JP2006250221A - Flow passage changeover unit, suction retention unit and pressure operation unit - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a flow passage changeover unit easily adjusting a route opening and closing means for controlling a circulation condition of gas, and a suction retention unit and a pressure operation unit using the flow passage changeover unit. <P>SOLUTION: This invented flow passage changeover unit is provided with a main body 11 constructed to enable gas circulation and provided with a ventilation route 11S provided with an intermediate opening part 11P in a middle of the route, and a route opening and closing means 13 opening and closing at least a part of the ventilation route in a downstream of the intermediate opening part in the ventilation route. The route opening and closing means faces an end part opening 11Sb of the ventilation route from an outside, and is provided with a operation part 13b constructed movably in a predetermined operation direction and materializing open and close operation of the ventilation route, and a drive mechanism 13c driving the operation part in an operation direction from a predetermined standard section 13a where the operation part is supported by a main body, and includes position adjustment means 12, 18, 11c constructed in such a manner that position can be adjusted in the operation direction in relation to a main body of the standard section. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は流路切替ユニット、吸着保持ユニット、及び、気圧作動ユニットに係り、特に、気体の流通状態を切り替えることによって所定の動作を実現するための流路切替ユニットに関する。   The present invention relates to a flow path switching unit, an adsorption holding unit, and an atmospheric pressure operation unit, and more particularly to a flow path switching unit for realizing a predetermined operation by switching a gas flow state.

一般に、各種製品の製造現場では、圧縮空気を用いて各所を制御する空気圧制御技術が盛んに用いられている。典型的には、例えば、コンプレッサ等の圧縮空気の供給源に対して流通状態の切替・制御を行う電磁弁、逆止弁、レギュレータなどを含む空気圧制御系が接続され、この空気圧制御系によって空気圧シリンダ等の出力機器が駆動される。   In general, air pressure control technology for controlling various parts using compressed air is actively used in the production sites of various products. Typically, for example, a pneumatic control system including a solenoid valve, a check valve, a regulator, and the like that switches and controls the flow state to a compressed air supply source such as a compressor is connected. An output device such as a cylinder is driven.

上記の空気圧制御系では、通常、通気経路中に開閉弁や切替弁を配置することによって空気の供給や停止を制御するようにしているが、空気は圧縮性流体であるため、制御部から作用部までの距離が長くなると応答時間が長くなり、高速な切替動作ができないという問題点がある。   In the air pressure control system described above, the supply and stop of air is usually controlled by disposing an opening / closing valve and a switching valve in the ventilation path. If the distance to the part becomes long, the response time becomes long, and there is a problem that high-speed switching operation cannot be performed.

そこで、本発明者らは、部品の搬送方向に臨む処理用開口部を備えた通気経路の途中に中途開口部を設け、この中途開口部の開閉状態を開閉手段により制御することによって処理用開口部の気圧を高速に制御することのできる部品処理機構を実現した（以下の特許文献１参照）。また、上記と同じ原理を用いて、高速動作を可能とする流体圧アクチュエータを提供している（以下の特許文献２参照）。   Therefore, the present inventors provide a halfway opening in the middle of a ventilation path provided with a processing opening facing the component conveyance direction, and control the opening / closing state of this halfway opening by an opening / closing means. A component processing mechanism capable of controlling the atmospheric pressure of the part at high speed was realized (see Patent Document 1 below). Moreover, the fluid pressure actuator which enables high-speed operation | movement is provided using the same principle as the above (refer the following patent document 2).

上記の開閉手段としては、弾性基板の表面に圧電体を貼着してなる圧電アクチュエータが用いられている。この圧電アクチュエータは、その基端部が固定された状態とされ、圧電体に電圧を印加することにより弾性基板が弾性変形することにより、その先端部が動作して開閉機能を実現するようになっている。
特開２００４−２２４４４９号公報 特開２００５−９５２３号公報 As the opening / closing means, a piezoelectric actuator formed by sticking a piezoelectric body to the surface of an elastic substrate is used. In this piezoelectric actuator, the base end portion is fixed, and the elastic substrate is elastically deformed by applying a voltage to the piezoelectric body, whereby the tip end portion operates to realize an opening / closing function. ing.
JP 2004-224449 A Japanese Patent Laid-Open No. 2005-9523

しかしながら、前述の部品処理機構の構成では、中途開口部の開閉手段の開閉状態によって処理用開口部における給気状態や吸引状態が大きく影響されるため、開閉手段の動作態様を微妙に調整する必要があり、処理用開口部の作用を最適化することが難しいという問題点がある。通常、開閉手段の動作態様を調整する場合には、通気経路の閉鎖時と開放時におけるクリアランス調整を行うが、このクリアランスが微妙に異なるだけで開閉切替時の通気状態が変動し、処理用開口部への給気状態や吸引状態が大きく変わる。したがって、現場の状況に応じて開閉手段の取り付け部や開閉手段の動作態様を感に頼って調整していたため、調整作業には熟練した技能が要求され、しかも、試行錯誤により長い調整時間が必要とされていた。   However, in the configuration of the component processing mechanism described above, since the supply state and suction state of the processing opening are greatly affected by the open / close state of the opening / closing means of the midway opening, it is necessary to finely adjust the operation mode of the opening / closing means. There is a problem that it is difficult to optimize the action of the processing opening. Normally, when adjusting the operation mode of the opening and closing means, the clearance adjustment is performed when the ventilation path is closed and when the ventilation path is closed. The air supply state and suction state to the section change greatly. Therefore, since adjustments were made by recognizing the attachment of the switching means and the operation mode of the switching means depending on the situation at the site, skilled work is required for the adjustment work, and a long adjustment time is required by trial and error. It was said.

また、流体圧アクチュエータの場合でも、シリンダ内で動作するピストンの出没動作を調整するには開閉手段による流通経路の開口状態の制御態様を微妙に調整する必要があり、開閉手段による開閉状態が最適化されていないと、ピストンが正常に動作しなかったり、ピストンの駆動力が確保できなかったりする場合がある。   Even in the case of a fluid pressure actuator, it is necessary to finely adjust the control mode of the opening state of the flow path by the opening / closing means in order to adjust the protruding and retracting operation of the piston operating in the cylinder, and the opening / closing state by the opening / closing means is optimal. If not, the piston may not operate normally or the driving force of the piston may not be ensured.

上記の開閉手段による開閉状態の調整は、開閉手段の動作態様そのもの、すなわち、開閉手段の駆動態様自体を調整することにより行うことも可能であるが、このようにすると、開閉手段の制御が複雑になるとともに、開閉手段と通気経路との位置関係によっては開閉手段の動作性能を充分に発揮できない状況、例えば、開閉手段の動作ストロークを有効に利用できなかったり、開閉手段の駆動力を確保できなかったりする可能性がある。   The adjustment of the open / close state by the open / close means can be performed by adjusting the operation mode of the open / close means, that is, the drive mode of the open / close means itself. However, in this way, the control of the open / close means is complicated. In addition, depending on the positional relationship between the opening and closing means and the ventilation path, the operating performance of the opening and closing means cannot be fully exhibited, for example, the operating stroke of the opening and closing means cannot be used effectively, or the driving force of the opening and closing means can be secured. There is a possibility of not.

そこで、本発明は、気体の流通状態を制御するための経路開閉手段の調整を容易に行うことのできる流路切替ユニット、並びに、これを用いた吸着保持ユニット及び気圧作動ユニットを提供することを目的とする。   Therefore, the present invention provides a flow path switching unit capable of easily adjusting a path opening / closing means for controlling a gas flow state, and an adsorption holding unit and a pneumatic operation unit using the same. Objective.

斯かる実情に鑑み、本発明の流路切替ユニットは、気体が流通可能に構成され、経路途中に中途開口部を備えた通気経路を備えた本体と、該通気経路における前記中途開口部より下流側にて前記通気経路の少なくとも一部を開閉可能とする経路開閉手段とを備えた流路切替ユニットにおいて、前記経路開閉手段は、前記通気経路の端部開口に外側から臨み、所定の動作方向に移動可能に構成されて前記通気経路の開閉動作を実現する動作部と、該動作部を前記本体に支持された所定の基準部位に対して動作方向に駆動する駆動機構とを備え、前記基準部位を前記本体に対して前記動作方向に位置調整可能に構成する位置調整手段をさらに有することを特徴とする。   In view of such circumstances, the flow path switching unit of the present invention is configured to allow a gas to flow, a main body including a ventilation path having a midway opening partway along the path, and a downstream side of the midway opening part in the ventilation path. And a path switching unit that can open and close at least a part of the ventilation path on the side, wherein the path switching means faces the end opening of the ventilation path from the outside and has a predetermined operation direction. An operation unit configured to be movable to realize the opening / closing operation of the ventilation path, and a driving mechanism that drives the operation unit in a movement direction with respect to a predetermined reference part supported by the main body. The apparatus further includes position adjusting means configured to adjust the position of the part with respect to the main body in the operation direction.

この発明によれば、位置調整手段により経路開閉手段の基準部位を本体に対して動作部の動作方向に位置調整することが可能になることにより、動作機構の動作態様を変更しなくても本体に対する動作部の動作範囲を変更することができるため、経路開閉手段による通気経路の開閉態様を調整することが可能になる。また、経路開閉手段の動作部と本体の通気経路との間の開閉態様によっては、駆動機構の動作態様を変更しても経路開閉手段による通気経路の開閉態様を最適化できない場合が考えられるが、本発明では、位置調整手段によって動作部と本体の位置関係を調整することができるため、駆動機構の動作態様そのもの（駆動態様自体）と、動作部と本体の位置関係との双方を調整することによって開閉態様の最適化を図ることが可能になる。   According to the present invention, the position adjustment means can adjust the position of the reference portion of the path opening / closing means with respect to the main body in the operation direction of the operation portion, so that the main body can be changed without changing the operation mode of the operation mechanism. Therefore, the opening / closing mode of the ventilation path by the path opening / closing means can be adjusted. Further, depending on the opening / closing mode between the operating part of the path opening / closing means and the ventilation path of the main body, there may be a case where the opening / closing mode of the ventilation path by the path opening / closing means cannot be optimized even if the operation mode of the drive mechanism is changed. In the present invention, since the positional relationship between the operating unit and the main body can be adjusted by the position adjusting means, both the operating mode of the driving mechanism itself (driving mode itself) and the positional relationship between the operating unit and the main body are adjusted. This makes it possible to optimize the opening / closing mode.

本発明において、前記位置調整手段は、前記本体と前記基準部位との間を弾性変形させつつ、前記基準部位の前記動作方向の位置を規制する規制部材を含むことが好ましい。これによれば、規制部材によって本体と基準部位との間を弾性変形させることで基準部位を動作方向に移動させることにより、変形部分の弾性力と規制部材の規制力のバランスで位置決めを行うため、別途の位置決め手段が不要になるなど構造を簡易に構成できるとともに、位置調整量が僅かでも安定した位置決めができるので微調整が可能になる。ここで、上記規制部材は、上記本体に螺合するとともに前記基準部位若しくはその近傍部分に対して上記動作方向に当接する規制ねじであることがさらに望ましい。   In the present invention, it is preferable that the position adjusting means includes a regulating member that regulates a position of the reference portion in the operation direction while elastically deforming between the main body and the reference portion. According to this, by positioning the balance between the elastic force of the deformed portion and the restriction force of the restriction member by moving the reference portion in the operation direction by elastically deforming between the main body and the reference portion by the restriction member. In addition, the structure can be easily configured such that a separate positioning means is not required, and stable positioning can be performed even if the position adjustment amount is small, so that fine adjustment is possible. Here, it is further preferable that the restricting member is a restricting screw that is screwed into the main body and abuts in the operation direction with respect to the reference portion or the vicinity thereof.

