JP2006278005A - Organic el device, its manufacturing method and electronic apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、有機電子デバイス全般を対象とし、特に有機EL装置およびその製造方法、ならびに電子機器に関する。 The present invention is directed to organic electronic devices in general, and particularly relates to an organic EL device, a manufacturing method thereof, and an electronic apparatus.
有機EL装置は、エレクトロルミネッセンス(EL)により光を生じる発光装置であり、陽極および陰極と、この陽極と陰極との間に配置された、有機材料を含む有機層とを含む。この有機層としては、光を放出する発光層に加えて、陽極バッファ層となる正孔輸送/注入層や、陰極バッファ層となる電子輸送/注入層が挙げられる。一般に、有機EL装置は、陽極および陰極からそれぞれ注入された電子と正孔とが発光層内で再結合し、励起したエネルギーが光として放出される。 An organic EL device is a light emitting device that generates light by electroluminescence (EL), and includes an anode and a cathode, and an organic layer containing an organic material, disposed between the anode and the cathode. Examples of the organic layer include a hole transport / injection layer serving as an anode buffer layer and an electron transport / injection layer serving as a cathode buffer layer in addition to a light emitting layer that emits light. Generally, in an organic EL device, electrons and holes injected from an anode and a cathode are recombined in a light emitting layer, and excited energy is emitted as light.
有機EL装置においては、有機層に含まれる有機材料を適宜選択することにより、発光色の制御が容易である。また、有機EL装置は、低電力で駆動する効率の良い自発光素子として、ディスプレイ市場で製品化が期待されている。 In the organic EL device, the emission color can be easily controlled by appropriately selecting an organic material contained in the organic layer. Further, organic EL devices are expected to be commercialized in the display market as efficient self-luminous elements that are driven with low power.
有機EL装置の特性に大きな影響を与える因子として、例えば、有機層表面の平滑性や、有機層が複数の層からなる場合における層同士の密着性が挙げられる。有機層表面の平滑性が低かったり、あるいは層同士の密着性が低かったりすると、発光の均一性が低下したり、電極と有機層との接触具合が悪くなったりする場合がある。 Examples of factors that greatly affect the characteristics of the organic EL device include the smoothness of the surface of the organic layer and the adhesion between layers when the organic layer is composed of a plurality of layers. If the smoothness of the surface of the organic layer is low or the adhesion between the layers is low, the uniformity of light emission may be reduced, or the contact condition between the electrode and the organic layer may be deteriorated.
中でも、有機層が結晶性有機材料を含む場合、有機層中に微結晶が存在することにより、輝度むらが生じたり、発光安定性が低下したりする場合がある。
本発明の目的は、輝度むらがなく、かつ発光安定性に優れた有機EL装置およびその製造方法、ならびに前記有機EL装置を含む電子機器を提供することである。 An object of the present invention is to provide an organic EL device having no luminance unevenness and excellent emission stability, a method for manufacturing the same, and an electronic apparatus including the organic EL device.
(1)本発明の有機EL装置の製造方法は、
結晶性有機材料を含む有機層を前記結晶性有機材料の融点より高い温度で加熱した後、冷却することを含む。
(1) The manufacturing method of the organic EL device of the present invention includes:
It includes heating the organic layer containing the crystalline organic material at a temperature higher than the melting point of the crystalline organic material and then cooling.
本発明において、「結晶性有機材料」とは、融点より高い温度で加熱した後、自然放置すると、少なくとも一部に結晶成分が生成する有機材料をいい、「自然放置」とは、冷却装置を使用せずに室温に放置することをいう。 In the present invention, the “crystalline organic material” refers to an organic material in which a crystalline component is generated at least partially when heated at a temperature higher than the melting point and then left to stand naturally, and “natural standing” refers to a cooling device. To stand at room temperature without using.
なお、本発明において、「A」の上方に「B」を形成するとは、「A」の上に直接「B」を形成する場合、もしくは「A」の上に「A」および「B」と異なる他の部材を介して「B」を形成する場合を含む。 In the present invention, “B” is formed above “A” when “B” is formed directly on “A”, or “A” and “B” are formed on “A”. This includes the case where “B” is formed via another different member.
本発明の有機EL装置の製造方法によれば、結晶成分を実質的に含まない前記有機層を得ることができる。これにより、輝度むらがなく、かつ発光安定性に優れた有機EL装置を得ることができる。本発明において、「有機層が結晶成分を実質的に含まない」ことは、例えば、後述するTMDSCを用いた有機層について測定を行なった場合、融点を示す融解ピーク(例えば図12でいう融解ピークM2)以外の融解ピークが検出されないこと、ならびに、融解ピーク(M2)より低温領域に結晶化ピーク(C1)(図12参照)が検出されることにより、確認することができる。 According to the method for producing an organic EL device of the present invention, the organic layer substantially free of a crystal component can be obtained. Thereby, an organic EL device having no luminance unevenness and excellent light emission stability can be obtained. In the present invention, “the organic layer does not substantially contain a crystal component” means that, for example, when a measurement is performed on an organic layer using TMDSC described later, a melting peak indicating a melting point (for example, a melting peak in FIG. 12). It can be confirmed that no melting peak other than M2) is detected, and that a crystallization peak (C1) (see FIG. 12) is detected in a lower temperature region than the melting peak (M2).
なお、完全に結晶化したサンプルにおいては、融解ピークは1つしか検出されない(図13参照)。これに対して、アモルファスを含むサンプルにおいては、低温領域において結晶化が起こり、かつ、結晶成分の融解が起こるため、融解ピーク(M2)および結晶化ピーク(C1)の両方が検出される(図11参照)。また、微結晶を含むサンプルと比較して、アモルファスを含むサンプルでは、結晶化ピーク(C1)がより低温領域に存在する。 In the completely crystallized sample, only one melting peak is detected (see FIG. 13). On the other hand, in the sample containing amorphous, crystallization occurs in a low temperature region and melting of the crystal component occurs, so that both the melting peak (M2) and the crystallization peak (C1) are detected (FIG. 11). In addition, the crystallization peak (C1) is present in a lower temperature region in the sample containing amorphous than in the sample containing microcrystal.
ここで、上記本発明の有機EL装置の製造方法において、前記有機層の冷却速度が50℃/秒以上であることができる。 Here, in the manufacturing method of the organic EL device of the present invention, the cooling rate of the organic layer can be 50 ° C./second or more.
ここで、上記本発明の有機EL装置の製造方法において、前記有機層の加熱を不活性ガス雰囲気下または減圧下で行なうことができる。ここで、「不活性ガス」とは、前記有機層と反応しないガスをいう。 Here, in the method for manufacturing an organic EL device of the present invention, the organic layer can be heated in an inert gas atmosphere or under reduced pressure. Here, “inert gas” refers to a gas that does not react with the organic layer.
