peeled from the intermediate body 30, and the resin (residue: not shown) remaining on the bottom surface of the recess 41b is removed by oxygen plasma treatment, so that the intermediate body 30 has a structure as shown in FIG. An uneven pattern 41 made of the resin layer 18 is formed on the mask layer 17. In this case, as described above, from the convex portions 39a, 39a,... (The convex portions formed corresponding to the annular region Aa on the inner peripheral side) of the stamper 35a with respect to the resin layer 18 of the intermediate body 30. The protrusions 39a, 39a,... On the outer peripheral side (protrusions formed corresponding to the annular region Aa on the outer peripheral side) are pushed almost evenly, and the thickness of the residue on the mask layer 17 becomes substantially uniform over the entire area. Therefore, when the removal of the residue is completed in each of the inner circumferential recesses 22si, 22si... In any of the annular regions Aa, the removal of the residue is completed almost simultaneously in the other portions. Next, etching is performed using the concave / convex pattern 41 (resin layer 18) from which the residue has been removed as a mask, so that the masks (convex portions 41 a, 41 a. Etching the exposed mask layer 17 from.

この場合、マスクとして用いる凹凸パターン４１を形成するのに使用したスタンパー３５ａは、その凹凸パターン３９が磁気ディスク１０ａの凹凸パターン２０とは凹凸位置関係が反転しているため、凹凸パターン３９の単位凹部長（凹部３９ｂの単位凹部長に対応する長さ）に対する単位凸部長（凸部３９ａの単位凸部長に対応する長さ）の比が各環状領域Ａａ内においてその内周側から外周側に向かうほど小さくなっている。言い換えれば、スタンパー３５ａの凹凸パターン３９は、単位凹部長に対する単位凸部長の比が各環状領域Ａａ毎に外周側から内周側に向かうほど大きくなっている。したがって、この凹凸パターン３９を転写して形成した凹凸パターン４１では、単位凸部長（凸部４１ａの単位凸部長に対応する長さ）に対する単位凹部長（凹部４１ｂの単位凹部長に対応する長さ）の比が各環状領域Ａａ内においてその外周側から内周側に向かうほど大きくなっており、これにより、各環状領域Ａａにおける内周側の凹部４１ｂにおける回転方向に沿った長さが過度に短くなる事態が回避されている。したがって、凹部４１ｂが過度に狭いことに起因するエッチング不良を招くことなく、十分に広い凹部４１ｂから露出しているマスク層１７を確実にエッチングすることが可能となっている。これにより、図１１に示すように、凸部４２ａおよび凹部４２ｂを有する凹凸パターン４２が中間体３０のマスク層１７に形成される。   In this case, the stamper 35a used to form the concavo-convex pattern 41 used as a mask has a concavo-convex positional relationship between the concavo-convex pattern 39 and the concavo-convex pattern 20 of the magnetic disk 10a. The ratio of the unit convex portion length (the length corresponding to the unit convex portion length of the convex portion 39a) to the portion length (the length corresponding to the unit concave portion length of the concave portion 39b) is directed from the inner peripheral side to the outer peripheral side in each annular region Aa. It is getting smaller. In other words, in the uneven pattern 39 of the stamper 35a, the ratio of the unit convex portion length to the unit concave portion length increases as it goes from the outer peripheral side to the inner peripheral side for each annular region Aa. Therefore, in the concavo-convex pattern 41 formed by transferring the concavo-convex pattern 39, the unit concave portion length (the length corresponding to the unit concave portion length of the concave portion 41b) with respect to the unit convex portion length (the length corresponding to the unit convex portion length of the convex portion 41a). ) Ratio increases in each annular region Aa from the outer peripheral side toward the inner peripheral side, so that the length along the rotational direction of the concave portion 41b on the inner peripheral side in each annular region Aa is excessively increased. The situation of shortening is avoided. Therefore, it is possible to reliably etch the mask layer 17 exposed from the sufficiently wide recess 41b without causing an etching failure due to the recess 41b being excessively narrow. Thereby, as shown in FIG. 11, the uneven | corrugated pattern 42 which has the convex part 42a and the recessed part 42b is formed in the mask layer 17 of the intermediate body 30. As shown in FIG.

次いで、凹凸パターン４２（マスク層１７）をマスクとして用いてエッチング処理を実行することにより、凹凸パターン４２における凹部４２ｂ，４２ｂ・・の底部においてマスク（凸部４２ａ，４２ａ・・）から露出している磁性層１４をエッチングする。これにより、図１２に示すように、その回転方向に沿った長さがスタンパー３５ａにおける凹部３９ｂの回転方向に沿った長さとほぼ等しい凸部２１と、その回転方向に沿った長さがスタンパー３５ａにおける凸部３９ａの回転方向に沿った長さとほぼ等しい凹部２２とを有する凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ，２０ｓａ）が中間体３０の磁性層１４に形成される。次いで、凸部２１，２１・・の上に残存しているマスク層１７に対して選択的にエッチング処理を行うことにより、残存しているマスク層１７を完全に除去して凸部２１，２１・・の突端面を露出させる。   Next, by performing an etching process using the concave / convex pattern 42 (mask layer 17) as a mask, the bottom of the concave portions 42b, 42b,... In the concave / convex pattern 42 is exposed from the mask (the convex portions 42a, 42a,...). The magnetic layer 14 is etched. As a result, as shown in FIG. 12, the convex portion 21 whose length along the rotational direction is substantially equal to the length along the rotational direction of the concave portion 39b in the stamper 35a, and the length along the rotational direction thereof is the stamper 35a. A concave / convex pattern 20 (concave / convex patterns 20t, 20sa) having a concave portion 22 substantially equal to the length along the rotation direction of the convex portion 39a is formed in the magnetic layer 14 of the intermediate body 30. Next, the mask layer 17 remaining on the convex portions 21, 21,... Is selectively etched to completely remove the remaining mask layer 17, and the convex portions 21, 21.・ Expose the tip of the tip.

次いで、非磁性材料１５としてのＳｉＯ２をスパッタリングする。この際には、非磁性材料１５によって凹部２２，２２・・が完全に埋め尽くされ、かつ、凸部２１，２１・・の上に例えば厚みが６０ｎｍ程度の非磁性材料１５の層が形成されるように、非磁性材料１５を十分にスパッタリングする。続いて、磁性層１４の上（凸部２１，２１・・の上および凹部２２，２２・・の上）の非磁性材料１５の層に対してイオンビームエッチング処理を実行する。この際には、各凸部２１，２１・・の突端面が非磁性材料１５から露出するまでイオンビームエッチング処理を継続する。これにより、中間体３０の表面が平坦化される。続いて、中間体３０の表面を覆うようにしてＣＶＤ法によってダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）の薄膜を成膜することによって保護層１６形成した後に、保護層１６の表面にフッ素系の潤滑剤を平均厚さが例えば２ｎｍ程度となるように塗布する。これにより、図２に示すように、磁気ディスク１０ａが完成する。 Next, SiO 2 as the nonmagnetic material 15 is sputtered. At this time, the concave portions 22, 22,... Are completely filled with the nonmagnetic material 15, and a layer of the nonmagnetic material 15 having a thickness of, for example, about 60 nm is formed on the convex portions 21, 21,. Thus, the nonmagnetic material 15 is sufficiently sputtered. Subsequently, an ion beam etching process is performed on the layer of the nonmagnetic material 15 on the magnetic layer 14 (above the convex portions 21, 21,... And the concave portions 22, 22,...). At this time, the ion beam etching process is continued until the projecting end surfaces of the convex portions 21, 21,... Are exposed from the nonmagnetic material 15. Thereby, the surface of the intermediate 30 is planarized. Subsequently, after forming the protective layer 16 by depositing a diamond-like carbon (DLC) thin film by CVD so as to cover the surface of the intermediate 30, a fluorine-based lubricant is averaged on the surface of the protective layer 16. Application is performed so that the thickness is, for example, about 2 nm. Thereby, the magnetic disk 10a is completed as shown in FIG.

この磁気ディスク１０ａでは、前述したように、各環状領域Ａａにおける長さＬ４ｉ，Ｌ４ｉ・・が互いに等しく、かつ長さＬ４ｏ，Ｌ４ｏ・・が互いに等しくなるように凹凸パターン２０ｓａが形成されている。このため、磁気ディスク１０ａを角速度一定の回転速度で定速回転させたときに、磁気ヘッド３の下方をサーボパターン領域Ａｓａが通過させられる時間が外周側の環状領域Ａａほど短時間となっている。したがって、制御部８は、外周側の環状領域Ａａに磁気ヘッド３を位置させるときほど短い波長の読み出し周波数情報を出力する。また、この磁気ディスク１０ａでは、凸部２１ｓの長さと凹部２２ｓの長さとの合計長（長さＬ３ｉ，Ｌ３ｏ）が各環状領域Ａａ内において凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して内周側から外周側に向かうほど長くなるように規定されて凹凸パターン２０ｓａが形成されている。したがって、制御部８は、同一の環状領域Ａａ内においては、上記の読み出し周波数情報のクロック周波数を変化させることなく出力する。これにより、各環状領域Ａ１ａ〜Ａ４ａ内のサーボパターン領域Ａｓａから読み出されたサーボデータＤｓに基づき、制御部８がドライバ７を制御してアクチュエータ３ｂを駆動させ、磁気ヘッド３を所望の環状領域Ａａ内におけるいずれかのトラックにオントラックさせる。これにより、トラックパターン領域Ａｔ内の凸部２１ｔ，２１ｔ・・（データ記録トラック）にオントラックさせた磁気ヘッド３を介して記録データの記録再生が行われる。   In this magnetic disk 10a, as described above, the concavo-convex pattern 20sa is formed so that the lengths L4i, L4i,... In each annular region Aa are equal to each other and the lengths L4o, L4o,. For this reason, when the magnetic disk 10a is rotated at a constant rotational speed at a constant angular velocity, the time required for the servo pattern area Asa to pass under the magnetic head 3 is shorter for the annular area Aa on the outer peripheral side. . Therefore, the control unit 8 outputs read frequency information with a shorter wavelength as the magnetic head 3 is positioned in the annular region Aa on the outer peripheral side. In this magnetic disk 10a, the total length (length L3i, L3o) of the length of the convex portion 21s and the length of the concave portion 22s is proportional to the distance from the center O of the concave / convex pattern 20t in each annular area Aa. The concave / convex pattern 20sa is formed so as to become longer as it goes from the peripheral side to the outer peripheral side. Therefore, the control unit 8 outputs the read frequency information without changing the clock frequency in the same annular area Aa. Thus, based on the servo data Ds read from the servo pattern area Asa in each of the annular areas A1a to A4a, the control unit 8 controls the driver 7 to drive the actuator 3b, and the magnetic head 3 is moved to the desired annular area. On-track any track in Aa. As a result, recording / reproduction of recording data is performed via the magnetic head 3 that is on-tracked to the convex portions 21t, 21t... (Data recording track) in the track pattern area At.

このように、この磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１によれば、各環状領域Ａａ内における単位凹部長の平均長を中心Ｏから環状領域Ａａまでの距離で除した値が内周側の環状領域Ａａよりも外周側の環状領域Ａａほど小さくなるように各環状領域Ａａ毎に単位凹部長を規定してサーボパターンを構成する凹凸パターン２０ｓａを構成したことにより、単位凹部長が内周側から外周側に向けて徐々に長くなるように凹凸パターンが形成されている従来の磁気ディスク１０ｘと比較して、外周側の環状領域Ａａにおける単位凹部長を十分に短くすることができる。したがって、この磁気ディスク１０ａを製造するためのスタンパー３５ａにおいて磁気ディスク１０ａの各凹部２２ｓ，２２ｓ・・に対応する凸部３９ａ，３９ａ・・の回転方向に沿った長さを十分に短くすることができるため、インプリント処理時に、スタンパー３５ａにおける凸部３９ａの先端部と中間体３０のマスク層１７との間に厚手の残渣を生じさせることなく、スタンパー３５ａの凸部３９ａ，３９ａ・・を十分に奥深くまで中間体３０の樹脂層１８に押し込むことができる。この結果、残渣の厚みが内周側の環状領域Ａａに対応する部位と外周側の環状領域Ａａに対応する部位とで大きく相違することなくほぼ同様の厚みとなるため、残渣の取り除き処理時に内周側の環状領域Ａａに対応する部位の凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に拡がる事態が回避される。したがって、凹凸パターン４１における凹部４１ｂ，４１ｂ・・の部位に最終的に形成される凹部２２ｓｉ，２２ｓｉ・・が過剰に拡がる事態が回避されて凹凸パターン２０ｓａを高精度で形成することができる。このため、サーボパターン領域Ａｓａの全域において磁気的信号の確実な読み取りが可能なサーボパターン（凹凸パターン２０ｓａ）を有する磁気ディスク１０ａ、およびその磁気ディスク１０ａを備えたハードディスクドライブ１を提供することができる。   Thus, according to the magnetic disk 10a and the hard disk drive 1, the value obtained by dividing the average length of the unit recess length in each annular area Aa by the distance from the center O to the annular area Aa is the inner annular area Aa. By forming the concave / convex pattern 20sa constituting the servo pattern by defining the unit concave portion length for each annular region Aa so that the annular region Aa on the outer peripheral side becomes smaller, the unit concave portion length is changed from the inner peripheral side to the outer peripheral side. Compared with the conventional magnetic disk 10x in which the concavo-convex pattern is formed so as to gradually become longer, the unit recess length in the annular region Aa on the outer peripheral side can be sufficiently shortened. Therefore, in the stamper 35a for manufacturing the magnetic disk 10a, the length along the rotation direction of the convex portions 39a, 39a,... Corresponding to the concave portions 22s, 22s,. Therefore, during the imprint process, the protrusions 39a, 39a,... Of the stamper 35a are sufficiently formed without causing a thick residue between the tip of the protrusion 39a in the stamper 35a and the mask layer 17 of the intermediate 30. Can be pushed deeply into the resin layer 18 of the intermediate 30. As a result, the thickness of the residue is not substantially different between the portion corresponding to the annular region Aa on the inner peripheral side and the portion corresponding to the annular region Aa on the outer peripheral side. A situation in which the concave portions 41b, 41b,. Therefore, it is possible to avoid the situation in which the concave portions 22si, 22si,... Finally formed in the concave portions 41b, 41b,. Therefore, it is possible to provide a magnetic disk 10a having a servo pattern (uneven pattern 20sa) capable of reliably reading a magnetic signal in the entire servo pattern area Asa, and a hard disk drive 1 including the magnetic disk 10a. .

この場合、単位凹部長の平均長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏから環状領域Ａａまでの距離で除した値が外周側の環状領域Ａａよりも内周側の環状領域Ａａほど大きくなるように各環状領域Ａａ毎に単位凹部長が規定されているため、内周側の環状領域Ａａにおいても単位凹部長が過度に短くなる事態が回避されている。したがって、凹部の形成処理（マスク層１７や磁性層１４に対するエッチング処理等）が困難となる事態を回避することができる結果、サーボパターン領域Ａｓａの全域において凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。   In this case, each annular shape is such that the value obtained by dividing the average length of the unit recess length by the distance from the center O of the concavo-convex pattern 20t to the annular region Aa is larger in the annular region Aa on the inner circumferential side than in the annular region Aa on the outer circumferential side. Since the unit recess length is defined for each region Aa, a situation in which the unit recess length is excessively shortened in the annular region Aa on the inner peripheral side is avoided. Therefore, it is possible to avoid a situation in which the formation process of the recesses (such as an etching process for the mask layer 17 and the magnetic layer 14) becomes difficult. As a result, the recesses 22s, 22s,. can do.

