JP2006289692A

JP2006289692A - Manufacturing method of mirror surface component, manufacturing method of optical element and optical element

Info

Publication number: JP2006289692A
Application number: JP2005111333A
Authority: JP
Inventors: 毅 ▲高▼橋; Takeshi Takahashi
Original assignee: Olympus Corp
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2005-04-07
Filing date: 2005-04-07
Publication date: 2006-10-26

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical element manufacturing technique capable of manufacturing an optical element of high precision reduced in the eccentricity quantity of its optical axis. <P>SOLUTION: The resin molding of a temporary optical element is performed using a temporary mirror surface component before correction processing (step 101), the shift of the optical axis of the optical element is measured actually (steps 102, 103 and 104), the position of the optical axis of the temporary mirror surface component used in molding is measured actually (step 105), correction data for shifting the position of the optical axis of the temporary mirror surface component actually measured in the step 105 in the direction offsetting the shift of the position of the optical axis of the temporary optical element actually measured in the step 104 is formed (step 106) to perform the correction processing of the temporary mirror surface component (step 107) and the optical element becoming a product is molded using the corrected mirror surface component (step 108). <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、鏡面駒の作製技術、光学素子の製造技術、光学素子に関し、特に、光学素子の樹脂成形技術等に適用して有効な技術に関する。 The present invention relates to a mirror piece manufacturing technique, an optical element manufacturing technique, and an optical element, and more particularly to a technique effective when applied to a resin molding technique for an optical element.

光学機器に用いられる光学素子として、非球面、球面、自由曲面等の光学機能面を備えたレンズ、プリズム等がある。従来、このような光学素子は、熱可塑性材料を用いた射出成形等の技術を用いて製作することが一般的である。そして、光学素子の製作にあたっては、これら光学素子の光学面の位置関係を、設計値どおりに再現する必要がある。ここで、光学素子の製作には、金型が用いられる。金型は鏡面駒を有しており、この鏡面駒が光学素子の光学面に対応する。そのため、鏡面駒の位置決めなどに、非常に高度な機械加工や組み立て技術が要求される。 Examples of optical elements used in optical equipment include lenses and prisms having optical functional surfaces such as aspherical surfaces, spherical surfaces, and free-form surfaces. Conventionally, such an optical element is generally manufactured using a technique such as injection molding using a thermoplastic material. In manufacturing the optical elements, it is necessary to reproduce the positional relationship of the optical surfaces of these optical elements as designed values. Here, a mold is used to manufacture the optical element. The mold has a mirror piece, and this mirror piece corresponds to the optical surface of the optical element. For this reason, very advanced machining and assembly techniques are required for positioning the mirror piece.

上述のように、光学素子を成形する場合、各光学面毎に鏡面駒を設け、個々にそれぞれの光学面を転写させる手法が一般的である。従って、光学面どうしの相対的な位置ズレ（例えば、光軸ズレ）を寸法許容差内に抑えるためには、鏡面駒を組込む中子との勘合代を極めて小さくしたり、鏡面駒を含む各金型部品の寸法精度を厳しくする必要がある。しかしながら、各金型部品の寸法精度を極めて厳しくしても、それぞれの部品で加工誤差が発生する。そのため、加工誤差が累積されるので、各々の鏡面駒において、設計値からのズレを小さくするには限界がある。 As described above, when molding an optical element, a method of providing a mirror piece for each optical surface and individually transferring each optical surface is generally used. Therefore, in order to keep the relative positional deviation (for example, the optical axis deviation) between the optical surfaces within the dimensional tolerance, the fitting margin with the core into which the mirror piece is incorporated is extremely small, or each of the components including the mirror piece is included. It is necessary to tighten the dimensional accuracy of mold parts. However, even if the dimensional accuracy of each mold part is extremely strict, a machining error occurs in each part. Therefore, since processing errors are accumulated, there is a limit to reducing the deviation from the design value in each mirror piece.

その対策として、特許文献１では、金型ベースと鏡面駒との間に、金型ベースに対する鏡面駒の位置を調整するためのクサビもしくは調整用ボルトを設ける技術が開示されている。このようにすることで、鏡面駒の位置調整を可能にし、鏡面駒を高精度に組み付けることができる。すなわち、この特許文献１においては、鏡面駒の位置ズレを光軸測定装置により計測し、鏡面駒の組み付けのズレ量を前記クサビもしくは調整用ボルトで調整している。 As a countermeasure, Patent Document 1 discloses a technique in which a wedge or an adjustment bolt for adjusting the position of the mirror surface piece with respect to the mold base is provided between the mold base and the mirror surface piece. By doing in this way, position adjustment of a mirror surface piece is attained, and a mirror surface piece can be assembled | attached with high precision. That is, in Patent Document 1, the positional deviation of the mirror piece is measured by the optical axis measuring device, and the deviation amount of the mirror piece is adjusted by the wedge or the adjusting bolt.

一方、特許文献２には、鏡面駒を修正加工する技術が開示されている。特許文献２では、まず、仮成形されたレンズにおいて、形状（光学面）の設計値からのズレ量を求める。そして、そのズレ量を、鏡面駒の加工値にフィードバックして修正加工を行う。このようにすることで、鏡面駒の設計値からのズレを補正している。
特開平１１−７７７６３号公報特開２００４−６６６１２号公報 On the other hand, Patent Document 2 discloses a technique for correcting a mirror piece. In Patent Document 2, first, the amount of deviation from the design value of the shape (optical surface) of a temporarily molded lens is obtained. Then, the amount of deviation is fed back to the processing value of the mirror surface piece to perform correction processing. By doing so, the deviation from the design value of the mirror piece is corrected.
Japanese Patent Laid-Open No. 11-77763 JP 2004-66612 A

しかしながら、特許文献１の技術では、金型内に位置調整手段を設ける必要があるため、金型が大型化してしまう。また、特許文献１の技術では、調整シロを設けるため、金型内に断熱効果を有する空気層が発生し、調整前後での金型内の温度分布が変化する懸念がある。そのため、成形品の品質を安定して得ることは難しい。 However, in the technique of Patent Document 1, since it is necessary to provide a position adjusting means in the mold, the mold becomes large. Moreover, in the technique of patent document 1, since adjustment scissors are provided, the air layer which has a heat insulation effect generate | occur | produces in a metal mold | die, and there exists a possibility that the temperature distribution in a metal mold | die before and behind adjustment may change. Therefore, it is difficult to stably obtain the quality of the molded product.

また、特許文献２では、仮成形時の光学面における設計値からのズレ量のみを、鏡面駒の加工値にフィードバックしているにすぎない。そのため、鏡面駒自体の面内における中心（回転対称な光学素子では、光軸が該当する。）位置を把握しているわけではない。よって、鏡面駒の実際の加工では、加工値どおりに鏡面が作製されていない可能性がある。その理由について、説明する。鏡面駒を加工機に取り付ける際には、取り付け誤差が存在する。また、鏡面駒を加工機に保持する際には、保持ための治具に加工誤差が存在する。ところが、これらの誤差は、光学面の測定からは得られない。そのため、光学面の測定結果のみに基づいて鏡面駒を補正加工しても、補正加工後の型体に対する取り付けに際して誤差を生じる。そして、この誤差が、光学面の中心のズレとなってしまう。 Moreover, in patent document 2, only the deviation | shift amount from the design value in the optical surface at the time of temporary shaping is only fed back to the processing value of a mirror surface piece. Therefore, the position of the center (in the case of a rotationally symmetric optical element, the optical axis corresponds) in the plane of the mirror piece itself is not grasped. Therefore, in the actual processing of the mirror surface piece, the mirror surface may not be produced according to the processing value. The reason will be described. When attaching the mirror piece to the processing machine, there is an attachment error. Further, when holding the mirror piece on the processing machine, there is a processing error in the holding jig. However, these errors cannot be obtained from optical surface measurements. For this reason, even if the mirror surface piece is corrected based only on the measurement result of the optical surface, an error occurs when the correction piece is attached to the mold body. Then, this error becomes a deviation of the center of the optical surface.

本発明は上記課題に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、設計値からのズレが少ない高精度の光学素子、例えば、光軸の偏心量が少ない高精度な光学素子を製造することが可能な鏡面駒の作製技術を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to manufacture a high-precision optical element with a small deviation from a design value, for example, a high-precision optical element with a small amount of eccentricity of the optical axis. An object of the present invention is to provide a technique for producing a mirror piece that can be used.

また、本発明の他の目的は、光学面が回転対称軸を有さない光学面であっても、設計値からのズレが少ない高精度な光学素子を製造することが可能な鏡面駒の作製技術を提供することにある。 Another object of the present invention is a technique for producing a mirror piece that can manufacture a high-precision optical element with little deviation from a design value even if the optical surface is an optical surface that does not have a rotational symmetry axis. Is to provide.

また、本発明の他の目的は、設計値からのズレが少ない高精度な光学素子、例えば、光軸の偏心量の少ない高精度な光学素子を製造することが可能な光学素子の製造技術を提供することにある。 Another object of the present invention is a technique for manufacturing an optical element capable of manufacturing a high-precision optical element with a small deviation from a design value, for example, a high-precision optical element with a small amount of eccentricity of the optical axis. It is to provide.

また、本発明の他の目的は、光学面が回転対称軸を有さない光学面であっても、設計値からのズレが少ない高精度な光学素子を製造することが可能な光学素子の製造技術を提供することにある。 Another object of the present invention is to manufacture an optical element capable of manufacturing a high-precision optical element with little deviation from the design value even if the optical surface is an optical surface having no rotational symmetry axis. To provide technology.

