JP2006250318A - Air slide device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、工作機械等の産業機械においてワークテーブル等の移動体をスライド可能に支持する装置として用いられるエアースライド装置に関する。 The present invention relates to an air slide device used as a device that slidably supports a moving body such as a work table in an industrial machine such as a machine tool.
ワークテーブル等の移動体をスライド可能に支持する装置として、たとえば、図8に示すようなエアースライド装置が知られている(特許文献1参照)。図8において、符号10はエアースライド装置を示し、このエアースライド装置10は、ガイドレール12及び可動体14を備えている。
ガイドレール12は鋼等の金属材料からなり、その幅方向に沿う断面形状が矩形状に形成されている。可動体14はガイドレール12と同様に鋼等の金属材料からなり、その幅方向に沿う断面がほぼコ字状に形成されている。また、可動体14はガイドレール12の上面部121と対向する矩形状のパッド取付面141(図9参照)を有しており、このパッド取付面141には、円形状に形成された複数の静圧気体軸受パッド16が埋設されている。
For example, an air slide device as shown in FIG. 8 is known as a device that slidably supports a moving body such as a work table (see Patent Document 1). In FIG. 8,
The
静圧気体軸受パッド16は、カーボングラファイト等の多孔質材から形成されている。また、静圧気体軸受パッド16はガイドレール12の上面部121に向けて圧縮空気等の気体を噴出する気体噴出面161(図10参照)を有しており、従って、可動体14は静圧気体軸受パッド16の気体噴出面161から噴出する気体によりスライド可能に支持されるようになっている。
The static pressure gas bearing
このようなエアースライド装置では、気体噴出パッド16の気体噴出面161が可動体14のパッド取付面141と面一になるように、気体噴出パッド16を可動体14のパッド取付面141を埋設することによって可動体14の負荷能力を高めている。
しかしながら、気体噴出パッド16の気体噴出面161を可動体14のパッド取付面141と面一にすると、可動体14の上面部141に加わる偏荷重等により可動体14がガイドレール12に対して大きく傾斜した場合には、図11に示すように、可動体14のパッド取付面141がガイドレール12に接触し、ガイドレール12と可動体14との間に焼付きが発生するおそれがあった。
本発明は、このような問題点に着目してなされたものであり、ガイドレールと可動体との間に焼付きが発生することを防止することのできるエアースライド装置を提供することを目的とするものである。
However, if the
The present invention has been made paying attention to such a problem, and an object thereof is to provide an air slide device capable of preventing seizure between the guide rail and the movable body. To do.
上記の目的を達成するために、請求項1の発明は、ガイドレールと、このガイドレールの上面部と対向するパッド取付面を有する可動体と、この可動体の前記パッド取付面に埋設された複数の静圧気体軸受パッドとを備え、前記ガイドレールの上面部に向けて前記静圧気体軸受パッドの気体噴出面から噴出する気体により前記可動体をスライド可能に支持するエアースライド装置において、前記静圧気体軸受パッドの前記気体噴出面が前記可動体の前記パッド取付面よりもガイドレール側に突出するように前記パッド取付面の両端部に逃げ加工部を設けたことを特徴とする。 In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 is embedded in a guide rail, a movable body having a pad mounting surface facing the upper surface of the guide rail, and the pad mounting surface of the movable body. A plurality of static pressure gas bearing pads, wherein the movable body is slidably supported by the gas ejected from the gas ejection surface of the static pressure gas bearing pad toward the upper surface of the guide rail. Relief processing portions are provided at both ends of the pad mounting surface so that the gas ejection surface of the hydrostatic gas bearing pad protrudes toward the guide rail from the pad mounting surface of the movable body.
請求項2の発明は、請求項1記載のエアースライド装置において、前記静圧気体軸受パッドがカーボングラファイト等の多孔質材からなることを特徴とする。
請求項3の発明は、請求項1又は2記載のエアースライド装置において、前記静圧気体軸受パッドが円形状に形成されていることを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, in the air slide device according to the first aspect, the static pressure gas bearing pad is made of a porous material such as carbon graphite.
According to a third aspect of the present invention, in the air slide device according to the first or second aspect, the static pressure gas bearing pad is formed in a circular shape.
