JP2006216144A - Magnetic recording medium, its initialization method, and its manufacturing method - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic recording medium which can raise the magnetic interference reduction effect between tracks. <P>SOLUTION: A magnetic recording layer is formed on a substrate which consists of nonmagnetic substances. In a magnetic recording layer, a plurality of track areas where data are recorded and a guard band area arranged between track areas which adjoin mutually are demarcated. The magnetic recording layer in the track area shows the magnetic anisotropy which is liable to be magnetized more in the perpendicular direction than in an in-plane direction and the magnetic recording layer in the guard band area shows the magnetic anisotropy which is liable to be magnetized more in the in-plane direction than in the perpendicular direction. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、磁気記録媒体、その初期化方法及びその製造方法に関し、特に相互に隣り合うトラック同士の磁気的干渉を軽減するためのガードバンドが設けられた磁気記録媒体、その初期化方法及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a magnetic recording medium, an initialization method thereof, and a manufacturing method thereof, and in particular, a magnetic recording medium provided with a guard band for reducing magnetic interference between adjacent tracks, an initialization method thereof, and the same It relates to a manufacturing method.

図８（Ａ）に、下記の特許文献１に開示された磁気記録媒体の一部破断斜視図を示す。ガラス基板１００の表面に、トラック領域１０１とガードバンド領域１０２とが画定されている。ガードバンド領域１０２は、相互に隣り合う２つのトラック領域１０１の間に配置される。ガードバンド領域１０２は、ＣｕまたはＣｒ薄膜１０３の上に形成される。トラック領域１０１には、ガラス基板１００上にＣｏＣｒ合金等の垂直磁気記録膜１０４が形成される。   FIG. 8A shows a partially broken perspective view of the magnetic recording medium disclosed in Patent Document 1 below. A track region 101 and a guard band region 102 are defined on the surface of the glass substrate 100. The guard band region 102 is disposed between two track regions 101 adjacent to each other. The guard band region 102 is formed on the Cu or Cr thin film 103. In the track region 101, a perpendicular magnetic recording film 104 such as a CoCr alloy is formed on a glass substrate 100.

トラック領域１０１に情報を書き込み易くするために、トラック領域１０１の下層には高透磁率薄膜が形成されている。また、トラック領域１０１に記憶された情報を読み出すときに、ガードバンド領域１０２から漏れた磁束による信号出力が十分小さくなるため、良好なオフトラック特性を得ることができる。   In order to make it easier to write information in the track area 101, a high permeability thin film is formed under the track area 101. In addition, when the information stored in the track area 101 is read, the signal output due to the magnetic flux leaking from the guard band area 102 becomes sufficiently small, so that good off-track characteristics can be obtained.

図８（Ｂ）に、下記の特許文献２に開示された磁気記録媒体の一部破断斜視図を示す。基板１１０の表面に複数の溝１１１が形成され、相互に隣り合う２つの溝１１１の間の凸部が、データを記録するためのトラック領域１１２になる。読出ヘッド１１３が、トラック領域１１２に記録されたデータを読み出す。トラック同士が溝１１１で分離されているため、トラック間の磁場の干渉を軽減することができる。また、溝１１１にも磁気記録膜を設け、この磁気記録膜にサーボ情報を記録する。   FIG. 8B shows a partially broken perspective view of the magnetic recording medium disclosed in Patent Document 2 below. A plurality of grooves 111 are formed on the surface of the substrate 110, and a convex portion between two adjacent grooves 111 becomes a track area 112 for recording data. The read head 113 reads the data recorded in the track area 112. Since the tracks are separated by the groove 111, the interference of the magnetic field between the tracks can be reduced. Also, a magnetic recording film is provided in the groove 111, and servo information is recorded on this magnetic recording film.

図８（Ｃ）に、下記の特許文献３に開示された磁気記録媒体の断面図を示す。非磁性基板１２０の上に、軟磁性裏打層１２１が形成されている。軟磁性裏打層１２１の表面に複数の溝１２２が形成されている。溝１２２内に、非磁性材料１２３が充填されている。軟磁性裏打層１２１及び非磁性材料１２３の上に、垂直磁気記録膜１２４が形成されている。相互に隣り合う２つの溝１２２の間の領域が、データトラック１２５になる。相互に隣り合う２つのデータトラック１２５の間に配置された非磁性材料１２３が、相互に隣接するデータトラック１２５を磁気的に分離する。   FIG. 8C shows a cross-sectional view of the magnetic recording medium disclosed in Patent Document 3 below. A soft magnetic backing layer 121 is formed on the nonmagnetic substrate 120. A plurality of grooves 122 are formed on the surface of the soft magnetic backing layer 121. A nonmagnetic material 123 is filled in the groove 122. A perpendicular magnetic recording film 124 is formed on the soft magnetic underlayer 121 and the nonmagnetic material 123. A region between two adjacent grooves 122 becomes a data track 125. A nonmagnetic material 123 disposed between two data tracks 125 adjacent to each other magnetically separates the data tracks 125 adjacent to each other.

特開昭６１−２３７２３１号公報JP 61-237231 A 特開平３−１４２７０７号公報JP-A-3-142707 特開２００３−１６６２１号公報JP 2003-16621 A

特許文献２に開示された磁気記録媒体のように、表面に凹凸を付すると、凹凸によりヘッド浮上が不安定になるため、ヘッドクラッシュの危険性が高まる。特許文献３に記載された磁気記録媒体では、表面に凹凸は形成されないためヘッド浮上が安定する。ところが、非磁性材料１２３上の領域も垂直磁気記録膜１２４であり、データトラックと同一材料であるため、トラック幅よりも広い領域に情報の記録が行われてしまう。さらに、非磁性材料１２３上の領域とデータトラックとが同一材料であることから、最初に情報を記録するときに、ヘッドからデータトラックの位置を検出しにくい。このため、トラックの判別が困難になり、ヘッドの位置決が難しくなる。   If the surface is uneven as in the magnetic recording medium disclosed in Patent Document 2, the head flying becomes unstable due to the unevenness, which increases the risk of head crash. In the magnetic recording medium described in Patent Document 3, irregularities are not formed on the surface, so that the head flying is stable. However, since the area on the nonmagnetic material 123 is also the perpendicular magnetic recording film 124 and is made of the same material as the data track, information is recorded in an area wider than the track width. Further, since the area on the nonmagnetic material 123 and the data track are the same material, it is difficult to detect the position of the data track from the head when information is first recorded. For this reason, it becomes difficult to discriminate the track, and the position of the head becomes difficult.

また、特許文献１に開示された磁気記録媒体では、トラックピッチが狭くなったときに、トラック間の磁気的な干渉を防止する機能が不十分である。
本発明の目的は、トラック間の磁気的干渉低減効果を高めることが可能な磁気記録媒体を提供することである。本発明の他の目的は、この磁気記録媒体の初期化方法、及び製造方法を提供することである。 Further, the magnetic recording medium disclosed in Patent Document 1 has an insufficient function to prevent magnetic interference between tracks when the track pitch is narrowed.
An object of the present invention is to provide a magnetic recording medium capable of enhancing the effect of reducing magnetic interference between tracks. Another object of the present invention is to provide an initialization method and a manufacturing method for the magnetic recording medium.

本発明の一観点によると、非磁性材料からなる基板と、前記基板の上に形成された磁気記録層であって、データが記録される複数のトラック領域と、相互に隣り合うトラック領域の間に配置されたガードバンド領域とが画定されており、該トラック領域内の磁気記録層は、面内方向よりも垂直方向に磁化され易い磁気異方性を示し、該ガードバンド領域内の磁気記録層は、垂直方向よりも面内方向に磁化され易い磁気異方性を示す磁気記録層とを有する磁気記録媒体が提供される。   According to one aspect of the present invention, a substrate made of a non-magnetic material, a magnetic recording layer formed on the substrate, and a plurality of track regions in which data is recorded, between adjacent track regions. The magnetic recording layer in the track region exhibits magnetic anisotropy that is easily magnetized in the direction perpendicular to the in-plane direction, and the magnetic recording in the guard band region A magnetic recording medium having a magnetic recording layer having magnetic anisotropy that is more easily magnetized in the in-plane direction than in the perpendicular direction is provided.

本発明の他の観点によると、非磁性材料からなる基板と、前記基板の上に配置され、結晶構造が六方最密構造の磁性材料を含む磁気記録層であって、データが記録される複数のトラック領域と、相互に隣り合うトラック領域の間に配置されたガードバンド領域とが画定されており、該トラック領域内においては、該磁気記録層内の磁性材料のｃ軸が基板面に垂直な方向に優先的に配向し、該ガードバンド領域内においては、ｃ軸が基板面に平行な方向に優先的に配向している磁気記録層とを有する磁気記録媒体が提供される。   According to another aspect of the present invention, a magnetic recording layer including a substrate made of a non-magnetic material and a magnetic material disposed on the substrate and having a hexagonal close-packed crystal structure, wherein data is recorded. Track regions and guard band regions disposed between adjacent track regions, in which the c-axis of the magnetic material in the magnetic recording layer is perpendicular to the substrate surface. And a magnetic recording layer having a c-axis preferentially oriented in a direction parallel to the substrate surface in the guard band region.