本発明の第１の観点は、仮鏡面駒を用いて仮光学素子を形成する工程と、
前記仮光学素子の光学面の形状を測定して、前記測定形状における基準軸位置を求める工程と、
前記仮光学素子の設計形状における基準軸位置の位置を求める工程と、
前記測定形状における基準軸位置と、前記設計形状における基準軸位置の相対的なズレ量を算出する工程と、
前記仮鏡面駒の鏡面の形状を測定して、前記鏡面の測定形状における基準軸位置を算出する工程と、
前記ズレ量に基づいて、前記仮鏡面駒の基準軸位置を修正するように前記仮鏡面駒の鏡面を加工して、鏡面駒を作製する工程と、
を有する鏡面駒の作製方法を提供する。 A first aspect of the present invention is a step of forming a temporary optical element using a temporary mirror surface piece,
Measuring the shape of the optical surface of the temporary optical element to obtain a reference axis position in the measured shape;
Obtaining a position of a reference axis position in the design shape of the temporary optical element;
Calculating a relative shift amount between a reference axis position in the measurement shape and a reference axis position in the design shape;
Measuring the shape of the mirror surface of the temporary mirror surface piece, and calculating a reference axis position in the measurement shape of the mirror surface;
Processing the mirror surface of the temporary mirror surface piece so as to correct the reference axis position of the temporary mirror surface piece based on the amount of deviation, and producing a mirror surface piece;
A method of manufacturing a mirror piece having the above is provided.

本発明の第２の観点は、第１の観点に記載の鏡面駒の作製方法において、
前記仮鏡面駒の作製にあたっては、前記仮鏡面駒の鏡面と加工工具を直交する２方向に相対移動する工程を有する鏡面駒の作製方法を提供する。 According to a second aspect of the present invention, in the method for manufacturing a specular piece according to the first aspect,
In producing the temporary mirror surface piece, a method of producing a mirror surface piece is provided which includes a step of relatively moving the mirror surface of the temporary mirror surface piece and a processing tool in two directions orthogonal to each other.

本発明の第３の観点は、第１の観点又は第２の観点に記載の鏡面駒の作製方法において、
前記鏡面駒を作製する工程では、前記仮鏡面駒の鏡面と加工工具を直交する２方向に相対移動させる鏡面駒の作製方法を提供する。 According to a third aspect of the present invention, in the method for manufacturing a specular piece according to the first aspect or the second aspect,
In the step of producing the mirror surface piece, a method of producing a mirror surface piece is provided in which the mirror surface of the temporary mirror surface piece and the machining tool are relatively moved in two orthogonal directions.

本発明の第４の観点は、第１の観点乃至第３の観点のいずれか１項に記載の鏡面駒の作製方法において、
前記測定形状における基準軸位置を求める工程と、前記設計形状における基準軸位置の位置を求める工程は、前記仮光学素子に設けられた基準物の位置を基準として行われる鏡面駒の作製方法を提供する。 According to a fourth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a specular piece according to any one of the first to third aspects,
The step of obtaining the reference axis position in the measurement shape and the step of obtaining the position of the reference axis position in the design shape provide a method for producing a mirror piece that is performed based on the position of a reference object provided in the temporary optical element. .

本発明の第５の観点は、第４の観点に記載の鏡面駒の作製方法において、
前記基準物は１つであり、
複数の前記光学面の各々について、該１つの基準物に基づいて前記基準軸の位置を算出する鏡面駒の作製方法を提供する。 According to a fifth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a specular piece according to the fourth aspect,
The reference is one,
Provided is a specular piece manufacturing method for calculating the position of the reference axis based on the one reference object for each of the plurality of optical surfaces.

本発明の第６の観点は、第４の観点に記載の鏡面駒の作製方法において、
前記基準物は前記光学面の数と同数であり、
複数の前記光学面の各々について、各々の基準物に基づいて前記基準軸の位置を算出する鏡面駒の作製方法を提供する。 According to a sixth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a specular piece according to the fourth aspect,
The reference object is the same as the number of the optical surfaces,
Provided is a mirror piece manufacturing method for calculating the position of the reference axis based on each reference object for each of the plurality of optical surfaces.

本発明の第７の観点は、第４の観点に記載の鏡面駒の作製方法において、
前記基準物は前記光学面の数よりも少なく、
複数の前記光学面のうち少なくとも２つの光学面について、共通の基準物に基づいて前記基準軸の位置を算出する鏡面駒の作製方法を提供する。 According to a seventh aspect of the present invention, in the method for manufacturing a specular piece according to the fourth aspect,
The reference object is less than the number of the optical surfaces,
Provided is a specular piece manufacturing method for calculating the position of the reference axis based on a common reference object for at least two of the plurality of optical surfaces.

本発明の第８の観点は、鏡面駒を用いて光学素子を成形する光学素子の製造方法であって、
第１の観点乃至第７の観点のいずれか１項に記載の鏡面駒の作製方法で作製された鏡面駒を用いる光学素子の製造方法を提供する。 An eighth aspect of the present invention is an optical element manufacturing method for forming an optical element using a mirror piece,
An optical element manufacturing method using a specular piece manufactured by the method for manufacturing a specular piece according to any one of the first aspect to the seventh aspect is provided.

本発明の第９の観点は、第８の観点に記載の光学素子の製造方法を用いて製造された光学素子を提供する。
本発明の第１０の観点は、第９の観点記載の光学素子において、
前記光学素子は、少なくとも１つの光学面に回転対称軸を有さない曲面形状をもつプリズムである光学素子を提供する。 A ninth aspect of the present invention provides an optical element manufactured by using the method for manufacturing an optical element described in the eighth aspect.
A tenth aspect of the present invention is the optical element according to the ninth aspect,
The optical element provides an optical element which is a prism having a curved surface shape having no rotational symmetry axis on at least one optical surface.

本発明によれば、設計値からのズレが少ない高精度の光学素子、例えば、光軸の偏心量の少ない高精度な光学素子を製造すること、このような光学素子を製作可能な鏡面駒を得ることが可能となる。 According to the present invention, a high-precision optical element with a small deviation from the design value, for example, a high-precision optical element with a small amount of eccentricity of the optical axis, and a mirror piece capable of manufacturing such an optical element are provided. Can be obtained.

本発明によれば、光学面が回転対称軸を有さない光学面であっても、設計値からのズレが少ない高精度の光学素子を製造すること、このような光学素子を製作可能な鏡面駒を得ることが可能となる。 According to the present invention, even if the optical surface is an optical surface that does not have a rotationally symmetric axis, it is possible to manufacture a high-precision optical element with little deviation from the design value, and a mirror surface on which such an optical element can be manufactured. It becomes possible to obtain a piece.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
（実施の形態１）
図１は、本発明の一実施の形態である鏡面駒の作製方法、および光学素子の製造方法の一例を示すフローチャートであり、図２は、本実施の形態の光学素子の製造方法に用いられる成形装置の構成の一例を示す断面図、図３は、本実施の形態の鏡面駒の製作方法に用いられる鏡面駒加工装置の構成の一例を示す斜視図、図４は、本実施の形態の鏡面駒の作製方法および光学素子の製造方法に用いられる非接触３次元測定機の構成の一例を示す概念図、である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a flowchart showing an example of a method for manufacturing a specular piece and an optical element manufacturing method according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 shows molding used in the optical element manufacturing method of the present embodiment. FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of the configuration of the apparatus, FIG. 3 is a perspective view showing an example of the configuration of the mirror surface processing apparatus used in the method for manufacturing the mirror surface piece of the present embodiment, and FIG. 4 is a diagram of the mirror surface piece of the present embodiment. It is a conceptual diagram which shows an example of a structure of the non-contact three-dimensional measuring machine used for the manufacturing method and the manufacturing method of an optical element.

図２に例示されるように、本実施の形態に用いられる成形装置１０は、固定型板１２と、可動型板１４を備えている。ここで、固定型板１２は、固定プレート１１に支持されている。また、可動型板１４は、スペーサブロック１３ｃを介して、可動プレート１３に支持されている。 As illustrated in FIG. 2, the molding apparatus 10 used in the present embodiment includes a fixed mold plate 12 and a movable mold plate 14. Here, the stationary template 12 is supported by the stationary plate 11. Moreover, the movable mold 14 is supported by the movable plate 13 via the spacer block 13c.

固定型板１２および可動型板１４の対向面には、複数組の鏡面駒１５および鏡面駒１６が配置されている。鏡面駒１５および鏡面駒１６は、互いに、成形面１５ａおよび成形面１６ａを対向させる姿勢で配置されている。そして、固定型板１２と可動型板１４が密着することで、型締め状態になる。この型締め状態において、成形面１５ａおよび成形面１６ａにより、キャビティ１７が形成される。 A plurality of sets of specular pieces 15 and specular pieces 16 are arranged on the opposing surfaces of the fixed mold plate 12 and the movable mold plate 14. The mirror surface piece 15 and the mirror surface piece 16 are arranged in a posture in which the molding surface 15a and the molding surface 16a face each other. Then, the fixed mold plate 12 and the movable mold plate 14 come into close contact with each other so that a mold clamping state is obtained. In this clamping state, the cavity 17 is formed by the molding surface 15a and the molding surface 16a.

固定型板１２の中央部には、厚さ方向に貫通するように、スプルー１９が設けられている。固定型板１２と可動型板１４の対向面には、スプルー１９の開口端部を中心として、放射状に複数のランナ１８が設けられている。個々のランナ１８の先端部は、キャビティ１７の各々に連通している。 A sprue 19 is provided at the center of the fixed template 12 so as to penetrate in the thickness direction. A plurality of runners 18 are provided radially on the opposed surfaces of the fixed mold plate 12 and the movable mold plate 14 with the open end of the sprue 19 as the center. The tip of each runner 18 communicates with each of the cavities 17.