ここで、上記本発明の有機EL装置の製造方法において、前記有機層は、発光層、正孔輸送/注入層、および電子輸送/注入層のうち少なくとも1つであることができる。 Here, in the method for manufacturing an organic EL device of the present invention, the organic layer may be at least one of a light emitting layer, a hole transport / injection layer, and an electron transport / injection layer.
(2)本発明の有機EL装置の製造方法は、
第1基体の上方に第1電極を形成した後、前記第1基体および前記第1電極の上方に、第1結晶性有機材料を含む第1有機層を形成することにより、第1の部分を形成すること、
第2基体の上方に第2電極を形成した後、前記第2基体および前記第2電極の上方に、第2結晶性有機材料を含む第2有機層を形成することにより、第2の部分を形成すること、および
前記第1有機層および前記第2有機層を介して前記第1の部分と前記第2の部分とを接合させた状態で、前記第1結晶性有機材料の融点および前記第2結晶性有機材料の融点の両方より高い温度で前記第1および第2有機層を加熱した後、冷却すること、
を含む。
(2) The manufacturing method of the organic EL device of the present invention includes:
After forming the first electrode above the first substrate, a first organic layer containing a first crystalline organic material is formed above the first substrate and the first electrode, thereby forming the first portion. Forming,
After forming the second electrode above the second substrate, a second organic layer containing a second crystalline organic material is formed above the second substrate and the second electrode, whereby the second portion is formed. Forming the first crystalline organic material and the melting point of the first crystalline organic material and the second organic layer in a state where the first portion and the second portion are joined via the first organic layer and the second organic layer. Heating the first and second organic layers at a temperature higher than both of the melting points of the two crystalline organic materials and then cooling;
including.
本発明の有機EL装置の製造方法によれば、結晶成分を実質的に含まない前記第1および第2有機層を得ることができる。これにより、輝度むらがなく、かつ発光安定性に優れた有機EL装置を得ることができる。 According to the method for manufacturing an organic EL device of the present invention, the first and second organic layers substantially free of crystal components can be obtained. Thereby, an organic EL device having no luminance unevenness and excellent light emission stability can be obtained.
(3)本発明の有機EL装置は、
第1および第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に配置され、結晶性有機材料を含む有機層と、
を含み、
前記有機層は結晶成分を実質的に含まないことができる。
(3) The organic EL device of the present invention
First and second electrodes;
An organic layer disposed between the first electrode and the second electrode and including a crystalline organic material;
Including
The organic layer can be substantially free of crystalline components.
本発明の有機EL装置によれば、前記有機層が結晶成分を実質的に含まないことにより、輝度むらがなく、かつ発光安定性に優れている。 According to the organic EL device of the present invention, since the organic layer does not substantially contain a crystal component, there is no luminance unevenness and excellent light emission stability.
(4)本発明の有機EL装置は、
第1および第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に配置され、結晶性有機材料を含む有機層と、
を含み、
前記有機層は、前記結晶性有機材料の融点より高い温度で加熱した後、冷却することにより得られる。
(4) The organic EL device of the present invention is
First and second electrodes;
An organic layer disposed between the first electrode and the second electrode and including a crystalline organic material;
Including
The organic layer is obtained by heating at a temperature higher than the melting point of the crystalline organic material and then cooling.
本発明の有機EL装置によれば、結晶成分を実質的に含まない前記有機層を得ることができる。これにより、本発明の有機EL装置は、輝度むらがなく、かつ発光安定性に優れている。 According to the organic EL device of the present invention, the organic layer substantially free of a crystal component can be obtained. Thereby, the organic EL device of the present invention has no luminance unevenness and is excellent in light emission stability.
(5)本発明の有機EL装置は、
第1基体と、
前記第1基体の上方に配置された第1電極と、
前記第1基体および前記第1電極の上方に配置され、第1結晶性有機材料を含む第1有機層と、
前記第1有機層上に配置された第2有機層と、
前記第2有機層の上方に配置された第2電極と、
前記第2電極および前記第2有機層の上方に配置され、第2結晶性有機材料を含む第2基体と、
を含み、
前記第1および第2有機層は結晶成分を実質的に含まない。
(5) The organic EL device of the present invention
A first substrate;
A first electrode disposed above the first substrate;
A first organic layer disposed above the first substrate and the first electrode and comprising a first crystalline organic material;
A second organic layer disposed on the first organic layer;
A second electrode disposed above the second organic layer;
A second substrate disposed above the second electrode and the second organic layer and comprising a second crystalline organic material;
Including
The first and second organic layers are substantially free of crystalline components.
本発明の有機EL装置によれば、結晶成分を実質的に含まない前記有機層を含むことにより、輝度むらがなく、かつ発光安定性に優れている。 According to the organic EL device of the present invention, by including the organic layer substantially free of a crystal component, there is no luminance unevenness and excellent light emission stability.
ここで、上記本発明の有機EL装置において、前記第1および第2有機層は、前記第1結晶性有機材料の融点および前記第2結晶性有機材料の融点の両方より高い温度で加熱した後、冷却することにより得られる。 Here, in the organic EL device of the present invention, the first and second organic layers are heated at a temperature higher than both the melting point of the first crystalline organic material and the melting point of the second crystalline organic material. Obtained by cooling.
(6)本発明の電子機器は、上記本発明の有機EL装置を含む。 (6) The electronic apparatus of the present invention includes the organic EL device of the present invention.
