JP2006250318A - Air slide device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an air slide device capable of precluding a seizure generated between a guide rail and a moving element. <P>SOLUTION: The air slide device is to support the moving element 14 slidably with a gas jetted from a gas jetting surface 16 of a static pressure gas bearing pad 16 toward the oversurface 121 of the guide rail 12. Therein a recessed face 18 is formed at each end of the pad mounting surface 141 so that the gas jetting surface 161 of the static pressure gas bearing pad 16 protrudes toward the guide rail from the pad mounting surface 141 of the moving element 14. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、工作機械等の産業機械においてワークテーブル等の移動体をスライド可能に支持する装置として用いられるエアースライド装置に関する。   The present invention relates to an air slide device used as a device that slidably supports a moving body such as a work table in an industrial machine such as a machine tool.

ワークテーブル等の移動体をスライド可能に支持する装置として、たとえば、図８に示すようなエアースライド装置が知られている（特許文献１参照）。図８において、符号１０はエアースライド装置を示し、このエアースライド装置１０は、ガイドレール１２及び可動体１４を備えている。
ガイドレール１２は鋼等の金属材料からなり、その幅方向に沿う断面形状が矩形状に形成されている。可動体１４はガイドレール１２と同様に鋼等の金属材料からなり、その幅方向に沿う断面がほぼコ字状に形成されている。また、可動体１４はガイドレール１２の上面部１２１と対向する矩形状のパッド取付面１４１（図９参照）を有しており、このパッド取付面１４１には、円形状に形成された複数の静圧気体軸受パッド１６が埋設されている。 For example, an air slide device as shown in FIG. 8 is known as a device that slidably supports a moving body such as a work table (see Patent Document 1). In FIG. 8, reference numeral 10 denotes an air slide device, and the air slide device 10 includes a guide rail 12 and a movable body 14.
The guide rail 12 is made of a metal material such as steel, and the cross-sectional shape along the width direction is formed in a rectangular shape. The movable body 14 is made of a metal material such as steel like the guide rail 12 and has a substantially U-shaped cross section along the width direction. Further, the movable body 14 has a rectangular pad mounting surface 141 (see FIG. 9) facing the upper surface portion 121 of the guide rail 12, and the pad mounting surface 141 has a plurality of circular shapes. A static pressure gas bearing pad 16 is embedded.

静圧気体軸受パッド１６は、カーボングラファイト等の多孔質材から形成されている。また、静圧気体軸受パッド１６はガイドレール１２の上面部１２１に向けて圧縮空気等の気体を噴出する気体噴出面１６１（図１０参照）を有しており、従って、可動体１４は静圧気体軸受パッド１６の気体噴出面１６１から噴出する気体によりスライド可能に支持されるようになっている。   The static pressure gas bearing pad 16 is made of a porous material such as carbon graphite. Further, the static pressure gas bearing pad 16 has a gas ejection surface 161 (see FIG. 10) for ejecting a gas such as compressed air toward the upper surface portion 121 of the guide rail 12. Therefore, the movable body 14 has a static pressure. The gas bearing pad 16 is slidably supported by the gas ejected from the gas ejection surface 161.

このようなエアースライド装置では、気体噴出パッド１６の気体噴出面１６１が可動体１４のパッド取付面１４１と面一になるように、気体噴出パッド１６を可動体１４のパッド取付面１４１を埋設することによって可動体１４の負荷能力を高めている。
実公平６−４７１３５号公報 In such an air slide device, the gas ejection pad 16 is embedded in the pad mounting surface 141 of the movable body 14 such that the gas ejection surface 161 of the gas ejection pad 16 is flush with the pad mounting surface 141 of the movable body 14. As a result, the load capacity of the movable body 14 is increased.
No. 6-47135

しかしながら、気体噴出パッド１６の気体噴出面１６１を可動体１４のパッド取付面１４１と面一にすると、可動体１４の上面部１４１に加わる偏荷重等により可動体１４がガイドレール１２に対して大きく傾斜した場合には、図１１に示すように、可動体１４のパッド取付面１４１がガイドレール１２に接触し、ガイドレール１２と可動体１４との間に焼付きが発生するおそれがあった。
本発明は、このような問題点に着目してなされたものであり、ガイドレールと可動体との間に焼付きが発生することを防止することのできるエアースライド装置を提供することを目的とするものである。 However, if the gas ejection surface 161 of the gas ejection pad 16 is flush with the pad mounting surface 141 of the movable body 14, the movable body 14 is larger than the guide rail 12 due to an offset load applied to the upper surface portion 141 of the movable body 14. When tilted, as shown in FIG. 11, the pad mounting surface 141 of the movable body 14 comes into contact with the guide rail 12, and there is a possibility that seizure occurs between the guide rail 12 and the movable body 14.
The present invention has been made paying attention to such a problem, and an object thereof is to provide an air slide device capable of preventing seizure between the guide rail and the movable body. To do.