そして、型締め状態において、スプルー１９およびランナ１８を介して、外部から流動する熱可塑性の樹脂が、個々のキャビティ１７内に圧入される。このようにすることで、キャビティ１７内に、樹脂が充填される。そして、この充填された樹脂により、光学面５１ａ、光学面５１ｂを有する非球面レンズ５０が製造される。ここで、光学面５１ａおよび光学面５１ｂは、それぞれ、成形面１５ａおよび成形面１６ａの面形状が転写されたものである。よって、光学面５１ａおよび光学面５１ｂの面形状は、成形面１５ａおよび成形面１６ａの面形状にて規定されることになる。 In the mold clamping state, thermoplastic resin flowing from the outside is press-fitted into the individual cavities 17 through the sprue 19 and the runner 18. By doing in this way, resin is filled in the cavity 17. And the aspherical lens 50 which has the optical surface 51a and the optical surface 51b with this filled resin is manufactured. Here, the optical surface 51a and the optical surface 51b are obtained by transferring the surface shapes of the molding surface 15a and the molding surface 16a, respectively. Therefore, the surface shapes of the optical surface 51a and the optical surface 51b are defined by the surface shapes of the molding surface 15a and the molding surface 16a.

また、固定型板１２と可動型板１４を離間させる離型時には、突き出しピン１３ａが、可動型板１４から突出する。そして、突き出しピン１３ａの突き出しによって、可動型板１４の側からランナ１８内に充満した樹脂を、可動型板１４及び成形面１６ａから離間させる。 Further, at the time of mold release for separating the fixed mold 12 and the movable mold 14, the protrusion pin 13 a protrudes from the movable mold 14. The resin filled in the runner 18 from the movable mold plate 14 side is separated from the movable mold plate 14 and the molding surface 16a by the protrusion of the protrusion pin 13a.

図３に例示されるように、本実施の形態における鏡面駒加工装置２０は、ＸＹステージ２１、Ｚ軸コラム２２、ツールアーム２３、切削工具２４および三次元加工コントローラ２５を備えている。 As illustrated in FIG. 3, the specular piece processing apparatus 20 in the present embodiment includes an XY stage 21, a Z-axis column 22, a tool arm 23, a cutting tool 24, and a three-dimensional processing controller 25.

ＸＹステージ２１には、加工治具３１が載置されている。そして、加工治具３１に、被加工物が載置されている。ここで、被加工物は、鏡面駒１５あるいは鏡面駒１６である。この被加工物は、固定螺子３１ａによって、所定の姿勢で位置決め及び固定されている。そして、ＸＹステージ２１によって、水平面内における被加工物の移動が行われる。Ｚ軸コラム２２には、ツールアーム２３を介して、切削工具２４が支持されている。このＺ軸コラム２２によって、高さ方向（Ｚ軸方向）における切削工具２４を昇降が行われる。 A processing jig 31 is placed on the XY stage 21. A workpiece is placed on the processing jig 31. Here, the workpiece is the mirror piece 15 or the mirror piece 16. The workpiece is positioned and fixed in a predetermined posture by a fixing screw 31a. Then, the workpiece is moved in the horizontal plane by the XY stage 21. A cutting tool 24 is supported on the Z-axis column 22 via a tool arm 23. The cutting tool 24 in the height direction (Z-axis direction) is moved up and down by the Z-axis column 22.

そして、三次元加工コントローラ２５が、設計データ２６に基づいて、ＸＹステージ２１とＺ軸コラム２２を駆動する。この駆動により、ＸＹステージ２１にでは、水平面内での直交するＸおよびＹ方向において、被加工物の移動が行われる。一方、Ｚ軸コラム２２では、切削工具２４の昇降が行われる。このような動作を組み合わせることで、たとえば、切削工具２４の先端（切羽）部を、加工軌跡２４ａのようにジグザグに移動させることができる。このようにすることで、被加工物に、非球面の成形面１５ａ（成形面１６ａ）が形成される。 Then, the three-dimensional processing controller 25 drives the XY stage 21 and the Z-axis column 22 based on the design data 26. By this driving, the workpiece is moved on the XY stage 21 in the X and Y directions perpendicular to each other in the horizontal plane. On the other hand, in the Z-axis column 22, the cutting tool 24 is moved up and down. By combining such operations, for example, the tip (face) portion of the cutting tool 24 can be moved in a zigzag manner like the machining locus 24a. By doing in this way, the aspherical molding surface 15a (molding surface 16a) is formed in the workpiece.

なお、被加工物のＸＹステージ２１に対する位置決めは、加工治具３１により、正確に行われる。すなわち、ＸＹステージ２１に対して加工治具３１を定位置に固定し、さらに、加工治具３１に対して被加工物を定位置に固定する。このようにすることで、被加工物は、鏡面駒加工装置２０に固有の座標系に正確に固定される。なお、図３では、ＸＹステージ２１によって、被加工物をＸ方向や、Ｙ方向に移動させている。ただし、このような構成には限定されない。例えば、被加工物を固定しておいて、Ｚ軸コラム２２をＸ方向や、Ｙ方向に移動させてもよい。このような構成を、鏡面駒加工装置２０に採用しても良い。 Note that the workpiece is accurately positioned with respect to the XY stage 21 by the processing jig 31. That is, the processing jig 31 is fixed at a fixed position with respect to the XY stage 21, and the workpiece is fixed at a fixed position with respect to the processing jig 31. By doing so, the workpiece is accurately fixed to the coordinate system unique to the mirror surface piece processing apparatus 20. In FIG. 3, the workpiece is moved in the X direction or the Y direction by the XY stage 21. However, it is not limited to such a configuration. For example, the workpiece may be fixed and the Z-axis column 22 may be moved in the X direction or the Y direction. Such a configuration may be adopted in the mirror surface piece processing apparatus 20.

次に、非接触３次元測定機について説明する。図４は、非接触３次元測定機の例である。非接触３次元測定機４０は、たとえば、オートフォーカスタイプの非接触３次元測定機である。非接触３次元測定機４０は、レーザ光４１ａを放射するレーザ４１、所定の光学系及び移動機構４６を備えている。所定の光学系は、ミラー４２、ミラー４３、ミラー４４、対物レンズ４５を備えている。このうち、ミラー４２は、レーザ光４１ａを被測定物に導くとともに、その反射光を光位置検出装置４７に導く。また、移動機構４６は、対物レンズ４５の被測定物に対する焦点位置を制御する。 Next, a non-contact three-dimensional measuring machine will be described. FIG. 4 is an example of a non-contact three-dimensional measuring machine. The non-contact three-dimensional measuring machine 40 is, for example, an autofocus type non-contact three-dimensional measuring machine. The non-contact three-dimensional measuring machine 40 includes a laser 41 that emits a laser beam 41a, a predetermined optical system, and a moving mechanism 46. The predetermined optical system includes a mirror 42, a mirror 43, a mirror 44, and an objective lens 45. Among these, the mirror 42 guides the laser light 41 a to the object to be measured and guides the reflected light to the optical position detection device 47. The moving mechanism 46 controls the focal position of the objective lens 45 with respect to the object to be measured.

この非接触３次元測定機４０は、本実施の形態では、仮光学素子として成形された非球面レンズ５０、非球面レンズ５０の成形に用いられる鏡面駒１５の成形面１５ａ、および鏡面駒１６の成形面１６ａの測定に用いられる。この場合、非球面レンズ５０の測定では、図４に例示されるように、測定治具４９が用いられる。 In this embodiment, the non-contact three-dimensional measuring machine 40 includes an aspheric lens 50 molded as a temporary optical element, a molding surface 15a of the mirror piece 15 used for molding the aspheric lens 50, and the mirror piece 16. Used for measurement of the molding surface 16a. In this case, in the measurement of the aspheric lens 50, a measurement jig 49 is used as illustrated in FIG.

また、成形面１５ａ及び成形面１６ａの測定では、図５に例示されるように、加工時と同じ、加工治具３１が用いられる。すなわち、加工治具３１によって鏡面駒１５、鏡面駒１６を固定した状態は、鏡面駒１５、鏡面駒１６を固定型板１２、可動型板１４に固定した状態と等価になるのが好ましい。本実施の形態では、鏡面駒１５、鏡面駒１６の外周面を、位置決め基準部位として用いている。そして、この加工治具３１を用いて、図５のように、非接触３次元測定機４０による光軸Ａ０の測定を行うことで、光軸Ａ０の位置が求める。そうすると、この光軸Ａ０の位置は、固定型板１２、可動型板１４に対して鏡面駒１５、鏡面駒１６装着した状態における光軸の位置と等価となる。 Further, in the measurement of the molding surface 15a and the molding surface 16a, as illustrated in FIG. 5, the same processing jig 31 as that used during processing is used. That is, the state in which the mirror piece 15 and the mirror piece 16 are fixed by the processing jig 31 is preferably equivalent to the state in which the mirror piece 15 and the mirror piece 16 are fixed to the fixed mold 12 and the movable mold 14. In the present embodiment, the outer peripheral surfaces of the mirror piece 15 and the mirror piece 16 are used as positioning reference portions. Then, using this processing jig 31, the position of the optical axis A0 is obtained by measuring the optical axis A0 with a non-contact three-dimensional measuring device 40 as shown in FIG. Then, the position of the optical axis A0 is equivalent to the position of the optical axis when the mirror piece 15 and the mirror piece 16 are attached to the fixed mold plate 12 and the movable mold plate 14.

