JP2006220539A - Measuring method for droplet discharge, measuring jig of droplet discharge, control method for droplet discharge, measuring device of droplet discharge and drawing system - Google Patents

Measuring method for droplet discharge, measuring jig of droplet discharge, control method for droplet discharge, measuring device of droplet discharge and drawing system Download PDF

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英信 三澤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a measuring method for droplet discharge, measuring droplet quantity discharged from droplet discharge head for each nozzle, and also to provide a measuring jig for droplet discharge, a control method for droplet discharge, a measuring device of droplet discharge, and a drawing system. <P>SOLUTION: The method of droplet discharge quantity measuring, measures the droplet discharge quantity of a droplet discharge head 2 that discharges liquid material out of a nozzle 25 as droplets. The method has: a charging process of repeatedly discharging droplet out of the nozzle 25 to one end 321 of a groove 32, storing the liquid material discharged from the droplet discharge head 2 and of filling the liquid material into the groove 32, starting from the one end 321 of the groove 32 toward the other end 322; and a measuring process of measuring the length where the liquid material is charged in the groove 32. According to the measured value of the charged length, the droplet discharge quantity of the nozzle 25 is estimated. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、液滴吐出量測定方法、液滴吐出量測定用治具、液滴吐出量調整方法、液滴吐出量測定装置および描画装置に関する。   The present invention relates to a droplet discharge amount measuring method, a droplet discharge amount measuring jig, a droplet discharge amount adjusting method, a droplet discharge amount measuring apparatus, and a drawing apparatus.

液晶表示装置のカラーフィルタ基板や、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）表示装置のような色要素付き基板の色要素膜（フィルタ膜、発光膜等）を形成する方法として、インクジェット描画装置を用いる方法が知られている。この方法では、基板上に形成されたバンクによって囲まれてなる色要素領域（サブピクセル）の各々に対し、インクジェット描画装置によって色要素膜形成用の液状材料を付与する。すなわち、インクジェット描画装置によって、液状材料を液滴として吐出し、この液滴を各色要素領域に着弾させる。そして、各色要素領域に付与された液状材料を固化または硬化させて色要素膜を形成する。
この場合、形成される色要素膜の膜厚を正確に管理するためには、各色要素領域に付与される液状材料の量を正確に制御する必要があり、そのためには、液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）から吐出される液滴１滴当たりの量を知る必要がある。 As a method for forming a color element film (filter film, light emitting film, etc.) of a color filter substrate of a liquid crystal display device or a substrate with color elements such as an organic EL (Electro-Luminescence) display device, there is a method using an ink jet drawing apparatus. Are known. In this method, a liquid material for forming a color element film is applied to each of the color element regions (subpixels) surrounded by banks formed on the substrate by an ink jet drawing apparatus. That is, a liquid material is ejected as droplets by an ink jet drawing apparatus, and the droplets are landed on each color element region. The liquid material applied to each color element region is solidified or cured to form a color element film.
In this case, in order to accurately manage the film thickness of the color element film to be formed, it is necessary to accurately control the amount of liquid material applied to each color element region. It is necessary to know the amount per droplet discharged from the inkjet head.

従来、液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を測定する方法としては、液滴吐出ヘッドの全ノズルから液滴を吐出し、吐出された液滴を受け容器で受け、液滴を受けた前後での受け容器の重量を測定することにより、受け容器に吐出された液滴の総重量を測定し、これを液滴の数で除算することにより、１滴当たりの重量を測定している（例えば特許文献１参照）。
しかしながら、上記の液滴吐出量測定方法では、液滴吐出ヘッドの全ノズルの平均値しか分からない。実際には、ノズルごとに吐出量のバラツキがあるので、各ノズルごとの１滴の吐出量を知ることができないという問題があった。 Conventionally, as a method of measuring the droplet discharge amount of a droplet discharge head, droplets are discharged from all nozzles of the droplet discharge head, and the discharged droplets are received by a container and before and after receiving the droplets. The total weight of the droplets discharged into the receiving vessel is measured by measuring the weight of the receiving vessel, and the weight per droplet is measured by dividing this by the number of droplets (for example, Patent Document 1).
However, in the above droplet discharge amount measuring method, only the average value of all nozzles of the droplet discharge head is known. Actually, there is a variation in the discharge amount for each nozzle, and there is a problem that it is impossible to know the discharge amount of one drop for each nozzle.

単純に考えると、受け容器に液滴を吐出する際に一つのノズルのみから液滴を吐出して、その前後で受け容器の重量を測定すれば、そのノズルからの１滴の吐出量が分かるようにも思えるが、同じノズルでも、全ノズルから液滴を吐出しているときと、そのノズルのみから液滴を吐出しているときとでは、１滴の吐出量が異なるので、この方法では、全ノズルから吐出している場合における各ノズルごとの吐出量を正確に知ることはできない。また、この方法の場合、全ノズルについてそれぞれ受け容器の重量測定を行わなければならないので、測定に多大な時間と手間がかかるという問題もある。   In simple terms, when a droplet is ejected to a receiving container, if the droplet is ejected from only one nozzle and the weight of the receiving container is measured before and after that, the amount of one droplet ejected from that nozzle can be determined. Although it seems that, even with the same nozzle, when one droplet is ejected from all nozzles, and when one droplet is ejected from only that nozzle, the amount of one droplet ejected is different. In this case, it is impossible to accurately know the discharge amount for each nozzle when discharging from all nozzles. Further, in this method, since the weights of the receiving containers must be measured for all the nozzles, there is a problem that the measurement takes a lot of time and labor.

特開２００４−１７７２６２号公報JP 2004-177262 A

本発明の目的は、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の量を各ノズルごとに測定することができる液滴吐出量測定方法、液滴吐出量測定用治具、液滴吐出量調整方法、液滴吐出量測定装置および描画装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a droplet discharge amount measuring method, a droplet discharge amount measuring jig, and a droplet discharge amount adjusting method capable of measuring the amount of droplets discharged from a droplet discharge head for each nozzle. Another object is to provide a droplet discharge amount measuring device and a drawing device.

このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の液滴吐出量測定方法は、液状材料をノズルから液滴として吐出する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を測定する液滴吐出量測定方法であって、
前記液滴吐出ヘッドから吐出された液状材料を貯留可能な溝の一端部へ前記ノズルから液滴を繰り返し吐出して、前記溝の一端部から他端部へ向かって液状材料を前記溝内に充填する充填工程と、
液状材料が前記溝内に充填された長さを計測する計測工程とを有し、
前記充填された長さの計測値に基づいて、当該ノズルの液滴吐出量を推定することを特徴とする。 Such an object is achieved by the present invention described below.
The droplet discharge amount measuring method of the present invention is a droplet discharge amount measuring method for measuring a droplet discharge amount of a droplet discharge head that discharges a liquid material as droplets from a nozzle,
The liquid material discharged from the droplet discharge head is repeatedly discharged from the nozzle to one end of the groove where the liquid material can be stored, and the liquid material is put into the groove from one end to the other end of the groove. A filling step of filling;
A measuring step of measuring the length of the liquid material filled in the groove,
The droplet discharge amount of the nozzle is estimated based on the measured value of the filled length.

これにより、液滴吐出ヘッドから吐出される１滴の液滴の量を、ノズルごとに測定することができる。すなわち、１滴当たりの吐出量を、全ノズルの平均値としてでなく、特定のノズルの測定値として正確に知ることができる。
特に、液滴吐出ヘッドの全ノズルから液滴を吐出している場合におけるノズルごとの吐出量を測定することができる。一般に、同じノズルであっても、全ノズルから液滴を吐出している場合と、そのノズルのみから液滴を吐出している場合とでは、吐出量が異なる。ワークに対し描画しているときは、液滴吐出ヘッドのほぼ全部のノズルから液滴を吐出するので、本発明では、実際の描画状態に近い状態でのそのノズルの液滴吐出量を測定することができ、極めて有用である。 Thereby, the amount of one droplet discharged from the droplet discharge head can be measured for each nozzle. That is, it is possible to accurately know the discharge amount per droplet as a measurement value of a specific nozzle, not as an average value of all nozzles.
In particular, it is possible to measure the discharge amount for each nozzle when droplets are discharged from all nozzles of the droplet discharge head. In general, even when the same nozzle is used, the discharge amount differs between when the droplets are discharged from all the nozzles and when the droplets are discharged only from the nozzles. When drawing on the workpiece, droplets are ejected from almost all nozzles of the droplet ejection head, so in the present invention, the droplet ejection amount of the nozzle in a state close to the actual drawing state is measured. Can be extremely useful.

本発明の液滴吐出量測定方法では、前記充填された長さの計測値と、前記溝の単位長さ当たりの容積に関する情報と、該溝へ吐出された液滴の数とに基づいて、当該ノズルから吐出された液滴の１滴当たりの量を算出することが好ましい。
これにより、そのノズルから吐出された液滴の１滴当たりの体積を簡単かつ正確に算出することができる。 In the droplet discharge amount measuring method of the present invention, based on the measured value of the filled length, information on the volume per unit length of the groove, and the number of droplets discharged to the groove, It is preferable to calculate the amount of droplets ejected from the nozzle.
Thereby, the volume per droplet of the droplet discharged from the nozzle can be calculated easily and accurately.