本発明において、前記位置調整手段は、前記本体と前記基準部位とを接続し、弾性変形により前記基準部位の前記動作方向の位置を変化させる支持体を含むことが好ましい。これによれば、本体と基準部位との間に支持体が接続され、この支持体の弾性変形によって基準部位を動作方向に移動させることができるため、経路開閉手段の構造とは別個にその弾性率や剛性を位置調整に適合するように自由に設定することができる。特に、この支持体に対して上記規制部材が当接することで弾性変形が生ずるようにすると、経路開閉手段への規制力の影響を回避しつつ、基準部位の位置調整を確実に行うことができる。   In the present invention, it is preferable that the position adjusting means includes a support that connects the main body and the reference portion and changes the position of the reference portion in the operation direction by elastic deformation. According to this, since the support body is connected between the main body and the reference part, and the reference part can be moved in the operation direction by elastic deformation of the support body, the elasticity is provided separately from the structure of the path opening / closing means. The rate and rigidity can be set freely to suit the position adjustment. In particular, if elastic deformation occurs when the regulating member comes into contact with the support, the position of the reference portion can be reliably adjusted while avoiding the influence of the regulating force on the path opening / closing means. .

本発明において、前記駆動機構は、圧電作用により撓み変形して前記動作部を前記動作方向に移動させる圧電アクチュエータであることが好ましい。圧電作用により撓み変形する圧電アクチュエータを用いることにより、動作部の位置制御を電気的に行うことができ、また、微小な変形量でも精度よく実現できるため高精度の位置制御が可能になり、さらに、高速に動作させることも可能になる。ここで、上記圧電アクチュエータは、前記基準位置から前記動作部まで伸びる弾性部材と、この弾性部材に積層された圧電体とを有することが望ましい。   In the present invention, it is preferable that the drive mechanism is a piezoelectric actuator that bends and deforms by a piezoelectric action and moves the operation unit in the operation direction. By using a piezoelectric actuator that bends and deforms due to piezoelectric action, the position of the moving part can be electrically controlled, and even with a small amount of deformation, it can be realized with high precision, enabling highly accurate position control. It is also possible to operate at high speed. Here, it is preferable that the piezoelectric actuator includes an elastic member extending from the reference position to the operating portion, and a piezoelectric body stacked on the elastic member.

本発明において、前記経路開閉手段の動作状態を表示する表示手段をさらに有することが好ましい。これによれば、表示手段によって経路開閉手段の動作状態が表示されるので、表示手段を見て動作状態を確認しながら位置調整手段による位置調整作業、或いは、その他の調整作業を容易に行うことができる。ここで、上記表示手段としては、経路開閉手段の開動作と閉動作をその点灯状態で識別可能とする表示灯であることが望ましい。例えば、開動作時には消灯、閉動作時には点灯するＬＥＤ等の表示灯が挙げられる。   In the present invention, it is preferable to further include display means for displaying an operating state of the route opening / closing means. According to this, since the operation state of the path opening / closing means is displayed by the display means, the position adjustment work by the position adjustment means or other adjustment work can be easily performed while checking the operation state by looking at the display means. Can do. Here, it is desirable that the display means is an indicator lamp that allows the opening / closing operation of the path opening / closing means to be identified by its lighting state. For example, an indicator lamp such as an LED that is turned off during the opening operation and turned on during the closing operation can be used.

本発明において、前記通気経路に対する気体の流入量を調整する気流調整手段をさらに有することが好ましい。これによれば、気流調整手段により通気経路に対する気体の流入量を調整することができることにより、流路切替ユニットの動作態様をさらに詳細に調整することができる。ここで、気流調整手段としては、ニードル弁等の流量調整弁（レギュレータ）等が挙げられる。   In this invention, it is preferable to further have an airflow adjusting means for adjusting the amount of gas flowing into the ventilation path. According to this, since the inflow amount of the gas to the ventilation path can be adjusted by the airflow adjusting means, the operation mode of the flow path switching unit can be adjusted in more detail. Here, examples of the air flow adjusting means include a flow rate adjusting valve (regulator) such as a needle valve.

次に、本発明の吸着保持ユニットは、上記のいずれかに記載の流路切替ユニットに対して、前記中途開口部に連通した分岐経路に臨み、先端に吸引口を備えたノズルをさらに設けてなることを特徴とする。   Next, the suction holding unit of the present invention further includes a nozzle having a suction port at a tip thereof facing the branch path communicating with the midway opening portion with respect to any of the flow path switching units described above. It is characterized by becoming.

この場合に、前記ノズルは前記分岐経路の経路方向に移動可能に取り付けられ、前記ノズルを先端側に付勢する付勢手段をさらに有することが好ましい。   In this case, it is preferable that the nozzle is further attached so as to be movable in the path direction of the branch path, and further includes a biasing unit that biases the nozzle toward the tip side.

また、本発明の気圧作動ユニットは、上記のいずれかに記載の流路切替ユニットに対して、前記中途開口部に連通した分岐経路に臨むシリンダと、該シリンダ内において前記分岐経路の経路方向に移動可能に配置されたピストン部及び該ピストン部に接続され前記シリンダから突出する作動部を有する作動体とをさらに設けてなることを特徴とする。   Further, the pneumatic operation unit according to the present invention includes a cylinder facing a branch path communicating with the midway opening and a path direction of the branch path in the cylinder with respect to any of the flow path switching units described above. It further comprises a piston part movably arranged and an operating body having an operating part connected to the piston part and protruding from the cylinder.

なお、上記各発明において、通気経路は少なくとも前記中途開口部の近傍で直線状に構成されていることが望ましい。これによれば、中途開口部の近傍の通気経路の気体の流通抵抗を低減することができるため、通気経路の開放時における中途開口部からの気体の漏出を低減できる。特に、中途開口部の形成部位における通気経路の経路方向と、中途開口部の開口方向とが直交することがより望ましい。   In each of the above-described inventions, it is desirable that the ventilation path is configured linearly at least in the vicinity of the midway opening. According to this, since the gas flow resistance in the ventilation path in the vicinity of the midway opening can be reduced, leakage of gas from the midway opening when the ventilation path is opened can be reduced. In particular, it is more desirable that the route direction of the ventilation path at the site where the midway opening is formed and the direction of the midway opening be orthogonal to each other.

また、上記動作部の動作方向は、通気経路の端部開口に対して接近・離反する方向であることが望ましい。動作部の動作方向としては、端部開口の開口面と平行な方向とすること（すなわち、端部開口上を動作部がスライドすることによって開閉動作を行うこと）も考えられるが、上記のように構成すると、動作部の駆動力をそのまま通気経路の閉鎖力として利用できるので、気体の放出圧の影響を受けにくくなり、その結果、経路開閉手段の構造を簡易なものとすることができる。   Further, it is desirable that the operating direction of the operating portion is a direction approaching / separating from the end opening of the ventilation path. The direction of movement of the moving part may be a direction parallel to the opening surface of the end opening (that is, the opening / closing operation is performed by sliding the moving part on the end opening). With this configuration, since the driving force of the operating portion can be used as it is as the closing force of the ventilation path, it is less susceptible to the gas discharge pressure, and as a result, the structure of the path opening / closing means can be simplified.

さらに、本発明の部品搬送装置は、上記のいずれかに記載の流路切替ユニットを有し、該流路切替ユニットの前記中途開口部を部品の処理部に接続してなることを特徴とする。これによれば、部品搬送装置の部品搬送経路上に設けられた部品の処理部に接続し、経路開閉手段を動作させることで、流路切替による気体効果を処理部に及ぼすことができるので、部品の排除や部品の吸着保持などの種々の処理を施すことができる。   Furthermore, the component conveying apparatus of the present invention has the flow path switching unit according to any one of the above, and is formed by connecting the midway opening of the flow path switching unit to a processing section of a component. . According to this, by connecting to the part processing unit provided on the part transport path of the part transport device and operating the path opening and closing means, it is possible to exert a gas effect by the flow path switching on the processing unit, Various processes such as removal of parts and adsorption holding of parts can be performed.

［第１実施形態］
以下、本発明の実施の形態を図示例と共に説明する。図１は第１実施形態の流路切替ユニット１０の概略斜視図、図２は同実施形態の概略縦断面図である。本実施形態の流路切替ユニット１０は、本体１１と、この本体１１に接続固定された支持体１２と、支持体１２に接続固定された経路開閉手段１３とを備えている。 [First Embodiment]
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic perspective view of a flow path switching unit 10 according to the first embodiment, and FIG. 2 is a schematic longitudinal sectional view of the same embodiment. The flow path switching unit 10 according to the present embodiment includes a main body 11, a support body 12 connected and fixed to the main body 11, and a path opening / closing means 13 connected and fixed to the support body 12.

本体１１は、導入部材１１Ａと、これに接続された主部材１１Ｂとを有する。導入部材１１Ａは端部に継手１４が接続され、内部には軸孔が構成されている。この軸孔は途中で直角に屈折して主部材１１Ｂの内部に連通している。導入部材１１Ａには流量制御用のニードル弁などで構成される流量調整手段１５が設けられている。なお、本体１１は一体部品で構成されていてもよい。   The main body 11 includes an introduction member 11A and a main member 11B connected to the introduction member 11A. A joint 14 is connected to the end of the introduction member 11A, and a shaft hole is formed inside. The shaft hole is refracted at a right angle in the middle and communicates with the inside of the main member 11B. The introduction member 11A is provided with a flow rate adjusting means 15 composed of a needle valve for flow rate control. In addition, the main body 11 may be comprised with the integral component.

本体１１の内部には、図２に示すように、上記軸孔を含む通気経路１１Ｓが構成されている。この通気経路１１Ｓの導入口１１Ｓａは上記継手１４が接続された部分に設けられ、ここから通気経路１１Ｓは導入部材１１Ａ内を伸び、上記流量調整手段１５による流量調整部で屈折した後、直線状に伸びてそのまま主部材１１Ｂ内に入り、さらに直線状に進み、その終端に端部開口１１Ｓｂが形成されている。   As shown in FIG. 2, a ventilation path 11 </ b> S including the shaft hole is configured inside the main body 11. An introduction port 11Sa of the ventilation path 11S is provided at a portion to which the joint 14 is connected. From here, the ventilation path 11S extends through the introduction member 11A and is refracted by the flow rate adjusting unit by the flow rate adjusting means 15, and then linearly formed. Extends into the main member 11B and proceeds in a straight line, and an end opening 11Sb is formed at the end thereof.

通気経路１１Ｓの途中には、中途開口部１１Ｐが開口している。この中途開口部１１Ｐは、通気経路１１Ｓの直線状に伸びる部分において側方へ開口している。具体的に述べると、主部材１１Ｂの内部には、通気経路１１Ｓと交差（図示例の場合には直交）する分岐経路１１Ｑが設けられ、この分岐経路１１Ｑと通気経路１１Ｓの交差部が上記中途開口部１１Ｐとなっている。そして、分岐経路１１Ｑの出口は継手１６に連通している。   A midway opening 11P is opened in the middle of the ventilation path 11S. The midway opening portion 11P opens to the side at a portion extending linearly of the ventilation path 11S. Specifically, a branch path 11Q that intersects with the ventilation path 11S (orthogonal in the illustrated example) is provided inside the main member 11B, and the intersection of the branch path 11Q and the ventilation path 11S is in the middle of the above. It is an opening 11P. The outlet of the branch path 11Q communicates with the joint 16.

本体１１には、上記支持体１２が固定ねじ１２ｘにより接続固定され、この支持体１２には、固定ねじ１３ｘによりスペーサ１３ｙとの間に上記経路開閉手段１３が接続固定されている。経路開閉手段１３は、金属板等で構成される弾性板の表面に圧電体１３ｃが固着（貼着）された圧電アクチュエータを有し、弾性板の基端には上記支持体１２に接続固定される固定部（固定端）１３ａが設けられ、弾性板の先端には上記端部開口１１Ｓｂに外側から臨む動作部（自由端）１３ｂが設けられている。   The support 12 is connected and fixed to the main body 11 by a fixing screw 12x, and the path opening / closing means 13 is connected and fixed to the support 12 by a fixing screw 13x and a spacer 13y. The path opening / closing means 13 has a piezoelectric actuator in which a piezoelectric body 13c is fixed (adhered) to the surface of an elastic plate made of a metal plate or the like, and is connected and fixed to the support 12 at the base end of the elastic plate. A fixed portion (fixed end) 13a is provided, and an operating portion (free end) 13b facing the end opening 11Sb from the outside is provided at the tip of the elastic plate.

