JP2006242273A - テーブル駆動装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ラジアル方向及びアキシアル方向の双方の荷重を充分に負荷可能なテーブル駆動装置を提供する。
【解決手段】昇降テーブルを昇降させる昇降ユニットと、昇降ユニットを駆動させる駆動系とを備えた昇降装置において、昇降ユニットには、昇降テーブルに向って延出したねじ軸(ボールねじ4a,4b、ボールねじ軸端部14a,14b)と、ねじ軸の回転に伴って当該ねじ軸に沿って上下動するナットとが設けられており、ナットは昇降テーブルに連結されていると共に、ねじ軸はベアリング機構で回転自在に支持されている。また、駆動系には、回転運動を発生する駆動源と、駆動源の回転運動を昇降ユニットに伝達してねじ軸を回転させる運動伝達機構とが設けられており、ベアリング機構には、1つの深溝玉軸受B1と2つのアンギュラ玉軸受B2とが設けられている。
【選択図】 図2
【解決手段】昇降テーブルを昇降させる昇降ユニットと、昇降ユニットを駆動させる駆動系とを備えた昇降装置において、昇降ユニットには、昇降テーブルに向って延出したねじ軸(ボールねじ4a,4b、ボールねじ軸端部14a,14b)と、ねじ軸の回転に伴って当該ねじ軸に沿って上下動するナットとが設けられており、ナットは昇降テーブルに連結されていると共に、ねじ軸はベアリング機構で回転自在に支持されている。また、駆動系には、回転運動を発生する駆動源と、駆動源の回転運動を昇降ユニットに伝達してねじ軸を回転させる運動伝達機構とが設けられており、ベアリング機構には、1つの深溝玉軸受B1と2つのアンギュラ玉軸受B2とが設けられている。
【選択図】 図2
Description
本発明は、例えば半導体製造システムにおいて、特にボールねじを用いたテーブル駆動装置に関する。
従来、例えば半導体製造システムをはじめとする各種の製造システムには、製品の加工プロセスや検査プロセスに際し製品を昇降させる昇降装置が組込まれている(例えば、特許文献1)。
例えば図1(a)に示された昇降装置は、製品をセットする昇降テーブル2と、昇降テーブル2を矢印S方向に昇降させる移動ユニットとしての昇降ユニットと、昇降ユニットを駆動させる駆動系とを備えて構成されており、昇降ユニットは、昇降テーブル2の両側にそれぞれ配設されている。
例えば図1(a)に示された昇降装置は、製品をセットする昇降テーブル2と、昇降テーブル2を矢印S方向に昇降させる移動ユニットとしての昇降ユニットと、昇降ユニットを駆動させる駆動系とを備えて構成されており、昇降ユニットは、昇降テーブル2の両側にそれぞれ配設されている。
それぞれの昇降ユニットには、昇降テーブル2に向って延出したねじ軸(例えば、ボールねじ)4a,4bと、ボールねじ4a,4bの回転に伴って当該ボールねじ4a,4bに沿って上下動するナット6a,6bと、ナット6a,6bに突設された外向フランジ8a,8bとが設けられており、ナット6a,6bの外向フランジ8a,8bは、筒状ブラケット10a,10bを介して昇降テーブル2に連結されている。
この場合、ボールねじ4a,4bは、その基端側がベアリング機構12a,12bで回転自在に支持されており、当該ベアリング機構12a,12bには、ボールねじ4a,4bの略段付き円筒状の軸端部14a,14b(以下、「ボールねじ軸端部」と称する)を回転自在に支持する軸受が設けられている。
この場合、ボールねじ4a,4bは、その基端側がベアリング機構12a,12bで回転自在に支持されており、当該ベアリング機構12a,12bには、ボールねじ4a,4bの略段付き円筒状の軸端部14a,14b(以下、「ボールねじ軸端部」と称する)を回転自在に支持する軸受が設けられている。
また、駆動系には、回転運動を発生する駆動源(例えば、モータ)16と、駆動源16の回転運動をそれぞれの昇降ユニットに伝達し、ボールねじ4a,4bを回転させる運動伝達機構とが設けられている。
この場合、運動伝達機構は、駆動源16の回転運動を2つの経路に振り分ける振分部と、振り分けられた各々の回転運動を各昇降ユニットに伝達する2つの伝達部(第1の伝達部、第2の伝達部)とを備えて構成されている。なお、図中18は、駆動源(モータ)16の出力軸と振分部とを連結するカップリングである。
