JP2006186368A - 露光装置、傾斜機器、傾斜集束試験を実行するための方法及びそれによって製造されたデバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、投影放射ビームを提供するための照明システムと、パターンを備えた、投影ビームの断面にパターンを付与するように機能する機器を支持するための支持構造と、目標対象を保持するためのテーブルと、パターン化されたビームを目標対象に投射するための投影システムと、傾斜した投影ビームを提供するための傾斜機器とを備えた露光装置に関する。傾斜機器は、実質的に投影システムのひとみ平面に提供されている。
【選択図】図1
Description
放射ビームB(たとえばUV放射ビーム、EUV放射ビーム或いは他の放射ビーム)を条件付けるようになされた照明システム(イルミネータ)ILと、
パターン形成機器(たとえばマスク)MAを支持するように構築された、特定のパラメータに従って該パターン形成機器を正確に位置決めするようになされた第1のポジショナ(位置付け機器)PMに接続された支持構造(たとえばマスク・テーブル)MTと、
基板(たとえばレジスト被覆ウェハ)Wを保持するように構築された、特定のパラメータに従って該基板を正確に位置決めするようになされた第2のポジショナPWに接続された基板テーブル(たとえばウェハ・テーブル)WTと、
パターン形成機器MAによって放射ビームBに付与されたパターンを基板Wの目標部分C(たとえば1つ又は複数のダイが含まれている)に投影するようになされた投影システム(たとえば屈折投影レンズ系)PSと
を備えている。
1.ステップ・モード:ステップ・モードでは、マスク・テーブルMT及び基板テーブルWTが基本的に静止状態に維持され、放射ビームに付与されたパターン全体が目標部分Cに1回で投影される(即ち単一静止露光)。次に、基板テーブルWTがX及び/又はY方向にシフトされ、異なる目標部分Cが露光される。ステップ・モードでは、露光視野の最大サイズによって、単一静止露光で画像化される目標部分Cのサイズが制限される。
2.走査モード:走査モードでは、放射ビームに付与されたパターンが目標部分Cに投影されている間、マスク・テーブルMT及び基板テーブルWTが同期走査される(即ち単一動的露光)。マスク・テーブルMTに対する基板テーブルWTの速度及び方向は、投影システムPSの倍率(縮小率)及び画像反転特性によって決まる。走査モードでは、露光視野の最大サイズによって、単一動的露光における目標部分の幅(非走査方向の幅)が制限され、また、走査運動の長さによって目標部分の高さ(走査方向の高さ)が決まる。
3.その他のモード:その他のモードでは、プログラム可能パターン形成機器を保持するべくマスク・テーブルMTが基本的に静止状態に維持され、放射ビームに付与されたパターンが目標部分Cに投影されている間、基板テーブルWTが移動若しくは走査される。このモードでは、通常、パルス放射源が使用され、走査中、基板テーブルWTが移動する毎に、或いは連続する放射パルスと放射パルスの間に、必要に応じてプログラム可能パターン形成機器が更新される。この動作モードは、上で参照したタイプのプログラム可能ミラー・アレイなどのプログラム可能パターン形成機器を利用しているマスクレス・リソグラフィに容易に適用することができる。
1)リソグラフィ投影装置が安定した状態を維持しているか、或いは一定の時間期間が経過した後に再較正が必要である。
2)較正の間、同じ条件、たとえばレジスト、照明設定及び他の条件等が同じ状態を維持している。
AD 放射ビームの角強度分布を調整するためのアジャスタ
B 放射ビーム
BD ビーム引渡しシステム
C 基板の目標部分
CO コンデンサ
D 焦点外れの量
Δx 横方向の変位
IF 位置センサ
IL 照明システム(イルミネータ)
IN インテグレータ
L1、L2 レンズ
MA パターン形成機器(マスク、レチクル)
MT 支持構造(マスク・テーブル)
M1、M2 マスク・アライメント・マーク
NA 開口数
P、Px、y、20 試験機器(試験構造、集束試験デバイス)
Px、Py 試験パターン
P’ 鮮明な試験構造
P” ぼやけた試験構造
P’’’ ぼやけ、且つ、横方向にシフトした試験構造
PL テレセントリック投影システム(投影レンズ)
PM 第1のポジショナ
PP ひとみ平面
PS 投影システム
PW 第2のポジショナ
P1、P2 基板アライメント・マーク
SO 放射源
W 基板
WT 基板テーブル
10 光学くさび
21 パターンのクロム部分
22 位相階段の第1の部分
23 位相階段の第2の部分
Claims (14)
- 投影放射ビームを提供するための照明システムと、