そして、レーザ４１から出たレーザ光４１ａは、ミラー４３、ミラー４２を経て、対物レンズ４５に入射する。入射したレーザ光４１ａは、対物レンズ４５の焦点面に向かって集光され、被検物の被測定面に照射される。被測定面で反射したレーザ光４１ａは、再び対物レンズ４５を通って、ミラー４２、ミラー４３、ミラー４４を経て、光位置検出装置４７上に結像する。なお、この場合、被検物は非球面レンズ５０、鏡面駒１５あるいは鏡面駒１６であり、被測定面は、光学面５１ａ、光学面５１ｂ、成形面１５ａあるいは成形面１６ａである。 The laser light 41 a emitted from the laser 41 enters the objective lens 45 through the mirror 43 and the mirror 42. The incident laser light 41a is condensed toward the focal plane of the objective lens 45 and irradiated onto the measurement surface of the test object. The laser beam 41a reflected from the measurement surface passes through the objective lens 45 again, passes through the mirror 42, the mirror 43, and the mirror 44, and forms an image on the optical position detection device 47. In this case, the test object is the aspherical lens 50, the mirror piece 15 or the mirror piece 16, and the measurement surface is the optical surface 51a, the optical surface 51b, the molding surface 15a or the molding surface 16a.

対物レンズ４５のフォーカスが被測定面に合っていない場合、光位置検出装置４７の結像位置が、基準位置から変化する。そこで、この位置変化を光位置検出装置４７で検出して、移動機構４６により対物レンズ４５のフォーカスが被測定面に合致する方向に移動させる。そして、フォーカスが合ったときの対物レンズ４５の移動量により、被測定面１のＺ軸方向の高さが測定できる。また、被検物が載置されたＸＹステージ４８の移動量により、被測定面のＸ−Ｙ面内におけるレーザ光４１ａの位置が分かる。このようにして、被検物の被測定面の３次元形状が測定できる。 When the focus of the objective lens 45 does not match the surface to be measured, the imaging position of the optical position detection device 47 changes from the reference position. Therefore, this position change is detected by the optical position detection device 47, and the moving mechanism 46 moves the focus of the objective lens 45 in the direction matching the surface to be measured. The height of the measurement target surface 1 in the Z-axis direction can be measured by the amount of movement of the objective lens 45 when the focus is achieved. Further, the position of the laser beam 41a in the XY plane of the surface to be measured can be determined by the amount of movement of the XY stage 48 on which the test object is placed. In this way, the three-dimensional shape of the measurement surface of the test object can be measured.

本実施の形態の場合には、この３次元形状の測定結果により、成形面１５ａ、成形面１６ａ、光学面５１ａの及び光学面５１ｂの形状を測定する。そして、
以下、図１のフローチャート等を参照して、本実施の形態の作用の一例について説明する。なお、本実施の形態では、仮光学素子は非球面レンズである。そして、この非球面は、光軸に対して回転対称な形状になっている。 In the case of the present embodiment, the shapes of the molding surface 15a, the molding surface 16a, the optical surface 51a, and the optical surface 51b are measured based on the measurement result of the three-dimensional shape. And
Hereinafter, an example of the operation of the present embodiment will be described with reference to the flowchart of FIG. In the present embodiment, the temporary optical element is an aspheric lens. The aspheric surface has a rotationally symmetric shape with respect to the optical axis.

まず、補正加工前の鏡面駒１５、鏡面駒１６を仮鏡面駒として用いる。この仮鏡面駒は、上述のように、成形面１５ａ、成形面１６ａが非球面形状を呈しており、この仮鏡面駒で形成されるキャビティ１７は、２つの光学面が非球面のレンズ形状である。なお、ここでは、キャビティ１７の形状として、２つの光学面が非球面のレンズ形状の例を示すが、１つの光学面が球面形状、２つの光学面が球面形状、１つの光学面が平面形状、２つの光学面が平面形状、１つの光学面が回転対称軸を有さない自由曲面形状、２つの光学面が回転対称軸を有さない自由曲面形状でも構わない。 First, the mirror piece 15 and the mirror piece 16 before correction processing are used as temporary mirror pieces. As described above, the temporary mirror surface piece has a molding surface 15a and a molding surface 16a having an aspheric shape, and the cavity 17 formed by the temporary mirror surface piece has a lens shape with two aspheric surfaces. is there. In this example, the shape of the cavity 17 is an example of a lens shape in which two optical surfaces are aspherical. However, one optical surface is spherical, two optical surfaces are spherical, and one optical surface is planar. Two optical surfaces may have a planar shape, one optical surface may have a free curved surface shape without a rotational symmetry axis, and two optical surfaces may have a free curved surface shape without a rotational symmetry axis.

図示しない射出成形ユニットより射出された溶融樹脂は、図２のスプルー１９、ランナ１８を介して、仮鏡面駒で形成されるキャビティ１７に充填される。その後、充填された樹脂は冷却され、非球面レンズ５０（仮光学素子）を形成する（ステップ１０１）。 A molten resin injected from an injection molding unit (not shown) is filled into a cavity 17 formed by a temporary mirror surface piece through the sprue 19 and the runner 18 of FIG. Thereafter, the filled resin is cooled to form an aspheric lens 50 (temporary optical element) (step 101).

この場合、図６に示すように、非球面レンズ５０は、たとえば、レンズ部５１と、その周囲のレンズ枠５２、およびレンズ枠５２に突設されたボス５３が樹脂で一体に成形された形状を呈している。なお、説明を簡略にするため、図２では、キャビティ７０は、レンズ部５１に対応した部分のみが図示されている。 In this case, as shown in FIG. 6, the aspherical lens 50 has a shape in which, for example, a lens portion 51, a surrounding lens frame 52, and a boss 53 protruding from the lens frame 52 are integrally formed of resin. Presents. In order to simplify the description, in FIG. 2, only the portion of the cavity 70 corresponding to the lens portion 51 is shown.

次に成形装置１０から取り出された仮光学素子の偏心量を算出する。本実施の形態では、仮光学素子の面形状は回転対称形状である。よって、光学面の基準軸は、光軸になる。そして、偏心量は、設計値からの光学面の光軸のズレ量になる。本実施の形態では、図６に示すように、光学面５１ａ、光学面５１ｂの有効径外に、ボス５３が設けられている。このボス５３の位置が、基準位置となる。そこで、まず、ボス５３の中心軸５３ａの位置（基準位置）を算出する（ステップ１０２）。次に、光軸Ａ１及び光軸Ａ２の位置を算出する（ステップ１０３）。そして、この中心軸５３ａを基準にして、光学面５１ａの光軸Ａ１、光学面５１ｂの光軸Ａ２の各々について、中心軸５３ａからの距離を算出する。一方、設計値に基づいて、ボス５３の中心軸から光学面５１ａの光軸までの距離、及びボス５３の中心軸から光学面５１ｂの光軸までの距離を算出する。この算出は、あらかじめ行っていても良い。続いて、測定に基づく距離と設計値に基づく距離から、光軸Ａ１及び光軸Ａ２の位置のズレ量（Δｘ，Δｙ）を、偏心量として求める（ステップ１０４）。 Next, the amount of eccentricity of the temporary optical element taken out from the molding apparatus 10 is calculated. In the present embodiment, the surface shape of the provisional optical element is a rotationally symmetric shape. Therefore, the reference axis of the optical surface is the optical axis. The amount of eccentricity is the amount of deviation of the optical axis of the optical surface from the design value. In the present embodiment, as shown in FIG. 6, a boss 53 is provided outside the effective diameter of the optical surface 51a and the optical surface 51b. The position of the boss 53 becomes the reference position. Therefore, first, the position (reference position) of the central axis 53a of the boss 53 is calculated (step 102). Next, the positions of the optical axis A1 and the optical axis A2 are calculated (step 103). Then, the distance from the central axis 53a is calculated for each of the optical axis A1 of the optical surface 51a and the optical axis A2 of the optical surface 51b with reference to the central axis 53a. On the other hand, based on the design value, the distance from the central axis of the boss 53 to the optical axis of the optical surface 51a and the distance from the central axis of the boss 53 to the optical axis of the optical surface 51b are calculated. This calculation may be performed in advance. Subsequently, the amount of deviation (Δx, Δy) between the positions of the optical axis A1 and the optical axis A2 is obtained as an eccentric amount from the distance based on the measurement and the distance based on the design value (step 104).

なお、ボス５３は、非球面レンズ５０が装着される鏡枠等の枠部品（不図示）との当接部（当て付け部）として用いられる。当接に際しては、ボス５３が基準となる。よって、本実施の形態では、ボス５３の中心軸５３ａ（すなわち、ボス５３が嵌合する枠部品の穴の中心）を基準として用いることができる。なお、非球面レンズ５０と枠部品との当接部が平面の場合は、平面を基準とする。 The boss 53 is used as a contact portion (abutting portion) with a frame component (not shown) such as a lens frame to which the aspheric lens 50 is attached. When contacting, the boss 53 becomes a reference. Therefore, in the present embodiment, the center axis 53a of the boss 53 (that is, the center of the hole of the frame part into which the boss 53 is fitted) can be used as a reference. When the contact portion between the aspherical lens 50 and the frame part is a flat surface, the flat surface is used as a reference.

ボス５３の中心軸５３ａおよび光軸Ａ１、光軸Ａ２の算出に際しては、上述のように、図４に例示した非接触３次元測定機４０を用いて、光学面５１ａ、光学面５１ｂ、さらにはボス５３の面形状を測定する。そして、光学面５１ａ、光学面５１ｂ、さらにはボス５３の三次元形状から、光軸Ａ１、光軸Ａ２、さらには中心軸５３ａを算出する。 When calculating the central axis 53a of the boss 53, the optical axis A1, and the optical axis A2, the optical surface 51a, the optical surface 51b, and further, using the non-contact three-dimensional measuring device 40 illustrated in FIG. 4 as described above. The surface shape of the boss 53 is measured. Then, the optical axis A1, the optical axis A2, and further the central axis 53a are calculated from the three-dimensional shape of the optical surface 51a, the optical surface 51b, and further the boss 53.

