JP2006308263A - 熱交換装置 - Google Patents
熱交換装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006308263A JP2006308263A JP2005134594A JP2005134594A JP2006308263A JP 2006308263 A JP2006308263 A JP 2006308263A JP 2005134594 A JP2005134594 A JP 2005134594A JP 2005134594 A JP2005134594 A JP 2005134594A JP 2006308263 A JP2006308263 A JP 2006308263A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- microchannel
- heat exchange
- plates
- evaporator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Heat-Exchange Devices With Radiators And Conduit Assemblies (AREA)
Abstract
【課題】 熱交換効率が良好で、かつ製造性の良い熱交換装置を提供する。
【解決手段】 複数の細溝であるマイクロチャンネル11が所定の間隔をあけて互いに平行に形成されたコンテナ10が設けられ、そのコンテナ10の内部と該外部との間で熱交換を行う熱交換装置であって、複数枚の板12に、それぞれ所定の間隔をあけて互いに平行な複数本のスリット13が形成され、そのスリット13同士が重なるように板12同士が重ねられて積層状に接合された接合部材16が、前記配列方向に対して直交する方向にスリット13が開口するように切断分離されてコンテナ10の内部に一体となって形成され、その接合部材16によってマイクロチャンネル11が形成されている。
【選択図】 図1
【解決手段】 複数の細溝であるマイクロチャンネル11が所定の間隔をあけて互いに平行に形成されたコンテナ10が設けられ、そのコンテナ10の内部と該外部との間で熱交換を行う熱交換装置であって、複数枚の板12に、それぞれ所定の間隔をあけて互いに平行な複数本のスリット13が形成され、そのスリット13同士が重なるように板12同士が重ねられて積層状に接合された接合部材16が、前記配列方向に対して直交する方向にスリット13が開口するように切断分離されてコンテナ10の内部に一体となって形成され、その接合部材16によってマイクロチャンネル11が形成されている。
【選択図】 図1
Description
この発明は、複数の細溝であるマイクロチャンネルが所定の間隔をあけて互いに平行に形成されたコンテナが設けられ、そのコンテナの内部と該外部との間で熱交換を行う熱交換装置に関するものである。
内部と外部との間で熱交換を行う熱交換装置がある。そのような熱交換装置の一例が、特許文献1に記載されている。この特許文献1に記載された構成を簡単に説明すると、コンテナの内部にマイクロチャンネルと称する複数の細溝が形成されている。このマイクロチャンネルは、微細流路としても機能すると同時に熱交換面積も増加することができる。したがって、上述のマイクロチャンネルによって、熱交換装置の熱交換効率を格段に向上させることができる。
特表2002−514296号公報
上記の熱交換装置のマイクロチャンネルは、例えば放電ワイヤーカットなどの放電加工、あるいはメタルソーなどによる切削加工等によって形成することができる。しかしながら、このマイクロチャンネルを放電ワイヤーカットで形成した場合、加工時間が数時間、数十時間を要すという不都合がある。また、マイクロチャンネルは微少な間隔で形成される細溝であるため、そのマイクロチャンネルが形成されたコンテナを切削加工した場合、そのマイクロチャンネルの壁(凸部)が傾き、その傾きによって作動流体がマイクロチャンネルに供給され難くなる。そのため、作動流体とコンテナとの熱交換を効率良く行うことができなかった。
この発明は、上記の技術的課題に着目してなされたものであり、熱交換効率が良好で、かつ製造性の良い熱交換装置を提供することを目的とするものである。
