JP2006297545A - 位置決めテーブル装置 - Google Patents
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Abstract
コンパクトでありながら、重量物を微動回転できる位置決めテーブル装置を提供する。
【解決手段】
テーブル13が受ける比較的小さい半径方向力は、容量が低い接触式のアンギュラコンタクト玉軸受14,14で支持することができ、従って軸受のサイズを小さくできるため、位置決めテーブル装置の軽量化・コンパクト化を図れる。一方、テーブル13が受ける比較的大きい軸線方向力は、非接触式の静圧軸受12で支持することができる。なお、テーブル13を微小回転させた後、電磁弁12cを制御して、3つの静圧軸受12の静圧パッド12bへの空気の供給を遮断し、静圧パッド12dをベースプレート12gに着座させることで、静圧パッド12dとベースプレート12gとの間に作用する摩擦力によって、テーブル13は基盤10に対して相対移動不能に保持されることとなる。
【選択図】 図2
Description
基軸を取り付けた基盤と、
重量物を支持する回転可能なテーブルと、
前記基軸と前記テーブルとの間に配置され、前記テーブルの半径方向力を支持する接触式の軸受と、
前記基盤と前記テーブルとの間に配置され、前記テーブルの軸線方向力を支持する非接触式の軸受と、
前記基盤に対して前記テーブルを微動回転させる駆動装置とを有することを特徴とする。
2,2 スライダ
10 基盤
11 基軸
11a 段部
12 静圧軸受
12a 本体
12b 静圧パッド
12c 電磁弁
12d 供給路
12e 排気路
12f 円盤状孔
12g ベースプレート
12h 周溝
12j 間座
13 テーブル
13a 中央開口
13b ボルト孔
13c アーム
14 アンギュラコンタクト玉軸受
15 内輪間座
16 ナット
17 ホルダ
17a 端部内周フランジ部
17b 端部外周フランジ部
18 固定部材
20 フレーム
21 モータ
21a 回転軸
22 カップリング
23 ボールねじ機構
23a ベアリング
23b ねじ軸
24 転動輪ケース
25 転動輪
26 コイルばね
27 調整ボルト
B ボルト
EC 排気コネクタ
SC 供給コネクタ
Claims (5)
- 重量物を載置し微小角度で位置決めできる位置決めテーブル装置において、
基軸を取り付けた基盤と、
重量物を支持する回転可能なテーブルと、
前記基軸と前記テーブルとの間に配置され、前記テーブルの半径方向力を支持する接触式の軸受と、
前記基盤と前記テーブルとの間に配置され、前記テーブルの軸線方向力を支持する非接触式の軸受と、
前記基盤に対して前記テーブルを微動回転させる駆動装置とを有することを特徴とする位置決めテーブル装置。 - 前記非接触式の軸受は、静圧パッドを備えた静圧軸受であることを特徴とする請求項1に記載の位置決めテーブル装置。
- 前記テーブルは、軸線方向に移動可能となっており、回転静止時に前記静圧パッドに着座することを特徴とする請求項2に記載の位置決めテーブル装置。
- 前記転がり軸受と前記テーブルとは弾性部材を介して連結されていることを特徴とする請求項3に記載の位置決めテーブル装置。
- 前記静圧軸受は、回転静止時に前記テーブルを吸着することを特徴とする請求項2〜4のいずれかに記載の位置決めテーブル装置。
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