JP2006279493A - アンテナ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 MEMSデバイスを有し、MEMSデバイス駆動用バイアス線によるアンテナ特性の劣化を抑圧したアンテナ装置を得る。
【解決手段】 誘電体基板上に形成される素子アンテナ導体と、MEMSデバイスと、MEMSデバイスを駆動するバイアス線導体と、MEMSデバイスを保護する封止カバーを具備するアンテナ装置において、素子アンテナ導体を接地し、封止構造を有する素子アンテナのMEMSデバイス駆動用バイアス線導体を封止領域外にてバイアス電源と接続する構成とする。
【選択図】 図1
【解決手段】 誘電体基板上に形成される素子アンテナ導体と、MEMSデバイスと、MEMSデバイスを駆動するバイアス線導体と、MEMSデバイスを保護する封止カバーを具備するアンテナ装置において、素子アンテナ導体を接地し、封止構造を有する素子アンテナのMEMSデバイス駆動用バイアス線導体を封止領域外にてバイアス電源と接続する構成とする。
【選択図】 図1
Description
この発明は、半導体微細加工技術を用いて製造される電気的或いは機械的なデバイスを製造する技術であるMicro-Electro Mechanical Systems(以下MEMSと記す。)技術を適用したスイッチを具備するマイクロ波やミリ波等のアンテナ装置に関するものである。
MEMS技術を適用したアンテナ装置は、例えば米国特許US 6198438 fig.1.のようにMEMS技術により製造されたスイッチ(以下MEMSスイッチと記す)を微小パッチ導体間に配置した構成が示されており、MEMSスイッチのON/OFFによりアンテナの動作周波数を可変することが可能である。具体的な適用MEMSスイッチとしては、非特許文献1に示される構造の小型なMEMSスイッチがある。
上記MEMSスイッチは、スイッチをON/OFF駆動するためのバイアス電極をスイッチの下部に有し、前記電極とスイッチ間に外部より適当な電位差を与えることにより発生する静電力により、スイッチ端子のON/OFF駆動を制御する。多くの場合においては、バイアス電極を地導体へ接続し、スイッチと地導体との間に生じる電位差を付与する手法がとられている。
また、上記MEMSスイッチは、非特許文献2によれば湿気や埃等による誤動作や故障を防止することを目的として、防湿用及び防塵用に気密封止を行う必要があり、シリコンやガラスパッケージ等による封止の手法が示されている。
MEMS技術を適用したMEMSスイッチを複数具備するアンテナ装置において、MEMSスイッチを駆動する為の電力を供給するためのバイアス電極を有するバイアス線はスイッチの下部を通るように配線される。また、アンテナ方式にマイクロストリップアンテナ等の地導体を有するアンテナを用いた場合においては、バイアス電極をアンテナの地導体へ接地する構成とする。このような構成とした場合、アンテナ上を流れるマイクロ波の電流経路と地導体との間隔がMEMSスイッチ部分において急激に近くなる為、アンテナの特性を劣化させる原因となる。
また、MEMSスイッチを複数具備するアンテナ装置を複数配置するアレーアンテナにおいては、各素子アンテナ毎にスイッチを制御するバイアス線が必要となり、配線が複雑となるという問題点もある。
この発明は上記のような問題点を解決するためになされたもので、スイッチを駆動するバイアス線によるアンテナの特性劣化を抑圧しつつ、可変特性を有するアンテナを得ることを目的とする。また、複数の素子アンテナへのバイアス線の接続構成を明確にすることも目的とする。
この発明のアンテナ装置は、誘電体基板上に形成される素子アンテナ導体と、上記素子アンテナ導体に接続された1つ以上のMEMSデバイスと、上記MEMSデバイスの駆動により上記素子アンテナ導体と接続される1つ以上の延伸用素子アンテナ導体と、上記素子アンテナ導体の中心を接地面に接続するセンターショートピンと、上記素子アンテナに給電する給電点とを有する素子アンテナと、
上記MEMSデバイスを収容する封止カバーと、
上記MEMSデバイスを駆動するバイアス電圧またはバイアス電流を供給し、上記誘電体基板上に形成されたバイアス線導体と、
上記MEMSデバイスを駆動するバイアス電源と、
上記バイアス電源と上記バイアス線導体とを接続する配線とを備え、
上記バイアス線導体を封止カバーによって封止される領域外へ延伸し、上記バイアス線導体を封止領域外にて上記配線に接続したものである。
上記MEMSデバイスを収容する封止カバーと、
上記MEMSデバイスを駆動するバイアス電圧またはバイアス電流を供給し、上記誘電体基板上に形成されたバイアス線導体と、
上記MEMSデバイスを駆動するバイアス電源と、
上記バイアス電源と上記バイアス線導体とを接続する配線とを備え、
上記バイアス線導体を封止カバーによって封止される領域外へ延伸し、上記バイアス線導体を封止領域外にて上記配線に接続したものである。
この発明は素子アンテナ導体を接地し、封止構造を有する素子アンテナのMEMSデバイス駆動用バイアス線導体を封止領域外にてバイアス電源と接続することによって、スイッチを駆動するバイアス線によるアンテナの特性劣化を抑圧しつつ、可変特性を有するアンテナを得ることができ、複数の素子アンテナへのバイアス線の接続構成を明確にすることが可能になる。
実施の形態1.