本発明のさらに他の観点によると、データが記録される複数のトラック領域と、相互に隣り合うトラック領域の間に配置されたガードバンド領域とが画定されており、該トラック領域内の磁気記録層は、面内方向よりも垂直方向に磁化されやすい磁気異方性を示し、該ガードバンド領域内の磁気記録層は、垂直方向よりも面内方向に磁化されやすい磁気異方性を示す磁気記録媒体を準備する工程と、前記磁気記録層を形成する磁性材料の保磁力よりも大きく、かつ該磁気記録層に対して垂直方向を向く磁界を印加することにより、該磁気記録層を磁気的に初期化する工程とを有する磁気記録媒体の初期化方法が提供される。   According to still another aspect of the present invention, a plurality of track areas in which data is recorded and a guard band area disposed between adjacent track areas are defined, and magnetic recording in the track areas is defined. The layer exhibits magnetic anisotropy that is more easily magnetized in the perpendicular direction than in the in-plane direction, and the magnetic recording layer in the guard band region exhibits magnetic anisotropy that is more easily magnetized in the in-plane direction than in the perpendicular direction. A step of preparing a recording medium, and applying a magnetic field that is greater than the coercive force of the magnetic material forming the magnetic recording layer and that is perpendicular to the magnetic recording layer, to make the magnetic recording layer magnetically A method for initializing a magnetic recording medium.

本発明のさらに他の観点によると、（ａ）表面に、複数のトラック領域と、相互に隣り合うトラック領域の間に配置されたガードバンド領域とが画定された基板の、該ガードバンド領域の上に、非磁性材料からなる下地層を形成する工程と、（ｂ）前記下地層の間のトラック領域に、上面が前記下地層の上面よりも高くなるまで軟磁性材料を充填して軟磁性部材を形成工程と、（ｃ）前記下地層及び軟磁性部材の上に、非磁性材料を堆積させて上層を形成する工程と、（ｄ）前記トラック領域においては前記軟磁性部材が露出し、前記ガードバンド領域においては前記上層が残るように、表面の平坦化を行う工程と、（ｅ）平坦化された表面上に、非磁性材料からなる上側配向制御層を形成する工程と、（ｆ）前記上側配向制御層の上に、磁性材料を含む磁気記録層を形成する工程とを有する磁気記録媒体の製造方法が提供される。   According to still another aspect of the present invention, (a) a surface of a substrate in which a plurality of track regions and a guard band region disposed between adjacent track regions are defined on the surface; A step of forming a base layer made of a non-magnetic material, and (b) filling the track region between the base layers with a soft magnetic material until the top surface is higher than the top surface of the base layer. Forming a member; (c) depositing a nonmagnetic material on the underlayer and the soft magnetic member to form an upper layer; and (d) exposing the soft magnetic member in the track region. A step of planarizing the surface so that the upper layer remains in the guard band region; and (e) a step of forming an upper alignment control layer made of a nonmagnetic material on the planarized surface; ) On the upper orientation control layer, magnetic Method of manufacturing a magnetic recording medium and a step of forming a magnetic recording layer containing the material is provided.

本発明のさらに他の観点によると、（ｐ）表面に、複数のトラック領域と、相互に隣り合うトラック領域の間に配置されたガードバンド領域とが画定された基板の上に、非磁性材料からなるガードバンド用下側配向制御層を形成する工程と、（ｑ）前記トラック領域に、少なくとも前記ガードバンド用下側配向制御層の底面まで達する溝を形成する工程と、（ｒ）前記溝に軟磁性材料を充填し、トラック用下側配向制御層を形成する工程と、（ｓ）前記ガードバンド用下側配向制御層及び前記トラック用下側配向制御層の上に、非磁性材料からなる上側配向制御層を形成する工程と、（ｔ）前記上側配向制御層の上に、磁性材料を含む磁気記録層を形成する工程とを有する磁気記録媒体の製造方法が提供される。   According to still another aspect of the present invention, (p) a nonmagnetic material is formed on a substrate having a plurality of track regions and a guard band region disposed between adjacent track regions on a surface. Forming a guard band lower alignment control layer comprising: (q) forming a groove reaching at least a bottom surface of the guard band lower alignment control layer in the track region; and (r) the groove. And (s) a non-magnetic material on the lower alignment control layer for the guard band and the lower alignment control layer for the track. There is provided a method of manufacturing a magnetic recording medium, comprising: forming an upper alignment control layer, and (t) forming a magnetic recording layer containing a magnetic material on the upper alignment control layer.

ガードバンド領域の磁気記録層が、面内方向に優先的に磁化されるため、ガードバンド領域からの漏れ磁束が、垂直磁化されたトラック領域の磁気記録層から読み出される信号に影響を及ぼしにくい。このため、媒体ノイズを低減することができる。また、読出し対象のトラック領域と、それに隣接するトラック領域との間にガードバンド領域が配置されているため、隣接するトラック領域からの磁気的影響を低減することができる。これにより、優れたリードライト特性（Ｒ／Ｗ特性）を得ることができる。   Since the magnetic recording layer in the guard band region is preferentially magnetized in the in-plane direction, the leakage magnetic flux from the guard band region hardly affects the signal read from the magnetic recording layer in the perpendicularly magnetized track region. For this reason, medium noise can be reduced. In addition, since the guard band region is disposed between the track region to be read and the track region adjacent thereto, the magnetic influence from the adjacent track region can be reduced. Thereby, excellent read / write characteristics (R / W characteristics) can be obtained.

図１に、第１の実施例による磁気記録媒体の一部破断斜視図を示す。図１の横方向（Ｘ方向）が半径方向（トラックの幅方向）に対応し、奥行き方向（Ｙ方向）が円周方向（トラックの長さ方向）に対応し、縦方向（Ｚ方向）が磁気記録媒体の厚さ方向に対応する。   FIG. 1 shows a partially broken perspective view of a magnetic recording medium according to the first embodiment. The horizontal direction (X direction) in FIG. 1 corresponds to the radial direction (track width direction), the depth direction (Y direction) corresponds to the circumferential direction (track length direction), and the vertical direction (Z direction) corresponds to FIG. This corresponds to the thickness direction of the magnetic recording medium.

ガラス等の非磁性材料からなる基板１の表面に、同心円状のトラック領域１１が画定されている。相互に隣り合うトラック領域１１の間が、ガードバンド領域１２になる。
基板１の上に、軟磁性材料からなる裏打層２が配置されている。裏打層２は、例えばＣｏＮｉＦｅＢ等のアモルファス合金で形成され、その厚さは例えば１００ｎｍである。裏打層２の上に、下側配向制御層３、上側配向制御層４、磁気記録層５がこの順番に積層されている。 A concentric track region 11 is defined on the surface of the substrate 1 made of a nonmagnetic material such as glass. A guard band region 12 is formed between adjacent track regions 11.
A backing layer 2 made of a soft magnetic material is disposed on the substrate 1. The backing layer 2 is formed of an amorphous alloy such as CoNiFeB, and has a thickness of 100 nm, for example. On the backing layer 2, a lower orientation control layer 3, an upper orientation control layer 4, and a magnetic recording layer 5 are laminated in this order.

下側配向制御層３は、トラック領域１１とガードバンド領域１２とで、異なった積層構造を有する。トラック領域１１内の下側配向制御層３は、格子形が面心立方格子（ｆｃｃ）である軟磁性材料からなる軟磁性層９で構成される。軟磁性層９は、例えばＣｏＮｉＦｅＢで形成され、その厚さは１５０ｎｍである。ガードバンド領域１２内の下側配向制御層３は、下地層６、中層７、及び上層８がこの順番に積層された層構造を有する。下地層６は、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）等の非磁性材料で形成され、その厚さは例えば１００ｎｍである。中層７は、格子形が体心立方格子である非磁性材料、例えばＡｌＣｒ合金で形成され、その厚さは約３０ｎｍである。上層８は、格子形が体心立方格子である非磁性材料、例えばＣｒで形成され、その厚さは３〜１０ｎｍである。   The lower alignment control layer 3 has different stacked structures in the track region 11 and the guard band region 12. The lower orientation control layer 3 in the track region 11 is composed of a soft magnetic layer 9 made of a soft magnetic material whose lattice shape is a face-centered cubic lattice (fcc). The soft magnetic layer 9 is made of, for example, CoNiFeB and has a thickness of 150 nm. The lower orientation control layer 3 in the guard band region 12 has a layer structure in which a base layer 6, an intermediate layer 7, and an upper layer 8 are laminated in this order. The underlayer 6 is made of a nonmagnetic material such as polymethyl methacrylate (PMMA), and has a thickness of 100 nm, for example. The middle layer 7 is made of a nonmagnetic material whose lattice shape is a body-centered cubic lattice, for example, an AlCr alloy, and has a thickness of about 30 nm. The upper layer 8 is made of a nonmagnetic material whose lattice shape is a body-centered cubic lattice, such as Cr, and has a thickness of 3 to 10 nm.

上側配向制御層４は、結晶構造が六方最密構造（ｈｃｐ）である非磁性材料、例えばルテニウム（Ｒｕ）またはＲｕを含む合金で形成され、その厚さは１５ｎｍである。下地表面が面心立方格子の軟磁性材料であるトラック領域１１において、上側配向制御層４を形成する非磁性材料のｃ軸が基板面に垂直な方向に優先的に配向する。これに対し、下地表面が体心立方格子の非磁性材料であるガードバンド領域１２においては、ｃ軸が基板面に平行な方向に優先的に配向する。   The upper orientation control layer 4 is formed of a nonmagnetic material whose crystal structure is a hexagonal close-packed structure (hcp), for example, ruthenium (Ru) or an alloy containing Ru, and has a thickness of 15 nm. In the track region 11 whose base surface is a soft magnetic material having a face-centered cubic lattice, the c-axis of the nonmagnetic material forming the upper orientation control layer 4 is preferentially oriented in the direction perpendicular to the substrate surface. In contrast, in the guard band region 12 whose base surface is a non-magnetic material having a body-centered cubic lattice, the c-axis is preferentially oriented in a direction parallel to the substrate surface.