本発明の液滴吐出量測定方法では、前記溝は、前記液滴吐出ヘッドの複数のノズルに対応して、複数、並設されており、
前記充填工程では、前記複数の溝の一端部へ、それぞれ、前記複数のノズルから液滴を繰り返し吐出して、前記複数の溝の一端部から他端部へ向かって液状材料を各々の溝内に充填し、
前記計測工程では、前記複数の溝の各々について、液状材料が充填された長さを計測し、
それらの計測値に基づいて、前記複数のノズルの各々の液滴吐出量を推定することが好ましい。
これにより、複数のノズルについての測定を一度に行うことができ、測定に要する時間と手間を大幅に軽減することができる。 In the droplet discharge amount measuring method of the present invention, a plurality of the grooves are arranged in parallel corresponding to the plurality of nozzles of the droplet discharge head,
In the filling step, liquid droplets are repeatedly ejected from one of the plurality of nozzles to one end of each of the plurality of grooves, and liquid material is supplied from one end to the other end of each of the plurality of grooves. Filling
In the measurement step, for each of the plurality of grooves, the length filled with the liquid material is measured,
It is preferable to estimate the droplet discharge amount of each of the plurality of nozzles based on those measured values.
Thereby, the measurement about a some nozzle can be performed at once, and the time and labor which a measurement requires can be reduced significantly.

本発明の液滴吐出量測定方法では、前記充填工程では、前記複数の溝に対しそれぞれ同数の液滴を吐出し、
前記計測工程では、前記複数の溝について、液状材料が充填された長さの分布を把握することにより、前記複数のノズルの液滴吐出量の比率を推定することが好ましい。
これにより、極めて簡単に、複数のノズルにおける各ノズルごとの１滴当たりの吐出量の比率を把握することができる。 In the droplet discharge amount measuring method of the present invention, in the filling step, the same number of droplets are discharged to the plurality of grooves, respectively.
In the measurement step, it is preferable to estimate a ratio of droplet discharge amounts of the plurality of nozzles by grasping a distribution of lengths filled with the liquid material for the plurality of grooves.
Thereby, the ratio of the discharge amount per droplet for each nozzle in a plurality of nozzles can be grasped very easily.

本発明の液滴吐出量測定用治具は、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出された液状材料を貯留可能な溝が形成された液滴受容部を有する液滴吐出量測定用治具であって、
前記溝の一端部へ前記ノズルから液滴を繰り返し吐出して、前記溝の一端部から他端部へ向かって液状材料を前記溝内に充填し、その充填された長さを計測し、該計測値に基づいて、当該ノズルの液滴吐出量を推定する液滴吐出量測定方法の実施に使用可能であることを特徴とする。 The droplet discharge amount measuring jig of the present invention is a droplet discharge amount measuring jig having a droplet receiving portion in which a groove capable of storing a liquid material discharged from a nozzle of a droplet discharge head is formed. And
A droplet is repeatedly ejected from the nozzle to one end of the groove, and the liquid material is filled into the groove from one end to the other end of the groove, and the filled length is measured, The present invention is characterized in that it can be used to implement a droplet discharge amount measuring method for estimating a droplet discharge amount of the nozzle based on a measured value.

これにより、液滴吐出ヘッドから吐出される１滴の液滴の量を、ノズルごとに測定することができる。すなわち、１滴当たりの吐出量を、全ノズルの平均値としてでなく、特定のノズルの測定値として正確に知ることができる。
特に、液滴吐出ヘッドの全ノズルから液滴を吐出している場合におけるノズルごとの吐出量を測定することができる。一般に、同じノズルであっても、全ノズルから液滴を吐出している場合と、そのノズルのみから液滴を吐出している場合とでは、吐出量が異なる。ワークに対し描画しているときは、液滴吐出ヘッドのほぼ全部のノズルから液滴を吐出するので、本発明では、実際の描画状態に近い状態でのそのノズルの液滴吐出量を測定することができ、極めて有用である。 Thereby, the amount of one droplet discharged from the droplet discharge head can be measured for each nozzle. That is, it is possible to accurately know the discharge amount per droplet as a measurement value of a specific nozzle, not as an average value of all nozzles.
In particular, it is possible to measure the discharge amount for each nozzle when droplets are discharged from all nozzles of the droplet discharge head. In general, even when the same nozzle is used, the discharge amount differs between when the droplets are discharged from all the nozzles and when the droplets are discharged only from the nozzles. When drawing on the workpiece, droplets are ejected from almost all nozzles of the droplet ejection head, so in the present invention, the droplet ejection amount of the nozzle in a state close to the actual drawing state is measured. Can be extremely useful.

本発明の液滴吐出量測定用治具では、前記溝は、前記液滴吐出ヘッドの複数のノズルに対応して、複数、並設されていることが好ましい。
これにより、複数のノズルについての測定を一度に行うことができ、測定に要する時間と手間を大幅に軽減することができる。
本発明の液滴吐出量測定用治具では、前記溝の近傍に、液状材料が前記溝内に充填された長さを示す目盛りが設けられていることが好ましい。
これにより、液状材料が溝内に充填された長さを目盛りから読み取るだけで計測することができるので、極めて簡単に計測することができる。 In the droplet discharge amount measuring jig of the present invention, it is preferable that a plurality of the grooves are arranged in parallel corresponding to the plurality of nozzles of the droplet discharge head.
Thereby, the measurement about a some nozzle can be performed at once, and the time and labor which a measurement requires can be reduced significantly.
In the droplet discharge amount measuring jig of the present invention, it is preferable that a graduation indicating the length of the liquid material filled in the groove is provided in the vicinity of the groove.
Thereby, since it can measure only by reading the length with which the liquid material was filled in the groove | channel from a scale, it can measure very easily.

本発明の液滴吐出量測定用治具では、前記溝の内面は、前記液状材料に対する親液性を有し、前記液滴受容部の前記溝以外の部分は、前記液状材料に対する撥液性を有していることが好ましい。
これにより、液状材料が溝内に隙間を残さずに充填されていくとともに、液状材料が溝外へ溢れ出ることを確実に防止することができるので、液滴吐出量の測定をより高精度に行うことができる。 In the droplet discharge amount measuring jig of the present invention, the inner surface of the groove has lyophilicity with respect to the liquid material, and the portion other than the groove of the droplet receiving portion has liquid repellency with respect to the liquid material. It is preferable to have.
As a result, the liquid material can be filled without leaving any gaps in the groove, and the liquid material can be reliably prevented from overflowing out of the groove, so that the droplet discharge amount can be measured with higher accuracy. It can be carried out.

本発明の液滴吐出量調整方法は、液状材料をノズルから液滴として吐出する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を調整する液滴吐出量調整方法であって、
前記液滴吐出ヘッドから吐出された液状材料を貯留可能な、並設された複数の溝の一端部へ、それぞれ、前記液滴吐出ヘッドの複数のノズルから液滴を繰り返し吐出して、前記複数の溝の一端部から他端部へ向かって液状材料を各々の溝内に充填する充填工程と、
前記複数の溝の各々について、液状材料が該溝に充填された長さを計測する計測工程と、
前記複数の溝の各々についての前記充填された長さの計測値に基づいて、前記複数のノズルの各々に対応する駆動電圧を調整することにより、前記複数のノズルの液滴吐出量が可及的に等しくなるように調整する調整工程とを有することを特徴とする。
これにより、液滴吐出ヘッドの各ノズルの１滴当たりの吐出量を均一化することができる。その結果、この液滴吐出ヘッドを用いて描画される膜の膜厚を高精度に制御することができ、製品の品質向上が図れる。また、上記効果を極めて簡単な方法で達成することができる。 The droplet discharge amount adjustment method of the present invention is a droplet discharge amount adjustment method for adjusting a droplet discharge amount of a droplet discharge head that discharges a liquid material as droplets from a nozzle,
The plurality of nozzles of the droplet discharge head are repeatedly discharged to one end portions of a plurality of juxtaposed grooves capable of storing the liquid material discharged from the droplet discharge head, respectively. A filling step of filling each groove with a liquid material from one end of the groove toward the other end;
For each of the plurality of grooves, a measuring step of measuring the length of the liquid material filled in the grooves,
By adjusting the driving voltage corresponding to each of the plurality of nozzles based on the measured value of the filled length for each of the plurality of grooves, the droplet discharge amount of the plurality of nozzles is made possible. And an adjusting step for adjusting the power to be equal to each other.
Thereby, the discharge amount per droplet of each nozzle of the droplet discharge head can be made uniform. As a result, the film thickness drawn using this droplet discharge head can be controlled with high accuracy, and the quality of the product can be improved. Further, the above effect can be achieved by a very simple method.

本発明の液滴吐出量測定装置は、液状材料をノズルから液滴として吐出する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を測定する液滴吐出量測定装置であって、
液状材料を貯留可能な溝が形成された液滴受容部を有し、
前記溝の一端部へ前記ノズルから液滴を繰り返し吐出して、前記溝の一端部から他端部へ向かって液状材料を前記溝内に充填し、その充填された長さを計測し、該計測値に基づいて、当該ノズルの液滴吐出量を推定する液滴吐出量測定方法の実施に使用可能であることを特徴とする。 The droplet discharge amount measuring device of the present invention is a droplet discharge amount measuring device that measures the droplet discharge amount of a droplet discharge head that discharges a liquid material as droplets from a nozzle,
It has a droplet receiving part in which a groove capable of storing a liquid material is formed,
A droplet is repeatedly ejected from the nozzle to one end of the groove, and the liquid material is filled into the groove from one end to the other end of the groove, and the filled length is measured, The present invention is characterized in that it can be used to implement a droplet discharge amount measuring method for estimating a droplet discharge amount of the nozzle based on a measured value.