請求項4の発明は、ガイドレールと、このガイドレールの上面部と対向するパッド取付面を有する可動体と、この可動体の前記パッド取付面に埋設された複数の静圧気体軸受パッドとを備え、前記ガイドレールの上面部に向けて前記静圧気体軸受パッドから噴出する気体により前記可動体をスライド可能に支持するエアースライド装置において、前記静圧気体軸受パッドの一部が前記パッド取付面からはみ出るように前記静圧気体軸受パッドを前記パッド取付面に埋設したことを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a guide rail, a movable body having a pad mounting surface facing the upper surface portion of the guide rail, and a plurality of static pressure gas bearing pads embedded in the pad mounting surface of the movable body. An air slide device that slidably supports the movable body by gas ejected from the static pressure gas bearing pad toward the upper surface portion of the guide rail, wherein a part of the static pressure gas bearing pad is the pad mounting surface The hydrostatic gas bearing pad is embedded in the pad mounting surface so as to protrude from the pad.
請求項5の発明は、請求項4記載のエアースライド装置において、前記静圧気体軸受パッドを摺動特性に優れた多孔質材で形成したことを特徴とする。
請求項6の発明は、請求項5記載のエアースライド装置において、前記多孔質材がカーボングラファイトであることを特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, in the air slide device according to the fourth aspect, the static pressure gas bearing pad is formed of a porous material having excellent sliding characteristics.
The invention according to claim 6 is the air slide device according to claim 5, wherein the porous material is carbon graphite.
請求項1〜4の発明に係るエアースライド装置によれば、可動体がガイドレールに対して傾斜すると、可動体よりも先に静圧気体軸受パッドがガイドレールに接触する。したがって、可動体の上面部に偏荷重等が作用しても可動体がガイドレールに接触することがないので、ガイドレールと可動体との間に焼付きが発生することを防止することができる。
請求項5及び6の発明に係るエアースライド装置によれば、静圧気体軸受パッドをカーボングラファイト等の摺動特性に優れた多孔質材で形成したことにより、静圧気体軸受パッドがガイドレールに接触しても摩擦熱の発生を抑制できるので、ガイドレールと可動体との間に焼付きが発生することを確実に防止することができる。
According to the air slide device of the first to fourth aspects of the present invention, when the movable body is inclined with respect to the guide rail, the static pressure gas bearing pad contacts the guide rail before the movable body. Therefore, even if an uneven load or the like acts on the upper surface of the movable body, the movable body does not contact the guide rail, so that seizure can be prevented from occurring between the guide rail and the movable body. .
According to the air slide device of the fifth and sixth aspects of the invention, the static pressure gas bearing pad is formed of a porous material having excellent sliding characteristics such as carbon graphite, so that the static pressure gas bearing pad becomes the guide rail. Since the generation of frictional heat can be suppressed even when contacted, seizure can be reliably prevented from occurring between the guide rail and the movable body.
以下、図1〜図3を参照して本発明の第1の実施形態について説明する。なお、図8〜図10に示したものと同一の部分には同一符号を付し、その部分の詳細な説明は割愛する。
図1は本発明の第1の実施形態に係るエアースライド装置の側面図、図2は図1のII−II断面図であり、これらの図に示されるように、可動体14のパッド取付面141の両端部には、静圧気体軸受パッド16の気体噴出面161が可動体14のパッド取付面141よりもガイドレール12側に突出するように、逃げ加工部としての逃げ面18が設けられている。
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the part same as what was shown in FIGS. 8-10, and the detailed description of the part is omitted.
