JP2006261606A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 原板のパターンを基板に投影する投影光学系と、
   前記基板を支持するステージと、
   前記投影光学系と前記ステージとの間に配置された光透過性部材と、
   前記投影光学系と前記光透過性部材との間の第１空間に純水よりも屈折率が高い第１液体を供給する第１供給器と、
   前記光透過性部材と前記基板との間の第２空間に純水よりも屈折率が高く、かつ前記第１液体とは異なる第２液体を供給する第２供給器と、
   を備えることを特徴とする露光装置。
2. 前記第１液体として無機物系の液体を使用し、前記第２液体として有機物系の液体を使用することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
3. 前記第１液体として、前記第２液体よりも前記投影光学系の端面を構成する光学部品を汚染しにくい液体を使用し、前記第２液体として、前記第１液体よりも前記基板を腐食させにくい液体を使用することを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
4. 前記第１空間に供給された第１液体を回収する第１回収器と、
   前記第２空間に供給された第２液体を回収する第２回収器と、
   を更に備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の露光装置。
5. 前記第１空間を外部空間から仕切る仕切り部材と、
   前記第２空間を外部空間から仕切るエアカーテンを形成する機構と、
   を更に備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の露光装置。
6. 前記第１空間を外部空間から仕切るエアカーテンを形成する機構と、
   前記第２空間を外部空間から仕切る仕切り部材と、
   を更に備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の露光装置。
7. ステージに載置された基板に対して投影光学系を介して原板のパターンを投影し転写する露光方法であって、
   前記投影光学系と前記ステージとの間に配置された光透過性部材と前記投影光学系との間の第１空間に純水よりも屈折率が高い第１液体を満たすとともに、前記光透過性部材と前記基板との間の第２空間に純水よりも屈折率が高く、かつ前記第１液体とは異なる第２液体を満たす工程と、
   前記原板のパターンを前記投影光学系、前記第１液体、前記光透過性部材及び前記第２液体を介して前記基板に投影し転写する工程と、
   を含むことを特徴とする露光方法。