この配向性は、Ｘ線回折を用いた分析により確認することができる。例えばＣｏＮｉＦｅＢアモルファス合金層の上に形成したＲｕ層のＸ線回折パターンには、Ｒｕの（００２）面に対応する鋭いピークが現れる。これに対し、ＰＭＭＡ層、ＡｌＣｒ合金層、及びＣｒ層の積層の上に形成したＲｕ層のＸ線回折パターンには、Ｒｕの（００２）面に対応する明確なピークが現れない。   This orientation can be confirmed by analysis using X-ray diffraction. For example, a sharp peak corresponding to the (002) plane of Ru appears in the X-ray diffraction pattern of the Ru layer formed on the CoNiFeB amorphous alloy layer. On the other hand, a clear peak corresponding to the (002) plane of Ru does not appear in the X-ray diffraction pattern of the Ru layer formed on the PMMA layer, the AlCr alloy layer, and the Cr layer.

磁気記録層５は、非磁性材料中に多数の磁性金属粒が分散されたグラニュラ構造を有する垂直磁化膜である。ベースとなる非磁性材料は、例えば酸化シリコンであり、磁性金属粒は、結晶構造が六方最密構造の磁性金属、例えばＣｏＣｒＰｔ合金で形成される。磁気記録層５の厚さは、例えば１５ｎｍである。   The magnetic recording layer 5 is a perpendicular magnetization film having a granular structure in which a large number of magnetic metal grains are dispersed in a nonmagnetic material. The nonmagnetic material serving as the base is, for example, silicon oxide, and the magnetic metal grains are formed of a magnetic metal having a hexagonal close-packed crystal structure, such as a CoCrPt alloy. The thickness of the magnetic recording layer 5 is, for example, 15 nm.

磁気記録層５内の磁性金属粒は、その下地表面の結晶配向性を引き継いで、エピタキシャルライクに成長する。このため、トラック領域１１内の磁性金属粒を形成する結晶のｃ軸は、基板面に垂直な方向に優先的に配向する。また、ガードバンド領域１２内の磁性金属粒を形成する結晶のｃ軸は、基板面に平行な方向に優先的に配向する。   The magnetic metal grains in the magnetic recording layer 5 take over the crystal orientation of the underlying surface and grow epitaxially. For this reason, the c-axis of the crystal forming the magnetic metal grains in the track region 11 is preferentially oriented in a direction perpendicular to the substrate surface. The c-axis of the crystal forming the magnetic metal grains in the guard band region 12 is preferentially oriented in a direction parallel to the substrate surface.

トラック領域１１内の磁気記録層５は、面内方向よりも垂直方向に磁化されやすい磁気異方性を示す。これに対し、ガードバンド領域１２内の磁気記録層５は、垂直方向よりも面内方向に磁化されやすい磁気異方性を示す。ここで、「面内方向よりも垂直方向に磁化されやすい磁気異方性を示す」とは、垂直方向の磁場を印加したときの残留磁束密度が、面内方向の磁場を印加したときの残留磁束密度よりも大きいことを意味する。   The magnetic recording layer 5 in the track region 11 exhibits magnetic anisotropy that is more easily magnetized in the perpendicular direction than in the in-plane direction. On the other hand, the magnetic recording layer 5 in the guard band region 12 exhibits magnetic anisotropy that is more easily magnetized in the in-plane direction than in the perpendicular direction. Here, “shows magnetic anisotropy that is more easily magnetized in the vertical direction than in the in-plane direction” means that the residual magnetic flux density when a vertical magnetic field is applied is the residual magnetic flux density when an in-plane magnetic field is applied. It means that it is larger than the magnetic flux density.

次に、図２（Ａ）〜図２（Ｄ）を参照して、第１の実施例による磁気記録媒体の製造方法を説明する。
図２（Ａ）に示すように、基板１の表面上に、ＣｏＮｉＦｅＢターゲットを用いたスパッタリングにより、ＣｏＮｉＦｅＢ裏打層２を形成する。裏打層２の上に、ＰＭＭＡ膜を形成し、電子ビーム描画やインプリント法により、このＰＭＭＡ膜をパターニングする。これにより、ガードバンド領域１２に、ＰＭＭＡからなる下地層６が形成される。トラック領域１１には、裏打層２の表面が露出している。 Next, a method for manufacturing a magnetic recording medium according to the first embodiment will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 2A, a CoNiFeB backing layer 2 is formed on the surface of the substrate 1 by sputtering using a CoNiFeB target. A PMMA film is formed on the backing layer 2, and this PMMA film is patterned by electron beam drawing or imprinting. As a result, the base layer 6 made of PMMA is formed in the guard band region 12. The surface of the backing layer 2 is exposed in the track region 11.

図２（Ｂ）に示すように、裏打層２のトラック領域１１上に、軟磁性層９をめっきにより形成する。軟磁性層９は、その上面が下地層６の上面よりも高くなるような厚さにされている。軟磁性層９の上面と、下地層６の上面との高さの差は、図１に示した中層７と上層８との合計の厚さよりも大きい。下地層６の上面には、軟磁性層９は形成されない。   As shown in FIG. 2B, a soft magnetic layer 9 is formed on the track region 11 of the backing layer 2 by plating. The soft magnetic layer 9 has a thickness such that its upper surface is higher than the upper surface of the underlayer 6. The difference in height between the upper surface of the soft magnetic layer 9 and the upper surface of the underlayer 6 is larger than the total thickness of the middle layer 7 and the upper layer 8 shown in FIG. The soft magnetic layer 9 is not formed on the upper surface of the underlayer 6.

軟磁性層９及び下地層６の上に、ＡｌＣｒ合金からなる厚さ約３０ｎｍの中層７、及びＣｒからなる厚さ３〜１０ｎｍの上層８を、スパッタリングにより形成する。成膜時に基板を１５０℃〜２００℃程度に加熱することにより、ＡｌＣｒ及びＣｒの結晶化を促進させることが好ましい。   On the soft magnetic layer 9 and the underlayer 6, an intermediate layer 7 made of AlCr alloy having a thickness of about 30 nm and an upper layer 8 made of Cr having a thickness of 3 to 10 nm are formed by sputtering. It is preferable to promote crystallization of AlCr and Cr by heating the substrate to about 150 ° C. to 200 ° C. during film formation.

図２（Ｃ）に示すように、トラック領域１１において軟磁性層９が露出し、ガードバンド領域１２においては上層８の一部が残るように、表面を平坦化する。この平坦化処理は、例えば化学機械研磨（ＣＭＰ）またはイオンエッチングにより行うことができる。イオンエッチングで行う場合には、エッチバックという手法により平坦化することができる。例えば、被エッチング材料（上層８、中層７）と異なるエッチングレートを有する材料（レジスト等）を成膜し、イオンエッチング（イオンビームエッチング等）でエッチングし、エッチングレートの違いを利用して平坦化することができる。これにより、トラック領域１１において、軟磁性層９からなる単層構造を有し、ガードバンド領域１２において、下地層６、中層７、及び上層８の３層構造を有する下側配向制御層３が形成される。   As shown in FIG. 2C, the surface is flattened so that the soft magnetic layer 9 is exposed in the track region 11 and a part of the upper layer 8 remains in the guard band region 12. This planarization process can be performed by, for example, chemical mechanical polishing (CMP) or ion etching. In the case of performing ion etching, planarization can be performed by a technique called etch back. For example, a material (resist, etc.) having an etching rate different from that of the material to be etched (upper layer 8, middle layer 7) is formed, etched by ion etching (ion beam etching, etc.), and planarized using the difference in etching rate can do. As a result, the lower orientation control layer 3 having a single layer structure composed of the soft magnetic layer 9 in the track region 11 and a three-layer structure of the base layer 6, the middle layer 7, and the upper layer 8 in the guard band region 12. It is formed.

図２（Ｄ）に示すように、下側配向制御層３の上に、ＲｕまたはＲｕ合金からなる上側配向制御層４を、スパッタリングにより形成する。基板温度は室温とする。上側配向制御層４の上に、グラニュラ構造を有する磁気記録層５を、スパッタリングにより形成する。磁気記録層５の形成は、グラニュラ構造中の磁性金属粒が、下地表面の結晶の配向性を引き継いで成長する条件で行う。   As shown in FIG. 2D, an upper orientation control layer 4 made of Ru or a Ru alloy is formed on the lower orientation control layer 3 by sputtering. The substrate temperature is room temperature. A magnetic recording layer 5 having a granular structure is formed on the upper orientation control layer 4 by sputtering. The magnetic recording layer 5 is formed under the condition that the magnetic metal grains in the granular structure grow while taking over the crystal orientation of the underlying surface.

次に、図３（Ａ）及び図３（Ｂ）を参照して、上記第１の実施例による磁気記録媒体の効果について説明する。
図３（Ａ）に、ガードバンド領域を設けず、トラック同士が接する構造の磁気記録層５及び読出ヘッド２０の概略図を示す。読出し対象のトラック１１Ａの両側に他のトラック１１Ｂが隣接している。読出し対象トラック１１Ａ及び隣接トラック１１Ｂの両方に、垂直方向の磁気記録が行われている。このため、隣接トラック１１Ｂからの漏れ磁束が媒体ノイズ源になる。 Next, the effects of the magnetic recording medium according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 3 (A) and 3 (B).
FIG. 3A is a schematic diagram of the magnetic recording layer 5 and the read head 20 having a structure in which the tracks are in contact with each other without providing the guard band region. Another track 11B is adjacent to both sides of the track 11A to be read. Magnetic recording in the vertical direction is performed on both the read target track 11A and the adjacent track 11B. For this reason, the leakage magnetic flux from the adjacent track 11B becomes a medium noise source.