続いて、非球面レンズ５０（仮光学素子）の製作に用いた仮鏡面駒の成形面（この場合、成形面１６ａおよび成形面１５ａ）における光軸Ａ０の位置を算出する（ステップ１０５）。成形面１６ａ内の光軸Ａ０光軸位置は、仮鏡面駒の側となる可動型板１４、鏡面駒１６に対する金型当接部（外周部）を基準にして導き出す。ここで、基準は仮鏡面駒の金型当接部ではなく、最外周でも構わない。 Subsequently, the position of the optical axis A0 on the molding surface (in this case, the molding surface 16a and the molding surface 15a) of the temporary mirror surface piece used for manufacturing the aspheric lens 50 (temporary optical element) is calculated (step 105). The optical axis A0 optical axis position in the molding surface 16a is derived on the basis of the movable mold plate 14 on the temporary mirror surface piece side and the mold contact portion (outer peripheral portion) with respect to the mirror surface piece 16. Here, the reference may be the outermost periphery instead of the die contact portion of the temporary mirror surface piece.

本実施の形態の場合には、図５に例示されるように、鏡面駒１５（鏡面駒１６）の外周部を介して、加工治具３１に保持する。ここで、鏡面駒１５及び鏡面駒１６と加工治具３１とは、両者の位置関係が既知になっている。そこで、鏡面駒１５（鏡面駒１６）を非接触３次元測定機４０のＸＹステージ４８に載置して、成形面１５ａ（成形面１６ａ）の形状測定を行う。そして、測定結果に基づいて、光軸Ａ０の算出を行う、このようにして、光軸Ａ０の位置を、鏡面駒１５、鏡面駒１６の外周（可動型板１４、鏡面駒１６に対する当接部）を基準として求めることができる。 In the case of the present embodiment, as illustrated in FIG. 5, the workpiece is held in the processing jig 31 via the outer peripheral portion of the mirror piece 15 (mirror piece 16). Here, the positional relationship between the mirror surface piece 15 and the mirror surface piece 16 and the processing jig 31 is known. Therefore, the mirror piece 15 (mirror piece 16) is placed on the XY stage 48 of the non-contact three-dimensional measuring device 40, and the shape of the molding surface 15a (molding surface 16a) is measured. Then, based on the measurement result, the optical axis A0 is calculated. In this way, the position of the optical axis A0 is set to the outer periphery of the specular piece 15 and the specular piece 16 (the contact portion for the movable mold 14 and the specular piece 16). ) As a standard.

続いて、仮鏡面駒の面内の光軸Ａ０について、その位置の修正を行う。この修正には、ステップ１０４で算出された光軸Ａ１及び光軸Ａ２の位置のズレ量を用いる。すなわち、光軸Ａ１及び光軸Ａ２の位置のズレ量に基づいて、新たな光軸Ａ０’の位置を算出する。具体的には、光軸Ａ１及び光軸Ａ２の位置のズレ量がゼロになるように、光軸Ａ０の位置を新たな光軸Ａ０’の位置にずらす。このときのずらし量が、補正値となる（ステップ１０６）。そして、新たな光軸Ａ０’の位置（ずらした位置）が光軸となるように、仮鏡面駒（鏡面駒１６、鏡面駒１５）の修正加工、すなわち成形面１５ａや成形面１６ａの修正加工を行う（ステップ１０７）。そして、製品を成形するための鏡面駒１６、鏡面駒１５を作製する（ステップ１０８）。 Subsequently, the position of the optical axis A0 within the surface of the temporary mirror surface piece is corrected. For this correction, the shift amount between the positions of the optical axis A1 and the optical axis A2 calculated in step 104 is used. That is, the position of the new optical axis A0 'is calculated based on the amount of deviation between the positions of the optical axis A1 and the optical axis A2. Specifically, the position of the optical axis A0 is shifted to the position of the new optical axis A0 'so that the amount of deviation between the positions of the optical axis A1 and the optical axis A2 becomes zero. The shift amount at this time becomes a correction value (step 106). Then, correction processing of the temporary mirror surface pieces (mirror surface piece 16, mirror surface piece 15), that is, correction processing of the molding surface 15a and the molding surface 16a, so that the position (shifted position) of the new optical axis A0 ′ becomes the optical axis. (Step 107). Then, the mirror piece 16 and the mirror piece 15 for molding the product are produced (step 108).

具体的には、図３に例示されるように、、上述の補正値を、光軸補正データ２７として三次元加工コントローラ２５に入力する。そして、光軸Ａ０が、この補正値分だけ移動するように、仮鏡面駒を補正加工する。このようにして、製品の成形に用いる鏡面駒１５、鏡面駒１６を製作する。 Specifically, as illustrated in FIG. 3, the correction value described above is input to the three-dimensional processing controller 25 as the optical axis correction data 27. Then, the temporary mirror surface piece is corrected so that the optical axis A0 moves by this correction value. In this way, the mirror piece 15 and the mirror piece 16 used for forming the product are manufactured.

その後、光軸Ａ０の位置が補正された鏡面駒１６、鏡面駒１５を用いて成形を行うことで、製品の非球面レンズ５０を作製する（ステップ１０８）。
このように、本実施の形態では、仮鏡面駒にて成形された仮の非球面レンズ５０の光軸Ａ１のズレ量を算出するとともに、仮鏡面駒自体の光軸Ａ０のズレ量をも算出し、仮成形された非球面レンズ５０の光軸Ａ１、光軸Ａ２のズレを打ち消すように、仮鏡面駒（成形面１６ａ、鏡面駒１５）を補正加工して、光軸Ａ０が補正された鏡面駒１６および鏡面駒１５を作製し、この鏡面駒１６および鏡面駒１５を用いて、製品の非球面レンズ５０の成形を行うので、光軸Ａ１、光軸Ａ２の偏心が少ない高精度な非球面レンズ５０等の光学素子を得ることができる。 Thereafter, molding is performed using the mirror piece 16 and the mirror piece 15 in which the position of the optical axis A0 is corrected, thereby producing an aspherical lens 50 as a product (step 108).
Thus, in the present embodiment, the amount of deviation of the optical axis A1 of the temporary aspheric lens 50 formed by the temporary mirror surface piece is calculated, and the amount of deviation of the optical axis A0 of the temporary mirror surface piece itself is also calculated. Then, the temporary mirror surface piece (molded surface 16a, mirror surface piece 15) is corrected so as to cancel the deviation between the optical axis A1 and the optical axis A2 of the temporarily formed aspheric lens 50, and the optical axis A0 is corrected. Since the mirror piece 16 and the mirror piece 15 are manufactured and the aspherical lens 50 of the product is formed using the mirror piece 16 and the mirror piece 15, the optical axis A1 and the optical axis A2 are not highly eccentric and have high accuracy. An optical element such as the spherical lens 50 can be obtained.

また、非球面レンズ５０のボス５３を基準として、光軸Ａ１および光軸Ａ２の位置を算出している。よって、補正後の光学面５１ａおよび光学面５１ｂの光軸Ａ１および光軸Ａ２は、ボス５３に対して正確に位置決めされた状態となる。そのため、ボス５３を基準にして、図示しない鏡枠等の枠部品を製作しておけば、鏡枠等の枠部品に対する非球面レンズ５０の取付精度も向上する。 Further, the positions of the optical axis A1 and the optical axis A2 are calculated using the boss 53 of the aspheric lens 50 as a reference. Accordingly, the optical axis A1 and the optical axis A2 of the corrected optical surface 51a and optical surface 51b are accurately positioned with respect to the boss 53. Therefore, if a frame part such as a lens frame (not shown) is manufactured based on the boss 53, the mounting accuracy of the aspherical lens 50 to the frame part such as a lens frame is improved.

また、固定型板１２および可動型板１４に対する鏡面駒１５および鏡面駒１６の装着位置を、その都度補正する等の煩雑な作業も必要ない。
すなわち、仮鏡面駒から算出された光軸Ａ０の位置は、鏡面駒１５および鏡面駒１６の固定型板１２および可動型板１４に対する装着時の光軸Ａ０の位置ズレを反映している。そこで、この算出された光軸Ａ０を基準として、仮の非球面レンズ５０の光軸Ａ１、光軸Ａ２のズレを打ち消すように、鏡面駒１５および鏡面駒１６の補正加工を行う。このようにすることで、鏡面駒１５および鏡面駒１６の補正加工にあたって、鏡面駒１５および鏡面駒１６の固定型板１２および可動型板１４に対する装着誤差等を、補正加工に含めることができる。 Further, it is not necessary to perform complicated operations such as correcting the mounting positions of the mirror piece 15 and the mirror piece 16 with respect to the fixed mold plate 12 and the movable mold plate 14 each time.
That is, the position of the optical axis A0 calculated from the temporary mirror surface piece reflects the positional deviation of the optical axis A0 when the mirror surface piece 15 and the mirror surface piece 16 are attached to the fixed mold plate 12 and the movable mold plate 14. Accordingly, with the calculated optical axis A0 as a reference, the mirror piece 15 and the mirror piece 16 are corrected so as to cancel the deviation between the optical axis A1 and the optical axis A2 of the temporary aspheric lens 50. By doing in this way, in the correction process of the specular piece 15 and the specular piece 16, the mounting error of the specular piece 15 and the specular piece 16 with respect to the fixed mold 12 and the movable mold 14 can be included in the correction process.

