JP2006214823A - 表面形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】2重共有干渉計は、2つのヘテロダイン共有干渉計で構成されている。テスト表面(SUT)138は、一直線上の等距離にある3点で照射され、隣接する2点間の高さの差を1対の位相計132,134で計測する。
試料と3つのビームとの走査としては、ステージ140により、等間隔ごとに前記位相差信号を計測して位相差のデータを記憶しながら、走査の出発点まで戻る閉じた走査を行う。
走査の出発点と終点とが同じ高さであることを用いて、位相計間の高さの相対的誤差を得ることができるので、相対的誤差を較正して試料の表面形状を得ることができる。
【選択図】図1
Description
表面の形状を計測するために通常使用されている光学装置は、フィゾ干渉計(Fizeau interferometer)である。フィゾ干渉計は、干渉縞パターンを解析することで、テスト表面(surface under test:SUT)と参照光学的平面(reference optical flat:ROF)との間の断面の差を求めている。しかしながら、いくつかのフィゾ干渉計は、断面の不確定性(面精度)がλ/100(例えば、λが633nmの場合は6.33nmの精度)より小さいROFを備えているが、商業的に入手可能な装置に備えられている通常のROFの不確定性は、λ/20(同様に、31.65nmの精度)程度である。また、ROFの最大のサイズは現在直径350mmである。このように、ROFのサイズと正確性が、SUTのサイズと計測の正確性を制限している。
かすめ入射鏡(grazing incidence mirror)のような大きなサイズの計測に対して、ロングトレースプロファイラ(long trace profiler:LTP)が開発された。この計測器は、SUTを照射する単一のビームで走査し、フーリエ変換レンズの角度位置変換に基づいて、傾き断面を計測する。500mm長の鏡が、温度を摂氏±0.1度内に制御することで、高さを標準偏差4.6nmで計測されたことが最近報告されている。
共有干渉法の例として、共有へテロダイン干渉計で、中心に1つのセンサを置き、そのまわりをもう一つのセンサを回転させることで校正を行い、環境に対するロバスト性を高めることが行われている(非特許文献1参照)。しかし、校正のために360度回転させた際に、同一地点にもどることを条件としていない(校正時のループを完全に閉じていない)ために、上記に示すような面精度に留まり、サブナノレベルの精度が得られていない。
また、直線度や平面度をナノメートルからサブナノメートルの精度で測定する共有干渉計で、直交2周波レーザ光を平行な2光束に分離してそれぞれの光束に対しヘテロダイン方式の共有干渉計を構成し、さらにそれぞれの干渉計の片方のアームが試料面上で重なるごとく2つの干渉計を配置するものがある(非特許文献3、特許文献1参照)。この結果、2つのシヤリング干渉計は試料平面上の一直線上に並んだ等間隔の3点を照射し、それぞれ2点間の高さの差を測定することにより、試料面の移動の際に発生する試料面チルトによる誤差を補正できる。これは、等間隔の3点が直線上にあることが特徴である。
円弧状あるいは渦巻状の曲線の走引で平面度をナノメータからサブナノメータの感度で測定する3点シヤリングヘテロダイン干渉計もある(特許文献2参照)。この構成は、直交2周波レーザ光を2つの光路に分割し、各々の光路に旋光素子と偏光を2つの進行方向に分岐する素子をもうけ、該素子を通過した2つの光路の2組の偏光を3本の光束になるように合波すると共に前記の素子を通過する偏光の方位を変化させて3本の光束の進行方向を制御して任意の曲線上に3点がおかれる。
直交2周波レーザを光源とした2組のシヤリング干渉計を両者の一方の光束が一致するごとく組み合わせて3点から成るシヤリング干渉計を構成し、3点間つまり2つの光路差を計り被測定面の凹凸と被側面の移動に伴う誤差を同時に測定する(特許文献3参照)。これで、直線度や曲線に沿った面の凹凸をナノメータからサブナノメータの精度で測定することができる。
しかしながら、これらの文献では、2つの干渉計間の相対誤差について何も触れていないことから、上記に示すような面精度に留まっている。
また、測定点の高さの差を測定して、表面形状を得ることは、上述した光干渉計ばかりでなく、機械的な例えば静電容量型変位計を用いる方法もよく知られており、同様の問題が存在している(非特許文献2参照)。
Gary E. Sommargren, "Optical heterodyne profilometry" Applied Optics Vol. 20, No. 4 pp.610-618 15 February 1981 山口城治「改良逐次3点法による直線運動精度の計測」精密工学会誌第59巻第5号p.71−76(1993年) T Yokoyama et. al "Sub-nanometer double shearing heterodyne interferometry for profiling large scale planar surfaces", Measurement Science and Technology 15(2004)1-9
前記表面形状測定装置は、共振器ミラー異方性により、偏光間で周波数差のあるレーザ光源と、該光源のビームから参照ビームを取り出すスプリッタと、該参照ビームから、偏光間の参照ビート信号を取り出すフォトダイオードと、該スプリッタからのビームを、平行する2つのビームとする平行板と、該2つの平行ビームをそれぞれ等間隔の2つのビームとして、そのうち1つは重なるように出力する光学子と、該光学子からの3つのビームを試料表面に当て、反射するビームを前記光学子を介して再度2つのビームとし、該ビームからビート信号を取り出すフォトダイオードと、前記参照ビート信号と、2つのビート信号を入力して位相差信号を取り出す2つの位相計と、前記試料を乗せ、前記3つのビームとの間で相対的に移動して、前記ビームにより試料表面の走査を行うステージとを備え、前記試料と前記3つのビームとの走査は、等間隔ごとに前記位相差信号を計測して位相差のデータを記憶しながら走査の出発点まで戻り、出発点を終点とする閉じた走査であり、出発点と終点とが同じ高さであることを用いて、前記2つの位相計間の相対的誤差を得て、該相対的誤差を較正して試料の表面形状を得ることを特徴とする、2重共有ヘテロダイン干渉計を用いるとよい。
