JP2006222461A - 放熱構造体 - Google Patents
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Abstract
【課題】 熱抵抗を低減することによって、デバイスが発生する熱をより一層効率よく放散し、デバイスの動作や寿命、信頼性を向上することができる放熱構造体を提供する。また、部品点数の減少などにより、放熱構造体のコストダウンや工程短縮を図る。
【解決手段】 動作時に発熱を伴うデバイス10が金属箔15の一表面に接合され、且つその金属箔15の他表面が冷媒23に直接接触して冷却される放熱構造体であり、金属箔15は電気絶縁性の支持部材16に接合されている。電気絶縁性の支持部材16を冷媒が入れられた放熱器2の一隔壁面として天板21をなくしたり、金属箔15の他表面をフィン形状に加工することもできる。
【選択図】 図2
【解決手段】 動作時に発熱を伴うデバイス10が金属箔15の一表面に接合され、且つその金属箔15の他表面が冷媒23に直接接触して冷却される放熱構造体であり、金属箔15は電気絶縁性の支持部材16に接合されている。電気絶縁性の支持部材16を冷媒が入れられた放熱器2の一隔壁面として天板21をなくしたり、金属箔15の他表面をフィン形状に加工することもできる。
【選択図】 図2
Description
本発明は、発熱量の大きな半導体デバイスや画像表示デバイスなど、動作時に発熱を伴う各種デバイスの放熱に好適な放熱構造体に関する。
電気自動車のインバータで用いられる絶縁ゲート型バイポーラトランジスタなどのパワー半導体デバイスや、コンピュータ用マイクロプロセッサユニット或いはレーザーダイオードなどの半導体デバイス、またはプラズマディスプレイパネルなどの画像表示デバイスにおいては、高性能化や高出力化が進み、それに伴って動作時の発熱量も著しく増大してきている。
これらのデバイスで発生した熱は速やかに放散除去されなければ、デバイスが自らの熱によって加熱され、誤動作を引き起こす危険がある。そのため、このような発熱量が大きなデバイスを搭載する基板には、基板を通してデバイスの熱を効率良く放散できるように、高い放熱性を有するものが必要である。
従来から、これら動作時に発熱を伴うデバイスの冷却を目的とした様々な放熱構造体が考案されており、例えば、特開2001−168256号公報に開示されているような放熱構造体が提案されている。この放熱構造体の実施例断面を図1に示す。図1において、1は半導体パワーモジュール、11は半導体デバイス、12は電極部材、13は絶縁基板、14はろう材層であり、2は放熱器、21はその天板、22はその容器、及び23は冷媒である。
半導体デバイス11は、例えばアルミニウム又は銅から形成される電極部材12の上に、例えば鉛−錫系はんだ材によって接合されている。この電極部材12は、窒化アルミニウム又は窒化ケイ素の焼結体からなる絶縁基板13の上に接合されている。更に、絶縁基板13の側壁面は、金属化層が形成された後、アルミニウム−シリコン系ろう材からなるろう材層14を介在させることによって、放熱器2の天板21に接合されている。
上記電極部材12と絶縁基板13の接合は、絶縁基板13の表面上に金属化層(メタライズ層)を形成した後、例えば、ろう材を用いた接合、活性金属を含むろう材を用いた接合、或いは電極部材12を構成するアルミニウム又は銅を溶融させることによる接合などによって行なわれる。あるいは、電極部材12と絶縁基板13の接合に際し、電極部材12を絶縁基板13の上に機械的に保持し、それらの間にサーマルグリースなどを配置して接合することもできる。
そして、放熱器2の内部には、LIC(Long Life Coolant)やフロリナート(商品名、スリーエム社製)などの冷媒23が流されている。この冷媒23に絶縁基板13の裏面が接することにより、絶縁基板13の表面側に搭載された半導体デバイス11で発生した熱が冷媒23に放散される。
