JP2006255559A - クリーンブース - Google Patents
クリーンブース Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006255559A JP2006255559A JP2005075135A JP2005075135A JP2006255559A JP 2006255559 A JP2006255559 A JP 2006255559A JP 2005075135 A JP2005075135 A JP 2005075135A JP 2005075135 A JP2005075135 A JP 2005075135A JP 2006255559 A JP2006255559 A JP 2006255559A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean booth
- coating
- sheet
- clean
- door
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 123
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 117
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 69
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 31
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 abstract description 30
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 229910000963 austenitic stainless steel Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 6
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 6
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000007754 air knife coating Methods 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 229910001105 martensitic stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 2
- FIHBHSQYSYVZQE-UHFFFAOYSA-N 6-prop-2-enoyloxyhexyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCCCCCOC(=O)C=C FIHBHSQYSYVZQE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000272161 Charadriiformes Species 0.000 description 1
- 241000238633 Odonata Species 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane triacrylate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CC)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000006063 cullet Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000004332 deodorization Methods 0.000 description 1
- BQYJATMQXGBDHF-UHFFFAOYSA-N difenoconazole Chemical compound O1C(C)COC1(C=1C(=CC(OC=2C=CC(Cl)=CC=2)=CC=1)Cl)CN1N=CN=C1 BQYJATMQXGBDHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012769 display material Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N ethyl carbamate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.CCOC(N)=O UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004078 waterproofing Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Details Or Accessories Of Spraying Plant Or Apparatus (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
【解決手段】実質的に水平方向に走行するシート状物4を連続的に通過させるための入口2および出口3を有し、走行するシート状物に塗工を行う塗工装置5を内部に有する非密閉型のクリーンブース1の壁面に配された扉8と、塗工装置を扉近傍まで移動させる移動手段6とを有する。
【選択図】図1
Description
実質的に水平方向に走行するシート状物を連続的に通過させるための入口および出口を有し、走行するシート状物に塗工を行う塗工装置を内部に有する非密閉型のクリーンブースにおいて、
壁面に配された扉と、該塗工装置を該扉近傍まで移動させる移動手段とを有することを特徴とするクリーンブースが提供される。
塗工位置の上方に凸部を有し、
前記扉が該凸部に設けられ、
前記移動手段が塗工装置を昇降させる昇降手段を有する上記クリーンブースが好ましい。
図8〜10に本実施例で使用したクリーンブースを図示する。図8は平面図、図9は図8中の矢印A方向から見たシート状物走行方向の垂直断面図、図10は図8中の矢印B方向から見た側面図である。ただし、側面板1cは後述する比較例1で用いるために設置したもので、本実施例では終始閉じたままにした。側面板1cの大きさは、設置時の水平方向の幅q、鉛直方向の高さrで示され、以下の通りである。
実施例1と同様のクリーンブースを使用した。ただし、クリーンブースの側面1bのエアナイフ横の側面板1cは、ボルトにて着脱可能な構造とし、材質はオーステナイト系ステンレス鋼板とした。
1a クリーンブース凸部
1b クリーンブース側面
1c エアナイフ横のクリーンブース側面板
2 クリーンブースを通過するシート状物の入口
3 クリーンブースを通過するシート状物の出口
4 シート状物
5 塗工装置
6 昇降手段
7 回転手段
8 扉
9 高性能フィルタ
10 通風可能板
11 底部空間
12 排気口
13 塗工液供給口
14 エンドレスベルトを備えた装置
15 UV照射装置
16 プーリ
Claims (5)
- 実質的に水平方向に走行するシート状物を連続的に通過させるための入口および出口を有し、走行するシート状物に塗工を行う塗工装置を内部に有する非密閉型のクリーンブースにおいて、
壁面に配された扉と、該塗工装置を該扉近傍まで移動させる移動手段とを有することを特徴とするクリーンブース。 - 前記塗工装置がシート状物が走行する位置の上方に設けられ、
塗工位置の上方に凸部を有し、
前記扉が該凸部に設けられ、
前記移動手段が塗工装置を昇降させる昇降手段を有する
請求項1記載のクリーンブース。 - 前記凸部の上部からクリーンエアーを供給するクリーンエアー供給手段を有する請求項2記載のクリーンブース。
- シート状物が走行する位置より下方に排気口を有する請求項3記載のクリーンブース。
- 前記塗工装置がエアナイフを有する請求項1〜4のいずれか一項記載のクリーンブース。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005075135A JP4699058B2 (ja) | 2005-03-16 | 2005-03-16 | クリーンブースおよび塗工装置のメンテナンス方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005075135A JP4699058B2 (ja) | 2005-03-16 | 2005-03-16 | クリーンブースおよび塗工装置のメンテナンス方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006255559A true JP2006255559A (ja) | 2006-09-28 |