また、この磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１によれば、単位凸部長に対する単位凹部長の比が各環状領域Ａａ内においてその内周側からその外周側に向かうほど小さくなるように単位凸部長および単位凹部長を規定して凹凸パターン２０ｓａ（サーボパターン）を形成したことにより、各環状領域Ａａ内における外周側の単位凹部長を十分に短くすることができる。したがって、この磁気ディスク１０ａを製造するためのスタンパー３５ａにおいて各環状領域Ａａの外周側に対応する部位に過剰に長い凸部が存在しないため、インプリント処理時に、スタンパー３５ａにおける凸部３９ａを一層スムーズに樹脂層１８に押し込むことができる。また、単位凸部長に対する単位凹部長の比が環状領域Ａａの外周側から内周側に向かうほど大きくなるように単位凸部長および単位凹部長が規定されているため、環状領域Ａａの内周側においても単位凹部長が過度に短くなる事態が回避されている。したがって、凹部の形成処理（マスク層１７や磁性層１４に対するエッチング処理等）が困難となる事態を回避することができる結果、サーボパターン領域Ａｓａの全域において凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。   Further, according to the magnetic disk 10a and the hard disk drive 1, the unit convex portion length and the unit are set such that the ratio of the unit concave portion length to the unit convex portion length decreases in the annular area Aa from the inner peripheral side toward the outer peripheral side. By defining the concave portion length and forming the concave / convex pattern 20sa (servo pattern), the unit concave portion length on the outer peripheral side in each annular region Aa can be sufficiently shortened. Accordingly, in the stamper 35a for manufacturing the magnetic disk 10a, there is no excessively long convex portion at a portion corresponding to the outer peripheral side of each annular region Aa, and therefore the convex portion 39a in the stamper 35a is made smoother during imprint processing. Can be pushed into the resin layer 18. Further, since the unit convex portion length and the unit concave portion length are defined such that the ratio of the unit concave portion length to the unit convex portion length increases from the outer peripheral side to the inner peripheral side of the annular region Aa, the inner peripheral side of the annular region Aa In this case, the situation where the unit recess length becomes excessively short is avoided. Therefore, it is possible to avoid a situation in which the formation process of the recesses (such as an etching process for the mask layer 17 and the magnetic layer 14) becomes difficult. As a result, the recesses 22s, 22s,. can do.

さらに、この磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１によれば、単位凸部長が環状領域Ａａ内においてその内周側からその外周側に向かうほど長くなるように規定して凹凸パターン２０ｓａ（サーボパターン）を形成したことにより、例えば単位凸部長を環状領域Ａａ内における内周側から外周側までの全域に亘って等しい長さに規定して単位凹部長を変化させることで単位凸部長に対する単位凹部長の比を環状領域Ａａの内周側から外周側に向かうほど小さくする構成とは異なり、環状領域Ａａにおける外周側において単位凹部長が過度に短くなる事態を回避することができる。したがって、この磁気ディスク１０ａに対する記録再生時に環状領域Ａａにおける外周側の凹部を確実に検出することができる結果、サーボデータＤｓの読み出しエラーの発生を確実に回避することができる。   Further, according to the magnetic disk 10a and the hard disk drive 1, the convex / concave pattern 20sa (servo pattern) is formed by defining the unit convex portion length so as to increase from the inner peripheral side to the outer peripheral side in the annular region Aa. Accordingly, for example, the ratio of the unit concave portion length to the unit convex portion length is determined by changing the unit concave portion length by defining the unit convex portion length to be equal over the entire area from the inner peripheral side to the outer peripheral side in the annular region Aa. Unlike the configuration in which the diameter of the annular recess Aa decreases from the inner peripheral side toward the outer peripheral side, it is possible to avoid a situation in which the unit recess length becomes excessively short on the outer peripheral side in the annular region Aa. Therefore, it is possible to reliably detect the concave portion on the outer peripheral side in the annular area Aa at the time of recording / reproducing with respect to the magnetic disk 10a. As a result, it is possible to reliably avoid occurrence of a read error of the servo data Ds.

また、この磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１によれば、単位凹部長が環状領域Ａａにおける内周側から外周側までの全域において等しい長さとなるように規定して凹凸パターン２０ｓａ（サーボパターン）を形成したことにより、インプリント処理時に凹部２２ｓに対応する部位に形成される残渣の厚みを各環状領域Ａａの内周側から外周側の全域において均一にすることができる。したがって、同一の環状領域Ａａ内における各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さ（単位凹部長）にばらつきが生じる事態を回避して均一にすることができる。また、各環状領域Ａａ内の内周側から外周側までの全域において単位凹部長が等しくなるように規定したことにより、製造時における凹部の形成処理（マスク層１７や磁性層１４に対するエッチング処理等）が容易となる結果、サーボパターン領域Ａｓａの全域において凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。   Further, according to the magnetic disk 10a and the hard disk drive 1, the concave / convex pattern 20sa (servo pattern) is formed by defining the unit recess length to be the same length in the entire area from the inner circumference side to the outer circumference side in the annular area Aa. As a result, the thickness of the residue formed in the portion corresponding to the recess 22s during the imprint process can be made uniform from the inner peripheral side to the outer peripheral side of each annular region Aa. Therefore, it is possible to avoid the occurrence of variations in the lengths (unit recess lengths) of the recesses 22s, 22s,. Further, by defining the unit recess lengths to be equal throughout the entire area from the inner periphery side to the outer periphery side in each annular region Aa, a recess formation process (such as an etching process for the mask layer 17 and the magnetic layer 14) during manufacturing. As a result, the recesses 22s, 22s,... Can be formed with high accuracy over the entire servo pattern area Asa.

さらに、この磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１によれば、単位凸部長および単位凹部長の合計長（すなわち、凸部２１ｓおよび凹部２２ｓの形成ピッチ）が凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａａ内においてその内周側からその外周側に向かうほど長くなるように規定して凹凸パターン２０ｓａ（サーボパターン）を形成したことにより、磁気ディスク１０ａを角速度一定の条件で回転させつつサーボパターン領域ＡｓａからサーボデータＤｓを読み出す際に使用されるクロックの基準となる周波数情報（読み出し周波数情報）を一つの環状領域Ａａ内において変化させることなく、環状領域Ａａにおける内周側から外周側までのサーボパターン領域ＡｓａからサーボデータＤｓを確実に読み出す（検出する）ことができる。   Furthermore, according to the magnetic disk 10a and the hard disk drive 1, the total length of the unit convex part length and the unit concave part length (that is, the formation pitch of the convex part 21s and the concave part 22s) is proportional to the distance from the center O of the concave / convex pattern 20t. In the annular area Aa, the concave / convex pattern 20sa (servo pattern) is defined so as to become longer from the inner peripheral side toward the outer peripheral side thereof, so that the servo is performed while rotating the magnetic disk 10a under a constant angular velocity. From the inner circumference side to the outer circumference side in the annular area Aa without changing the frequency information (read frequency information) used as a reference of the clock used when reading the servo data Ds from the pattern area Asa in one annular area Aa. Servo data Ds is reliably read from the servo pattern area Asa Detect) it can be.

また、この磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１によれば、各環状領域Ａａ内における単位凹部長の平均長が内周側の環状領域Ａ１ａから外周側の環状領域Ａ４ａまでの全環状領域Ａａにおいて等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定してサーボパターンを構成する凹凸パターン２０ｓａを構成したことにより、サーボパターン用の凹部２２ｓ，２２ｓ・・・に対応する部位に生じる残渣の厚みを内周側の環状領域Ａ１ａから外周側の環状領域Ａ４ａまでほぼ均一にすることができる。したがって、残渣の取り除き処理時に生じる各環状領域Ａａ毎の凹部４１ｂ，４１ｂ・・の拡がり度合いを大きくばらつかせることなく、内周側の環状領域Ａ１ａから外周側の環状領域Ａ４ａまでのすべての環状領域Ａａ（すなわち、磁気ディスク１０ａの内周側から外周側までの全域）に亘って所望の長さの凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。また、凹部の形成処理（マスク層１７や磁性層１４に対するエッチング処理等）が容易となる結果、サーボパターン領域Ａｓａの全域において凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。   Further, according to the magnetic disk 10a and the hard disk drive 1, the average length of the unit recess length in each annular area Aa is equal in all the annular areas Aa from the inner annular area A1a to the outer annular area A4a. Alternatively, by configuring the concave / convex pattern 20sa constituting the servo pattern so as to be approximately equal in length, the thickness of the residue generated in the portions corresponding to the concave portions 22s, 22s. It can be made substantially uniform from the annular region A1a on the peripheral side to the annular region A4a on the outer peripheral side. Therefore, all the annular regions A1a to A4a on the outer peripheral side are all formed without greatly varying the degree of expansion of the recesses 41b, 41b,... The recesses 22s, 22s,... Having a desired length can be formed with high accuracy over the area Aa (that is, the entire area from the inner circumference side to the outer circumference side of the magnetic disk 10a). Further, as a result of the easy formation of the recesses (such as an etching process for the mask layer 17 and the magnetic layer 14), the recesses 22s, 22s,... Can be formed with high accuracy over the entire servo pattern area Asa.

さらに、この磁気ディスク１０ａを搭載したハードディスクドライブ１によれば、サーボパターンに対応付けられているサーボデータＤｓに基づいてサーボ制御を実行する制御部８を備え、各環状領域Ａａ毎に予め規定された読み出し周波数情報に基づいて制御部８がサーボデータ検出部６を制御して磁気ディスク１０ａからサーボパターンに対応付けられているサーボデータＤｓを読み出すように構成したことにより、例えば、磁気ディスク１０ａの内周側の環状領域Ａ１ａから外周側の環状領域Ａ４ａまで磁気ヘッド３をシーク動作させる際における読み出し周波数情報の周波数切替え処理の回数を３回だけに止めることができる。したがって、シーク動作を短時間で実行することができるため、データアクセスを高速に行うことができる。また、読み出し周波数情報として環状領域の数（この例では４つ）に対応する種類の周波数情報を出力できればよいため、簡易な構成の制御部（検出用クロック出力部５および制御部８）によってトラッキングサーボを行うことができる。   Further, according to the hard disk drive 1 equipped with the magnetic disk 10a, the controller 8 that performs servo control based on the servo data Ds associated with the servo pattern is provided, and is prescribed in advance for each annular area Aa. Based on the read frequency information, the control unit 8 controls the servo data detection unit 6 to read the servo data Ds associated with the servo pattern from the magnetic disk 10a. The number of frequency switching processes of read frequency information when the magnetic head 3 performs a seek operation from the inner annular region A1a to the outer annular region A4a can be stopped only three times. Therefore, since the seek operation can be executed in a short time, data access can be performed at high speed. Further, since it is only necessary to output frequency information of a type corresponding to the number of annular regions (four in this example) as read frequency information, tracking is performed by a control unit (detection clock output unit 5 and control unit 8) with a simple configuration. Servo can be performed.

また、この磁気ディスク１０ａを製造するためのスタンパー３５ａによれば、磁気ディスク１０ａにおける凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ，２０ｓａ）の凹部２２，２２・・に対応して形成された凸部３９ａ，３９ａ・・と、磁気ディスク１０ａにおける凹凸パターン２０の凸部２１，２１・・に対応して形成された凹部３９ｂ，３９ｂ・・とを有する凹凸パターン３９を形成したことにより、磁気ディスク１０ａの外周側に対応するスタンパー３５ａの外周側に回転方向に沿った長さが過剰に長い凸部３９ａが存在しないため、中間体３０の樹脂層１８に対してスタンパー３５ａの凹凸パターン３９（各凸部３９ａ，３９ａ・・）をスムーズに押し込むことができる。したがって、各凸部３９ａ，３９ａ・・の押し込み量の不足に起因する不都合（マスク層１７上に厚手の残渣が生じることに起因して各凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に拡がる事態）が生じる事態を回避することができる。これにより、サーボデータＤｓの確実な読み取りが可能な磁気ディスク１０ａを製造することができる。また、回転方向に沿った長さが過剰に長い凹部３９ｂがスタンパー３５ａに存在しないため、インプリント処理時に凸部３９ａ，３９ａ・・の押し込みによって凹部３９ｂ，３９ｂ・・内に移動させられる樹脂材料によって、十分に高い凸部４１ａ，４１ａ・・を樹脂層１８に形成する（十分に厚い樹脂マスクを形成する）ことができる。   Further, according to the stamper 35a for manufacturing the magnetic disk 10a, the convex portions 39a, 39a formed corresponding to the concave portions 22, 22,... Of the concave / convex pattern 20 (the concave / convex patterns 20t, 20sa) in the magnetic disk 10a. .. And the concave / convex pattern 39 having the concave portions 39b, 39b ·· formed corresponding to the convex portions 21, 21 ·· of the concave / convex pattern 20 on the magnetic disk 10a, thereby forming the outer peripheral side of the magnetic disk 10a. Since the convex portion 39a having an excessively long length in the rotational direction does not exist on the outer peripheral side of the stamper 35a corresponding to the concave / convex pattern 39 of the stamper 35a (each convex portion 39a, 39a ..) can be pushed in smoothly. Therefore, inconvenience due to insufficient pushing amount of the convex portions 39a, 39a,... (A situation where the concave portions 41b, 41b,... Excessively expand due to the occurrence of thick residues on the mask layer 17) occurs. The situation can be avoided. As a result, the magnetic disk 10a capable of reliably reading the servo data Ds can be manufactured. Further, since the recess 39b having an excessively long length in the rotation direction does not exist in the stamper 35a, the resin material that is moved into the recesses 39b, 39b,... By pressing the protrusions 39a, 39a,. Therefore, sufficiently high convex portions 41a, 41a,... Can be formed on the resin layer 18 (a sufficiently thick resin mask is formed).

次いで、本発明における情報記録媒体の他の一例である磁気ディスク１０ｂ、および磁気ディスク１０ｂを搭載したハードディスクドライブ１ｂ（本発明における記録再生装置の他の一例）について、図面を参照して説明する。なお、磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１と共通の構成要素については、共通の符号を付して重複する説明を省略する。また、この磁気ディスク１０ｂの製造方法については、前述した磁気ディスク１０ａの製造方法と同様であるため、重複する製造工程についての説明を省略する。   Next, a magnetic disk 10b, which is another example of the information recording medium in the present invention, and a hard disk drive 1b equipped with the magnetic disk 10b (another example of the recording / reproducing apparatus in the present invention) will be described with reference to the drawings. Constituent elements common to the magnetic disk 10a and the hard disk drive 1 are denoted by common reference numerals and redundant description is omitted. Further, the manufacturing method of the magnetic disk 10b is the same as the manufacturing method of the magnetic disk 10a described above, and thus the description of the overlapping manufacturing process is omitted.

