JP2006183152A - Vacuum system - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vacuum system in which system cost can be remarkably reduced, and also, installation area can be remarkably reduced. <P>SOLUTION: The vacuum system is provided with: a first main turbo molecular pump system 5 of exhausting load lock chambers 1a, 1b and a buffer chamber 2; and a second main turbo molecular pump system 60 of exhausting process chambers 10a, 10b, and an auxiliary pump 50 of reducing each back pressure of turbo molecular pumps 6a to 6c and turbo molecular pumps 12a, 12b composing the first and second main turbo molecular pump systems 5, 60 is composed of common one pump. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、例えば真空を利用する半導体や電子機器・電子部品などの製造装置に用いられる真空装置に関する。   The present invention relates to a vacuum apparatus used in a manufacturing apparatus for semiconductors, electronic devices, electronic parts, and the like using a vacuum, for example.

図３は従来例の真空装置の概略図を示している。ロードロックチャンバ１ａ、１ｂはゲートバルブ３ａ、３ｂを介して共通のバッファチャンバ２に接続されている。ロードロックチャンバ１ａ、１ｂは仕込、取出室とも呼ばれるもので、ここに未処理の基板が搬入され、あるいはバッファチャンバ２からゲートバルブ３ａ、３ｂを介して処理済の基板が導入されるようになっている。バッファチャンバ２、ロードロックチャンバ１ａ、１ｂには、それぞれ主バルブ４ａ、４ｂ、４ｃを介して、第１の主ターボ分子ポンプ系５が接続され、本従来例では３個の主ターボ分子ポンプ６ａ、６ｂ、６ｃからなっており、これらの排気口にはそれぞれ補助バルブ７ａ、７ｂ、７ｃが接続されて、これらはそれぞれ配管８ａ、８ｂ及び８ｃを介して第１の補助ポンプ系９に接続されている。本従来例では、この第１の補助ポンプ系９は３個のそれぞれ配管８ａ、８ｂ、８ｃに接続される補助ポンプ９ａ、９ｂ、９ｃ、例えばドライポンプからなっている。   FIG. 3 shows a schematic diagram of a conventional vacuum apparatus. The load lock chambers 1a and 1b are connected to a common buffer chamber 2 through gate valves 3a and 3b. The load lock chambers 1a and 1b are also called preparation and take-out chambers. An unprocessed substrate is carried into the load lock chambers 1a and 1b, or a processed substrate is introduced from the buffer chamber 2 through the gate valves 3a and 3b. ing. A first main turbo molecular pump system 5 is connected to the buffer chamber 2 and the load lock chambers 1a and 1b via main valves 4a, 4b and 4c, respectively. In this conventional example, three main turbo molecular pumps 6a are connected. 6b and 6c, and auxiliary valves 7a, 7b and 7c are connected to these exhaust ports, respectively, and these are connected to the first auxiliary pump system 9 via pipes 8a, 8b and 8c, respectively. ing. In this conventional example, the first auxiliary pump system 9 includes auxiliary pumps 9a, 9b, 9c, for example, dry pumps, which are connected to three pipes 8a, 8b, 8c, respectively.

バッファチャンバ２には、それぞれゲートバルブ２０ａ、２０ｂを介してプロセスチャンバ１０ａ、１０ｂが接続されており、ここでは例えば基板にＣＶＤ法又はスパッタリングによって薄膜を形成するような処理が行われる。そしてこれらプロセスチャンバ１０ａ、１０ｂにはそれぞれ主バルブ１３ａ、１３ｂを介して第２の主ターボ分子ポンプ系１１に接続されている。本従来例ではこの第２の主ターボ分子ポンプ系１１は２個のそれぞれ上述の主バルブ１３ａ、１３ｂに接続されるターボ分子ポンプ１２ａ、１２ｂからなっている。   Process chambers 10a and 10b are connected to the buffer chamber 2 via gate valves 20a and 20b, respectively. Here, for example, a process of forming a thin film on the substrate by CVD or sputtering is performed. These process chambers 10a and 10b are connected to a second main turbo molecular pump system 11 via main valves 13a and 13b, respectively. In this conventional example, the second main turbo molecular pump system 11 includes two turbo molecular pumps 12a and 12b connected to the main valves 13a and 13b, respectively.

以上のような第２の主ターボ分子ポンプ系１１はターボ分子ポンプ１２ａ、１２ｂに接続される補助バルブ１４ａ、１４ｂ及び配管１５ａ、１５ｂを介して第２の補助ポンプ系１６に接続される。本従来例では、この第２の補助ポンプ系１６は上述の配管１５ａ、１５ｂに接続される補助ポンプ１６ａ、１６ｂ（これは例えばドライポンプからなる）からなっている。   The second main turbo molecular pump system 11 as described above is connected to the second auxiliary pump system 16 via auxiliary valves 14a and 14b and pipes 15a and 15b connected to the turbo molecular pumps 12a and 12b. In this conventional example, the second auxiliary pump system 16 is composed of auxiliary pumps 16a and 16b (which are made of, for example, a dry pump) connected to the pipes 15a and 15b.

