JP2006281419A - Machining liquid feeder and machining device - Google Patents

Machining liquid feeder and machining device Download PDF

Info

Publication number
JP2006281419A
JP2006281419A JP2005108150A JP2005108150A JP2006281419A JP 2006281419 A JP2006281419 A JP 2006281419A JP 2005108150 A JP2005108150 A JP 2005108150A JP 2005108150 A JP2005108150 A JP 2005108150A JP 2006281419 A JP2006281419 A JP 2006281419A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
machining
tool
machining fluid
liquid
point
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2005108150A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hidenori Nakagawa
英則 中川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2005108150A priority Critical patent/JP2006281419A/en
Publication of JP2006281419A publication Critical patent/JP2006281419A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a machining liquid feeder which positively feeds machining liquid such as grinding liquid to a machining point of a tool. <P>SOLUTION: The machining liquid for lubrication, cooling, etc. of a grindstone 1 hardly reaches the machining point 2 due to entanglement of air around the tool. To overcome this difficulty, the machining liquid is minutely split in a machining liquid splitting device 8, and air is mixed in the same, followed by introducing the resultant machining liquid to a nozzle 3. Further the machining liquid is oscillated in a flowing direction by an oscillator 4, and then ejected toward the machining point 2. By virtue of the reduction of surface tension due to splitting of the machining liquid, energy generated by burst of bubbles, and oscillation of 1 MHz or more applied to the machining liquid in the flowing direction, the machining liquid is infiltrated in the machining point 2. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、研削盤等の加工装置の工具に、潤滑や冷却、洗浄等を目的とした加工液を供給する加工液供給装置および加工装置に関するものである。   The present invention relates to a machining liquid supply apparatus and a machining apparatus for supplying a machining liquid for lubrication, cooling, cleaning, or the like to a tool of a machining apparatus such as a grinding machine.

図７は、特許文献１に開示された従来の加工液供給装置を示すもので、研削加工機において、タンクに貯められている加工液がポンプにより汲み上げられ、ノズル１０３を介して、高速で回転する工具１０１が被加工物Ｗに接する加工点１０２に供給される。供給された加工液は図示しないオイルパンで受け、チューブなどを介して再度タンクに戻るサイクルを繰り返す。   FIG. 7 shows a conventional machining fluid supply device disclosed in Patent Document 1. In a grinding machine, machining fluid stored in a tank is pumped up by a pump and rotated at high speed via a nozzle 103. The tool 101 to be processed is supplied to the processing point 102 that contacts the workpiece W. The supplied machining fluid is received by an oil pan (not shown), and the cycle of returning to the tank again through a tube or the like is repeated.

また、特許文献２に開示されたように、砥石のドレッシングのための研削液に超音波振動を印加する技術も知られている。
特開平０６−００８１４３号公報 特開平０５−１６２０７１号公報 In addition, as disclosed in Patent Document 2, a technique of applying ultrasonic vibration to a grinding liquid for dressing a grindstone is also known.
JP-A-06-008143 Japanese Patent Laid-Open No. 05-162071

高速で回転する工具は工具周辺の空気を巻き込み、工具表面に空気層が生成される。そのため加工点に加工液を供給しようとしても、加工液が加工点に到達する前に進路が空気層により曲げられてしまい、加工点に加工液を確実に供給することが難しい。加工液が加工点および工具表層に到達しないと、潤滑効果、洗浄効果が発現しにくく、工具表層に削りカスなどが付着して目詰まりが発生する。その結果、研削抵抗が増大して、急激な砥粒の脱落作用が発生し、さらに新しい切れ刃が発刃しても再び目詰まりしてしまうため、加工面の品質を低下させる。   A tool rotating at high speed entrains the air around the tool and creates an air layer on the tool surface. Therefore, even if an attempt is made to supply the machining fluid to the machining point, the path is bent by the air layer before the machining fluid reaches the machining point, and it is difficult to reliably supply the machining fluid to the machining point. If the machining fluid does not reach the machining point and the tool surface layer, the lubrication effect and the cleaning effect are hardly exhibited, and shavings or the like adhere to the tool surface layer and clogging occurs. As a result, the grinding resistance increases, an abrupt dropping action of abrasive grains occurs, and even if a new cutting edge is generated, clogging occurs again, so that the quality of the processed surface is lowered.