図1はこの発明の実施の形態1を示すアンテナ装置の構成図、図2は図1におけるアンテナ装置のA−A’断面構成図である。説明の都合上、図1のカバーは開口させている。
図において、1は誘電体基板、2は誘電体基板1上に形成された素子アンテナ導体、3はMEMSスイッチにより上記素子アンテナ導体2に接続される延長用素子アンテナ導体、4はMEMSスイッチ、5は誘電体基板上に形成されたMEMSスイッチを駆動する為のバイアス電極を一方の端末に有するバイアス線導体、6はアンテナ給電点、7はセンターショートピン、8は気密用アンテナ封止用カバー、9はMEMSスイッチを駆動するバイアス用電源、10はバイアス用電源9とバイアス線導体5とを接続する配線、11は地導体である。MEMSスイッチ4の一端縁は素子アンテナ導体2に接続されている。バイアス線導体5のバイアス電極がMEMSスイッチ4の下部に配置される。
図1はこの発明の実施の形態1を示すアンテナ装置の構成図、図2は図1におけるアンテナ装置のA−A’断面構成図である。説明の都合上、図1のカバーは開口させている。
図において、1は誘電体基板、2は誘電体基板1上に形成された素子アンテナ導体、3はMEMSスイッチにより上記素子アンテナ導体2に接続される延長用素子アンテナ導体、4はMEMSスイッチ、5は誘電体基板上に形成されたMEMSスイッチを駆動する為のバイアス電極を一方の端末に有するバイアス線導体、6はアンテナ給電点、7はセンターショートピン、8は気密用アンテナ封止用カバー、9はMEMSスイッチを駆動するバイアス用電源、10はバイアス用電源9とバイアス線導体5とを接続する配線、11は地導体である。MEMSスイッチ4の一端縁は素子アンテナ導体2に接続されている。バイアス線導体5のバイアス電極がMEMSスイッチ4の下部に配置される。
図1のように構成されたアンテナ装置において、バイアス用電源9から上記バイアス電源と誘電体基板上に形成されたバイアス線導体5とを接続する配線10と、アンテナ上に構成されたMEMSスイッチ4a乃至4fに封止用カバーの外まで接続されているバイアス線導体5a乃至5bとを介して駆動に必要な静電力を発生させる電圧を封止領域外から印加することにより、上記MEMSスイッチはON/OFF状態を変移する。
MEMSスイッチ4a乃至4fがOFFの状態の時においては、素子アンテナ導体2の開口面積で共振する周波数にて、アンテナは動作する。また、MEMSスイッチ4a乃至4fがONの状態の時においては、MEMSスイッチ4がバイアス線導体5のバイアス電極に吸引されて、MEMSスイッチ4の他端縁が延長用素子アンテナ導体3a乃至3bに接触し、素子アンテナ導体2と延長用素子アンテナ導体3a乃至3bとが電気的に接続される。したがって、素子アンテナ導体2と延長用素子アンテナ導体3a乃至3bを合わせた開口面積で共振する周波数にて、アンテナは励振動作する。以上のようにバイアス線導体5a乃至5bに駆動電圧を印加することにより、複数のMEMSスイッチのON/OFFに合わせてアンテナ上を流れるマイクロ波の電流経路が変化し、アンテナの動作周波数が変化する。なお、ON状態のときでも、MEMSスイッチ4とバイアス線導体5のバイアス電極とは接触しない。MEMSスイッチのON状態とOFF状態の切替えは、バイアス用電源9からバイアス線導体5への、通電のON/OFFを切替えることによって行う。