従来例の真空装置は以上のように構成される。ロードロックチャンバ１ａ、１ｂは上述したように、ここに薄膜を形成すべき基板を搬入したり、あるいはバッファチャンバ２からすでに薄膜を形成された基板をここに搬出するようにしており、それぞれ第１の主ターボ分子ポンプ系５により、１０-5〜１０-6Ｐａに減圧されるようになっている。又バッファチャンバ２は第１の主ターボ分子ポンプ系５における主ターボ分子ポンプ６ａにより１０-6〜１０-7にＰａに減圧され、又プロセスチャンバ１０ａ、１０ｂは第２の主ターボ分子ポンプ系１１により１０-7〜１０-8Ｐａに減圧される。第１及び第２の補助ポンプ系９、１６は第１、第２の主ターボ分子ポンプ系５、１１の背圧を臨界圧以下にするために用いられており、公知のように装置の使用開始にあたっては、補助ポンプ９ａ、９ｂ及び９ｃを起動し、補助バルブ７ａ、７ｂ、７ｃ１４ａ及び１４ｂを開にして第１、第２の主ターボ分子ポンプ系５、１１の背圧を臨界圧以下にして、第１、第２の主ターボ分子ポンプ系５、１１を起動し定常回転数（ターボ分子ポンプが使える状態）にした後、粗引き終了後のロードロックチャンバ１ａ、１ｂ、バッファチャンバ２及びプロセスチャンバ１０ａ、１０ｂを主バルブ４ａ、４ｂ、４ｃ、１３ａ及び１３ｂを開にして上述の減圧度に低下させるようにしている。なお、図示せずとも公知の粗引き系のポンプ、これに対する配管、バルブなどが各チャンバ１ａ、１ｂ、２、１０ａ、１０ｂなどに接続されている。他図についても同様である。 The conventional vacuum apparatus is configured as described above. As described above, the load lock chambers 1a and 1b carry in a substrate on which a thin film is to be formed, or carry out a substrate on which a thin film has already been formed from the buffer chamber 2, respectively. The main turbo molecular pump system 5 reduces the pressure to 10 −5 to 10 −6 Pa. The buffer chamber 2 is depressurized to 10 −6 to 10 −7 Pa by the main turbo molecular pump 6 a in the first main turbo molecular pump system 5, and the process chambers 10 a and 10 b are in the second main turbo molecular pump system 11. The pressure is reduced to 10 −7 to 10 −8 Pa. The first and second auxiliary pump systems 9 and 16 are used to bring the back pressure of the first and second main turbo molecular pump systems 5 and 11 below the critical pressure. At the start, the auxiliary pumps 9a, 9b and 9c are started, the auxiliary valves 7a, 7b, 7c14a and 14b are opened, and the back pressures of the first and second main turbo molecular pump systems 5, 11 are reduced below the critical pressure. After the first and second main turbo molecular pump systems 5 and 11 are activated to obtain a steady rotational speed (a state in which the turbo molecular pump can be used), the load lock chambers 1a and 1b, the buffer chamber 2 and the In the process chambers 10a and 10b, the main valves 4a, 4b, 4c, 13a and 13b are opened to lower the pressure reduction degree. Although not shown, a known roughing pump, a pipe for the same, a valve, and the like are connected to the chambers 1a, 1b, 2, 10a, and 10b. The same applies to other figures.

図４は他従来例の真空装置を示すものであるが、図３に対応する部分については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。すなわち本従来例では第１の主ターボ分子ポンプ系５は図３の従来例と同様、３個の主ターボ分子ポンプ６ａ、６ｂ、６ｃからなるが、これらの排気口に接続される補助バブル７ａ、７ｂ、７ｃはそれぞれ共通の配管３０に接続され、これが本従来例では１個の補助ポンプ３１でなる第１の補助ポンプ系に接続される。本従来例ではロードロックチャンバ１ａ、１ｂは第１の主ターボ分子ポンプ系５により排気されるのであるが、その背圧は装置条件によっては１個の補助ポンプ３１により臨界圧にすることができる例である。   FIG. 4 shows another conventional vacuum apparatus. The parts corresponding to those in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. That is, in this conventional example, the first main turbo molecular pump system 5 is composed of three main turbo molecular pumps 6a, 6b, 6c as in the conventional example of FIG. 3, but the auxiliary bubble 7a connected to these exhaust ports is provided. , 7b and 7c are connected to a common pipe 30 which is connected to a first auxiliary pump system comprising one auxiliary pump 31 in this conventional example. In this conventional example, the load lock chambers 1a and 1b are evacuated by the first main turbo molecular pump system 5, but the back pressure can be made critical by one auxiliary pump 31 depending on the apparatus conditions. It is an example.