これにより、液滴吐出ヘッドから吐出される１滴の液滴の量を、ノズルごとに測定することができる。すなわち、１滴当たりの吐出量を、全ノズルの平均値としてでなく、特定のノズルの測定値として正確に知ることができる。
特に、液滴吐出ヘッドの全ノズルから液滴を吐出している場合におけるノズルごとの吐出量を測定することができる。一般に、同じノズルであっても、全ノズルから液滴を吐出している場合と、そのノズルのみから液滴を吐出している場合とでは、吐出量が異なる。ワークに対し描画しているときは、液滴吐出ヘッドのほぼ全部のノズルから液滴を吐出するので、本発明では、実際の描画状態に近い状態でのそのノズルの液滴吐出量を測定することができ、極めて有用である。 Thereby, the amount of one droplet discharged from the droplet discharge head can be measured for each nozzle. That is, it is possible to accurately know the discharge amount per droplet as a measurement value of a specific nozzle, not as an average value of all nozzles.
In particular, it is possible to measure the discharge amount for each nozzle when droplets are discharged from all nozzles of the droplet discharge head. In general, even when the same nozzle is used, the discharge amount differs between when the droplets are discharged from all the nozzles and when the droplets are discharged only from the nozzles. When drawing on the workpiece, droplets are ejected from almost all nozzles of the droplet ejection head, so in the present invention, the droplet ejection amount of the nozzle in a state close to the actual drawing state is measured. Can be extremely useful.

本発明の描画装置は、液状材料をノズルから液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、ワークとを相対的に移動させ、前記ノズルから液滴を吐出して前記ワークに着弾させることにより描画を行う描画装置であって、
前記溝の一端部へ前記ノズルから液滴を繰り返し吐出して、前記溝の一端部から他端部へ向かって液状材料を前記溝内に充填し、その充填された長さを計測し、該計測値に基づいて、当該ノズルの液滴吐出量を推定する液滴吐出量測定方法の実施に使用可能であることを特徴とする。 The drawing apparatus according to the present invention draws a liquid by discharging a liquid droplet from the nozzle and landing on the workpiece by relatively moving a droplet discharge head that discharges a liquid material as droplets from the nozzle and the workpiece. A drawing device to perform,
A droplet is repeatedly ejected from the nozzle to one end of the groove, and the liquid material is filled into the groove from one end to the other end of the groove, and the filled length is measured, The present invention is characterized in that it can be used to implement a droplet discharge amount measuring method for estimating a droplet discharge amount of the nozzle based on a measured value.

これにより、液滴吐出ヘッドから吐出される１滴の液滴の量を、ノズルごとに測定することができる。すなわち、１滴当たりの吐出量を、全ノズルの平均値としてでなく、特定のノズルの測定値として正確に知ることができる。
特に、液滴吐出ヘッドの全ノズルから液滴を吐出している場合におけるノズルごとの吐出量を測定することができる。一般に、同じノズルであっても、全ノズルから液滴を吐出している場合と、そのノズルのみから液滴を吐出している場合とでは、吐出量が異なる。ワークに対し描画しているときは、液滴吐出ヘッドのほぼ全部のノズルから液滴を吐出するので、本発明では、実際の描画状態に近い状態でのそのノズルの液滴吐出量を測定することができ、極めて有用である。 Thereby, the amount of one droplet discharged from the droplet discharge head can be measured for each nozzle. That is, it is possible to accurately know the discharge amount per droplet as a measurement value of a specific nozzle, not as an average value of all nozzles.
In particular, it is possible to measure the discharge amount for each nozzle when droplets are discharged from all nozzles of the droplet discharge head. In general, even when the same nozzle is used, the discharge amount differs between when the droplets are discharged from all the nozzles and when the droplets are discharged only from the nozzles. When drawing on the workpiece, droplets are ejected from almost all nozzles of the droplet ejection head, so in the present invention, the droplet ejection amount of the nozzle in a state close to the actual drawing state is measured. Can be extremely useful.

以下、本発明の液滴吐出量測定方法、液滴吐出量測定用治具、液滴吐出量調整方法、液滴吐出量測定装置および描画装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の液滴吐出量測定装置を搭載した描画装置（インクジェット描画装置）の実施形態を示す斜視図である。
同図に示すように、描画装置１は、液滴吐出ヘッド２を１個または複数個搭載したキャリッジ１０３と、キャリッジ１０３を水平な一方向（以下、「Ｘ軸方向」と言う）に移動させるキャリッジ移動機構（移動手段）１０４と、ワーク１０Ａを保持するステージ１０６と、ステージ１０６をＸ軸方向に垂直であって水平な方向（以下、「Ｙ軸方向」と言う）に移動させるステージ移動機構（移動手段）１０８と、制御手段１１２とを備えている。 Hereinafter, a droplet discharge amount measuring method, a droplet discharge amount measuring jig, a droplet discharge amount adjusting method, a droplet discharge amount measuring apparatus, and a drawing apparatus according to the present invention will be described in detail based on preferred embodiments shown in the accompanying drawings. Explained.
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a drawing apparatus (inkjet drawing apparatus) equipped with a droplet discharge amount measuring apparatus of the present invention.
As shown in the drawing, the drawing apparatus 1 moves a carriage 103 on which one or a plurality of droplet discharge heads 2 are mounted, and the carriage 103 in one horizontal direction (hereinafter referred to as “X-axis direction”). A carriage moving mechanism (moving means) 104, a stage 106 for holding the workpiece 10A, and a stage moving mechanism for moving the stage 106 in a horizontal direction (hereinafter referred to as "Y-axis direction") perpendicular to the X-axis direction. (Moving means) 108 and control means 112 are provided.

描画装置１の近傍には、液状材料１１１を貯留するタンク１０１が設置されている。タンク１０１と、キャリッジ１０３とは、液状材料１１１を送液する流路となるチューブ１１０を介して接続されている。各タンク１０１に貯留された液状材料１１１は、例えば圧縮空気の力によって、キャリッジ１０３の液滴吐出ヘッド２に送液（供給）される。
このような描画装置１は、ステージ移動機構１０８およびキャリッジ移動機構１０４を作動させ、ステージ１０６とキャリッジ１０３とを相対的に移動させることにより、液滴吐出ヘッド２をワーク１０Ａに沿って走査しつつ、液滴吐出ヘッド２のノズル２５から液状材料１１１の液滴を吐出して、ワーク１０Ａ上に所定のパターンを描画する装置である。 A tank 101 that stores a liquid material 111 is installed in the vicinity of the drawing apparatus 1. The tank 101 and the carriage 103 are connected via a tube 110 serving as a flow path for feeding the liquid material 111. The liquid material 111 stored in each tank 101 is fed (supplied) to the droplet discharge head 2 of the carriage 103 by, for example, the force of compressed air.
Such a drawing apparatus 1 operates the stage moving mechanism 108 and the carriage moving mechanism 104, and relatively moves the stage 106 and the carriage 103, thereby scanning the droplet discharge head 2 along the workpiece 10A. In this apparatus, a droplet of the liquid material 111 is discharged from the nozzle 25 of the droplet discharge head 2 to draw a predetermined pattern on the workpiece 10A.

描画装置１は、各種の電気光学装置の製造装置として使用可能な装置であり、例えば液晶表示装置のカラーフィルタ基板や有機ＥＬ表示装置のような色要素付き基板、電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置、電気泳動表示装置等を製造したり、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を行うのに用いることができる。   The drawing device 1 is a device that can be used as a manufacturing device for various electro-optical devices. For example, a color filter substrate of a liquid crystal display device, a substrate with color elements such as an organic EL display device, an electron emission device, a PDP (Plasma Display). Panel) device, electrophoretic display device and the like, and can be used for metal wiring formation, lens formation, resist formation, light diffuser formation, and the like.

また、本発明において、液状材料１１１は、例えば色要素付き基板の色要素膜のような目的物を形成するための材料を含み、かつ、液滴吐出ヘッド２のノズル２５から吐出可能な粘度を有するものである。この場合、材料が水性であると油性であるとを問わない。また、ノズル２５から吐出可能な流動性（粘度）を備えていれば十分で、固体物質が分散していても全体として流動体であればよい。すなわち、液状材料は、色要素膜の構成材料が溶媒中に溶解した溶液でも、分散した分散液（サスペンションやエマルション）でもよい。   In the present invention, the liquid material 111 includes a material for forming an object such as a color element film of a substrate with color elements, for example, and has a viscosity that can be discharged from the nozzle 25 of the droplet discharge head 2. It is what you have. In this case, it does not matter whether the material is aqueous or oily. Further, it is sufficient if it has fluidity (viscosity) that can be discharged from the nozzle 25, and even if a solid substance is dispersed, it is sufficient if it is a fluid as a whole. That is, the liquid material may be a solution in which the constituent material of the color element film is dissolved in a solvent or a dispersed dispersion (suspension or emulsion).

液状材料１１１に含有され得る材料としては、カラーフィルタのフィルタ材料、有機ＥＬ装置におけるＥＬ発光層を形成するための蛍光材料、ＰＤＰ装置における蛍光体を形成するための蛍光材料、電気泳動表示装置における泳動体を形成する泳動体材料、基板の表面にバンクを形成するためのバンク材料、各種コーティング材料、電極を形成するための液状電極材料、２枚の基板間に微小なセルギャップを構成するためのスペーサを構成する粒子材料、金属配線を形成するための金属材料、マイクロレンズを形成するためのレンズ材料、レジスト材料、光拡散体を形成するための光拡散材料等が挙げられる。   Examples of materials that can be contained in the liquid material 111 include filter materials for color filters, fluorescent materials for forming EL light emitting layers in organic EL devices, fluorescent materials for forming phosphors in PDP devices, and electrophoretic display devices. In order to form a micro cell gap between two substrates, a migrating material for forming a migrating body, a bank material for forming a bank on the surface of the substrate, various coating materials, a liquid electrode material for forming an electrode Particle materials constituting the spacers, metal materials for forming metal wiring, lens materials for forming microlenses, resist materials, light diffusing materials for forming light diffusers, and the like.