1 is a side view of the air slide device according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view taken along the line II-II in FIG. 1. As shown in these drawings, the pad mounting surface of the
このように構成されるエアースライド装置では、可動体14の上面部に加わる偏荷重等により可動体14がガイドレール12に対して傾斜すると、図3に示すように、可動体14のパッド取付面141よりも先に静圧気体軸受パッド16がガイドレール12に接触する。したがって、静圧気体軸受パッド16の気体噴出面161が可動体14のパッド取付面141よりもガイドレール12側に突出するように、パッド取付面141の両端部に逃げ加工部としての逃げ面18を設けたことにより、可動体14の上面部に偏荷重等が作用しても可動体14のパッド取付面141がガイドレール12に接触することがないので、ガイドレール12と可動体14との間に焼付きが発生することを防止することができる。
In the air slide device configured as described above, when the
次に、図4〜図7を参照して本発明の第2の実施形態について説明する。
図4は本発明の第2の実施形態に係るエアースライド装置の断面図であり、同図に示されるように、第2の実施形態に係るエアースライド装置20は、ガイドレール22及び可動体24を備えている。ガイドレール22は鋼等の金属材料からなり、その幅方向に沿う断面形状が矩形状に形成されている。可動体24はガイドレール22と同様に鋼等の金属材料からなり、その幅方向に沿う断面が矩形状に形成されている。また、可動体14はガイドレール12の上面部121と対向する矩形状のパッド取付面141(図5参照)を有しており、このパッド取付面151には、円形状に形成された複数の静圧気体軸受パッド26が埋設されている。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 4 is a sectional view of an air slide device according to the second embodiment of the present invention. As shown in FIG. 4, the
静圧気体軸受パッド26は、摺動特性に優れた多孔質材(例えばカーボングラファイト)で形成されている。また、静圧気体軸受パッド26はガイドレール22の上面部221に向けて圧縮空気等の気体を噴出する気体噴出面261(図6参照)を有しており、可動体24は静圧気体軸受パッド26の気体噴出面261から噴出する気体によりスライド可能に支持されるようになっている。さらに、静圧気体軸受パッド26は、図5に示すように、その一部が可動体24のパッド取付面141からはみ出るようにパッド取付面141に配設されている。
The static pressure gas bearing
このように構成されるエアースライド装置20では、可動体24に加わる偏荷重等により可動体24がガイドレール22に対して傾斜すると、図7に示すように、可動体24よりも先に静圧気体軸受パッド26がガイドレール22に接触する。したがって、静圧気体軸受パッド26の一部が可動体24のパッド取付面241からはみ出るように静圧気体軸受パッド26を可動体24のパッド取付面241に配設したことにより、可動体24の上面部に偏荷重等が作用しても可動体24がガイドレール12に接触することがないので、ガイドレール22と可動体24との間に焼付きが発生することを防止することができる。
In the
また、上述した第2の実施形態では、静圧気体軸受パッド26を摺動特性に優れた多孔質材(例えばカーボングラファイト)で形成したことにより、静圧気体軸受パッド26がガイドレール22に接触しても摩擦熱の発生を抑制できるので、ガイドレール22と可動体24との間に焼付きが発生することを確実に防止することができる。
なお、本発明は上述した第1及び第2の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が実施可能であることは勿論である。
In the second embodiment described above, the static pressure gas bearing
Note that the present invention is not limited to the first and second embodiments described above, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.
12,22 ガイドレール
14,24 可動体
141,241 パッド取付面
16,26 静圧気体軸受パッド
161,261 気体噴出面
18 逃げ面
12, 22
Claims (6)
前記静圧気体軸受パッドの前記気体噴出面が前記可動体の前記パッド取付面よりもガイドレール側に突出するように前記パッド取付面の両端部に逃げ加工部を設けたことを特徴とするエアースライド装置。 A guide rail, a movable body having a pad mounting surface facing the upper surface portion of the guide rail, and a plurality of static pressure gas bearing pads embedded in the pad mounting surface of the movable body, the upper surface of the guide rail In an air slide device that slidably supports the movable body by gas ejected from the gas ejection surface of the static pressure gas bearing pad toward the part,
The air is characterized in that relief portions are provided at both ends of the pad mounting surface so that the gas ejection surface of the hydrostatic gas bearing pad protrudes toward the guide rail side with respect to the pad mounting surface of the movable body. Slide device.
前記静圧気体軸受パッドの一部が前記パッド取付面からはみ出るように前記静圧気体軸受パッドを前記パッド取付面に埋設したことを特徴とするエアースライド装置。 A guide rail, a movable body having a pad mounting surface facing the upper surface portion of the guide rail, and a plurality of static pressure gas bearing pads embedded in the pad mounting surface of the movable body, the upper surface of the guide rail In an air slide device that slidably supports the movable body by gas ejected from the static pressure gas bearing pad toward the part,
The air slide device, wherein the static pressure gas bearing pad is embedded in the pad mounting surface so that a part of the static pressure gas bearing pad protrudes from the pad mounting surface.
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