JP2006247489A - パターン形成方法、識別コード形成方法、液滴吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板2に着弾した微小液滴Fbの液滴径が最大許容液滴径に到達する時間を許容経過時間とし、着弾時から、この許容経過時間を経過する時に、基板2に着弾した微小液滴Fbを、着弾位置Paから照射位置Pbに移動させる走査速度Vyに設定した。そして、着弾時から許容経過時間を経過する時に、すなわち着弾した微小液滴Fbが照射位置Pbに位置する時に、同微小液滴Fbに対して、レーザ光Bを照射するようにした。
【選択図】 図8
Description
このパターン形成方法によれば、前記液滴の着弾時から100ミリ秒を経過する前にレーザ光を照射する分だけ、着弾した液滴の外径の不要な拡大や縮小を抑制することができ、パターンの外径を、より高い精度で所定の値にすることができる。
このパターン形成方法によれば、着弾前からレーザ光を照射する分だけ、着弾時の液滴形状を保持することができ、予め所定の外径に相対する液滴を吐出することによって、より確実に所定の外径からなるパターンを形成することができる。
本発明の液滴吐出装置は、圧力室に貯えられた液体を加圧する加圧手段と、前記加圧手段の加圧によって前記液体の液滴を基板のパターン形成位置に吐出する吐出口とを備えた液滴吐出装置において、前記基板に着弾した液滴を乾燥するためのレーザ光を出力するレーザ出力手段と、前記液滴が前記基板に着弾する際に、前記液滴の外径が所定の外径になるタイミングで、前記パターン形成位置に前記レーザ出力手段の出力するレーザ光を照射させる照射制御手段と、を備えた。
この液滴吐出装置によれば、液滴の外径が所定の外径になるタイミングでレーザ光を照射するため、液滴の乾燥したパターンを、確実に所定の外径にすることができる。
この液滴吐出装置によれば、加圧手段の加圧動作に対応してレーザ光を照射するため、吐出した液滴に対して、確実にレーザ光を照射することができ、その乾燥したパターンを、確実に所定の外径にすることができる。
まず、本発明の液滴吐出装置を使って形成された識別コードを有する液晶表示装置の表示モジュールについて説明する。図1は液晶表示装置の液晶表示モジュールの正面図、図2は液晶表示モジュールの裏面に形成された識別コードの正面図、図3は液晶表示モジュールの裏面に形成された識別コードの側面図である。
板2(以下単に、基板2という。)を備えている。その基板2の表面2aの略中央位置には、液晶分子を封入した四角形状の表示部3が形成され、その表示部3の外側には走査線駆動回路4及びデータ線駆動回路5が形成されている。そして、液晶表示モジュール1は、走査線駆動回路4の供給する走査信号とデータ線駆動回路5の供給するデータ信号に基づいて前記液晶分子の配向状態を制御し、図示しない照明装置から照射された平面光を、前記液晶分子の配向状態で変調することによって、表示部3に、所望の画像を表示するようになっている。
詳述すると、ドットDは、後記する液滴吐出装置20の吐出口としての吐出ノズルN(以下単に、ノズルNという。)から金属微粒子(例えば、ニッケル微粒子等)を含む微小液滴FbをセルC(黒セルC1)に吐出させ、セルCに着弾した微小液滴Fbを乾燥し、金属微粒子を焼結させることによって形成されている。この乾燥はレーザ光を、基板2(黒セルC1)に着弾した微小液滴Fbに照射することによって行われる。
図5において、液滴吐出装置20には、直方体形状に形成される基台21が備えられている。本実施形態では、この基台21の長手方向をY矢印方向とし、同Y矢印方向と直交する方向をX矢印方向という。
本実施形態では、基板ステージ23の配置位置であって、図5に示すように、基台21の最も手前側に配置する位置を往動位置とし、最も奥側に配置する位置(図5及び図6に示す2点鎖線)を復動位置という。
支持台25a、25bには、X矢印方向に延びる案内部材26が架設されている。案内部
材26は、その長手方向の幅が基板ステージ23のX矢印方向よりも長く形成され、その一端が支持台25a側に張り出すように配置されている。この支持台25aの張り出した
部分の直下には、後述する吐出ヘッド30のクリーニング等のメンテナンスを行う図示しないメンテナンスユニットが配設されている。
図6に示すように、キャリッジ29の下側であって前記吐出ヘッド30のY矢印方向側には、レーザ照射部としてのレーザヘッド35が併設されている。図7に示すように、レーザヘッド35の下面であって前記16個のノズルNのY矢印方向には、各ノズルNに対応する16個の出射口36が形成されている。図8に示すように、そのレーザヘッド35の内部には、前記16個の出射口36に対応するレーザ出力手段としての半導体レーザLDが備えられている。そして、半導体レーザLDが後述する電源回路(図9参照)から駆動制御するための信号(レーザ駆動電圧VDL)を受けると、半導体レーザLDから、微小液滴Fbの分散媒を乾燥可能にする波長(例えば、800nm)のレーザ光Bが出射口36側に向かって出射する。