以下、本発明に好適な実施形態について、図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
1.有機EL装置
図1は、本発明の一実施形態の有機EL装置100を模式的に示す斜視図である。図2は、本発明の一実施形態の有機EL装置100を模式的に示す平面図である。図2においては、有機EL装置100のうち第1電極(陽極)20および第2電極(陰極)22の平面構造のみを示している。なお、本実施の形態においては、第1電極が陽極20であり、第2電極が陰極22である場合について説明するが、本発明の有機EL装置において、第1電極が陰極であり、第2電極が陽極であってもよい。
1. Organic EL Device FIG. 1 is a perspective view schematically showing an
有機EL装置100は、第1および第2電極20,22と、有機層(第1および第2有機層)30,40とを含む。有機EL装置100は、R(赤)、G(緑)、またはB(青)の光を発光することができる。有機EL装置100は、図1に示すように、両電極間に電圧(例えば10V以下の電圧)を印加することにより、第1および第2基体10,12の両側から光を良好に取り出すことができる。
The
より具体的には、有機EL装置100は、図1に示すように、第1基体10と、第1電極20と、第1有機層30と、第2有機層40と、第2電極22と、第2基体12とを含むことができる。第1電極20は、第1基体10の上方に配置されている。第1有機層30は、第1基体10および第1電極20の上方に配置され、第1結晶性有機材料を含む。第2有機層40は、第1有機層30上に配置され、第2結晶性有機材料を含む。第2電極22は、第2有機層40の上方に配置されている。第2基体12は、第2電極22および第2有機層40の上方に配置されている。
More specifically, as shown in FIG. 1, the
1.1.有機層
有機層30,40は結晶成分を実質的に含まない。有機層30,40はいずれも、第1電極20と第2電極22との間に配置されている。第1有機層30は(第1)結晶性有機材料を含み、第2有機層40は(第2)結晶性有機材料を含む。有機層は、結晶性有機材料の融点より高い温度で加熱した後、冷却することにより得られる。より具体的には、有機層30,40は、前記第1結晶性有機材料の融点および前記第2結晶性有機材料の融点の両方より高い温度に加熱した後、冷却することにより得ることが好ましい。
1.1. Organic Layer The
なお、本実施の形態においては、有機EL装置100が有機層30,40を含む例について示したが、有機EL装置100が発光装置として機能するためには、発光機能を有する有機層(発光層)を少なくとも含んでいればよい。
In the present embodiment, an example in which the
有機EL装置100は、発光層に注入された正孔と電子とが結合することにより、光を発生する。本実施の形態の有機EL装置100においては、有機層30が正孔輸送/注入層であり、有機層40が発光機能を有する発光層であることができる。または、有機層30が発光機能を有する発光層であり、有機層40が電子輸送/注入層であることができる。あるいは、有機層30が正孔輸送/注入層であり、有機層40が発光層と電子輸送/注入層との積層体であってもよい。または、有機層30が正孔輸送/注入層と発光機能を有する発光層との積層体であり、有機層40が電子輸送/注入層であってもよい。有機層30(有機層40)が複数の層からなる場合、第1(第2)結晶性有機材料とは、結晶性有機材料を含むすべての層に含まれる結晶性有機材料をいう。
The
有機層30が正孔輸送/注入層を含む場合、正孔輸送/注入層に使用される正孔輸送材料としては、特に限定されないが、例えばPEDOT−PSS(ポリエチレンジオキシチオフェン−ポリスチレンスルフォン酸)や、トリフェニルアミン骨格を有する高分子材料が挙げられる。トリフェニルアミン骨格を有する高分子材料としては、以下に示される化合物1(商品名:「ADS254BE」,ADS社製)を採用することができる。
有機層30,40が発光層を含む場合、該発光層に使用可能な有機発光材料としては、例えば、ポリビニルカルバゾール、ポリフルオレン系高分子誘導体、(ポリ)パラフェニレンビニレン誘導体、ポリフェニレン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素、あるいは上記高分子材料に有機発光材料をドープしたものを使用することができる。ドープする物質としては、例えば、ルブレン、ペリレン、9,10−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン6、キナクリドン等が挙げられる。
When the
さらに、有機層30,40が発光層を含む場合、該発光層に使用可能な赤色発光材料としては、例えばMEH−PPV(poly Methoxy(2-ethyl)hexyloxy paraphenylene vinylene)を、青色発光材料としては、例えばポリジオクチルフルオレンを、緑色発光材料としては例えばPPV(poly(para-phenylene vinylene))を用いることができる。
Further, when the
有機層40が電子輸送/注入層を含む場合、電子輸送/注入層に使用される電子輸送/注入材料としては、例えば、アルカリ金属のハロゲン化物を用いることができる。
When the
これらの有機材料は、本発明の有機層に含まれる結晶性有機材料として用いることができ、融点より高い温度で加熱した後、自然放冷すると、少なくとも一部に結晶成分が生成する可能性があるものである。 These organic materials can be used as the crystalline organic material contained in the organic layer of the present invention. When heated at a temperature higher than the melting point and then allowed to cool naturally, there is a possibility that a crystalline component is generated at least partially. There is something.
1.2.第1基体および第2基体
有機EL装置100は、図1に示すように、第1および第2基体10,12の両方から光を取り出す構成を有することができる。この場合、第1および第2基体10,12としては、光透過性(透明または半透明)の基体が採用され、例えば、ガラス、石英、樹脂(プラスチック,プラスチックフィルム)等からなる基体が用いられる。
1.2. First Base and Second Base As shown in FIG. 1, the
なお、有機EL装置100が、第1および第2基体10,12のうちいずれか一方から光を取り出す構成を有する場合、第1および第2基体10,12のうち光を取り出さない側の基体は、光透過性の基体および光透過性を有さない基体のいずれも用いることができる。光透過性を有さない基体としては、例えば、アルミナ等のセラミックス、ステンレススチール等の金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したもの、あるいは熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などが挙げられる。
When the
1.3.第1および第2電極
本実施の形態の有機EL装置100においては、第1および第2電極20,22は、図2に示すように、互いに直交する方向に延びているが、第1および第2電極20,22の平面構造はこれに限定されるわけではない。
1.3. First and Second Electrodes In the
本実施の形態の有機EL装置100においては、第1電極20および第2電極22がいずれも、光透過性の導電材料(例えば、透明導電材料)によって形成されている。透明導電材料としては、ITO(Indium Tin Oxide)を用いることができるが、これ以外にも、例えば酸化インジウム・酸化亜鉛系アモルファス材料(Indium Zinc Oxide:IZO/アイ・ゼット・オー)(登録商標),(出光興産(株)製)等を用いることができる。なお、有機EL装置100の光の取り出し方向によっては、第1および第2電極20,22が光透過性を有さない導電材料で形成されていてもよい。
In the
2.有機EL装置の製造方法
次に、本実施形態にかかる有機EL装置100の製造方法の一例を、図3〜図9を参照して説明する。
2. Method for Manufacturing Organic EL Device Next, an example of a method for manufacturing the
2.1.第1の部分110の形成
まず、図3に示すように、公知の手法によって、第1基体10の全面を覆うように、第1電極20となる透明導電層(図示せず)を形成する。透明導電層は例えば、真空蒸着法やスパッタリング法により形成することができる。次に、この透明導電層をパターニングすることにより、光透過性の第1電極20を形成する。
2.1. Formation of
次いで、液相プロセスによって、第1基体10および第1電極20の上方に、第1結晶性有機材料を含む第1有機層30を形成する。より具体的には、第1結晶性有機材料を溶媒に溶解または分散させた液を調製し、この液を第1基体10および第1電極20の上に塗布することにより、第1有機層30を形成する。第1有機層30は上述したように、正孔輸送/注入層、発光層、または正孔輸送/注入層と発光層との積層体であることができる。
Next, the first
ここで、液相プロセスとは、成膜したい材料を溶解もしくは分散させることで液状体とし、この液状体を用いてスピンコート法、ディップ法、または液滴吐出法(インクジェット法)等により、薄膜を作製する方法である。スピンコート法やディップ法は全面塗布に適しているのに対し、液滴吐出法は任意の箇所に薄膜をパターニングすることができる。 Here, the liquid phase process is a liquid material obtained by dissolving or dispersing a material to be formed into a film, and using this liquid material, a thin film is formed by a spin coating method, a dip method, a droplet discharge method (inkjet method), or the like. It is a method of producing. While the spin coating method and the dip method are suitable for the entire surface coating, the droplet discharge method can pattern a thin film at an arbitrary position.