特開平２−３０７５９号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2-30759

従来例では以上のように、装置全体で補助ポンプは５個又は３個を必要としており、ロードロックチャンバ１ａ、１ｂ及びプロセスチャンバ１０ａ、１０ｂの数が増えれば、それだけ補助ポンプの数も増大し、従ってこれらの配置面積が大きくなり、装置コストを大巾に上昇させるという問題があった。   In the conventional example, as described above, five or three auxiliary pumps are required for the entire apparatus, and the number of auxiliary pumps increases as the number of load lock chambers 1a, 1b and process chambers 10a, 10b increases. Therefore, there is a problem that these arrangement areas are increased and the cost of the apparatus is greatly increased.

本発明は上述の問題に鑑みてなされ、同じ数のバッファチャンバ、ロードロックチャンバ及びプロセスチャンバに対し装置コストを大巾に低下させ、かつ装置の設置面積を従来より大巾に小とすることのできる真空装置を提供することを課題とする。   The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and greatly reduces the apparatus cost for the same number of buffer chambers, load lock chambers and process chambers, and makes the installation area of the apparatus much smaller than before. It is an object to provide a vacuum device that can be used.

以上の課題は、少なくともひとつのロードロックチャンバと、該ロードロックチャンバに、ゲートバルブを介して接続されるバッファチャンバと、該バッファチャンバに、ゲートバルブを介して接続される少なくともひとつのプロセスチャンバと、前記ロードロックチャンバ及び前記バッファチャンバに各々主バルブを介して接続される主ターボ分子ポンプを含む第１主ターボ分子ポンプ系と、該第１主ターボ分子ポンプ系に補助バルブを介して接続され、該第１主ターボ分子ポンプ系の背圧を臨界圧以下にするための第１の補助ポンプ系と、前記プロセスチャンバに主バルブを介して接続される主ターボ分子ポンプを含む第２主ターボ分子ポンプ系と、該第２主ターボ分子ポンプ系に補助バルブを介して接続され、該主ターボ分子ポンプ系の背圧を臨界圧以下にするための第２の補助ポンプ系とを有し、前記第１、第２の補助ポンプ系を前記第１、第２の主ターボ分子ポンプ系に対して共通にして１個の補助ポンプとするとともに、前記第２主ターボ分子ポンプ系は更に前記主ターボ分子ポンプの排気口に各々、補助バルブを介して接続される共通の背圧低下用補助ポンプを含むことを特徴とする真空装置によって解決される。   The above problems include at least one load lock chamber, a buffer chamber connected to the load lock chamber via a gate valve, and at least one process chamber connected to the buffer chamber via a gate valve. A first main turbo molecular pump system including a main turbo molecular pump connected to the load lock chamber and the buffer chamber via main valves, respectively, and an auxiliary valve connected to the first main turbo molecular pump system. A second auxiliary turbo that includes a first auxiliary pumping system for setting the back pressure of the first main turbomolecular pumping system to a critical pressure or less, and a main turbomolecular pump connected to the process chamber via a main valve. A molecular pump system connected to the second main turbo molecular pump system via an auxiliary valve, the main turbo molecular pump system A second auxiliary pump system for setting the back pressure to a critical pressure or less, and the first and second auxiliary pump systems are common to the first and second main turbo molecular pump systems. And the second main turbo molecular pump system further includes a common back pressure lowering auxiliary pump connected to an exhaust port of the main turbo molecular pump via an auxiliary valve. Solved by the featured vacuum device.