この場合、運動伝達機構は、駆動源16の回転運動を2つの経路に振り分ける振分部と、振り分けられた各々の回転運動を各昇降ユニットに伝達する2つの伝達部(第1の伝達部、第2の伝達部)とを備えて構成されている。なお、図中18は、駆動源(モータ)16の出力軸と振分部とを連結するカップリングである。
運動伝達機構において、振分部は、互いに同一平面上に並列させた一対のプーリ(第1プーリ20a、第2プーリ20b)間に無端ベルト22を掛け渡して構成されており、第1プーリ20aの固定された軸体がカップリング18に連結されている。また、第1及び第2の伝達部は、互いに同一平面上に並列させた一対のプーリ(出力プーリ24a、連結プーリ24b)間に無端ベルト26を掛け渡して構成されており、出力プーリ24aが駆動系のボールねじ軸端部14a,14bに連結されている。この場合、第1の伝達部の連結プーリ24bは、振分部の第1プーリ20aに連結され、第2の伝達部の連結プーリ24bは、振分部の第2プーリ20bに連結されている。なお、図示省略するが、駆動源16、ベアリング機構12a,12bは、図示しないベース部に固定されている。また、プーリ20a,24bが固定されている軸体、及びプーリ20b,24bが固定されている軸体は、それぞれ図示しない軸受ユニットにより回転自在に支持されており、これら2つの軸受ユニットも図示しないベース部に固定されている。
このような昇降装置によれば、昇降テーブル2に製品(図示しない)をセットした後、駆動源16を駆動させると、その回転運動は制御部18で所定出力に制御されて振分部に伝達される。このとき、一方の回転運動は、振分部の第1プーリ20aから第1の伝達部の連結プーリ24bに伝達され、他方の回転運動は、振分部の第2プーリ20bから第2の伝達部の連結プーリ24bに伝達される。
各連結プーリ24bに伝達された回転運動は、各無端ベルト26から各出力プーリ24aを介して駆動系のボールねじ軸端部14a,14bに伝達され、ボールねじ4a,4bを回転させる。このとき、ボールねじ4a,4bの回転に伴ってナット6a,6bが当該ボールねじ4a,4bに沿って上下動する。ボールねじ4a,4bの外向フランジ8a,8bは、筒状ブラケット10a,10bを介して昇降テーブル2に連結しているため、ナット6a,6bの上下動に伴って昇降テーブル2を矢印S方向に昇降させることができる。
ところで、ボールねじ4a,4bを回転自在に支持するベアリング機構12a,12bにおいて、ボールねじ軸端部14a,14bを回転自在に支持する軸受には、アンギュラ玉軸受が適用されている。
図1(c),(d)に示すように、深溝玉軸受B1及びアンギュラ玉軸受B2は、互いに相対回転可能に対向した内輪28及び外輪30と、内外輪28,30間に転動自在に配列された複数の転動体(玉)32と、これら転動体(玉)32を1つずつ回転自在に保持する保持器34とを備えており、内輪が軸体(図示しない)に固定され、外輪はハウジング(図示しない)に固定される。
図1(c),(d)に示すように、深溝玉軸受B1及びアンギュラ玉軸受B2は、互いに相対回転可能に対向した内輪28及び外輪30と、内外輪28,30間に転動自在に配列された複数の転動体(玉)32と、これら転動体(玉)32を1つずつ回転自在に保持する保持器34とを備えており、内輪が軸体(図示しない)に固定され、外輪はハウジング(図示しない)に固定される。
この場合、深溝玉軸受B1は、ラジアル方向の荷重には強い負荷容量を有しているが、ボールねじ4a,4bの駆動方向であるアキシアル方向の荷重を充分に負荷するのは困難である。これに対して、アンギュラ玉軸受B2は、深溝玉軸受B1の内輪28又は外輪30の一方の軌道溝の片側を溝底からの高さが僅かに残るまで削り取って転動体(玉)32を内外輪28,30間に配列している。この場合、例えば背面組合せ(DB形)や正面組合せ(DF形)と呼ばれる組合せ構成を適用することにより、ラジアル方向及びアキシアル方向の双方の荷重を負荷することができる。従って、ボールねじの支持にアンギュラ玉軸受B2が用いられる。なお、アンギュラ玉軸受B2では、アキシアル荷重を負荷することができる側面を背面といい、その反対側を正面と呼んでいる。
しかし、上記のような構成の昇降装置において、ベアリング機構12a,12bの軸受としてアンギュラ玉軸受B2を使用した場合、ボールねじ4a,4bによる昇降テーブル2の駆動の推力(アキシアル荷重)を支えるのは問題ないが、無端ベルト26の引張力によるラジアル荷重を支えるのには十分といえない。なお、上記では昇降装置を例に説明したが、同じ問題はテーブルを例えば水平方向に往復移動させるテーブル駆動装置においても生じる。