図１３に示す磁気ディスク１０ｂでは、磁気ディスク１０ｂの内周側から外周側までが凹凸パターン２０ｔの中心Ｏを中心とする同心円状の（すなわち、凹凸パターン２０ｔと同心の）４つの環状領域Ａ１ｂ〜Ａ４ｂ（本発明における複数の環状領域の一例：以下、区別しないときには、環状領域Ａｂともいう）に区分けされて凹凸パターン２０が形成されている。また、この磁気ディスク１０ｂでは、磁気ディスク１０ａにおけるサーボパターン領域Ａｓａに代えて、トラックパターン領域Ａｔ，Ａｔ・・の間にサーボパターン領域Ａｓｂ，Ａｓｂ・・が設けられてトラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓｂが磁気ディスク１０ｂの回転方向（矢印Ｒの向き）において交互に並ぶように規定されている。   In the magnetic disk 10b shown in FIG. 13, four annular regions A1b to A that are concentric (that is, concentric with the concave / convex pattern 20t) centered on the center O of the concave / convex pattern 20t from the inner peripheral side to the outer peripheral side of the magnetic disk 10b. The concavo-convex pattern 20 is formed by being divided into A4b (an example of a plurality of annular regions in the present invention: hereinafter, also referred to as an annular region Ab when not distinguished). In this magnetic disk 10b, servo pattern areas Asb, Asb,... Are provided between the track pattern areas At, At,. The areas Asb are defined so as to be alternately arranged in the rotation direction of the magnetic disk 10b (direction of arrow R).

また、図１４〜１６に示すように、サーボパターン領域Ａｓｂ（環状領域Ａｂ内における内周側の内周側サーボパターン領域Ａｓｂｉ、および環状領域Ａｂ内における外周側の外周側サーボパターン領域Ａｓｂｏ）には、磁気ディスク１０ａにおける凹凸パターン２０ｓａに代えてサーボパターンとしての凹凸パターン２０ｓｂが形成されている。この場合、凹凸パターン２０ｓｂは、凹凸パターン２０ｓａと同様にして、プリアンブルパターン、アドレスパターンおよびバーストパターンなどの各種サーボパターンを構成する凸部２１ｓ，２１ｓ（凸部２１ｓｉおよび凸部２１ｓｏ）・・並びに凹部２２ｓ，２２ｓ・・（凹部２２ｓｉおよび凹部２２ｓｏ）で構成されている。また、この磁気ディスク１０ｂでは、回転方向（各図における矢印Ｒの向き）に沿った凹部２２ｓの長さを凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例させずに（外周側ほど長くせずに）、各環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において等しくなるように（単位凹部長をデータトラックパターンの中心からの距離で除した値を環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど小さく規定した一例であって、本発明における「単位凹部長が等しい長さ、または、ほぼ等しい長さ」となるように規定した一例）、各凹部２２ｓ，２２ｓ・・が形成されている。   Further, as shown in FIGS. 14 to 16, the servo pattern area Asb (the inner peripheral servo pattern area Asbi on the inner peripheral side in the annular area Ab and the outer peripheral servo pattern area Asbo on the outer peripheral side in the annular area Ab). Are formed with a concave / convex pattern 20sb as a servo pattern in place of the concave / convex pattern 20sa on the magnetic disk 10a. In this case, the concavo-convex pattern 20sb is similar to the concavo-convex pattern 20sa in that the convex portions 21s, 21s (the convex portions 21si and the convex portions 21so), and the concave portions constituting various servo patterns such as a preamble pattern, an address pattern, and a burst pattern. 22s, 22s... (Concave portion 22si and concave portion 22so). Further, in this magnetic disk 10b, the length of the recess 22s along the rotation direction (the direction of the arrow R in each figure) is not proportional to the distance from the center O of the uneven pattern 20t (without increasing the length toward the outer peripheral side). ) So that the entire region from the inner peripheral side to the outer peripheral side in each annular region Ab is equal (the value obtained by dividing the unit recess length by the distance from the center of the data track pattern is the inner peripheral side of the annular region in the annular region) Is an example that is defined to be smaller toward the outer peripheral side of the annular region, and is an “example in which the unit recess length is defined to be the same length or substantially the same length” in the present invention, and each recess 22s, 22s.・ ・ Is formed.

同様にして、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さについても、凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例させずに（外周側ほど長くせずに）、環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において等しくなるように（単位凸部長をデータトラックパターンの中心からの距離で除した値を環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど小さく規定した一例であって、本発明における「単位凸部長が等しい長さ、または、ほぼ等しい長さ」となるように規定した一例）各凸部２１ｓ，２１ｓ・・が形成されている。このため、この磁気ディスク１０ｂでは、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さと凹部２２ｓの長さとの合計長（すなわち、凸部２１ｓおよび凹部２２ｓの形成ピッチ）が凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例せずに（外周側ほど長くせずに）、各環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において等しくなるように規定されている。したがって、図１４に示すように、例えば、環状領域Ａ２ｂでは、環状領域Ａ２ｂの内周側における回転方向に沿った長さＬ５２と、環状領域Ａ２ｂの外周側における回転方向に沿った長さＬ５２とが等しくなっている。この場合、この磁気ディスク１０ｂでは、環状領域Ａ１ｂ〜Ａ４ｂのそれぞれの回転方向に沿った長さＬ５１〜Ｌ５４が、一例として、外周側の環状領域Ａｂほど徐々に長くなるように規定されている。また、図１５，１６に示すように、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さに対する凹部２２ｓの長さの比が各環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において等しくなるように凹凸パターン２０ｓｂが形成されている。   Similarly, the length of the convex portion 21s along the rotation direction is not proportional to the distance from the center O of the concave / convex pattern 20t (without increasing the length toward the outer peripheral side), but on the inner peripheral side in the annular region Ab. (The value obtained by dividing the unit convex length by the distance from the center of the data track pattern is defined to be smaller in the annular area from the inner circumference side of the annular area toward the outer circumference side of the annular area. An example in which “the length of the unit convex portion is equal or approximately equal” in the present invention) Each convex portion 21s, 21s,... Is formed. Therefore, in this magnetic disk 10b, the total length of the length of the convex portion 21s and the length of the concave portion 22s along the rotation direction (that is, the formation pitch of the convex portion 21s and the concave portion 22s) is from the center O of the concave-convex pattern 20t. It is defined to be equal in the entire region from the inner peripheral side to the outer peripheral side in each annular region Ab, without being proportional to the distance (without increasing the length on the outer peripheral side). Therefore, as shown in FIG. 14, for example, in the annular region A2b, a length L52 along the rotational direction on the inner peripheral side of the annular region A2b, and a length L52 along the rotational direction on the outer peripheral side of the annular region A2b, Are equal. In this case, in this magnetic disk 10b, the lengths L51 to L54 along the respective rotation directions of the annular regions A1b to A4b are defined so as to gradually become longer as the annular region Ab on the outer peripheral side, for example. As shown in FIGS. 15 and 16, the ratio of the length of the concave portion 22s to the length of the convex portion 21s along the rotation direction is made equal in the entire region from the inner peripheral side to the outer peripheral side in each annular region Ab. An uneven pattern 20sb is formed on the surface.

具体的には、図１５に示すように、環状領域Ａｂにおける内周側の内周側領域Ａｉｂ（一例として、環状領域Ａ１ｂにおける中心Ｏからの距離が１１ｍｍの部位におけるプリアンブルパターンの形成領域）では、凸部２１ｓｉの長さＬ６ｉ（一例として、２２０ｎｍ）と凹部２２ｓｉの長さＬ７ｉ（一例として、２２０ｎｍ）との合計長である長さＬ８ｉが４４０ｎｍとなるように規定されている。また、図１６に示すように、環状領域Ａｂにおける外周側の外周側領域Ａｏｂ（一例として、環状領域Ａ１ｂにおける中心Ｏからの距離が１６ｍｍの部位におけるプリアンブルパターンの形成領域）においても、凸部２１ｓｏの長さＬ６ｏ（一例として、凸部２１ｓｉの長さＬ６ｉと等しい２２０ｎｍ）と凹部２２ｓｏの長さＬ７ｏ（一例として、凹部２２ｓｉの長さＬ７ｉと等しい２２０ｎｍ）との合計長である長さＬ８ｏが４４０ｎｍとなっている。この結果、図１５，１６に示すように、この磁気ディスク１０ｂでは、環状領域Ａｂ内の内周側領域Ａｉｂにおける凹凸パターン２０ｓｂの凸部２１ｓｉの長さＬ６ｉに対する凹部２２ｓｉの長さＬ７ｉの比と、環状領域Ａｂ内の外周側領域Ａｏｂにおける凸部２１ｓｏの長さＬ６ｏに対する凹部２２ｓｏの長さＬ７ｏの比とが各環状領域Ａｂ内においてそれぞれ１となっている。また、この磁気ディスク１０ｂでは、各環状領域Ａｂ内の凹部２２ｓの平均長が内周側の環状領域Ａ１ｂから外周側の環状領域Ａ４ｂに向かうほど僅かに長くなっている。一方、この磁気ディスク１０ｂでは、各環状領域Ａｂ内の凹部２２ｓの平均長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏから環状領域Ａｂまでの距離（一例として、環状領域Ａｂにおける最内周の部位とする）で除した値は内周側の環状領域Ａ１ｂから外周側の環状領域Ａ４ｂに向かうほど小さくなっている。   Specifically, as shown in FIG. 15, in the inner peripheral side region Aib on the inner peripheral side in the annular region Ab (as an example, the formation region of the preamble pattern in the region having a distance of 11 mm from the center O in the annular region A1b). The length L8i, which is the total length of the length L6i (for example, 220 nm) of the convex portion 21si and the length L7i (for example, 220 nm) of the concave portion 22si, is defined to be 440 nm. Further, as shown in FIG. 16, the convex portion 21so is also formed in the outer peripheral side region Aob on the outer peripheral side in the annular region Ab (for example, the preamble pattern forming region in the region having a distance of 16 mm from the center O in the annular region A1b). Length L6o (as an example, a length L8o of 220 nm equal to the length L6i of the convex portion 21si) and a length L7o of the concave portion 22so (as an example, 220 nm equal to the length L7i of the concave portion 22si) It is 440 nm. As a result, as shown in FIGS. 15 and 16, in this magnetic disk 10b, the ratio of the length L7i of the concave portion 22si to the length L6i of the convex portion 21si of the concave / convex pattern 20sb in the inner peripheral side region Aib in the annular region Ab The ratio of the length L7o of the concave portion 22so to the length L6o of the convex portion 21so in the outer peripheral side region Aob in the annular region Ab is 1 in each annular region Ab. Further, in this magnetic disk 10b, the average length of the recesses 22s in each annular region Ab becomes slightly longer from the annular region A1b on the inner peripheral side toward the annular region A4b on the outer peripheral side. On the other hand, in this magnetic disk 10b, the average length of the recesses 22s in each annular region Ab is the distance from the center O of the uneven pattern 20t to the annular region Ab (as an example, the innermost part in the annular region Ab). The value obtained by dividing becomes smaller from the inner circumferential side annular region A1b toward the outer circumferential side annular region A4b.

この場合、凸部２１ｓの長さ（単位凸部長）に対する凹部２２ｓの長さ（単位凹部長）の比については、上記のプリアンブルパターンのみならず、アドレスパターンやバーストパターンを構成する凹凸パターン２０ｓｂについても同様に規定されている。また、バーストパターンについては、磁気ディスク１０ｂの回転方向に沿って複数の矩形状の凹部２２ｓ，２２ｓ・・が凸部２１ｓを挟んで並んでいる領域において、単位凸部長に対する単位凹部長の比が上記の条件を満たすように規定されている。なお、図１５，１６では、サーボパターンにおけるプリアンブルパターンおよびバーストパターンを模式的に図示しており、理解を容易にすべく、回転方向に沿った各凸部２１ｓ，２１ｓ・・や各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さをサーボパターンの単位凸部長および単位凹部長のみで図示している。したがって、実際の磁気ディスク１０ｂでは、凸部２１ｓ，２１ｓ・・や凹部２２ｓ，２２ｓ・・の数、形成位置および長さが各図に示す状態とは異なり、トラッキングサーボ制御に必要なトラックアドレスおよびセクターアドレス等の情報（パターン）を含む各種の制御用データに対応して、凸部２１ｓや凹部２２ｓのそれぞれの数、形成位置および長さが規定されて凹凸パターン２０ｓｂが形成されている。この場合、凸部２１ｓや凹部２２ｓの実際の長さは、凸部２１ｓや凹部２２ｓの長さ（単位凸部長および単位凹部長）の整数倍の長さとなる。   In this case, regarding the ratio of the length of the concave portion 22s (unit concave portion length) to the length of the convex portion 21s (unit convex portion length), not only the preamble pattern but also the concave / convex pattern 20sb constituting the address pattern or burst pattern. Is also defined in the same way. For the burst pattern, the ratio of the unit concave portion length to the unit convex portion length in a region where a plurality of rectangular concave portions 22s, 22s... Are arranged across the convex portion 21s along the rotation direction of the magnetic disk 10b. It is defined to satisfy the above conditions. 15 and 16 schematically show a preamble pattern and a burst pattern in the servo pattern, and for easy understanding, the convex portions 21s, 21s,. The length of 22 s... Is shown only by the unit convex part length and unit concave part length of the servo pattern. Therefore, in the actual magnetic disk 10b, the number of convex portions 21s, 21s... And the number of concave portions 22s, 22s. Corresponding to various control data including information (pattern) such as sector address, the number, the forming position and the length of the convex portions 21s and the concave portions 22s are defined, and the concave / convex pattern 20sb is formed. In this case, the actual length of the convex portion 21s and the concave portion 22s is an integral multiple of the length of the convex portion 21s and the concave portion 22s (unit convex portion length and unit concave portion length).

この磁気ディスク１０ｂの製造に際しては、前述した中間体３０と、スタンパー３５ｂ（図８参照）とを使用する。この場合、スタンパー３５ｂは、本発明に係る情報記録媒体製造用のスタンパーの他の一例であって、磁気ディスク１０ｂにおける凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ，２０ｓｂ）とは凹凸位置関係が反転している凹凸パターン３９が形成されて、インプリント法による磁気ディスク１０ｂの製造が可能に構成されている。具体的には、スタンパー３５ｂの凹凸パターン３９は、凸部３９ａ，３９ａ・・が磁気ディスク１０ｂの凹凸パターン２０における凹部２２，２２・・に対応し、凹部３９ｂ，３９ｂ・・が凹凸パターン２０における凸部２１，２１・・に対応して形成されている。したがって、このスタンパー３５ｂでは、凸部３９ａの回転方向に沿った長さが磁気ディスク１０ｂの凹凸パターン２０における凹部２２の回転方向に沿った長さとほぼ等しく、かつ凹部３９ｂの回転方向に沿った長さが凹凸パターン２０における凸部２１の回転方向に沿った長さとほぼ等しくなっている。   In manufacturing the magnetic disk 10b, the above-described intermediate 30 and the stamper 35b (see FIG. 8) are used. In this case, the stamper 35b is another example of the stamper for manufacturing the information recording medium according to the present invention, and the concavo-convex positional relationship is reversed with the concavo-convex pattern 20 (the concavo-convex patterns 20t and 20sb) on the magnetic disk 10b. The concave / convex pattern 39 is formed, and the magnetic disk 10b can be manufactured by the imprint method. Specifically, in the uneven pattern 39 of the stamper 35b, the protrusions 39a, 39a,... Correspond to the recesses 22, 22, .. in the uneven pattern 20 of the magnetic disk 10b, and the recesses 39b, 39b,. .. Are formed corresponding to the convex portions 21, 21. Therefore, in this stamper 35b, the length along the rotational direction of the convex portion 39a is substantially equal to the length along the rotational direction of the concave portion 22 in the concave-convex pattern 20 of the magnetic disk 10b, and the length along the rotational direction of the concave portion 39b. Is substantially equal to the length along the rotation direction of the convex portion 21 in the concave / convex pattern 20.