上記の目的を達成するために、請求項１の発明は、ガイドレールと、このガイドレールの上面部と対向するパッド取付面を有する可動体と、この可動体の前記パッド取付面に埋設された複数の静圧気体軸受パッドとを備え、前記ガイドレールの上面部に向けて前記静圧気体軸受パッドの気体噴出面から噴出する気体により前記可動体をスライド可能に支持するエアースライド装置において、前記静圧気体軸受パッドの前記気体噴出面が前記可動体の前記パッド取付面よりもガイドレール側に突出するように前記パッド取付面の両端部に逃げ加工部を設けたことを特徴とする。   In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 is embedded in a guide rail, a movable body having a pad mounting surface facing the upper surface of the guide rail, and the pad mounting surface of the movable body. A plurality of static pressure gas bearing pads, wherein the movable body is slidably supported by the gas ejected from the gas ejection surface of the static pressure gas bearing pad toward the upper surface of the guide rail. Relief processing portions are provided at both ends of the pad mounting surface so that the gas ejection surface of the hydrostatic gas bearing pad protrudes toward the guide rail from the pad mounting surface of the movable body.

請求項２の発明は、請求項１記載のエアースライド装置において、前記静圧気体軸受パッドがカーボングラファイト等の多孔質材からなることを特徴とする。
請求項３の発明は、請求項１又は２記載のエアースライド装置において、前記静圧気体軸受パッドが円形状に形成されていることを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, in the air slide device according to the first aspect, the static pressure gas bearing pad is made of a porous material such as carbon graphite.
According to a third aspect of the present invention, in the air slide device according to the first or second aspect, the static pressure gas bearing pad is formed in a circular shape.

請求項４の発明は、ガイドレールと、このガイドレールの上面部と対向するパッド取付面を有する可動体と、この可動体の前記パッド取付面に埋設された複数の静圧気体軸受パッドとを備え、前記ガイドレールの上面部に向けて前記静圧気体軸受パッドから噴出する気体により前記可動体をスライド可能に支持するエアースライド装置において、前記静圧気体軸受パッドの一部が前記パッド取付面からはみ出るように前記静圧気体軸受パッドを前記パッド取付面に埋設したことを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a guide rail, a movable body having a pad mounting surface facing the upper surface portion of the guide rail, and a plurality of static pressure gas bearing pads embedded in the pad mounting surface of the movable body. An air slide device that slidably supports the movable body by gas ejected from the static pressure gas bearing pad toward the upper surface portion of the guide rail, wherein a part of the static pressure gas bearing pad is the pad mounting surface The hydrostatic gas bearing pad is embedded in the pad mounting surface so as to protrude from the pad.

請求項５の発明は、請求項４記載のエアースライド装置において、前記静圧気体軸受パッドを摺動特性に優れた多孔質材で形成したことを特徴とする。
請求項６の発明は、請求項５記載のエアースライド装置において、前記多孔質材がカーボングラファイトであることを特徴とする。 According to a fifth aspect of the present invention, in the air slide device according to the fourth aspect, the static pressure gas bearing pad is formed of a porous material having excellent sliding characteristics.
The invention according to claim 6 is the air slide device according to claim 5, wherein the porous material is carbon graphite.