また、加工液の冷却効果が作用しないため、熱に弱いボンドの主成分である樹脂が加工中に発生する熱のために軟化しやすくなり、工具の磨耗を促進する結果となる。   In addition, since the cooling effect of the working fluid does not act, the resin that is the main component of the heat-sensitive bond is easily softened due to the heat generated during processing, resulting in the promotion of tool wear.

そこで、加工点に加工液を到達させるために、加工液の水圧を上げて空気層に屈せずに加工点に加工液を到達させることが考えられるが、そのためには大量の加工液を高速に加工点に供給しなければならず、精密な研削加工にはむかない。   Therefore, in order to make the machining fluid reach the machining point, it is conceivable to increase the hydraulic pressure of the machining fluid so that the machining fluid reaches the machining point without bending to the air layer. It must be supplied to the processing point and is not suitable for precise grinding.

特許文献１に開示された方法では、整流板を加工点付近に設け、空気層の流れを変化させて加工液が加工点に流れ込みやすいようにして、整流板付近からノズルにより加工液を工具の回転に連れ沿わせて加工点へ誘導させる。しかしこの手法では加工液が工具と共に加工点に連れ沿うことを期待するのみであるため、確実に加工点へ加工液を供給することができずまた、目詰まり等を防ぐこともできない。   In the method disclosed in Patent Document 1, a rectifying plate is provided in the vicinity of the machining point, and the flow of the air layer is changed so that the machining liquid can easily flow into the machining point. It is guided to the machining point along with the rotation. However, this method only expects the machining fluid to follow the machining point together with the tool, so that the machining fluid cannot be reliably supplied to the machining point, and clogging or the like cannot be prevented.

特許文献２に開示された方法は、工具（砥石）の加工点と反対側に加工液溜りを作り、工具と対向する位置に超音波発信器を設置し、超音波振動によるキャビテーション衝撃によって目詰まりを解消するものであるが、キャビテーション現象が発生するＫＨｚ域の振動周波数ではエネルギーが小さいため、加工点における潤滑効果や冷却効果を向上させるには至らない。   In the method disclosed in Patent Document 2, a working fluid pool is created on the opposite side of the processing point of the tool (grinding stone), an ultrasonic transmitter is installed at a position facing the tool, and clogging occurs due to cavitation impact caused by ultrasonic vibration. However, since the energy is small at the vibration frequency in the KHz region where the cavitation phenomenon occurs, the lubrication effect and the cooling effect at the processing point cannot be improved.

本発明は、上記従来の技術の有する未解決の課題に鑑みてなされたものであり、砥石等工具の加工点や工具表層に、潤滑、冷却、洗浄等を目的とした加工液を確実に安定して供給できる加工液供給装置および加工装置を提供することを目的とするものである。   The present invention has been made in view of the above-mentioned unsolved problems of the prior art, and it is possible to reliably stabilize a machining fluid for the purpose of lubrication, cooling, cleaning, or the like on a machining point of a tool such as a grindstone or a tool surface layer. It is an object of the present invention to provide a processing liquid supply device and a processing device that can be supplied.

上記の目的を達成するため、本発明の加工液供給装置は、被加工物を加工する工具に加工液を供給する加工液供給装置において、供給源から供給された加工液を分断して気泡を含有させる加工液分断装置と、気泡を含有する加工液に流動方向の振動を与えて前記工具の加工点に吐出する吐出手段と、を有することを特徴とする。   In order to achieve the above object, a machining fluid supply device of the present invention is a machining fluid supply device that supplies machining fluid to a tool for machining a workpiece, and divides the machining fluid supplied from a supply source to remove bubbles. And a discharge means for applying a vibration in a flow direction to the processing liquid containing bubbles and discharging the processing liquid to the processing point of the tool.

加工液を細かく分断することで表面張力を低下させるとともに、気泡を含ませた水流の進行方向に振動する重畳波により、加工点や工具表層に加工液を強制的に浸透させる。   The surface tension is reduced by finely dividing the machining liquid, and the machining liquid is forcibly permeated into the machining point and the tool surface layer by a superimposed wave that vibrates in the traveling direction of the water flow including bubbles.