また、この液相プロセスは、以下に述べる第2有機層40の成膜工程においても同様に適用することができる。この液相プロセスによれば、数nm〜数百nmの薄膜を作製することができる。
Moreover, this liquid phase process can be similarly applied to the film forming step of the second
第1結晶性有機材料を溶解させる溶媒としては、キシレンを採用することが好ましい。なお、キシレン以外の溶媒を採用してもよく、例えば、シクロへキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等を用いることができる。なお、上記液相プロセスにより得られた第1有機層30から溶媒を除去することが好ましい。溶媒の除去は、減圧乾燥により行なうことがより好ましい。例えば、例えば図6に示されるチャンバ200内で溶媒の除去を行なうことができる。
As a solvent for dissolving the first crystalline organic material, xylene is preferably employed. A solvent other than xylene may be employed, and for example, cyclohexylbenzene, dihydrobenzofuran, trimethylbenzene, tetramethylbenzene and the like can be used. In addition, it is preferable to remove a solvent from the 1st
以上の工程により、第1基体10および第1電極20の上方に第1有機層30が配置された第1の部分110が得られる(図3参照)。
Through the above steps, the
2.2.第2の部分120の形成
次に、図4に示すように、公知の手法によって、第2基体12の全面を覆うように、第2電極22となる透明導電層(図示せず)を形成する。そして、この透明導電層をパターニングすることにより、光透過性の第2電極22を形成する。第2電極22は、上述の第1電極20の形成方法と同じ方法によって形成することができる。
2.2. Formation of
次いで、液相プロセスによって、第2基体12および第2電極22の上方に、第2結晶性有機材料を含む第2有機層40を形成する。より具体的には、第2結晶性有機材料を溶媒に溶解または分散させてから、この溶媒を第2基体12および第2電極22の上に塗布することにより、第2有機層40を形成する。第2有機層40は、上述の第1有機層30の形成方法と同じ方法によって形成することができる。第2有機層40は上述したように、発光層、発光層と電子輸送/注入層との積層体、または電子輸送/注入層であることができる。
Next, a second
また、この液相プロセスは、以下に述べる第2有機層40の成膜工程においても同様に適用することができる。この液相プロセスによれば、数nm〜数百nmの薄膜を作製することができる。
Moreover, this liquid phase process can be similarly applied to the film forming step of the second
第2結晶性有機材料を溶解させる溶媒としては、上述の第1結晶性有機材料を溶解させる溶媒として例示したものを用いることができる。なお、上述の第1有機層30の場合と同様に、上記液相プロセスにより得られた第2有機層40から溶媒を除去することが好ましい。溶媒の除去は、減圧乾燥により行なうことがより好ましい。
As the solvent for dissolving the second crystalline organic material, those exemplified as the solvent for dissolving the first crystalline organic material described above can be used. As in the case of the first
以上の工程により、第2基体12および第2電極22の上方に第2有機層40が配置された第2の部分120が得られる(図4参照)。
Through the above steps, the
2.3.第1の部分と第2の部分との接合
次いで、図5に示すように、第1の部分110と第2の部分120とを張り合わせる。より具体的には、第1の部分110の第1有機層30の表面30aと、第2の部分120の第2有機層40の表面40aとを接合させた状態で、第1有機層30に含まれる第1結晶性有機材料の融点および第2有機層40に含まれる第2結晶性有機材料の融点の両方より高い温度で第1および第2有機層30,40を加熱した後、冷却する。
2.3. Next, as shown in FIG. 5, the
ここで、図5に示すように、第1電極20と第2電極22とが互いに直交する方向に第1の部分110と第2の部分120とを張り合わせる。なお、第1の部分110と第2の部分120との接合体を持ち上げる治具としては、例えば図8(a)〜図8(d)に示されるアーム210を用いることができる。
Here, as shown in FIG. 5, the
有機層(第1および第2有機層)30,40の加熱は、例えば図7に示されるチャンバ200内で行なうことができる。また、有機層(第1および第2有機層)30,40の冷却は、例えば図9に示されるチャンバ220内で行なうことができる。
The organic layers (first and second organic layers) 30 and 40 can be heated in, for example, the
有機層(第1および第2有機層30,40)の加熱処理は、不活性ガス雰囲気下または減圧下で行なうことが好ましい。不活性ガスとしては、特に限定されないが、例えば、アルゴンガス、窒素ガス、ヘリウムガスが挙げられる。また、減圧条件は、例えば約5Torr以下であることが好ましく、0.1Torr以下であることがより好ましい。
The heat treatment of the organic layers (first and second
加熱温度は、第1結晶性有機材料の融点および第2結晶性有機材料の融点より高く、第1結晶性有機材料の分解温度または昇華温度より低く、かつ、第2結晶化有機材料の分解温度または昇華温度より低いことが望ましい。また、加熱時間は、前記第1および第2結晶性有機材料の種類や加熱温度に応じて適宜決定することができるが、30分間以上であることが好ましく、通常1〜3時間である。 The heating temperature is higher than the melting points of the first crystalline organic material and the second crystalline organic material, lower than the decomposition temperature or sublimation temperature of the first crystalline organic material, and the decomposition temperature of the second crystallized organic material. Or it is desirable that it is lower than sublimation temperature. The heating time can be appropriately determined according to the types of the first and second crystalline organic materials and the heating temperature, but is preferably 30 minutes or longer, and is usually 1 to 3 hours.
冷却温度は0℃以下であることが好ましく、−10℃以下であることがより好ましい。冷却温度が20℃を超えると、微結晶が析出しやすくなることがある。 The cooling temperature is preferably 0 ° C. or lower, and more preferably −10 ° C. or lower. When the cooling temperature exceeds 20 ° C., microcrystals may easily precipitate.
有機層(第1および第2有機層30,40)の冷却は、冷却媒を用いて行なうことができる。冷却媒としては特に限定されないが、例えば、後述する冷却速度を達成できるように、冷却された不活性ガス(窒素ガス、アルゴンガス、ヘリウムガス)、または液体窒素を用いることができる。冷却媒として、冷却された不活性ガスまたは液体窒素を用いることにより、50℃/秒以上の冷却速度を達成することができる。冷却速度が50℃/秒未満であると、微結晶が析出しやすくなることがある。また、一般に有機層と反応しない点からも、冷却された不活性ガスまたは液体窒素を使用することが好ましい。特に、液体窒素を用いることにより、約−196℃まで有機層を冷却することができる。液体窒素を使用する場合、例えば、液体窒素中に有機層30,40を浸してもよいし、あるいは液体窒素を有機層30,40に噴霧してもよい。
The organic layers (first and second
例えば、図9に示すように、加熱処理後、チャンバ220内を窒素で充填した後、第1の部分110と第2の部分120との接合体に対して、冷却装置(液体窒素ボンベ)204の噴霧口204aから冷却媒(液体窒素)を噴霧することにより、第1および第2有機層30,40を冷却することができる。
For example, as shown in FIG. 9, after the heat treatment, the inside of the
また、図9に示すように、第1の部分110と第2の部分120との接合体を冷却装置203上に配置することができる。この冷却装置203は冷却媒を含む。この冷却装置203上に前記接合体を配置することにより、有機層30,40を冷却することができる。
Further, as shown in FIG. 9, a joined body of the
また、有機層30,40の冷却速度が50℃/秒にて前記冷却を行なうことが好ましい。冷却速度が50℃/秒未満であると、有機層30,40中に結晶成分が生成することがある。また、冷却時間は、前記第1および第2結晶性有機材料の種類や冷却速度に応じて適宜決定することができるが、5分間以上であることが好ましく、通常10〜30分間である。
The cooling is preferably performed at a cooling rate of the
次いで、得られた接合体に配線を接続し、樹脂封止する(図示せず)。 Next, wiring is connected to the obtained bonded body and resin-sealed (not shown).