請求項１〜４の発明に係るエアースライド装置によれば、可動体がガイドレールに対して傾斜すると、可動体よりも先に静圧気体軸受パッドがガイドレールに接触する。したがって、可動体の上面部に偏荷重等が作用しても可動体がガイドレールに接触することがないので、ガイドレールと可動体との間に焼付きが発生することを防止することができる。
請求項５及び６の発明に係るエアースライド装置によれば、静圧気体軸受パッドをカーボングラファイト等の摺動特性に優れた多孔質材で形成したことにより、静圧気体軸受パッドがガイドレールに接触しても摩擦熱の発生を抑制できるので、ガイドレールと可動体との間に焼付きが発生することを確実に防止することができる。 According to the air slide device of the first to fourth aspects of the present invention, when the movable body is inclined with respect to the guide rail, the static pressure gas bearing pad contacts the guide rail before the movable body. Therefore, even if an uneven load or the like acts on the upper surface of the movable body, the movable body does not contact the guide rail, so that seizure can be prevented from occurring between the guide rail and the movable body. .
According to the air slide device of the fifth and sixth aspects of the invention, the static pressure gas bearing pad is formed of a porous material having excellent sliding characteristics such as carbon graphite, so that the static pressure gas bearing pad becomes the guide rail. Since the generation of frictional heat can be suppressed even when contacted, seizure can be reliably prevented from occurring between the guide rail and the movable body.

以下、図１〜図３を参照して本発明の第１の実施形態について説明する。なお、図８〜図１０に示したものと同一の部分には同一符号を付し、その部分の詳細な説明は割愛する。
図１は本発明の第１の実施形態に係るエアースライド装置の側面図、図２は図１のII−II断面図であり、これらの図に示されるように、可動体１４のパッド取付面１４１の両端部には、静圧気体軸受パッド１６の気体噴出面１６１が可動体１４のパッド取付面１４１よりもガイドレール１２側に突出するように、逃げ加工部としての逃げ面１８が設けられている。 Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the part same as what was shown in FIGS. 8-10, and the detailed description of the part is omitted.
1 is a side view of the air slide device according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view taken along the line II-II in FIG. 1. As shown in these drawings, the pad mounting surface of the movable body 14 is shown. At both ends of 141, relief surfaces 18 as relief parts are provided so that the gas ejection surface 161 of the static pressure gas bearing pad 16 protrudes closer to the guide rail 12 than the pad mounting surface 141 of the movable body 14. ing.

このように構成されるエアースライド装置では、可動体１４の上面部に加わる偏荷重等により可動体１４がガイドレール１２に対して傾斜すると、図３に示すように、可動体１４のパッド取付面１４１よりも先に静圧気体軸受パッド１６がガイドレール１２に接触する。したがって、静圧気体軸受パッド１６の気体噴出面１６１が可動体１４のパッド取付面１４１よりもガイドレール１２側に突出するように、パッド取付面１４１の両端部に逃げ加工部としての逃げ面１８を設けたことにより、可動体１４の上面部に偏荷重等が作用しても可動体１４のパッド取付面１４１がガイドレール１２に接触することがないので、ガイドレール１２と可動体１４との間に焼付きが発生することを防止することができる。   In the air slide device configured as described above, when the movable body 14 is inclined with respect to the guide rail 12 due to an offset load applied to the upper surface portion of the movable body 14, as shown in FIG. The static pressure gas bearing pad 16 comes into contact with the guide rail 12 before 141. Therefore, the flank 18 serving as a flank machining portion is provided at both ends of the pad mounting surface 141 such that the gas ejection surface 161 of the static pressure gas bearing pad 16 protrudes toward the guide rail 12 with respect to the pad mounting surface 141 of the movable body 14. Since the pad mounting surface 141 of the movable body 14 does not come into contact with the guide rail 12 even if an uneven load or the like acts on the upper surface portion of the movable body 14, the guide rail 12 and the movable body 14 It is possible to prevent seizure from occurring.

次に、図４〜図７を参照して本発明の第２の実施形態について説明する。
図４は本発明の第２の実施形態に係るエアースライド装置の断面図であり、同図に示されるように、第２の実施形態に係るエアースライド装置２０は、ガイドレール２２及び可動体２４を備えている。ガイドレール２２は鋼等の金属材料からなり、その幅方向に沿う断面形状が矩形状に形成されている。可動体２４はガイドレール２２と同様に鋼等の金属材料からなり、その幅方向に沿う断面が矩形状に形成されている。また、可動体１４はガイドレール１２の上面部１２１と対向する矩形状のパッド取付面１４１（図５参照）を有しており、このパッド取付面１５１には、円形状に形成された複数の静圧気体軸受パッド２６が埋設されている。 Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 4 is a sectional view of an air slide device according to the second embodiment of the present invention. As shown in FIG. 4, the air slide device 20 according to the second embodiment includes a guide rail 22 and a movable body 24. It has. The guide rail 22 is made of a metal material such as steel and has a rectangular cross-sectional shape along the width direction. The movable body 24 is made of a metal material such as steel like the guide rail 22 and has a rectangular cross section along the width direction. Further, the movable body 14 has a rectangular pad mounting surface 141 (see FIG. 5) facing the upper surface portion 121 of the guide rail 12, and a plurality of circularly formed pad mounting surfaces 151 are formed on the pad mounting surface 151. A static pressure gas bearing pad 26 is embedded.