また、このスタンパー３５ｂを用いて製造する磁気ディスク１０ｂでは、環状領域Ａｂにおける内周側の凹部２２ｓｉ，２２ｓｉ・・の長さＬ７ｉと、環状領域Ａｂにおける外周側の凹部２２ｓｏ，２２ｓｏ・・の長さＬ７ｏとが等しい長さ（例えば、環状領域Ａ１ｂでは、２２０ｎｍ）となるように形成されている。したがって、このスタンパー３５ｂには、磁気ディスク１０ｂにおけるサーボパターン領域Ａｓｂに対応する全域において、回転方向に沿った長さが長さＬ７ｉ，Ｌ７ｏを大きく超える凸部３９ａが存在しないように（凸部３９ａの長さが長さＬ７ｉ，Ｌ７ｏとほぼ等しくなるように）凹部３９ｂ，３９ｂ・・が形成されている。この結果、磁気ディスク１０ｂの製造時に凸部３９ａ，３９ａ・・が中間体３０の樹脂層１８にスムーズに押し込まれる。したがって、スタンパー３５ｂにおける凸部３９ａの先端部と中間体３０のマスク層１７との間に厚手の残渣が生じることなく、スタンパー３５ｂの凸部３９ａ，３９ａ・・が十分に奥深くまで中間体３０の樹脂層１８に押し込まれる。これにより、中間体３０における各環状領域Ａｂに対応する領域内においてマスク層１７の上に生じるの残渣の厚みがほぼ均一となる。この結果、前述した磁気ディスク１０ａと同様にして、樹脂層１８に転写された凹凸パターン４１における凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に拡がる事態が回避されて、凹凸パターン２０ｓｂを高精度で形成することが可能となっている。   Further, in the magnetic disk 10b manufactured using this stamper 35b, the length L7i of the inner circumferential recesses 22si, 22si,... In the annular region Ab and the length of the outer recesses 22so, 22so,. The length L7o is equal to the length (for example, 220 nm in the annular region A1b). Accordingly, in this stamper 35b, there is no protrusion 39a whose length along the rotation direction greatly exceeds the lengths L7i and L7o in the entire area corresponding to the servo pattern area Asb in the magnetic disk 10b (the protrusion 39a). Are formed so as to be substantially equal to the lengths L7i, L7o). As a result, the convex portions 39a, 39a,... Are smoothly pushed into the resin layer 18 of the intermediate body 30 when the magnetic disk 10b is manufactured. Therefore, thick residues do not occur between the tip of the convex portion 39a of the stamper 35b and the mask layer 17 of the intermediate body 30, and the convex portions 39a, 39a,. It is pushed into the resin layer 18. Thereby, the thickness of the residue generated on the mask layer 17 in the region corresponding to each annular region Ab in the intermediate 30 becomes substantially uniform. As a result, in the same manner as the magnetic disk 10a described above, the concave and convex patterns 41b, 41b,... In the concave and convex pattern 41 transferred to the resin layer 18 are avoided from being excessively expanded, and the concave and convex pattern 20sb is formed with high accuracy. Is possible.

さらに、このスタンパー３５ｂでは、各凸部３９ａ，３９ａ・・の回転方向に沿った長さが各環状領域Ａｂに対応する領域内において等しい長さとなっているため、凸部３９ａ，３９ａ・・の押し込みによって凹部３９ｂ，３９ｂ・・内に向けて移動する樹脂材料（中間体３０の樹脂層１８を構成する材料）の移動量が各環状領域Ａｂに対応する領域内において均一となる。また、このスタンパー３５ｂを用いて製造する磁気ディスク１０ｂでは、凸部２１ｓ（凸部２１ｓｉ，２１ｓｏ）の長さが各環状領域Ａｂ内において等しい長さとなるように規定されている。したがって、このスタンパー３５ｂでは、磁気ディスク１０ｂにおける各環状領域Ａｂに対応する領域毎に回転方向に沿った長さが長さＬ６ｉ，Ｌ６ｏを大きく超える凹部３９ｂが存在しないように（凹部３９ｂの長さが長さＬ６ｉ，Ｌ６ｏとほぼ等しくなるように）凸部３９ａ，３９ａ・・が形成されている。この結果、凸部３９ａの押し込みによって凹部３９ｂ内に移動させられた樹脂材料の高さ、すなわち、凸部４１ａの高さが各環状領域Ａｂに対応する領域毎にそれぞれ均一となる。これにより、凹凸パターン２０ｓｂを高精度で形成することが可能となっている。   Further, in this stamper 35b, the lengths of the convex portions 39a, 39a,... Along the rotation direction are equal in the region corresponding to each annular region Ab, so that the convex portions 39a, 39a,. The amount of movement of the resin material (the material constituting the resin layer 18 of the intermediate body 30) that moves toward the recesses 39b, 39b,... By pressing is uniform in the region corresponding to each annular region Ab. Further, in the magnetic disk 10b manufactured using this stamper 35b, the length of the convex portion 21s (the convex portions 21si, 21so) is defined to be equal in each annular region Ab. Therefore, in this stamper 35b, there is no recess 39b whose length along the rotation direction greatly exceeds the lengths L6i and L6o for each region corresponding to each annular region Ab in the magnetic disk 10b (the length of the recess 39b). Are formed to be substantially equal to the lengths L6i, L6o). As a result, the height of the resin material moved into the concave portion 39b by the pressing of the convex portion 39a, that is, the height of the convex portion 41a becomes uniform for each region corresponding to each annular region Ab. As a result, the concave / convex pattern 20sb can be formed with high accuracy.

一方、この磁気ディスク１０ｂでは、前述したように、サーボパターン領域Ａｓｂの凹凸パターン２０ｓｂにおける回転方向に沿った凸部２１ｓの長さと凹部２２ｓの長さとの合計長（長さＬ８ｉ，Ｌ８ｏ）が環状領域Ａｂにおける環状領域Ａｂの内周側から外周側までの全域に亘って等しくなるように各凸部２１ｓ，２１ｓ・・および各凹部２２ｓ，２２ｓ・・が形成されている。したがって、図１４に示すように、例えば環状領域Ａ２ｂにおける内周側サーボパターン領域Ａｓｂｉ（内周側の凹凸パターン２０ｓｂ）の回転方向に沿った長さＬ５２と、外周側サーボパターン領域Ａｓｂｏ（外周側の凹凸パターン２０ｓｂ）の回転方向に沿った長さＬ５２とが等しくなっている。このため、この磁気ディスク１０ｂでは、トラックパターン領域Ａｔの回転方向に沿った長さが環状領域Ａｂの内周側から外周側に向けて徐々に長くなっている。具体的には、内周側トラックパターン領域Ａｔｉ（内周側の凹凸パターン２０ｔ）の回転方向に沿った長さよりも、外周側トラックパターン領域Ａｔｏ（外周側の凹凸パターン２０ｔ）の回転方向に沿った長さの方が長くなっている。したがって、従来の磁気ディスク１０ｘと比較して、環状領域Ａｂの外周側において凸部２１ｔの長さが長くなっている分だけ、記録データの記録可能容量が増加している。   On the other hand, in the magnetic disk 10b, as described above, the total length (length L8i, L8o) of the length of the convex portion 21s and the length of the concave portion 22s along the rotation direction in the concave / convex pattern 20sb of the servo pattern region Asb is annular. The convex portions 21s, 21s,... And the concave portions 22s, 22s,... Are formed so as to be equal over the entire region from the inner peripheral side to the outer peripheral side of the annular region Ab in the region Ab. Therefore, as shown in FIG. 14, for example, the length L52 along the rotation direction of the inner servo pattern area Asbi (inner peripheral uneven pattern 20sb) in the annular area A2b and the outer servo pattern area Asbo (outer peripheral side). Of the concave / convex pattern 20sb) is equal to the length L52 along the rotation direction. For this reason, in the magnetic disk 10b, the length of the track pattern region At along the rotation direction is gradually increased from the inner peripheral side to the outer peripheral side of the annular region Ab. Specifically, the outer track side track pattern region Ato (outer peripheral side uneven pattern 20t) is more along the rotational direction than the length along the rotational direction of the inner peripheral side track pattern region Ati (inner peripheral side uneven pattern 20t). The length is longer. Therefore, as compared with the conventional magnetic disk 10x, the recordable capacity of the recording data is increased by the length of the convex portion 21t on the outer peripheral side of the annular region Ab.

この場合、この磁気ディスク１０ｂでは、回転方向に沿ったサーボパターン領域Ａｓｂの長さが各環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において等しくなるように凹凸パターン２０ｓｂが形成されている。このため、磁気ディスク１０ｂを角速度一定の回転速度で定速回転させたときには、磁気ヘッド３の下方をサーボパターン領域Ａｓｂが通過させられる時間が環状領域Ａｂの内周側よりも環状領域Ａｂの外周側ほど短時間となる。したがって、この磁気ディスク１０ｂを搭載したハードディスクドライブ１ｂ（図１参照）では、前述した磁気ディスク１０ａを搭載したハードディスクドライブ１とは異なり、ＲＯＭ９が、読み出し周波数情報についてのクロックデータＤｃｌを各環状領域Ａｂ内における磁気ヘッド３の移動位置（環状領域Ａｂ内における中心Ｏからの距離）に関連付けて記憶している。また、制御部８は、クロックデータＤｃｌに基づき、一例として、各環状領域Ａｂ内において、凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａｂの内周側よりも環状領域Ａｂの外周側ほど波長が短くなるように読み出し周波数情報の周波数を直線的に変化させて検出用クロック出力部５に出力する。したがって、磁気ディスク１０ｂを角速度一定の条件で回転させつつサーボパターン領域Ａｓｂからサーボパターン（サーボデータ）を確実に読み出すことができる。   In this case, in the magnetic disk 10b, the concave / convex pattern 20sb is formed so that the length of the servo pattern area Asb along the rotation direction is equal in the entire area from the inner circumference side to the outer circumference side in each annular area Ab. . For this reason, when the magnetic disk 10b is rotated at a constant rotational speed at a constant angular velocity, the time during which the servo pattern region Asb passes below the magnetic head 3 is longer than the inner periphery of the annular region Ab. The shorter the side. Accordingly, in the hard disk drive 1b (see FIG. 1) on which the magnetic disk 10b is mounted, unlike the hard disk drive 1 on which the magnetic disk 10a is mounted, the ROM 9 stores the clock data Dcl for the read frequency information in each annular area Ab. Is stored in association with the moving position of the magnetic head 3 (the distance from the center O in the annular region Ab). Further, the control unit 8, based on the clock data Dcl, as an example, in each annular region Ab, the outer periphery of the annular region Ab is more proportional to the distance from the center O of the uneven pattern 20 t than the inner periphery side of the annular region Ab. The frequency of the read frequency information is linearly changed so that the wavelength becomes shorter toward the side and output to the detection clock output unit 5. Therefore, the servo pattern (servo data) can be reliably read from the servo pattern area Asb while rotating the magnetic disk 10b under the condition of a constant angular velocity.

このように、この磁気ディスク１０ｂおよびハードディスクドライブ１ｂによれば、各環状領域Ａｂ内における単位凹部長の平均長を中心Ｏから環状領域Ａｂまでの距離で除した値が内周側の環状領域Ａｂよりも外周側の環状領域Ａｂほど小さくなるように各環状領域Ａｂ毎に単位凹部長を規定してサーボパターンを構成する凹凸パターン２０ｓｂを構成したことにより、単位凹部長が内周側から外周側に向けて徐々に長くなるように凹凸パターンが形成されている従来の磁気ディスク１０ｘと比較して、外周側の環状領域Ａｂにおける単位凹部長を十分に短くすることができる。したがって、この磁気ディスク１０ｂを製造するためのスタンパー３５ｂにおいて磁気ディスク１０ｂの各凹部２２ｓ，２２ｓ・・に対応する凸部３９ａ，３９ａ・・の回転方向に沿った長さを十分に短くすることができるため、インプリント処理時に、スタンパー３５ｂにおける凸部３９ａの先端部と中間体３０のマスク層１７との間に厚手の残渣を生じさせることなく、スタンパー３５ｂの凸部３９ａ，３９ａ・・を十分に奥深くまで中間体３０の樹脂層１８に押し込むことができる。この結果、残渣の厚みが内周側の環状領域Ａｂに対応する部位と外周側の環状領域Ａｂに対応する部位とで大きく相違することなくほぼ同様の厚みとなるため、残渣の取り除き処理時に内周側の環状領域Ａｂに対応する部位の凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に拡がる事態が回避される。したがって、凹凸パターン４１における凹部４１ｂ，４１ｂ・・の部位に最終的に形成される凹部２２ｓｉ，２２ｓｉ・・が過剰に拡がる事態が回避されて凹凸パターン２０ｓｂを高精度で形成することができる。このため、サーボパターン領域Ａｓｂの全域において磁気的信号の確実な読み取りが可能なサーボパターン（凹凸パターン２０ｓｂ）を有する磁気ディスク１０ｂ、およびその磁気ディスク１０ｂを備えたハードディスクドライブ１ｂを提供することができる。   As described above, according to the magnetic disk 10b and the hard disk drive 1b, the value obtained by dividing the average length of the unit recess length in each annular region Ab by the distance from the center O to the annular region Ab is the inner annular region Ab. By forming the concave / convex pattern 20sb constituting the servo pattern by defining the unit concave portion length for each annular region Ab so that the annular region Ab on the outer peripheral side becomes smaller, the unit concave portion length is changed from the inner peripheral side to the outer peripheral side. Compared with the conventional magnetic disk 10x in which the concavo-convex pattern is formed so as to gradually become longer, the unit recess length in the annular region Ab on the outer peripheral side can be sufficiently shortened. Therefore, in the stamper 35b for manufacturing the magnetic disk 10b, the length along the rotation direction of the convex portions 39a, 39a,... Corresponding to the concave portions 22s, 22s,. Therefore, during the imprint process, the protrusions 39a, 39a,... Of the stamper 35b are sufficiently formed without causing a thick residue between the tip of the protrusion 39a in the stamper 35b and the mask layer 17 of the intermediate 30. Can be pushed deeply into the resin layer 18 of the intermediate 30. As a result, the thickness of the residue is not substantially different between the portion corresponding to the annular region Ab on the inner peripheral side and the portion corresponding to the annular region Ab on the outer peripheral side. A situation in which the concave portions 41b, 41b,. Therefore, a situation in which the concave portions 22si, 22si,... Finally formed in the concave portions 41b, 41b,... In the concave / convex pattern 41 are avoided is avoided, and the concave / convex pattern 20sb can be formed with high accuracy. Therefore, it is possible to provide a magnetic disk 10b having a servo pattern (uneven pattern 20sb) capable of reliably reading a magnetic signal in the entire servo pattern area Asb, and a hard disk drive 1b including the magnetic disk 10b. .

