JP2006190750A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】大活性領域A2において、凸部領域5aのみを研磨し、凹部領域5bを研磨しないという、高平坦化特性を有するスラリーを用いてポリシリコン層5を研磨する(第1の研磨処理を実行する)ことにより、ポリシリコン層5に対する初期段差h1を無くすことを目的とした平坦化処理を行う。その後、対トレンチ分離領域2高選択比を有するスラリーを用いてポリシリコン層5を研磨し(第2の研磨処理を実行し)、トレンチ分離領域2,2間のシリコン基板1上にポリシリコン配線6を自己整合的に形成する。
【選択図】図8
Description
図1〜図10はこの発明の実施の形態であるポリシリコン配線の形成方法の処理手順を示す断面図である。図1〜図5は小活性領域A1における形成方法、図6〜図10は大活性領域A2における形成方法を示している。なお、本実施の形態において、トレンチ分離領域2,2によって素子分離されるシリコン基板の上層部を活性領域とし、形成幅(トレンチ分離領域2,2間の距離)が50nm未満の小活性領域A1と、形成幅が50nm以上の領域を大活性領域A2とが形成されることを前提としている。以下、本実施の形態による形成方法を説明する。
本実施の形態では、大活性領域A2におけるポリシリコン層5の初期段差h1の減少を目的とした第1の研磨処理の実行後、小活性領域A1及び大活性領域A2を含む全体のポリシリコン層5の最終的な平坦化を目的とした第2の研磨処理を実行している。
Claims (1)
- (a) 半導体基板の上層部に素子分離領域を選択的に形成するステップを備え、前記素子分離領域によって他の領域と分離形成される活性領域が形成され、前記活性領域は形成幅が比較的大きい大活性領域を含み、
(b) 前記素子分離領域を含む前記半導体基板上の全面に配線層を形成するステップを備え、前記大活性領域上に形成される前記配線層は、形成高さの比較的高い凸部領域と比較的低い凹部領域との高低差である初期段差を有し、
(c) 前記配線層に対し、前記凸部領域のみを研磨し前記凹部領域は研磨しない高平坦化特性を有する研磨材を用いた第1の研磨処理を実行して、前記初期段差を低減させるステップと、
(d) 前記ステップ(c) 後に実行され、前記素子分離領域及び前記配線層を含む前記半導体基板の全面に対し、前記素子分離領域に対する前記配線層の選択比が高い高選択比特性を有する研磨材を用いた第2の研磨処理を実行して、ディッシングの小さい配線を形成するステップとをさらに備える、
半導体装置の製造方法。
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WO2009037903A1 (ja) * | 2007-09-21 | 2009-03-26 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | シリコン膜研磨用cmpスラリー及び研磨方法 |
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