なお、圧電アクチュエータとしては、図示例のように弾性板の表裏両面に圧電体１３ｃが固着されたバイモルフ型構造を有するものに限らず、弾性板の片面のみに圧電体が固着されたユニモルフ型構造を有するものであってもよい。さらに、上記固定部１３ａ及び動作部１３ｂをも一体に備えた圧電体そのもので構成されていてもよい。   The piezoelectric actuator is not limited to the one having a bimorph structure in which the piezoelectric body 13c is fixed to both the front and back surfaces of the elastic plate as shown in the illustrated example, and the unimorph structure in which the piezoelectric material is fixed only to one surface of the elastic plate. It may have. Furthermore, you may be comprised with the piezoelectric material itself which provided the said fixing | fixed part 13a and the action | operation part 13b integrally.

経路開閉手段１３は、外部から供給される制御信号により上記固定部１３ａと動作部１３ｂの間を撓み変形させることができ、これによって固定部１３ａを基準部位として、動作部１３ｂが端部開口１１Ｓｂに対して接近したり離反したりする方向（図示上下方向、以下、単に「動作方向」という。）に移動するように構成されている。動作部１３ｂが端部開口１１Ｓｂに向けて移動すると、端部開口１１Ｓｂの気流放出抵抗が増大し、動作部１３ｂが端部開口１１Ｓｂに当接すると、通気経路１１Ｓは閉鎖される。逆に、動作部１３ｂが端部開口１１Ｓｂから離間すると端部開口１１Ｓｂが開放され、動作部１１Ｓｂが端部開口１１Ｓｂに対して遠ざかるに従って端部開口１１Ｓｂの気流放出抵抗は減少する。   The path opening / closing means 13 can bend and deform between the fixed portion 13a and the operating portion 13b by a control signal supplied from the outside, whereby the operating portion 13b is set to the end opening 11Sb with the fixed portion 13a as a reference portion. It moves to the direction which approaches or leaves | separates with respect to (upward / downward direction in the figure, hereinafter, simply referred to as “operation direction”). When the operating part 13b moves toward the end opening 11Sb, the airflow discharge resistance of the end opening 11Sb increases, and when the operating part 13b contacts the end opening 11Sb, the ventilation path 11S is closed. Conversely, when the operating portion 13b is separated from the end opening 11Sb, the end opening 11Sb is opened, and the airflow discharge resistance of the end opening 11Sb decreases as the operating portion 11Sb moves away from the end opening 11Sb.

動作部１３ｂの端部開口１１Ｓｂ側の表面にはシリコーンゴム等で構成される緩衝材（密閉材、或いはゴム材）１９が固定され、動作部１３ｂと端部開口１１Ｓｂの当接時における損傷の発生を防止し、また、通気経路１１Ｓの完全閉鎖時における動作部１３ｂと端部開口１１Ｓの開口縁との間の密閉性を高めるようになっている。なお、上記緩衝材１９の代わりに、端部開口１１Ｓｂの外縁に環状の緩衝材が固定されていてもよい。   A cushioning material (sealing material or rubber material) 19 made of silicone rubber or the like is fixed to the surface of the operating portion 13b on the end opening 11Sb side, and damage caused when the operating portion 13b and the end opening 11Sb come into contact with each other is fixed. Generation | occurrence | production is prevented and the sealing property between the action | operation part 13b and the opening edge of the edge part opening 11S at the time of complete closure of the ventilation path 11S is improved. Instead of the cushioning material 19, an annular cushioning material may be fixed to the outer edge of the end opening 11Sb.

上記経路開閉手段１３はカバー部材１７によって被覆されている。カバー部材１７は、上記固定ねじ１３ｘとスペーサ１３ｙとの間に挟持された状態で固定され、その結果、経路開閉手段１３とカバー部材１７との間にはスペーサ１７ｙの厚さ分のすき間が形成される。   The path opening / closing means 13 is covered with a cover member 17. The cover member 17 is fixed while being sandwiched between the fixing screw 13x and the spacer 13y. As a result, a gap corresponding to the thickness of the spacer 17y is formed between the path opening / closing means 13 and the cover member 17. Is done.

本体１１には、上記動作部１３ｂの動作方向に貫通するねじ孔１１ｃが設けられ、このねじ孔１１ｃには規制ねじ１８が螺合している。規制ねじ１８は、その下端部を図示下方からドライバー工具等で回転操作することにより、本体１１に対して上記動作方向に進退可能に構成される。そして、規制ねじ１８の上端部を上記支持体１２に当接させることにより、支持体１２を動作方向に規制することができる。すなわち、規制ねじ１８が操作されて上方に移動すると、規制ねじ１８の上端部により支持体１２は上方に弾性変形し、その結果、経路開閉手段１３の固定部１３ａの位置が上方へ移動する。   The main body 11 is provided with a screw hole 11c penetrating in the operating direction of the operating portion 13b, and a regulating screw 18 is screwed into the screw hole 11c. The restriction screw 18 is configured to be able to advance and retreat in the operation direction with respect to the main body 11 by rotating the lower end portion of the restriction screw 18 from below with a driver tool or the like. Then, the support body 12 can be regulated in the operation direction by bringing the upper end portion of the regulation screw 18 into contact with the support body 12. That is, when the restriction screw 18 is operated and moved upward, the support 12 is elastically deformed upward by the upper end portion of the restriction screw 18, and as a result, the position of the fixing portion 13 a of the path opening / closing means 13 moves upward.

ただし、本実施形態の場合、規制ねじ１８により経路開閉手段１３の固定部１３ａ、すなわち基準部位の位置が動作方向に移動するだけではなく、経路開閉手段１３が本体１１と支持体１２の接続固定部位を中心として回動するので、厳密に言えば、経路開閉手段１３の姿勢、すなわち、固定部１３ａから動作部１３ｂに向かう方向も変化させることができるようになっている。   However, in the case of the present embodiment, not only the position of the fixing portion 13a of the path opening / closing means 13, that is, the reference portion, is moved in the operation direction by the restriction screw 18, but the path opening / closing means 13 fixes the connection between the main body 11 and the support body 12. Strictly speaking, the position of the path opening / closing means 13, that is, the direction from the fixed portion 13a to the operating portion 13b can be changed.

カバー部材１７には開口１７ａが設けられ、この開口１７ａを通して経路開閉手段１３の動作状態が表示される表示手段ＤＰが視認できるように構成されている。図示例の場合、表示手段ＤＰはＬＥＤ（発光ダイオード）などの表示灯であり、経路開閉手段１３である圧電アクチュエータの駆動電圧の有・無、或いは、駆動電圧の正・負に応じて点灯・消灯するように構成されている。すなわち、表示手段ＤＰは、経路開閉手段１３の開放動作時と閉鎖動作時とを識別できる態様で、その動作状態を表示する。   The cover member 17 is provided with an opening 17a, and the display means DP on which the operation state of the path opening / closing means 13 is displayed can be seen through the opening 17a. In the case of the illustrated example, the display means DP is an indicator lamp such as an LED (light emitting diode), and is turned on / off according to the presence / absence of the drive voltage of the piezoelectric actuator as the path opening / closing means 13 or the positive / negative of the drive voltage. It is configured to turn off. That is, the display means DP displays the operation state in a manner that can distinguish between the opening operation time and the closing operation time of the path opening / closing means 13.

以上説明した本実施形態では、継手１４を図示しない給気系に接続することにより、気体（圧縮空気）を導入口１１Ｓａから通気経路１１Ｓ内に導入すると、経路開閉手段１３により通気経路１１Ｓが閉鎖されていない場合、気体は通気経路１１Ｓを通って端部開口１１Ｓｂから放出される。このとき、中途開口部１１Ｐは通気経路１１Ｓの直線状に伸びる部分の側面に設けられているので、通気経路１１Ｓの端部開口１１Ｓｂの気流放出抵抗と、中途開口部１１Ｐの外側（分岐経路１１Ｑ）の外部圧力との関係で、中途開口部１１Ｐを通して分岐経路１１Ｑに流れる気体の流量が決定される。上記の気流放出抵抗が充分に低く、上記の外部圧力が充分に高い場合、中途開口部１１Ｐからは気体が流出しない。なお、このときの気流放出抵抗や外部圧力は、通気経路１１Ｓへの気体の流入量によっても変化する。   In the present embodiment described above, when the joint 14 is connected to an air supply system (not shown), when the gas (compressed air) is introduced into the ventilation path 11S from the introduction port 11Sa, the ventilation opening / closing means 13 closes the ventilation path 11S. If not, the gas is released from the end opening 11Sb through the ventilation path 11S. At this time, since the midway opening 11P is provided on the side surface of the linearly extending portion of the ventilation path 11S, the airflow discharge resistance of the end opening 11Sb of the ventilation path 11S and the outside of the midway opening 11P (the branch path 11Q). ), The flow rate of the gas flowing into the branch path 11Q through the midway opening 11P is determined. When the airflow discharge resistance is sufficiently low and the external pressure is sufficiently high, no gas flows out from the midway opening 11P. Note that the airflow discharge resistance and the external pressure at this time also vary depending on the amount of gas flowing into the ventilation path 11S.

一方、経路開閉手段１３の動作部１３ｂにより端部開口１１Ｓｂを閉鎖すると、通気経路１１Ｓに導入された気体は中途開口部１１Ｐを通って分岐経路１１Ｑに流れる。例えば、継手１６を用いて外部機器に接続した場合には、気体は分岐経路１１Ｑから外部機器へと供給される。   On the other hand, when the end opening 11Sb is closed by the operating portion 13b of the path opening / closing means 13, the gas introduced into the ventilation path 11S flows through the midway opening 11P to the branch path 11Q. For example, when the joint 16 is used to connect to an external device, the gas is supplied from the branch path 11Q to the external device.

本実施形態において、経路開閉手段１３の動作部１３ｂが端部開口１１Ｓｂを完全に閉鎖していない場合、動作部１３ｂが動作方向に移動すると、動作部１３ｂと端部開口１１Ｓｂの距離に応じて端部開口１１Ｓｂの気流放出抵抗が増減し、この増減に応じて中途開口部１１Ｐを介した分岐経路への気体の流出量も増減する。すなわち、動作部１３ｂが端部開口１１Ｓｂに接近するに従って、気流放出抵抗が増大し、中途開口部１１Ｐを通した流出量が増大する。逆に、動作部１３ｂが端部開口１１Ｓｂから離間するに従って、気流放出抵抗が減少し、中途開口部１１Ｐを通した流出量が減少する。   In the present embodiment, when the operation part 13b of the path opening / closing means 13 does not completely close the end opening 11Sb, when the operation part 13b moves in the operation direction, the operation part 13b moves in the operation direction according to the distance between the operation part 13b and the end opening 11Sb. The airflow discharge resistance of the end opening 11Sb increases / decreases, and the gas outflow amount to the branch path via the midway opening 11P also increases / decreases according to the increase / decrease. That is, as the operating portion 13b approaches the end opening 11Sb, the airflow discharge resistance increases, and the amount of outflow through the midway opening 11P increases. Conversely, as the operating portion 13b moves away from the end opening 11Sb, the airflow discharge resistance decreases, and the outflow amount through the midway opening portion 11P decreases.