この場合、単位凹部長の平均長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏから環状領域Ａｂまでの距離で除した値が外周側の環状領域Ａｂよりも内周側の環状領域Ａｂほど大きくなるように各環状領域Ａｂ毎に単位凹部長が規定されているため、内周側の環状領域Ａｂにおいても単位凹部長が過度に短くなる事態が回避されている。したがって、凹部の形成処理（マスク層１７や磁性層１４に対するエッチング処理等）が困難となる事態を回避することができる結果、サーボパターン領域Ａｓｂの全域において凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。   In this case, each annular shape is such that the value obtained by dividing the average length of the unit recess length by the distance from the center O of the concavo-convex pattern 20t to the annular region Ab is larger in the annular region Ab on the inner circumferential side than in the annular region Ab on the outer circumferential side. Since the unit recess length is defined for each region Ab, a situation in which the unit recess length is excessively shortened in the annular region Ab on the inner peripheral side is avoided. Therefore, it is possible to avoid a situation where the formation process of the recesses (such as an etching process for the mask layer 17 and the magnetic layer 14) becomes difficult. As a result, the recesses 22s, 22s,. can do.

また、この磁気ディスク１０ｂおよびハードディスクドライブ１ｂによれば、単位凹部長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離で除した値が環状領域Ａｂ内においてその内周側からその外周側に向かうほど小さくなるように単位凹部長を規定して凹凸パターン２０ｓｂ（サーボパターン）を形成したことにより、各環状領域Ａｂ内における外周側の単位凹部長を十分に短くすることができる。したがって、この磁気ディスク１０ｂを製造するためのスタンパー３５ｂにおいて各環状領域Ａｂの外周側に対応する部位に過剰に長い凸部３９ａ，３９ａ・・が存在しないため、スタンパー３５ｂの凸部３９ａ，３９ａ・・を中間体３０の樹脂層１８に一層スムーズに押し込むことができる。また、単位凹部長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離で除した値が各環状領域Ａｂの外周側から各環状領域Ａｂの内周側に向かうほど大きくなるように単位凹部長が規定されているため、環状領域Ａｂの内周側においても単位凹部長が過度に短くなる事態が回避されている。したがって、製造時における凹部の形成処理（マスク層１７や磁性層１４に対するエッチング処理等）が困難となる事態を回避することがきる。   Further, according to the magnetic disk 10b and the hard disk drive 1b, the value obtained by dividing the unit recess length by the distance from the center O of the concavo-convex pattern 20t becomes smaller in the annular region Ab from the inner peripheral side toward the outer peripheral side. Thus, by defining the unit recess length and forming the concave / convex pattern 20sb (servo pattern), the unit recess length on the outer peripheral side in each annular region Ab can be sufficiently shortened. Accordingly, in the stamper 35b for manufacturing the magnetic disk 10b, there are no excessively long convex portions 39a, 39a,... At the portion corresponding to the outer peripheral side of each annular region Ab, so that the convex portions 39a, 39a,. Can be more smoothly pushed into the resin layer 18 of the intermediate 30. Further, the unit recess length is defined such that the value obtained by dividing the unit recess length by the distance from the center O of the uneven pattern 20t increases from the outer peripheral side of each annular region Ab toward the inner peripheral side of each annular region Ab. Therefore, a situation in which the unit recess length becomes excessively short also on the inner peripheral side of the annular region Ab is avoided. Therefore, it is possible to avoid a situation in which the formation process of the recesses during the manufacturing (such as an etching process for the mask layer 17 and the magnetic layer 14) becomes difficult.

さらに、この磁気ディスク１０ｂおよびハードディスクドライブ１ｂによれば、単位凸部長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離で除した値が環状領域Ａｂ内においてその内周側からその外周側に向かうほど小さくなるように単位凸部長を規定して凹凸パターン２０ｓｂ（サーボパターン）を形成したことにより、回転方向に沿った単位凸部長が中心Ｏからの距離に比例して長くなるように（単位凸部長を中心Ｏからの距離で除した値が内周側から外周側までの全域に亘って等しくなるように）凹凸パターンが形成されている従来の磁気ディスク１０ｘと比較して、環状領域Ａｂ内における外周側の単位凸部長を十分に短くすることができる。したがって、この磁気ディスク１０ｂを製造するためのスタンパー３５ｂにおいて環状領域Ａｂ内における外周側の各凸部２１ｓ，２１ｓ・・に対応する各凹部３９ｂ，３９ｂ・・の回転方向に沿った長さを十分に短くすることができるため、インプリント処理時に、スタンパー３５ｂにおける凸部３９ａの押し込みによって凹部３９ｂ内に移動させられた樹脂材料によって十分な高さの凸部４１ａ（十分な厚みのマスク）を形成することができる。この結果、十分な厚みのマスク（十分な高さの凸部４１ａ）を用いて凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。   Further, according to the magnetic disk 10b and the hard disk drive 1b, the value obtained by dividing the unit convex portion length by the distance from the center O of the concave / convex pattern 20t decreases in the annular region Ab from the inner peripheral side toward the outer peripheral side. By defining the unit convex portion length and forming the concave / convex pattern 20sb (servo pattern), the unit convex portion length along the rotation direction becomes longer in proportion to the distance from the center O (the unit convex portion length is the center). Compared to the conventional magnetic disk 10x on which the concavo-convex pattern is formed (so that the value divided by the distance from O is equal over the entire region from the inner peripheral side to the outer peripheral side), the outer peripheral side in the annular region Ab It is possible to sufficiently shorten the unit convex portion length. Therefore, in the stamper 35b for manufacturing the magnetic disk 10b, the length along the rotation direction of the concave portions 39b, 39b,... Corresponding to the convex portions 21s, 21s,. In the imprint process, a sufficiently high convex portion 41a (sufficient thickness mask) is formed by the resin material moved into the concave portion 39b by pressing the convex portion 39a in the stamper 35b. can do. As a result, the concave portions 22s, 22s,... Can be formed with high accuracy using a sufficiently thick mask (a sufficiently high convex portion 41a).

また、この磁気ディスク１０ｂおよびハードディスクドライブ１ｂによれば、単位凹部長が環状領域Ａｂにおける内周側から外周側までの全域において等しい長さとなるように規定して凹凸パターン２０ｓｂ（サーボパターン）を形成したことにより、インプリント処理時に凹部２２ｓに対応する部位に形成される残渣の厚みを各環状領域Ａｂの内周側から外周側の全域において均一にすることができる。したがって、同一の環状領域Ａｂ内における各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さ（単位凹部長）にばらつきが生じる事態を回避して均一にすることができる。また、各環状領域Ａｂ内の内周側から外周側までの全域において単位凹部長が等しくなるように規定したことにより、製造時における凹部の形成処理（マスク層１７や磁性層１４に対するエッチング処理等）が容易となる結果、サーボパターン領域Ａｓｂの全域において凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。   Further, according to the magnetic disk 10b and the hard disk drive 1b, the concave / convex pattern 20sb (servo pattern) is formed by defining the unit recess length to be the same length in the entire region from the inner peripheral side to the outer peripheral side in the annular region Ab. As a result, the thickness of the residue formed in the portion corresponding to the recess 22s during the imprint process can be made uniform from the inner peripheral side to the outer peripheral side of each annular region Ab. Therefore, it is possible to avoid the occurrence of variations in the lengths (unit recess lengths) of the recesses 22s, 22s,. Further, by defining the unit recess length to be equal throughout the entire area from the inner periphery side to the outer periphery side in each annular region Ab, a recess formation process (such as an etching process for the mask layer 17 and the magnetic layer 14) during manufacturing. As a result, the recesses 22s, 22s,... Can be formed with high accuracy over the entire servo pattern region Asb.

さらに、この磁気ディスク１０ｂおよびハードディスクドライブ１ｂによれば、単位凸部長が環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において等しい長さとなるように規定して凹凸パターン２０ｓｂ（サーボパターン）を形成したことにより、この磁気ディスク１０ｂを製造するためのスタンパー３５ｂにおいて磁気ディスク１０ｂの各凸部２１ｓ，２１ｓ・・に対応する凹部３９ｂ，３９ｂ・・の回転方向に沿った長さを各環状領域Ａｂ内の内周側に対応する部位から外周側に対応する部位まで均一にすることができるため、インプリント処理時に、スタンパー３５ｂにおける凸部３９ａの押し込みによって凹部３９ｂ内に移動させられた樹脂材料によって形成される凸部４１ａ（マスクとして機能する樹脂材料）の高さを各環状領域Ａｂに対応する領域毎に内周側から外周側まで均一にすることができる。この結果、均一な厚みのマスク（均一な高さの凸部４１ａ）を用いて凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。   Further, according to the magnetic disk 10b and the hard disk drive 1b, the concave / convex pattern 20sb (servo pattern) is defined by defining the unit convex portion length to be the same length in the entire region from the inner peripheral side to the outer peripheral side in the annular region Ab. In the stamper 35b for manufacturing the magnetic disk 10b, the lengths of the recesses 39b, 39b,... Corresponding to the protrusions 21s, 21s,. Since it can be made uniform from the portion corresponding to the inner peripheral side in Ab to the portion corresponding to the outer peripheral side, the resin material moved into the concave portion 39b by the pressing of the convex portion 39a in the stamper 35b during the imprint process The height of the convex portion 41a (resin material functioning as a mask) formed by From the inner circumferential side in each region corresponding to Jo region Ab to the outer periphery can be made uniform. As a result, the concave portions 22s, 22s,... Can be formed with high accuracy using a mask having a uniform thickness (the convex portion 41a having a uniform height).

また、この磁気ディスク１０ｂを搭載したハードディスクドライブ１ｂによれば、凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に応じて予め規定された読み出し周波数情報に基づいて制御部８がサーボデータ検出部６を制御して磁気ディスク１０ｂからサーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出すことにより、磁気ディスク１０ｂを角速度一定の条件で回転させつつサーボパターン（サーボデータ）を確実に読み出すことができる。   Further, according to the hard disk drive 1b equipped with the magnetic disk 10b, the control unit 8 controls the servo data detection unit 6 based on the read frequency information defined in advance according to the distance from the center O of the uneven pattern 20t. By reading the servo data associated with the servo pattern from the magnetic disk 10b, it is possible to reliably read the servo pattern (servo data) while rotating the magnetic disk 10b under a constant angular velocity.

また、この磁気ディスク１０ｂを製造するためのスタンパー３５ｂによれば、磁気ディスク１０ｂにおける凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ，２０ｓｂ）の凹部２２，２２・・に対応して形成された凸部３９ａ，３９ａ・・と、磁気ディスク１０ｂにおける凹凸パターン２０の凸部２１，２１・・に対応して形成された凹部３９ｂ，３９ｂ・・とを有する凹凸パターン３９を形成したことにより、磁気ディスク１０ｂの外周側に対応するスタンパー３５ｂの外周側領域に回転方向に沿った長さが過剰に長い凸部３９ａが存在しないため、中間体３０の樹脂層１８に対してスタンパー３５ｂの凹凸パターン３９（各凸部３９ａ，３９ａ・・）をスムーズに押し込むことができる。したがって、各凸部３９ａ，３９ａ・・の押し込み量の不足に起因する不都合（マスク層１７上に厚手の残渣が生じることに起因して各凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に拡がる事態）が生じる事態を回避することができる。これにより、サーボデータＤｓの確実な読み取りが可能な磁気ディスク１０ｂを製造することができる。また、回転方向に沿った長さが過剰に長い凹部３９ｂがスタンパー３５ｂに存在しないため、インプリント処理時に凸部３９ａ，３９ａ・・の押し込みによって凹部３９ｂ，３９ｂ・・内に移動させられる樹脂材料によって、十分に高い凸部４１ａ，４１ａ・・を樹脂層１８に形成する（十分に厚い樹脂マスクを形成する）ことができる。   Further, according to the stamper 35b for manufacturing the magnetic disk 10b, the convex portions 39a, 39a formed corresponding to the concave portions 22, 22,... Of the concave / convex pattern 20 (the concave / convex patterns 20t, 20sb) in the magnetic disk 10b. .. And the concave / convex pattern 39 having the concave portions 39b, 39b ·· formed corresponding to the convex portions 21, 21 ·· of the concave / convex pattern 20 on the magnetic disk 10b, thereby forming the outer peripheral side of the magnetic disk 10b. The protrusions 39a that are excessively long in the rotational direction do not exist in the outer peripheral side region of the stamper 35b corresponding to the stamper 35b, so that the uneven pattern 39 of the stamper 35b (each protrusion 39a , 39a ..) can be pushed in smoothly. Therefore, inconvenience due to insufficient pushing amount of the convex portions 39a, 39a,... (A situation where the concave portions 41b, 41b,... Excessively expand due to the occurrence of thick residues on the mask layer 17) occurs. The situation can be avoided. Thereby, the magnetic disk 10b which can read the servo data Ds reliably can be manufactured. In addition, since the concave portion 39b having an excessively long length in the rotation direction does not exist in the stamper 35b, the resin material that is moved into the concave portions 39b, 39b,... By pressing the convex portions 39a, 39a,. Thus, sufficiently high convex portions 41a, 41a,... Can be formed in the resin layer 18 (a sufficiently thick resin mask is formed).

続いて、本発明における情報記録媒体のさらに他の一例である磁気ディスク１０ｃについて、図面を参照して説明する。なお、磁気ディスク１０ａ，１０ｂと共通の構成要素、およびハードディスクドライブ１における磁気ディスク１０ａを除く構成要素については、共通の符号を付して重複する説明を省略する。また、この磁気ディスク１０ｃの製造方法については、前述した磁気ディスク１０ａ，１０ｂの製造方法と同様であるため、重複する製造工程についての説明を省略する。   Next, a magnetic disk 10c, which is still another example of the information recording medium in the present invention, will be described with reference to the drawings. The constituent elements common to the magnetic disks 10a and 10b and the constituent elements other than the magnetic disk 10a in the hard disk drive 1 are denoted by the same reference numerals and redundant description is omitted. Further, the manufacturing method of the magnetic disk 10c is the same as the manufacturing method of the magnetic disks 10a and 10b described above, and thus the description of the overlapping manufacturing process is omitted.

図１７に示す磁気ディスク１０ｃでは、前述した磁気ディスク１０ａ，１０ｂと同様にして、磁気ディスク１０ｃの内周側から外周側までが凹凸パターン２０ｔの中心Ｏ（図示せず）を中心とする同心円状の（すなわち、凹凸パターン２０ｔと同心の）４つの環状領域Ａ１ｃ〜Ａ４ｃ（本発明における複数の環状領域の一例：以下、区別しないときには、環状領域Ａｃともいう）に区分けされて凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ，２０ｓｃ）が形成されている。なお、同図では環状領域Ａ２ｃを中心として環状領域Ａ１ｃ〜Ａ３ｃの３つの領域のみを図示している。また、この磁気ディスク１０ｃでは、磁気ディスク１０ａにおけるサーボパターン領域Ａｓａに代えて、トラックパターン領域Ａｔ，Ａｔ・・の間にサーボパターン領域Ａｓｃ，Ａｓｃ・・が設けられてトラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓｃが磁気ディスク１０ｃの回転方向（矢印Ｒの向き）において交互に並ぶように規定されている。   In the magnetic disk 10c shown in FIG. 17, in the same manner as the magnetic disks 10a and 10b described above, the inner side to the outer side of the magnetic disk 10c are concentric with the center O (not shown) of the concavo-convex pattern 20t as the center. (That is, concentric with the concavo-convex pattern 20t) are divided into four annular regions A1c to A4c (an example of a plurality of annular regions in the present invention: hereinafter, also referred to as annular region Ac when not distinguished). Patterns 20t and 20sc) are formed. In the figure, only three regions of the annular regions A1c to A3c are illustrated with the annular region A2c as the center. Further, in this magnetic disk 10c, servo pattern areas Asc, Asc,... Are provided between the track pattern areas At, At,. The areas Asc are defined so as to be alternately arranged in the rotation direction of the magnetic disk 10c (the direction of the arrow R).