特開2001−168256号公報
パワー半導体デバイスやコンピュータ用マイクロプロセッサユニット、半導体レーザーダイオード、或いはプラズマディスブレイパネルなどの画像表示デバイスの発熱量は、年々増加の一途をたどっている。このため、上記の特開2001−168256号公報に記載され、図1に例示したような放熱構造体をもってしても、デバイスの温度を効果的に下げることは困難となってきている。即ち、これら発熱量の大きなデバイスの放熱を目的とした放熱構造体においては、熱抵抗の更なる低減が望まれる。
本発明は、このような従来の課題を解決するためになされたものであり、放熱構造体の熱抵抗を更に低減することによって、デバイスが動作時に発生する熱をより一層効率よく冷媒中に放散し、デバイスの動作や寿命、信頼性を向上することを目的とするものである。
また、従来の放熱構造体では、まだ部品点数や冷媒の所要量が多く、製造工程が長いなど、改善の余地が残されている。本発明は、これらの点についても改善すべく、部品点数の減少などによるコストダウンや工程短縮を図るなど様々なメリットを生み出すこと、あるいは省スペース化を実現することも併せて目的としている。
上記目的を達成するため、本発明において提供する請求項1の放熱構造体は、動作時に発熱を伴うデバイスが金属箔の一表面に接合され、且つ該金属箔の他表面が冷媒に直接接触して冷却されることを特徴とする。
また、本発明における請求項2の放熱構造体は、上記請求項1の放熱構造体において、前記金属箔が電気絶縁性の支持部材に接合されていることを特徴とするものである。
本発明における請求項3の放熱構造体は、上記請求項1又は2の放熱構造体において、前記金属箔の外周部が電気絶縁性の支持部材に接合されると共に、該支持部材の開口部に露出した該金属箔の一表面に前記発熱を伴うデバイスが接合されていることを特徴とする。
本発明における請求項4の放熱構造体は、上記請求項2又は3の放熱構造体において、前記電気絶縁性の支持部材が、冷媒が入れられた放熱器の一隔壁面として機能することを特徴とする。
また、本発明における請求項5の放熱構造体は、上記請求項4の放熱構造体において、前記放熱器の容器が開口側に突き出た補強用凸部を有し、該補強用凸部が前記支持部材の前記金属箔が存在しない部分に接合されていることを特徴とする。
さらに、本発明における請求項6の放熱構造体は、前記金属箔の冷媒に直接接触する他表面が、フィン形状に加工されていることを特徴とするものである。
本発明によれば、動作時に発熱を伴うデバイスとの間の熱抵抗を従来よりも大幅に低減させた放熱構造体を提供することができ、よってデバイスが発生する熱をより一層効率良く放散して、デバイスの動作や寿命、信頼性を更に向上させることができる。特に、上記請求項5の放熱構造体は、デバイスが発生する熱を更により一層効率良く放散させることができる。
しかも、本発明によれば、放熱構造体の部品点数を削減することができ、特に上記請求項4の放熱構造体では部品点数の削減が顕著であるため、材料費のコストダウンや製造工程の短縮を図り、或いは全体の省スペース化を実現することができる。
本発明の放熱構造体を図面に基づいて説明する。図2は本発明の放熱構造体の一具体例を示すものであり、10は動作時に発熱を伴うデバイス、例えば、電気自動車のインバータで用いられる絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ(IGBT:Insulated Gate Bi−polar Transistor)などのパワー半導体デバイス、コンピュータ用マイクロプロセッサユニット、レーザーダイオードなどの半導体デバイス、或いはプラズマディスプレイパネルなどの画像表示デバイスなどである。