図１に示すように、ワークＷと工具である砥石１との間の加工点２に、細かく分断して表面張力を低下させた加工液を吐出手段であるノズル３から供給する。加工液の分断により、加工点２および砥石１の表層への浸透をしやすくする。また、加工液中の空気の含有量を多くすることで、気泡が破裂するエネルギーを利用して、加工液を加工点２に入り込ませることができる。さらに、ノズル３に振動子４および振動子アンプ５を組み合わせて、吐出される加工液の水流の進行方向（流動方向）に１ＭＨｚ以上の振動を与えることにより、加工液を加工点２に強制的に送り込むことで、加工液を確実に供給することができる。   As shown in FIG. 1, a machining liquid that is finely divided and has a reduced surface tension is supplied from a nozzle 3 that is a discharge means to a machining point 2 between a workpiece W and a grindstone 1 that is a tool. By dividing the machining fluid, the machining point 2 and the grindstone 1 are easily penetrated into the surface layer. Further, by increasing the content of air in the machining liquid, the machining liquid can enter the machining point 2 by using energy for bursting bubbles. Further, by combining the nozzle 3 with the vibrator 4 and the vibrator amplifier 5 and applying a vibration of 1 MHz or more in the traveling direction (flow direction) of the water flow of the discharged machining liquid, the machining liquid is forced to the machining point 2. By feeding into the machining fluid, it is possible to reliably supply the machining fluid.

また、このように気泡を含有し、しかも重畳波を有する加工液を、工具が被加工物と接触する加工点以外の、工具表層に供給すれば、効率的に目詰まりの解消を行うこともできる。   In addition, clogging can be effectively eliminated by supplying a machining fluid containing bubbles and having superimposed waves to the tool surface layer other than the machining point where the tool contacts the workpiece. it can.

このように、加工点や工具表層に加工液を確実に到達させることで、加工液の潤滑効果、冷却効果、洗浄効果等を効率よく発現させ、工具の目詰まりや工具磨耗を低減させるとともに、安定した高品質な加工が可能となる。   In this way, by ensuring that the machining fluid reaches the machining point and the tool surface layer, the lubrication effect, cooling effect, cleaning effect, etc. of the machining fluid are efficiently expressed, and clogging of the tool and tool wear are reduced. Stable and high quality processing is possible.

図１および図２は実施例１を示す。被加工物Ｗの材質はアルミ、銅、鉄系などの金属類や石英ガラス、ＢＫ７、蛍石などの光学ガラス材料などであり、形状は球面、軸対称非球面、自由曲面などあらゆる形状を対象とする。   1 and 2 show Example 1. FIG. Workpiece W is made of metals such as aluminum, copper, and iron, optical glass materials such as quartz glass, BK7, and fluorite. Shapes are applicable to all shapes including spherical surfaces, axisymmetric aspheric surfaces, and free-form surfaces. And

工具である砥石１は、台金と砥石部からなり、台金はアルミやステンレスで作られており、砥石部はボンドと砥粒とフィラーと空隙部によって構成される。ボンドはレジノイド樹脂、レジノイド樹脂は耐熱性、耐磨耗性に優れたポリイミド等を用いる。砥粒の材料はダイヤモンドやＣＢＮであり、粒径が３μｍから５０μｍである。粒径が小さく、目詰まりがしやすい砥粒の方が本発明の効果が得やすい。また、耐磨耗性および耐熱性を付与するために砥粒の表層にニッケルやコバルトなどの金属メッキ処理を行う場合がある。砥粒の砥石部に占める体積比は２５〜５０％である。フィラーはセラミックや銅などの微小な金属紛であり、フィラーの砥石部に占める体積比は０〜４０％である。空隙部は砥石表層において、削りカスの溜まるポケットとなることや、加工液が空隙部に保持されて加工点２に運ばれ、冷却効果、潤滑効果を効率良く発現させる役割を持つ。空隙部の直径は砥粒径の１／５以下で、砥石部に占める体積比は５％以下である。   A grindstone 1 as a tool is composed of a base and a grindstone, and the base is made of aluminum or stainless steel. The grindstone is composed of bonds, abrasive grains, fillers, and gaps. Resinoid resin is used for the bond, and polyimide having excellent heat resistance and wear resistance is used for the resinoid resin. The material of the abrasive grains is diamond or CBN, and the particle diameter is 3 μm to 50 μm. The effect of the present invention is easily obtained when the grain size is small and clogging is easy. In addition, in order to impart wear resistance and heat resistance, the surface layer of the abrasive grains may be subjected to a metal plating treatment such as nickel or cobalt. The volume ratio of the abrasive grains to the grindstone is 25 to 50%. The filler is a fine metal powder such as ceramic or copper, and the volume ratio of the filler to the grindstone is 0 to 40%. The gap portion serves as a pocket where shavings accumulate on the surface of the grindstone, and the machining liquid is held in the gap portion and is carried to the machining point 2 to have a role of efficiently expressing the cooling effect and the lubrication effect. The diameter of the void is 1/5 or less of the abrasive grain size, and the volume ratio in the grindstone is 5% or less.