また、図１８，１９に示すように、サーボパターン領域Ａｓｃ（環状領域Ａｃ内における内周側の内周側サーボパターン領域Ａｓｃｉ、および環状領域Ａｃ内における外周側の外周側サーボパターン領域Ａｓｃｏ）には、磁気ディスク１０ａにおける凹凸パターン２０ｓａに代えてサーボパターンとしての凹凸パターン２０ｓｃが形成されている。この場合、凹凸パターン２０ｓｃは、凹凸パターン２０ｓａ，２０ｓｂと同様にして、プリアンブルパターン、アドレスパターンおよびバーストパターンなどの各種サーボパターンを構成する凸部２１ｓ，２１ｓ（凸部２１ｓｉおよび凸部２１ｓｏ）・・並びに凹部２２ｓ，２２ｓ・・（凹部２２ｓｉおよび凹部２２ｓｏ）で構成されている。また、この磁気ディスク１０ｃでは、回転方向（各図における矢印Ｒの向き）に沿った凹部２２ｓの長さが凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａｃ内においてその内周側からその外周側に向かうほど長くなるように規定されて各凹部２２ｓ，２２ｓ・・が形成されている。同様にして、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さについても、凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａｃ内においてその内周側からその外周側に向かうほど長くなるように規定されて各凸部２１ｓ，２１ｓ・・が形成されている。このため、この磁気ディスク１０ｃでは、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さと凹部２２ｓの長さとの合計長（すなわち、凸部２１ｓおよび凹部２２ｓの形成ピッチ）が凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａｃ内においてその内周側からその外周側に向かうほど長くなるように規定されている。   Further, as shown in FIGS. 18 and 19, the servo pattern region Asc (the inner peripheral servo pattern region Asci on the inner peripheral side in the annular region Ac and the outer peripheral servo pattern region Asco on the outer peripheral side in the annular region Ac). Are formed with a concave / convex pattern 20sc as a servo pattern instead of the concave / convex pattern 20sa in the magnetic disk 10a. In this case, the concavo-convex pattern 20sc is similar to the concavo-convex patterns 20sa and 20sb, and includes convex portions 21s and 21s (convex portions 21si and convex portions 21so) constituting various servo patterns such as a preamble pattern, an address pattern, and a burst pattern. And recesses 22s, 22s... (A recess 22si and a recess 22so). Further, in this magnetic disk 10c, the length of the concave portion 22s along the rotation direction (the direction of the arrow R in each figure) is proportional to the distance from the center O of the concave / convex pattern 20t within the annular region Ac. The recesses 22s, 22s,... Are formed so as to become longer toward the outer peripheral side. Similarly, the length of the convex portion 21s along the rotation direction also increases in proportion to the distance from the center O of the concave / convex pattern 20t as it goes from the inner peripheral side to the outer peripheral side in the annular region Ac. The convex portions 21 s, 21 s... Are formed. Therefore, in this magnetic disk 10c, the total length of the length of the convex portion 21s and the length of the concave portion 22s along the rotation direction (that is, the formation pitch of the convex portion 21s and the concave portion 22s) is from the center O of the concave-convex pattern 20t. In the annular area Ac, the distance is defined so as to increase in proportion to the distance from the inner peripheral side toward the outer peripheral side.

具体的には、図１８に示すように、環状領域Ａｃにおける内周側の内周側領域Ａｉｃ（一例として、環状領域Ａ１ｃにおける中心Ｏからの距離が１１ｍｍの部位におけるプリアンブルパターンの形成領域）では、凸部２１ｓｉの長さＬ１１ｉ（一例として、２２０ｎｍ）と凹部２２ｓｉの長さＬ１２ｉ（一例として、２２０ｎｍ）との合計長である長さＬ１３ｉが４４０ｎｍとなるように規定されている。また、図１９に示すように、環状領域Ａｃにおける外周側の外周側領域Ａｏｃ（一例として、環状領域Ａ１ｃにおける中心Ｏからの距離が１６ｍｍの部位におけるプリアンブルパターンの形成領域）では、凸部２１ｓｏの長さＬ１１ｏ（一例として、３２０ｎｍ）と凹部２２ｓｏの長さＬ１２ｏ（一例として、３２０ｎｍ）との合計長である長さＬ１３ｏが６４０ｎｍとなるように規定されている。この結果、図１８，１９に示すように、この磁気ディスク１０ｃでは、環状領域Ａｃ内の内周側領域Ａｉｃにおける凹凸パターン２０ｓｃの凸部２１ｓｉの長さＬ１１ｉに対する凹部２２ｓｉの長さＬ１２ｉの比と、環状領域Ａｃ内の外周側領域Ａｏｃにおける凸部２１ｓｏの長さＬ１１ｏに対する凹部２２ｓｏの長さＬ１２ｏの比とが各環状領域Ａｃ内においてそれぞれ１となっている。   Specifically, as shown in FIG. 18, in the inner peripheral side region Aic on the inner peripheral side in the annular region Ac (as an example, the formation region of the preamble pattern in the region having a distance of 11 mm from the center O in the annular region A1c). The length L13i, which is the total length of the length L11i (for example, 220 nm) of the convex portion 21si and the length L12i (for example, 220 nm) of the concave portion 22si, is defined to be 440 nm. In addition, as shown in FIG. 19, in the outer peripheral side region Aoc on the outer peripheral side in the annular region Ac (for example, the formation region of the preamble pattern in the region having a distance of 16 mm from the center O in the annular region A1c), The length L13o, which is the total length of the length L11o (as an example, 320 nm) and the length L12o of the recess 22so (as an example, 320 nm), is defined to be 640 nm. As a result, as shown in FIGS. 18 and 19, in this magnetic disk 10c, the ratio of the length L12i of the concave portion 22si to the length L11i of the convex portion 21si of the concave / convex pattern 20sc in the inner peripheral region Aic in the annular region Ac The ratio of the length L12o of the concave portion 22so to the length L11o of the convex portion 21so in the outer peripheral side region Aoc in the annular region Ac is 1 in each annular region Ac.

この場合、各環状領域Ａｃ毎の凸部２１ｓの長さ（単位凸部長）に対する凹部２２ｓの長さ（単位凹部長）の比については、上記のプリアンブルパターンのみならず、アドレスパターンやバーストパターンを構成する凹凸パターン２０ｓｃについても同様に規定されている。また、バーストパターンについては、磁気ディスク１０ｃの回転方向に沿って複数の矩形状の凹部２２ｓ，２２ｓ・・が凸部２１ｓを挟んで並んでいる領域において、単位凸部長に対する単位凹部長の比が上記の条件を満たすように規定されている。なお、図１８，１９では、サーボパターンにおけるプリアンブルパターンおよびバーストパターンを模式的に図示しており、理解を容易にすべく、回転方向に沿った各凸部２１ｓ，２１ｓ・・や各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さをサーボパターンの単位凸部長および単位凹部長のみで図示している。したがって、実際の磁気ディスク１０ｃでは、凸部２１ｓ，２１ｓ・・や凹部２２ｓ，２２ｓ・・の数、形成位置および長さが各図に示す状態とは異なり、トラッキングサーボ制御に必要なトラックアドレスおよびセクターアドレス等の情報（パターン）を含む各種の制御用データに対応して、凸部２１ｓや凹部２２ｓのそれぞれの数、形成位置および長さが規定されて凹凸パターン２０ｓｃが形成されている。この場合、凸部２１ｓや凹部２２ｓの実際の長さは、凸部２１ｓや凹部２２ｓの長さ（単位凸部長および単位凹部長）の整数倍の長さとなる。   In this case, with respect to the ratio of the length of the concave portion 22s (unit concave portion length) to the length of the convex portion 21s (unit convex portion length) for each annular region Ac, not only the preamble pattern but also the address pattern and burst pattern are used. The concavo-convex pattern 20sc is defined similarly. For the burst pattern, the ratio of the unit concave portion length to the unit convex portion length in the region in which a plurality of rectangular concave portions 22s, 22s,... It is defined to satisfy the above conditions. 18 and 19, the preamble pattern and the burst pattern in the servo pattern are schematically shown. For easy understanding, the convex portions 21s, 21s,. The length of 22 s... Is shown only by the unit convex part length and unit concave part length of the servo pattern. Therefore, in the actual magnetic disk 10c, the number of convex portions 21s, 21s... And the number of concave portions 22s, 22s. Corresponding to various control data including information (pattern) such as a sector address, the number, formation position, and length of the convex portions 21s and the concave portions 22s are defined, and the concave / convex pattern 20sc is formed. In this case, the actual length of the convex portion 21s and the concave portion 22s is an integral multiple of the length of the convex portion 21s and the concave portion 22s (unit convex portion length and unit concave portion length).

また、この磁気ディスク１０ｃでは、各環状領域Ａｃ内における凹部２２ｓの平均長が各環状領域Ａ１ｃ〜Ａ４ｃの全領域において等しくなるように規定されている。したがって、各環状領域Ａｃ内の凹部２２ｓの平均長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏから環状領域Ａｃまでの距離（一例として、環状領域Ａｃにおける最内周の部位とする）で除した値が内周側の環状領域Ａ１ｃから外周側の環状領域Ａ４ｃに向かうほど小さくなっている。この場合、各環状領域Ａｃにおける回転方向に沿った内周側の長さについては、磁気ディスク１０ｃにおける外周側の環状領域Ａｃほど僅かに長くなっている。具体的には、例えば、環状領域Ａ２ｃにおける回転方向に沿った内周側の長さＬ９２ｉよりも、環状領域Ａ３ｃにおける回転方向に沿った内周側の長さＬ９３ｉの方が僅かに長くなっている。また、各環状領域Ａｃにおける回転方向に沿った外周側の長さについては、磁気ディスク１０ｃにおける外周側の環状領域Ａｃほど僅かに短くなっている。具体的には、例えば、環状領域Ａ２ｃにおける回転方向に沿った外周側の長さよりも、環状領域Ａ３ｃにおける回転方向に沿った外周側の長さの方が僅かに短くなっている。   In the magnetic disk 10c, the average length of the recess 22s in each annular area Ac is defined to be equal in all areas of the annular areas A1c to A4c. Therefore, the value obtained by dividing the average length of the recesses 22s in each annular region Ac by the distance from the center O of the uneven pattern 20t to the annular region Ac (as an example, the innermost part in the annular region Ac) is the inner circumference. It becomes smaller as it goes from the annular region A1c on the side toward the annular region A4c on the outer peripheral side. In this case, the length of the inner peripheral side along the rotation direction in each annular region Ac is slightly longer as the annular region Ac on the outer peripheral side in the magnetic disk 10c. Specifically, for example, the inner circumferential length L93i along the rotational direction in the annular region A3c is slightly longer than the inner circumferential length L92i along the rotational direction in the annular region A2c. Yes. Further, the length on the outer circumferential side along the rotation direction in each annular region Ac is slightly shorter as the annular region Ac on the outer circumferential side in the magnetic disk 10c. Specifically, for example, the outer peripheral length along the rotational direction in the annular region A3c is slightly shorter than the outer peripheral length along the rotational direction in the annular region A2c.

この磁気ディスク１０ｃの製造に際しては、前述した中間体３０と、スタンパー３５ｃ（図８参照）とを使用する。この場合、スタンパー３５ｃは、本発明に係る情報記録媒体製造用のスタンパーのさらに他の一例であって、磁気ディスク１０ｃにおける凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ，２０ｓｃ）とは凹凸位置関係が反転している凹凸パターン３９が形成されて、インプリント法による磁気ディスク１０ｃの製造が可能に構成されている。具体的には、スタンパー３５ｃの凹凸パターン３９は、凸部３９ａ，３９ａ・・が磁気ディスク１０ｃの凹凸パターン２０における凹部２２，２２・・に対応し、凹部３９ｂ，３９ｂ・・が凹凸パターン２０における凸部２１，２１・・に対応して形成されている。したがって、このスタンパー３５ｃでは、凸部３９ａの回転方向に沿った長さが磁気ディスク１０ｃの凹凸パターン２０における凹部２２の回転方向に沿った長さとほぼ等しく、かつ凹部３９ｂの回転方向に沿った長さが凹凸パターン２０における凸部２１の回転方向に沿った長さとほぼ等しくなっている。   In manufacturing the magnetic disk 10c, the intermediate 30 and the stamper 35c (see FIG. 8) described above are used. In this case, the stamper 35c is still another example of the stamper for manufacturing the information recording medium according to the present invention, and the concavo-convex positional relationship is reversed with the concavo-convex pattern 20 (the concavo-convex patterns 20t and 20sc) on the magnetic disk 10c. The concave / convex pattern 39 is formed so that the magnetic disk 10c can be manufactured by the imprint method. Specifically, in the concavo-convex pattern 39 of the stamper 35 c, the convex portions 39 a, 39 a,... Correspond to the concave portions 22, 22, etc. in the concavo-convex pattern 20 of the magnetic disk 10 c, and the concave portions 39 b, 39 b,. .. Are formed corresponding to the convex portions 21, 21. Therefore, in this stamper 35c, the length along the rotation direction of the convex portion 39a is substantially equal to the length along the rotation direction of the concave portion 22 in the concave-convex pattern 20 of the magnetic disk 10c, and the length along the rotational direction of the concave portion 39b. Is substantially equal to the length along the rotation direction of the convex portion 21 in the concave / convex pattern 20.

また、このスタンパー３５ｃを用いて製造する磁気ディスク１０ｃでは、上記のように各環状領域Ａｃ内における凹部２２ｓの平均長が各環状領域Ａ１ｃ〜Ａ４ｃの全領域において等しくなるように規定されている。したがって、このスタンパー３５ｃでは、各環状領域Ａｃに対応する領域内において各凹部２２ｓに対応する凸部３９ａ，３９ａ・・の平均長がスタンパー３５ｃの全域において等しくなっている。これにより、インプリント処理時にスタンパー３５ｃの全域に亘って凸部３９ａ，３９ａ・・を中間体３０の樹脂層１８に均一に押し込むことが可能となっている。この結果、マスク層１７上に生じる残渣の厚みを全域において均一にすることができるためため、凸部３９ａ，３９ａ・・を押し込んだ部位に最終的に形成される凹部２２ｓ，２２ｓ・・を各環状領域Ａ１ｃ〜Ａ４ｃの全領域に亘って高精度で形成することが可能となっている。   Further, in the magnetic disk 10c manufactured using this stamper 35c, as described above, the average length of the recess 22s in each annular area Ac is defined to be equal in all areas of the annular areas A1c to A4c. Therefore, in the stamper 35c, the average lengths of the convex portions 39a, 39a,... Corresponding to the concave portions 22s in the regions corresponding to the annular regions Ac are equal throughout the stamper 35c. Thus, the convex portions 39a, 39a,... Can be uniformly pushed into the resin layer 18 of the intermediate body 30 over the entire area of the stamper 35c during the imprint process. As a result, since the thickness of the residue generated on the mask layer 17 can be made uniform over the entire region, the concave portions 22s, 22s,... Finally formed in the portions into which the convex portions 39a, 39a,. It can be formed with high accuracy over the entire area of the annular areas A1c to A4c.

