JP2006286698A - 電子デバイス及び電力変換装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】GaN層3、AlN層9及びAlxGa1-xN(0<x<1)層4が順に密着して積層された積層構造と、前記AlxGa1-xN層4に接触する電極の組み合わせからなる電子デバイスにおいて、前記GaN及びAlxGa1-xNのxが、0<x<0.2であり、前記電極直下に相当する部分を含む部分の前記AlxGa1-xN層の厚さD、前記AlN層9の厚さdが0<D≦3nm、0<d≦0.5nmであることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
例えばサファイア基板のような基板1の上に形成されたバッファ層2上にGaN層3、AlN層9及びAlxGa1-xN(0<x<1)層4が順に密着して積層された積層構造とAlxGa1-xN層4上に接触する電極Gの組み合わせからなっている。
そして、電極G直下に相当する部分を含む部分のAlxGa1-xN層4の厚さD、AlN層9の厚さdを置き、D,dが以下の条件を満たすようにする。
0<D≦3nm、0<d≦0.5nm。
成長装置はMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)装置を用い、基板はサファイア基板1を用いた。
1)まず、サファイア基板1をMOCVD装置内に導入し、ターボポンプでMOCVD装置内の真空度を1×10-6hPa以下になるまで真空引きした後、真空度を100hPaとし基板を1100℃に昇温した。温度が安定したところで、基板1を900rpmで回転させ、原料となるトリメチルガリウム(TMG)を100cm3/min、アンモニアを12リットル/minの流量で基板1の表面に導入しGaNから成るバッファ層2の成長を行った。成長時間は4minでバッファ層2の膜厚は50nm程度である。
次に、トリメチルアルミニウム(TMA)を50cm3/min、アンモニアを12リットル/minの流量で導入し、アンドープのAlN層9から成る中間層を成長し、トリメチルアルミニウム(TMA)を50cm3/min、トリメチルガリウム(TMG)を100cm3/min、アンモニアを12リットル/minの流量で導入し、Al0.18Ga0.82N層4から成る電子供給層の成長を行った。成長時間は40secで、電子供給層の膜厚は20nmである。このようにして、図2(a)に示した層構造A0が完成する。
2 バッファ層
3 層
4 層
5 コンタクト層
6 2次元電子ガス層
7 凹部
8 電極直下に相当する部分を含む部分
9 AlN層
10 SiO2膜
11 酸化層
12 電力変換装置
Claims (4)
- GaN層、AlN層及びAlxGa1-xN(0<x<1)層が順に密着して積層された積層構造と、前記AlxGa1-xN層に接触する電極の組み合わせからなる電子デバイスにおいて、前記GaN及びAlxGa1-xNの組成xが、0<x<0.2であり、前記電極直下に相当する部分を含む部分の前記AlxGa1-xN層の厚さD、前記AlN層の厚さdが0<D≦3nm、0<d≦0.5nmであることを特徴とする電子デバイス。
- GaN層、AlN層及びAlxGa1-xN(0<x<1)層が順に密着して積層された積層構造と、前記AlxGa1-xN層に接触する電極の組み合わせからなる電子デバイスにおいて、前記GaN及びAlxGa1-xNの組成xが、 0.15<x<0.2であり、前記電極直下に相当する部分を含む部分の前記AlxGa1-xN層の厚さD、前記AlN層の厚さdが0<D≦3nm、0<d≦0.5nmであることを特徴とする電子デバイス。
- 前記電子デバイスは、電界効果トランジスタであり、前記電極は前記電界効果トランジスタのゲート電極であることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の電子デバイス。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の電子デバイスを用いたことを特徴とする電力変換装置。
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