JP4699058B2 JP4699058B2 (ja) | 2011-06-08 |
Family
ID=37095348
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005075135A Expired - Fee Related JP4699058B2 (ja) | 2005-03-16 | 2005-03-16 | クリーンブースおよび塗工装置のメンテナンス方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4699058B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008298320A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Hitachi Plant Technologies Ltd | クリーンブース及びクリーンブースの換気方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6377563A (ja) * | 1986-09-13 | 1988-04-07 | コツパ−シユミツト−ミユ−ラ− ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクタ− ハフツング ウント コムパニ− コマンデイ−ト ゲゼルシヤフト | 各種材料のスプレ−塗装装置 |
JPH01159078A (ja) * | 1987-08-04 | 1989-06-22 | Tomiyasu Honda | 塗布調整装置 |
JPH02102764A (ja) * | 1988-10-07 | 1990-04-16 | Toray Ind Inc | コーティング方法およびその装置 |
JPH05212327A (ja) * | 1992-02-05 | 1993-08-24 | Uehara Neemu Pureeto Kogyo Kk | 紗連続塗装方法および装置 |
JP2000140741A (ja) * | 1998-11-05 | 2000-05-23 | Toray Ind Inc | 塗布装置および塗布方法並びにディスプレイ用部材の製造方法および製造装置 |
-
2005
- 2005-03-16 JP JP2005075135A patent/JP4699058B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6377563A (ja) * | 1986-09-13 | 1988-04-07 | コツパ−シユミツト−ミユ−ラ− ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクタ− ハフツング ウント コムパニ− コマンデイ−ト ゲゼルシヤフト | 各種材料のスプレ−塗装装置 |
JPH01159078A (ja) * | 1987-08-04 | 1989-06-22 | Tomiyasu Honda | 塗布調整装置 |
JPH02102764A (ja) * | 1988-10-07 | 1990-04-16 | Toray Ind Inc | コーティング方法およびその装置 |
JPH05212327A (ja) * | 1992-02-05 | 1993-08-24 | Uehara Neemu Pureeto Kogyo Kk | 紗連続塗装方法および装置 |
JP2000140741A (ja) * | 1998-11-05 | 2000-05-23 | Toray Ind Inc | 塗布装置および塗布方法並びにディスプレイ用部材の製造方法および製造装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008298320A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Hitachi Plant Technologies Ltd | クリーンブース及びクリーンブースの換気方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4699058B2 (ja) | 2011-06-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8585826B2 (en) | Apparatus and method for cleaning flexible webs | |
KR101350070B1 (ko) | 유리시트의 엣지 처리를 위한 장치 및 방법 | |
CN103909079B (zh) | 通过式清洗机及其清洗方法 | |
EP1301262A1 (en) | Air management system and method for chemical containment and contamination reduction in a semiconductor manufacturing facility | |
US20060003684A1 (en) | Grating and clean room system comprising the same | |
CN102091488B (zh) | 一种转轮漆雾净化装置 | |
EP2738477B1 (en) | Local air purification device | |
JP4699058B2 (ja) | クリーンブースおよび塗工装置のメンテナンス方法 | |
JP2008296069A (ja) | 薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置 | |
WO2011099222A1 (ja) | 基板処理装置 | |
CN207343392U (zh) | 一种基于除尘车间的高效单向流的风淋装置 | |
CN203196947U (zh) | 清洁式隧道型风淋室 | |
KR101314273B1 (ko) | 에어 샤워 | |
CN207511344U (zh) | 一种用于传送皮带的清洁器 | |
KR100885907B1 (ko) | 에어 크린룸용 에어 크리닝 유니트 | |
CN208643510U (zh) | 一种光学膜在线除尘消静电机构 | |
JP2005262088A (ja) | 支持体表面の防塵方法及び装置 | |
CN218690758U (zh) | 一种铝单板加工用喷漆设备 | |
JP4858309B2 (ja) | クリーンブース及びクリーンブースの換気方法 | |
JP2007160249A (ja) | ファンフィルターユニット | |
JP2005268572A (ja) | 基板処理装置 | |
JPH0768227A (ja) | エアシャワー装置 | |
JP2014005992A (ja) | クリーンブース構造 | |
CN213793222U (zh) | 一种pvc快速卷帘门货淋室 | |
CN208146572U (zh) | 风淋室 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080306 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100722 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100901 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101028 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110223 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110302 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4699058 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140311 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140311 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140311 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140311 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140311 Year of fee payment: 3 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |