JP2006222270A - 固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】固体撮像素子に設けられた光導波路内へのコア部材の埋め込み性を低下させることなく、その入射効率を向上させること。
【解決手段】半導体基板1上に形成された受光部21の上に形成される複数の層間絶縁膜3、4、5、8及び保護膜9を通して受光部21方向に形成され、オンチップレンズ13より入射される光を効率よく受光部21に導く光導波路10のコア部材として、TiO分散により屈折率が1.8〜1.9と高いTiO分散型ポリイミド樹脂を用いることにより、光導波路10内のコア部材の埋め込み性を低下させることなく、受光部21への入射効率を向上させることができる。
【選択図】図1
Description
Claims (6)
- 光電変換部を上部に形成する半導体基板と、
前記光電変換部の上に形成され、この光電変換部に電気的に接続された信号伝送用の配線部をそれぞれ含む複数の層間絶縁膜と、
前記複数の層間絶縁膜の最上層からその下の層間絶縁膜を通して前記光電変換部の表面方向に設けられ、光を前記光電変換部に導く光導波路とを具備し、
前記光導波路のコア部材はTiO分散型ポリイミド樹脂であることを特徴とする固体撮像素子。 - 前記複数の層間絶縁膜の最上層を保護する保護膜を有し、前記光導波路はこの保護膜から下層の層間絶縁膜を通して前記光電変換部の表面方向に形成されることを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子。
- 前記光導波路の上に形成されるカラーフィルターと、
前記カラーフィルターの上に形成される集光用の光学素子と、
を具備することを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子。 - 前記層間絶縁膜の構成材は酸化シリコンであることを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子。
- 光電変換部を上部に形成する半導体基板と、前記光電変換部の上に形成され、内部に信号伝送用の配線部を含む複数の層間絶縁膜と、前記複数の層間絶縁膜の最上層からその下の層間絶縁膜を通して前記光電変換部の表面方向に設けられ、光を前記光電変換部に導く光導波路とを有する固体撮像素子の製造方法であって、
前記光導波路内にTiO分散型ポリイミド樹脂を流し込む工程を有することを特徴とする固体撮像素子の製造方法。 - 前記光導波路の上にカラーフィルターを介して形成される集光用の光学素子を形成する工程を具備することを特徴とする請求項5記載の固体撮像素子の製造方法。
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