又以上の課題は、少なくともひとつのロードロックチャンバと、該ロードロックチャンバに、ゲートバルブを介して接続されるバッファチャンバと、該バッファチャンバに、ゲートバルブを介して接続される少なくともひとつのプロセスチャンバと、前記ロードロックチャンバ及び前記バッファチャンバに各々主バルブを介して接続される主ターボ分子ポンプを含む第１主ターボ分子ポンプ系と、該第１主ターボ分子ポンプ系に補助バルブを介して接続され、該第１主ターボ分子ポンプ系の背圧を臨界圧以下にするための第１の補助ポンプ系と、前記プロセスチャンバに主バルブを介して接続される主ターボ分子ポンプを含む第２主ターボ分子ポンプ系と、該第２主ターボ分子ポンプ系に補助バルブを介して接続され、該主ターボ分子ポンプ系の背圧を臨界圧以下にするための第２の補助ポンプ系とを有し、前記第１、第２の補助ポンプ系を前記第１、第２の主ターボ分子ポンプ系に対して共通にして１個の補助ポンプとするとともに、前記第２主ターボ分子ポンプ系は更に前記主ターボ分子ポンプの排気口に各々接続される背圧低下用補助ポンプを含むことを特徴とする真空装置によって解決される。   Another object is to provide at least one load lock chamber, a buffer chamber connected to the load lock chamber via a gate valve, and at least one process chamber connected to the buffer chamber via a gate valve. A first main turbo molecular pump system including a main turbo molecular pump connected to the load lock chamber and the buffer chamber via a main valve, and connected to the first main turbo molecular pump system via an auxiliary valve A second auxiliary pump system including a first auxiliary pump system for setting the back pressure of the first main turbo molecular pump system to a critical pressure or less, and a main turbo molecular pump connected to the process chamber via a main valve. A turbo molecular pump system and the second main turbo molecular pump system connected via an auxiliary valve to the main turbo molecular pump; A second auxiliary pump system for reducing the back pressure of the first and second main pumps to a critical pressure or less, and the first and second auxiliary pump systems are common to the first and second main turbo molecular pump systems. And the second main turbo molecular pump system further includes a back pressure lowering auxiliary pump connected to each exhaust port of the main turbo molecular pump. Is done.

又以上の課題は、複数のプロセスチャンバと、該複数のプロセスチャンバに各々主バルブを介して接続される複数の主ターボ分子ポンプを含む主ターボ分子ポンプ系と、該主ターボ分子ポンプ系に１個又は前記主ターボ分子ポンプの数に対応する数の補助バルブを介して接続され、該主ターボ分子ポンプ系の背圧を臨界圧以下にするための補助ポンプ系とを有し、前記補助ポンプ系を前記複数の主ターボ分子ポンプ系に対して共通にして１個の補助ポンプとするとともに、前記主ターボ分子ポンプ系は更に前記主ターボ分子ポンプの排気口に各々、補助バルブを介して接続される共通の背圧低下用補助ポンプを含むことを特徴とする真空装置によって解決される。   In addition, the above-described problems are solved by a main turbo molecular pump system including a plurality of process chambers, a plurality of main turbo molecular pumps connected to the plurality of process chambers via main valves, and a main turbo molecular pump system. Or an auxiliary pump system connected to the main turbo molecular pump system through a number of auxiliary valves corresponding to the number of the main turbo molecular pumps, and for reducing the back pressure of the main turbo molecular pump system to a critical pressure or less. The system is made common to the plurality of main turbo molecular pump systems to form one auxiliary pump, and the main turbo molecular pump system is further connected to the exhaust port of the main turbo molecular pump via an auxiliary valve. This is solved by a vacuum device characterized in that it includes a common back pressure reducing auxiliary pump.

又以上の課題は、複数のプロセスチャンバと、該複数のプロセスチャンバに各々主バルブを介して接続される複数の主ターボ分子ポンプを含む主ターボ分子ポンプ系と、該主ターボ分子ポンプ系に１個又は前記主ターボ分子ポンプの数に対応する数の補助バルブを介して接続され、該主ターボ分子ポンプ系の背圧を臨界圧以下にするための補助ポンプ系とを有し、前記補助ポンプ系を前記複数の主ターボ分子ポンプ系に対して共通にして１個の補助ポンプとするとともに、前記主ターボ分子ポンプ系は更に前記主ターボ分子ポンプの排気口に各々接続される背圧低下用補助ポンプを含むことを特徴とする真空装置によって解決される。   In addition, the above-described problems are solved by a main turbo molecular pump system including a plurality of process chambers, a plurality of main turbo molecular pumps connected to the plurality of process chambers via main valves, and a main turbo molecular pump system. Or an auxiliary pump system connected to the main turbo molecular pump system through a number of auxiliary valves corresponding to the number of the main turbo molecular pumps, and for reducing the back pressure of the main turbo molecular pump system to a critical pressure or less. The system is made common to the plurality of main turbo molecular pump systems to form one auxiliary pump, and the main turbo molecular pump system is further used for lowering the back pressure connected to the exhaust ports of the main turbo molecular pump. This is solved by a vacuum device characterized in that it includes an auxiliary pump.

主ターボ分子ポンプ系に対し、補助ポンプは１個用いられるだけであるので、真空装置全体の設置面積を大巾に小とし、かつ装置コストも大巾に低下させることができる。   Since only one auxiliary pump is used for the main turbo molecular pump system, the installation area of the entire vacuum apparatus can be greatly reduced, and the apparatus cost can be greatly reduced.