特開2000−84942号公報
本発明は、このような問題を解決するためになされており、その目的は、ラジアル方向及びアキシアル方向の双方の荷重を充分に負荷可能なテーブル駆動装置を提供することにある。
このような目的を達成するために、本発明は、テーブルを往復移動させる移動ユニットと、移動ユニットを駆動させる駆動系とを備えたテーブル駆動装置であって、移動ユニットには、テーブルの移動方向に沿って延出したねじ軸と、ねじ軸の回転に伴って当該ねじ軸に沿って往復動するナットとが設けられ、ナットはテーブルに連結されていると共に、ねじ軸はベアリング機構で回転自在に支持されており、駆動系には、回転運動を発生する駆動源と、駆動源の回転運動を移動ユニットに伝達してねじ軸を回転させる運動伝達機構とが設けられており、ベアリング機構には、1つの深溝玉軸受と2つのアンギュラ玉軸受とが設けられている。
本発明において、運動伝達機構は、駆動源の回転運動を振り分ける振分部と、振り分けられた一方の回転運動を昇降ユニットに伝達する伝達部とを具備し、伝達部は、互いに同一平面上に並列させた一対のプーリ間にベルトを掛け渡して構成されており、一方のプーリが振分部を介して駆動源に連結され、他方のプーリがねじ軸に連結されている。この場合、ベアリング機構において、深溝玉軸受はプーリ寄りに配置することが好ましい。
本発明によれば、深溝玉軸受と2つのアンギュラ玉軸受を組合せることにより、ラジアル方向及びアキシアル方向の双方の荷重を充分に負荷可能なテーブル駆動装置を実現することができる。
以下、本発明の一実施の形態に係るテーブル駆動装置としての昇降装置について、添付図面を参照して説明する。なお、本実施の形態は、上述した昇降装置(図1(a))のベアリング機構12a,12bの改良であるため、以下の説明ではベアリング機構12a,12bの特徴部分の説明にとどめる。
図1及び図2に示すように、本実施の形態のベアリング機構12a,12bには、1つの深溝玉軸受B1と2つのアンギュラ玉軸受B2とが設けられており、深溝玉軸受B1は、第1及び第2の伝達部の出力プーリ24a寄りに配置されている。
図1及び図2に示すように、本実施の形態のベアリング機構12a,12bには、1つの深溝玉軸受B1と2つのアンギュラ玉軸受B2とが設けられており、深溝玉軸受B1は、第1及び第2の伝達部の出力プーリ24a寄りに配置されている。
このような構成によれば、ボールねじ4a,4bの駆動方向であるアキシアル方向の荷重を2つのアンギュラ玉軸受B2で負荷し、ラジアル方向の荷重を深溝玉軸受B1で負荷することができる。例えば、無端ベルト26の引張力が出力プーリ24bを介してボールねじ軸端部14a,14bに作用した場合でも、ラジアル荷重容量の大きな深溝玉軸受B1とアキシアル負荷を支えることができる2つのアンギュラ玉軸受B2とを組合せて使用しているため、ラジアル方向の引張力とボールねじ4a,4bの駆動方向であるアキシアル方向の荷重とを同時に支えることができる。
これにより、ボールねじ4a,4bの曲がりや、ボールねじ4a,4bとナット6a,6bとの同芯度不足による芯違いを吸収することが可能となり、トルクむらや、ボールねじ4a,4bの振れなどを抑えることができる。この結果、昇降テーブル2を矢印S方向に安定して且つスムーズに昇降させることが可能となり、昇降テーブル2を正確に位置決めすることができる。
また、深溝玉軸受B1を出力プーリ24a寄りに配したことにより、無端ベルト26によるラジアル方向荷重を最も効果的に受けられる。
また、深溝玉軸受B1を出力プーリ24a寄りに配したことにより、無端ベルト26によるラジアル方向荷重を最も効果的に受けられる。
この場合、2つのアンギュラ玉軸受B2の組合せ例としては、正面組合せ形(DF形)、背面組合せ形(DB形)、並列組合せ形(DT形)などを適用することができ、このような組合せ形の2つのアンギュラ玉軸受B2よりも出力プーリ24a寄りに1つの深溝玉軸受B1を配置すれば良い。なお、並列組合せ形(DT形)は、2つのアンギュラ玉軸受B2の正面と背面とを接触させて配列した組合せである。
これらの組合せの選択については、使用条件やテーブル駆動装置の構成により適宜行うことができる。例えば、同芯不足による悪影響を排除したい場合はDF形、モーメント荷重に対する抵抗力を高めたい場合はDB形を選択するといったように行える。