本実施形態の流路切替ユニット１０は、経路開閉手段１３を動作させることによって気体の流路を切り替える切替弁、或いは、分岐経路へ気体を供給・停止することができる開閉弁としての機能を有する。この場合、上述のように、通気経路１１Ｓが閉鎖されていない状態では、気体の流入量や、端部開口１１Ｓｂと動作部１３ｂの距離に関係する気流放出抵抗によって中途開口部１１Ｐからの気体の漏出量が変化する。このとき、気体の流入量は上記の流量調整手段１５によって調整できるが、これにより通気経路の閉鎖時における分岐経路１１Ｑへ供給される気体の流出量も変化するので、一般的には自由に調整することは難しい。また、経路開閉手段１３の動作ストロークを調整することによって気流放出抵抗を調整することも可能であるが、この場合には、経路開閉手段１３の駆動電圧を変える必要があるため、制御部の複雑化を招きやすく、また、圧電体の駆動特性にも関連するので調整が困難である。さらに、本体１１に対する経路開閉手段１３の取付位置次第では、上記動作ストロークを有効に利用できない場合が生ずる。   The flow path switching unit 10 of the present embodiment has a function as a switching valve that switches a gas flow path by operating the path opening / closing means 13 or an open / close valve that can supply and stop gas to the branch path. . In this case, as described above, in the state where the ventilation path 11S is not closed, the amount of gas from the midway opening 11P depends on the amount of inflow of gas and the airflow discharge resistance related to the distance between the end opening 11Sb and the operating portion 13b. The amount of leakage changes. At this time, the inflow amount of the gas can be adjusted by the flow rate adjusting means 15, but this also changes the outflow amount of the gas supplied to the branch path 11 </ b> Q when the ventilation path is closed. Difficult to do. It is also possible to adjust the airflow discharge resistance by adjusting the operation stroke of the path opening / closing means 13, but in this case, it is necessary to change the driving voltage of the path opening / closing means 13, so that the control section is complicated. It is difficult to make adjustment because it is related to the driving characteristics of the piezoelectric body. Furthermore, depending on the attachment position of the path opening / closing means 13 with respect to the main body 11, the operation stroke may not be used effectively.

そこで、本実施形態では、経路開閉手段１３の固定部１３ａ、すなわち基準部位の位置を動作方向に位置調整手段で調整することで、通気経路１１Ｑの形成された本体１１と経路開閉手段１３との位置関係を適宜に設定できるようにしている。このようにすると、端部開口１１Ｓｂに対する動作部１３ｂの位置を調整することができるので、動作部１３ｂと端部開口１１Ｓｂとの間のクリアランスを調整し、通気経路１１Ｓの閉鎖状態や開放状態を最適化できる。本実施形態の位置調整手段では、動作部１３ｂの動作の基準となる基準部位（固定部１３ａ）の位置を調整することにより、上記の開閉状態の調整を可能としている。   Therefore, in the present embodiment, the position of the fixing portion 13a of the path opening / closing means 13, that is, the reference portion is adjusted by the position adjusting means in the operation direction, whereby the main body 11 in which the ventilation path 11Q is formed and the path opening / closing means 13 are adjusted. The positional relationship can be set appropriately. In this way, the position of the operating portion 13b with respect to the end opening 11Sb can be adjusted. Therefore, the clearance between the operating portion 13b and the end opening 11Sb is adjusted, and the closed state and the open state of the ventilation path 11S are adjusted. Can be optimized. In the position adjusting means of the present embodiment, the above open / closed state can be adjusted by adjusting the position of the reference portion (fixed portion 13a) that is the reference for the operation of the operating portion 13b.

本実施形態では、規制ねじ１８を回転操作すると支持体１２が弾性変形し、その結果、固定部１３ａの位置が動作部１３ｂの動作方向に移動する。したがって、支持体１２と規制ねじ１８の当接状態が支持体１２の弾性力によって常に保持され、経路開閉手段１３の固定部１３ａが安定的に位置決めされる。特に、支持体１２が弾性変形している限りガタは発生しないため、微小な調整量でも確実に調整でき、また、きわめて高い調整精度を得ることができる。   In the present embodiment, when the regulating screw 18 is rotated, the support 12 is elastically deformed, and as a result, the position of the fixed portion 13a moves in the operating direction of the operating portion 13b. Therefore, the contact state of the support body 12 and the regulating screw 18 is always held by the elastic force of the support body 12, and the fixing portion 13a of the path opening / closing means 13 is stably positioned. In particular, as long as the support 12 is elastically deformed, no play is generated, so even a minute adjustment amount can be adjusted reliably, and extremely high adjustment accuracy can be obtained.

また、規制ねじ１８による規制力で支持体１２を弾性変形させることにより固定部１３ａの位置を設定しているので、固定部１３ａに対する複雑な位置決め手段が不要となり、位置調整手段をきわめて簡単な構造で構成できる。そして、このような簡単な構成で経路開閉手段１３の位置調整が可能となるので、製造コストの増加を防止でき、また、ユニットの小型化を妨げることもない。   Further, since the position of the fixing portion 13a is set by elastically deforming the support body 12 with a restriction force by the restriction screw 18, no complicated positioning means for the fixing portion 13a is required, and the position adjusting means has a very simple structure. Can be configured. Since the position of the path opening / closing means 13 can be adjusted with such a simple configuration, the manufacturing cost can be prevented from increasing, and the size reduction of the unit is not hindered.

さらに、本実施形態の場合、支持体１２が本体１１に対して片持ばり状に接続固定され、支持体１２の本体１１に対する支点が固定部１３ａに対して動作部１３ｂとは反対側に配置されているので、支持体１２の弾性変形によって経路開閉手段１３が上記支点を中心に回動し、これによって、固定部１３ａの動作方向の移動量よりも、動作部１３ｂの動作方向の移動量の方が大きくなるように構成されている。したがって、規制ねじ１８による支持体１２の弾性変形量が微小であっても動作部１３ｂの位置を大きく変化させることが可能である。   Further, in the case of the present embodiment, the support 12 is connected and fixed to the main body 11 in a cantilever manner, and the fulcrum of the support 12 with respect to the main body 11 is disposed on the opposite side of the operation portion 13b with respect to the fixed portion 13a. Therefore, the path opening / closing means 13 is rotated around the fulcrum by the elastic deformation of the support 12, and thereby the movement amount of the operation unit 13 b in the operation direction is larger than the movement amount of the fixing unit 13 a in the operation direction. Is configured to be larger. Therefore, even if the amount of elastic deformation of the support 12 by the regulating screw 18 is very small, the position of the operating portion 13b can be changed greatly.

本実施形態の経路開閉手段１３においては、例えば、圧電アクチュエータに正電圧（例えば＋６０Ｖ）を印加すると、弾性板が図示下方に撓んで動作部１３ｂが端部開口１１Ｓｂを閉鎖し、負電圧（例えば−６０Ｖ）を印加すると、弾性板が図示上方に撓んで動作部１３ｂが端部開口１１Ｓｂから離間するように設定することができる。そして、上記正電圧と負電圧を切り替えて経路開閉手段１３をオンオフ制御する。このようにすると、圧電アクチュエータの動作ストロークを最も有効に利用できる。なお、上記の正電圧と負電圧の符号関係は逆でも構わない。すなわち、負電圧を印加すると閉鎖し、正電圧を印加したときに開放してもよい。要は、閉鎖時と開放時の印加電圧の符号が逆となっていればよい。   In the path opening / closing means 13 of the present embodiment, for example, when a positive voltage (for example, +60 V) is applied to the piezoelectric actuator, the elastic plate bends downward in the drawing, and the operating portion 13b closes the end opening 11Sb, and a negative voltage (for example, When −60 V) is applied, the elastic plate can be set to be bent upward in the drawing so that the operating portion 13b is separated from the end opening 11Sb. Then, the path opening / closing means 13 is on / off controlled by switching between the positive voltage and the negative voltage. In this way, the operation stroke of the piezoelectric actuator can be used most effectively. The sign relationship between the positive voltage and the negative voltage may be reversed. That is, it may be closed when a negative voltage is applied and may be opened when a positive voltage is applied. The point is that the sign of the applied voltage at the time of closing and opening may be reversed.

上記のように設定した場合の調整方法は例えば以下の通りである。まず、上記の流量調整手段１５によって気体の流量を供給先（継手１６を接続する側）において必要な流量に設定する。次に、上記の位置調整手段を用いて、すなわち、規制ねじ１８を操作することにより、経路開閉手段１３に上記の正電圧を印加したときに動作部１３ｂが端部開口１１Ｓｂを完全に閉鎖し、分岐経路１１Ｑへ流れる流量が導入流量と等しくなるように設定するとともに、上記の負電圧を印加したときに動作部１３ｂが端部開口１１Ｓｂから充分に離間して、分岐経路１１Ｑへ流れる流量が０となるように設定する。   For example, the adjustment method when set as described above is as follows. First, the gas flow rate is set to a necessary flow rate at the supply destination (side to which the joint 16 is connected) by the flow rate adjusting means 15. Next, when the positive voltage is applied to the path opening / closing means 13, the operating part 13b completely closes the end opening 11Sb by using the position adjusting means, that is, by operating the regulating screw 18. The flow rate flowing to the branch path 11Q is set so that the flow rate flowing to the branch path 11Q becomes equal to the introduction flow rate, and when the negative voltage is applied, the operation unit 13b is sufficiently separated from the end opening 11Sb. Set to 0.

このとき、上記の表示手段ＤＰは、その点灯の有無によって経路開閉手段１３の動作状態が閉動作と開動作のいずれであるかを知ることができるように構成され、上記の場合には、例えば、正電圧が印加されているときは点灯し、負電圧が印加されているときは消灯する。これによって経路開閉手段１３による通気経路１１Ｓの開閉動作状態を簡単に知ることができるため、表示手段ＤＰを見ながら気体の流通状態を確認することにより、きわめて容易に上記の調整作業を行なうことができる。つまり、表示手段ＤＰが点灯しているときは通気経路１１Ｓが閉鎖されているはずであり、表示手段ＤＰが消灯しているときは通気経路１１Ｓが開放されているはずであるので、例えば、表示手段ＤＰの表示態様を見ながら、実際の分岐経路１１Ｑへ流れる気体の流量や圧力等を確認することができる。   At this time, the display means DP is configured to be able to know whether the operation state of the path opening / closing means 13 is a closing operation or an opening operation based on the presence or absence of lighting thereof. It is turned on when a positive voltage is applied, and turned off when a negative voltage is applied. As a result, since the opening / closing operation state of the ventilation path 11S by the path opening / closing means 13 can be easily known, the above adjustment work can be performed very easily by checking the gas circulation state while viewing the display means DP. it can. That is, when the display means DP is lit, the ventilation path 11S should be closed, and when the display means DP is off, the ventilation path 11S should be open. While viewing the display mode of the means DP, the flow rate and pressure of the gas flowing to the actual branch path 11Q can be confirmed.

実際には、動作ストロークが充分に確保されていれば、正電圧が印加されている状態で完全な閉鎖状態（すなわち分岐経路１１Ｑの流量が導入される流量と等しい状態）が得られる位置調整範囲を或る程度広く確保することができるため、この位置調整範囲内において、負電圧が印加されたときに分岐経路１１Ｑの流量が０となる位置、すなわち、分岐経路１１Ｑが正圧にも負圧にもならない位置を発見すればよい。   Actually, if the operation stroke is sufficiently secured, a position adjustment range in which a complete closed state (that is, a state where the flow rate of the branch path 11Q is equal to the flow rate introduced) can be obtained with a positive voltage applied. In this position adjustment range, when the negative voltage is applied, the position where the flow rate of the branch path 11Q becomes 0, that is, the branch path 11Q has a positive pressure and a negative pressure. You just have to find a position that doesn't.