以上述べたように本発明の真空装置によれば、装置の設置面積を大巾に小とし、かつ装置コストを大巾に低下させることができ、また補助ターボ分子ポンプをこれを広域型にした場合は臨界背圧以下の圧力範囲であるかぎり、ターボ分子ポンプと補助ターボ分子ポンプとの接続配管を長くすることができるなどの装置設計のフレキシビリティを与えるものである。各排気系統が異種ガスの場合で、又補助ポンプを用いる場合には、補助ポンプを１台で共通しても充分な圧縮比によってチャンバ間の逆拡散、相互汚染を抑えることができる。   As described above, according to the vacuum apparatus of the present invention, the installation area of the apparatus can be greatly reduced and the apparatus cost can be greatly reduced, and the auxiliary turbo molecular pump is made a wide area type. In this case, as long as the pressure range is less than or equal to the critical back pressure, the flexibility of the device design is provided such that the connecting pipe between the turbo molecular pump and the auxiliary turbo molecular pump can be lengthened. When each exhaust system is of a different type of gas and an auxiliary pump is used, back diffusion and cross-contamination between the chambers can be suppressed with a sufficient compression ratio even if a single auxiliary pump is used.

以下、本発明の実施の形態による真空装置について図１及び図２を参照して説明する。なお上記従来例に対応する部分については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。   A vacuum apparatus according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. Note that portions corresponding to the conventional example are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

図１は第１の実施の形態の真空装置を示すものである。ロードロックチャンバ１ａ、１ｂはゲートバルブ３ａ、３ｂを介して共通のバッファチャンバ２に接続されている。ロードロックチャンバ１ａ、１ｂは仕込、取出室とも呼ばれるもので、ここに未処理の基板が搬入され、あるいはバッファチャンバ２からゲートバルブ３ａ、３ｂを介して処理済の基板が導入されるようになっている。バッファチャンバ２、ロードロックチャンバ１ａ、１ｂには、それぞれ主バルブ４ａ、４ｂ、４ｃを介して、第１の主ターボ分子ポンプ系５が接続されている。第１の主ターボ分子ポンプ系５は本実施形態では３個の主ターボ分子ポンプ６ａ、６ｂ、６ｃからなっており、これらの排気口にはそれぞれ補助バルブ７ａ、７ｂ、７ｃを介して補助ポンプとしてのドライポンプ５０に接続されている。   FIG. 1 shows a vacuum apparatus according to the first embodiment. The load lock chambers 1a and 1b are connected to a common buffer chamber 2 through gate valves 3a and 3b. The load lock chambers 1a and 1b are also called preparation and take-out chambers. An unprocessed substrate is carried into the load lock chambers 1a and 1b, or a processed substrate is introduced from the buffer chamber 2 through the gate valves 3a and 3b. ing. A first main turbo molecular pump system 5 is connected to the buffer chamber 2 and the load lock chambers 1a and 1b via main valves 4a, 4b and 4c, respectively. In the present embodiment, the first main turbo molecular pump system 5 includes three main turbo molecular pumps 6a, 6b, and 6c, and these exhaust ports are provided with auxiliary pumps via auxiliary valves 7a, 7b, and 7c, respectively. Connected to the dry pump 50.

バッファチャンバ２には、それぞれゲートバルブ２０ａ、２０ｂを介してプロセスチャンバ１０ａ、１０ｂが接続されており、ここでは例えば基板にＣＶＤ法又はスパッタリングによって薄膜を形成するような処理が行われる。そしてこれらプロセスチャンバ１０ａ、１０ｂにはそれぞれ主バルブ１３ａ、１３ｂを介して第２の主ターボ分子ポンプ系６０に接続されている。   Process chambers 10a and 10b are connected to the buffer chamber 2 via gate valves 20a and 20b, respectively. Here, for example, a process of forming a thin film on the substrate by CVD or sputtering is performed. These process chambers 10a and 10b are connected to a second main turbomolecular pump system 60 through main valves 13a and 13b, respectively.

本実施の形態では第２の主ターボ分子ポンプ系６０は従来と同様にプロセスチャンバ１０ａ、１０ｂにそれぞれ主バルブ１３ａ、１３ｂを介して接続される２個の主ターボ分子ポンプ１２ａ、１２ｂを含むが、更にその排気口に補助バルブ１４ａ、１４ｂを介して共通の背圧低下用の補助ポンプとしてのターボ分子ポンプ７０を含んでいる。このようにして構成される第２の主ターボ分子ポンプ系６０に補助バルブ６１及び配管６３を介して、第１の主ターボ分子ポンプ系５と共通の１個のドライポンプ５０に接続される。   In the present embodiment, the second main turbo molecular pump system 60 includes two main turbo molecular pumps 12a and 12b connected to the process chambers 10a and 10b via main valves 13a and 13b, respectively, as in the conventional case. Further, a turbo molecular pump 70 as an auxiliary pump for lowering the back pressure is included in the exhaust port via auxiliary valves 14a and 14b. The second main turbo molecular pump system 60 configured as described above is connected to one dry pump 50 common to the first main turbo molecular pump system 5 via an auxiliary valve 61 and a pipe 63.