上記本発明の放熱構造体においては、図2に示すように、発熱を伴うデバイス10は金属箔15の一表面に、例えば鉛一錫系はんだ材によって接合されており、その金属箔15の他表面が冷媒23に直接接触して冷却される。この金属箔15は、放熱作用を果たすと共に、必要に応じて電極材料としても機能するものであるから、熱伝導率に優れ且つ電気良導性である材料、例えばアルミニウム又は銅から形成され、その厚さは例えば0.3mm程度が好ましい。
また、金属箔15は、電気絶縁性の支持部材16に接合され、この支持部材16を介して他の部材に支持されるようになっている。例えば、電気絶縁性の支持部材16の所望個所に単数ないし複数の開口部16aが設けられ、この開口部16aを閉鎖するように金属箔15の外周部が電気絶縁性の支持部材16に接合されている。その結果、金属箔15の一表面に接合された発熱を伴うデバイス10は、支持部材16の開口部16a内に収容される。
この電気絶縁性の支持部材16としては、例えばセラミックスが好ましく、ヒートスプレッダーとして機能させることによって発熱を伴うデバイス10からの熱放散性をより高めるために、例えば窒化アルミニウム又は窒化ケイ素など熱伝導性の良いものが望ましい。
金属箔15と電気絶縁性の支持部材16の接合は、電気絶縁性の支持部材16の表面に金属化層(メタライズ層)を形成した後、例えば、ろう材を用いた接合、活性金属を含むろう材を用いた接合、或いは金属箔15を構成するアルミニウム又は銅を溶融させることによる接合、などによって行なうことができる。また、金属箔15が電気絶縁性の支持部材16の上に機械的に保持され、両者の間にサーマルグリースなどを配置した接合構造であってもよい。
更に、電気絶縁性の支持部材16の外側壁面は、金属化層が形成された後、ろう材層14を介在させることによって、アルミニウム又は銅で形成された放熱器2の天板21に接合される。ろう材層14としては、例えば、アルミニウム−シリコン系ろう材などを用いることができる。天板21と容器22で構成された放熱器2の内部には、LLC(Long Life Coolant)やフロリナート(商品名、スリーエム社製)などの冷媒23が流され、金属箔15の発熱を伴うデバイス10が接合されていない他表面がこの冷媒23に直接接触することによって、金属箔15から冷媒23に熱を放散することができる。
ここで、支持部材16に電気絶縁性が必要とされるのは、次のような理由からである。上述したような発熱を伴うデバイス10への給電は、デバイス10の一表面のみならず他の表面、即ち金属箔15と接合する面にも必要な場合が多く、また給電が必要でない場合でも独立した電位を保つ必要がある場合が多い。従って、発熱を伴うデバイス10は、放熱器2に対して、また複数のデバイスが搭載される場合は他のデバイスに対して、電気的に独立している必要があるため、支持部材16は電気絶縁性であることが必要である。
また、冷媒23が電気良導体である場合には、金属箔15を通じて発熱を伴うデバイス10への電気経路が生じてしまう。従って、冷媒23についても、電気絶縁性の支持部材16と同じ理由により、電気絶縁性である方が望ましい。尚、上述のフロリナートはこの要求に対応することが可能な冷媒である。あるいは、冷媒が電気絶縁性でない場合には、金属箔15の冷媒23と接触する全表面を電気絶縁処理することも対応策の一つとなり得る。
以上の構成を有する本発明の放熱構造体では、動作時に発熱を伴うデバイス10は金属箔15に接合されており、この金属箔15に対して冷媒23が直接接触して冷却する構造となっている。即ち、発熱を伴うデバイス10から冷媒23までの間には、(1)デバイス10を金属箔15(電極部材)に接合する部材(メッキ層やはんだ層など)と、(2)金属箔15が存在するのみである。一方、図1に示す従来例では、(1)半導体デバイス11を電極部材12に接合する部材(メッキ層やはんだ層など)、(2)電極部材12、(3)電極部材12を絶縁基板13に接合する部材、及び(4)絶縁基板13が存在している。