上記の目的を達成するために、請求項1の発明は、複数の細溝であるマイクロチャンネルが所定の間隔をあけて互いに平行に形成されたコンテナが設けられ、そのコンテナの内部と該外部との間で熱交換を行う熱交換装置であって、複数枚の板に、それぞれ所定の間隔をあけて互いに平行な複数本のスリットが形成され、そのスリット同士が重なるように前記板同士が重ねられて積層状に接合された接合部材が、前記配列方向に対して直交する方向に前記スリットが開口するように切断分離されて前記コンテナの内部に一体となって形成され、その接合部材によって前記マイクロチャンネルが形成されていることを特徴とする熱交換装置である。
また、請求項2の発明は、請求項1の構成に加えて、前記細溝の高さが1.5mm以下でかつその幅が100μmから300μmであることを特徴とする熱交換装置である。
さらに、請求項3の発明は、請求項1または2の構成に加えて、前記スリットが、フォトエッチング加工を含むエッチング加工によって形成されたものであることを特徴とする熱交換装置である。
請求項1の発明によれば、コンテナの内部に容易にマイクロチャンネルを形成することができる。そのため、コンテナにマイクロチャンネルを形成するための特別な加工を行う必要がないので、一度に大量にコンテナを製造することができる。一方、板を接合した接合部材を切断分離するだけで必要な形状(寸法)のマイクロチャンネル(コンテナ)が任意に形成されるので、必要な任意の形状のコンテナを大量に製造することができる。その結果、熱交換装置の製造性を向上させることができる。また、マイクロチャンネルは板が重ね合わされて形成されているので、各板同士の間に作動流体が入り込み、コンテナの濡れ性が向上する。その結果、熱交換装置の熱交換効率を向上させることができる。
また、細溝の高さが1.5mm以下でかつその幅が100μmから300μmであるので、濡れ性が向上したコンテナを形成することができる。そのため、コンテナの内部とその外部との間で熱交換をおこなわせる場合に、作動流体とコンテナとの熱交換を効率良く行うことができる。
さらに、請求項3の発明によれば、スリットが、フォトエッチング加工を含むエッチング加工によって形成されているので、必要な任意の形状のスリットを板に形成することができる。そのため、必要な任意の形状のマイクロチャンネルが形成されたコンテナを一度に大量に製造することができる。
以下、本発明を実施した最良の形態について説明する。図2に示すループ型ヒートパイプ1は、エバポレータ(蒸発部)2の流入口3と凝縮部4とが、液戻り管6によって接続され、さらにエバポレータ2の流出口5と凝縮部4とが、液戻り管6よりも太径の蒸気管7によって接続され、全体として密閉された環状(ル−プ状)に形成されている。凝縮部4には、薄板状の放熱フィン8が設けられている。このヒートパイプ1の内部は、ほぼ完全に脱気された後に、水やアルコールなどの凝縮性の流体が作動流体9として封入されている。なお、このエバポレータ2が本発明における熱交換装置に相当する。
上記エバポレータ2に設けられたコンテナ(容器)10の内部には、図1に示すように多数のマイクロチャンネル11が形成されている。このマイクロチャンネルとは、例えば、高さ1.0mm、厚さ0.1mm(10μm)、幅数0.1mm(10μm)程度の複数の微小フィンによって形成されるチャンネル(通路)のことである。マイクロチャンネル11は、コンテナ10の内部の面積を増大するように機能し、また作動流体9の流路となるものであって、コンテナ10の長手方向に沿って形成されている。
つぎに本発明における熱交換装置を製造する工程について説明する。板12には、予めフォトエッチング加工が施されており、多数のスリット13が形成されている。具体的には、板12は、厚さ0.1mm程度の薄板状の銅板であり、平面形状が長方形である。この板12の長手方向に沿って、長孔状の多数のスリット13が所定の間隔をあけて互いに平行に形成されている。
図1に示す工程Aでは、各板12を互いに重ね合わせる。図1の例では、重ね合わせの一例として複数枚の各板12同士が板厚方向に整列され、積層される。この積層された複数枚の板12の底部に板状のベース14が配置される。そのため、ベース14の上面方向に各スリット13が重ね合わされて各板12同士の板厚方向に連続し、複数の凹部15が形成される。なお、ベース14の材質としては、熱伝導率の良い材質である銅合金、銀、アルミニウム等の金属が例示されている。