また、2重共有ヘテロダイン干渉計は、閉じた走査を行うことにより、2つの干渉計間の相対誤差による影響がなく、サブナノメータの解像度で断面を得ることができる。本発明の2重共有ヘテロダイン干渉計は、1対の共通光路共有干渉計で構成されている。このため、機械的振動及び温度変化の影響はほとんど相殺される。この光学構成とヘテロダイン検出に基づき、本発明の2重共有ヘテロダイン干渉計では、サブナノメータのオーダの感度と計測環境の乱れに対しても大丈夫な計測とを実現している。
以下で、実施形態に用いた1対の共有干渉計で構成された2重共有ヘテロダイン干渉計について、詳しく説明する。
位置Xn−1,Xn及びXn+1における高さのサンプルは、図1に示すように、それぞれZn−1,Zn及びZn+1とする。高さの差ΔZn−1及びΔZnは下に示すように定義される。
式(2.1)と(2.2)から、下に示すような再帰的な式が得られる。
この操作により、原理的には光子雑音限界で決まる位相(表面変位)測定精度が達成できる。例えば、現在市販されている高性能なロックインアンプ(NF社製6510)を使用した場合の位相測定精度は0.1°であることから、光源波長λを633nmとしたとき、約0.1nm(633nm/2×0.1°/360°=0.0879≒0.1nm)の変位分解能が得られることを表している。
<閉じた走査(閉ループ法)について>
上述の走査として、円周状に行うことを例として述べたが、それに限られず、走査の出発点と終点とが一致する走査であればよい。例えば、2軸のターンテーブル上に試料を乗せて計測してもよい。
<他の計測法への適用>
上述の実施形態では、2重共有ヘテロダイン干渉装置を用いている。しかしながら、上述の閉じた走査(閉ループ法)による表面形状の測定は、試料に対して計測点の走査を行い、等間隔ごとに計測点の高さの差信号で表面形状を計測する場合に適用可能である。例えば、逐次3点法として知られている計測法(例えば、静電容量型変位計を用いたものとして、上述の非特許文献2を参照されたい)の場合でも適用可能である。
Claims (2)
- 複数のセンサにより試料と該センサ間の高さの差を得て試料の表面形状を得る表面形状測定装置において、
前記試料と前記複数のセンサとを相対的に移動して試料表面を走査するための走査部を有し、
該走査部は、等間隔ごとに高さの差のデータを記憶しながら走査の出発点まで戻り、出発点を終点とする閉じた走査を行い、
出発点と終点とが同じ高さであることを用いて、前記センサ間の高さの相対的誤差を得て、該相対誤差を較正して試料の表面形状を得ることを特徴とする表面形状測定装置。 - 共振器ミラー異方性により、偏光間で周波数差のあるレーザ光源と、
該光源のビームから参照ビームを取り出すスプリッタと、
該参照ビームから、偏光間の参照ビート信号を取り出すフォトダイオードと、
該スプリッタからのビームを、平行する2つのビームとする平行板と、
該2つの平行ビームをそれぞれ等間隔の2つのビームとして、そのうち1つは重なるように出力する光学子と、
該光学子からの3つのビームを試料表面に当て、反射するビームを前記光学子を介して再度2つのビームとし、該ビームからビート信号を取り出すフォトダイオードと、
前記参照ビート信号と、2つのビート信号を入力して位相差信号を取り出す2つの位相計と、
前記試料を乗せ、前記3つのビームとの間で相対的に移動して、前記ビームにより試料表面の走査を行うステージとを備え、
前記試料と前記3つのビームとの走査は、等間隔ごとに前記位相差信号を計測して位相差のデータを記憶しながら走査の出発点まで戻り、出発点を終点とする閉じた走査であり、
出発点と終点とが同じ高さであることを用いて、前記2つの位相計間の相対的誤差を得て、該相対的誤差を較正して試料の表面形状を得ることを特徴とする、2重共有ヘテロダイン干渉計を用いた表面形状測定装置。
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CN103292728A (zh) * | 2013-05-16 | 2013-09-11 | 中国科学院高能物理研究所 | 一种高精度长程面形检测***及检测方法 |
KR20160051170A (ko) * | 2014-10-31 | 2016-05-11 | 서울과학기술대학교 산학협력단 | 빔 스플리터의 후면 반사를 이용한 다중 광경로 레이저 광학계 |
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JP2001165640A (ja) * | 1999-12-09 | 2001-06-22 | Shiyuuko Yokoyama | 平面度測定手法および測定装置 |
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2005
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KR101664470B1 (ko) | 2014-10-31 | 2016-10-24 | 서울과학기술대학교 산학협력단 | 빔 스플리터의 후면 반사를 이용한 다중 광경로 레이저 광학계 |
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