図３（Ｂ）に、第１の実施例による磁気記録媒体の磁気記録層５及び読出ヘッド２０の概略図を示す。読出し対象トラック１１Ａと、それに隣接するトラック１１Ｂとの間に、ガードバンド領域１２が配置されている。ガードバンド領域１２内の磁気記録層５は、面内方向に優先的に磁化される。このため、ガードバンド領域１２からの漏れ磁束は、読出し信号にほとんど影響を与えない。これにより、媒体ノイズの低減を図ることが可能になる。   FIG. 3B is a schematic diagram of the magnetic recording layer 5 and the read head 20 of the magnetic recording medium according to the first embodiment. A guard band region 12 is arranged between the read target track 11A and the adjacent track 11B. The magnetic recording layer 5 in the guard band region 12 is preferentially magnetized in the in-plane direction. For this reason, the leakage magnetic flux from the guard band region 12 hardly affects the read signal. Thereby, it becomes possible to reduce the medium noise.

次に、図４（Ａ）〜図４（Ｃ）を参照して、第１の実施例による磁気記録媒体の初期化方法及びトラック識別方法について説明する。
図４（Ａ）に、磁気記録膜５のトラック領域１１の磁化状態の一例と、読出し信号波形との関係を示し、図４（Ｂ）に、磁気記録層５のガードバンド領域１２の磁化状態の一例と、ガードバンド領域１２からの漏れ磁場に起因する読出し信号波形を示す。図４（Ａ）〜図４（Ｃ）の横軸がトラックの長さ方向（Ｙ方向）に対応する。 Next, with reference to FIGS. 4A to 4C, the initialization method and the track identification method of the magnetic recording medium according to the first embodiment will be described.
4A shows an example of the magnetization state of the track region 11 of the magnetic recording film 5 and the relationship between the read signal waveform, and FIG. 4B shows the magnetization state of the guard band region 12 of the magnetic recording layer 5. And a readout signal waveform caused by a leakage magnetic field from the guard band region 12 is shown. The horizontal axis in FIGS. 4A to 4C corresponds to the track length direction (Y direction).

垂直磁化されたトラック領域１１においては、磁化の強さが、直接、読出し信号の大きさに反映される。ガードバンド領域１２に垂直磁化用の磁束が漏れ出すと、その磁束の変化によって、ガードバンド領域１２が面内方向に優先的に磁化される。面内方向に磁化されたガードバンド領域１２においては、磁化方向が反転する時の磁束の変化分が読み出し信号として検出される。   In the perpendicularly magnetized track region 11, the magnetization intensity is directly reflected in the magnitude of the read signal. When the magnetic flux for perpendicular magnetization leaks to the guard band region 12, the guard band region 12 is preferentially magnetized in the in-plane direction due to the change of the magnetic flux. In the guard band region 12 magnetized in the in-plane direction, a change in magnetic flux when the magnetization direction is reversed is detected as a read signal.

第１の実施例による磁気記録媒体を、交番磁場で初期化（ＡＣ消去）する場合について考える。トラック領域１１においては、図４（Ａ）に示すように、磁化が上向きの領域と下向きの領域とが交互に現れる。ＧＭＲヘッド等で読み出しを行う場合、読出し信号は、正弦波状のエンベロープを持つ。ガードバンド領域１２においては、面内方向の磁化の向きが交番磁場に応じて変化する。読出し信号は、図４（Ｂ）に示すように、磁場の向きが反転する時にピークを持つ波形になる。トラック領域１１から読み出された信号と、ガードバンド領域１２から読み出された信号とは、共に直流成分を持たない。ところが、トラック領域１１から読み出される信号の強度は、ガードバンド領域１２から読み出される信号の強度よりも大きい。従って、信号の強度を判定することにより、トラック領域１１とガードバンド領域１２とを明確に識別することができる。   Consider a case where the magnetic recording medium according to the first embodiment is initialized (AC erasure) with an alternating magnetic field. In the track region 11, as shown in FIG. 4A, the upward and downward magnetization areas appear alternately. When reading is performed with a GMR head or the like, the read signal has a sinusoidal envelope. In the guard band region 12, the magnetization direction in the in-plane direction changes according to the alternating magnetic field. As shown in FIG. 4B, the read signal has a waveform having a peak when the direction of the magnetic field is reversed. The signal read from the track area 11 and the signal read from the guard band area 12 do not have a DC component. However, the intensity of the signal read from the track area 11 is larger than the intensity of the signal read from the guard band area 12. Therefore, the track area 11 and the guard band area 12 can be clearly identified by determining the signal strength.

次に、第１の実施例による磁気記録媒体を直流磁場で初期化（ＤＣ消去）する場合について考える。基板面に垂直で、かつ磁気記録層５内の磁性金属粒の保持力よりも大きな磁場を、磁気記録媒体に印加する。これにより、図４（Ｃ）に示すように、トラック領域１１の磁気記録層５が一様に、例えば上向きに垂直磁化される。このとき、ガードバンド領域１２の磁気記録層５は、垂直方向には殆ど磁化されず、面内方向の磁化の向きはランダムである。   Next, consider a case where the magnetic recording medium according to the first embodiment is initialized (DC erasure) with a DC magnetic field. A magnetic field perpendicular to the substrate surface and larger than the holding force of the magnetic metal grains in the magnetic recording layer 5 is applied to the magnetic recording medium. Thereby, as shown in FIG. 4C, the magnetic recording layer 5 in the track region 11 is perpendicularly magnetized uniformly, for example, upward. At this time, the magnetic recording layer 5 in the guard band region 12 is hardly magnetized in the vertical direction, and the magnetization direction in the in-plane direction is random.

トラック領域１１から読み出される信号は、一定の大きさの直流信号になる。ガードバンド領域１２から読み出される信号は、直流成分を持たない。このため、読出し信号の直流成分を判定することにより、トラック領域１１とガードバンド領域１２とを明確に識別することができる。   The signal read from the track area 11 is a DC signal having a certain magnitude. A signal read from the guard band region 12 does not have a DC component. Therefore, the track area 11 and the guard band area 12 can be clearly identified by determining the DC component of the read signal.

第１の実施例による磁気記録媒体では、セクタサーボ情報をトラック領域１１に書き込む。トラック領域以外にセクタサーボ情報を書き込むような構造の磁気記録媒体においては、サーボ情報を読み出すための複雑な読出しヘッドが必要になる。第１の実施例においては、通常のデータと、サーボ情報とを、一つの読出しヘッドで読み出すことができる。このため、読出しヘッドの構造を簡単化することができる。   In the magnetic recording medium according to the first embodiment, sector servo information is written in the track area 11. In a magnetic recording medium having a structure in which sector servo information is written in areas other than the track area, a complicated read head for reading servo information is required. In the first embodiment, normal data and servo information can be read by one read head. For this reason, the structure of the read head can be simplified.

第１の実施例では、磁気記録層５を、酸化シリコン媒質内にＣｏＣｒＰｔ磁性金属粒が分散したグラニュラ構造とし、上側配向制御層４をＲｕまたはＲｕ合金で形成した。磁気記録層５内の磁性金属粒の材料として、結晶構造が六方最密構造である他の磁性材料を用いてもよい。このような磁性材料として、例えばＣｏＣｒＰｔＢ、ＣｏＣｒＰｔＴａ等が挙げられる。また、上側配向制御層４の材料として、ＲｕまたはＲｕ合金以外に、結晶構造が六方最密構造である非磁性材料を用いることができる。このような材料として、例えばＰｔ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｒｅや、これらの金属を含む合金等が挙げられる。   In the first embodiment, the magnetic recording layer 5 has a granular structure in which CoCrPt magnetic metal particles are dispersed in a silicon oxide medium, and the upper orientation control layer 4 is formed of Ru or a Ru alloy. As the magnetic metal grain material in the magnetic recording layer 5, another magnetic material having a hexagonal close-packed crystal structure may be used. Examples of such a magnetic material include CoCrPtB and CoCrPtTa. In addition to Ru or Ru alloy, a nonmagnetic material having a hexagonal close-packed crystal structure can be used as the material of the upper orientation control layer 4. Examples of such materials include Pt, Pd, Rh, Re, and alloys containing these metals.

また、軟磁性層９及び裏打層２の材料として、ＣｏＮｉＦｅＢ以外の軟磁性材料を用いてもよい。軟磁性層９及び裏打層２に適した軟磁性材料として、ＣｏＺｒＮｂ、ＣｏＺｒＴａ、ＮｉＦｅ等が挙げられる。ガードバンド領域１２内の下側配向制御層３の下層７及び上層８を、ＡｌＣｒやＣｒ以外に、上側配向制御層４の材料のｃ軸を面内方向に優先的に配向させる性質を持つ非磁性材料で形成してもよい。このような材料として、結晶格子形が体心立法格子である非磁性材料、例えばＡｌＲｕ等が挙げられる。   Further, as a material for the soft magnetic layer 9 and the backing layer 2, a soft magnetic material other than CoNiFeB may be used. Examples of soft magnetic materials suitable for the soft magnetic layer 9 and the backing layer 2 include CoZrNb, CoZrTa, and NiFe. The lower layer 7 and the upper layer 8 of the lower alignment control layer 3 in the guard band region 12 have a property of preferentially orienting the c-axis of the material of the upper alignment control layer 4 in the in-plane direction other than AlCr and Cr. You may form with a magnetic material. As such a material, a nonmagnetic material whose crystal lattice type is a body-centered cubic lattice, such as AlRu, can be cited.