これにより、たとえば、光学面５１ａおよび光学面５１ｂの各々について、その光軸位置偏心量が±１０μｍ以下の光学素子を得ることができる。
また、成形装置１０を用いた射出成形で非球面レンズ５０等の光学素子を作製することで、低コストな光学素子を得ることができる。また、基準軸を補正加工するのと同時に、例えば、光学面の形状誤差を相殺させる補正加工を行なっても良い。このような面形状補正加工を行なうことで、リードタイムを、より短縮することができる。 Thereby, for example, for each of the optical surface 51a and the optical surface 51b, an optical element having an optical axis position eccentricity of ± 10 μm or less can be obtained.
Further, by producing an optical element such as the aspherical lens 50 by injection molding using the molding apparatus 10, a low-cost optical element can be obtained. Further, at the same time as the correction processing of the reference axis, for example, correction processing for canceling the shape error of the optical surface may be performed. By performing such surface shape correction processing, the lead time can be further shortened.

（実施の形態２）
図７は、本発明の実施の形態２であって、光学素子の製造方法の作用の一例を示す概念図である。 (Embodiment 2)
FIG. 7 is a conceptual diagram showing an example of the operation of the optical element manufacturing method according to the second embodiment of the present invention.

上述の実施の形態１の説明では、図６に例示されるように、ボス５３の中心軸５３ａを基準として非球面レンズ５０の光軸Ａ１、光軸Ａ２の偏心量を算出する場合を例示した。
これに対して、本実施の形態では、図７に例示されるように、一方の光学面５１ａの光軸Ａ１を基準として、光学面５１ｂの側の光軸Ａ２のズレ量（Δｘ，Δｙ）を算出している。そして、この算出結果に基づいて、鏡面駒１５、鏡面駒１６の光軸Ａ０の補正加工を行う。 In the description of the above-described first embodiment, as illustrated in FIG. 6, the case where the eccentric amounts of the optical axis A1 and the optical axis A2 of the aspherical lens 50 are calculated based on the central axis 53a of the boss 53 is illustrated. .
On the other hand, in the present embodiment, as illustrated in FIG. 7, the deviation (Δx, Δy) of the optical axis A2 on the optical surface 51b side with reference to the optical axis A1 of the one optical surface 51a. Is calculated. And based on this calculation result, the optical axis A0 of the specular piece 15 and the specular piece 16 is corrected.

このようにすれば、光学面５１ａの光軸Ａ１と光学面５１ｂの光軸Ａ２に関して、相対的な同心度の精度が向上する。
（実施の形態３）
この実施の形態３では、光軸の周りに回転対称なレンズ形状でない光学素子に適用した場合について説明する。このような光学素子として、例えば、プリズム等（非回転対称面を有するプリズム、自由曲面プリズム）がある。 This improves the accuracy of the relative concentricity with respect to the optical axis A1 of the optical surface 51a and the optical axis A2 of the optical surface 51b.
(Embodiment 3)
In the third embodiment, a case will be described in which the present invention is applied to an optical element having a lens shape that is not rotationally symmetric about the optical axis. Examples of such an optical element include a prism and the like (a prism having a non-rotationally symmetric surface, a free-form surface prism).

すなわち、図８は、本実施の形態３の光学素子の断面図であり、図９は、その斜視図である。
本実施の形態３のプリズム８０は、光学面８１、光学面８２、光学面８３及び側面部８５を備えている。側面部８５は、向かい合うように形成された２つの平面であって、互いが平行となるように配置されている。そして、この側面部８５に直交方向に、光学面８１、光学面８２および光学面８３が形成されている。ここで、自由曲面は非回転対称な形状である。よって、光軸という概念は無い。ただし、面形状を規定する基準軸は存在する。そこで、本実施の形態では、便宜上、基準軸を光軸と称する。 That is, FIG. 8 is a cross-sectional view of the optical element of the third embodiment, and FIG. 9 is a perspective view thereof.
The prism 80 according to the third embodiment includes an optical surface 81, an optical surface 82, an optical surface 83, and a side surface 85. The side surface portion 85 is two planes formed so as to face each other, and is disposed so as to be parallel to each other. An optical surface 81, an optical surface 82, and an optical surface 83 are formed on the side surface portion 85 in the orthogonal direction. Here, the free-form surface is a non-rotationally symmetric shape. Therefore, there is no concept of an optical axis. However, there is a reference axis that defines the surface shape. Therefore, in this embodiment, the reference axis is referred to as an optical axis for convenience.

光学面８１は、外側に凸の自由曲面であり、光軸８１ａを持っている。光学面８２は、内側にわずかに凹んだ自由曲面で構成され、光軸８２ａを持っている。光学面８３は、平面部８４と、平面部８４の中央に形成された凹形状の自由曲面で構成され、光軸８３ａを持っている。 The optical surface 81 is an outwardly convex free-form surface and has an optical axis 81a. The optical surface 82 is a free-form surface slightly recessed inward and has an optical axis 82a. The optical surface 83 is composed of a flat portion 84 and a concave free-form surface formed at the center of the flat portion 84, and has an optical axis 83a.

このような構成において、光学面８１から入射した光は、光額面８１で収束される。そして、この光は、光学面８２で光学面８３の方向に反射される。さらに、反射された光は、光学面８３により収束され、外部に出射する。光学面８１、光学面８２は、たとえば、プリズム８０を通過した光の収差を除去するように、自由曲面の形状が設定されている。 In such a configuration, the light incident from the optical surface 81 is converged on the light face 81. This light is reflected by the optical surface 82 in the direction of the optical surface 83. Further, the reflected light is converged by the optical surface 83 and emitted to the outside. The optical surface 81 and the optical surface 82 are set to have a free-form surface so as to remove the aberration of light that has passed through the prism 80, for example.

図１０は、上述ような形状のプリズム８０の成形に用いられる成形装置６０の一例を示す断面図である。
なお、図２の成形装置１０と共通する構成要素には共通の符号を付して重複した説明は割愛し、異なる点のみ説明する。 FIG. 10 is a cross-sectional view showing an example of a molding apparatus 60 used for molding the prism 80 having the above-described shape.
In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the component which is common in the shaping | molding apparatus 10 of FIG. 2, the overlapping description is omitted, and only a different point is demonstrated.

すなわち、成形装置６０では、プリズム８０の三つの光学面８１、光学面８２および光学面８３を成形するため、自由曲面鏡面駒７１、自由曲面鏡面駒７３および自由曲面鏡面駒７３を用いる。 That is, in the forming device 60, the free-form surface specular piece 71, the free-form surface specular piece 73, and the free-form surface specular piece 73 are used to form the three optical surfaces 81, 82, and 83 of the prism 80.

自由曲面鏡面駒７１および自由曲面鏡面駒７２は、各々、固定型板１２および可動型板１４に埋め込まれている。そして、固定型板１２および可動型板１４が相対的に移動する方向に、成形面７１ａおよび成形面７２ａが対向するように、自由曲面鏡面駒７１および自由曲面鏡面駒７２は配置されている。 The free curved surface specular piece 71 and the free curved surface specular piece 72 are embedded in the fixed mold plate 12 and the movable mold plate 14, respectively. The free-form specular piece 71 and the free-form specular piece 72 are arranged so that the forming surface 71a and the forming surface 72a face each other in the direction in which the fixed mold plate 12 and the movable mold plate 14 move relatively.

光学面８３に対応する自由曲面鏡面駒７３は、凸の成形面７３ａを有する。そして、その凸の成形面７３ａをが型内に向くように、固定型板１２と可動型板１４の型合わせ面に配置されている。この自由曲面鏡面駒７３は、スライド部材７４に保持されている。また、スライド部材７４は、固定型板１２および可動型板１４の対向方向と直交する方向に変位する。よって、凸の成形面７３ａも、固定型板１２および可動型板１４の対向方向と直交する方向に向いている。 A free-form mirror surface piece 73 corresponding to the optical surface 83 has a convex molding surface 73a. And it arrange | positions at the type | mold matching surface of the fixed mold plate 12 and the movable mold plate 14 so that the convex shaping | molding surface 73a may face in a type | mold. This free-form surface mirror piece 73 is held by a slide member 74. The slide member 74 is displaced in a direction orthogonal to the facing direction of the fixed mold plate 12 and the movable mold plate 14. Therefore, the convex molding surface 73a is also directed in a direction orthogonal to the opposing direction of the fixed mold plate 12 and the movable mold plate 14.

そして、固定型板１２と可動型板１４が密着することで、型締め状態となる。この型締め状態の時（図１０の状態）に、自由曲面鏡面駒７１の成形面７１ａと、自由曲面鏡面駒７２の成形面７２ａとの間に、自由曲面鏡面駒７３の先端部の成形面７３ａが入り込む。このようにすることで、プリズム８０の輪郭形状をなすキャビティ７０が形成される。 Then, the fixed mold plate 12 and the movable mold plate 14 are brought into close contact with each other so that a mold clamping state is obtained. In this clamping state (the state shown in FIG. 10), the molding surface at the tip of the free-form mirror surface piece 73 is between the molding surface 71a of the free-form surface mirror piece 71 and the molding surface 72a of the free-form surface mirror piece 72. 73a enters. By doing so, the cavity 70 forming the contour shape of the prism 80 is formed.

また、特に図示しないが、型締め状態を解除する（離型）時には、最初に、スライド部材７４が、キャビティ７０から離れる方向に移動する。それに伴って、自由曲面鏡面駒７３が、キャビティ７０の内部から外側に退避する方向に変位する。その後、固定型板１２と可動型板１４が離間するように変位する。 Although not particularly shown, when the mold clamping state is released (release), first, the slide member 74 moves in a direction away from the cavity 70. Along with this, the free-form mirror piece 73 is displaced in the direction of retreating from the inside of the cavity 70 to the outside. Thereafter, the fixed mold plate 12 and the movable mold plate 14 are displaced so as to be separated from each other.

このプリズム８０の成形に際しても、本実施の形態の場合には、まず、自由曲面鏡面駒７１、自由曲面鏡面駒７２および自由曲面鏡面駒７３を仮鏡面駒として成形装置６０に装着して、仮のプリズム８０の成形を行う。 In forming the prism 80, in the case of the present embodiment, first, the free-form surface specular piece 71, the free-form surface specular piece 72, and the free-form surface specular piece 73 are mounted on the forming apparatus 60 as temporary specular pieces, The prism 80 is formed.