本実施形態では、上記の位置調整手段を設けることによって、経路開閉手段１３による流路切替態様の調整・最適化をきわめて容易に実施できる。特に、流路切替ユニット１０は、本来的にタイムラグの発生しやすいエア制御系やエア駆動系において、常にエアを流し続け、エアの滞留をなくすことで、エアの供給速度やエア圧力の伝達速度に関連する応答速度の高速化を図ることができるという効果を有するものであり、このような高速応答性の代償として微妙で繊細なセッティングを要求するが、本実施形態では、上記の調整作業の容易化により、当該ユニットの効果を充分に引き出すことが可能になる。   In the present embodiment, by providing the position adjusting means, it is possible to adjust and optimize the flow path switching mode by the path opening / closing means 13 very easily. In particular, in the air control system and the air drive system, in which the time lag is inherently likely to occur, the flow path switching unit 10 always keeps the air flowing and eliminates the retention of the air, so that the air supply speed and the air pressure transmission speed. It is possible to increase the response speed related to the above, and a delicate and delicate setting is required as a compensation for such a high-speed response. The simplification makes it possible to fully bring out the effect of the unit.

また、上記位置調整手段はきわめて簡易に構成できるため、製造コストの上昇を抑制することができるとともに、ユニットの小型化を妨げないという利点がある。特に、本実施形態には、経路開閉手段の駆動機構として圧電アクチュエータを用いることによりユニットの小型化が容易であるという利点があるので、位置調整手段を簡易に構成することは極めて重要である。   Further, since the position adjusting means can be configured very simply, there is an advantage that an increase in manufacturing cost can be suppressed and miniaturization of the unit is not hindered. In particular, since the present embodiment has an advantage that the size of the unit can be easily reduced by using a piezoelectric actuator as a drive mechanism of the path opening / closing means, it is extremely important to simply configure the position adjusting means.

なお、本実施形態の流路切替ユニット１０は、気体の導入量や端部開口１１Ｓｂの気流放出抵抗を調整することにより、中途開口部１１Ｐの先の分岐経路１１Ｑに負圧を発生させ、経路開閉手段１３によって分岐経路１１Ｑにおける負圧と正圧の切替動作を行うことも可能である。   In addition, the flow path switching unit 10 of the present embodiment generates a negative pressure in the branch path 11Q ahead of the midway opening 11P by adjusting the amount of gas introduced and the airflow discharge resistance of the end opening 11Sb. It is also possible to perform the switching operation between the negative pressure and the positive pressure in the branch path 11Q by the opening / closing means 13.

また、本実施形態の流路切替ユニット１０では、上記通気経路１１Ｓの導入側を図示しない真空排気装置に接続することで、中途開口部１１Ｐを介して分岐経路１１Ｑ内に負圧を誘導し、経路開閉手段１３を動作させることにより、分岐経路１１Ｑ内の負圧の有無若しくは負圧の強弱を切り替えることも可能である。すなわち、経路開閉手段１３により端部開口１１Ｓｂを閉鎖すると、真空排気装置による減圧作用を中途開口部１１Ｐを介して分岐経路１１Ｑに及ぼし、分岐経路１１Ｑを排気経路とすることができる。また、端部開口１１Ｓｂを開放すると、端部開口１１Ｓｂから空気が流入して通気経路１１Ｓに沿って流れるので、中途開口部１１Ｐを介して分岐経路１１Ｑの負圧を低下させることができる。   Further, in the flow path switching unit 10 of the present embodiment, the negative pressure is induced in the branch path 11Q via the midway opening 11P by connecting the introduction side of the ventilation path 11S to a vacuum exhaust device (not shown), By operating the path opening / closing means 13, it is possible to switch the presence or absence of the negative pressure in the branch path 11Q or the strength of the negative pressure. That is, when the end opening 11Sb is closed by the path opening / closing means 13, the pressure reducing action by the vacuum exhaust device is exerted on the branch path 11Q via the midway opening 11P, and the branch path 11Q can be used as the exhaust path. Further, when the end opening 11Sb is opened, air flows from the end opening 11Sb and flows along the ventilation path 11S, so that the negative pressure of the branch path 11Q can be reduced through the midway opening 11P.

［第２実施形態］
次に、本発明に係る第２実施形態の吸着保持ユニット２０について説明する。この吸着保持ユニット２０は、上記第１実施形態の流路切替ユニット１０と同様の主部材２１Ｂ、ねじ孔２１ｃ、支持体２２、固定ねじ２２ｘ、経路開閉手段２３、固定部２３ａ、動作部２３ｂ、圧電体２３ｃ、固定ねじ２３ｘ、スペーサ２３ｙ、カバー部材２７、開口２７ａ、表示手段ＤＰ、規制ねじ２８、及び、緩衝材２９を備えているので、これらの説明は省略する。 [Second Embodiment]
Next, the suction holding unit 20 according to the second embodiment of the present invention will be described. The suction holding unit 20 includes a main member 21B, a screw hole 21c, a support 22, a fixing screw 22x, a path opening / closing means 23, a fixing portion 23a, an operating portion 23b, similar to the flow path switching unit 10 of the first embodiment. Since the piezoelectric body 23c, the fixing screw 23x, the spacer 23y, the cover member 27, the opening 27a, the display means DP, the regulating screw 28, and the buffer material 29 are provided, description thereof will be omitted.

本実施形態には、導入部材２１Ａ及び主部材２１Ｂに直線状の通気経路２１Ｓが形成され、この通気経路２１Ｓには導入口２１Ｓａ及び端部開口２１Ｓｂが設けられている。また、通気経路２１Ｓの途中には中途開口部２１Ｐが設けられている。通気経路２１Ｓが全体的に直線状に構成されている点を除けば、端部開口２１Ｓｂや中途開口部２１Ｐの通気経路２１Ｓに対する形成位置及び方向は第１実施形態と同様である。   In the present embodiment, a linear ventilation path 21S is formed in the introduction member 21A and the main member 21B, and an introduction port 21Sa and an end opening 21Sb are provided in the ventilation path 21S. A midway opening 21P is provided in the middle of the ventilation path 21S. Except for the point that the ventilation path 21S is entirely linear, the formation position and direction of the end opening 21Sb and the midway opening 21P with respect to the ventilation path 21S are the same as in the first embodiment.

また、本実施形態の本体２１には、中途開口部２１Ｐの外側に中途開口部２１Ｐに連通する軸孔を備えた連結部材２１Ｄが接続され、この連結部材２１Ｄはさらに連結部材２１Ｄの軸孔に連通する軸孔を備えたガイド部材２１Ｅに接続されている。ガイド部材２１Ｅの軸孔にはノズル２６Ａの基部が軸線方向に摺動可能に挿入されている。ノズル２６Ａはガイド部材２１Ｅの軸孔に連通する軸孔を有し、ノズル２６Ａの先端はガイド部材２１Ｅから突出している。ノズル２６Ａは所定範囲内でガイド部材２１Ｅに対して出没自在に構成されているが、ノズル２６Ａの基部がガイド部材２１Ｅの内部の段差部に係合することにより、ガイド部材２１Ｅから抜け出ないように構成されている。   Further, a connecting member 21D having a shaft hole communicating with the midway opening 21P is connected to the main body 21 of the present embodiment on the outside of the midway opening 21P. The connecting member 21D is further connected to the shaft hole of the connecting member 21D. It is connected to a guide member 21E provided with a communicating shaft hole. The base portion of the nozzle 26A is inserted into the shaft hole of the guide member 21E so as to be slidable in the axial direction. The nozzle 26A has a shaft hole communicating with the shaft hole of the guide member 21E, and the tip of the nozzle 26A projects from the guide member 21E. The nozzle 26A is configured so as to be able to protrude and retract with respect to the guide member 21E within a predetermined range, but the base portion of the nozzle 26A is engaged with the stepped portion inside the guide member 21E so that it does not escape from the guide member 21E. It is configured.

ノズル２６Ａには長孔状のガイド孔２６ｘが形成され、このガイド孔２６ｘにガイド部材２１Ｅに固定されたガイドピン２６Ｂが挿通されることによって、ノズル２６Ａがガイド部材２１Ｅに対して軸線周りに回転しないように規制されている。また、ガイド部材２１Ｅの内部において、上記連結部材２１Ｄとノズル２６Ａとの間には弾性部材２６Ｃが介挿されている。この弾性部材２６Ｃは、ノズル２６Ａを常にガイド部材２１Ｅから突出する方向に付勢している。弾性部材２６Ｃは図示例の場合、コイルばねとなっている。   An elongated guide hole 26x is formed in the nozzle 26A, and a guide pin 26B fixed to the guide member 21E is inserted into the guide hole 26x, whereby the nozzle 26A rotates about the axis with respect to the guide member 21E. It is regulated not to. An elastic member 26C is interposed between the connecting member 21D and the nozzle 26A inside the guide member 21E. The elastic member 26C always urges the nozzle 26A in a direction protruding from the guide member 21E. In the illustrated example, the elastic member 26C is a coil spring.

上記の連結部材２１Ｄ、ガイド部材２１Ｅ及びノズル２６Ａの軸孔は分岐経路２１Ｑを構成し、中途開口部２１Ｐを介して上記通気経路２１Ｓに連通している。すなわち、ノズル２６Ａは分岐経路２１Ｑに臨むように構成されている。そして、この分岐経路２１Ｑは、ノズル２６Ａの先端に設けられた吸引口２６ｙにて外部に開口している。   The shaft holes of the connecting member 21D, the guide member 21E, and the nozzle 26A constitute a branch path 21Q and communicate with the vent path 21S through a midway opening 21P. That is, the nozzle 26A is configured to face the branch path 21Q. The branch path 21Q opens to the outside through a suction port 26y provided at the tip of the nozzle 26A.

以上のように構成された本実施形態の吸着保持ユニット２０は、基本的に上記第１実施形態の流路切替ユニット１０と同様の構成により同様の作用効果を奏するので、これらについては説明を省略する。ただし、この吸着保持ユニット２０では、経路開閉手段２３により通気経路２１Ｓが開放されたときにノズル２６Ａの吸引口２６ｙに図示しないワークを吸着保持することができ、また、通気経路２１Ｓが閉鎖されたときに吸着保持された図示しないワークをノズル２６Ａの吸引口２６ｙから離間させることができる。   The suction holding unit 20 of the present embodiment configured as described above basically has the same function and effect as the flow path switching unit 10 of the first embodiment, and therefore the description thereof is omitted. To do. However, in this suction holding unit 20, when the ventilation path 21S is opened by the path opening / closing means 23, a workpiece (not shown) can be sucked and held in the suction port 26y of the nozzle 26A, and the ventilation path 21S is closed. The workpiece (not shown) that is sometimes attracted and held can be separated from the suction port 26y of the nozzle 26A.

より詳しく説明すると、本実施形態の場合、経路開閉手段２３の動作部２３ｂが端部開口２１Ｓｂから離間して通気経路２１Ｓが開放された状態では、導入口２１Ｓａから流入した気体が通気経路２１Ｓに流通することによって中途開口部２１Ｐを介して分岐経路２１Ｑ内に負圧が発生し、これによってノズル２６Ａによってワーク等を吸着保持できるようになっている。上記の負圧は、導入口２１Ｓａから導入される気体の流入量を充分に大きくするとともに、動作部２３ｂと端部開口２１Ｓｂとの距離によって決定される気流放出抵抗を充分に低くすることによって発生する。すなわち、上記第１実施形態の流路切替ユニット１０では、通気経路１１Ｓが開放されている状態で分岐経路１１Ｑへ流体が流れないように調整しているが、本実施形態では、通気経路２１Ｓが開放されている状態で分岐経路２１Ｑが負圧になるように、動作部２３ｂと端部開口２１Ｓｂの距離を大きくすることにより、通気経路２１Ｓ内の気体の流速を高くし、或いは、端部開口２１Ｓｂの気流放出抵抗を低くしている。   More specifically, in the case of the present embodiment, in a state where the operating portion 23b of the path opening / closing means 23 is separated from the end opening 21Sb and the ventilation path 21S is opened, the gas flowing in from the inlet 21Sa enters the ventilation path 21S. By circulating, a negative pressure is generated in the branch path 21Q via the midway opening 21P, and thereby, the work and the like can be sucked and held by the nozzle 26A. The negative pressure is generated by sufficiently increasing the inflow amount of the gas introduced from the introduction port 21Sa and sufficiently reducing the airflow discharge resistance determined by the distance between the operating portion 23b and the end opening 21Sb. To do. That is, in the flow path switching unit 10 of the first embodiment, adjustment is made so that fluid does not flow to the branch path 11Q in a state where the ventilation path 11S is open. However, in this embodiment, the ventilation path 21S Increasing the distance between the operating portion 23b and the end opening 21Sb so that the branch path 21Q has a negative pressure in the open state increases the flow velocity of the gas in the ventilation path 21S or opens the end opening. The airflow discharge resistance of 21Sb is lowered.