次に、図５〜図６（Ｆ）を参照して、第２の実施例による磁気記録媒体について説明する。
図５に、第２の実施例による磁気記録媒体の断面図を示す。図５の横方向（Ｘ方向）が、トラックの幅方向（半径方向）に対応し、紙面に垂直な方向（Ｙ方向）が、トラックの長さ方向（円周方向）に対応する。以下、図１に示した第１の実施例による磁気記録媒体との相違点に着目して説明を続ける。 Next, a magnetic recording medium according to the second embodiment will be described with reference to FIGS.
FIG. 5 shows a sectional view of a magnetic recording medium according to the second embodiment. The horizontal direction (X direction) in FIG. 5 corresponds to the track width direction (radial direction), and the direction perpendicular to the paper surface (Y direction) corresponds to the track length direction (circumferential direction). Hereinafter, the description will be continued by paying attention to differences from the magnetic recording medium according to the first embodiment shown in FIG.

第１の実施例では、裏打層２が、軟磁性材料からなる単層で形成されていた。第２の実施例では、ガードバンド領域１２が第１裏打層３０のみで形成され、トラック領域１１が、第１裏打層３０と第２裏打層３１との２層構造を有する。第１裏打層３０の上面に、トラック領域１１に対応する溝が形成されている。この溝内に、第２裏打層３１が充填されている。ガードバンド領域１２の第１裏打層３０の上面と、トラック領域１１の第２裏打層３１の上面とは、必ずしも同じ高さに位置する必要はない。   In the first embodiment, the backing layer 2 is formed of a single layer made of a soft magnetic material. In the second embodiment, the guard band region 12 is formed of only the first backing layer 30, and the track region 11 has a two-layer structure of the first backing layer 30 and the second backing layer 31. A groove corresponding to the track region 11 is formed on the upper surface of the first backing layer 30. The second backing layer 31 is filled in the groove. The upper surface of the first backing layer 30 in the guard band region 12 and the upper surface of the second backing layer 31 in the track region 11 do not necessarily have to be positioned at the same height.

第１裏打層３０及び第２裏打層３１は、共に軟磁性材料で形成されるが、第１裏打層３０の方が、第２裏打層３１よりも透磁率の低い材料で形成されている。例えば、第１裏打層３０がＮｉＰで形成され、第２裏打層３１がＣｏＮｉＦｅＢで形成される。ガードバンド領域１２の第１裏打層３０の厚さは、例えば約１５０ｎｍであり、第２裏打層３１の厚さは、例えば約１５０ｎｍである。   The first backing layer 30 and the second backing layer 31 are both made of a soft magnetic material, but the first backing layer 30 is made of a material having a lower magnetic permeability than the second backing layer 31. For example, the first backing layer 30 is made of NiP, and the second backing layer 31 is made of CoNiFeB. The thickness of the first backing layer 30 in the guard band region 12 is, for example, about 150 nm, and the thickness of the second backing layer 31 is, for example, about 150 nm.

裏打層２の上に、下側配向制御層３が配置されている。トラック領域１１内に配置されたトラック用下側配向制御層３Ｔは、下層３５と上層３６との２層構造を有する。ガードバンド領域１２内に配置されたガードバンド用下側配向制御層３Ｇは、下層３２と上層３３との２層構造を有する。   A lower orientation control layer 3 is disposed on the backing layer 2. The track lower orientation control layer 3 </ b> T disposed in the track region 11 has a two-layer structure of a lower layer 35 and an upper layer 36. The guard band lower alignment control layer 3 </ b> G disposed in the guard band region 12 has a two-layer structure of a lower layer 32 and an upper layer 33.

ガードバンド用下側配向制御層３Ｇの下層３２及び上層３３は、それぞれ第１の実施例におけるガードバンド領域１２の下側配向制御層３の中層７及び上層８と同じ材料で形成される。下層３２及び上層３３の厚さは、それぞれ第１の実施例の中層７及び上層８の厚さと等しい。   The lower layer 32 and the upper layer 33 of the guard band lower alignment control layer 3G are formed of the same material as the middle layer 7 and the upper layer 8 of the lower alignment control layer 3 of the guard band region 12 in the first embodiment, respectively. The thicknesses of the lower layer 32 and the upper layer 33 are equal to the thicknesses of the middle layer 7 and the upper layer 8 of the first embodiment, respectively.

トラック用下側配向制御層３Ｔの下層３５は、Ｔａ、Ｃ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｗ、Ｒｅ、Ｏｓ、またはＨｆで形成される。上層３６は、結晶格子形が面心立方格子の非磁性材料、例えばＮｉＦｅで形成される。ガードバンド用下側配向制御層３Ｇの上層３３の上面と、トラック用下側配向制御層３Ｔの上層３６の上面とは、高さが揃えられており、下側配向制御層３の上面が平坦になっている。   The lower layer 35 of the lower alignment control layer 3T for tracks is formed of Ta, C, Mo, Ti, W, Re, Os, or Hf. The upper layer 36 is made of a nonmagnetic material having a crystal lattice shape of face-centered cubic lattice, for example, NiFe. The upper surface 33 of the guard layer lower alignment control layer 3G and the upper surface of the track upper alignment control layer 3T have the same height, and the upper surface of the lower alignment control layer 3 is flat. It has become.

下側配向制御層３の上に、第１の実施例による磁気記録媒体と同様に、上側配向制御層４及び磁気記録層５が積層されている。
以下、図６（Ａ）〜図６（Ｆ）を参照して、第２の実施例による磁気記録媒体の製造方法について説明する。 On the lower orientation control layer 3, an upper orientation control layer 4 and a magnetic recording layer 5 are laminated in the same manner as the magnetic recording medium according to the first embodiment.
Hereinafter, a method for manufacturing a magnetic recording medium according to the second embodiment will be described with reference to FIGS.

図６（Ａ）に示すように、基板１の上に、ＮｉＰ等の軟磁性材料からなる第１裏打層３０をスパッタリングにより形成する。第１裏打層３０の上に、ＡｌＣｒからなる下層３２、及びＣｒからなる上層３３を、スパッタリングにより形成する。下層３２及び上層３３の成膜時には、結晶化を促進するために基板を１５０〜２００℃程度に加熱することが好ましい。   As shown in FIG. 6A, a first backing layer 30 made of a soft magnetic material such as NiP is formed on a substrate 1 by sputtering. A lower layer 32 made of AlCr and an upper layer 33 made of Cr are formed on the first backing layer 30 by sputtering. When the lower layer 32 and the upper layer 33 are formed, it is preferable to heat the substrate to about 150 to 200 ° C. in order to promote crystallization.

図６（Ｂ）に示すように、上層３３の上にＰＭＭＡ等からなるレジストを塗布し、パターニングすることにより、ガードバンド領域１２にレジストパターン４０を形成する。レジストのパターニングは、例えば電子ビーム描画やインプリント法により行うことができる。レジストパターン４０の厚さは、例えば１５０ｎｍである。   As shown in FIG. 6B, a resist pattern 40 is formed in the guard band region 12 by applying a resist made of PMMA or the like on the upper layer 33 and patterning it. The resist patterning can be performed, for example, by electron beam drawing or imprinting. The thickness of the resist pattern 40 is, for example, 150 nm.

図６（Ｃ）に示すように、レジストパターン４０をエッチングマスクとして、第１裏打層３０の途中までエッチングし、溝４１を形成する。このエッチングには、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）または収束イオンビーム（ＦＩＢ）が用いられる。第１裏打層３０の上面から溝４１の底面までの深さは、例えば１５０ｎｍである。レジストパターン４０の下に、下層３２と上層３３とで構成されたガードバンド用下側配向制御層３Ｇが残る。   As shown in FIG. 6C, using the resist pattern 40 as an etching mask, etching is performed halfway through the first backing layer 30 to form a groove 41. For this etching, reactive ion etching (RIE) or focused ion beam (FIB) is used. The depth from the upper surface of the first backing layer 30 to the bottom surface of the groove 41 is, for example, 150 nm. Under the resist pattern 40, the guard band lower alignment control layer 3 </ b> G composed of the lower layer 32 and the upper layer 33 remains.

図６（Ｄ）に示すように、溝４１の底面上に、ＣｏＮｉＦｅＢ等からなる第２裏打層３１、トラック用下側配向制御層３Ｔの下層３５及び上層３６を順番に堆積させる。第２裏打層３１は、例えばめっき、スパッタリング等により形成される。下層３５及び上層３６は、スパッタリングにより形成される。レジストパターン４０の上にも、第２裏打層３１、下層３５、及び上層３６と同じ材料からなる３つの層３１ａ、３５ａ、及び３６ａが堆積する。この段階で、上層３６の上面の高さを、ガードバンド用下側配向制御層３Ｇの上層３３の上面の高さに揃える必要はない。   As shown in FIG. 6D, the second backing layer 31 made of CoNiFeB or the like, the lower layer 35 of the track lower orientation control layer 3T, and the upper layer 36 are sequentially deposited on the bottom surface of the groove 41. The second backing layer 31 is formed by, for example, plating or sputtering. The lower layer 35 and the upper layer 36 are formed by sputtering. Also on the resist pattern 40, three layers 31a, 35a, and 36a made of the same material as the second backing layer 31, the lower layer 35, and the upper layer 36 are deposited. At this stage, it is not necessary to align the height of the upper surface of the upper layer 36 with the height of the upper surface of the upper layer 33 of the guard band lower alignment control layer 3G.