以上の工程によって、有機層30の表面30aと有機層40の表面40aとを張り合わせることにより、有機EL装置100が得られる。
The
3.有機EL装置およびその製造方法の作用効果
本実施の形態の有機EL装置100によれば、結晶成分を実質的に含まない有機層(第1および第2有機層30,40)を含むことにより、輝度むらがなく、かつ発光安定性に優れている。
3. According to the
本実施の形態の有機EL装置100の製造方法によれば、結晶性有機材料の融点よりも高い温度で有機層を加熱した後、冷却することにより(より具体的には、前記第1結晶性有機材料の融点および前記第2結晶性有機材料の融点の両方より高い温度で第1および第2有機層30,40を加熱した後、冷却することにより)、結晶成分の生成を防止することができ、非晶質成分を形成することができる。これにより、輝度むらがなく、かつ発光安定性に優れた有機EL装置を簡便に製造することができる。
According to the method of manufacturing the
また、結晶性有機材料の融点よりも高い温度で有機層を加熱することにより、有機層(第1および第2有機層30,40)の平坦化を行なうことができる。さらに、本実施の形態の製造方法において、第1有機層30と第2有機層40とを接合する場合、前記第1結晶性有機材料の融点および前記第2結晶性有機材料の融点の両方より高い温度で第1および第2有機層30,40を加熱することにより、第1有機層30と第2有機層40との密着性を高めることができる。
Further, the organic layer (first and second
ところで、一般に、有機EL装置の製造において、有機層を形成した後、スパッタリング法や真空蒸着法等によって有機層上に電極を形成する場合、スパッタ粒子やプラズマが有機層にダメージを与えることがある。この有機層に加わるダメージにより、発光効率の低下や駆動電圧の上昇等、素子特性の劣化が生じることがある。また、スパッタ粒子やプラズマが有機層の表面に接触することにより、有機層の表面に微結晶が生成することがある。有機層におけるこのような微結晶の生成は、輝度むらや発光安定性の低下の要因となる。 By the way, generally in the manufacture of an organic EL device, when an electrode is formed on the organic layer by sputtering or vacuum deposition after forming the organic layer, sputtered particles or plasma may damage the organic layer. . Due to the damage applied to the organic layer, the device characteristics may be deteriorated such as a decrease in light emission efficiency and an increase in driving voltage. Further, when sputtered particles or plasma come into contact with the surface of the organic layer, microcrystals may be generated on the surface of the organic layer. Formation of such microcrystals in the organic layer becomes a cause of luminance unevenness and reduction in light emission stability.
これに対して、本実施の形態の有機EL装置100の製造方法によれば、電極(第1および第2電極20,22)を形成した後、有機層(第1および第2有機層30,40)を形成することにより、電極パターニング時に有機層にダメージが加わることがない。また、有機層の形成前に電極が形成されるため、スパッタ粒子やプラズマが有機層の表面に接触することがないため、有機層に微結晶が生成することがない。これにより、発光効率に優れ、低消費電力であり、かつ、輝度むらがなく発光安定性に優れた有機EL装置を製造することができる。
On the other hand, according to the manufacturing method of the
4.電子機器
次に、本発明の電子機器の例を説明する。本発明の電子機器は、上述した有機EL装置1を表示部として有するものであり、具体的には、例えば図10に示すような携帯電話が挙げられる。
4). Electronic Device Next, an example of the electronic device of the present invention will be described. The electronic device of the present invention has the above-described
図10において、符号1000は携帯電話本体を示し、符号1001は本発明の有機EL装置100を用いた表示部を示している。図10に示した携帯電話は、本発明の有機EL装置100からなる表示部1001を備えているので、表示特性に優れたものとなる。
In FIG. 10,
なお、本実施形態の電子機器としては、このような携帯電話以外にも、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置や、腕時計型電子機器、フラットパネルディスプレイ(例えばテレビ)などにも適用可能である。 In addition to such a mobile phone, the electronic device of the present embodiment can be applied to a portable information processing device such as a word processor or a personal computer, a wristwatch type electronic device, a flat panel display (for example, a television) or the like. is there.
5.実施例
以下、本発明の一実施例について説明するが、本発明は以下の実施例に限定されない。本実施例においては、有機層の加熱処理および冷却処理の有無によって、有機層中に結晶成分が生じるかどうかについて検証を行なった。
5. Examples Hereinafter, one example of the present invention will be described, but the present invention is not limited to the following example. In this example, whether or not a crystal component is generated in the organic layer was verified depending on whether or not the organic layer was heated and cooled.
5.1.TMDSC
本実施例においては、TMDSC(温度変調示差走査熱量測定計)を用いて、有機層中の結晶成分の有無の確認を行なった。
5.1. TMDSC
In this example, the presence or absence of a crystal component in the organic layer was confirmed using a TMDSC (temperature modulation differential scanning calorimeter).
TMDSCは、直線的な昇温を行なうDSC(示差走査熱量測定計)とは異なり、加熱および冷却を短時間で周期的に繰り返しながら昇温していく測定方法を採用した測定装置である。TMDSCによれば、下記式(1)で表されるように、「リバーシング ヒート フロー」(昇温速度依存性成分)と、「ノン リバーシング ヒート フロー」(温度依存性成分)との2つの成分を別々に検出することができる。 Unlike a DSC (differential scanning calorimeter) that performs linear temperature rise, TMDSC is a measuring device that employs a measurement method in which the temperature is raised while repeating heating and cooling periodically in a short time. According to TMDSC, as represented by the following formula (1), there are two types of “reversing heat flow” (temperature increase rate-dependent component) and “non-reversing heat flow” (temperature-dependent component). The components can be detected separately.
(式1)
式(1)において、「dH/dt」は総熱量(トータル ヒート フロー)を示し、「Cp」はサンプルの比熱、「dT/dt」はサンプルの昇温速度、「F(T,t)」は温度および時間依存性のカイネティックプロセスにおける熱量を示す。
(Formula 1)
In equation (1), “dH / dt” indicates the total heat (total heat flow), “Cp” indicates the specific heat of the sample, “dT / dt” indicates the rate of temperature rise of the sample, and “F (T, t)” Indicates the amount of heat in a temperature and time dependent kinetic process.