本実施形態の調整作業は、第１実施形態と同様に制御信号が供給されるとすると、負電圧を印加したときに分岐経路２１Ｑの圧力が最も低くなる（負圧が最大になる）ように、また、正電圧を印加したときに端部開口２１Ｓｂが完全に閉鎖されるように、規制ねじ１８を調整する。その後、制御部の制御信号の正電圧を低下させ、後述する真空破壊のためのエア量を最適な値に設定する。これによって、当該エア量を小さくすると、圧電アクチュエータに正電圧が印加されたときでも、通気経路２１Ｓの端部開口２１Ｓｂが完全に閉鎖されない状況になる。   In the adjustment work of this embodiment, assuming that a control signal is supplied as in the first embodiment, the pressure of the branch path 21Q becomes the lowest (the negative pressure is maximized) when a negative voltage is applied. Further, the regulation screw 18 is adjusted so that the end opening 21Sb is completely closed when a positive voltage is applied. Thereafter, the positive voltage of the control signal of the control unit is lowered, and an air amount for vacuum break described later is set to an optimum value. Accordingly, when the air amount is reduced, the end opening 21Sb of the ventilation path 21S is not completely closed even when a positive voltage is applied to the piezoelectric actuator.

本実施形態では、ノズル２６Ａの吸引口２６ｙに図示しないワークが吸着されると、吸引口２６ｙが閉鎖されることによって分岐経路２１Ｑの内圧と外圧との間に差圧が発生し、この差圧によってノズル２６Ａがワークを保持する保持力が生ずる。   In this embodiment, when a workpiece (not shown) is adsorbed to the suction port 26y of the nozzle 26A, the suction port 26y is closed to generate a differential pressure between the internal pressure and the external pressure of the branch path 21Q. As a result, a holding force for holding the workpiece by the nozzle 26A is generated.

ここで、上記の弾性部材２６Ｃは、ノズル２６Ａとワークが接触したときの衝撃を吸収するとともに、ワークを別の場所へ載置したときの衝撃を吸収する。したがって、本実施形態の吸着保持ユニット２０は、ハンドリング装置のワーク把持部として用いることができる。   Here, the elastic member 26 </ b> C absorbs an impact when the nozzle 26 </ b> A comes into contact with the work and also absorbs an impact when the work is placed on another place. Therefore, the suction holding unit 20 of the present embodiment can be used as a workpiece gripping part of the handling device.

また、経路開閉手段２３で通気経路２１Ｓを閉鎖したときには、分岐経路２１Ｑ内の圧力が上昇するため、ノズル２６Ａのワーク吸着力を解除することができる。このときのワークの離反力（真空破壊圧力）の適正値はワークの大きさなどによって変化する。例えば、小さく軽いワークを把持する場合には、ワークに損傷を与えないように真空破壊のための上記エア量を小さくする。   Further, when the ventilation path 21S is closed by the path opening / closing means 23, the pressure in the branch path 21Q rises, so that the work suction force of the nozzle 26A can be released. The appropriate value of the workpiece separation force (vacuum breaking pressure) at this time varies depending on the size of the workpiece. For example, when gripping a small and light workpiece, the amount of air for breaking the vacuum is reduced so as not to damage the workpiece.

［第３実施形態］
次に、本発明に係る第３実施形態の気圧作動ユニット３０について説明する。この気圧作動ユニット３０は、上記第１実施形態の流路切替ユニット１０と同様の主部材３１Ｂ、ねじ孔３１ｃ、支持体３２、固定ねじ３２ｘ、経路開閉手段３３、固定部３３ａ、動作部３３ｂ、圧電体３３ｃ、固定ねじ３３ｘ、スペーサ３３ｙ、カバー部材３７、開口３７ａ、表示手段ＤＰ、規制ねじ３８、及び、緩衝材３９を備えているので、これらの説明は省略する。 [Third Embodiment]
Next, the air pressure operation unit 30 according to the third embodiment of the present invention will be described. This atmospheric pressure operation unit 30 includes a main member 31B, a screw hole 31c, a support 32, a fixing screw 32x, a path opening / closing means 33, a fixing portion 33a, an operating portion 33b, similar to the flow path switching unit 10 of the first embodiment. Since the piezoelectric body 33c, the fixing screw 33x, the spacer 33y, the cover member 37, the opening 37a, the display means DP, the regulating screw 38, and the buffer material 39 are provided, description thereof will be omitted.

本実施形態には、導入部材３１Ａ及び主部材３１Ｂに直線状の通気経路３１Ｓが形成され、この通気経路３１Ｓには導入口３１Ｓａ及び端部開口３１Ｓｂが設けられている。また、通気経路３１Ｓの途中には中途開口部３１Ｐが設けられている。これらの構成は、基本的に上記第２実施形態の構成と同一である。   In the present embodiment, a linear ventilation path 31S is formed in the introduction member 31A and the main member 31B, and an introduction port 31Sa and an end opening 31Sb are provided in the ventilation path 31S. A midway opening 31P is provided in the middle of the ventilation path 31S. These configurations are basically the same as those of the second embodiment.

本実施形態では、本体３１の中途開口部３１Ｐの外側に中途開口部３１Ｐに連通する軸孔を備えた連結部材３６Ｃが接続され、この連結部材３６Ｃの内部に、ピストン部材３６Ａが摺動可能に挿入され、このピストン部材３６Ａの内部に作動部材３６Ｂが固定されている。作動部材３６Ｂの先端はピストン部材３６Ａの前方に突き出している。シリンダ３６Ａの内部には作動体３６Ｂが軸線方向に摺動可能に挿入されている。   In the present embodiment, a connecting member 36C having a shaft hole communicating with the midway opening 31P is connected to the outside of the midway opening 31P of the main body 31, and the piston member 36A is slidable inside the connecting member 36C. The operating member 36B is fixed inside the piston member 36A. The tip of the operating member 36B protrudes forward of the piston member 36A. An operating body 36B is inserted into the cylinder 36A so as to be slidable in the axial direction.

また、連結部材３６Ｃにはガイド部材３６Ｄ及び止めナット３６Ｅが螺合により取り付けられている。ここで、連結部材３６Ｃ及びガイド部材３６Ｄはシリンダを構成し、この内部に、上記ピストン部材３６Ａ及び作動部材３６Ｂで構成される作動体が軸線方向に摺動可能に配置されている。作動部材３６Ｂの先端はガイド部材３６Ｃの先端のガイド孔３６ｄを通過して前方へ突出している。   A guide member 36D and a lock nut 36E are attached to the connecting member 36C by screwing. Here, the connecting member 36C and the guide member 36D constitute a cylinder, and an operating body composed of the piston member 36A and the operating member 36B is disposed therein so as to be slidable in the axial direction. The distal end of the operating member 36B passes through the guide hole 36d at the distal end of the guide member 36C and protrudes forward.

ガイド部材３６Ｄにはピストン部材３６Ａに対して軸線方向前方から係合する段差面３６ｅを備え、ガイド部材３６Ｄの連結部材３６Ｃに対する螺合深さを調整して段差面３６ｅの位置を変えることにより、ピストン部材３６Ａの軸線方向前方の移動限界を調整することができるようになっている。このとき、止めナット３６Ｅは、連結部材３６Ｃに対してガイド部材３６Ｄを任意の位置で固定する機能を有している。   The guide member 36D includes a step surface 36e that engages with the piston member 36A from the front in the axial direction. By adjusting the screwing depth of the guide member 36D with respect to the connecting member 36C, the position of the step surface 36e is changed. The movement limit in the axial direction of the piston member 36A can be adjusted. At this time, the retaining nut 36E has a function of fixing the guide member 36D at an arbitrary position with respect to the connecting member 36C.

上記構成において、中途開口部３１Ｐからピストン部材３６Ａ及び作動部材３６Ｂまでの上記シリンダを構成する連結部材３６Ｃの内部空間が分岐経路３１Ｑを構成し、この分岐経路３１Ｑは上記作動部を構成する作動部材３６Ｄによって閉鎖されている。作動部材３６Ｂは上記ピストン部材３６Ａとともに分岐経路３１Ｑの内圧の変化に応じて軸線方向に出没動作するようになっている。   In the above configuration, the internal space of the connecting member 36C constituting the cylinder from the midway opening 31P to the piston member 36A and the actuating member 36B constitutes a branch path 31Q, and this branch path 31Q is the actuating member constituting the actuating part. It is closed by 36D. The operating member 36B moves in and out in the axial direction in accordance with the change in the internal pressure of the branch path 31Q together with the piston member 36A.

例えば、本実施形態では、上記第２実施形態と同様に、経路開閉手段３３により通気経路３１Ｓが開放されているときには、中途開口部３１Ｐを介して分岐経路３１Ｑ内が負圧となり、これによってシリンダの内圧が外圧より低くなると、差圧によって作動部材３６Ｂは中途開口部３１Ｐ側に吸引され、その先端部３６ｘは引き込まれる。また、経路開閉手段３３により通気経路３１Ｓが閉鎖されているときには、中途開口部３１Ｐから気体が分岐経路３１Ｑ内に流出するので、シリンダの内圧は上昇し、これが外圧より高くなると、差圧によって作動部材３６Ｂはシリンダから押し出され、その先端部３６ｘは突出する。   For example, in the present embodiment, as in the second embodiment, when the ventilation path 31S is opened by the path opening / closing means 33, the inside of the branch path 31Q becomes a negative pressure via the midway opening 31P, thereby the cylinder When the internal pressure becomes lower than the external pressure, the operating member 36B is sucked toward the midway opening 31P by the differential pressure, and the tip 36x is drawn. Further, when the ventilation path 31S is closed by the path opening / closing means 33, gas flows out from the midway opening 31P into the branch path 31Q, so that the internal pressure of the cylinder rises. The member 36B is pushed out of the cylinder, and the tip 36x protrudes.

本実施形態の調整作業は、第１実施形態と同様に制御信号が供給されるとすると、負電圧を印加したときに分岐経路３１Ｑの圧力が最も低くなる（負圧が最大になる）ように、また、正電圧を印加したときに端部開口２１Ｓｂが完全に閉鎖されるように、規制ねじ１８を調整する。これによって、作動体の駆動力は最大になる。   In the adjustment work of this embodiment, assuming that a control signal is supplied as in the first embodiment, the pressure in the branch path 31Q is the lowest (the negative pressure is maximized) when a negative voltage is applied. Further, the regulation screw 18 is adjusted so that the end opening 21Sb is completely closed when a positive voltage is applied. This maximizes the driving force of the operating body.

上記のようにして、本実施形態では、上記第１実施形態に記載した構成に基づいて、ピストン部材３６Ａ及び作動部材３６Ｂで構成される作動体が出没する気圧作動ユニット（エアシリンダユニット）として動作することになる。この場合、気圧作動ユニット３０は、上記のようにきわめて簡単な構造であるにも拘わらず、流路切替ユニットの基本構造によりシリンダの内圧を負圧と正圧との間で瞬時に切り替えることができるため、応答が早く、高速動作も可能である。   As described above, the present embodiment operates as a pneumatic operation unit (air cylinder unit) in which the operating body composed of the piston member 36A and the operating member 36B appears and disappears based on the configuration described in the first embodiment. Will do. In this case, although the atmospheric pressure operation unit 30 has an extremely simple structure as described above, the internal pressure of the cylinder can be instantaneously switched between negative pressure and positive pressure by the basic structure of the flow path switching unit. Therefore, the response is fast and high speed operation is possible.