図６（Ｅ）に示すように、レジストパターン４０を、その上に堆積している層とともに除去（リフトオフ）する。
図６（Ｆ）に示すように、表面の平坦化を行う。この平坦化は、例えば、化学機械研磨（ＣＭＰ）、イオンエッチングによるエッチバック等により行うことができる。図５に示すように、上側配向制御層４及び磁気記録層５を形成する。 As shown in FIG. 6E, the resist pattern 40 is removed (lifted off) together with the layer deposited thereon.
As shown in FIG. 6F, the surface is planarized. This planarization can be performed, for example, by chemical mechanical polishing (CMP), etch back by ion etching, or the like. As shown in FIG. 5, the upper orientation control layer 4 and the magnetic recording layer 5 are formed.

第２の実施例においても、ガードバンド領域１２において、上側配向制御層４及び磁気記録層５を形成する結晶のｃ軸が、面内方向に優先的に配向する。
また、トラック領域１１にＴａ等からなる下層３５を配置することにより、その上に配置されるＮｉＦｅ等の上層３６の配向性や結晶粒径を好適に制御することができる。例えば、ＮｉＦｅの（１１１）面を基板面に平行な方向に揃えることができる。これにより、上側配向制御層４及び磁気記録層５のｃ軸配向性を高めることができる。 Also in the second embodiment, in the guard band region 12, the c-axis of the crystal forming the upper orientation control layer 4 and the magnetic recording layer 5 is preferentially oriented in the in-plane direction.
Further, by disposing the lower layer 35 made of Ta or the like in the track region 11, the orientation and crystal grain size of the upper layer 36 such as NiFe disposed thereon can be suitably controlled. For example, the (111) surface of NiFe can be aligned in a direction parallel to the substrate surface. Thereby, the c-axis orientation of the upper orientation control layer 4 and the magnetic recording layer 5 can be enhanced.

トラック領域１１に、ガードバンド領域１２に配置されている第１裏打層３０よりも透磁率の高い第２裏打層３１が配置されている。このため、磁束がトラック領域１１に集中し、漏れ磁束を少なくすることができる。なお、図６（Ｃ）の工程において、溝４１の底面を第１裏打層３０の上面に一致させ、第２裏打層３１の形成を省略してもよい。   A second backing layer 31 having a higher magnetic permeability than the first backing layer 30 disposed in the guard band region 12 is disposed in the track region 11. For this reason, the magnetic flux concentrates on the track region 11 and the leakage magnetic flux can be reduced. In the step of FIG. 6C, the bottom surface of the groove 41 may be made coincident with the upper surface of the first backing layer 30, and the formation of the second backing layer 31 may be omitted.

図７に、上記第１または第２の実施例による磁気記録媒体を用いた磁気記録装置の平面図を示す。筐体５０が、平たい直方体状の内部空間を画定する。この内部空間に、１枚以上の磁気ディスク５１が収容される。磁気ディスク５１は、第１または第２の実施例による磁気記録媒体と同様の構造を有する。磁気ディスク５１は、スピンドルモータ５２の回転軸に装着される。スピンドルモータ５２は、例えば回転数７２００ｒｐｍまたは１００００ｒｐｍ等で磁気ディスク５１を高速回転させる。   FIG. 7 is a plan view of a magnetic recording apparatus using the magnetic recording medium according to the first or second embodiment. The housing 50 defines a flat rectangular parallelepiped internal space. One or more magnetic disks 51 are accommodated in this internal space. The magnetic disk 51 has the same structure as the magnetic recording medium according to the first or second embodiment. The magnetic disk 51 is mounted on the rotation shaft of the spindle motor 52. The spindle motor 52 rotates the magnetic disk 51 at a high speed, for example, at a rotational speed of 7200 rpm or 10,000 rpm.

スピンドルモータ５２の回転軸と平行な方向に延在する支軸５３に、ヘッドアクチュエータ５５が装着されている。ヘッドアクチュエータ５５は、アーム５６とサスペンション５７とを備える。アーム５６は、支軸５３により、磁気ディスク５１の面に平行な方向に揺動可能に支持されている。サスペンション５７は、アーム５６の先端に取り付けられ、アーム５６から前方に延びる。サスペンション５８の先端に、浮上ヘッドスライダ５８が取り付けられている。   A head actuator 55 is mounted on a support shaft 53 that extends in a direction parallel to the rotation axis of the spindle motor 52. The head actuator 55 includes an arm 56 and a suspension 57. The arm 56 is supported by a support shaft 53 so as to be swingable in a direction parallel to the surface of the magnetic disk 51. The suspension 57 is attached to the tip of the arm 56 and extends forward from the arm 56. A flying head slider 58 is attached to the tip of the suspension 58.

第１または第２の実施例による磁気記録媒体を、磁気ディスク５１に用いることにより、隣接トラックからの磁気的干渉を受けにくい磁気記録装置が得られる。
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。 By using the magnetic recording medium according to the first or second embodiment for the magnetic disk 51, a magnetic recording apparatus that is less susceptible to magnetic interference from adjacent tracks can be obtained.
Although the present invention has been described with reference to the embodiments, the present invention is not limited thereto. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications, improvements, combinations, and the like can be made.

上記実施例から、以下の付記に示す発明が導出される。
（付記１）
非磁性材料からなる基板と、
前記基板の上に形成された磁気記録層であって、データが記録される複数のトラック領域と、相互に隣り合うトラック領域の間に配置されたガードバンド領域とが画定されており、該トラック領域内の磁気記録層は、面内方向よりも垂直方向に磁化され易い磁気異方性を示し、該ガードバンド領域内の磁気記録層は、垂直方向よりも面内方向に磁化され易い磁気異方性を示す磁気記録層と
を有する磁気記録媒体。（１）
（付記２）
非磁性材料からなる基板と、
前記基板の上に配置され、結晶構造が六方最密構造の磁性材料を含む磁気記録層であって、データが記録される複数のトラック領域と、相互に隣り合うトラック領域の間に配置されたガードバンド領域とが画定されており、該トラック領域内においては、該磁気記録層内の磁性材料のｃ軸が基板面に垂直な方向に優先的に配向し、該ガードバンド領域内においては、ｃ軸が基板面に平行な方向に優先的に配向している磁気記録層と
を有する磁気記録媒体。（２）
（付記３）
さらに、前記基板と前記磁気記録層との間に配置された上側配向制御層を有し、該上側配向制御層は、結晶構造が六方最密構造である非磁性材料で形成され、前記トラック領域に対応する領域では、ｃ軸が基板面に垂直な方向に優先的に配向しており、前記ガードバンド領域に対応する領域では、ｃ軸が基板面に平行な方向に優先的に配向している付記１または２に記載の磁気記録媒体。 The invention shown in the following supplementary notes is derived from the above embodiments.
(Appendix 1)
A substrate made of a non-magnetic material;
A magnetic recording layer formed on the substrate, wherein a plurality of track areas in which data is recorded and a guard band area disposed between adjacent track areas are defined. The magnetic recording layer in the region exhibits magnetic anisotropy that is more easily magnetized in the vertical direction than in the in-plane direction, and the magnetic recording layer in the guard band region has a magnetic anisotropy that is more easily magnetized in the in-plane direction than in the vertical direction. A magnetic recording medium having a magnetic recording layer exhibiting directionality. (1)
(Appendix 2)
A substrate made of a non-magnetic material;
A magnetic recording layer disposed on the substrate and including a magnetic material having a hexagonal close-packed crystal structure, and disposed between a plurality of track regions in which data is recorded and track regions adjacent to each other A guard band region is defined, and in the track region, the c-axis of the magnetic material in the magnetic recording layer is preferentially oriented in a direction perpendicular to the substrate surface, and in the guard band region, and a magnetic recording layer having a c-axis preferentially oriented in a direction parallel to the substrate surface. (2)
(Appendix 3)
And an upper alignment control layer disposed between the substrate and the magnetic recording layer, the upper alignment control layer being formed of a nonmagnetic material having a hexagonal close-packed crystal structure, and the track region In the region corresponding to, the c-axis is preferentially oriented in the direction perpendicular to the substrate surface, and in the region corresponding to the guard band region, the c-axis is preferentially oriented in the direction parallel to the substrate surface. The magnetic recording medium according to appendix 1 or 2.

（付記４）
前記上側配向制御層は、ＲｕまたはＲｕを含む合金で形成されている付記３に記載の磁気記録媒体。 (Appendix 4)
The magnetic recording medium according to appendix 3, wherein the upper orientation control layer is made of Ru or an alloy containing Ru.

（付記５）
さらに、前記上側配向制御層と前記基板との間に配置された下側配向制御層を有し、前記トラック領域に対応する領域の下側配向制御層は、軟磁性材料で形成され、前記ガードバンド領域に対応する領域の下側配向制御層は、非磁性材料で形成されている付記３または４に記載の磁気記録媒体。 (Appendix 5)
And a lower alignment control layer disposed between the upper alignment control layer and the substrate. The lower alignment control layer corresponding to the track region is formed of a soft magnetic material, and the guard The magnetic recording medium according to appendix 3 or 4, wherein the lower orientation control layer in the region corresponding to the band region is formed of a nonmagnetic material.

（付記６）
さらに、前記下側配向制御層と前記基板との間に配置され、軟磁性材料で形成された裏打層を有する付記５に記載の磁気記録媒体。 (Appendix 6)
The magnetic recording medium according to appendix 5, further comprising a backing layer disposed between the lower orientation control layer and the substrate and made of a soft magnetic material.