そして、得られた仮のプリズム８０の外形形状を、図４に例示した非接触３次元測定機４０にて測定しする。続いて、光学面８３の光軸８３ａを基準として（ステップ１０２）、他の光軸８１ａ、光軸８２ａの位置を算出する（ステップ１０３）。その後、それらのズレ量を算出する（ステップ１０４）。 Then, the outer shape of the temporary prism 80 obtained is measured by the non-contact three-dimensional measuring device 40 illustrated in FIG. Subsequently, using the optical axis 83a of the optical surface 83 as a reference (step 102), the positions of the other optical axis 81a and the optical axis 82a are calculated (step 103). Thereafter, the amount of deviation is calculated (step 104).

また、個々の仮鏡面駒、すなわち、自由曲面鏡面駒７１、自由曲面鏡面駒７２および自由曲面鏡面駒７３の成形面７１ａ、成形面７２ａおよび成形面７３ａの各々の光軸Ａ１０、光軸Ａ１１および光軸Ａ１２の位置を、、非接触３次元測定機４０にて測定する（ステップ１０５）。その際、加工治具３２、加工治具３３および加工治具３４に保持された状態を、基準とする。 Further, the optical surface A10, the optical axis A11, and the optical axis A10 of each of the temporary mirror surface pieces, that is, the free-form mirror surface piece 71, the free-form surface mirror piece 72, and the free-form mirror surface piece 73, the forming surface 71a, the forming surface 72a, and the forming surface 73a, respectively. The position of the optical axis A12 is measured by the non-contact three-dimensional measuring device 40 (step 105). At that time, the state held by the processing jig 32, the processing jig 33, and the processing jig 34 is used as a reference.

そして、光軸補正データ２７を生成する。補正データは、ステップ１０４で算出された個々の光軸８１ａ、光軸８２ａのズレ量と、ステップ１０５で算出された光軸Ａ１０〜光軸Ａ１２の位置を使って算出する。この場合、補正は、ステップ１０５で算出された光軸Ａ１０〜光軸Ａ１２の位置を、ステップ１０４で算出された個々の光軸８１ａ、光軸８２ａのズレ量を相殺する方向に変位させる補正となる。そして、図１１、図１２および図１３に例示されるように、鏡面駒加工装置２０にて、自由曲面鏡面駒７１、自由曲面鏡面駒７２および自由曲面鏡面駒７３の補正加工を行う（ステップ１０７）。 Then, optical axis correction data 27 is generated. The correction data is calculated using the deviation amounts of the individual optical axes 81a and 82a calculated in step 104 and the positions of the optical axes A10 to A12 calculated in step 105. In this case, the correction is a correction in which the positions of the optical axis A10 to the optical axis A12 calculated in step 105 are displaced in a direction that cancels out the deviation amounts of the individual optical axes 81a and 82a calculated in step 104. Become. Then, as illustrated in FIGS. 11, 12, and 13, the mirror surface piece processing apparatus 20 performs correction processing of the free curved surface mirror piece 71, the free curved surface mirror piece 72, and the free curved surface mirror piece 73 (step 107). ).

この補正加工では、図１１に例示されるように、自由曲面鏡面駒７１は、専用の加工治具３２に、固定螺子３２ａおよび固定螺子３２ｂにて位置決めされる。そして、成形面７１ａの光軸Ａ１１の位置が、新たな光軸Ａ１１’の位置となるように、成形面７１ａが補正加工される。新たな光軸Ａ１１’は、光軸８１ａのズレ量を打ち消す方向に、光軸Ａ１１を移動させた位置である。 In this correction processing, as illustrated in FIG. 11, the free-form mirror surface piece 71 is positioned on the dedicated processing jig 32 by the fixing screw 32a and the fixing screw 32b. Then, the molding surface 71a is corrected so that the position of the optical axis A11 of the molding surface 71a becomes the position of a new optical axis A11 '. The new optical axis A11 'is a position where the optical axis A11 is moved in a direction that cancels out the deviation amount of the optical axis 81a.

同様に、図１２に例示されるように、自由曲面鏡面駒７２は、専用の加工治具３３に固定螺子３３ａ、固定螺子３３ｂにて位置決めされる。そして、光軸Ａ１２の位置が、新たな光軸Ａ１２’の位置となるように補正加工される。新たな光軸Ａ１２’は、光軸８２ａのズレ量を打ち消す方向に、光軸Ａ２１を移動させた位置である。 Similarly, as illustrated in FIG. 12, the free-form surface mirror piece 72 is positioned on a dedicated processing jig 33 by a fixing screw 33a and a fixing screw 33b. Then, correction processing is performed so that the position of the optical axis A12 becomes the position of the new optical axis A12 '. The new optical axis A12 'is a position where the optical axis A21 is moved in a direction that cancels out the deviation amount of the optical axis 82a.

また、図１３に例示されるように、自由曲面鏡面駒７３は、専用の加工治具３４に、固定螺子３４ａおよび固定螺子３４ｂにて位置決めされる。そして、光軸Ａ１０の位置が、新たな光軸Ａ１０’の位置となるように補正加工される。新たな光軸Ａ１０’は、光軸８３ａのズレ量を打ち消す方向に、光軸Ａ１０を移動させた位置である。 Further, as illustrated in FIG. 13, the free-form mirror surface piece 73 is positioned on the dedicated processing jig 34 by the fixing screw 34a and the fixing screw 34b. Then, correction processing is performed so that the position of the optical axis A10 becomes the position of the new optical axis A10 '. The new optical axis A10 'is a position where the optical axis A10 is moved in a direction that cancels out the deviation amount of the optical axis 83a.

そして、この補正加工がなされた自由曲面鏡面駒７１、自由曲面鏡面駒７２および自由曲面鏡面駒７３を成形装置６０に装着して、製品のプリズム８０の成形を行う（ステップ１０８）。 Then, the free-form mirror piece 71, free-form mirror piece 72, and free-form mirror piece 73 subjected to this correction processing are mounted on the forming device 60, and the product prism 80 is formed (step 108).

このように、非回転対称な複雑な形状のプリズム８０においても、個々の光軸８１ａ、光軸８２ａ、光軸８３ａ間のズレ量を小さくすることができる。すなわち光学素子において、光軸８１ａ、光軸８２ａ、光軸８３ａの間の相対的な位置精度を向上させることができる。 As described above, even in the non-rotationally symmetric prism 80 having a complicated shape, it is possible to reduce the amount of deviation among the individual optical axes 81a, 82a, and 83a. That is, in the optical element, the relative positional accuracy among the optical axis 81a, the optical axis 82a, and the optical axis 83a can be improved.

また、複数の光学面８１、光学面８２、光学面８３のうち、少なくとも１つの光学面の光軸を基準にすることで、基準とした光学面の光軸と他の光軸との間の偏心量が小さな高精度の光学素子を実現できる。 Moreover, by using the optical axis of at least one optical surface among the plurality of optical surfaces 81, 82, and 83 as a reference, the optical axis between the optical surface used as a reference and another optical axis are used. A highly accurate optical element with a small amount of eccentricity can be realized.

たとえば、プリズム８０の様な複数の光学面を有する光学素子においても、光軸８１ａ、光軸８２ａおよび光軸８３ａの偏心量が、±１０μｍ以下の高精度なプリズム８０を得ることができる。 For example, even in an optical element having a plurality of optical surfaces such as the prism 80, it is possible to obtain a highly accurate prism 80 in which the decentering amounts of the optical axis 81a, the optical axis 82a, and the optical axis 83a are ± 10 μm or less.

なお、本発明は、上述の実施の形態に例示した構成に限らず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
たとえば、光学素子としては、上述の実施の形態にて例示した自由曲面レンズやプリズム等に限らず、樹脂成形にて製造される一般の光学素子に広く適用することができる。 Needless to say, the present invention is not limited to the configuration exemplified in the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
For example, the optical element is not limited to the free-form surface lens and the prism exemplified in the above-described embodiment, and can be widely applied to general optical elements manufactured by resin molding.

また、光学素子の加工方法および測定方法も、上述の実施の形態に例示した方法に限定されない。 Further, the processing method and the measuring method of the optical element are not limited to the methods exemplified in the above embodiment.