図9において、制御装置40には、外部コンピュータ等の入力装置41から各種データを受信するI/F部42と、CPU等からなる制御部43、DRAM及びSRAMからなり各種データを格納するRAM44、各種制御プログラムを格納するROM45が備えられている。また、制御装置40には、駆動波形生成回路46、各種駆動信号を同期するためのクロック信号CLKを生成する発振回路47、前記半導体レーザLDを駆動するためのレーザ駆動電圧VDLを生成する電源回路48、各種駆動信号を送信するI/F部49が備えられている。そして、制御装置40では、これらI/F部42、制御部43、RAM44、ROM45、駆動波形生成回路46、発振回路47、電源回路48及びI/F部49が、バス50を介して接続されている。
画像を既定形式の描画データIbとして受信する。
ッチ素子Sa1〜Sa16の入力側には、共通する前記圧電素子駆動電圧VDPが入力され、出力側には、それぞれ対応する圧電素子PZ(PZ1〜PZ16)に接続されている。そして、各スイッチ素子Sa1〜Sa16には、レベルシフタ58から、対応する開閉信号GS1が入力され、同開閉信号GS1に応じて圧電素子駆動電圧VDPを圧電素子PZに供給するか否かを制御するようになっている。
6に対応する半導体レーザLD1〜LD16にレーザ駆動電圧VDLが供給され、対応する半導体レーザLDからレーザ光Bが出射される。
本発明者は、超高速度カメラ等によって、着弾時からの微小液滴Fbの形状を観測し、微小液滴Fbの外径(液滴径)が、セルCの一辺の長さ(最大許容液滴径Rmax)に到
達するまでの経過時間を計測した。そして、着弾時からレーザ光Bを照射するまでの時間(許容経過時間Ta)を、前記経過時間以内に設定することによって、ドットDをセルC(黒セルC1)から食み出すことなく形成できることを見出した。
まず、図5に示すように、往動位置に位置する基板ステージ23上に、基板2を、裏面2bが上側になるように配置固定する。このとき、基板2のY矢印方向側の辺は、案内部材26より反Y矢印方向側に配置されている。また、キャリッジ29(吐出ヘッド30)は、基板2がY矢印方向に移動したとき、その直下を、識別コード10を形成する位置(コード形成領域S)が通過する位置にセットされている。
0は、ラッチ信号LATをヘッド駆動回路51に出力する。ヘッド駆動回路51は、制御装置40からのラッチ信号LATを受けると、吐出制御信号SIに基づいて開閉信号GS1を生成し、同開閉信号GS1をスイッチ回路59に出力する。そして、閉じた状態のスイッチ素子Sa1〜Sa16に対応する圧電素子PZに、圧電素子駆動電圧VDPを供給し、対応するノズルNから、圧電素子駆動電圧VDPに相対する微小液滴Fbを一斉に吐出する。
(1)上記実施形態によれば、基板2に着弾した微小液滴Fbの液滴径が最大許容液滴径Rmaxに到達する時間を許容経過時間Taとし、微小液滴Fbの着弾時から、この許容経過時間Taを経過する時に、着弾した微小液滴Fbを照射位置Pbに移動させる走査速度Vyに設定した。そして、微小液滴Fbの着弾時から許容経過時間Taを経過する時に、すなわち着弾した微小液滴Fbが照射位置Pbに位置する時に、同微小液滴Fbに対して、レーザ光Bを照射するようにした。
○本実施形態では、着弾位置Paと照射位置Pbとの間を、許容距離Lだけ離間させ、着弾時から許容経過時間Taを経過する時にレーザ光Bを照射するようにした。これに限らず、例えば、図15に示すように、着弾位置Paと照射位置Pbを同一位置にして、微小液滴Fbの着弾時に、あるいは着弾する前に、レーザ光Bを照射するようにしてもよい。
○本実施形態では、基板2の裏面2bに対して親液性を有する微小液滴Fbを吐出するようにしたが、これに限らず、基板2の裏面2bに対して撥液性を有する微小液滴Fbを吐出するようにしてもよく、あるいは微小液滴Fbに対して撥液性を有する基板2に適用してもよい。
よりも増加する方向で増減を繰り返し、やがて基板2に対する撥液性によって球形状になり、その液滴径を着弾時の液滴径まで減少するようになる。そのため、最大許容液滴径Rmaxと、ドットDの読み取りを可能にする最小サイズ(最小許容液滴径Rmin)に基づいて、許容経過時間Taを設定する。例えば、図17に示すように、微小液滴Fbの液滴径が、最大許容液滴径Rmax未満で増減する場合であって、最小許容液滴径Rminが50μmとすると、縮小する液滴径が50μm以上となる範囲に許容経過時間Taを設定する。