（付記７）
データが記録される複数のトラック領域と、相互に隣り合うトラック領域の間に配置されたガードバンド領域とが画定されており、該トラック領域内の磁気記録層は、面内方向よりも垂直方向に磁化されやすい磁気異方性を示し、該ガードバンド領域内の磁気記録層は、垂直方向よりも面内方向に磁化されやすい磁気異方性を示す磁気記録媒体を準備する工程と、
前記磁気記録層を形成する磁性材料の保磁力よりも大きく、かつ該磁気記録層に対して垂直方向を向く磁界を印加することにより、該磁気記録層を磁気的に初期化する工程と
を有する磁気記録媒体の初期化方法。（３）
（付記８）
（ａ）表面に、複数のトラック領域と、相互に隣り合うトラック領域の間に配置されたガードバンド領域とが画定された基板の、該ガードバンド領域の上に、非磁性材料からなる下地層を形成する工程と、
（ｂ）前記下地層の間のトラック領域に、上面が前記下地層の上面よりも高くなるまで軟磁性材料を充填して軟磁性部材を形成工程と、
（ｃ）前記下地層及び軟磁性部材の上に、非磁性材料を堆積させて上層を形成する工程と、
（ｄ）前記トラック領域においては前記軟磁性部材が露出し、前記ガードバンド領域においては前記上層が残るように、表面の平坦化を行う工程と、
（ｅ）平坦化された表面上に、非磁性材料からなる上側配向制御層を形成する工程と、
（ｆ）前記上側配向制御層の上に、磁性材料を含む磁気記録層を形成する工程と
を有する磁気記録媒体の製造方法。（４）
（付記９）
前記上側配向制御層を形成する非磁性材料及び前記磁気記録層に含まれる磁性材料の結晶構造が六方最密構造であり、前記工程ｄで平坦化された表面のうち前記軟磁性部材が露出した領域は、前記配向制御層を形成する非磁性材料のｃ軸が基板表面に垂直になるように優先配向させ、前記上層が露出した領域は、前記配向制御層を形成する非磁性材料のｃ軸が基板表面と平行になるように優先配向させる性質を有する付記８に記載の磁気記録媒体の製造方法。 (Appendix 7)
A plurality of track areas where data is recorded and a guard band area disposed between adjacent track areas are defined, and the magnetic recording layer in the track area is perpendicular to the in-plane direction. Providing a magnetic recording medium that exhibits magnetic anisotropy that is easily magnetized, and the magnetic recording layer in the guard band region exhibits magnetic anisotropy that is more easily magnetized in the in-plane direction than in the vertical direction;
A step of magnetically initializing the magnetic recording layer by applying a magnetic field that is larger than the coercive force of the magnetic material forming the magnetic recording layer and is perpendicular to the magnetic recording layer. A method for initializing a magnetic recording medium. (3)
(Appendix 8)
(A) An underlayer made of a non-magnetic material on a guard band region of a substrate in which a plurality of track regions and a guard band region disposed between adjacent track regions are defined on the surface Forming a step;
(B) forming a soft magnetic member by filling a track region between the underlayers with a soft magnetic material until an upper surface is higher than an upper surface of the underlayer;
(C) depositing a nonmagnetic material on the underlayer and the soft magnetic member to form an upper layer;
(D) planarizing the surface so that the soft magnetic member is exposed in the track region and the upper layer remains in the guard band region;
(E) forming an upper orientation control layer made of a nonmagnetic material on the planarized surface;
(F) forming a magnetic recording layer containing a magnetic material on the upper orientation control layer. (4)
(Appendix 9)
The crystal structure of the nonmagnetic material forming the upper orientation control layer and the magnetic material included in the magnetic recording layer is a hexagonal close-packed structure, and the soft magnetic member is exposed among the flattened surface in the step d. The region is preferentially oriented so that the c-axis of the nonmagnetic material forming the orientation control layer is perpendicular to the substrate surface, and the region where the upper layer is exposed is the c-axis of the nonmagnetic material forming the orientation control layer 9. The method for manufacturing a magnetic recording medium according to appendix 8, wherein the magnetic recording medium has a property of preferentially orienting so that is parallel to the substrate surface.

（付記１０）
前記工程ｆにおいて、前記磁気記録層の磁性材料が、下地表面の結晶配向状態を引き継ぐ条件で該磁気記録層を形成する付記９に記載の磁気記録媒体の製造方法。 (Appendix 10)
The method of manufacturing a magnetic recording medium according to appendix 9, wherein in the step f, the magnetic recording layer is formed under a condition that the magnetic material of the magnetic recording layer takes over the crystal orientation state of the underlying surface.

（付記１１）
（ｐ）表面に、複数のトラック領域と、相互に隣り合うトラック領域の間に配置されたガードバンド領域とが画定された基板の上に、非磁性材料からなるガードバンド用下側配向制御層を形成する工程と、
（ｑ）前記トラック領域に、少なくとも前記ガードバンド用下側配向制御層の底面まで達する溝を形成する工程と、
（ｒ）前記溝に軟磁性材料を充填し、トラック用下側配向制御層を形成する工程と、
（ｓ）前記ガードバンド用下側配向制御層及び前記トラック用下側配向制御層の上に、非磁性材料からなる上側配向制御層を形成する工程と、
（ｔ）前記上側配向制御層の上に、磁性材料を含む磁気記録層を形成する工程と
を有する磁気記録媒体の製造方法。（５）
（付記１２）
前記上側配向制御層を形成する非磁性材料及び前記磁気記録層に含まれる磁性材料の結晶構造は六方最密構造であり、前記トラック用下側配向制御層の表面は、前記上側配向制御層を形成する非磁性材料のｃ軸が基板表面に垂直になるように優先配向させ、前記ガードバンド用下側配向制御層の上面は、前記上側配向制御層を形成する非磁性材料のｃ軸が基板表面と平行になるように優先配向させる性質を有する付記１１に記載の磁気記録媒体の製造方法。 (Appendix 11)
(P) A lower alignment control layer for a guard band made of a nonmagnetic material on a substrate having a plurality of track regions and a guard band region disposed between adjacent track regions on the surface. Forming a step;
(Q) forming a groove reaching at least the bottom surface of the lower alignment control layer for the guard band in the track region;
(R) filling the groove with a soft magnetic material to form a lower alignment control layer for tracks;
(S) forming an upper alignment control layer made of a nonmagnetic material on the guard band lower alignment control layer and the track lower alignment control layer;
And (t) forming a magnetic recording layer containing a magnetic material on the upper alignment control layer. (5)
(Appendix 12)
The crystal structure of the nonmagnetic material forming the upper alignment control layer and the magnetic material included in the magnetic recording layer is a hexagonal close-packed structure, and the surface of the lower alignment control layer for tracks is formed of the upper alignment control layer. The c-axis of the non-magnetic material to be formed is preferentially oriented so that the c-axis of the non-magnetic material is perpendicular to the substrate surface, and the c-axis of the non-magnetic material forming the upper orientation control layer is on the upper surface of the lower orientation control layer for the guard band The method for producing a magnetic recording medium according to appendix 11, wherein the magnetic recording medium is preferentially oriented so as to be parallel to the surface.

（付記１３）
前記工程ｔにおいて、前記磁気記録層の磁性材料が、下地表面の結晶配向状態を引き継ぐ条件で該磁気記録層を形成する付記１２に記載の磁気記録媒体の製造方法。 (Appendix 13)
13. The method of manufacturing a magnetic recording medium according to appendix 12, wherein in the step t, the magnetic recording layer is formed under a condition that the magnetic material of the magnetic recording layer takes over the crystal orientation state of the underlying surface.

第１の実施例による磁気記録媒体の一部破断斜視図である。1 is a partially broken perspective view of a magnetic recording medium according to a first embodiment. 第１の実施例による磁気記録媒体の製造途中における媒体の断面図（その１）である。It is sectional drawing (the 1) of the medium in the middle of manufacture of the magnetic-recording medium by a 1st Example. 第１の実施例による磁気記録媒体の製造途中における媒体の断面図（その２）である。FIG. 6 is a cross-sectional view (part 2) of the medium in the middle of manufacturing the magnetic recording medium according to the first embodiment. 第１の実施例による磁気記録媒体の製造途中における媒体の断面図（その３）である。FIG. 4 is a cross-sectional view (part 3) of the medium in the middle of manufacturing the magnetic recording medium according to the first embodiment. 第１の実施例による磁気記録媒体の製造途中における媒体の断面図（その４）である。FIG. 6 is a cross-sectional view (part 4) of the medium in the middle of manufacturing the magnetic recording medium according to the first embodiment. ガードバンド領域が設けられていない磁気記録媒体の磁化及び磁束の様子を概略的に示す図である。It is a figure which shows schematically the mode of magnetization of the magnetic recording medium in which the guard band area | region is not provided, and the magnetic flux. 第１の実施例による磁気記録媒体の磁化及び磁束の様子を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly the mode of magnetization of the magnetic recording medium by a 1st Example, and the mode of magnetic flux. 第１の実施例による磁気記録媒体をＡＣ消去したときのトラック領域の磁化の様子、及び読み出し信号波形を示す図である。It is a figure which shows the mode of magnetization of a track area when the magnetic recording medium by a 1st Example is AC erased, and a read signal waveform. 第１の実施例による磁気記録媒体をＡＣ消去したときのガードバンド領域の磁化の様子、及び読み出し信号波形を示す図である。It is a figure which shows the mode of magnetization of a guard band area | region when a magnetic recording medium by a 1st Example is AC erased, and a read signal waveform. 第１の実施例による磁気記録媒体をＤＣ消去したときのトラック領域の磁化の様子、及び読み出し信号波形を示す図である。It is a figure which shows the mode of magnetization of a track area when a magnetic recording medium according to the first embodiment is DC erased, and a read signal waveform. 第２の実施例による磁気記録媒体の一部破断斜視図である。It is a partially broken perspective view of the magnetic recording medium according to the second embodiment. 第２の実施例による磁気記録媒体の製造途中における媒体の断面図（その１）である。It is sectional drawing (the 1) of the medium in the middle of manufacture of the magnetic-recording medium by a 2nd Example. 第２の実施例による磁気記録媒体の製造途中における媒体の断面図（その２）である。It is sectional drawing (the 2) of the medium in the middle of manufacture of the magnetic-recording medium by a 2nd Example. 第２の実施例による磁気記録媒体の製造途中における媒体の断面図（その３）である。It is sectional drawing (the 3) of the medium in the middle of manufacture of the magnetic-recording medium by a 2nd Example. 第２の実施例による磁気記録媒体の製造途中における媒体の断面図（その４）である。It is sectional drawing (the 4) of the medium in the middle of manufacture of the magnetic-recording medium by a 2nd Example. 第２の実施例による磁気記録媒体の製造途中における媒体の断面図（その５）である。It is sectional drawing (the 5) of the medium in the middle of manufacture of the magnetic-recording medium by a 2nd Example. 第２の実施例による磁気記録媒体の製造途中における媒体の断面図（その６）である。It is sectional drawing (the 6) of the medium in the middle of manufacture of the magnetic-recording medium by a 2nd Example. 第１または第２の実施例による磁気記録媒体を用いた磁気記録装置の平面図である。It is a top view of the magnetic-recording apparatus using the magnetic-recording medium by a 1st or 2nd Example. 従来の磁気記録媒体の一部破断斜視図である。It is a partially broken perspective view of the conventional magnetic recording medium. 従来の磁気記録媒体の一部破断斜視図である。It is a partially broken perspective view of the conventional magnetic recording medium. 従来の磁気記録媒体の断面図である。It is sectional drawing of the conventional magnetic recording medium.