図1の工程Bでは、重ね合わされた各板12およびベース14が接合される。なお、この接合方法としては、真空中で圧力と熱を加える拡散接合や、プレス等による圧着、ハンダ等による接着、さらに各板12およびベース14に固定用の孔を形成し、この孔にピンを差し込んで固定する方法などが例示されている。この接合方法によって、接合部材16が形成される。この接合部材16は切断されて分離される。具体的には、図3に示すように、接合部材16の平面形状である長方形の長手方向の両端部が、所定位置においてメタルソーなどによる一般的な切断方法によって切断される。そのため、凹部15が前記両端部において開口して細溝状となり、複数のマイクロチャンネル11がベース14の上面に形成される。その結果、マイクロチャンネル部11Aが完成する。最後に、マイクロチャンネル部11Aがコンテナ10の内部に配置されてエバポレータ2が完成する。
ここで、本発明者らは、高さが0.7mmのマイクロチャンネルが形成されたエバポレータと、高さが1.4mmのマイクロチャンネルが形成されたエバポレータを用意し、それらの各エバポレータに配置されたヒーター(図示せず)からその周囲までの温度(℃)、もしくはそのヒーターとエバポレータ2の流出口5との間の温度の変化における熱抵抗値を計測する実験を行った。なお、図6,7ではマイクロチャンネルの高さ(mm)の変化に応じて熱抵抗値(℃/W)が変化する状態を示している。この実験の結果、高さが1.4mmのマイクロチャンネルに比べて高さが0.7mmのマイクロチャンネルの方が熱抵抗値が高くなる(矢印で示す)ことが確認された。この実験によれば、マイクロチャンネルの高さを約1.5mm以下(好ましくはマイクロチャンネルの幅を100μmから300μmまでに設定する。)として、その高さを制限すれば、ヒーターから周囲までの温度の変化における熱抵抗値、もしくはヒーターとエバポレータ2の流出口5との間の温度の変化における熱抵抗値を増加させることができる。この熱抵抗値の増加は、マイクロチャンネルの高さを約1.5mm以下とすることにより、コンテナ10の濡れ性が向上したことに起因するものと考えられる。そのため、コンテナ10の内部とその外部との間で熱交換をおこなわせる場合に、作動流体9とコンテナ10との熱交換を効率良く行うことができる。
上述のエバポレータ2では、板12同士が積層され、拡散接合されることで、容易にマイクロチャンネル11を形成することができる。そのため、エバポレータ2の内部に、マイクロチャンネル11を形成するために特別な加工を行う必要がないので、エバポレータ2の製造性を向上させることができる。このマイクロチャンネル11は、板が互いに重ね合わされて形成されているので、各板12同士の間に液相の作動流体9が入り込むため、コンテナ10の濡れ性が向上する。そのため、エバポレータ2の熱交換効率を向上させることができる。また、板12がフォトエッチングによって加工されているので、微細な加工を施すことができる。そのため、エバポレータ2の内部に容易にマイクロチャンネル11を形成することができる。
図3では、予めエッチングによって複数のスリット13が形成された板12が、板厚方向、上下方向、左右方向に重ね合わされている。このような状態で重ね合わされた複数枚の各板12同士を、上述の接合方法によって互いに接合することによって、直方体形状の接合部材16Aに各スリット13が重ね合わされて複数の凹部15が形成される。
上記の接合部材16Aでは、板12が板厚方向だけでなく、上下方向、左右方向にも重ね合わされているので、多数の凹部15が上下、左右に連続して形成される。例えば、この多数の凹部15が開口して細溝状になるように接合部材16Aを複数箇所で切断して分離するだけで、必要な任意の形状(必要な寸法)のマイクロチャンネル部11A(コンテナ10)が形成されるので、必要な任意の形状のコンテナ10を大量に製造することができる。その結果、エバポレータ2の製造性を向上させることができる。
図4では、エバポレータ2のコンテナ10Aは、厚さ0.1mm程度の薄板状の銅板である複数枚の板12Aが重ね合わされて形成されている。具体的には、板12Aにエッチングによってスリット13および所定の孔の加工が施され、各板12Aが板厚方向に重ね合わされる。この各板12Aが同時に重ね合わされて、スリット13によって三次元の所定形状の空間、あるいは空隙が形成されると、真空中で圧力と熱を加えて拡散接合されて図示しない所定形状の接合部材が形成され、前記接合部材の内部に、マイクロチャンネル11の他に、前記空間、あるいは空隙によって流入路17、流出路18が形成され、更に前記流入路17とマイクロチャンネル11との間、およびマイクロチャンネル11と流出路18との間にヘッダー管19が形成される。なお、マイクロチャンネル11、流入路17、流出路18、ヘッダー管19は連通されており、作動流体9の流通方向に流入路17、ヘッダー管19、マイクロチャンネル11、ヘッダー管19、流出路18の順で配置される。これにより、流入路17および流出路18は、マイクロチャンネル11の延長線上に配置されることになる。そして、接合部材16Bの端部がプレス加工やシャーリング、メタルソー等による一般的な切断方法によって切断されて分離され、流入路17および流出路18が外部(スリット13の配列方向に対して直交する方向)に開口し、コンテナ10Aが完成する。