従って、本発明の放熱構造体では、従来必要であった(3)電極部材12を絶縁基板13に接合する部材及び(4)絶縁基板13を省略できるため、部品点数の削減と同時に、これらが持つ熱抵抗が排除されている。これにより、デバイス10で発生した熱は、容易に金属箔15に伝達され、金属箔15から冷媒23に従来よりも更に効率良く放散させることが可能となった。特に、本発明の放熱構造体においては、従来必要であった(4)絶縁基板の熱抵抗が排されたことが熱放散性の向上に大きく貢献している。
次に、図3を用いて本発明の他の具体例を説明する。この放熱構造体は、前述の図2に示した具体例における放熱器2の天板21を、電気絶縁性の支持部材16で代用した形態となっている。この形態をとることにより、放熱器2の天板が必要なくなるため、部品点数が軽減され、材料費のコストダウンや、製造工程の短縮といったメリットが得られる。
ここで、図3に示した支持部材16は、放熱器2の容器22の開口全面を覆う面積を持つようになっている。この場合、容器22の開口全面の面積が大きく、従って支持部材16が大きくなるほど、例えば窒化アルミニウムや窒化ケイ素の焼結体からなる支持部材16では、その機械的強度に問題が生じたり、製造可能なサイズに限界が生じたりする場合が有り得る。
このような場合には、図4に示すように、放熱器2の容器22の開口側に突き出た補強用凸部22aを形成し、この補強用凸部22aを支持部材16の金属箔15が存在しない部分に、ろう材層14によって接合することが好ましい。この放熱構造体によれば、支持部材16のサイズを小さくすることができるため、支持部材16の機械的強度の確保や製造可能サイズヘの対応が可能となる。しかも、図3の場合と同様に、放熱器2の天板を支持部材16で代用した形態であるため、部品点数が軽減され、材料費のコストダウンや、製造工程の短縮などのメリットを得ることができる。
更に、図5を用いて本発明の放熱構造体の更に他の具体例を説明する。この放熱構造体においては、金属箔15の他表面、即ち発熱を伴うデバイス10が接合されている表面と反対側の表面に、フィン形状が加工されている。この放熱構造体では、デバイス10が発生する熱は金属箔15のフィン15aを通じて冷媒23に伝えられるため、金属箔15から冷媒23中へより一層効率的に熱を放散されることが可能となる。
1 半導体パワーモジュール
2 放熱器
10 発熱を伴うデバイス
11 半導体デバイス
12 電極材料
13 絶縁基板
14 ろう材層
15 金属箔
15a フイン
16 支持部材
16a 開口部
21 天板
22 容器
22a 補強用凸部
2 放熱器
10 発熱を伴うデバイス
11 半導体デバイス
12 電極材料
13 絶縁基板
14 ろう材層
15 金属箔
15a フイン
16 支持部材
16a 開口部
21 天板
22 容器
22a 補強用凸部
Claims (6)
- 動作時に発熱を伴うデバイスが金属箔の一表面に接合され、且つ該金属箔の他表面が冷媒に直接接触して冷却されることを特徴とする放熱構造体。
- 前記金属箔が電気絶縁性の支持部材に接合されていることを特徴とする、請求項1に記載の放熱構造体。
- 前記金属箔の外周部が電気絶縁性の支持部材に接合されると共に、該支持部材の開口部に露出した該金属箔の一表面に前記発熱を伴うデバイスが接合されていることを特徴とする、請求項1又は2に記載の放熱構造体。
- 前記電気絶縁性の支持部材が、冷媒が入れられた放熱器の一隔壁面として機能することを特徴とする、請求項2又は3に記載の放熱構造体。
- 前記放熱器の容器が開口側に突き出た補強用凸部を有し、該補強用凸部が前記支持部材の前記金属箔が存在しない部分に接合されていることを特徴とする、請求項4に記載の放熱構造体。
- 前記金属箔の冷媒に直接接触する他表面が、フィン形状に加工されていることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載の放熱構造体。
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