すなわち、「リバーシング ヒート フロー」(昇温速度依存性成分)は、式(1)において「Cp*dT/dt」で表される成分であり、「ノン リバーシング ヒート フロー」(温度依存性成分)は、式(1)において「F(T,t)」で表される成分である。また、昇温速度依存性成分は、温度を下げると元の性質に戻る成分であり、温度依存性成分は、温度を下げると元の性質に戻らない成分である。 That is, the “reversing heat flow” (temperature increase rate dependent component) is a component represented by “Cp * dT / dt” in the equation (1), and the “non-reversing heat flow” (temperature dependent component) ) Is a component represented by “F (T, t)” in the formula (1). Further, the temperature rise rate dependent component is a component that returns to its original properties when the temperature is lowered, and the temperature dependent component is a component that does not return to its original properties when the temperature is lowered.
TMDSCを用いることにより、昇温速度依存性成分中に含まれる成分(例えば、ガラス転移温度(Tg)、融点(Tm))と、温度依存性成分中に含まれる成分(例えば、結晶化点)とをそれぞれ明確に検出することができる。例えば、図12に示す結晶性有機材料(F8)のTMDSC測定結果において、結晶化点は、結晶化ピークC1の頂点であり、融点は、融解ピークM2の頂点である。また、融解ピークM1は微結晶成分(成膜時に生成した微結晶成分)の融解ピークであり、融解ピークM2は測定中に生成した結晶成分の融解ピークである。 By using TMDSC, components (eg, glass transition temperature (Tg), melting point (Tm)) contained in the temperature rising rate-dependent component and components (eg, crystallization point) contained in the temperature-dependent component. Can be detected clearly. For example, in the TMDSC measurement result of the crystalline organic material (F8) shown in FIG. 12, the crystallization point is the top of the crystallization peak C1, and the melting point is the top of the melting peak M2. The melting peak M1 is a melting peak of a microcrystalline component (microcrystalline component generated during film formation), and the melting peak M2 is a melting peak of a crystalline component generated during measurement.
5.2.実施例1および比較例1,2
本実施例においては、平均昇温速度5℃/分、モデュレイション周期(加熱と冷却との周期)60秒、モデュレイション振幅(最大温度と最低温度との差)±0.796℃にて、TMDSCを用いた測定を行なった。TMDSCは、商品名「Q1000」(ティー・エイ・インスツルメント・ジャパン(株)製)を使用した。
5.2. Example 1 and Comparative Examples 1 and 2
In this example, the average heating rate is 5 ° C./min, the modulation cycle (cycle between heating and cooling) is 60 seconds, and the modulation amplitude (difference between the maximum temperature and the minimum temperature) is ± 0.796 ° C. Then, measurement using TMDSC was performed. TMDSC used the trade name “Q1000” (manufactured by TA Instruments Japan Co., Ltd.).
F8(poly(9,9-dioctylfluorenyl-2,7-diyl),アメリカン ダイ ソース インク(American Dye Source, Inc.)製)を結晶性有機材料として用いて、有機層(発光層)を作製し、この有機層を測定対象とした。 Using F8 (poly (9,9-dioctylfluorenyl-2,7-diyl), manufactured by American Dye Source, Inc.) as a crystalline organic material, an organic layer (light emitting layer) is prepared. This organic layer was used as a measurement target.
まず、F8をキシレンに溶解させて、F8の濃度が30g/Lになるように調製して、F8のキシレン溶液を得た。次に、このキシレン溶液2mLをパスツールピペットで吸い取り、ガラス基板上に滴下した。ここで、溶媒(キシレン)の急激な揮発により気化熱が奪われ、有機層中のポリマー構造に変化が生じるのを避けるため、ガラス基板をシャーレ中に置き、蓋をして冷暗所にて大気中(25℃)で乾燥させた。次に、有機層中に残存する溶媒を完全に除去するため、約5Torrの減圧下で減圧乾燥機を用いた乾燥を行ない、「サンプルA」(比較例1)を得た。 First, F8 was dissolved in xylene to prepare an F8 concentration of 30 g / L to obtain a F8 xylene solution. Next, 2 mL of this xylene solution was sucked with a Pasteur pipette and dropped onto a glass substrate. Here, in order to avoid the loss of heat of vaporization due to the rapid volatilization of the solvent (xylene) and the change in the polymer structure in the organic layer, the glass substrate is placed in a petri dish and covered with a lid in the air in a cool and dark place. Dry at (25 ° C.). Next, in order to completely remove the solvent remaining in the organic layer, drying was performed using a vacuum dryer under a reduced pressure of about 5 Torr to obtain “Sample A” (Comparative Example 1).
次に、サンプルAを加熱した後、冷却を行なうことにより、「サンプルB」を得た。より具体的には、サンプルAを図9に示される装置にて、約5Torrの減圧下で180℃にて2時間加熱を行なった後、直ちに発泡スチロール製容器に溜めた液体窒素中に入れることによる冷却を行ない、「サンプルB」(実施例1)を得た。 Next, the sample A was heated and then cooled to obtain “sample B”. More specifically, after the sample A was heated for 2 hours at 180 ° C. under a reduced pressure of about 5 Torr with the apparatus shown in FIG. 9, it was immediately put into liquid nitrogen stored in a polystyrene foam container. Cooling was performed to obtain “Sample B” (Example 1).
一方、サンプルBを得た方法と同じ条件にて加熱を行なった後、約5Torrの減圧下で室温まで自然放冷することにより、「サンプルC」(比較例2)を得た。 On the other hand, after heating under the same conditions as the method for obtaining Sample B, the sample was naturally allowed to cool to room temperature under a reduced pressure of about 5 Torr to obtain “Sample C” (Comparative Example 2).
上記工程により得られたサンプルA〜Cについて、TMDSC測定を行なった。その結果をそれぞれ図11〜図13に示す。また、参考例として、溶融状態におけるF8のTMDSC測定結果を図14に示す。図11〜図14においてはいずれも、「A」は左側の目盛りで表される「リバーシング ヒート フロー」(W/g)(昇温速度依存性成分)を示し、「B」は右側の目盛りで表される「ノン リバーシング ヒート フロー」(W/g)(温度依存性成分)を示す。図11〜図13に示される融解ピークM2から、F8の融点は約160℃であることが推測された。なお、図14から、F8の結晶化温度は120℃付近であることが推測された。 TMDSC measurement was performed on samples A to C obtained by the above process. The results are shown in FIGS. Further, as a reference example, FIG. 14 shows the TMDSC measurement result of F8 in the molten state. In each of FIGS. 11 to 14, “A” indicates “reversing heat flow” (W / g) (temperature increase rate-dependent component) represented by the left scale, and “B” indicates the right scale. “Non-reversing heat flow” (W / g) (temperature-dependent component) represented by From the melting peak M2 shown in FIGS. 11 to 13, it was estimated that the melting point of F8 was about 160 ° C. In addition, it was estimated from FIG. 14 that the crystallization temperature of F8 is around 120 ° C.