本実施の形態では主ターボ分子ポンプ系６０において主ターボ分子ポンプ１２ａ、１２ｂの背圧はこれに接続される共通の補助ターボ分子ポンプ７０の作動により、例えば１０-1パスカル以下の充分低い圧力に保たれるため、充分な圧縮比によりプロセスチャンバ１０ａ、１０ｂへの逆拡散を無視できる程度に排気することができる。装置コストを大巾に低下させ、かつ設置面積を大巾に小とすることができる。 In the present embodiment, the back pressure of the main turbo molecular pumps 12a and 12b in the main turbo molecular pump system 60 is set to a sufficiently low pressure of, for example, 10 −1 Pascal or less by the operation of the common auxiliary turbo molecular pump 70 connected thereto. Therefore, the exhaust gas can be exhausted to such an extent that the back diffusion into the process chambers 10a and 10b can be ignored with a sufficient compression ratio. The apparatus cost can be greatly reduced, and the installation area can be greatly reduced.

図２は本発明の第２の実施の形態の真空装置を示すものである。本実施の形態では第２の主ターボ分子ポンプ系８０は従来と同様にそれぞれプロセスチャンバ１０ａ、１０ｂに接続される２個の主ターボ分子ポンプ１２ａ、１２ｂを含んでいるが、更にこの排気口に背圧低下用の補助ターボ分子ポンプ７１ａ、７１ｂが接続されており、このようにして構成される第２の主ターボ分子ポンプ系７０に補助バルブ１４ａ、１４ｂを介して、更に共通の配管４０を介してドライポンプ５０に接続されている。   FIG. 2 shows a vacuum apparatus according to a second embodiment of the present invention. In the present embodiment, the second main turbo molecular pump system 80 includes two main turbo molecular pumps 12a and 12b connected to the process chambers 10a and 10b, respectively, as in the prior art. Auxiliary turbo molecular pumps 71a and 71b for lowering the back pressure are connected, and a common pipe 40 is further connected to the second main turbo molecular pump system 70 thus configured via the auxiliary valves 14a and 14b. To the dry pump 50.

本実施の形態においては、この背圧低下用の補助ターボ分子ポンプ７１ａ、７１ｂとしてガス負荷条件等により広域型のターボ分子ポンプを採用すれば補助ターボ分子ポンプの背圧は４００〜５００Ｐａが可能となり、やはりひとつの補助ポンプ５０で充分に対応できる。装置コストを低下させ、かつ設置面積を小とすることができる。   In this embodiment, if a wide-area type turbo molecular pump is adopted as the auxiliary turbo molecular pumps 71a and 71b for lowering the back pressure depending on gas load conditions, the back pressure of the auxiliary turbo molecular pump can be 400 to 500 Pa. Again, the single auxiliary pump 50 is sufficient. The apparatus cost can be reduced and the installation area can be reduced.

以上、本発明の各実施の形態について説明したが、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、本発明の技術的思想に基いて種々の変形が可能である。   As mentioned above, although each embodiment of this invention was described, of course, this invention is not limited to these, A various deformation | transformation is possible based on the technical idea of this invention.

例えば以上の各実施の形態では、補助ターボ分子ポンプ７０、７１ａ、７１ｂを用いたが、ガス負荷条件によっては、これに代えてブースタポンプ又はねじ溝型ポンプを使用することも可能である。   For example, in each of the embodiments described above, the auxiliary turbo molecular pumps 70, 71a, 71b are used. However, depending on the gas load conditions, a booster pump or a thread groove type pump can be used instead.

又プロセスチャンバで１０-7Ｐａ以下の超高真空性能を必要としない場合において、ガス負荷などの問題から主ターボ分子ポンプの背圧が約３０Ｐａを大きく超える場合には補助ターボ分子ポンプを接続せず、単に主ターボ分子ポンプを 広域型としても問題なく真空作用を行うことができる。 If the ultra high vacuum performance of 10 -7 Pa or less is not required in the process chamber, connect the auxiliary turbo molecular pump if the back pressure of the main turbo molecular pump greatly exceeds about 30 Pa due to problems such as gas load. In addition, the vacuum action can be performed without problems even if the main turbo molecular pump is simply a wide-area type.

なお以上の実施例ではロードロックチャンバ１ａ、１ｂ及びプロセスチャンバ１０ａ、１０ｂの数は複数個であったが、これらは各々１個であっても本発明は適用可能である。   In the above embodiment, the load lock chambers 1a and 1b and the process chambers 10a and 10b are plural in number. However, the present invention can be applied even if the number is one.