一方、この磁気ディスク１０ｃでは、前述したように、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さと凹部２２ｓの長さとの合計長（すなわち、凸部２１ｓおよび凹部２２ｓの形成ピッチ）が環状領域Ａｃ内において凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例してその内周側からその外周側に向かうほど長くなるように規定して凹凸パターン２０ｓｃ（サーボパターン）を形成したことにより、磁気ディスク１０ｃを角速度一定の条件で回転させつつサーボパターン領域ＡｓｃからサーボデータＤｓを読み出す際に使用されるクロックの基準となる周波数情報（読み出し周波数情報）を一つの環状領域Ａｃ内において変化させることなく、環境領域Ａｃにおける内周側から外周側までのサーボパターン領域ＡｓｃからサーボデータＤｓを確実に読み出す（検出する）ことができる。また、回転方向に沿った単位凸部長および単位凹部長が環状領域Ａｃ内において凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例してその内周側から外周側に向かうほど長くなるように規定して凹凸パターン２０ｓｃ（サーボパターン）が形成されているため、磁気ヘッド３の下方を単位凸部長の凸部２１ｓおよび単位凹部長の凹部２２ｓが通過させられる時間が環状領域Ａｃ内における内周側と外周側とで等しくなる。したがって、磁気ヘッド３が検出するサーボデータの単位凸部長および単位凹部長の信号形状を環状領域Ａｃ内における内周側から外周側までの全域において等しくすることができる。このため、より一層確実にサーボデータＤｓを読み出す（検出する）ことができる。   On the other hand, in this magnetic disk 10c, as described above, the total length of the length of the convex portion 21s and the length of the concave portion 22s along the rotation direction (that is, the formation pitch of the convex portion 21s and the concave portion 22s) is within the annular region Ac. In this example, the concave / convex pattern 20sc (servo pattern) is defined so as to increase in proportion to the distance from the center O of the concave / convex pattern 20t toward the outer peripheral side thereof, thereby forming the magnetic disk 10c at an angular velocity. Without changing the frequency information (reading frequency information) used as a reference of the clock used when reading the servo data Ds from the servo pattern area Asc while rotating under certain conditions, the environmental area Ac is not changed in one annular area Ac. Servo data Ds is reliably read from the servo pattern area Asc from the inner circumference side to the outer circumference side in Put out (to detect) can be. Further, the unit convex part length and the unit concave part length along the rotation direction are defined so as to increase in proportion to the distance from the center O of the concave / convex pattern 20t toward the outer peripheral side in the annular region Ac. Since the concave / convex pattern 20sc (servo pattern) is formed, the time during which the convex portion 21s having the unit convex portion length and the concave portion 22s having the unit concave portion length are allowed to pass below the magnetic head 3 is the inner peripheral side and the outer peripheral portion in the annular region Ac. Equal on the side. Therefore, the signal shape of the unit convex part length and the unit concave part length of the servo data detected by the magnetic head 3 can be made equal in the entire region from the inner peripheral side to the outer peripheral side in the annular region Ac. For this reason, the servo data Ds can be read (detected) more reliably.

このように、この磁気ディスク１０ｃでは、単位凹部長が環状領域Ａｃ内において凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａｃの内周側から外周側に向かうほど長くなり、かつ単位凸部長と単位凹部長の合計長が環状領域Ａｃ内において凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａｃの内周側から外周側に向かうほど長くなるように単位凸部長および単位凹部長を規定して凹凸パターン２０ｓｃ（サーボパターン）が形成されている。したがって、この磁気ディスク１０ｃおよびハードディスクドライブ１によれば、外周側の環状領域Ａｃにおいて凹部２２ｓの回転方向に沿った長さが過剰に長くなる事態を回避しつつ、１つの環状領域Ａｃ内において読み出し周波数情報の周波数を変化させることなく、サーボデータの読み取りができるため、例えば、環状領域Ａｃの内周側から外周側まで磁気ヘッド３をシーク動作させる際における読み出し周波数情報の周波数切替え処理を不要とすることができる。したがって、シーク動作を短時間で実行することができるため、データアクセスを高速に行うことができる。また、読み出し周波数情報として環状領域の数（この例では４つ）に対応する種類の周波数情報を出力できればよいため、簡易な構成の検出用クロック出力部５および制御部８によってトラッキングサーボを行うことができる。   As described above, in this magnetic disk 10c, the unit concave portion length increases in proportion to the distance from the center O of the concave / convex pattern 20t in the annular region Ac as it goes from the inner peripheral side to the outer peripheral side of the annular region Ac. The unit convex portion length and the unit length so that the total length of the convex portion length and the unit concave portion length increases in proportion to the distance from the center O of the concave / convex pattern 20t in the annular region Ac as it goes from the inner peripheral side to the outer peripheral side of the annular region Ac. The concave / convex pattern 20sc (servo pattern) is formed by defining the concave length. Therefore, according to the magnetic disk 10c and the hard disk drive 1, reading in one annular area Ac is avoided while avoiding an excessive increase in the length along the rotation direction of the recess 22s in the annular area Ac on the outer peripheral side. Since servo data can be read without changing the frequency of the frequency information, for example, frequency switching processing of read frequency information is not required when the magnetic head 3 performs a seek operation from the inner circumference side to the outer circumference side of the annular region Ac. can do. Therefore, since the seek operation can be executed in a short time, data access can be performed at high speed. Further, since it is only necessary to output frequency information of a type corresponding to the number of annular regions (four in this example) as read frequency information, tracking servo is performed by the detection clock output unit 5 and the control unit 8 having a simple configuration. Can do.

なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、環状領域Ａａ，Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において回転方向に沿った各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さ（長さＬ２ｉ，Ｌ２ｏ，Ｌ７ｉ，Ｌ７ｏ）が等しくなるように凹凸パターン２０ｓａ，２０ｓｂを形成する磁気ディスク１０ａ，１０ｂについて上記したが、各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さが環状領域の内周側から外周側までの各部において僅かに異なるように凹凸パターンを形成することもできる。具体的には、環状領域の内周側の凹部２２ｓｉよりも環状領域の外周側の凹部２２ｓｏの方が回転方向に沿った長さが僅かに長くなるように形成することができる。このように各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さを異ならしめる構成であったとしても、外周側の凹部２２ｓｏの長さを、従来の磁気ディスク１０ｘにおける凹部２２ｓｘｏの長さＬ２ｘｏよりも短くして単位凹部長を規定して凹凸パターンを形成することで、外周側の凹部２２ｓｏが形成される部位における残渣の厚みを十分に薄く形成することができる。   In addition, this invention is not limited to said structure. For example, the lengths (lengths L2i, L2o, L7i, L7o) of the recesses 22s, 22s,... Along the rotation direction are equal in the entire region from the inner peripheral side to the outer peripheral side in the annular regions Aa, Ab. The magnetic disks 10a, 10b forming the concave / convex patterns 20sa, 20sb have been described above, but the concave / convex patterns are formed so that the lengths of the concave portions 22s, 22s,... It can also be formed. Specifically, the recess 22so on the outer peripheral side of the annular region can be formed so that the length along the rotation direction is slightly longer than the recess 22si on the inner peripheral side of the annular region. Even if the lengths of the recesses 22s, 22s,... Are different, the length of the recess 22so on the outer peripheral side is made shorter than the length L2xo of the recess 22sxo in the conventional magnetic disk 10x. By defining the unit recess length and forming the concavo-convex pattern, the thickness of the residue at the site where the outer peripheral recess 22so is formed can be formed sufficiently thin.

また、環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において回転方向に沿った各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の長さ（長さＬ６ｉ，Ｌ６ｏ）が等しくなるように凹凸パターン２０ｓｂを形成する磁気ディスク１０ｂについて上記したが、各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の長さが環状領域Ａｂの内周側から外周側までの各部において僅かに異なるように凹凸パターンを形成することもできる。具体的には、環状領域の内周側の凸部２１ｓｉよりも環状領域の外周側の凸部２１ｓｏの方が回転方向に沿った長さが僅かに長くなるように形成することができる。このように各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の長さを異ならしめる構成であったとしても、外周側の凸部２１ｓｏの長さを、従来の磁気ディスク１０ｘにおける凸部２１ｓｘｏの長さＬ１ｘｏよりも短くして単位凸部長を規定することで、その磁気ディスクを製造するためのスタンパーにおける対応する凹部の長さを外周側においても十分に短くすることができる。したがって、インプリント時に凸部３９ａ，３９ａ・・の押し込みによって凹部３９ｂ，３９ｂ・・内に移動させられる樹脂材料によって、十分に高い凸部４１ａ，４１ａ・・を樹脂層１８に形成する（十分に厚い樹脂マスクを形成する）ことができる。   In addition, the concave / convex pattern 20sb is formed so that the lengths (lengths L6i, L6o) of the convex portions 21s, 21s,. As described above for the magnetic disk 10b, the convex and concave patterns can be formed so that the lengths of the convex portions 21s, 21s,... Are slightly different in the respective portions from the inner peripheral side to the outer peripheral side of the annular region Ab. Specifically, the convex portion 21so on the outer peripheral side of the annular region can be formed so that the length along the rotation direction is slightly longer than the convex portion 21si on the inner peripheral side of the annular region. Thus, even if the lengths of the convex portions 21s, 21s,... Are different, the length of the convex portion 21so on the outer peripheral side is set to be longer than the length L1xo of the convex portion 21sxo in the conventional magnetic disk 10x. By defining the length of the unit convex portion by shortening, the length of the corresponding concave portion in the stamper for manufacturing the magnetic disk can be sufficiently shortened also on the outer peripheral side. Therefore, sufficiently high convex portions 41a, 41a,... Are formed on the resin layer 18 by a resin material that is moved into the concave portions 39b, 39b,... By pressing the convex portions 39a, 39a,. A thick resin mask can be formed).

さらに、本発明におけるサーボパターンは上記の例に限定されず、磁気ディスク１０ａ〜１０ｃのサーボパターン領域Ａｓａ〜Ａｓｃにおける凹凸パターン２０ｓａ〜２０ｓｃの凹凸形状を反転させると共に本発明における各種条件を満たすように単位凸部長および単位凹部長を規定してサーボパターンを形成することもできる。また、上記の磁気ディスク１０ａ〜１０ｃでは、凹凸パターン２０における各凸部２１，２１・・が基端部から突端部まで磁性材料で形成されているが、本発明はこれに限定されず、図２０に示す磁気ディスク１０ｄのように、基材１１ａに形成した凹凸パターンを覆うようにして磁性層１４ａを形成することにより、その表面が磁性層１４ａで形成された凸部２１ａ，２１ａ・・と底面が磁性層１４ａで形成された凹部２２ａ，２２ａ・・とによって凹凸パターン２０ａを構成することもできる。この場合、基材１１ａの凹凸パターンについては、前述した磁気ディスク１０ａ〜１０ｃにおける凹凸パターン２０の形成方法と同様にして、例えば磁性層１４のエッチングに際してマスクとして使用した凹凸パターン４２を用いて基材１１ａをエッチングすることで形成することができる。また、例えばスタンパー３５ａ〜３５ｃと同様のスタンパーを用いたプレス成形や射出成形によって基材１１ａに凹凸パターンを形成することもできる。このように、インプリント法以外の各種製造方法によって凹凸パターンを形成する場合であっても、凹凸パターン２０ａを高精度で形成することができる。   Further, the servo pattern in the present invention is not limited to the above example, so that the concave and convex shapes of the concave and convex patterns 20sa to 20sc in the servo pattern areas Asa to Asc of the magnetic disks 10a to 10c are reversed and various conditions in the present invention are satisfied. The servo pattern can also be formed by defining the unit convex part length and the unit concave part length. Further, in the magnetic disks 10a to 10c, the convex portions 21, 21,... In the concavo-convex pattern 20 are formed of a magnetic material from the base end portion to the projecting end portion, but the present invention is not limited to this. As in the magnetic disk 10d shown in FIG. 20, the magnetic layer 14a is formed so as to cover the concavo-convex pattern formed on the base material 11a, so that the convex portions 21a, 21a,. The concave / convex pattern 20a can also be constituted by the concave portions 22a, 22a,. In this case, the concave / convex pattern of the substrate 11a is similar to the above-described method of forming the concave / convex pattern 20 on the magnetic disks 10a to 10c, for example, using the concave / convex pattern 42 used as a mask when the magnetic layer 14 is etched. It can be formed by etching 11a. Further, for example, the uneven pattern can be formed on the substrate 11a by press molding or injection molding using a stamper similar to the stampers 35a to 35c. Thus, even when the concave / convex pattern is formed by various manufacturing methods other than the imprint method, the concave / convex pattern 20a can be formed with high accuracy.

さらに、図２１に示す磁気ディスク１０ｅのように、各凸部２１ｂ，２１ｂ・・を構成する磁性層１４ｂと各凸部２１ｂ，２１ｂ・・間の凹部２２ｂ，２２ｂ・・の底面を構成する磁性層１４ｂとを連続させて凹凸パターン２０ｂを構成することもできる。また、上記の磁気ディスク１０ａ〜１０ｅでは、各凹部２２に非磁性材料１５を埋め込んでその表面を平坦化しているが、磁気ヘッド３の十分な浮上安定性が得られる場合には、凹部２２に対する非磁性材料１５を不要とすることができる。さらに、本発明に係る情報記録媒体は、磁気ディスク１０ａ〜１０ｅのような垂直記録方式の磁気ディスクのみならず、面内記録方式の磁気ディスクが本発明に含まれる。   Further, as in the magnetic disk 10e shown in FIG. 21, the magnetic layer 14b constituting the convex portions 21b, 21b,... And the magnetic portions constituting the bottom surfaces of the concave portions 22b, 22b,. The concavo-convex pattern 20b can also be configured by continuing the layer 14b. In the above magnetic disks 10a to 10e, the nonmagnetic material 15 is embedded in each recess 22 to flatten the surface. However, when sufficient floating stability of the magnetic head 3 is obtained, The nonmagnetic material 15 can be dispensed with. Further, the information recording medium according to the present invention includes not only a perpendicular recording type magnetic disk such as the magnetic disks 10a to 10e but also an in-plane recording type magnetic disk.