描画装置１におけるキャリッジ移動機構１０４の作動は、制御手段１１２により制御される。なお、制御手段１１２の詳細な構成および機能は、後述する。本実施形態のキャリッジ移動機構１０４は、キャリッジ１０３をＺ軸方向（鉛直方向）に沿って移動させ、高さを調整する機能も有している。さらに、キャリッジ移動機構１０４は、Ｚ軸に平行な軸の回りでキャリッジ１０３を回転させる機能も有しており、これにより、キャリッジ１０３のＺ軸回りの角度を微調整することができる。   The operation of the carriage moving mechanism 104 in the drawing apparatus 1 is controlled by the control unit 112. The detailed configuration and function of the control unit 112 will be described later. The carriage moving mechanism 104 of this embodiment also has a function of adjusting the height by moving the carriage 103 along the Z-axis direction (vertical direction). Furthermore, the carriage moving mechanism 104 also has a function of rotating the carriage 103 around an axis parallel to the Z axis, whereby the angle of the carriage 103 around the Z axis can be finely adjusted.

ステージ１０６は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な平面を有する。また、ステージ１０６は、ワーク１０Ａをその平面上に固定、または保持できるように構成されている。
ステージ移動機構１０８は、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の双方に直交するＹ軸方向に沿ってステージ１０６を移動させ、その作動は、制御手段１１２により制御される。さらに、本実施形態のステージ移動機構１０８は、Ｚ軸に平行な軸の回りでステージ１０６を回転させる機能も有しており、これにより、ステージ１０６に載置されたワーク１０ＡのＺ軸回りの傾斜を微調整して真っ直ぐになるように補正することができる。 The stage 106 has a plane parallel to both the X-axis direction and the Y-axis direction. The stage 106 is configured to fix or hold the workpiece 10A on the plane.
The stage moving mechanism 108 moves the stage 106 along the Y-axis direction orthogonal to both the X-axis direction and the Z-axis direction, and its operation is controlled by the control means 112. Furthermore, the stage moving mechanism 108 according to the present embodiment also has a function of rotating the stage 106 around an axis parallel to the Z axis, whereby the workpiece 10A placed on the stage 106 is rotated around the Z axis. The inclination can be finely adjusted to make it straight.

上述のように、キャリッジ１０３は、キャリッジ移動機構１０４によってＸ軸方向に移動させられる。一方、ステージ１０６は、ステージ移動機構１０８によってＹ軸方向に移動させられる。つまり、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８の作動によって、ステージ１０６上のワーク１０Ａと、キャリッジ１０３との相対位置を変わるので、ワーク１０Ａに対し液滴吐出ヘッド２を相対的に走査することができる。   As described above, the carriage 103 is moved in the X-axis direction by the carriage moving mechanism 104. On the other hand, the stage 106 is moved in the Y-axis direction by the stage moving mechanism 108. That is, the relative position between the workpiece 10A on the stage 106 and the carriage 103 is changed by the operation of the carriage moving mechanism 104 and the stage moving mechanism 108, so that the droplet discharge head 2 can be scanned relative to the workpiece 10A. it can.

描画装置１は、ステージ移動機構１０８の作動により、ステージ１０６上に保持されたワーク１０ＡをＹ軸方向に移動させ、キャリッジ１０３の下を通過させつつ、キャリッジ１０３の各液滴吐出ヘッド２のノズル２５から液状材料１１１の液滴を吐出するように作動する。この動作を「主走査」と言う。
キャリッジ１０３全体としてワーク１０Ａに対し液状材料１１１を吐出可能なＸ軸方向の幅（以下、「全吐出幅」と言う）よりも、ワーク１０ＡのＸ軸方向の幅が小さいものである場合には、キャリッジ１０３とワーク１０Ａとの主走査を１回行うことにより、ワーク１０Ａの全体に対して液状材料１１１の付与、すなわち描画を行うことができる。 The drawing apparatus 1 operates the stage moving mechanism 108 to move the workpiece 10A held on the stage 106 in the Y-axis direction and pass under the carriage 103, while the nozzles of each droplet discharge head 2 of the carriage 103. The liquid material 111 is operated to be ejected from 25. This operation is called “main scanning”.
When the width of the workpiece 10A in the X-axis direction is smaller than the width in the X-axis direction (hereinafter referred to as “total discharge width”) capable of discharging the liquid material 111 to the workpiece 10A as a whole of the carriage 103. By performing the main scanning of the carriage 103 and the workpiece 10A once, the liquid material 111 can be applied to the entire workpiece 10A, that is, the drawing can be performed.

これに対し、キャリッジ１０３の全吐出幅よりも、ワーク１０ＡのＸ軸方向の幅が大きいものである場合には、キャリッジ移動機構１０４を作動してキャリッジ１０３をＸ軸方向へ移動させることによって、キャリッジ１０３とワーク１０ＡとのＸ軸方向の相対位置関係を変えた後、主走査を再度行う。キャリッジ１０３とワーク１０ＡとのＸ軸方向の相対位置関係を変えることを「副走査」と呼ぶ。主走査および副走査を繰り返し行うことにより、キャリッジ１０３の全吐出幅よりも、ワーク１０ＡのＸ軸方向の幅が大きいものである場合であっても、ワーク１０Ａの全面に対して液状材料１１１の付与、すなわち描画を行うことができる。   On the other hand, when the width of the workpiece 10A in the X-axis direction is larger than the entire discharge width of the carriage 103, the carriage 103 is operated in the X-axis direction by operating the carriage moving mechanism 104. After changing the relative positional relationship between the carriage 103 and the workpiece 10A in the X-axis direction, main scanning is performed again. Changing the relative positional relationship between the carriage 103 and the workpiece 10A in the X-axis direction is called “sub-scanning”. By repeatedly performing main scanning and sub-scanning, even if the width of the workpiece 10A in the X-axis direction is larger than the total discharge width of the carriage 103, the liquid material 111 is applied to the entire surface of the workpiece 10A. Giving, that is, drawing can be performed.

図２は、図１に示す描画装置１における液滴吐出ヘッド２を示す図であり、（ａ）が斜視図、（ｂ）が断面側面図である。以下、図２を参照して、液滴吐出ヘッド２の内部構成について説明する。
図２に示す液滴吐出ヘッド２は、液滴を吐出する多数のノズル２５が列をなして並んだノズル列を有するインクジェットヘッドである。この液滴吐出ヘッド２は、振動板１２６と、ノズル２５が形成されたノズルプレート１２８とを備えている。振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、タンク１０１から孔１３１を介して供給される液状材料１１１が常に充填される液たまり１２９が位置している。 2A and 2B are diagrams showing the droplet discharge head 2 in the drawing apparatus 1 shown in FIG. 1, wherein FIG. 2A is a perspective view and FIG. 2B is a sectional side view. Hereinafter, the internal configuration of the droplet discharge head 2 will be described with reference to FIG.
A droplet discharge head 2 shown in FIG. 2 is an inkjet head having a nozzle row in which a large number of nozzles 25 for discharging droplets are arranged in a row. The droplet discharge head 2 includes a vibration plate 126 and a nozzle plate 128 in which the nozzles 25 are formed. Between the diaphragm 126 and the nozzle plate 128, a liquid pool 129 in which the liquid material 111 supplied from the tank 101 through the hole 131 is always filled is located.

また、振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁１２２が位置している。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、１対の隔壁１２２とによって囲まれた部分がキャビティ１２０である。キャビティ１２０はノズル２５に対応して設けられているため、キャビティ１２０の数とノズル２５の数とは同じである。キャビティ１２０には、１対の隔壁１２２間に位置する供給口１３０を介して、液たまり１２９から液状材料１１１が供給される。   In addition, a plurality of partition walls 122 are located between the diaphragm 126 and the nozzle plate 128. A portion surrounded by the diaphragm 126, the nozzle plate 128, and the pair of partition walls 122 is a cavity 120. Since the cavities 120 are provided corresponding to the nozzles 25, the number of the cavities 120 and the number of the nozzles 25 are the same. The liquid material 111 is supplied to the cavity 120 from the liquid pool 129 through the supply port 130 positioned between the pair of partition walls 122.

振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、キャビティ１２０内に充填された液状材料１１１の圧力を変化させる駆動素子としての振動子１２４が位置する。振動子１２４は、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂと、を含む。この１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル２５から液状材料１１１が吐出される。なお、ノズル２５からＺ軸方向に液状材料１１１が吐出されるように、ノズル２５の形状が調整されている。   On the diaphragm 126, corresponding to the respective cavities 120, vibrators 124 are positioned as driving elements that change the pressure of the liquid material 111 filled in the cavities 120. The vibrator 124 includes a piezoelectric element 124C and a pair of electrodes 124A and 124B that sandwich the piezoelectric element 124C. By applying a driving voltage between the pair of electrodes 124A and 124B, the liquid material 111 is discharged from the corresponding nozzle 25. The shape of the nozzle 25 is adjusted so that the liquid material 111 is discharged from the nozzle 25 in the Z-axis direction.

制御手段１１２は、複数の振動子１２４のそれぞれに互いに独立に信号を与えるように構成されていてもよい。つまり、ノズル２５から吐出される液状材料１１１の体積が、制御手段１１２からの信号に応じてノズル２５毎に制御されてもよい。
なお、液滴吐出ヘッド２は、図示のような圧電アクチュエータを駆動素子とするものに限らず、静電アクチュエータを用いるものや、電気熱変換素子を用いて液状材料１１１の熱膨張を利用して液滴を吐出する構成のものであってもよい。 The control means 112 may be configured to give a signal to each of the plurality of vibrators 124 independently of each other. That is, the volume of the liquid material 111 discharged from the nozzle 25 may be controlled for each nozzle 25 in accordance with a signal from the control unit 112.
The droplet discharge head 2 is not limited to a piezoelectric actuator as a driving element as shown in the figure, but uses an electrostatic actuator or an electrothermal conversion element and utilizes the thermal expansion of the liquid material 111. It may be configured to discharge droplets.