符号の説明Explanation of symbols

１ 基板
２ 裏打層
３ 下側配向制御層
４ 上側配向制御層
５ 磁気記録層
６ 下地層
７ 中層
８ 下層
９ 軟磁性層
１１ トラック領域
１２ ガードバンド領域
２０ 読出ヘッド
３０ 第１裏打層
３１ 第２裏打層
３２ ガードバンド用下側配向制御層の下層
３３ ガードバンド用下側配向制御層の上層
３５ トラック用下側配向制御層の下層
３６ トラック用下側配向制御層の上層
４０ レジストパターン
４１ 溝
５０ 筐体
５１ 磁気ディスク
５２ スピンドルモータ
５３ 支軸
５５ ヘッドアクチュエータ
５６ アーム
５７ サスペンション
５８ 浮上ヘッドスライダ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Backing layer 3 Lower orientation control layer 4 Upper orientation control layer 5 Magnetic recording layer 6 Underlayer 7 Middle layer 8 Lower layer 9 Soft magnetic layer 11 Track region 12 Guard band region 20 Read head 30 First backing layer 31 Second backing Layer 32 Lower layer for guard band lower alignment control layer 33 Upper layer for guard band lower alignment control layer 35 Lower layer for track lower alignment control layer 36 Upper layer for track lower alignment control layer 40 Resist pattern 41 Groove 50 Housing Body 51 Magnetic disk 52 Spindle motor 53 Support shaft 55 Head actuator 56 Arm 57 Suspension 58 Flying head slider

Claims (5)

非磁性材料からなる基板と、
前記基板の上に形成された磁気記録層であって、データが記録される複数のトラック領域と、相互に隣り合うトラック領域の間に配置されたガードバンド領域とが画定されており、該トラック領域内の磁気記録層は、面内方向よりも垂直方向に磁化され易い磁気異方性を示し、該ガードバンド領域内の磁気記録層は、垂直方向よりも面内方向に磁化され易い磁気異方性を示す磁気記録層と
を有する磁気記録媒体。 A substrate made of a non-magnetic material;
A magnetic recording layer formed on the substrate, wherein a plurality of track areas in which data is recorded and a guard band area disposed between adjacent track areas are defined. The magnetic recording layer in the region exhibits magnetic anisotropy that is more easily magnetized in the vertical direction than in the in-plane direction, and the magnetic recording layer in the guard band region has a magnetic anisotropy that is more easily magnetized in the in-plane direction than in the vertical direction. A magnetic recording medium having a magnetic recording layer exhibiting directionality. 非磁性材料からなる基板と、
前記基板の上に配置され、結晶構造が六方最密構造の磁性材料を含む磁気記録層であって、データが記録される複数のトラック領域と、相互に隣り合うトラック領域の間に配置されたガードバンド領域とが画定されており、該トラック領域内においては、該磁気記録層内の磁性材料のｃ軸が基板面に垂直な方向に優先的に配向し、該ガードバンド領域内においては、ｃ軸が基板面に平行な方向に優先的に配向している磁気記録層と
を有する磁気記録媒体。 A substrate made of a non-magnetic material;
A magnetic recording layer disposed on the substrate and including a magnetic material having a hexagonal close-packed crystal structure, and disposed between a plurality of track regions in which data is recorded and track regions adjacent to each other A guard band region is defined, and in the track region, the c-axis of the magnetic material in the magnetic recording layer is preferentially oriented in a direction perpendicular to the substrate surface, and in the guard band region, and a magnetic recording layer having a c-axis preferentially oriented in a direction parallel to the substrate surface. データが記録される複数のトラック領域と、相互に隣り合うトラック領域の間に配置されたガードバンド領域とが画定されており、該トラック領域内の磁気記録層は、面内方向よりも垂直方向に磁化されやすい磁気異方性を示し、該ガードバンド領域内の磁気記録層は、垂直方向よりも面内方向に磁化されやすい磁気異方性を示す磁気記録媒体を準備する工程と、
前記磁気記録層を形成する磁性材料の保磁力よりも大きく、かつ該磁気記録層に対して垂直方向を向く磁界を印加することにより、該磁気記録層を磁気的に初期化する工程と
を有する磁気記録媒体の初期化方法。 A plurality of track areas where data is recorded and a guard band area disposed between adjacent track areas are defined, and the magnetic recording layer in the track area is perpendicular to the in-plane direction. Providing a magnetic recording medium that exhibits magnetic anisotropy that is easily magnetized, and the magnetic recording layer in the guard band region exhibits magnetic anisotropy that is more easily magnetized in the in-plane direction than in the vertical direction;
A step of magnetically initializing the magnetic recording layer by applying a magnetic field that is larger than the coercive force of the magnetic material forming the magnetic recording layer and is perpendicular to the magnetic recording layer. A method for initializing a magnetic recording medium. （ａ）表面に、複数のトラック領域と、相互に隣り合うトラック領域の間に配置されたガードバンド領域とが画定された基板の、該ガードバンド領域の上に、非磁性材料からなる下地層を形成する工程と、
（ｂ）前記下地層の間のトラック領域に、上面が前記下地層の上面よりも高くなるまで軟磁性材料を充填して軟磁性部材を形成工程と、
（ｃ）前記下地層及び軟磁性部材の上に、非磁性材料を堆積させて上層を形成する工程と、
（ｄ）前記トラック領域においては前記軟磁性部材が露出し、前記ガードバンド領域においては前記上層が残るように、表面の平坦化を行う工程と、
（ｅ）平坦化された表面上に、非磁性材料からなる上側配向制御層を形成する工程と、
（ｆ）前記上側配向制御層の上に、磁性材料を含む磁気記録層を形成する工程と
を有する磁気記録媒体の製造方法。 (A) An underlayer made of a non-magnetic material on a guard band region of a substrate in which a plurality of track regions and a guard band region disposed between adjacent track regions are defined on the surface Forming a step;
(B) forming a soft magnetic member by filling a track region between the underlayers with a soft magnetic material until an upper surface is higher than an upper surface of the underlayer;
(C) depositing a nonmagnetic material on the underlayer and the soft magnetic member to form an upper layer;
(D) planarizing the surface so that the soft magnetic member is exposed in the track region and the upper layer remains in the guard band region;
(E) forming an upper orientation control layer made of a nonmagnetic material on the planarized surface;
(F) forming a magnetic recording layer containing a magnetic material on the upper orientation control layer. （ｐ）表面に、複数のトラック領域と、相互に隣り合うトラック領域の間に配置されたガードバンド領域とが画定された基板の上に、非磁性材料からなるガードバンド用下側配向制御層を形成する工程と、
（ｑ）前記トラック領域に、少なくとも前記ガードバンド用下側配向制御層の底面まで達する溝を形成する工程と、
（ｒ）前記溝に軟磁性材料を充填し、トラック用下側配向制御層を形成する工程と、
（ｓ）前記ガードバンド用下側配向制御層及び前記トラック用下側配向制御層の上に、非磁性材料からなる上側配向制御層を形成する工程と、
（ｔ）前記上側配向制御層の上に、磁性材料を含む磁気記録層を形成する工程と
を有する磁気記録媒体の製造方法。 (P) A lower alignment control layer for a guard band made of a nonmagnetic material on a substrate having a plurality of track regions and a guard band region disposed between adjacent track regions on the surface. Forming a step;
(Q) forming a groove reaching at least the bottom surface of the lower alignment control layer for the guard band in the track region;
(R) filling the groove with a soft magnetic material to form a lower alignment control layer for tracks;
(S) forming an upper alignment control layer made of a nonmagnetic material on the guard band lower alignment control layer and the track lower alignment control layer;
And (t) forming a magnetic recording layer containing a magnetic material on the upper alignment control layer.

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