ハードディスクドライブ１，１ｂの構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the hard disk drives 1 and 1b. 磁気ディスク１０ａ〜１０ｅの層構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the layer structure of the magnetic discs 10a-10e. 磁気ディスク１０ａの平面図である。It is a top view of the magnetic disk 10a. 磁気ディスク１０ａにおけるサーボパターン領域Ａｓａの平面図である。3 is a plan view of a servo pattern area Asa on the magnetic disk 10a. FIG. 環状領域Ａａ内における内周側領域Ａｉａの平面図である。It is a top view of inner peripheral side area | region Aia in cyclic | annular area | region Aa. 環状領域Ａａ内における外周側領域Ａｏａの平面図である。It is a top view of outer peripheral side area | region Aoa in cyclic | annular area | region Aa. 磁気ディスク１０ａ（１０ｂ，１０ｃ）を製造するための中間体３０の断面図である。It is sectional drawing of the intermediate body 30 for manufacturing the magnetic disc 10a (10b, 10c). 磁気ディスク１０ａ（１０ｂ，１０ｃ）を製造するためのスタンパー３５ａ（３５ｂ，３５ｃ）の断面図である。It is sectional drawing of the stamper 35a (35b, 35c) for manufacturing the magnetic disc 10a (10b, 10c). 中間体３０の樹脂層１８にスタンパー３５ａ（３５ｂ，３５ｃ）の凹凸パターン３９を押し付けた状態の断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view of a state in which a concave / convex pattern 39 of a stamper 35a (35b, 35c) is pressed against a resin layer 18 of an intermediate body 30. 図９に示す状態の樹脂層１８からスタンパー３５ａ（３５ｂ，３５ｃ）を剥離してマスク層１７の上に凹凸パターン４１（樹脂マスク）を形成した状態の断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view of a state in which the stamper 35a (35b, 35c) is peeled from the resin layer 18 in the state shown in FIG. 9 to form an uneven pattern 41 (resin mask) on the mask layer 17. 凹凸パターン４１をマスクとしてマスク層１７をエッチング処理して磁性層１４の上に凹凸パターン４２（マスク）を形成した状態の断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a state in which an uneven pattern 42 (mask) is formed on the magnetic layer 14 by etching the mask layer 17 using the uneven pattern 41 as a mask. 凹凸パターン４２をマスクとして磁性層１４をエッチング処理して中間層１３の上に凹凸パターン２０を形成した状態の断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view of a state in which an uneven pattern 20 is formed on the intermediate layer 13 by etching the magnetic layer 14 using the uneven pattern 42 as a mask. 磁気ディスク１０ｂの平面図である。It is a top view of the magnetic disk 10b. 磁気ディスク１０ｂにおけるサーボパターン領域Ａｓｂの平面図である。It is a top view of servo pattern area Asb in the magnetic disk 10b. 環状領域Ａｂ内における内周側領域Ａｉｂの平面図である。It is a top view of inner circumference side field Aib in annular field Ab. 環状領域Ａｂ内における外周側領域Ａｏｂの平面図である。It is a top view of outer peripheral side area | region Aob in cyclic | annular area | region Ab. 磁気ディスク１０ｃにおけるサーボパターン領域Ａｓｃの平面図である。It is a top view of the servo pattern area Asc in the magnetic disk 10c. 環状領域Ａｃ内における内周側領域Ａｉｃの平面図である。It is a top view of inner peripheral side area | region Aic in cyclic | annular area | region Ac. 環状領域Ａｃ内における外周側領域Ａｏｃの平面図である。It is a top view of outer peripheral side area | region Aoc in cyclic | annular area | region Ac. 磁気ディスク１０ｄの層構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the layer structure of 10 d of magnetic discs. 磁気ディスク１０ｅの層構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the layer structure of the magnetic disc 10e. 従来の磁気ディスク１０ｘの平面図である。It is a top view of the conventional magnetic disk 10x. 磁気ディスク１０ｘにおける内周側領域Ａｘｉの平面図である。FIG. 6 is a plan view of an inner peripheral area Axi in the magnetic disk 10x. 磁気ディスク１０ｘにおける外周側領域Ａｘｏの平面図である。It is a top view of outer peripheral side area | region Axo in the magnetic disc 10x. 磁気ディスク１０ｘの製造工程において、スタンパーの凸部３９ａｘ，３９ａｘ・・（回転方向に沿った長さが短い凸部３９ａｘ，３９ａｘ・・）が押し込まれた状態の樹脂層の断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view of the resin layer in a state where the convex portions 39ax, 39ax,... (The convex portions 39ax, 39ax,... Having a short length along the rotation direction) of the stamper are pushed in the manufacturing process of the magnetic disk 10x. 磁気ディスク１０ｘの製造工程において、スタンパーの凸部３９ａｘ，３９ａｘ・・（回転方向に沿った長さが長い凸部３９ａｘ，３９ａｘ・・）が押し込まれた状態の樹脂層の断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view of a resin layer in a state in which the convex portions 39ax, 39ax,... (The convex portions 39ax, 39ax,... Having a long length along the rotation direction) of the stamper are pushed in the manufacturing process of the magnetic disk 10x.

符号の説明Explanation of symbols

１，１ｂ ハードディスクドライブ
３ 磁気ヘッド
６ サーボデータ検出部
８ 制御部
１０ａ〜１０ｅ 磁気ディスク
１１ ガラス基材
１１ａ 基材
１４，１４ａ，１４ｂ 磁性層
１５ 非磁性材料
１８ 樹脂層
２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｓａ〜２０ｓｃ，２０ｔ 凹凸パターン
２１，２１ａ，２１ｂ，２１ｓ，２１ｓｉ，２１ｓｏ，２１ｔ 凸部
２２，２２ａ，２２ｂ，２２ｓ，２２ｓｉ，２２ｓｏ，２２ｔ 凹部
３０ 中間体
３５ａ〜３５ｃ スタンパー
Ａ１ａ〜Ａ４ａ，Ａ１ｂ〜Ａ４ｂ，Ａ１ｃ〜Ａ４ｃ 環状領域
Ａｉａ，Ａｉｂ，Ａｉｃ 内周側領域
Ａｏａ，Ａｏｂ，Ａｏｃ 外周側領域
Ａｓａ，Ａｓｂ，Ａｓｃ サーボパターン領域
Ａｓａｉ，Ａｓｂｉ，Ａｓｃｉ内周側サーボパターン領域
Ａｓａｏ，Ａｓｂｏ，Ａｓｃｏ 外周側サーボパターン領域
Ａｔ トラックパターン領域
Ｃｌｓ 検出用クロック
Ｄｃｌ クロックデータ
Ｄｓ サーボデータ
Ｌ１ｉ〜Ｌ４ｉ，Ｌ６ｉ〜Ｌ８ｉ，Ｌ１１ｉ〜Ｌ１３ｉ，Ｌ９２ｉ，Ｌ９３ｉ，Ｌ１ｏ〜Ｌ４ｏ，Ｌ６ｏ〜Ｌ８ｏ，Ｌ１１ｏ〜Ｌ１３ｏ，Ｌ５１〜Ｌ５４ 長さ
Ｏ 中心
Ｒ 矢印 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,1b Hard disk drive 3 Magnetic head 6 Servo data detection part 8 Control part 10a-10e Magnetic disk 11 Glass base material 11a Base material 14, 14a, 14b Magnetic layer 15 Nonmagnetic material 18 Resin layer 20, 20a, 20b, 20sa- 20sc, 20t Uneven pattern 21, 21a, 21b, 21s, 21si, 21so, 21t Convex part 22, 22a, 22b, 22s, 22si, 22so, 22t Concave part 30 Intermediate 35a-35c Stamper A1a-A4a, A1b-A4b, A1c ~ A4c Ring area Aia, Aib, Aic Inner peripheral area Aoa, Aob, Aoc Outer peripheral area Asa, Asb, Asc Servo pattern area Asai, Asbi, Asci Inner peripheral servo pattern area Asao, Asbo, Asco Outer peripheral servo pattern Area At Track pattern area Cls Detection clock Dcl Clock data Ds Servo data L1i to L4i, L6i to L8i, L11i to L13i, L92i, L93i, L1o to L4o, L6o to L8o, L11o to L13o, L51 to L54 Length O Center R arrow

Claims (15)

基材の少なくとも一面側に凹凸パターンによってサーボパターンが形成されると共に、同心円状または螺旋状のデータ記録トラックが当該一面側に設けられてデータトラックパターンが形成され、
前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記データトラックパターンと同心の複数の環状領域に区分けされると共に、前記基材の回転方向に沿った単位凹部長の当該各環状領域内における平均長を当該データトラックパターンの中心から当該環状領域までの距離で除した値が内周側の当該環状領域よりも外周側の当該環状領域ほど小さくなるように当該各環状領域毎に当該単位凹部長が規定されている情報記録媒体。 A servo pattern is formed by a concavo-convex pattern on at least one surface side of the substrate, and a data track pattern is formed by providing concentric or spiral data recording tracks on the one surface side,
The concavo-convex pattern constituting the servo pattern is divided into a plurality of annular regions concentric with the data track pattern, and an average length of each unit recess length along the rotation direction of the substrate is determined in each annular region. The unit recess length is defined for each annular region so that the value divided by the distance from the center of the data track pattern to the annular region is smaller for the annular region on the outer circumferential side than for the annular region on the inner circumferential side. Information recording media. 前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記基材の回転方向に沿った単位凸部長に対する前記単位凹部長の比が前記環状領域内において当該環状領域の内周側から当該環状領域の外周側に向かうほど小さくなるように当該単位凸部長および当該単位凹部長が規定されている請求項１記載の情報記録媒体。   The concave / convex pattern constituting the servo pattern has a ratio of the unit concave portion length to the unit convex portion length along the rotation direction of the base material within the annular region from the inner peripheral side of the annular region to the outer peripheral side of the annular region. The information recording medium according to claim 1, wherein the unit convex portion length and the unit concave portion length are defined so as to become smaller toward the head. 前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記単位凸部長が前記環状領域内において当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど長くなるように規定されている請求項２記載の情報記録媒体。   The concavo-convex pattern constituting the servo pattern is defined such that the unit convex portion length is longer in the annular region from the inner peripheral side of the annular region toward the outer peripheral side of the annular region. 2. The information recording medium according to 2. 前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記単位凹部長が前記環状領域内における当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側までの全域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されている請求項２または３記載の情報記録媒体。   The concavo-convex pattern constituting the servo pattern is such that the unit recess length is equal in length or substantially equal in the entire region from the inner peripheral side of the annular region to the outer peripheral side of the annular region in the annular region. 4. The information recording medium according to claim 2, wherein the information recording medium is defined as follows. 前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記単位凸部長および前記単位凹部長の合計長が前記環状領域内において前記データトラックパターンの中心からの距離に比例して当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど長くなるように規定されている請求項２から４のいずれかに記載の情報記録媒体。   The concave / convex pattern constituting the servo pattern is such that the total length of the unit convex portion length and the unit concave portion length is proportional to the distance from the center of the data track pattern in the annular region. 5. The information recording medium according to claim 2, wherein the information recording medium is defined so as to become longer toward the outer peripheral side of the annular region. 前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記単位凹部長が前記環状領域内において前記データトラックパターンの中心からの距離に比例して当該環状領域の内周側から当該環状領域の外周側に向かうほど長くなるように規定されると共に、前記基材の回転方向に沿った前記単位凹部長と単位凸部長の合計長が当該環状領域内において前記データトラックパターンの中心からの距離に比例して当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど長くなるように当該単位凸部長および当該単位凹部長が規定されている請求項１記載の情報記録媒体。   The concave / convex pattern constituting the servo pattern is such that the unit recess length is in proportion to the distance from the center of the data track pattern in the annular area from the inner circumference side of the annular area to the outer circumference side of the annular area. The total length of the unit concave portion length and the unit convex portion length along the rotation direction of the base material is proportional to the distance from the center of the data track pattern in the annular region. The information recording medium according to claim 1, wherein the unit convex portion length and the unit concave portion length are defined so as to increase from the inner peripheral side of the annular region toward the outer peripheral side of the annular region. 前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記単位凹部長の前記環状領域内における前記平均長が前記内周側の環状領域から前記外周側の環状領域までの全環状領域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されている請求項２から６のいずれかに記載の情報記録媒体。   The concavo-convex pattern constituting the servo pattern has a length in which the average length in the annular region of the unit recess length is equal in all annular regions from the inner peripheral side annular region to the outer peripheral side annular region, or The information recording medium according to claim 2, wherein the information recording medium is defined to have substantially the same length. 前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記単位凹部長を前記データトラックパターンの中心からの距離で除した値が前記環状領域内において当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど小さくなるように当該単位凹部長が規定されている請求項１記載の情報記録媒体。   The concavo-convex pattern constituting the servo pattern has a value obtained by dividing the unit recess length by the distance from the center of the data track pattern within the annular region from the inner periphery side of the annular region to the outer periphery of the annular region. The information recording medium according to claim 1, wherein the unit recess length is defined so as to become smaller toward the side. 前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記基材の回転方向に沿った単位凸部長を前記データトラックパターンの中心からの距離で除した値が前記環状領域内において当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど小さくなるように当該単位凸部長が規定されている請求項８記載の情報記録媒体。   The concavo-convex pattern constituting the servo pattern has a value obtained by dividing a unit convex portion length along the rotation direction of the base material by a distance from the center of the data track pattern in the annular region. 9. The information recording medium according to claim 8, wherein the unit convex portion length is defined so as to decrease from the side toward the outer peripheral side of the annular region. 前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記単位凹部長が前記環状領域内における当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側までの全域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されている請求項８または９記載の情報記録媒体。   The concavo-convex pattern constituting the servo pattern is such that the unit recess length is equal in length or substantially equal in the entire region from the inner peripheral side of the annular region to the outer peripheral side of the annular region in the annular region. The information recording medium according to claim 8 or 9, wherein the information recording medium is defined as follows. 前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記単位凸部長が前記環状領域内における当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側までの全域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されている請求項８から１０のいずれかに記載の情報記録媒体。   The concavo-convex pattern constituting the servo pattern is such that the unit convex portion length is the same length or substantially the same length in the entire region from the inner peripheral side of the annular region to the outer peripheral side of the annular region in the annular region. The information recording medium according to claim 8, wherein the information recording medium is defined as follows. 請求項１から１１のいずれかに記載の情報記録媒体と、前記サーボパターンに対応付けられているサーボデータに基づいてサーボ制御を実行する制御部とを備えている記録再生装置。   12. A recording / reproducing apparatus comprising: the information recording medium according to claim 1; and a control unit that performs servo control based on servo data associated with the servo pattern. 請求項１から７のいずれかに記載の情報記録媒体と、前記各環状領域毎に予め規定された読み出し周波数情報に基づいて前記情報記録媒体から前記サーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出してサーボ制御する制御部とを備えている記録再生装置。   8. The servo data associated with the servo pattern is read from the information recording medium according to any one of claims 1 to 7 and the information recording medium based on read frequency information defined in advance for each annular region. A recording / reproducing apparatus including a control unit that performs servo control. 請求項１、および８から１１のいずれかに記載の情報記録媒体と、前記データトラックパターンの中心からの距離に応じて予め規定された読み出し周波数情報に基づいて前記情報記録媒体から前記サーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出してサーボ制御する制御部とを備えている記録再生装置。   12. The information recording medium according to any one of claims 1 and 8 to 11 and the servo pattern from the information recording medium based on read frequency information defined in advance according to a distance from a center of the data track pattern. A recording / reproducing apparatus comprising: a control unit that reads out servo data associated therewith and performs servo control. 請求項１から１１のいずれかに記載の情報記録媒体における前記凹凸パターンの凹部に対応して形成された凸部と、前記情報記録媒体における前記凹凸パターンの凸部に対応して形成された凹部とを有する凹凸パターンが形成された情報記録媒体製造用のスタンパー。   The convex part formed corresponding to the concave part of the said uneven | corrugated pattern in the information recording medium in any one of Claim 1 to 11, and the concave part formed corresponding to the convex part of the said uneven | corrugated pattern in the said information recording medium A stamper for manufacturing an information recording medium on which a concavo-convex pattern is formed.
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