被加工物Ｗと砥石１は、加工装置上の異なるステージに配置され、２軸以上のステージ移動による被加工物Ｗと砥石１の相対移動の軌跡を加工面に転写して加工する。加工装置のステージの制御分解能は１０ｎｍであり、フルスケールフィードバック制御により高精度な位置決めが可能である。各軸のステージの真直度はピッチ方向、ヨーイング方向ともに１００ｍｍ当たり１００ｎｍ以下である。各軸のステージの最高移動速度は１０００ｍｍ／ｍｉｎ程度である。   The workpiece W and the grindstone 1 are arranged on different stages on the machining apparatus, and the locus of relative movement between the workpiece W and the grindstone 1 due to the movement of two or more axes is transferred to the machining surface for machining. The control resolution of the stage of the processing apparatus is 10 nm, and high-precision positioning is possible by full-scale feedback control. The straightness of the stage of each axis is 100 nm or less per 100 mm in both the pitch direction and the yawing direction. The maximum moving speed of the stage of each axis is about 1000 mm / min.

加工速度は２０００ｍ／ｍｉｎ以上であり、例えば工具径が直径１５０ｍｍであれば、回転数は６０００／ｍｉｎである。砥石１は図示しないエアベアリングなどを有する高精度なスピンドルに取り付けられる。   The processing speed is 2000 m / min or more. For example, when the tool diameter is 150 mm, the rotation speed is 6000 / min. The grindstone 1 is attached to a high-precision spindle having an air bearing (not shown).

加工液は主にエマルションタイプを使用し、供給源である加工液タンク６に蓄えられる。例えば、加工液タンク６には２００Ｌの加工液が蓄えられる。加工液タンク６には温調機構があり、設定温度に対して±０．１℃内で制御が可能である。加工液タンク６はポンプ７を有し、ポンプ７によって加工液が加工点２へ輸送される。ポンプ７は１０Ｌ／ｍｉｎ以上の加工液供給能力を持つ。   The working fluid mainly uses an emulsion type and is stored in the working fluid tank 6 which is a supply source. For example, 200 L of processing liquid is stored in the processing liquid tank 6. The machining liquid tank 6 has a temperature control mechanism and can be controlled within ± 0.1 ° C. with respect to the set temperature. The machining fluid tank 6 has a pump 7, and the machining fluid is transported to the machining point 2 by the pump 7. The pump 7 has a machining fluid supply capacity of 10 L / min or more.

ポンプ７から送られた加工液は加工液分断装置８に入る。図２に示すように、加工液分断装置８は、筒状容器８ａの内部に水流を妨げる板８ｂを羅列し、キャビテーション現象を起こすことで加工液Ｌを分断し、かつ、空気を混入する。加工液分断装置８内の抵抗により流量が低下するため、加工点２で４Ｌ／ｍｉｎの加工液流量が必要な場合、ポンプ７は１０Ｌ／ｍｉｎ以上の供給能力が必要である。また、加工液分断装置８から流出する加工液の流量がポンプ供給量の１／３以下とならないような加工液分断装置８内の抵抗を選定する。   The machining fluid sent from the pump 7 enters the machining fluid cutting device 8. As shown in FIG. 2, the machining liquid dividing device 8 arranges plates 8 b that block the water flow inside the cylindrical container 8 a, divides the machining liquid L by causing a cavitation phenomenon, and mixes air. Since the flow rate decreases due to the resistance in the machining fluid cutting device 8, when a machining fluid flow rate of 4 L / min is required at the machining point 2, the pump 7 needs a supply capacity of 10 L / min or more. Further, a resistance in the machining fluid cutting device 8 is selected so that the flow rate of the machining fluid flowing out from the machining fluid cutting device 8 does not become 1/3 or less of the pump supply amount.