ループ型ヒートパイプ1は、重力のある環境および無重力環境のいずれでも使用できる。すなわち、エバポレータ2のコンテナ10Aの内部には液相の作動流体9が供給されており、この作動流体9で、マイクロチャンネル11が湿潤した状態となっている。その湿潤した状態では、板12が積層されて流入路13が形成されているので、各板12の間に液相の作動流体9が入り込み、コンテナ10Aの濡れ性が向上する。この状態でエバポレータ2に対して熱Qが伝達されると、コンテナ10Aの内部の作動流体9が加熱されて蒸発する。さらに、コンテナ10Aの内面にマイクロチャンネル11が形成されているので、コンテナ10Aと作動流体9との熱交換面積が広くなる。そのため、効率よく作動流体9に対して熱を伝達することができる。コンテナ10Aの内部で蒸発した作動流体(蒸気)9は、マイクロチャンネル11を通って蒸気管7側に流動し、流出路14から蒸気管7に流出する。その後、作動流体9は蒸気管7を介して凝縮部4に至り、ここで外部に熱Qを放出して凝縮する。その結果生じた液相の作動流体9は、蒸気管7に生じる圧力によって液戻り管6を介してエバポレータ2に還流する。
コンテナ10Aの内部において作動流体9の蒸発が生じることによって、マイクロチャンネル11の開口端にメニスカスが生じて、毛細管圧力によるポンプ力が生じる。そのため、作動流体9がマイクロチャンネル11の間に形成される間隙を通って、コンテナ10A全体に分散するように供給されるので、コンテナ10Aの内面のほぼ全体に対して作動流体9を供給することができる。そのため、エバポレータ2における実質的な入熱面積を広くすることができる。
また、ヘッダー管19が流入路17に連通されているので、所定量の作動流体9を貯留できる。そのため、エバポレータ2に入熱があった当初から、作動流体9をマイクロチャンネル11に効率よく供給できる。さらに、ヘッダー管19が流出路18に連通されているので、所定の蒸気流路を確保できる。そのため、作動流体9が効率良く流通して、作動流体9とコンテナ10Aとの熱交換が効率良く行われる。その結果、ヒートパイプ1全体としての熱輸送能力を向上させることができる。
上述のコンテナ10Aは、板12A同士を積層し接合した接合部材を切断分離することにより、コンテナ10Aの内部にマイクロチャンネル11、流入路17、流出路18、ヘッダー管19等を容易に形成することができる。そのため、コンテナ10Aにマイクロチャンネル11を形成するための特別な加工を行う必要がないので、一度に大量にコンテナ10Aを製造することができる。一方、板12Aを接合した接合部材を切断分離するだけで必要な形状(寸法)のマイクロチャンネル11(コンテナ10A)が任意に形成されるので、必要な任意の形状のコンテナ10Aを大量に製造することができる。その結果、エバポレータ2の製造性を向上させることができる。また、マイクロチャンネル11は板12Aが重ね合わされて形成されているので、各板12A同士の間に作動流体9が入り込み、コンテナ10Aの濡れ性が向上する。その結果、エバポレータ2の熱交換効率を向上させることができる。
また、図5に示すように、板12Aを、板厚方向、上下方向、左右方向に重ね合わして接合することにより、接合部材16Bが形成される。この接合部材16Bを複数箇所で切断し分離したとすれば、同様に必要な任意の形状のマイクロチャンネル11(コンテナ10A)が大量に形成されることになる。そのため、エバポレータ2が大量に製造されるので、製造コストを削減できる。
なお、上述の具体例では、エッチングの例として、フォトエッチングを例示したが、この発明におけるエッチングは、フォトエッチングに限定されない。要は板に所定の間隔をあけて互いに平行な複数本のスリットが形成されていればよく、例えばエッチングが一般的なドライエッチングやウエットエッチング、イオンエッチング等であってもよい。また、この発明における板は、このようなエッチングによる加工が可能な材質によって形成されていればよく、例えばその板の材質が、銅以外の銀、アルミニウム等の金属もしくは合金であってもよい。さらに、板の形状はマイクロチャンネル、あるいはコンテナの形状に合わせて任意の形状とすることができ、例えば平面形状を円形、正方形等にすることもできる。