図11は、「サンプルB」(実施例1)のTMDSC測定結果を示す。図11においては、M1で示される融解ピークが表れていない。すなわち、図11においては、「MN」で示される領域にピークが存在しない。これにより、加熱後に冷却することにより得られた、F8からなる有機層には微結晶が存在しないことが確認された。 FIG. 11 shows the TMDSC measurement result of “Sample B” (Example 1). In FIG. 11, the melting peak indicated by M1 does not appear. That is, in FIG. 11, there is no peak in the region indicated by “MN”. This confirmed that there was no microcrystal in the organic layer made of F8 obtained by cooling after heating.
一方、図12は、「サンプルA」(比較例1)のTMDSC測定結果を示す。図12においては、融点を示す融解ピークM2のほかに、融解ピークM1が表れている。この融解ピークM1の存在は、微結晶成分が融解していることを示している。これにより、大気中で乾燥させて得られたF8からなる有機層には微結晶が存在することが確認された。 On the other hand, FIG. 12 shows the TMDSC measurement result of “Sample A” (Comparative Example 1). In FIG. 12, in addition to the melting peak M2 indicating the melting point, a melting peak M1 appears. The presence of the melting peak M1 indicates that the microcrystalline component is melted. Thereby, it was confirmed that microcrystals exist in the organic layer made of F8 obtained by drying in the air.
また、図13は、「サンプルC」(比較例2)のTMDSC測定結果を示す。図13においては、融点を示す融解ピークM2が表れ、M2以外の融解ピークが表れていないうえに、結晶化ピークC1が表れていない。すなわち、「リバーシング ヒート フロー」(昇温速度依存性成分)および「ノン リバーシング ヒート フロー」(温度依存性成分)の両方において、150℃付近までピークが現れていない。このことから、加熱後に自然放冷することにより得られた、F8からなる有機層は、ほぼ完全に結晶化していることが確認された。 FIG. 13 shows the TMDSC measurement result of “Sample C” (Comparative Example 2). In FIG. 13, a melting peak M2 indicating the melting point appears, no melting peak other than M2 appears, and no crystallization peak C1 appears. That is, no peak appears up to around 150 ° C. in both “reversing heat flow” (temperature rising rate dependent component) and “non-reversing heat flow” (temperature dependent component). From this, it was confirmed that the organic layer made of F8 obtained by naturally cooling after heating was almost completely crystallized.
以上により、実施例1によれば、結晶性有機材料を含む有機層を前記結晶性有機材料の融点より高い温度で加熱した後冷却することにより、微結晶の生成を防止することができることが確認された。 As described above, according to Example 1, it is confirmed that the formation of microcrystals can be prevented by heating and cooling the organic layer containing the crystalline organic material at a temperature higher than the melting point of the crystalline organic material. It was done.
5.3.実施例2
実施例1で使用したF8(第2結晶性有機材料)から第2有機層40を形成し、ADS254BE(第1結晶性有機材料)から第1有機層30を形成して、図1および図2に示される有機EL装置100を作製した。
5.3. Example 2
The second
まず、F8の濃度が10g/Lとなるように、F8のキシレン溶液を調製した。 First, the xylene solution of F8 was prepared so that the density | concentration of F8 might be 10 g / L.
次に、ガラス基板からなる第1基体10上に、ITOからなる第1電極(陽極)20を形成し、この第1基体10を純水洗浄した後、UV照射を行なった。次いで、第1結晶性有機材料(正孔輸送/注入材料)である。ADS254BE(Poly[N,N'-bis(4-butylphenyl)-N,N'-bis(phenyl)-benzidine])を10g/Lとなるようにキシレン溶液を調製し、パスツールピペットで採取して、スピンコート法により約2000rpmで第1基体10上に前記材料を塗布することにより、ADS254BE(第1結晶性有機材料)を含む第1有機層30を形成した。本実施例において、第1有機層30は正孔輸送/注入層として機能する。これにより、第1基体10および第1電極20上に形成された第1有機層30を含む第1の部分110を形成した(図3参照)。
Next, a first electrode (anode) 20 made of ITO was formed on the
次いで、F8のキシレン溶液を同様の方法にてスピンコートにより塗布し、F8(第2結晶性有機材料)を含む第2有機層40を形成した。本実施例において、第2有機層40は発光層として機能する。これにより、第2基体12および第2電極22上に形成された第2有機層40を含む第2の部分120を形成した(図4参照)。
Next, a xylene solution of F8 was applied by spin coating in the same manner to form a second
さらに、図6に示すチャンバ200内で、第1の部分110および第2の部分120を減圧下で、第1結晶性有機材料の融点および第2結晶性有機材料の融点の両方より高い温度で加熱した。ここで、F8の融点は約160℃(図14のピークM2参照)であり、ADS254BEの融点および熱分解温度はそれぞれ170℃および約200℃であることから、第1の部分110および第2の部分120を180℃(F8の融点およびADS254BEの融点の両方より高い温度)にて30分間加熱した。
Further, in the
続いて、図7に示すように、窒素パージをしながらチャンバ200を大気開放し、第1電極20と第2電極22とが互いに直交するような方向(図2参照)に、第1の部分110と第2の部分120とを重ね合わせた。なお、大気開放している間に第1および第2有機層30,40の温度がF8およびADS254BEの結晶化温度以下にならないようにチャンバ200内の温度を調整した。より具体的には、図14のTMDSC測定結果より、F8の結晶化温度は約120℃であり、約145℃より温度が下がるとF8の結晶化が開始すると予測されるため、第2有機層40の温度が150℃以下にならないようにチャンバ200内の温度を調整した。なお、第1の部分110および第2の部分120を加熱し、例えば液体窒素等に第1の部分110および第2の部分120を投入して冷却した後、第1の部分110と第2の部分120とを接合して、F8の融点およびADS254BEの融点の両方より高い温度に再度加熱を行なうことにより、第1有機層30と第2有機層40とを張り合わせてもよい。
Subsequently, as shown in FIG. 7, the
次いで、チャンバ200内を再び減圧した後、第1有機層30と第2有機層40とを接合させた状態で、第1の部分110と第2の部分120との接合体を180℃(F8の融点およびADS254BEの融点の両方より高い温度)にて30分間加熱した。その後、窒素パージしながらチャンバ200を大気開放した後、図9に示すように、第1の部分110と第2の部分120との接合体を液体窒素にて5分間以上冷却した。得られた接合体に配線(図示せず)を接続し、樹脂(図示せず)で封止することにより、本実施例の有機EL装置100を得た。
Next, after reducing the pressure in the
上記のように、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できるであろう。したがって、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。 As described above, the embodiments of the present invention have been described in detail. However, those skilled in the art can easily understand that many modifications can be made without departing from the novel matters and effects of the present invention. . Accordingly, all such modifications are intended to be included in the scope of the present invention.