次に、制御手段１１２の構成を説明する。図３に示すように、制御手段１１２は、入力バッファメモリ２００と、記憶手段２０２と、処理部２０４と、走査駆動部２０６と、ヘッド駆動部２０８と、キャリッジ位置検出手段３０２と、ステージ位置検出手段３０３とを備えている。
バッファメモリ２００と処理部２０４とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と記憶手段２０２とは、相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と走査駆動部２０６とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４とヘッド駆動部２０８とは相互に通信可能に接続されている。また、走査駆動部２０６は、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８と相互に通信可能に接続されている。同様にヘッド駆動部２０８は、液滴吐出ヘッド２と相互に通信可能に接続されている。 Next, the configuration of the control unit 112 will be described. As shown in FIG. 3, the control unit 112 includes an input buffer memory 200, a storage unit 202, a processing unit 204, a scanning drive unit 206, a head drive unit 208, a carriage position detection unit 302, and a stage position detection. Means 303.
The buffer memory 200 and the processing unit 204 are connected so that they can communicate with each other. The processing unit 204 and the storage unit 202 are connected to be communicable with each other. The processing unit 204 and the scan driving unit 206 are connected so as to communicate with each other. The processing unit 204 and the head driving unit 208 are connected so as to communicate with each other. The scanning drive unit 206 is connected to the carriage moving mechanism 104 and the stage moving mechanism 108 so as to communicate with each other. Similarly, the head driving unit 208 is connected to the droplet discharge head 2 so as to communicate with each other.

入力バッファメモリ２００は、外部情報処理装置から、液状材料１１１の液滴を吐出する位置に関するデータ、すなわち描画パターンデータを受け取る。入力バッファメモリ２００は、この描画パターンデータを処理部２０４に供給し、処理部２０４は、描画パターンデータを記憶手段２０２に格納する。記憶手段２０２は、ＲＡＭ、磁気記録媒体、光磁気記録媒体等で構成される。   The input buffer memory 200 receives data related to the position at which the liquid material 111 is ejected, that is, drawing pattern data, from the external information processing apparatus. The input buffer memory 200 supplies the drawing pattern data to the processing unit 204, and the processing unit 204 stores the drawing pattern data in the storage unit 202. The storage unit 202 includes a RAM, a magnetic recording medium, a magneto-optical recording medium, and the like.

キャリッジ位置検出手段３０２は、キャリッジ１０３のＸ軸方向の位置（移動距離）を検出し、その検出信号を処理部２０４へ入力する。
ステージ位置検出手段３０３は、ステージ１０６、すなわちワーク１０ＡのＹ軸方向の位置（移動距離）を検出し、その検出信号を処理部２０４へ入力する。
キャリッジ位置検出手段３０２、ステージ位置検出手段３０３は、例えばリニアエンコーダ、レーザー測長器等で構成される。 The carriage position detection unit 302 detects the position (movement distance) of the carriage 103 in the X-axis direction and inputs the detection signal to the processing unit 204.
The stage position detection unit 303 detects the position (movement distance) of the stage 106, that is, the workpiece 10A in the Y-axis direction, and inputs the detection signal to the processing unit 204.
The carriage position detection unit 302 and the stage position detection unit 303 are constituted by, for example, a linear encoder, a laser length measuring device, or the like.

処理部２０４は、キャリッジ位置検出手段３０２およびステージ位置検出手段３０３の検出信号に基づき、走査駆動部２０６を介して、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８の作動を制御（クローズドループ制御）し、キャリッジ１０３の位置と、ワーク１０Ａの位置とを制御する。
さらに、処理部２０４は、ステージ移動機構１０８の作動を制御することにより、ステージ１０６すなわちワーク１０Ａの移動速度を制御する。 The processing unit 204 controls the operation of the carriage moving mechanism 104 and the stage moving mechanism 108 (closed loop control) via the scanning drive unit 206 based on the detection signals of the carriage position detecting unit 302 and the stage position detecting unit 303. The position of the carriage 103 and the position of the workpiece 10A are controlled.
Further, the processing unit 204 controls the moving speed of the stage 106, that is, the workpiece 10 </ b> A by controlling the operation of the stage moving mechanism 108.

また、処理部２０４は、前記描画パターンデータに基づいて、吐出タイミング毎のノズル２５のオン・オフを指定する選択信号ＳＣをヘッド駆動部２０８へ与える。ヘッド駆動部２０８は、選択信号ＳＣに基づいて、液状材料１１１の吐出に必要な吐出信号ＥＳを液滴吐出ヘッド２に与える。この結果、液滴吐出ヘッド２における対応するノズル２５から、液状材料１１１が液滴として吐出される。
制御手段１１２は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを含んだコンピュータであってもよい。この場合には、制御手段１１２の上記機能は、コンピュータによって実行されるソフトウェアプログラムによって実現される。もちろん、制御手段１１２は、専用の回路（ハードウェア）によって実現されてもよい。 Further, the processing unit 204 gives a selection signal SC for designating ON / OFF of the nozzle 25 at each ejection timing to the head driving unit 208 based on the drawing pattern data. The head drive unit 208 gives the droplet ejection head 2 an ejection signal ES necessary for ejecting the liquid material 111 based on the selection signal SC. As a result, the liquid material 111 is discharged as droplets from the corresponding nozzle 25 in the droplet discharge head 2.
The control means 112 may be a computer including a CPU, a ROM, and a RAM. In this case, the function of the control unit 112 is realized by a software program executed by a computer. Of course, the control means 112 may be realized by a dedicated circuit (hardware).

次に制御手段１１２におけるヘッド駆動部２０８の構成と機能を説明する。
図４（ａ）に示すように、ヘッド駆動部２０８は、１つの駆動信号生成部２０３と、複数のアナログスイッチＡＳとを有する。図４（ｂ）に示すように、駆動信号生成部２０３は、駆動信号ＤＳを生成する。駆動信号ＤＳの電位は、基準電位Ｌに対して時間的に変化する。具体的には、駆動信号ＤＳは、吐出周期ＥＰで繰り返される複数の吐出波形Ｐを含む。ここで、吐出波形Ｐは、ノズル２５から１つの液滴を吐出するために、対応する振動子１２４の一対の電極間に印加されるべき駆動電圧波形に対応する。
駆動信号ＤＳは、アナログスイッチＡＳのそれぞれの入力端子に供給される。アナログスイッチＡＳのそれぞれは、ノズル２５のそれぞれに対応して設けられている。つまり、アナログスイッチＡＳの数とノズル２５の数とは同じである。 Next, the configuration and function of the head drive unit 208 in the control unit 112 will be described.
As shown in FIG. 4A, the head drive unit 208 includes one drive signal generation unit 203 and a plurality of analog switches AS. As shown in FIG. 4B, the drive signal generation unit 203 generates a drive signal DS. The potential of the drive signal DS changes with respect to the reference potential L over time. Specifically, the drive signal DS includes a plurality of ejection waveforms P that are repeated at the ejection cycle EP. Here, the discharge waveform P corresponds to a drive voltage waveform to be applied between a pair of electrodes of the corresponding vibrator 124 in order to discharge one droplet from the nozzle 25.
The drive signal DS is supplied to each input terminal of the analog switch AS. Each of the analog switches AS is provided corresponding to each of the nozzles 25. That is, the number of analog switches AS and the number of nozzles 25 are the same.

処理部２０４は、ノズル２５のオン・オフを表す選択信号ＳＣを、アナログスイッチＡＳのそれぞれに与える。ここで、選択信号ＳＣは、アナログスイッチＡＳ毎に独立にハイレベルおよびローレベルのどちらかの状態を取り得る。一方、アナログスイッチＡＳは、駆動信号ＤＳと選択信号ＳＣとに応じて、振動子１２４の電極１２４Ａに吐出信号ＥＳを供給する。具体的には、選択信号ＳＣがハイレベルの場合には、アナログスイッチＡＳは電極１２４Ａに吐出信号ＥＳとして駆動信号ＤＳを伝播する。一方、選択信号ＳＣがローレベルの場合には、アナログスイッチＡＳが出力する吐出信号ＥＳの電位は基準電位Ｌとなる。振動子１２４の電極１２４Ａに駆動信号ＤＳが与えられると、その振動子１２４に対応するノズル２５から液状材料１１１が吐出される。なお、それぞれの振動子１２４の電極１２４Ｂには基準電位Ｌが与えられている。   The processing unit 204 supplies a selection signal SC indicating ON / OFF of the nozzle 25 to each analog switch AS. Here, the selection signal SC can take either a high level or a low level independently for each analog switch AS. On the other hand, the analog switch AS supplies the ejection signal ES to the electrode 124A of the vibrator 124 according to the drive signal DS and the selection signal SC. Specifically, when the selection signal SC is at a high level, the analog switch AS propagates the drive signal DS as the ejection signal ES to the electrode 124A. On the other hand, when the selection signal SC is at a low level, the potential of the ejection signal ES output from the analog switch AS becomes the reference potential L. When the drive signal DS is applied to the electrode 124A of the vibrator 124, the liquid material 111 is discharged from the nozzle 25 corresponding to the vibrator 124. A reference potential L is applied to the electrode 124B of each vibrator 124.