また、上述の具体例では、エバポレータ2のコンテナ10Aが各板12Aによって構成されているが、この発明における熱交換装置は、この構造に限定されない。この熱交換装置は、例えばコンテナの内部におけるマイクロチャンネル、流入路、流出路等を各板で積層して別々に形成した構造であってもよく、冷却装置の蒸発部として利用されるものであってもよい。
2…エバポレータ(蒸発部)、 10,10A…コンテナ、 11…マイクロチャンネル、 12,12A…板、 13…スリット、 16,16A,16B…接合部材。
Claims (3)
- 複数の細溝であるマイクロチャンネルが所定の間隔をあけて互いに平行に形成されたコンテナが設けられ、そのコンテナの内部と該外部との間で熱交換を行う熱交換装置であって、
複数枚の板に、それぞれ所定の間隔をあけて互いに平行な複数本のスリットが形成され、そのスリット同士が重なるように前記板同士が重ねられて積層状に接合された接合部材が、前記配列方向に対して直交する方向に前記スリットが開口するように切断分離されて前記コンテナの内部に一体となって形成され、その接合部材によって前記マイクロチャンネルが形成されていることを特徴とする熱交換装置。 - 前記細溝の高さが1.5mm以下でかつその幅が100μmから300μmであることを特徴とする請求項1に記載の熱交換装置。
- 前記スリットが、フォトエッチング加工を含むエッチング加工によって形成されたものであることを特徴とする請求項1または2に記載の熱交換装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005134594A JP2006308263A (ja) | 2005-05-02 | 2005-05-02 | 熱交換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005134594A JP2006308263A (ja) | 2005-05-02 | 2005-05-02 | 熱交換装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006308263A true JP2006308263A (ja) | 2006-11-09 |
Family
ID=37475343
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005134594A Pending JP2006308263A (ja) | 2005-05-02 | 2005-05-02 | 熱交換装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006308263A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI472419B (zh) * | 2012-12-28 | 2015-02-11 | Metal Ind Res & Dev Ct | 熱交換器之製造方法 |
CN104482788A (zh) * | 2014-10-29 | 2015-04-01 | 北京德能恒信科技有限公司 | 一种微型热管 |
CN105101753A (zh) * | 2015-08-12 | 2015-11-25 | 东莞市努谢尔环境设备科技有限公司 | 一种铝型材及其回路热管***和电气散热背板 |
CN108278916A (zh) * | 2018-01-12 | 2018-07-13 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 板式环路热管蒸发器 |
CN110296626A (zh) * | 2018-10-29 | 2019-10-01 | 山东大学 | 一种板式蒸发端以及海水淡化*** |
-
2005
- 2005-05-02 JP JP2005134594A patent/JP2006308263A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI472419B (zh) * | 2012-12-28 | 2015-02-11 | Metal Ind Res & Dev Ct | 熱交換器之製造方法 |