静圧気体軸受パッド２６は、摺動特性に優れた多孔質材（例えばカーボングラファイト）で形成されている。また、静圧気体軸受パッド２６はガイドレール２２の上面部２２１に向けて圧縮空気等の気体を噴出する気体噴出面２６１（図６参照）を有しており、可動体２４は静圧気体軸受パッド２６の気体噴出面２６１から噴出する気体によりスライド可能に支持されるようになっている。さらに、静圧気体軸受パッド２６は、図５に示すように、その一部が可動体２４のパッド取付面１４１からはみ出るようにパッド取付面１４１に配設されている。   The static pressure gas bearing pad 26 is formed of a porous material (for example, carbon graphite) having excellent sliding characteristics. The static pressure gas bearing pad 26 has a gas ejection surface 261 (see FIG. 6) for ejecting a gas such as compressed air toward the upper surface portion 221 of the guide rail 22, and the movable body 24 is a static pressure gas bearing. The gas is ejected from the gas ejection surface 261 of the pad 26 so as to be slidable. Further, as shown in FIG. 5, the static pressure gas bearing pad 26 is disposed on the pad mounting surface 141 so that a part thereof protrudes from the pad mounting surface 141 of the movable body 24.

このように構成されるエアースライド装置２０では、可動体２４に加わる偏荷重等により可動体２４がガイドレール２２に対して傾斜すると、図７に示すように、可動体２４よりも先に静圧気体軸受パッド２６がガイドレール２２に接触する。したがって、静圧気体軸受パッド２６の一部が可動体２４のパッド取付面２４１からはみ出るように静圧気体軸受パッド２６を可動体２４のパッド取付面２４１に配設したことにより、可動体２４の上面部に偏荷重等が作用しても可動体２４がガイドレール１２に接触することがないので、ガイドレール２２と可動体２４との間に焼付きが発生することを防止することができる。   In the air slide device 20 configured as described above, when the movable body 24 is inclined with respect to the guide rail 22 due to a biased load or the like applied to the movable body 24, as shown in FIG. The gas bearing pad 26 contacts the guide rail 22. Therefore, by disposing the static pressure gas bearing pad 26 on the pad mounting surface 241 of the movable body 24 so that a part of the static pressure gas bearing pad 26 protrudes from the pad mounting surface 241 of the movable body 24, Since the movable body 24 does not come into contact with the guide rail 12 even when an uneven load or the like is applied to the upper surface portion, seizure can be prevented from occurring between the guide rail 22 and the movable body 24.

また、上述した第２の実施形態では、静圧気体軸受パッド２６を摺動特性に優れた多孔質材（例えばカーボングラファイト）で形成したことにより、静圧気体軸受パッド２６がガイドレール２２に接触しても摩擦熱の発生を抑制できるので、ガイドレール２２と可動体２４との間に焼付きが発生することを確実に防止することができる。
なお、本発明は上述した第１及び第２の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が実施可能であることは勿論である。 In the second embodiment described above, the static pressure gas bearing pad 26 is made of a porous material (for example, carbon graphite) having excellent sliding characteristics, so that the static pressure gas bearing pad 26 contacts the guide rail 22. Even so, since generation of frictional heat can be suppressed, it is possible to reliably prevent seizure from occurring between the guide rail 22 and the movable body 24.
Note that the present invention is not limited to the first and second embodiments described above, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