図４（ｂ）に示す例の場合には、２つの吐出信号ＥＳのそれぞれにおいて、吐出周期ＥＰの２倍の周期２ＥＰで吐出波形Ｐが現れるように、２つの選択信号ＳＣのそれぞれにおいてハイレベルの期間とローレベルの期間とが設定されている。これによって、対応する２つのノズル２５のそれぞれから、周期２ＥＰで液状材料１１１が吐出される。また、これら２つのノズル２５に対応する振動子１２４のそれぞれには、共通の駆動信号生成部２０３からの共通の駆動信号ＤＳが与えられている。このため、２つのノズル２５からほぼ同じタイミングで液状材料１１１が吐出される。   In the case of the example shown in FIG. 4B, the high level in each of the two selection signals SC so that the ejection waveform P appears in the period 2EP that is twice the ejection period EP in each of the two ejection signals ES. And a low level period are set. As a result, the liquid material 111 is discharged from each of the two corresponding nozzles 25 at a period of 2EP. Further, a common drive signal DS from the common drive signal generation unit 203 is given to each of the vibrators 124 corresponding to these two nozzles 25. For this reason, the liquid material 111 is discharged from the two nozzles 25 at substantially the same timing.

図５および図６は、それぞれ、本発明の液滴吐出量測定用治具の実施形態と、液滴吐出ヘッド２とを示す平面図および側面図である。
描画装置１は、図５および図６に示す液滴吐出量測定用治具３を備えている。本発明の液滴吐出量測定方法は、この液滴吐出量測定用治具３を用いて実施される。
図５および図６に示すように、液滴吐出量測定用治具３は、平板状の部材であり、その上面である液滴受容部３１には、液滴吐出ヘッド２のノズル２５から吐出された液状材料１１１を貯留可能な溝（流路）３２が形成されている。
図５に示すように、溝３２は、液滴吐出ヘッド２の複数のノズル２５に対応して、複数、並行して設けられている。すなわち、複数の溝３２は、等間隔に配置されており、その間隔は、液滴吐出ヘッド２のノズルピッチと同じになっている。 FIG. 5 and FIG. 6 are a plan view and a side view, respectively, showing an embodiment of the droplet discharge amount measuring jig of the present invention and the droplet discharge head 2.
The drawing apparatus 1 includes a droplet discharge amount measuring jig 3 shown in FIGS. The droplet discharge amount measuring method of the present invention is carried out using this droplet discharge amount measuring jig 3.
As shown in FIGS. 5 and 6, the droplet discharge amount measuring jig 3 is a flat plate-like member, and is discharged from the nozzle 25 of the droplet discharge head 2 to the droplet receiving portion 31 on the upper surface thereof. A groove (flow path) 32 capable of storing the liquid material 111 thus formed is formed.
As shown in FIG. 5, a plurality of grooves 32 are provided in parallel corresponding to the plurality of nozzles 25 of the droplet discharge head 2. That is, the plurality of grooves 32 are arranged at equal intervals, and the intervals are the same as the nozzle pitch of the droplet discharge head 2.

溝３２の横断面形状は、特に限定されず、例えば、コ字状、Ｕ字状、Ｖ字状、半円状等の形状とすることができる。
溝３２の近傍には、液状材料１１１が溝３２内に充填された長さを示す目盛り３３が設けられている。図示の構成では、図５中の左端の溝のみに目盛り３３が設けられているが、各溝３２ごとに目盛り３３を設けてもよい。 The cross-sectional shape of the groove 32 is not particularly limited, and can be, for example, a U shape, a U shape, a V shape, a semicircular shape, or the like.
In the vicinity of the groove 32, a scale 33 indicating the length of the liquid material 111 filled in the groove 32 is provided. In the illustrated configuration, the scale 33 is provided only in the leftmost groove in FIG. 5, but the scale 33 may be provided for each groove 32.

これらの溝３２の内面は、液状材料１１１に対する親液性を有しているのが好ましい。これに対し、液滴受容部３１の溝３２以外の部分は、液状材料１１１に対する撥液性を有しているのが好ましい。このようにすることにより、液状材料１１１が溝３２内に隙間を残さずに充填されていくとともに、溝３２外へ液状材料１１１が溢れ出ることを確実に防止することができるので、液滴吐出量の測定をより高精度に行うことができる。
なお、溝３２の内面を親液性とし、それ以外の部分を撥液性とする方法として、撥液化処理、あるいは親液化処理を施してもよい。撥液化処理としては、例えば、４フッ化メタンを用いたプラズマ処理が挙げられ、親液化処理としては、例えば、大気圧下の酸素プラズマ処理が挙げられる。 The inner surfaces of these grooves 32 are preferably lyophilic with respect to the liquid material 111. On the other hand, the portion other than the groove 32 of the droplet receiving portion 31 preferably has liquid repellency with respect to the liquid material 111. By doing so, the liquid material 111 is filled without leaving a gap in the groove 32, and the liquid material 111 can be reliably prevented from overflowing out of the groove 32. The quantity can be measured with higher accuracy.
In addition, as a method of making the inner surface of the groove 32 lyophilic and making the other part lyophobic, lyophobic treatment or lyophilic treatment may be performed. An example of the lyophobic process is a plasma process using tetrafluoromethane, and an example of the lyophilic process is an oxygen plasma process under atmospheric pressure.

本発明の液滴吐出量測定方法を実施する際には、ステージ１０６上に、ワーク１０Ａに代えて、上記のような液滴吐出量測定用治具３を載置する。このとき、溝３２が液滴吐出ヘッド２のノズル２５の配列方向と垂直になるような向きで、液滴吐出量測定用治具３をセットする。
次いで、ステージ移動機構１０８およびキャリッジ移動機構１０４を作動し、図６に示すように、各ノズル２５が、各溝３２の一端部３２１の上空に位置するようにする。そして、各ノズル２５から液状材料１１１の液滴１１３を繰り返し吐出する。この際、各ノズル２５からは、同じ数の液滴１１３を吐出する。 When the droplet discharge amount measuring method of the present invention is carried out, the above-described droplet discharge amount measuring jig 3 is placed on the stage 106 instead of the workpiece 10A. At this time, the droplet discharge amount measuring jig 3 is set in such a direction that the grooves 32 are perpendicular to the arrangement direction of the nozzles 25 of the droplet discharge head 2.
Next, the stage moving mechanism 108 and the carriage moving mechanism 104 are operated so that each nozzle 25 is positioned above one end 321 of each groove 32 as shown in FIG. Then, the droplet 113 of the liquid material 111 is repeatedly discharged from each nozzle 25. At this time, the same number of droplets 113 are ejected from each nozzle 25.

溝３２の一端部３２１へ液状材料１１１の液滴１１３が付与されると、付与された液状材料１１１は、一端部３２１から他端部３２２へ向かって溝３２内に充填されていく。
図７は、液滴吐出量測定用治具３の溝３２内に液状材料１１１が充填された状態を示す平面図である。同図に示すように、液状材料１１１が溝３２内に充填された長さ（以下、「充填長さ」と言う）Ｌは、溝３２に付与された液状材料１１１の量に比例する。よって、各溝３２ごとに充填長さＬを計測することにより、その溝３２に液滴１１３を吐出したノズル２５の液滴吐出量を求めることができる。 When the droplet 113 of the liquid material 111 is applied to the one end 321 of the groove 32, the applied liquid material 111 is filled into the groove 32 from the one end 321 toward the other end 322.
FIG. 7 is a plan view showing a state in which the liquid material 111 is filled in the groove 32 of the droplet discharge amount measuring jig 3. As shown in the figure, the length L (hereinafter referred to as “filling length”) L filled with the liquid material 111 in the groove 32 is proportional to the amount of the liquid material 111 applied to the groove 32. Therefore, by measuring the filling length L for each groove 32, the droplet discharge amount of the nozzle 25 that has discharged the droplet 113 into the groove 32 can be obtained.

充填長さＬを計測する方法は、いかなる方法であってもよいが、本実施形態では、目盛り３３を設けたことにより、目視にて容易に充填長さＬを計測することができる。充填長さＬを計測したら、その計測値と、溝３２の単位長さ当たりの容積に関する情報と、溝３２へ吐出された液滴の数とに基づいて、そのノズル２５から吐出された液滴１１３の１滴当たりの量を算出することができる。   The method for measuring the filling length L may be any method, but in the present embodiment, the filling length L can be easily measured visually by providing the scale 33. When the filling length L is measured, droplets ejected from the nozzle 25 based on the measured value, information on the volume per unit length of the groove 32, and the number of droplets ejected into the groove 32. The amount of 113 per drop can be calculated.

すなわち、充填長さＬと溝３２の単位長さ当たりの容積とを乗算し、これを吐出液滴数で除算することにより、そのノズル２５から吐出された液滴１１３の１滴当たりの体積を算出することができる。
本発明によれば、この計算を溝３２ごとに行うことにより、液滴吐出ヘッド２の各ノズル２５ごとに、吐出される液滴１１３の１滴当たりの体積を求めることができる。 That is, by multiplying the filling length L by the volume per unit length of the groove 32 and dividing this by the number of ejected droplets, the volume per droplet of the droplet 113 ejected from the nozzle 25 is obtained. Can be calculated.
According to the present invention, by performing this calculation for each groove 32, the volume per droplet of the ejected droplet 113 can be obtained for each nozzle 25 of the droplet ejection head 2.

特に、本発明では、液滴吐出ヘッド２の全ノズル２５から液滴１１３を吐出している場合における各ノズル２５の吐出量を測定することができる。一般に、同じノズル２５であっても、全ノズル２５から液滴１１３を吐出している場合と、そのノズル２５のみから液滴１１３を吐出している場合とでは、吐出量が異なる。ワーク１０Ａに対し描画しているときは、液滴吐出ヘッド２のほぼ全部のノズル２５から液滴１１３を吐出するので、本発明では、実際の描画状態に近い状態での液滴吐出量を各ノズル２５ごとに測定することができ、極めて有用である。   In particular, in the present invention, it is possible to measure the discharge amount of each nozzle 25 when the droplets 113 are discharged from all the nozzles 25 of the droplet discharge head 2. Generally, even when the same nozzle 25 is used, the discharge amount is different between the case where the droplet 113 is discharged from all the nozzles 25 and the case where the droplet 113 is discharged only from the nozzle 25. When drawing on the workpiece 10A, since the droplets 113 are discharged from almost all the nozzles 25 of the droplet discharge head 2, in the present invention, the droplet discharge amount in a state close to the actual drawing state is set for each. It can be measured for each nozzle 25 and is extremely useful.