パターンを備えた、前記投影ビームにパターン化された断面を付与するように機能するパターン形成機器を支持するための支持構造と、
目標対象を保持するためのテーブルと、
パターン化されたビームを前記目標対象に投射するための投影システムと、
傾斜した投影ビームを提供するための、実質的に前記投影システムのひとみ平面に提供された傾斜機器とを備えた露光装置。 - 前記傾斜機器が、少なくとも透明の部分及び少なくとも不透明の部分を備えた遮断部材を備え、前記不透明の部分が前記パターン化されたビームの一部を遮断するようになされた、請求項1に記載の露光装置。
- 前記投影ビームが複数の回折次数に回折し、前記複数の回折次数が前記投影システムのひとみ平面内の異なる回折位置に提供され、前記傾斜機器が、前記パターン化された投影ビームの所定の回折次数を遮断し、それにより前記傾斜した投影ビームを生成するようになされた、請求項1に記載の露光装置。
- 前記傾斜機器が、第1の部分及び第2の部分を含むパターンを備え、前記第1の部分が第1のセットの正及び負の回折次数を生成するようになされ、また、前記第2の部分が第2のセットの正及び負の回折次数を生成するようになされ、前記傾斜機器が、さらに、前記第1のセットの正の回折次数及び前記第2のセットの負の回折次数を遮断するようになされた、請求項3に記載の露光装置。
- 前記傾斜機器が、第1の方向に延びた第1のパターン及び第2の方向に延びた第2のパターンを含んだパターンを備え、前記第1及び第2の方向が互いに実質的に直角であり、且つ、いずれも前記投影ビームに対して実質的に直角である、請求項1に記載の露光装置。
- 前記投影ビームが複数の回折次数に回折し、前記複数の回折次数が前記投影システムの前記ひとみ平面内の異なる位置に提供され、前記傾斜機器が、第1の構造を使用して所定の回折次数を遮断し、且つ、第2の構造を使用して所定の回折次数を遮断するようになされた、請求項5に記載の露光装置。
- 前記露光装置がリソグラフィ装置であり、前記目標対象が基板である、請求項1に記載の露光装置。
- 投影放射ビームを提供するための照明システムと、パターンを備えた、前記投影ビームにパターン化された断面を付与するように機能するパターン形成機器を支持するための支持構造と、目標対象を保持するためのテーブルと、パターン化されたビームを前記目標対象に投射するための投影システムとを備えた露光装置に使用するための傾斜した投影ビームを提供するための傾斜機器であって、前記傾斜機器が実質的に前記投影システムのひとみ平面に提供され、且つ、
第1のセットの正及び負の回折次数を生成するようになされた第1の部分、及び第2のセットの正及び負の回折次数を生成するようになされた第2の部分を含むパターンを備え、さらに、前記第1のセットの正の回折次数及び前記第2のセットの負の回折次数を遮断するようになされた傾斜機器。 - 前記第1の部分が、第1の方向に延びた第1のパターンを含み、前記第2の部分が、第2の方向に延びた第2のパターンを含み、前記第1及び第2の方向が互いに実質的に直角であり、且つ、いずれも前記投影ビームに対して実質的に直角である、請求項8に記載の傾斜機器。
- 傾斜集束試験を実行する方法であって、
目標対象を提供する段階と、
投影放射ビームを提供する段階と、
前記投影ビームにパターン化された断面を付与するためのパターンを有するパターン形成機器を提供する段階と、
パターン化された放射ビームを前記目標対象に投射する段階と、
傾斜した投影ビームを提供する段階と、
投射された前記パターン化ビームの横方向のシフトを決定する段階と、
前記横方向のシフトから前記投射されたパターン化ビームに対する前記目標対象の焦点外れを決定する段階とを含む方法。 - 決定された前記目標対象の焦点外れに基づいて、投影システムに対する前記目標対象の相対位置を調整する段階をさらに含む、請求項10に記載の方法。
- 前記目標対象が基板であり、前記投射されたパターン化ビームの前記横方向のシフトを決定する段階に先立って、前記基板に露光後処理を施す段階をさらに含む、請求項10に記載の方法。
- 前記目標対象が半導体基板である、請求項10に記載の方法。
- 目標対象を提供する段階と、
投影放射ビームを提供する段階と、
前記投影ビームにパターン化された断面を付与するためのパターンを有するパターン形成機器を提供する段階と、
パターン化された放射ビームを前記目標対象に投射する段階と、
傾斜した投影ビームを提供する段階と、
投射された前記パターン化ビームの横方向のシフトを決定する段階と、
前記横方向のシフトから前記投射されたパターン化ビームに対する前記目標対象の焦点外れを決定する段階と
を含む方法に従って製造されたデバイス。
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