本発明の第１の実施の形態による真空装置の配管系統図である。1 is a piping system diagram of a vacuum apparatus according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第２の実施の形態による真空装置の配管系統図である。It is a piping system diagram of the vacuum apparatus by the 2nd Embodiment of this invention. 従来例の真空装置の配管系統図である。It is a piping system diagram of a vacuum device of a conventional example. 他従来例の真空装置の配管系統図である。It is a piping system diagram of the vacuum device of other conventional examples.

符号の説明Explanation of symbols

１ａ，１ｂ ロードロックチャンバ
２ バッファチャンバ
３ａ，３ｂ ゲートバルブ
４ａ，４ｂ 主バルブ
５ 第１の主ターボ分子ポンプ系
６ａ，６ｂ，６ｃ 主ターボ分子ポンプ
７ａ，７ｂ，７ｃ 補助バルブ
１０ａ，１０ｂ プロセスチャンバ
１２ａ，１２ｂ 主ターボ分子ポンプ
１３ａ，１３ｂ 主バルブ
１４ａ，１４ｂ 補助バルブ
２０ａ，２０ｂ ゲートバルブ
４０ 共通の配管
５０ ドライポンプ
６０ 第２の主ターボ分子ポンプ系
７０ 背圧低下用補助ポンプ
７１ａ，７１ｂ 背圧低下用補助ポンプ
６３ 共通の配管
８０ 第２の主ターボ分子ポンプ系 1a, 1b Load lock chamber 2 Buffer chamber 3a, 3b Gate valve 4a, 4b Main valve 5 First main turbo molecular pump system 6a, 6b, 6c Main turbo molecular pump 7a, 7b, 7c Auxiliary valve 10a, 10b Process chamber 12a , 12b Main turbo molecular pump 13a, 13b Main valve 14a, 14b Auxiliary valve 20a, 20b Gate valve 40 Common piping 50 Dry pump 60 Second main turbo molecular pump system 70 Back pressure lowering auxiliary pump 71a, 71b Back pressure reduction Auxiliary pump 63 Common piping 80 Second main turbo molecular pump system

Claims (4)