本発明では、上述のような計算を行うことにより、液滴１１３の１滴当たりの体積を各ノズル２５ごとに算出することができるが、各ノズル２５ごとの１滴当たりの吐出量の比率を把握するだけならば、このような計算を行わず、複数の溝３２の充填長さＬの分布を把握するだけでもよい。すなわち、各々の溝３２の充填長さＬの比率は、そのまま、その溝３２に液滴１１３を吐出したノズル２５の吐出量の比率に対応しているので、各々の溝３２の充填長さＬを計測するだけで、各々のノズル２５の１滴の吐出量の比率を知ることができる。   In the present invention, the volume per droplet of the droplet 113 can be calculated for each nozzle 25 by performing the calculation as described above, but the ratio of the ejection amount per droplet for each nozzle 25 is set as follows. If it is only to grasp, it is only necessary to grasp the distribution of the filling length L of the plurality of grooves 32 without performing such calculation. That is, the ratio of the filling length L of each groove 32 corresponds to the ratio of the discharge amount of the nozzle 25 that has discharged the droplet 113 into the groove 32 as it is, and therefore the filling length L of each groove 32. It is possible to know the ratio of the ejection amount of one drop from each nozzle 25 simply by measuring.

さて、描画装置１を用いて電気光学装置を製造するに際し、高品質の製品を得るためには、液滴吐出ヘッド２の全ノズル２５の１滴当たりの吐出量をできるだけ均一にすることが重要となる。例えば、液晶表示装置のカラーフィルタ基板や有機ＥＬ表示装置のような色要素付き基板の色要素（画素）に、フィルタ膜や発光膜のような色要素膜を形成する場合、色ムラを防止すべく、色要素膜の膜厚を全色要素に渡って均一にするためには、全ノズル２５の１滴当たりの吐出量をできるだけ均一にしなければならない。   When manufacturing an electro-optical device using the drawing device 1, it is important to make the discharge amount per droplet of all the nozzles 25 of the droplet discharge head 2 as uniform as possible in order to obtain a high-quality product. It becomes. For example, when a color element film such as a filter film or a light emitting film is formed on a color element (pixel) of a color element substrate such as a color filter substrate of a liquid crystal display device or an organic EL display device, color unevenness is prevented. Therefore, in order to make the film thickness of the color element film uniform over all the color elements, the discharge amount per droplet of all the nozzles 25 must be made as uniform as possible.

そこで、本発明の液滴吐出量調整方法では、複数の溝３２の各々の充填長さＬの計測値に基づき、複数のノズル２５の各々に対応する振動子１２４への駆動電圧を調整することにより、全ノズル２５の１滴当たりの吐出量が可及的に等しくなるように調整する。
例えば、ある溝３２の充填長さＬが、基準とする長さ（例えば、平均長さ）と比べて１０％短い場合には、その溝３２に対応するノズル２５の液滴吐出量が基準値と比べて１０％少ないことが推定されるので、これを補正するため、そのノズル２５に対応する振動子１２４への駆動電圧の大きさを１０％高くする。逆に、ある溝３２の充填長さＬが、基準とする長さと比べて１０％長い場合には、その溝３２に対応するノズル２５の液滴吐出量が基準値と比べて１０％多いことが推定されるので、これを補正するため、そのノズル２５に対応する振動子１２４への駆動電圧の大きさを１０％低くする。
このような調整を行うことにより、液滴吐出ヘッド２の全ノズル２５の１滴当たりの吐出量を均一化することができ、その結果、描画装置１を用いて形成される膜の膜厚を高精度に制御することができ、製品の品質向上が図れる。 Therefore, in the droplet discharge amount adjusting method of the present invention, the drive voltage to the vibrator 124 corresponding to each of the plurality of nozzles 25 is adjusted based on the measured value of the filling length L of each of the plurality of grooves 32. Thus, the discharge amount per droplet of all the nozzles 25 is adjusted to be as equal as possible.
For example, when the filling length L of a certain groove 32 is 10% shorter than the reference length (for example, the average length), the droplet discharge amount of the nozzle 25 corresponding to the groove 32 is the reference value. Therefore, in order to correct this, the magnitude of the drive voltage to the vibrator 124 corresponding to the nozzle 25 is increased by 10%. On the contrary, when the filling length L of a certain groove 32 is 10% longer than the reference length, the droplet discharge amount of the nozzle 25 corresponding to the groove 32 is 10% larger than the reference value. Therefore, in order to correct this, the magnitude of the drive voltage to the vibrator 124 corresponding to the nozzle 25 is reduced by 10%.
By performing such adjustment, the discharge amount per droplet of all the nozzles 25 of the droplet discharge head 2 can be made uniform. As a result, the film thickness formed using the drawing apparatus 1 can be reduced. It can be controlled with high accuracy, and the quality of the product can be improved.

本実施形態では、液滴吐出量測定方法を実施する際、液滴吐出量測定用治具３をステージ１０６上に載置して行うようにしているが、このような構成に限らず、本発明では、溝３２が形成された液滴受容部３１を描画装置１の描画領域外に固定的に設置しておき、液滴吐出量測定方法を実施する際には、液滴吐出ヘッド２を溝３２上へ移動させて、測定を行うようにしてもよい。   In the present embodiment, when the droplet discharge amount measuring method is performed, the droplet discharge amount measuring jig 3 is placed on the stage 106, but the present invention is not limited to this configuration. In the present invention, when the droplet receiving portion 31 in which the groove 32 is formed is fixedly installed outside the drawing region of the drawing apparatus 1 and the droplet discharge amount measuring method is carried out, the droplet discharge head 2 is used. The measurement may be performed by moving the groove 32.

以上、本発明の液滴吐出量測定方法、液滴吐出量測定用治具、液滴吐出量調整方法、液滴吐出量測定装置および描画装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。また、本発明の液滴吐出量測定用治具、液滴吐出量測定装置および描画装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。   As described above, the droplet discharge amount measuring method, the droplet discharge amount measuring jig, the droplet discharge amount adjusting method, the droplet discharge amount measuring apparatus, and the drawing apparatus of the present invention have been described with respect to the illustrated embodiments. However, the present invention is not limited to this. In addition, each component constituting the droplet discharge amount measuring jig, the droplet discharge amount measuring apparatus, and the drawing apparatus of the present invention can be replaced with any configuration that can exhibit the same function. Moreover, arbitrary components may be added.

本発明の液滴吐出量測定装置を搭載した描画装置の実施形態を示す斜視図。The perspective view which shows embodiment of the drawing apparatus carrying the droplet discharge amount measuring apparatus of this invention. 図１に示す描画装置における液滴吐出ヘッドを示す図であり、（ａ）が斜視図、（ｂ）が断面側面図。2A and 2B are diagrams showing a droplet discharge head in the drawing apparatus shown in FIG. 1, in which FIG. 図１に示す描画装置における制御手段の構成を示すブロック図。The block diagram which shows the structure of the control means in the drawing apparatus shown in FIG. （ａ）はヘッド駆動部を示す模式図、（ｂ）はヘッド駆動部における駆動信号、選択信号および吐出信号を示すタイミングチャート。(A) is a schematic diagram showing a head drive unit, (b) is a timing chart showing a drive signal, a selection signal and an ejection signal in the head drive unit. 本発明の液滴吐出量測定用治具の実施形態と液滴吐出ヘッドとを示す平面図。The top view which shows embodiment of the jig for droplet discharge amount measurement of this invention, and a droplet discharge head. 本発明の液滴吐出量測定用治具の実施形態と液滴吐出ヘッドとを示す側面図。The side view which shows embodiment of the jig for droplet discharge amount measurement of this invention, and a droplet discharge head. 図５および図６に示す液滴吐出量測定用治具の溝内に液状材料が充填された状態を示す平面図。The top view which shows the state with which the liquid material was filled in the groove | channel of the jig | tool for droplet discharge amount measurement shown in FIG.5 and FIG.6.