○上記実施形態では、基板2上で半球面状に濡れ広がる微小液滴Fbに対してレーザ光Bを照射し、ドットDを形成する構成にした。これに限らす、例えば、多孔性基板(例えば、セラミック多層基板やグリーンシート等)に浸透する微小液滴Fbに対してレーザ光Bを照射し、金属配線等のパターンを形成する構成にしてもよい。
○上記実施形態では、加圧手段を圧電素子PZに具体化したが、圧電素子PZ以外の方法で圧力室(キャビティ32)を加圧する加圧手段を用いて実施してもよい。この場合にも、パターンのサイズを所望のサイズに制御することができる。
Claims (11)
- 基板のパターン形成位置に液滴を吐出し、前記パターン形成位置に着弾した前記液滴を乾燥することによってパターンを形成するようにしたパターン形成方法において、
前記液滴が前記パターン形成位置に着弾する際に、前記液滴を乾燥するためのレーザ光を前記パターン形成位置に照射して、前記液滴の外径を所定の外径にするようにしたことを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項1に記載のパターン形成方法において、
前記パターン形成位置に着弾した前記液滴の外径が、所定の外径よりも大きくなる前に、前記レーザ光を前記パターン形成位置に照射するようにしたことを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項1に記載のパターン形成方法において、
前記パターン形成位置に着弾した前記液滴の外径が、所定の外径よりも小さくなる前に、前記レーザ光を前記パターン形成位置に照射するようにしたことを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項1に記載のパターン形成方法において、
前記パターン形成位置に着弾した前記液滴のパターン形成材料が前記基板上にある間に、前記レーザ光を前記パターン形成位置に照射するようにしたことを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項1に記載のパターン形成方法において、
前記液滴の着弾時から100ミリ秒を経過する前に、前記レーザ光を前記パターン形成位置に照射するようにしたことを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項1に記載のパターン形成方法において、
前記液滴が着弾する前に、前記レーザ光を予め前記パターン形成位置に照射するようにしたことを特徴とするパターン形成方法。 - 基板の一側面に設けられたコード形成領域を分割する複数のデータセルに、パターン形成材料を含む液滴を吐出し、前記データセルに着弾した液滴を乾燥することによって前記データセルにコードパターンを形成するようにした識別コード形成方法において、
前記コードパターンを、請求項1〜6のいずれか1つに記載するパターン形成方法によって形成するようにしたことを特徴とする識別コード形成方法。 - 圧力室に貯えられた液体を加圧する加圧手段と、前記加圧手段の加圧によって前記液体の液滴を基板のパターン形成位置に吐出する吐出口とを備えた液滴吐出装置において、
前記基板に着弾した液滴を乾燥するためのレーザ光を出力するレーザ出力手段と、
前記液滴が前記基板に着弾する際に、前記液滴の外径が所定の外径になるタイミングで、前記パターン形成位置に前記レーザ出力手段の出力するレーザ光を照射させる照射制御手段と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項8に記載の液滴吐出装置において、
前記照射制御手段は、前記液滴の外径が所定の外径になるタイミングで、前記レーザ出力手段を駆動制御することを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項9に記載の液滴吐出装置において、
前記照射制御手段は、前記加圧手段の加圧動作に対応して、前記レーザ出力手段を駆動制御することを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項8〜10のいずれか1つに記載の液滴吐出装置において、
前記照射制御手段は、前記基板を載置して前記パターン形成位置を、レーザ出力手段の出力するレーザ光の前記基板に対する照射位置に移動し、前記液滴の外径が所定の外径になるタイミングで、前記パターン形成位置を、前記照射位置に相対させる基板ステージを備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
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