本発明の一実施の形態である鏡面駒の作製方法および光学素子の製造方法の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the manufacturing method of the specular piece and the manufacturing method of an optical element which are one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態である光学素子の製造方法に用いられる成形装置の構成の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of a structure of the shaping | molding apparatus used for the manufacturing method of the optical element which is one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態である鏡面駒の製作方法に用いられる鏡面駒加工装置２０の構成の一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of a structure of the mirror surface piece processing apparatus 20 used for the manufacturing method of the mirror surface piece which is one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態である鏡面駒の作製方法および光学素子の製造方法に用いられる非接触３次元測定機の構成の一例を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows an example of a structure of the non-contact three-dimensional measuring machine used for the manufacturing method of the specular piece which is one embodiment of this invention, and the manufacturing method of an optical element. 本発明の一実施の形態である鏡面駒の作製方法および光学素子の製造方法における仮鏡面駒の測定方法の一例を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows an example of the measuring method of the temporary specular piece in the manufacturing method of the specular piece which is one embodiment of this invention, and the manufacturing method of an optical element. 本発明の一実施の形態である光学素子の製造方法にて得られる光学素子の測定方法の一例を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows an example of the measuring method of the optical element obtained with the manufacturing method of the optical element which is one embodiment of this invention. 本発明の他の実施の形態である光学素子の製造方法の作用の一例を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows an example of an effect | action of the manufacturing method of the optical element which is other embodiment of this invention. 本発明のさらに他の実施の形態である光学素子の製造方法にて製造される光学素子の断面図である。It is sectional drawing of the optical element manufactured with the manufacturing method of the optical element which is further another embodiment of this invention. 本発明のさらに他の実施の形態である光学素子の製造方法にて製造される光学素子の斜視図である。It is a perspective view of the optical element manufactured with the manufacturing method of the optical element which is further another embodiment of this invention. 本発明のさらに他の実施の形態である光学素子の製造方法にて用いられる成形装置一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the shaping | molding apparatus used with the manufacturing method of the optical element which is further another embodiment of this invention. 本発明のさらに他の実施の形態である光学素子の製造方法にて用いられる鏡面駒の加工方法の一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of the processing method of the mirror piece used in the manufacturing method of the optical element which is further another embodiment of this invention. 本発明のさらに他の実施の形態である光学素子の製造方法にて用いられる鏡面駒の加工方法の一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of the processing method of the mirror piece used in the manufacturing method of the optical element which is further another embodiment of this invention. 本発明のさらに他の実施の形態である光学素子の製造方法にて用いられる鏡面駒の加工方法の一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of the processing method of the mirror piece used in the manufacturing method of the optical element which is further another embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１０成形装置
１１固定プレート
１２固定型板
１３可動プレート
１３ａ突き出しピン
１３ｂ突き出し板
１３ｃスペーサブロック
１４可動型板
１５鏡面駒
１５ａ成形面
１６鏡面駒
１６ａ成形面
１７キャビティ
１８ランナ
１９スプルー
２０鏡面駒加工装置
２１ＸＹステージ
２２Ｚ軸コラム
２３ツールアーム
２４切削工具
２４ａ加工軌跡
２５三次元加工コントローラ
２６設計データ
２７光軸補正データ
３１加工治具
３１ａ固定螺子
３２加工治具
３２ａ固定螺子
３２ｂ固定螺子
３３加工治具
３３ａ固定螺子
３３ｂ固定螺子
３４加工治具
３４ａ固定螺子
３４ｂ固定螺子
４０非接触３次元測定機
４１レーザ
４１ａレーザ光
４２ミラー
４３ミラー
４４ミラー
４５対物レンズ
４６移動機構
４７光位置検出装置
４８ＸＹステージ
４９測定治具
５０非球面レンズ
５１レンズ部
５１ａ光学面
５１ｂ光学面
５２レンズ枠
５３ボス
５３ａ中心軸
６０成形装置
７０キャビティ
７１自由曲面鏡面駒
７１ａ成形面
７２自由曲面鏡面駒
７２ａ成形面
７３自由曲面鏡面駒
７３ａ成形面
７４スライド部材
８０プリズム
８１光学面
８１ａ光軸
８２光学面
８２ａ光軸
８３光学面
８３ａ光軸
８４平面部
８５側面部
Ａ０光軸
Ａ１光軸
Ａ２光軸
Ａ１０光軸
Ａ１１光軸
Ａ１２光軸

DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Molding device 11 Fixed plate 12 Fixed mold plate 13 Movable plate 13a Ejection pin 13b Ejection plate 13c Spacer block 14 Movable mold plate 15 Mirror surface piece 15a Molding surface 16 Mirror surface piece 16a Molding surface 17 Cavity 18 Runner 19 Spru 20 Mirror surface piece processing device 21 XY stage 22 Z-axis column 23 Tool arm 24 Cutting tool 24a Processing locus 25 Three-dimensional processing controller 26 Design data 27 Optical axis correction data 31 Processing jig 31a Fixing screw 32 Processing jig 32a Fixing screw 32b Fixing screw 33 Processing jig 33a Fixing screw 33b Fixing screw 34 Processing jig 34a Fixing screw 34b Fixing screw 40 Non-contact three-dimensional measuring machine 41 Laser 41a Laser light 42 Mirror 43 Mirror 44 Mirror 45 Objective lens 46 Moving mechanism 47 Optical position detection device 48 XY stage 4 Measuring jig 50 Aspherical lens 51 Lens part 51a Optical surface 51b Optical surface 52 Lens frame 53 Boss 53a Central axis 60 Molding device 70 Cavity 71 Free-form mirror surface piece 71a Molding surface 72 Free-form surface mirror piece 72a Molding surface 73 Free-form surface mirror piece 73a Molding surface 74 Slide member 80 Prism 81 Optical surface 81a Optical axis 82 Optical surface 82a Optical axis 83 Optical surface 83a Optical axis 84 Flat surface 85 Side surface A0 Optical axis A1 Optical axis A2 Optical axis A10 Optical axis A11 Optical axis A12 Optical axis

Claims

仮鏡面駒を用いて仮光学素子を形成する工程と、
前記仮光学素子の光学面の形状を測定して、前記測定形状における基準軸位置を求める工程と、
前記仮光学素子の設計形状における基準軸位置の位置を求める工程と、
前記測定形状における基準軸位置と、前記設計形状における基準軸位置の相対的なズレ量を算出する工程と、
前記仮鏡面駒の鏡面の形状を測定して、前記鏡面の測定形状における基準軸位置を算出する工程と、
前記ズレ量に基づいて、前記仮鏡面駒の基準軸位置を修正するように前記仮鏡面駒の鏡面を加工して、鏡面駒を作製する工程と、
を有する鏡面駒の作製方法。 Forming a temporary optical element using the temporary mirror surface piece;
Measuring the shape of the optical surface of the temporary optical element to obtain a reference axis position in the measured shape;
Obtaining a position of a reference axis position in the design shape of the temporary optical element;
Calculating a relative deviation amount between a reference axis position in the measurement shape and a reference axis position in the design shape;
Measuring the shape of the mirror surface of the temporary mirror surface piece, and calculating a reference axis position in the measurement shape of the mirror surface;
Processing the mirror surface of the temporary mirror surface piece so as to correct the reference axis position of the temporary mirror surface piece based on the amount of deviation, and producing a mirror surface piece;
A method for producing a mirror-finished piece.

請求項１に記載の鏡面駒の作製方法において、
前記仮鏡面駒の作製にあたっては、前記仮鏡面駒の鏡面と加工工具を直交する２方向に相対移動する工程を有することを特徴とする鏡面駒の作製方法。 In the manufacturing method of the specular piece of Claim 1,
In producing the temporary mirror surface piece, a method for producing the mirror surface piece, comprising a step of relatively moving the mirror surface of the temporary mirror surface piece and a processing tool in two directions orthogonal to each other.

請求項１又は請求項２に記載の鏡面駒の作製方法において、
前記鏡面駒を作製する工程では、前記仮鏡面駒の鏡面と加工工具を直交する２方向に相対移動させることを特徴とする鏡面駒の作製方法。 In the manufacturing method of the specular piece of Claim 1 or Claim 2,
In the step of producing the specular piece, a method of producing the specular piece, wherein the mirror surface of the temporary specular piece and the processing tool are relatively moved in two orthogonal directions.

請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の鏡面駒の作製方法において、
前記測定形状における基準軸位置を求める工程と、前記設計形状における基準軸位置の位置を求める工程は、前記仮光学素子に設けられた基準物の位置を基準として行われることを特徴とする鏡面駒の作製方法。 In the manufacturing method of the specular piece of any one of Claims 1 thru | or 3,
The step of obtaining the reference axis position in the measurement shape and the step of obtaining the position of the reference axis position in the design shape are performed based on the position of the reference object provided in the temporary optical element. Manufacturing method.

請求項４に記載の鏡面駒の作製方法において、
前記基準物は１つであり、
複数の前記光学面の各々について、該１つの基準物に基づいて前記基準軸の位置を算出することを特徴とする鏡面駒の作製方法。 In the manufacturing method of the specular piece of Claim 4,
The reference is one,
A method of manufacturing a specular piece, wherein the position of the reference axis is calculated based on the one reference object for each of the plurality of optical surfaces.

請求項４に記載の鏡面駒の作製方法において、
前記基準物は前記光学面の数と同数であり、
複数の前記光学面の各々について、各々の基準物に基づいて前記基準軸の位置を算出することを特徴とする鏡面駒の作製方法。 In the manufacturing method of the specular piece of Claim 4,
The reference object is the same as the number of the optical surfaces,
A method of manufacturing a specular piece, wherein the position of the reference axis is calculated based on each reference object for each of the plurality of optical surfaces.

請求項４に記載の鏡面駒の作製方法において、
前記基準物は前記光学面の数よりも少なく、
複数の前記光学面のうち少なくとも２つの光学面について、共通の基準物に基づいて前記基準軸の位置を算出することを特徴とする鏡面駒の作製方法。 In the manufacturing method of the specular piece of Claim 4,
The reference object is less than the number of the optical surfaces,
A method for producing a specular piece, comprising: calculating a position of the reference axis based on a common reference object for at least two of the plurality of optical surfaces.

鏡面駒を用いて光学素子を成形する光学素子の製造方法であって、
請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の鏡面駒の作製方法で作製された鏡面駒を用いることを特徴とする光学素子の製造方法。 A method of manufacturing an optical element that molds an optical element using a mirror piece,
A method for manufacturing an optical element, comprising using the mirror piece produced by the method for producing a mirror piece according to any one of claims 1 to 7.

請求項８に記載の光学素子の製造方法を用いて製造されたことを特徴とする光学素子。 An optical element manufactured using the method for manufacturing an optical element according to claim 8.

請求項９記載の光学素子において、
前記光学素子は、少なくとも１つの光学面に回転対称軸を有さない曲面形状をもつプリズムであることを特徴とする光学素子。

The optical element according to claim 9, wherein
The optical element is a prism having a curved surface shape having no rotational symmetry axis on at least one optical surface.