符号の説明Explanation of symbols

１……描画装置 ２……液滴吐出ヘッド ２５……ノズル ３……液滴吐出量測定用治具 ３１……液滴受容部 ３２……溝 ３２１……一端部 ３２２……他端部 ３３……目盛り １０１……タンク １０３……キャリッジ １０４……キャリッジ移動機構 １０６……ステージ １０８……ステージ移動機構 １１０……チューブ １１１……液状材料 １１２……制御手段 １１３……液滴 １２０……キャビティ １２２……隔壁 １２４……振動子 １２４Ａ、１２４Ｂ……電極 １２４Ｃ……ピエゾ素子 １２６……振動板 １２８……ノズルプレート １２９……液たまり １３０……供給口 １３１……孔 ２００……バッファメモリ ２０２……記憶手段 ２０３……駆動信号生成部 ２０４……処理部 ２０６……走査駆動部 ２０８……ヘッド駆動部 ３０２……キャリッジ位置検出手段 ３０３……ステージ位置検出手段 １０Ａ……ワーク ＡＳ……アナログスイッチ ＤＳ……駆動信号 ＳＣ……選択信号 ＥＳ……吐出信号
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Drawing apparatus 2 ... Droplet discharge head 25 ... Nozzle 3 ... Droplet discharge amount measuring jig 31 ... Droplet receiving part 32 ... Groove 321 ... One end 322 ... Other end 33 …… Scale 101 …… Tank 103 …… Carriage 104 …… Carriage moving mechanism 106 …… Stage 108 …… Stage moving mechanism 110 …… Tube 111 …… Liquid material 112 …… Control means 113 …… Droplet 120 …… Cavity 122 ....... partition wall 124... Vibrator 124 A, 124 B .. electrode 124 C... Piezo element 126 ....... diaphragm 128 .. nozzle plate 129 .. liquid pool 130 .... supply port 131. ...... Storage means 203 ...... Drive signal generation unit 204 ...... Processing unit 206 ...... Scanning drive unit 208 ...... Head drive unit 302 ...... Key Carriage position detection means 303 …… Stage position detection means 10A …… Work AS …… Analog switch DS …… Drive signal SC …… Select signal ES …… Discharge signal

Claims (11)

液状材料をノズルから液滴として吐出する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を測定する液滴吐出量測定方法であって、
前記液滴吐出ヘッドから吐出された液状材料を貯留可能な溝の一端部へ前記ノズルから液滴を繰り返し吐出して、前記溝の一端部から他端部へ向かって液状材料を前記溝内に充填する充填工程と、
液状材料が前記溝内に充填された長さを計測する計測工程とを有し、
前記充填された長さの計測値に基づいて、当該ノズルの液滴吐出量を推定することを特徴とする液滴吐出量測定方法。 A droplet discharge amount measuring method for measuring a droplet discharge amount of a droplet discharge head for discharging a liquid material as droplets from a nozzle,
The liquid material discharged from the droplet discharge head is repeatedly discharged from the nozzle to one end of the groove where the liquid material can be stored, and the liquid material is put into the groove from one end to the other end of the groove. A filling step of filling;
A measuring step of measuring the length of the liquid material filled in the groove,
A droplet discharge amount measuring method, wherein the droplet discharge amount of the nozzle is estimated based on the measured value of the filled length. 前記充填された長さの計測値と、前記溝の単位長さ当たりの容積に関する情報と、該溝へ吐出された液滴の数とに基づいて、当該ノズルから吐出された液滴の１滴当たりの量を算出する請求項１に記載の液滴吐出量測定方法。   Based on the measured value of the filled length, information on the volume per unit length of the groove, and the number of liquid droplets discharged into the groove, one drop of liquid droplets discharged from the nozzle The droplet discharge amount measuring method according to claim 1, wherein the amount per hit is calculated. 前記溝は、前記液滴吐出ヘッドの複数のノズルに対応して、複数、並設されており、
前記充填工程では、前記複数の溝の一端部へ、それぞれ、前記複数のノズルから液滴を繰り返し吐出して、前記複数の溝の一端部から他端部へ向かって液状材料を各々の溝内に充填し、
前記計測工程では、前記複数の溝の各々について、液状材料が充填された長さを計測し、
それらの計測値に基づいて、前記複数のノズルの各々の液滴吐出量を推定する請求項１または２に記載の液滴吐出量測定方法。 A plurality of the grooves are arranged in parallel corresponding to the plurality of nozzles of the droplet discharge head,
In the filling step, liquid droplets are repeatedly ejected from one of the plurality of nozzles to one end of each of the plurality of grooves, and liquid material is supplied from one end to the other end of each of the plurality of grooves. Filling
In the measurement step, for each of the plurality of grooves, the length filled with the liquid material is measured,
The droplet discharge amount measuring method according to claim 1, wherein the droplet discharge amount of each of the plurality of nozzles is estimated based on the measured values. 前記充填工程では、前記複数の溝に対しそれぞれ同数の液滴を吐出し、
前記計測工程では、前記複数の溝について、液状材料が充填された長さの分布を把握することにより、前記複数のノズルの液滴吐出量の比率を推定する請求項３に記載の液滴吐出量測定方法。 In the filling step, the same number of droplets are ejected into the plurality of grooves,
4. The droplet discharge according to claim 3, wherein in the measurement step, a ratio of droplet discharge amounts of the plurality of nozzles is estimated by grasping a distribution of lengths filled with a liquid material for the plurality of grooves. Quantity measuring method. 液滴吐出ヘッドのノズルから吐出された液状材料を貯留可能な溝が形成された液滴受容部を有する液滴吐出量測定用治具であって、
前記溝の一端部へ前記ノズルから液滴を繰り返し吐出して、前記溝の一端部から他端部へ向かって液状材料を前記溝内に充填し、その充填された長さを計測し、該計測値に基づいて、当該ノズルの液滴吐出量を推定する液滴吐出量測定方法の実施に使用可能であることを特徴とする液滴吐出量測定用治具。 A droplet discharge amount measuring jig having a droplet receiving portion in which a groove capable of storing a liquid material discharged from a nozzle of a droplet discharge head is formed,
A droplet is repeatedly ejected from the nozzle to one end of the groove, and the liquid material is filled into the groove from one end to the other end of the groove, and the filled length is measured, A jig for measuring a droplet discharge amount, which can be used for implementing a droplet discharge amount measuring method for estimating a droplet discharge amount of the nozzle based on a measured value. 前記溝は、前記液滴吐出ヘッドの複数のノズルに対応して、複数、並設されている請求項５に記載の液滴吐出量測定用治具。   The jig for measuring a droplet discharge amount according to claim 5, wherein a plurality of the grooves are arranged in parallel corresponding to the plurality of nozzles of the droplet discharge head. 前記溝の近傍に、液状材料が前記溝内に充填された長さを示す目盛りが設けられている請求項５または６に記載の液滴吐出量測定用治具。   7. The droplet discharge amount measuring jig according to claim 5, wherein a scale indicating a length of a liquid material filled in the groove is provided in the vicinity of the groove. 前記溝の内面は、前記液状材料に対する親液性を有し、前記液滴受容部の前記溝以外の部分は、前記液状材料に対する撥液性を有している請求項５ないし７のいずれかに記載の液滴吐出量測定用治具。   The inner surface of the groove has lyophilicity with respect to the liquid material, and a portion other than the groove of the droplet receiving portion has liquid repellency with respect to the liquid material. The jig for measuring the droplet discharge amount described in 1. 液状材料をノズルから液滴として吐出する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を調整する液滴吐出量調整方法であって、
前記液滴吐出ヘッドから吐出された液状材料を貯留可能な、並設された複数の溝の一端部へ、それぞれ、前記液滴吐出ヘッドの複数のノズルから液滴を繰り返し吐出して、前記複数の溝の一端部から他端部へ向かって液状材料を各々の溝内に充填する充填工程と、
前記複数の溝の各々について、液状材料が該溝に充填された長さを計測する計測工程と、
前記複数の溝の各々についての前記充填された長さの計測値に基づいて、前記複数のノズルの各々に対応する駆動電圧を調整することにより、前記複数のノズルの液滴吐出量が可及的に等しくなるように調整する調整工程とを有することを特徴とする液滴吐出量調整方法。 A droplet discharge amount adjustment method for adjusting a droplet discharge amount of a droplet discharge head that discharges liquid material as droplets from a nozzle,
The plurality of nozzles of the droplet discharge head are repeatedly discharged to one end portions of a plurality of juxtaposed grooves capable of storing the liquid material discharged from the droplet discharge head, respectively. A filling step of filling each groove with a liquid material from one end of the groove toward the other end;
For each of the plurality of grooves, a measuring step of measuring the length of the liquid material filled in the grooves,
By adjusting the driving voltage corresponding to each of the plurality of nozzles based on the measured value of the filled length for each of the plurality of grooves, the droplet discharge amount of the plurality of nozzles is made possible. A method for adjusting a droplet discharge amount, the method including an adjustment step of adjusting so as to be equal to each other. 液状材料をノズルから液滴として吐出する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を測定する液滴吐出量測定装置であって、
液状材料を貯留可能な溝が形成された液滴受容部を有し、
前記溝の一端部へ前記ノズルから液滴を繰り返し吐出して、前記溝の一端部から他端部へ向かって液状材料を前記溝内に充填し、その充填された長さを計測し、該計測値に基づいて、当該ノズルの液滴吐出量を推定する液滴吐出量測定方法の実施に使用可能であることを特徴とする液滴吐出量測定装置。 A droplet discharge amount measuring device that measures a droplet discharge amount of a droplet discharge head that discharges liquid material as droplets from a nozzle,
It has a droplet receiving part in which a groove capable of storing a liquid material is formed,
A droplet is repeatedly ejected from the nozzle to one end of the groove, and the liquid material is filled into the groove from one end to the other end of the groove, and the filled length is measured, A droplet discharge amount measuring apparatus, which can be used to implement a droplet discharge amount measuring method for estimating a droplet discharge amount of the nozzle based on a measured value. 液状材料をノズルから液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、ワークとを相対的に移動させ、前記ノズルから液滴を吐出して前記ワークに着弾させることにより描画を行う描画装置であって、
前記溝の一端部へ前記ノズルから液滴を繰り返し吐出して、前記溝の一端部から他端部へ向かって液状材料を前記溝内に充填し、その充填された長さを計測し、該計測値に基づいて、当該ノズルの液滴吐出量を推定する液滴吐出量測定方法の実施に使用可能であることを特徴とする描画装置。
A drawing apparatus that performs drawing by relatively moving a droplet discharge head that discharges a liquid material as droplets from a nozzle, and discharging the droplets from the nozzle and landing on the workpiece,
A droplet is repeatedly ejected from the nozzle to one end of the groove, and the liquid material is filled into the groove from one end to the other end of the groove, and the filled length is measured, A drawing apparatus, which can be used to implement a droplet discharge amount measuring method for estimating a droplet discharge amount of the nozzle based on a measured value.
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