JP2006208084A - 周期性パターンのムラ検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板を水平に保持し、基板を二次元平面視野内でX軸方向およびY軸方向にそれぞれ移動させる移動機構を備えたXYステージ21と、基板の周期性パターンに対して斜め透過照明を個別に行う4つの光源11A-11Dと、XYステージを挟んで光源の反対側に配置され、斜め透過照明された周期性パターンにおける回折光を撮像する撮像手段31と、基板に対して光源の各々を二次元平面視野内で個別に移動させる移動手段13と、光源が移動されたときに、周期性パターンに対して光源から斜め透過光があたるように移動手段と連動して光源の向きを変えさせる姿勢変更手段12と、周期性パターンに対して光源による斜め透過照明の入射角度が変わるように、移動手段および姿勢変更手段の動作をそれぞれ設定する光学条件4軸設定手段40a-40cとを備える。
【選択図】 図1
Description
光学条件4軸設定機能は、フォトマスクに対して2つの光源から水平方向(X方向)に投光するとともに、垂直方向(Y方向)にも別の2つの光源から投光する際に、これら4つの光源の投光角度θまたは各光源から検査対象パターンまでの距離を所望値に設定する機能である。周期性パターン51の形状の大部分が、図6に示すように、矩形であることから、スジ状ムラ(描画ムラ)が描画の水平方向(X方向)と垂直方向(Y方向)にそれぞれ周期的に発生することが多く、そのためパターン形状に応じて欠陥を見つけ易い投光角度がいくつか存在する。例えばT字パターンではθ1,θ2が欠陥を見つけ易い投光角度であることを実証試験で予め把握しておき、T字パターンを含むフォトマスクを検査する場合は、レシピ条件の投光角度にθ1,θ2を設定しておくと、スジ状ムラを確実かつ効率良く検出することができる。なお、光源の数を4つとしたのは、輝度不足を解消するために、輝度の補完を考慮したほか、X方向の2光源のみ、又はY方向の2光源のみを用いて、切り替えるようにして測定が可能なようにしたものである。
軸別個別設定・保存機能は、サンプルの状態や顧客仕様(要望事項)に応じて光学系の条件を個別に設定し、その設定条件を個別レシピとして保存する機能である。
基準条件・参考条件設定機能は、すべてのパターンに共通の基準条件を設定するとともに、標準的な基準条件のみでは検出できない欠陥をも検出するために複数の参考条件を設定する機能である。
照明中心位置調整機能は、照明の中心位置をカメラ光軸から意図的にずらして輝度変化のなだらかな部分で撮像する機能である。この照明中心位置調整機能は、上記の軸別個別設定・保存機能のうち個別の条件設定可能な光学系の設定項目の1つである。本機能は、補助的な機能であり、使用したり使用しなかったりする場合があるため、オペレータはレシピ入力画面で選択ボタンを押して選択することができる。
データベース機能・再検査機能は、上記1)〜4)で設定した光学条件の設定値等をレシピとして保存し、これと共に検査結果や検査画面をもデータベースに保存する機能である。データベース機能・再検査機能を付加することによって、上述した各種機能(1.光学条件4軸設定機能、2.軸別個別設定・保存機能、3.基準条件・参考条件設定機能、4.照明中心位置調整機能)で設定してきた光学条件の設定値等をレシピとして保存し、これとともに検査結果および検査画像をデータベースに保存する。
12…姿勢変更手段(首振り機構)、
13…移動手段(リニアスライダ)、14…案内路(リニアガイド)、
20…XYステージ部、22…X駆動機構、23…Y駆動機構、
30…撮像部、31…撮像側平行光学系(撮像手段、CCDカメラ)、32…カメラ光軸(中心線)、33…像面、34…実像、35…影(ゴースト)、
40…処理部、41…パソコン(画像処理部)、42…LCD(情報表示部)、43…キイボード(対人操作部)、
50…マスク(被検体基板)、51…パターン、52…スジ状ムラ、53…周期的パターンエリア、56…撮像エリア(検査エリア)、58…中心線(カメラ光軸)、
61…積算データ、62…積算移動平均データ、63…最小2乗法による移動平均計算範囲、64…移動平均計算可能範囲、71…差分データ、72…移動平均計算可能範囲の閾値、73…最小2乗法による移動平均計算範囲の閾値。
Claims (7)
- 矩形基板上の周期性パターンに発生するスジ状ムラを検査するための周期性パターンのムラ検査装置であって、
前記基板を実質的に水平に保持し、該基板を二次元平面視野内でX軸方向およびY軸方向にそれぞれ移動させる移動機構を備えたXYステージと、
前記XYステージ上の基板の周期性パターンに対して斜め透過光の照明を個別に行う4つの光源と、
前記XYステージを挟んで前記光源の反対側に配置され、前記光源によって斜め透過光照明された前記周期性パターンにおける回折光を撮像する撮像手段と、
前記XYステージ上の基板に対して前記光源の各々を二次元平面視野内で個別に移動させる移動手段と、
前記移動手段によって前記光源が移動されたときに、検査対象となる前記周期性パターンに対して前記光源から斜め透過光の照明があたるように、前記移動手段と連動して前記光源の向きを変えさせる姿勢変更手段と、
検査対象となる前記周期性パターンに対して前記光源による斜め透過光の照明の入射角度が変わるように、前記移動手段および前記姿勢変更手段の動作をそれぞれ設定する光学条件4軸設定手段と、
を具備することを特徴とする周期性パターンのムラ検査装置。 - さらに、検査対象の周期性パターンおよび顧客仕様のうちの少なくとも一方に応じて前記光源、前記移動手段および前記姿勢変更手段をそれぞれ個別に設定し、それらの個別に設定した光学条件を保存する軸別個別設定・保存機能を有することを特徴とする請求項1記載の検査装置。
- さらに、基本的なスジ状ムラを検出する基準条件を設定するとともに、前記基準条件のみでは検出することができないスジ状ムラを検出する複数の参考条件をそれぞれ設定し、周期性パターンに生じたスジ状ムラの状態に応じて前記基本条件から前記参考条件に切り替える基準条件・参考条件設定機能を有することを特徴とする請求項1又は2のいずれか1項記載の検査装置。
- さらに、照明光の輝度ピークを前記撮像手段の光軸から所定距離だけシフトさせたところで前記撮像手段に撮像させる照明中心位置調整機能を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の検査装置。
- さらに、検査結果データおよび検査面画像データとともに光学条件の設定値をレシピとしてデータベースに保存し、保存したデータを選択して呼び出し、当該検査結果および検査面画像を呼び出したデータと照合するデータベース機能・再検査機能を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載の検査装置。
- 前記4つの光源は、点灯と消灯を個別に切り換えることができることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載の検査装置。
- 前記4つの光源は、所望の波長の光を透過させる光学フィルタを着脱可能にそれぞれ有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項記載の検査装置。
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