少なくともひとつのロードロックチャンバと、
該ロードロックチャンバに、ゲートバルブを介して接続されるバッファチャンバと、
該バッファチャンバに、ゲートバルブを介して接続される少なくともひとつのプロセスチャンバと、
前記ロードロックチャンバ及び前記バッファチャンバに各々主バルブを介して接続される主ターボ分子ポンプを含む第１主ターボ分子ポンプ系と、
該第１主ターボ分子ポンプ系に補助バルブを介して接続され、該第１主ターボ分子ポンプ系の背圧を臨界圧以下にするための第１の補助ポンプ系と、
前記プロセスチャンバに主バルブを介して接続される主ターボ分子ポンプを含む第２主ターボ分子ポンプ系と、
該第２主ターボ分子ポンプ系に補助バルブを介して接続され、該主ターボ分子ポンプ系の背圧を臨界圧以下にするための第２の補助ポンプ系とを有し、
前記第１、第２の補助ポンプ系を前記第１、第２の主ターボ分子ポンプ系に対して共通にして１個の補助ポンプとするとともに、
前記第２主ターボ分子ポンプ系は更に前記主ターボ分子ポンプの排気口に各々、補助バルブを介して接続される共通の背圧低下用補助ポンプを含むことを特徴とする真空装置。 At least one load lock chamber;
A buffer chamber connected to the load lock chamber via a gate valve;
At least one process chamber connected to the buffer chamber via a gate valve;
A first main turbo molecular pump system including a main turbo molecular pump connected to the load lock chamber and the buffer chamber via main valves, respectively.
A first auxiliary pumping system connected to the first main turbomolecular pumping system via an auxiliary valve for reducing the back pressure of the first main turbomolecular pumping system below a critical pressure;
A second main turbomolecular pump system including a main turbomolecular pump connected to the process chamber via a main valve;
A second auxiliary pump system connected to the second main turbo molecular pump system via an auxiliary valve for reducing the back pressure of the main turbo molecular pump system below a critical pressure;
The first and second auxiliary pump systems are made common to the first and second main turbomolecular pump systems to form one auxiliary pump,
The vacuum apparatus according to claim 2, wherein the second main turbo molecular pump system further includes a common back pressure reducing auxiliary pump connected to an exhaust port of the main turbo molecular pump via an auxiliary valve. 少なくともひとつのロードロックチャンバと、
該ロードロックチャンバに、ゲートバルブを介して接続されるバッファチャンバと、
該バッファチャンバに、ゲートバルブを介して接続される少なくともひとつのプロセスチャンバと、
前記ロードロックチャンバ及び前記バッファチャンバに各々主バルブを介して接続される主ターボ分子ポンプを含む第１主ターボ分子ポンプ系と、
該第１主ターボ分子ポンプ系に補助バルブを介して接続され、該第１主ターボ分子ポンプ系の背圧を臨界圧以下にするための第１の補助ポンプ系と、
前記プロセスチャンバに主バルブを介して接続される主ターボ分子ポンプを含む第２主ターボ分子ポンプ系と、
該第２主ターボ分子ポンプ系に補助バルブを介して接続され、該主ターボ分子ポンプ系の背圧を臨界圧以下にするための第２の補助ポンプ系とを有し、
前記第１、第２の補助ポンプ系を前記第１、第２の主ターボ分子ポンプ系に対して共通にして１個の補助ポンプとするとともに、
前記第２主ターボ分子ポンプ系は更に前記主ターボ分子ポンプの排気口に各々接続される背圧低下用補助ポンプを含むことを特徴とする真空装置。 At least one load lock chamber;
A buffer chamber connected to the load lock chamber via a gate valve;
At least one process chamber connected to the buffer chamber via a gate valve;
A first main turbo molecular pump system including a main turbo molecular pump connected to the load lock chamber and the buffer chamber via main valves, respectively.
A first auxiliary pumping system connected to the first main turbomolecular pumping system via an auxiliary valve for reducing the back pressure of the first main turbomolecular pumping system below a critical pressure;
A second main turbomolecular pump system including a main turbomolecular pump connected to the process chamber via a main valve;
A second auxiliary pump system connected to the second main turbo molecular pump system via an auxiliary valve for reducing the back pressure of the main turbo molecular pump system below a critical pressure;
The first and second auxiliary pump systems are made common to the first and second main turbomolecular pump systems to form one auxiliary pump,
The vacuum apparatus according to claim 2, wherein the second main turbo molecular pump system further includes a back pressure lowering auxiliary pump connected to an exhaust port of the main turbo molecular pump. 複数のプロセスチャンバと、
該複数のプロセスチャンバに各々主バルブを介して接続される複数の主ターボ分子ポンプを含む主ターボ分子ポンプ系と、
該主ターボ分子ポンプ系に１個又は前記主ターボ分子ポンプの数に対応する数の補助バルブを介して接続され、該主ターボ分子ポンプ系の背圧を臨界圧以下にするための補助ポンプ系とを有し、
前記補助ポンプ系を前記複数の主ターボ分子ポンプ系に対して共通にして１個の補助ポンプとするとともに、
前記主ターボ分子ポンプ系は更に前記主ターボ分子ポンプの排気口に各々、補助バルブを介して接続される共通の背圧低下用補助ポンプを含むことを特徴とする真空装置。 A plurality of process chambers;
A main turbomolecular pump system including a plurality of main turbomolecular pumps each connected to the plurality of process chambers via a main valve;
An auxiliary pump system connected to the main turbo molecular pump system via one or a number of auxiliary valves corresponding to the number of the main turbo molecular pumps, and for reducing the back pressure of the main turbo molecular pump system to a critical pressure or less. And
The auxiliary pump system is common to the plurality of main turbo molecular pump systems to form one auxiliary pump,
The vacuum apparatus according to claim 1, wherein the main turbo molecular pump system further includes a common back pressure lowering auxiliary pump connected to an exhaust port of the main turbo molecular pump via an auxiliary valve. 複数のプロセスチャンバと、
該複数のプロセスチャンバに各々主バルブを介して接続される複数の主ターボ分子ポンプを含む主ターボ分子ポンプ系と、
該主ターボ分子ポンプ系に１個又は前記主ターボ分子ポンプの数に対応する数の補助バルブを介して接続され、該主ターボ分子ポンプ系の背圧を臨界圧以下にするための補助ポンプ系とを有し、
前記補助ポンプ系を前記複数の主ターボ分子ポンプ系に対して共通にして１個の補助ポンプとするとともに、
前記主ターボ分子ポンプ系は更に前記主ターボ分子ポンプの排気口に各々接続される背圧低下用補助ポンプを含むことを特徴とする真空装置。

A plurality of process chambers;
A main turbomolecular pump system including a plurality of main turbomolecular pumps each connected to the plurality of process chambers via a main valve;
An auxiliary pump system connected to the main turbo molecular pump system via one or a number of auxiliary valves corresponding to the number of the main turbo molecular pumps, and for reducing the back pressure of the main turbo molecular pump system to a critical pressure or less. And
The auxiliary pump system is common to the plurality of main turbo molecular pump systems to form one auxiliary pump,
The vacuum apparatus according to claim 1, wherein the main turbo molecular pump system further includes a back pressure lowering auxiliary pump connected to an exhaust port of the main turbo molecular pump.

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