前述の様に動作する素子アンテナは、マイクロストリップアンテナとして動作するため、素子アンテナ導体2の中央における電位は0ボルトである。このため誘電体基板1を貫通する穴を有するセンターショートピン7を素子アンテナ導体2の中央に構成しても素子アンテナの諸特性への影響はなく、良好なアンテナ特性を有する。また、MEMSスイッチ4a乃至4fのON/OFFに係らず素子アンテナ導体2の直流成分は地導体11と同電位となる。
スイッチ4を駆動するバイアス電極に地導体11に対して駆動電圧分高い電圧、或いは低い電圧を印加した場合、MEMSスイッチ4は駆動しON状態に変移する。この時バイアス電極によるマイクロ波への影響は、バイアス電極が浮遊導体と等価となり、スイッチ下部のバイアス電極が地導体と分離されるため、MEMSスイッチ部において地導体の近接による特性劣化が解消され、アンテナ特性の劣化を抑制することが可能となる。
また、封止領域外において、バイアス線導体5と、バイアス電源9に接続される配線10とを接続する構成とすることにより、素子アンテナから接続部位までの距離が遠くなる為、アンテナ特性への影響が軽微となり、アンテナ特性の劣化を抑圧することができる。
また、本実施の形態では誘電体基板上に形成されたバイアス線導体5が2本引き出された構成となっているが、バイアス線導体5a及び5bを誘電体基板上に形成された導体にて接続され、バイアス電源9と接続する配線10との接続を1点としたアンテナ構成であってもアンテナ特性の劣化を抑圧することができることは云うまでもない。
また、本実施の形態では、MEMSスイッチ4のスイッチ数と上記MEMSスイッチ4を駆動するバイアス線導体の本数とが不一致であるが、同一の数量のアンテナ構成であっても同様な効果が得られることは云うまでもない。
実施の形態2.
以上の実施の形態では、誘電体基板上に形成したMEMSスイッチを駆動するバイアス電極を有するバイアス線導体5を導体線とのみしているが、本バイアス線導体を窒化タンタル等の高抵抗導電性素材により形成したバイアス線導体5を有する構成としたものである。以上のような構成とすることにより、MEMSスイッチ4においてマイクロ波電流が駆動用バイアス電極を介してバイアス線導体5へ結合した場合にバイアス線導体での共振による不要放射の抑圧が可能となり、アンテナ放射パターンへの影響を低減することが可能である。
以上の実施の形態では、誘電体基板上に形成したMEMSスイッチを駆動するバイアス電極を有するバイアス線導体5を導体線とのみしているが、本バイアス線導体を窒化タンタル等の高抵抗導電性素材により形成したバイアス線導体5を有する構成としたものである。以上のような構成とすることにより、MEMSスイッチ4においてマイクロ波電流が駆動用バイアス電極を介してバイアス線導体5へ結合した場合にバイアス線導体での共振による不要放射の抑圧が可能となり、アンテナ放射パターンへの影響を低減することが可能である。
実施の形態3.