加工液分断装置８から流出した加工液は、パイプを通してノズル３に入る。加工液分断装置８からノズル３までのパイプ長さは２ｍ以内が好ましい。ノズル３は加工液の流入口に振動子４を有する。ノズル３の吐出口径はφ２〜７である。ノズル３の吐出口と振動子４は対向するように配置され、振動子４は１〜４ＭＨｚで振動し、振動方向はノズル３の吐出口から吐出する加工液の水流の進行方向（流動方向）である。振動出力は１０〜１００Ｗであり、加工液をノズル３の流入口から流入させ、ノズル３内を加工液で満たした上で振動子アンプ５をオンにして振動子４を振動させる。   The machining fluid that has flowed out of the machining fluid cutting device 8 enters the nozzle 3 through a pipe. The pipe length from the machining fluid cutting device 8 to the nozzle 3 is preferably within 2 m. The nozzle 3 has a vibrator 4 at the inlet of the machining liquid. The discharge port diameter of the nozzle 3 is φ2-7. The discharge port of the nozzle 3 and the vibrator 4 are arranged so as to face each other, the vibrator 4 vibrates at 1 to 4 MHz, and the vibration direction is the traveling direction (flow direction) of the water flow of the machining liquid discharged from the discharge port of the nozzle 3. It is. The vibration output is 10 to 100 W. The machining liquid is introduced from the inlet of the nozzle 3, the inside of the nozzle 3 is filled with the machining liquid, the vibrator amplifier 5 is turned on, and the vibrator 4 is vibrated.

このように、ノズル３の吐出口から吐出する加工液の進行方向に１ＭＨｚ以上の振動を重畳させることにより、同じ流量であっても進行方向のエネルギーが増大し、加工液の加工点２への浸透力が増す。   As described above, by superimposing vibrations of 1 MHz or more in the traveling direction of the machining liquid discharged from the discharge port of the nozzle 3, the energy in the traveling direction increases even at the same flow rate, and the machining liquid is supplied to the machining point 2. Increases penetration.

ノズル３から吐出した加工液は、砥石１の回転に連れ回る方向から加工点２に供給される。ノズル３の吐出口から加工点２までの距離は３ｃｍ以内が望ましい。   The machining liquid discharged from the nozzle 3 is supplied to the machining point 2 from the direction along with the rotation of the grindstone 1. The distance from the discharge port of the nozzle 3 to the processing point 2 is preferably within 3 cm.

加工条件は、例えば、被加工物形状が軸対称φ１５０のガラスであり、正面旋削方式の研削加工であり、砥石径φ１５０、砥石材質はレジノイドボンドダイヤモンド砥粒、粒度＃２０００、集中度１２０、砥石回転数６０００／ｍｉｎ、ワーク回転数２５／ｍｉｎ、工具送り速度３ｍｍ／ｍｉｎ、切り込み量３μｍである。   The processing conditions are, for example, glass whose workpiece shape is axisymmetric φ150, and is a face turning grinding method. The grinding stone diameter is φ150, and the grinding stone material is resinoid bond diamond abrasive grain size # 2000, concentration 120, grinding wheel The rotation speed is 6000 / min, the workpiece rotation speed is 25 / min, the tool feed speed is 3 mm / min, and the cutting depth is 3 μm.

本実施例では、加工液を加工点へ確実に到達させることで、加工点での発熱を抑え、砥粒およびボンド材への熱的ダメージを低減し、工具の磨耗を抑制することができる。さらに、加工液の潤滑作用のため砥粒の切れ味が良くなり、表面粗さが向上する。   In this embodiment, by reliably reaching the machining point to the machining point, heat generation at the machining point can be suppressed, thermal damage to the abrasive grains and the bond material can be reduced, and wear of the tool can be suppressed. Furthermore, the sharpness of the abrasive grains is improved due to the lubricating action of the working fluid, and the surface roughness is improved.