［第４実施形態］
次に、図７を参照して、上記流路切替ユニット１０を用いた部品供給装置（部品搬送装置）１００の構成について説明する。図７（ａ）は装置の概略平面図、図７（ｂ）は装置の概略側面図である。この部品供給装置１００は、基台１０１上に防振ゴム等の緩衝材を介して支持台１０２が固定され、この支持台１０２上に搭載された、ボウルフィーダ１１０、及び、このボウルフィーダ１１０に接続されたリニアフィーダ１２０を備えている。 [Fourth Embodiment]
Next, with reference to FIG. 7, the structure of the component supply apparatus (component conveyance apparatus) 100 using the said flow-path switching unit 10 is demonstrated. FIG. 7A is a schematic plan view of the apparatus, and FIG. 7B is a schematic side view of the apparatus. In this component supply apparatus 100, a support base 102 is fixed on a base 101 via a shock-absorbing material such as an anti-vibration rubber, and the bowl feeder 110 and the bowl feeder 110 mounted on the support base 102 are mounted on the base supply 101. A connected linear feeder 120 is provided.

ボウルフィーダ１１０には、振動源１１１と、この振動源１１１により軸線周りに振動するボウル型の振動体１１２が設けられている。振動体１１２の内部には螺旋状のトラック１１２ｘが形成され、底部に収容された微細な部品（図示せず）が振動によりトラック１１２ｘに沿って徐々に上昇していくようになっている。   The bowl feeder 110 is provided with a vibration source 111 and a bowl-shaped vibrating body 112 that vibrates about the axis by the vibration source 111. A spiral track 112x is formed inside the vibrating body 112, and fine components (not shown) accommodated in the bottom gradually rise along the track 112x due to vibration.

また、リニアフィーダ１２０は、振動源１２１と、この振動源１２１により長手方向に振動する直線状の振動体１２２を備えている。振動体１２２には、上記ボウルフィーダ１２０のトラック１１２ｘに接続された直線状のトラック１２２ｘが設けられている。このトラック１２２ｘは上記部品を整列状態にして図示しない装置へと供給する。   The linear feeder 120 includes a vibration source 121 and a linear vibrating body 122 that vibrates in the longitudinal direction by the vibration source 121. The vibrating body 122 is provided with a linear track 122x connected to the track 112x of the bowl feeder 120. The track 122x aligns the components and supplies them to a device (not shown).

ボウルフィーダ１１０の振動体１１２の外周部には、部品検出部１１３が取り付けられ、トラック１１２ｘに沿って搬送されてくる図示しない部品の検査を行う。例えば、部品検出部１１３には、部品が正常であるか異常であるか、部品の姿勢が正規の姿勢であるか否か、などを検出するためのフォトセンサ等の検出手段が設けられ、この検出手段によりトラック１１２ｘ上の部品の良否を判断するように構成されている。   A component detection unit 113 is attached to the outer periphery of the vibrating body 112 of the bowl feeder 110, and inspects a component (not shown) conveyed along the track 112x. For example, the component detection unit 113 is provided with detection means such as a photosensor for detecting whether the component is normal or abnormal, whether the component posture is a normal posture, and the like. The detection means is configured to determine the quality of the parts on the track 112x.

この部品検出部１１３の近傍には上記トラック１１２ｘ上で部品を選別するための処理部（例えば部品の選別部）が設けられている。この処理部には、トラック１１２ｘの側方に開口する図示しない細孔が設けられ、この細孔は、振動体１１２に接続されたエアチューブ１１４に連通している。エアチューブ１１４は、支持台１０２に取り付けられた支持部材１０３に支持固定された上記の流路切替ユニット１０の出力側の継手１６に接続されている。この流路切替ユニット１０の導入側の継手１４には図示しないエアチューブ等を介して図示しないエア供給源に接続されている。   In the vicinity of the component detection unit 113, a processing unit (for example, a component selection unit) for selecting components on the track 112x is provided. This processing unit is provided with a pore (not shown) that opens to the side of the track 112 x, and this pore communicates with the air tube 114 connected to the vibrating body 112. The air tube 114 is connected to the joint 16 on the output side of the flow path switching unit 10 that is supported and fixed to the support member 103 attached to the support base 102. The joint 14 on the introduction side of the flow path switching unit 10 is connected to an air supply source (not shown) via an air tube (not shown).

上記の部品検出部１１３及び流路切替ユニット１０は図示しない制御コントローラ等の制御部に接続され、部品検出部１１３で検出した結果が制御部に送られるとともに、制御部から制御信号が流路切替ユニット１０に送出されるようになっている。   The component detection unit 113 and the flow path switching unit 10 are connected to a control unit such as a control controller (not shown), and the result detected by the component detection unit 113 is sent to the control unit, and the control signal is switched from the control unit. It is sent to the unit 10.

流路切替ユニット１０は、常時は経路開閉手段により通気経路が開放され、その結果、エアチューブ１１４には空気が送られていない。しかし、上記部品検出部１１３によってトラック１１２ｘ上の部品が不良であると判断されると、制御部が流路切替ユニット１０に送る制御信号を切り替える。これによって上記の経路開閉手段が動作し、流路切替ユニット１０からエアチューブ１１４にエアが送られるので、上記処理部の細孔からエアが噴出し、トラック１１２ｘ上の上記の不良と判断された部品がエアによってトラック１１２ｘから排除され、振動体１１２の底部に落下する。その後、当該部品の排除に必要な所定の処理時間が経過すると、制御部は制御信号を再び切り替えて流路切替ユニット１０の通気経路を開放するので、エアチューブ１１４に供給されていたエアが停止する。   In the flow path switching unit 10, the ventilation path is normally opened by the path opening / closing means, and as a result, air is not sent to the air tube 114. However, when the component detection unit 113 determines that the component on the track 112x is defective, the control unit switches the control signal to be sent to the flow path switching unit 10. As a result, the path opening / closing means operates and air is sent from the flow path switching unit 10 to the air tube 114, so that air is ejected from the pores of the processing section, and the above-described defect on the track 112x is determined. Parts are removed from the track 112x by air and fall to the bottom of the vibrating body 112. Thereafter, when a predetermined processing time necessary for removing the part has elapsed, the control unit switches the control signal again to open the ventilation path of the flow path switching unit 10, so that the air supplied to the air tube 114 is stopped. To do.

この実施形態では、流路切替ユニット１０において図示しないエア供給源から供給されるエアが常に通気経路の導入口から導入されて端部開口から放出された状態にあるので、導入側でエアが滞留することがないことから、経路開閉手段を動作させることにより、エア供給が必要となった時点で直ちにエアがエアチューブ１１４へ送られる。すなわち、エア供給のタイムラグをほとんどなくすことができる。したがって、エア供給の切り替えが迅速に行われるので、部品の選別能力を高めることができ、これによって部品供給装置１００の部品供給速度を高めて部品供給能力を向上させることが可能になる。   In this embodiment, since air supplied from an air supply source (not shown) in the flow path switching unit 10 is always introduced from the introduction port of the ventilation path and released from the end opening, air stays on the introduction side. Therefore, by operating the path opening / closing means, air is immediately sent to the air tube 114 when air supply is required. That is, the air supply time lag can be almost eliminated. Therefore, since the air supply can be switched quickly, the ability to select parts can be increased, thereby increasing the parts supply speed of the parts supply apparatus 100 and improving the parts supply capacity.

なお、上記流路切替ユニット１０の通気経路の導入側を図示しない真空排気装置に接続することで、上記処理部の細孔にトラック１１２ｘ上の部品を吸着させて一時的に保持することが可能になる。このようにすると、トラック１１２ｘ上の部品を処理部において一時的に停止させ、部品の詳細な検出を行ったり、或いは、その下流側に存在する他の部品との間のトラック１１２ｘ上の間隔を調整したりすることが可能になる。   In addition, by connecting the introduction side of the air flow path of the flow path switching unit 10 to a vacuum exhaust device (not shown), it is possible to temporarily hold the parts on the track 112x by adsorbing them to the pores of the processing unit. become. In this way, the parts on the track 112x are temporarily stopped in the processing unit, and the parts are detected in detail, or the interval on the track 112x with other parts existing downstream thereof is set. It becomes possible to adjust.

［第５実施形態］
最後に、図８を参照して、本発明の流路切替ユニット１０を備えた第５実施形態の部品供給装置（部品搬送装置）２００について説明する。図８（ａ）は装置の概略平面図、図８（ｂ）は装置の概略側面図である。この部品供給装置２００は、基台２０１の上に防止ばねを介して支持された支持台２０２を有し、この支持台２０２上に上昇フィーダ２１０、供給用リニアフィーダ２２０及び回収用リニアフィーダ２３０が搭載されてなる。 [Fifth Embodiment]
Finally, with reference to FIG. 8, the component supply apparatus (component conveyance apparatus) 200 of 5th Embodiment provided with the flow-path switching unit 10 of this invention is demonstrated. FIG. 8A is a schematic plan view of the apparatus, and FIG. 8B is a schematic side view of the apparatus. The component supply apparatus 200 has a support base 202 supported on a base 201 via a prevention spring. On the support base 202, an ascending feeder 210, a supply linear feeder 220, and a recovery linear feeder 230 are provided. It is installed.

上昇フィーダ２１０は、振動源２１１と、外周に螺旋状のトラック２１２ｘを備えた振動体２１２を備え、振動により下端部に設けられた導入部から上端部に設けられた導出部まで部品をトラック２１２ｘに沿って上昇させるように構成されている。   The ascending feeder 210 includes a vibration source 211 and a vibrating body 212 having a spiral track 212x on the outer periphery, and the parts are tracked from the introduction portion provided at the lower end portion to the lead-out portion provided at the upper end portion by vibration. It is comprised so that it may raise along.

また、供給用リニアフィーダ２２０は、振動源２２１と、直線状のトラック２２２ｘを備えた振動体２２２とを有し、上昇フィーダ２１０の導出部から部品を受け取って振動によりトラック２２２ｘに沿って部品を整列させつつ供給する。   Further, the supply linear feeder 220 includes a vibration source 221 and a vibrating body 222 including a linear track 222x. The component is received from the lead-out portion of the ascending feeder 210, and the component is moved along the track 222x by vibration. Supply while aligning.

さらに、回収用リニアフィーダ２３０は、図示しない振動源２３１と、直線状のトラック２３２ｘを備えた振動体２３２とを有し、トラック２２２ｘから排除された部品を受け取り、振動により上昇フィーダ２１０の導入部へ向けて供給方向とは逆方向に部品をトラック２３２ｘに沿って回収する。   Further, the collection linear feeder 230 includes a vibration source 231 (not shown) and a vibrating body 232 having a linear track 232x, receives the parts excluded from the track 222x, and receives the parts introduced from the ascending feeder 210 by vibration. In the direction opposite to the supply direction, the parts are collected along the track 232x.

本実施形態では、供給用リニアフィーダ２２０のトラック２２２ｘに沿って部品検出部２２３，２２５が取り付けられ、これらの部品検出部２２３，２２５の近傍の振動体２２２には、第４実施形態と同様に、それぞれ流路切替ユニット１０，１０に接続されたエアチューブ２２４，２２６が接続され、これらのエアチューブ２２４，２２６は、それぞれ振動体２２２の処理部に形成された、トラック２２２ｘの側方に開口する細孔（図示せず）に連通している。   In the present embodiment, the component detection units 223 and 225 are attached along the track 222x of the supply linear feeder 220, and the vibrating body 222 in the vicinity of these component detection units 223 and 225 is similar to the fourth embodiment. The air tubes 224 and 226 connected to the flow path switching units 10 and 10 are connected, respectively, and these air tubes 224 and 226 are respectively opened in the side of the track 222x formed in the processing portion of the vibrating body 222. Communicating with pores (not shown).