CN104482788A (zh) * | 2014-10-29 | 2015-04-01 | 北京德能恒信科技有限公司 | 一种微型热管 |
CN105101753A (zh) * | 2015-08-12 | 2015-11-25 | 东莞市努谢尔环境设备科技有限公司 | 一种铝型材及其回路热管***和电气散热背板 |
CN105101753B (zh) * | 2015-08-12 | 2017-08-29 | 东莞市努谢尔环境设备科技有限公司 | 一种铝型材及其回路热管***和电气散热背板 |
CN108278916A (zh) * | 2018-01-12 | 2018-07-13 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 板式环路热管蒸发器 |
CN110296626A (zh) * | 2018-10-29 | 2019-10-01 | 山东大学 | 一种板式蒸发端以及海水淡化*** |
CN110296626B (zh) * | 2018-10-29 | 2021-01-29 | 山东大学 | 一种板式蒸发端以及海水淡化*** |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11536518B2 (en) | Fabrication method for loop heat pipe | |
JP6648824B2 (ja) | ループヒートパイプ及びその製造方法並びに電子機器 | |
JP6597892B2 (ja) | ループヒートパイプ及びその製造方法並びに電子機器 | |
CN107796251B (zh) | 环路热管及环路热管的制造方法 | |
TWI803460B (zh) | 匯聚分流微通道蒸發器及以蒸發方式冷卻表面的方法 | |
US10408546B2 (en) | Loop heat pipe | |
US20110073292A1 (en) | Fabrication of high surface area, high aspect ratio mini-channels and their application in liquid cooling systems | |
US10641558B2 (en) | Multi-layered counterflow expanding microchannel cooling architecture and system thereof | |
JP6485075B2 (ja) | ループヒートパイプ及びループヒートパイプの製造方法 | |
JP7269555B2 (ja) | ベーパーチャンバおよび電子機器 | |
JP2018503058A5 (ja) | ||
JP2009076650A (ja) | 相変化型ヒートスプレッダ、流路構造体、電子機器及び相変化型ヒートスプレッダの製造方法 | |
US20130058042A1 (en) | Laminated heat sinks | |
JP2011071386A (ja) | 冷却装置 | |
JP2006308263A (ja) | 熱交換装置 | |
JP7211021B2 (ja) | ベーパーチャンバ、ベーパーチャンバ用シートおよびベーパーチャンバの製造方法 | |
JP6852352B2 (ja) | ループヒートパイプ及び電子機器 | |
JP6162836B2 (ja) | 熱交換器 | |
US20130056186A1 (en) | Heat exchanger produced from laminar elements | |
JP7259564B2 (ja) | ベーパーチャンバ、電子機器、及び、ベーパーチャンバ用金属シート | |
JP7275699B2 (ja) | 積層体及び積層体の製造方法 | |
JP7035187B2 (ja) | 熱輸送デバイスおよびその製造方法 | |
JP7206609B2 (ja) | 金属積層体及び金属積層体の製造方法 | |
JP7205745B2 (ja) | ベーパーチャンバ、電子機器、ベーパーチャンバ用金属シートおよびベーパーチャンバの製造方法 | |
JP6915493B2 (ja) | ベーパーチャンバ用金属シート、ベーパーチャンバおよびベーパーチャンバの製造方法 |