図３は実施例２を示すもので、これは、加工液分断装置８を通過した加工液を、振動しない第１の吐出手段であるノズル９と、振動する第２の吐出手段であるノズル３の２系統に分岐して、振動しないノズル９から供給される加工液を第１の部位である加工点２へ供給し、振動するノズル３から吐出される加工液を、工具作用点の回転軌跡上の加工点２に近い第２の部位である工具表層に供給する。砥石１と振動するノズル３の吐出口の間は１〜２ｃｍの間隙とし、吐出方向は工具表層に対して１０〜４５°の傾斜をもって砥石回転方向に沿う方向とする。   FIG. 3 shows a second embodiment, which is a nozzle 9 that is a first discharge means that does not vibrate and a nozzle 3 that is a second discharge means that vibrates the machining liquid that has passed through the machining liquid cutting device 8. The machining fluid supplied from the non-vibrating nozzle 9 is supplied to the machining point 2 which is the first part, and the machining fluid discharged from the vibrating nozzle 3 is used as the rotation locus of the tool operating point. It supplies to the tool surface layer which is a 2nd site | part close | similar to the upper process point 2. FIG. A gap of 1 to 2 cm is provided between the grindstone 1 and the discharge port of the vibrating nozzle 3, and the discharge direction is a direction along the grindstone rotation direction with an inclination of 10 to 45 ° with respect to the tool surface layer.

本実施例では、振動するノズル３において加工液に重畳された振動と、加工液に含まれる気泡の破裂のエネルギーにより、表面張力の低下した加工液が工具表層の奥まで到達し、削りカスなどを除去して目詰まりを解消する。その結果、目詰まりに起因する砥粒の脱落と発刃の急激な繰り返しがなくなるため加工面の品質が向上する。振動しないノズル９から加工点２へ供給される加工液は、加工液分断装置８による加工液の分断による表面張力の低下および気泡が破裂するエネルギーによって、加工点２へ確実に到達するため、充分な冷却・潤滑作用を得ることができる。   In this embodiment, due to vibration superimposed on the machining fluid in the vibrating nozzle 3 and the energy of bursting bubbles contained in the machining fluid, the machining fluid having a reduced surface tension reaches the depth of the tool surface layer, and scraps, etc. Remove clogging. As a result, the quality of the processed surface is improved because there is no loss of abrasive grains due to clogging and rapid repetition of the cutting edge. Since the machining fluid supplied from the non-vibrating nozzle 9 to the machining point 2 reliably reaches the machining point 2 by the decrease in surface tension due to the division of the machining fluid by the machining fluid cutting device 8 and the energy that the bubbles burst, it is sufficient. Cooling and lubricating action can be obtained.

図４は実施例３を示すもので、これは、加工液分断装置８を通過した加工液を２系統に分岐し、各系統とも、振動する吐出手段であるノズル３を用いる。一方のノズル３から吐出される加工液を砥石１の工具作用点の回転軌跡上の加工点に近い工具表層にあてる。他の１系統も振動するノズル３に流入させ、振動を重畳させた加工液を加工点２へ供給する。   FIG. 4 shows a third embodiment, in which the machining fluid that has passed through the machining fluid cutting device 8 is branched into two systems, and each system uses a nozzle 3 that is a discharge means that vibrates. The machining fluid discharged from one nozzle 3 is applied to the tool surface layer near the machining point on the rotation locus of the tool operating point of the grindstone 1. The other one system is also allowed to flow into the vibrating nozzle 3, and the machining fluid on which the vibration is superimposed is supplied to the machining point 2.

図５は実施例４を示す。これは、加工液分断装置８を通過した加工液を振動するノズル３と振動しないノズル９の２系統に分岐し、振動するノズル３の先端に、工具表層から微小距離、例えば０．５ｍｍ離れて対向するような形状となっているノズル先端ブロック１０を備える。ノズル先端ブロック１０は、砥石外周の１／１５〜１／２０の長さであり、材質は鉄、ステンレス、黄銅などの金属である。ノズル先端ブロック１０の設置位置は、工具中心を中心として、加工点２とノズル先端ブロック１０とのなす角度が４５〜９０°であることが望ましい。ノズル先端ブロック１０には、振動するノズル３から吐出した加工液が工具表層まで水流が折り曲げられることなく、工具表層に対して１０〜４５°の傾斜をもって工具回転方向に沿う方向となるような流路が設けられている。   FIG. 5 shows a fourth embodiment. This is because the machining fluid that has passed through the machining fluid cutting device 8 is branched into two systems, a nozzle 3 that vibrates and a nozzle 9 that does not vibrate. A nozzle tip block 10 having a shape that faces each other is provided. The nozzle tip block 10 has a length of 1/15 to 1/20 of the outer periphery of the grindstone, and the material is a metal such as iron, stainless steel, or brass. As for the installation position of the nozzle tip block 10, it is desirable that the angle between the machining point 2 and the nozzle tip block 10 is 45 to 90 ° with the tool center as the center. The nozzle tip block 10 has a flow in which the machining fluid discharged from the vibrating nozzle 3 is not bent to the tool surface layer, and is in a direction along the tool rotation direction with an inclination of 10 to 45 ° with respect to the tool surface layer. There is a road.

本実施例では、工具表層と微小な間隙で設置したノズル先端ブロックによって、振動するノズルと工具表層の間に加工液を充填させることで振動エネルギーを確実に工具表層に与えることができる。また、ノズル先端ブロックを加工点近くに設置することで工具の回転に連れ回る空気層を断ち切り、より加工点に加工液を供給しやすくする。   In the present embodiment, the vibration energy can be surely given to the tool surface layer by filling the machining liquid between the vibrating nozzle and the tool surface layer by the nozzle tip block installed at a small gap with the tool surface layer. In addition, the nozzle tip block is installed near the machining point to cut off the air layer that rotates with the rotation of the tool, thereby making it easier to supply the machining liquid to the machining point.

図６は実施例５を示す。これは、実施例３と同様に、加工液分断装置８を通過した加工液を２つの振動するノズル３に分岐するもので、砥石１の工具作用点の回転軌跡上の、加工点２に近い工具表層に加工液を吐出しているノズル３の先端に、実施例４と同様のノズル先端ブロック１０を設置する。   FIG. 6 shows a fifth embodiment. This is similar to the third embodiment, in which the machining fluid that has passed through the machining fluid cutting device 8 is branched into two vibrating nozzles 3, and is close to the machining point 2 on the rotation locus of the tool action point of the grindstone 1. A nozzle tip block 10 similar to that of the fourth embodiment is installed at the tip of the nozzle 3 that is discharging the machining fluid to the tool surface layer.

実施例１を示す模式図である。1 is a schematic diagram illustrating Example 1. FIG. 図１の加工液分断装置を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows the processing-fluid cutting device of FIG. 実施例２を示す模式図である。6 is a schematic diagram showing Example 2. FIG. 実施例３を示す模式図である。6 is a schematic diagram showing Example 3. FIG. 実施例４を示す模式図である。10 is a schematic diagram showing Example 4. FIG. 実施例５を示す模式図である。10 is a schematic diagram showing Example 5. FIG. 従来例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows a prior art example.

符号の説明Explanation of symbols

１ 砥石
３、９ ノズル
４ 振動子
５ 振動子アンプ
６ 加工液タンク
７ ポンプ
８ 加工液分断装置
１０ ノズル先端ブロック DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Grinding stone 3, 9 Nozzle 4 Vibrator 5 Vibrator amplifier 6 Processing liquid tank 7 Pump 8 Processing liquid cutting device 10 Nozzle tip block

Claims (5)

被加工物を加工する工具に加工液を供給する加工液供給装置において、供給源から供給された加工液を分断して気泡を含有させる加工液分断装置と、気泡を含有する加工液に流動方向の振動を与えて前記工具の加工点に吐出する吐出手段と、を有することを特徴とする加工液供給装置。   In a machining fluid supply device that supplies machining fluid to a tool for machining a workpiece, a machining fluid separation device that divides the machining fluid supplied from a supply source to contain bubbles, and a flow direction to the machining fluid that contains bubbles And a discharging means that discharges the tool to a processing point of the tool. 被加工物を加工する工具に加工液を供給する加工液供給装置において、供給源から供給された加工液を分断して気泡を含有させる加工液分断装置と、気泡を含有する加工液を前記工具の第１の部位に吐出する第１の吐出手段と、気泡を含有する加工液に流動方向の振動を与えて前記工具の第２の部位に吐出する第２の吐出手段と、を有することを特徴とする加工液供給装置。   In a machining fluid supply device for supplying machining fluid to a tool for machining a workpiece, a machining fluid dividing device that divides the machining fluid supplied from a supply source to contain bubbles, and a machining fluid that contains bubbles is the tool. First discharging means for discharging to the first part of the tool, and second discharging means for applying vibration in the flow direction to the working fluid containing bubbles and discharging the fluid to the second part of the tool. A machining fluid supply device. 加工液に与える振動の周波数が１ＭＨｚ以上であることを特徴とする請求項１または２記載の加工液供給装置。   The machining fluid supply device according to claim 1 or 2, wherein a frequency of vibration applied to the machining fluid is 1 MHz or more. 工具が研削用の砥石であることを特徴とする請求項１ないし３いずれか１項記載の加工液供給装置。   4. The machining fluid supply device according to claim 1, wherein the tool is a grinding wheel for grinding. 請求項１ないし４いずれか１項記載の加工液供給装置を備えたことを特徴とする加工装置。   A processing apparatus comprising the processing liquid supply device according to claim 1.
JP2005108150A 2005-04-05 2005-04-05 Machining liquid feeder and machining device Pending JP2006281419A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005108150A JP2006281419A (en) 2005-04-05 2005-04-05 Machining liquid feeder and machining device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005108150A JP2006281419A (en) 2005-04-05 2005-04-05 Machining liquid feeder and machining device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006281419A true JP2006281419A (en) 2006-10-19

Family

ID=37403844

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005108150A Pending JP2006281419A (en) 2005-04-05 2005-04-05 Machining liquid feeder and machining device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006281419A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013022717A (en) * 2011-07-25 2013-02-04 Shindengen Electric Mfg Co Ltd Dicing device
CN103072053A (en) * 2013-02-27 2013-05-01 株洲县华西物资机械有限公司 Processing method for ultra-high strength steel axis parts
JP5643882B1 (en) * 2013-08-07 2014-12-17 ウエノテックス株式会社 Titanium grinding apparatus and grinding method thereof
JP2020203332A (en) * 2019-06-14 2020-12-24 株式会社橋本テクニカル工業 Grinding liquid supply device, grinding processing system, grinding processing method and cavitation processing module used therein

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013022717A (en) * 2011-07-25 2013-02-04 Shindengen Electric Mfg Co Ltd Dicing device
CN103072053A (en) * 2013-02-27 2013-05-01 株洲县华西物资机械有限公司 Processing method for ultra-high strength steel axis parts
JP5643882B1 (en) * 2013-08-07 2014-12-17 ウエノテックス株式会社 Titanium grinding apparatus and grinding method thereof
JP2020203332A (en) * 2019-06-14 2020-12-24 株式会社橋本テクニカル工業 Grinding liquid supply device, grinding processing system, grinding processing method and cavitation processing module used therein

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103857475A (en) Device for generating a pulsating fluid jet subjected to pressure
CN113103070B (en) Method for machining microgrooves by shearing, thickening and abrasive flow combined grinding
JP5982693B2 (en) Grinding fluid supply device
JP2009274181A (en) Fluid polishing apparatus
US20120184184A1 (en) Tool for machining a cmc by milling and ultrasonic abrasion
JP2006281419A (en) Machining liquid feeder and machining device
CN106392885A (en) Combined precise trimming device and trimming method for ultrahard grinding sand wheel
JP2014065128A (en) Abrasive waterjet working apparatus and working method
TWI492290B (en) Machining devices and machining methods
KR20190072583A (en) hone
CN114589601B (en) Abrasive particle energized wire cutting device and method
JP2000015622A (en) Method and device for cutting outer peripheral blade
JP2828377B2 (en) Grinding method and apparatus
JP2001038594A (en) Polishing method of optical element and polishing device of optical element
JP5643882B1 (en) Titanium grinding apparatus and grinding method thereof
JP5352892B2 (en) Grinding method and grinding apparatus
RU2520287C1 (en) Method of diamond abrasive jet cutting
JP4126377B2 (en) Diamond processing method
RU2261165C1 (en) Method for supplying cutting fluid at plane face grinding
JP7317279B2 (en) Automatic Grinding Operation Method for Turbine Blades Using Fine Air Bubbles
Suzuki et al. Effects of the megasonic floating nozzle on grinding performance for hard materials
JPH03111166A (en) Cut off grinding method
RU2009864C1 (en) Method for jet blasting
KR100414681B1 (en) The equipment and cutting waterjet of use wet type abrasive
RU2261166C1 (en) Method for supplying cutting fluid at plane face grinding