JP2006236765A - エレクトロメカニカルスイッチおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板10上に凹部13が形成されており、凹部13の底面に下部電極11と駆動電極12とが配設され、基板10上に凹部13を封止するように封止基板20が配設されており、封止基板20の下面の凹部13と対向する部位に薄板部21が周囲に張り出して一体に形成された可動腕24を介して取着され、薄板部21の駆動電極12と対向する部位に上部駆動電極23が、下部電極11と対向する部位に上部電極22がそれぞれ配設されており、薄板部21は可動腕24の変形とともに底面側に移動して上部電極22が下部電極11に電気的に接続するように変形可能であるエレクトロメカニカルスイッチである。基板10上に封止基板20を配設することで、駆動部となる薄板部21および可動腕24の設置と駆動部の封止とを同時に行なうことができる。
【選択図】 図1
Description
11・・・下部電極
12・・・駆動電極
13・・・凹部
14・・・電極パッド
15・・・電極パッド
19・・・絶縁膜
20・・・封止基板
21・・・薄板部
22・・・上部電極
23・・・上部駆動電極
24・・・可動腕
Claims (2)
- 基板上に凹部が形成されており、該凹部の底面に下部電極と駆動電極とが配設され、前記基板上に前記凹部を封止するように封止基板が配設されており、該封止基板の下面の前記凹部と対向する部位に薄板部が周囲に張り出して一体に形成された可動腕を介して取着され、前記薄板部の前記駆動電極と対向する部位に上部駆動電極が、前記下部電極と対向する部位に上部電極がそれぞれ配設されており、前記薄板部は前記可動腕の変形とともに前記底面側に移動して前記上部電極が前記下部電極に電気的に接続するように変形可能であることを特徴とするエレクトロメカニカルスイッチ。
- 基板上に凹部を形成する工程と、該凹部の底面に下部電極と駆動電極とを配設する工程と、単結晶ケイ素基板に酸化ケイ素層と単結晶ケイ素層とが積層されてなる封止基板の前記単結晶ケイ素層を少なくとも一箇所で切れ目を有する枠状に除去して前記酸化ケイ素層を露出させる工程と、前記枠状部の内側に位置する前記酸化ケイ素層をエッチングにより除去して前記枠状部の内側の前記単結晶ケイ素層を薄板部および可動腕に加工する工程と、前記薄板部に上部電極と上部駆動電極とを配設する工程と、前記基板上に前記封止基板を、前記薄板部を前記凹部の内側に配置して、前記上部電極を前記下部電極に、前記上部駆動電極を前記駆動電極にそれぞれ対向させて配設して前記凹部を封止する工程とを順次行なうことを特徴とするエレクトロメカニカルスイッチの製造方法。
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