実施の形態1及び実施の形態2では、1つの素子アンテナに誘電体基板上に形成されたバイアス線導体5に対してバイアス電源9と接続する配線10を接続する構成としているが、素子アンテナ導体と複数のMEMSスイッチと1つ以上の延長用素子アンテナ導体とを具備する素子アンテナを複数個配置したアレーアンテナにおいて、同時に駆動するMEMSスイッチに接続されるバイアス線導体を接続し、バイアス電源9と接続する配線10との接続数を削減したアンテナ構成とする実施の形態を示す。
実施の形態1及び実施の形態2では、1つの素子アンテナに誘電体基板上に形成されたバイアス線導体5に対してバイアス電源9と接続する配線10を接続する構成としているが、素子アンテナ導体と複数のMEMSスイッチと1つ以上の延長用素子アンテナ導体とを具備する素子アンテナを複数個配置したアレーアンテナにおいて、同時に駆動するMEMSスイッチに接続されるバイアス線導体を接続し、バイアス電源9と接続する配線10との接続数を削減したアンテナ構成とする実施の形態を示す。
図3は実施の形態3の構成例であり、素子アンテナ導体と複数のMEMSスイッチと1つ以上の延長用素子アンテナ導体とを具備する素子アンテナ12a、12b、及び12cを1つの誘電体基板上に形成した場合であり、封止領域8a、8b及び8cの外側にて各素子アンテナに接続されるバイアス線導体を1つに接続し、配線10を介してバイアス電源9と接続した構成である。
以上のような構成とすることにより、アンテナ特性の劣化を抑圧することができ、さらに各素子アンテナに接続されるバイアス線導体とバイアス電源とを接続する配線10の数を3分の1に削減することにより、バイアス線導体の複雑な配線を回避することが可能となる。
また、本実施の形態では、各素子アンテナに接続されるバイアス線導体を1本の導体線に纏めているが、同時に駆動するMEMSスイッチ毎に導体線を纏めて、バイアス電源と接続する構成としても、配線10の本数を削減する同様な効果が得られることは云うまでもない。
また、本実施の形態では、3個の素子アンテナを誘電体基板上に形成する構成としているが、3素子以外の複数の素子アンテナを1つの誘電体基板上に形成する構成としても同様な効果が得られることは云うまでもない。
1 誘電体基板、 2 素子アンテナ導体、 3 延長用素子アンテナ導体、 4 MEMSスイッチ、 5 バイアス線導体、 6 アンテナ給電点、 7 センターショートピン、 8 気密用アンテナ封止用カバー、 9 バイアス用電源、 10 バイアス用電源とバイアス線とを接続する配線、 11 地導体、 12 素子アンテナ導体と延長用素子アンテナ導体とMEMSスイッチを有する素子アンテナ。
Claims (3)
- 誘電体基板上に形成される素子アンテナ導体と、
上記素子アンテナ導体に接続された1つ以上のMEMSデバイスと、
上記MEMSデバイスの駆動により上記素子アンテナ導体と接続される1つ以上の延伸用素子アンテナ導体と、
上記素子アンテナ導体の中心を接地面に接続するセンターショートピンと、
上記素子アンテナに給電する給電点と
を有する素子アンテナと、
上記MEMSデバイスを収容する封止カバーと、
上記MEMSデバイスを駆動するバイアス電圧またはバイアス電流を供給し、上記誘電体基板上に形成されたバイアス線導体と、
上記MEMSデバイスを駆動するバイアス電源と、
上記バイアス電源と上記バイアス線導体とを接続する配線とを備え、
上記バイアス線導体を封止カバーによって封止される領域外へ延伸し、上記バイアス線導体を封止領域外にて上記配線に接続したことを特徴とするアンテナ装置。 - 上記バイアス線導体は、高抵抗導体によって形成されたことを特徴とする請求項1のアンテナ装置。
- 誘電体基板上に形成される複数の素子アンテナとバイアス線導体において、封止領域外へ延伸された複数のバイアス線導体を1つ乃至複数に纏めて、封止領域外にて上記配線に接続することを特徴とする請求項1乃至2のアンテナ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005095133A JP2006279493A (ja) | 2005-03-29 | 2005-03-29 | アンテナ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005095133A JP2006279493A (ja) | 2005-03-29 | 2005-03-29 | アンテナ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Family
ID=37213774
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005095133A Pending JP2006279493A (ja) | 2005-03-29 | 2005-03-29 | アンテナ装置 |
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JP (1) | JP2006279493A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100810383B1 (ko) | 2006-12-01 | 2008-03-04 | 삼성전자주식회사 | 내장형 안테나 장치 |
KR100952976B1 (ko) | 2007-10-15 | 2010-04-15 | 한국전자통신연구원 | 안테나 소자 및 이를 이용하는 주파수 재구성 배열 안테나 |
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2005
- 2005-03-29 JP JP2005095133A patent/JP2006279493A/ja active Pending
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KR100810383B1 (ko) | 2006-12-01 | 2008-03-04 | 삼성전자주식회사 | 내장형 안테나 장치 |
US7791544B2 (en) | 2006-12-01 | 2010-09-07 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Built-in antenna apparatus |
KR100952976B1 (ko) | 2007-10-15 | 2010-04-15 | 한국전자통신연구원 | 안테나 소자 및 이를 이용하는 주파수 재구성 배열 안테나 |
US7952533B2 (en) | 2007-10-15 | 2011-05-31 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Antenna element and frequency reconfiguration array antenna using the antenna element |
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