本発明の第１の実施形態に係るエアースライド装置の側面図である。1 is a side view of an air slide device according to a first embodiment of the present invention. 図１のII−II断面図である。It is II-II sectional drawing of FIG. 図１に示すエアースライド装置の作用を説明するための図である。It is a figure for demonstrating an effect | action of the air slide apparatus shown in FIG. 本発明の第２の実施形態に係るエアースライド装置の断面図である。It is sectional drawing of the air slide apparatus which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 図４のV−V断面図である。It is VV sectional drawing of FIG. 図４のVI−VI断面図である。It is VI-VI sectional drawing of FIG. 図４に示すエアースライド装置の作用を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the effect | action of the air slide apparatus shown in FIG. 従来のエアースライド装置の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the conventional air slide apparatus. 図８のIX−IX断面図である。It is IX-IX sectional drawing of FIG. 図８のX−X断面図である。It is XX sectional drawing of FIG. 図８に示すエアースライド装置の可動体がガイドレールに対して傾いた状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state in which the movable body of the air slide apparatus shown in FIG. 8 inclined with respect to the guide rail.

符号の説明Explanation of symbols

１２，２２ ガイドレール
１４，２４ 可動体
１４１，２４１ パッド取付面
１６，２６ 静圧気体軸受パッド
１６１，２６１ 気体噴出面
１８ 逃げ面 12, 22 Guide rail 14, 24 Movable body 141, 241 Pad mounting surface 16, 26 Static pressure gas bearing pad 161, 261 Gas ejection surface 18 Flank

Claims (6)

ガイドレールと、このガイドレールの上面部と対向するパッド取付面を有する可動体と、この可動体の前記パッド取付面に埋設された複数の静圧気体軸受パッドとを備え、前記ガイドレールの上面部に向けて前記静圧気体軸受パッドの気体噴出面から噴出する気体により前記可動体をスライド可能に支持するエアースライド装置において、
前記静圧気体軸受パッドの前記気体噴出面が前記可動体の前記パッド取付面よりもガイドレール側に突出するように前記パッド取付面の両端部に逃げ加工部を設けたことを特徴とするエアースライド装置。 A guide rail, a movable body having a pad mounting surface facing the upper surface portion of the guide rail, and a plurality of static pressure gas bearing pads embedded in the pad mounting surface of the movable body, the upper surface of the guide rail In an air slide device that slidably supports the movable body by gas ejected from the gas ejection surface of the static pressure gas bearing pad toward the part,
The air is characterized in that relief portions are provided at both ends of the pad mounting surface so that the gas ejection surface of the hydrostatic gas bearing pad protrudes toward the guide rail side with respect to the pad mounting surface of the movable body. Slide device. 前記静圧気体軸受パッドはカーボングラファイト等の多孔質材からなることを特徴とする請求項１記載のエアースライド装置。   2. The air slide device according to claim 1, wherein the static pressure gas bearing pad is made of a porous material such as carbon graphite. 前記静圧気体軸受パッドは円形状に形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載のエアースライド装置。   3. The air slide device according to claim 1, wherein the static pressure gas bearing pad is formed in a circular shape. ガイドレールと、このガイドレールの上面部と対向するパッド取付面を有する可動体と、この可動体の前記パッド取付面に埋設された複数の静圧気体軸受パッドとを備え、前記ガイドレールの上面部に向けて前記静圧気体軸受パッドから噴出する気体により前記可動体をスライド可能に支持するエアースライド装置において、
前記静圧気体軸受パッドの一部が前記パッド取付面からはみ出るように前記静圧気体軸受パッドを前記パッド取付面に埋設したことを特徴とするエアースライド装置。 A guide rail, a movable body having a pad mounting surface facing the upper surface portion of the guide rail, and a plurality of static pressure gas bearing pads embedded in the pad mounting surface of the movable body, the upper surface of the guide rail In an air slide device that slidably supports the movable body by gas ejected from the static pressure gas bearing pad toward the part,
The air slide device, wherein the static pressure gas bearing pad is embedded in the pad mounting surface so that a part of the static pressure gas bearing pad protrudes from the pad mounting surface. 請求項４記載のエアースライド装置において、前記静圧気体軸受パッドを摺動特性に優れた多孔質材で形成したことを特徴とするエアースライド装置。   5. The air slide device according to claim 4, wherein the static pressure gas bearing pad is formed of a porous material having excellent sliding characteristics. 前記多孔質材はカーボングラファイトであることを特徴とする請求項５記載のエアースライド装置。   The air slide device according to claim 5, wherein the porous material is carbon graphite.
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