これらの組合せの選択については、使用条件やテーブル駆動装置の構成により適宜行うことができる。例えば、同芯不足による悪影響を排除したい場合はDF形、モーメント荷重に対する抵抗力を高めたい場合はDB形を選択するといったように行える。
また、深溝玉軸受B1とアンギュラ玉軸受B2との組合せ数は、少なくとも1つの深溝玉軸受B1を出力プーリ24a寄りに配置できれば、ボールねじ軸端部14a,14bの長さや大きさに応じて任意に設定することが可能である。例えば4つのアンギュラ玉軸受B2と2つの深溝玉軸受B1との組合せ構成において、出力プーリ24a寄りに2つの深溝玉軸受B1を配置しても良い。ただし、軸方向長さ短縮も考慮すると、1つの深溝玉軸受B1と2つ(一対)のアンギュラ玉軸受B2との組合せが最も好ましい。
上記実施の形態では、テーブル駆動装置として昇降装置を例にとって説明したが、例えばボールねじのような送りねじにアキシアル荷重だけでなく、大きなラジアル荷重も負荷するような条件下で使用されるテーブル駆動装置に本発明は適用可能である。例えば水平方向にテーブルを往復移動させるテーブル駆動装置にも適用可能である。
また、送りねじ機構として2つのボールねじを用いたが、これに限らず、例えば1つのボールねじでも良い。送りねじの種類もボールねじに限られるものではない。
また、送りねじ機構として2つのボールねじを用いたが、これに限らず、例えば1つのボールねじでも良い。送りねじの種類もボールねじに限られるものではない。
4a,4b ボールねじ
12a,12b ベアリング機構
14a,14b ボールねじ軸端部
B1 深溝玉軸受
B2 アンギュラ玉軸受
12a,12b ベアリング機構
14a,14b ボールねじ軸端部
B1 深溝玉軸受
B2 アンギュラ玉軸受
Claims (3)
- テーブルを往復移動させる移動ユニットと、移動ユニットを駆動させる駆動系とを備えたテーブル駆動装置であって、
移動ユニットには、テーブルの移動方向に沿って延出したねじ軸と、ねじ軸の回転に伴って当該ねじ軸に沿って往復動するナットとが設けられ、ナットはテーブルに連結されていると共に、ねじ軸はベアリング機構で回転自在に支持されており、
駆動系には、回転運動を発生する駆動源と、駆動源の回転運動を移動ユニットに伝達してねじ軸を回転させる運動伝達機構とが設けられており、
ベアリング機構には、1つの深溝玉軸受と2つのアンギュラ玉軸受とが設けられていることを特徴とするテーブル駆動装置。 - 運動伝達機構は、駆動源の回転運動を振り分ける振分部と、振り分けられた一方の回転運動を昇降ユニットに伝達する伝達部とを具備し、
伝達部は、互いに同一平面上に並列させた一対のプーリ間にベルトを掛け渡して構成されており、一方のプーリが振分部を介して駆動源に連結され、他方のプーリがねじ軸に連結されていることを特徴とする請求項1に記載のテーブル駆動装置。 - ベアリング機構において、深溝玉軸受はプーリ寄りに配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のテーブル駆動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005058416A JP2006242273A (ja) | 2005-03-03 | 2005-03-03 | テーブル駆動装置 |
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JP2005058416A Pending JP2006242273A (ja) | 2005-03-03 | 2005-03-03 | テーブル駆動装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109176114A (zh) * | 2018-10-23 | 2019-01-11 | 沈阳景宏数控设备有限公司 | 具有插补功能炮塔铣床进给机构的y轴进给传动***结构 |
CN116085395A (zh) * | 2023-04-07 | 2023-05-09 | 河北宏达隆业轴承有限公司 | 一种深沟球轴承装配设备 |
-
2005
- 2005-03-03 JP JP2005058416A patent/JP2006242273A/ja active Pending
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