流路切替ユニット１０，１０は、それぞれ支持台２０２に対して取り付けられた支持部材２０３，２０４によって支持されている。また、流路切替ユニット１０，１０に対しては上記第４実施形態と同様に、図示しないエア供給源から圧縮空気が供給されている。   The flow path switching units 10 and 10 are supported by support members 203 and 204 attached to the support base 202, respectively. Moreover, the compressed air is supplied with respect to the flow-path switching units 10 and 10 from the air supply source which is not illustrated similarly to the said 4th Embodiment.

本実施形態では、上昇フィーダ２１０のトラック２１２ｘに沿って持上げられた部品（図示せず）は導出部から供給用リニアフィーダ２２０へ送られ、トラック２２２ｘに沿って搬送されながら整列される。整列途中で排除された部品は回収用リニアフィーダ２３０のトラック２３２ｘに落下し、トラック２３２ｘに沿って逆方向に搬送され、やがて上昇フィーダ２１０の導入部に供給される。このように、部品は上昇フィーダ２１０のトラック２１２ｘから供給用リニアフィーダ２２０のトラック２２２ｘに供給され、トラック２２２ｘに沿って搬送されながら整列されて供給されるが、この途中で排除された部品は回収用リニアフィーダ２３０のトラック２３２ｘに回収されて再び上昇フィーダ２１０に戻る。すなわち、部品の一部が循環しながら、部品の供給が行われていく。   In the present embodiment, parts (not shown) lifted along the track 212x of the ascending feeder 210 are sent from the lead-out portion to the supply linear feeder 220, and are aligned while being conveyed along the track 222x. The parts removed during the alignment fall on the track 232x of the collection linear feeder 230, are conveyed in the reverse direction along the track 232x, and are eventually supplied to the introduction portion of the ascending feeder 210. In this way, the parts are supplied from the track 212x of the ascending feeder 210 to the track 222x of the supply linear feeder 220, and are supplied while being aligned along the track 222x. It is collected by the truck 232x of the linear feeder 230 and returned to the ascending feeder 210 again. That is, parts are supplied while part of the parts circulate.

この実施形態では、供給用リニアフィーダ２２０のトラック２２２ｘと、回収用リニアフィーダ２３０のトラック２３２ｘとが上方から見て平行に配設され、しかも、供給用のトラック２２２ｘの下方に回収用のトラック２３２ｘが存在するように構成されているので、トラック２３２ｘが併設されている範囲であれば、トラック２２２ｘのどこであっても部品を選別することができるという利点がある。   In this embodiment, the track 222x of the supply linear feeder 220 and the track 232x of the recovery linear feeder 230 are arranged in parallel when viewed from above, and the recovery track 232x is below the supply track 222x. Therefore, there is an advantage that the parts can be selected anywhere in the track 222x as long as the track 232x is provided.

本実施形態の部品供給装置２００は部品の供給速度を高めることが容易であるという利点があるが、流路切替ユニット１０を用いることによって部品の選別能力も高めることができるため、全体として装置の部品供給能力と部品選別能力とをさらに高いレベルでバランスさせることが可能である。   The component supply apparatus 200 according to the present embodiment has an advantage that it is easy to increase the supply speed of the components. However, since the sorting ability of the components can be increased by using the flow path switching unit 10, It is possible to balance the component supply capability and the component selection capability at a higher level.

なお、本実施形態でも、上記流路切替ユニット１０の通気経路の導入側を図示しない真空排気装置に接続することで、上記処理部の細孔にトラック２２２ｘ上の部品を吸着させて一時的に保持することが可能になる。このようにすると、トラック２２２ｘ上の部品を処理部において一時的に停止させ、部品の詳細な検出を行ったり、或いは、その下流側に存在する他の部品との間のトラック２２２ｘ上の間隔を調整したりすることが可能になる。   Also in this embodiment, by connecting the introduction side of the air flow path of the flow path switching unit 10 to a vacuum exhaust device (not shown), the components on the track 222x are adsorbed to the pores of the processing unit and temporarily. It becomes possible to hold. In this way, the parts on the track 222x are temporarily stopped in the processing unit, and the parts are detected in detail, or the interval on the track 222x with other parts existing downstream is set. It becomes possible to adjust.

以上説明した各実施形態では、流路切替ユニット、吸着保持ユニット、気圧作動ユニットが独立して構成され、これらが搭載される図示しない各種装置と別体に構成されている例について説明したが、これらのユニットは、部品搬送装置その他の各種の装置と一体化されたものであっても構わない。例えば、上記各ユニットの本体が上記装置を構成する部材と一体に構成されたものであってもよい。   In each of the embodiments described above, the flow path switching unit, the suction holding unit, and the atmospheric pressure operation unit are configured independently, and an example in which these are configured separately from various devices (not shown) on which these are mounted has been described. These units may be integrated with a component conveying apparatus and other various apparatuses. For example, the main body of each unit may be configured integrally with the members that constitute the device.

第１実施形態の概略斜視図。1 is a schematic perspective view of a first embodiment. 第１実施形態の概略縦断面図。The schematic longitudinal cross-sectional view of 1st Embodiment. 第２実施形態の概略斜視図。The schematic perspective view of 2nd Embodiment. 第２実施形態の概略縦断面図。The schematic longitudinal cross-sectional view of 2nd Embodiment. 第３実施形態の概略斜視図。The schematic perspective view of 3rd Embodiment. 第３実施形態の概略縦断面図。The schematic longitudinal cross-sectional view of 3rd Embodiment. 第４実施形態の概略平面図（ａ）及び概略側面図（ｂ）。The schematic plan view (a) and schematic side view (b) of 4th Embodiment. 第５実施形態の概略平面図（ａ）及び概略側面図（ｂ）。The schematic plan view (a) and schematic side view (b) of 5th Embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

１０…流路切替ユニット、１１…本体、１１Ｓ…通気経路、１１Ｓａ…導入口、１１Ｓｂ…端部開口、１１Ｐ…中途開口部、１１Ｑ…分岐経路、１２…支持体、１３…経路開閉手段、１３ａ…固定部、１３ｂ…動作部、１４…継手、１５…流量調整手段、１６…継手、１７…カバー部材、１８…規制ねじ、１９…緩衝材、２０…吸着保持ユニット、２６Ａ…ノズル、２６Ｃ…弾性部材、３０…気圧作動ユニット、３６Ａ…ピストン部材、３６Ｂ…作動部材、３６Ｃ…連結部材、３６Ｄ…ガイド部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Flow path switching unit, 11 ... Main body, 11S ... Ventilation path, 11Sa ... Introduction port, 11Sb ... End part opening, 11P ... Midway opening part, 11Q ... Branch path, 12 ... Support body, 13 ... Path | route opening / closing means, 13a DESCRIPTION OF SYMBOLS ... Fixed part, 13b ... Operation | movement part, 14 ... Joint, 15 ... Flow volume adjustment means, 16 ... Joint, 17 ... Cover member, 18 ... Restriction screw, 19 ... Buffer material, 20 ... Adsorption holding unit, 26A ... Nozzle, 26C ... Elastic member, 30 ... atmospheric pressure operation unit, 36A ... piston member, 36B ... operation member, 36C ... coupling member, 36D ... guide member

Claims (10)

気体が流通可能に構成され、経路途中に中途開口部を備えた通気経路を備えた本体と、該通気経路における前記中途開口部より下流側にて前記通気経路の少なくとも一部を開閉可能とする経路開閉手段とを備えた流路切替ユニットにおいて、
前記経路開閉手段は、前記通気経路の端部開口に外側から臨み、所定の動作方向に移動可能に構成されて前記通気経路の開閉動作を実現する動作部と、該動作部を前記本体に支持された所定の基準部位に対して前記動作方向に駆動する駆動機構とを備え、
前記基準部位を前記本体に対して前記動作方向に位置調整可能に構成する位置調整手段をさらに有することを特徴とする流路切替ユニット。 A body that is configured to allow gas to flow and that has a ventilation path with a midway opening in the middle of the path, and at least a part of the ventilation path can be opened and closed downstream of the midway opening in the ventilation path. In the flow path switching unit provided with the path opening / closing means,
The path opening / closing means faces the end opening of the ventilation path from the outside, and is configured to be movable in a predetermined operation direction to realize the opening / closing operation of the ventilation path, and supports the operation section on the main body. A drive mechanism for driving in the operation direction with respect to the predetermined reference portion,
A flow path switching unit further comprising position adjusting means configured to adjust the position of the reference portion relative to the main body in the operation direction. 前記位置調整手段は、前記本体と前記基準部位との間を弾性変形させつつ、前記基準部位の前記動作方向の位置を規制する規制部材を含むことを特徴とする請求項１に記載の流路切替ユニット。   2. The flow path according to claim 1, wherein the position adjusting unit includes a regulating member that regulates a position of the reference portion in the operation direction while elastically deforming between the main body and the reference portion. Switching unit. 前記位置調整手段は、前記本体と前記基準部位とを接続し、弾性変形により前記基準部位の前記動作方向の位置を変化させる支持体を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の流路切替ユニット。   3. The flow according to claim 1, wherein the position adjusting unit includes a support body that connects the main body and the reference portion and changes a position of the reference portion in the operation direction by elastic deformation. Road switching unit. 前記駆動機構は、圧電作用により撓み変形して前記動作部を前記動作方向に移動させる圧電アクチュエータであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の流路切替ユニット。   4. The flow path switching unit according to claim 1, wherein the drive mechanism is a piezoelectric actuator that is bent and deformed by a piezoelectric action to move the operation unit in the operation direction. 5. 前記経路開閉手段の動作状態を表示する表示手段をさらに有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の流路切替ユニット。   The flow path switching unit according to any one of claims 1 to 4, further comprising display means for displaying an operation state of the path opening / closing means. 前記通気経路に対する気体の流入量を調整する気流調整手段をさらに有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の流路切替ユニット。   6. The flow path switching unit according to claim 1, further comprising an air flow adjusting unit that adjusts an amount of gas flowing into the ventilation path. 請求項１乃至６のいずれか一項に記載の流路切替ユニットに対して、前記中途開口部に連通した分岐経路に臨み、先端に吸引口を備えたノズルをさらに設けてなることを特徴とする吸着保持ユニット。   The flow path switching unit according to any one of claims 1 to 6, further comprising a nozzle having a suction port at a tip thereof facing a branch path communicating with the midway opening. Suction holding unit. 前記ノズルは前記分岐経路の経路方向に移動可能に取り付けられ、前記ノズルを先端側に付勢する付勢手段をさらに有することを特徴とする請求項７に記載の吸着保持ユニット。   The suction holding unit according to claim 7, wherein the nozzle is attached so as to be movable in a path direction of the branch path, and further includes a biasing unit that biases the nozzle toward a tip side. 請求項１乃至６のいずれか一項に記載の流路切替ユニットに対して、前記中途開口部に連通した分岐経路に臨むシリンダと、該シリンダ内において前記分岐経路の経路方向に移動可能に配置されたピストン部及び該ピストン部に接続されて前記シリンダから突出する作動部を有する作動体とをさらに設けてなることを特徴とする気圧作動ユニット。   The flow path switching unit according to any one of claims 1 to 6, wherein a cylinder that faces a branch path that communicates with the midway opening, and a cylinder that is movable in the path direction of the branch path within the cylinder. An air pressure operating unit, further comprising: an actuating body having an actuating portion connected to the piston portion and projecting from the cylinder. 請求項１乃至６のいずれか一項に記載の流路切替ユニットを有し、該流路切替ユニットの前記中途開口部を部品の処理部に接続してなることを特徴とする部品搬送装置。
A component conveying apparatus comprising: the flow path switching unit according to claim 1, wherein the midway opening portion of the flow path switching unit is connected to a processing section of a component.
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