例えば、本実施の形態においては、本発明の有機層の製造方法について、有機EL装置の有機層を製造する場合を例にとり説明したが、有機半導体装置に使用される有機半導体層についても本発明の有機層の製造方法を適用することができる。 For example, in the present embodiment, the method for producing an organic layer of the present invention has been described by taking the case of producing an organic layer of an organic EL device as an example, but the present invention also applies to an organic semiconductor layer used in an organic semiconductor device. The organic layer manufacturing method can be applied.
10,12 基体、 20 第1電極、 22 第2電極、 30 第1有機層、 30a 第1有機層の表面、 40 第2有機層、 40a 第2有機層の表面、 100 有機EL装置、 110 第1基体、 120 第2基体、 200,220 チャンバ、 201,202 ポンプ、 203,204 冷却装置、 204a 噴霧口、 210 アーム、 1000 携帯電話本体、 1001 表示部、 C1 結晶化ピーク、 M1,M2 融解ピーク、 MN 融解ピークの不存在、 RA 分子の再配列ピーク 10, 12 substrate, 20 first electrode, 22 second electrode, 30 first organic layer, 30a surface of first organic layer, 40 second organic layer, 40a surface of second organic layer, 100 organic EL device, 110 first 1 substrate, 120 2nd substrate, 200,220 chamber, 201,202 pump, 203,204 cooling device, 204a spray port, 210 arm, 1000 mobile phone body, 1001 display unit, C1 crystallization peak, M1, M2 melting peak Absence of MN melting peak, rearrangement peak of RA molecule
Claims (10)
前記有機層の冷却速度が50℃/秒以上である、有機EL装置の製造方法。 In claim 1,
The manufacturing method of the organic EL apparatus whose cooling rate of the said organic layer is 50 degrees C / sec or more.
前記有機層の加熱を不活性ガス雰囲気下または減圧下で行なう、有機EL装置の製造方法。 In claim 1 or 2,
A method for manufacturing an organic EL device, wherein the organic layer is heated in an inert gas atmosphere or under reduced pressure.
前記有機層は、発光層、正孔輸送/注入層、および電子輸送/注入層のうち少なくとも1つである、有機EL装置の製造方法。 In any one of Claims 1 thru | or 3,
The method for manufacturing an organic EL device, wherein the organic layer is at least one of a light emitting layer, a hole transport / injection layer, and an electron transport / injection layer.
第2基体の上方に第2電極を形成した後、前記第2基体および前記第2電極の上方に、第2結晶性有機材料を含む第2有機層を形成することにより、第2の部分を形成すること、および
前記第1有機層および前記第2有機層を介して前記第1の部分と前記第2の部分とを接合させた状態で、前記第1結晶性有機材料の融点および前記第2結晶性有機材料の融点の両方より高い温度で前記第1および第2有機層を加熱した後、冷却すること、
を含む、有機EL装置の製造方法。 After forming the first electrode above the first substrate, a first organic layer containing a first crystalline organic material is formed above the first substrate and the first electrode, thereby forming the first portion. Forming,
After forming the second electrode above the second substrate, a second organic layer containing a second crystalline organic material is formed above the second substrate and the second electrode, whereby the second portion is formed. Forming the first crystalline organic material and the melting point of the first crystalline organic material and the second organic layer in a state where the first portion and the second portion are joined via the first organic layer and the second organic layer. Heating the first and second organic layers at a temperature higher than both of the melting points of the two crystalline organic materials and then cooling;
A method for manufacturing an organic EL device.
前記第1電極と前記第2電極との間に配置され、結晶性有機材料を含む有機層と、
を含み、
前記有機層は結晶成分を実質的に含まない、有機EL装置。 First and second electrodes;
An organic layer disposed between the first electrode and the second electrode and including a crystalline organic material;
Including
An organic EL device in which the organic layer does not substantially contain a crystal component.
前記第1電極と前記第2電極との間に配置され、結晶性有機材料を含む有機層と、
を含み、
前記有機層は、前記結晶性有機材料の融点より高い温度で加熱した後、冷却することにより得られた、有機EL装置。 First and second electrodes;
An organic layer disposed between the first electrode and the second electrode and including a crystalline organic material;
Including
The organic layer is an organic EL device obtained by heating the organic layer at a temperature higher than the melting point of the crystalline organic material and then cooling.
前記第1基体の上方に配置された第1電極と、
前記第1基体および前記第1電極の上方に配置され、第1結晶性有機材料を含む第1有機層と、
前記第1有機層上に配置された第2有機層と、
前記第2有機層の上方に配置された第2電極と、
前記第2電極および前記第2有機層の上方に配置され、第2結晶性有機材料を含む第2基体と、
を含み、
前記第1および第2有機層は結晶成分を実質的に含まない、有機EL装置。 A first substrate;
A first electrode disposed above the first substrate;
A first organic layer disposed above the first substrate and the first electrode and comprising a first crystalline organic material;
A second organic layer disposed on the first organic layer;
A second electrode disposed above the second organic layer;
A second substrate disposed above the second electrode and the second organic layer and comprising a second crystalline organic material;
Including
The first and second organic layers are organic EL devices substantially free of crystal components.
前記第1および第2有機層は、前記第1結晶性有機材料の融点および前記第2結晶性有機材料の融点の両方より高い温度に加熱した後、冷却することにより得られた、有機EL装置。 In claim 8,
The organic EL device obtained by heating the first and second organic layers to a temperature higher than both the melting point of the first crystalline organic material and the melting point of the second crystalline organic material, and then cooling the organic EL device. .
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005091758A JP2006278005A (en) | 2005-03-28 | 2005-03-28 | Organic el device, its manufacturing method and electronic apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2006278005A true JP2006278005A (en) | 2006-10-12 |
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ID=37212576
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005091758A Withdrawn JP2006278005A (en) | 2005-03-28 | 2005-03-28 | Organic el device, its manufacturing method and electronic apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2006278005A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011114886A1 (en) * | 2010-03-15 | 2011-09-22 | 富士フイルム株式会社 | Method for producing organic electroluminescence element |
-
2005
- 2005-03-28 JP JP2005091758A patent/JP2006278005A/en not_active Withdrawn
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011114886A1 (en) * | 2010-03-15 | 2011-09-22 | 富士フイルム株式会社 | Method for producing organic electroluminescence element |
JP2011192524A (en) * | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Fujifilm Corp | Method for producing organic electroluminescence element |
CN102792777A (en) * | 2010-03-15 | 2012-11-21 | 富士胶片株式会社 | Method for producing organic electroluminescence element |
US9273000B2 (en) | 2010-03-15 | 2016-03-01 | UDC Ireland | Method for producing organic electroluminescence element |
KR101786059B1 (en) * | 2010-03-15 | 2017-10-16 | 유디씨 아일랜드 리미티드 | Method for producing organic electroluminescence element |
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