JP2006173038A - 荷電粒子線装置、試料像表示方法及びイメージシフト感度計測方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ドリフト検出用の基準画像を取得するときに、イメージシフト量の異なる画像も同時に取得して、イメージシフト感度を随時計測する。この基準画像とイメージシフト感度を自動的に登録し、ドリフト補正時にこれら登録条件に従って、ドリフト量検出とイメージシフト制御(ドリフト補正)を行う。
【選択図】 図3
Description
なお、本発明は、接続されている分析装置によって、効果が限定されるものではない。
Claims (12)
- 荷電粒子線源と、
前記荷電粒子線源から放出された一次荷電粒子線を試料上で収束するためのレンズ系と、
前記一次荷電粒子線の照射によって試料から発生した信号を検出する検出手段と、
前記検出手段の出力信号を用いて試料の拡大像を表示する像表示手段と、
前記一次荷電粒子線の照射領域を移動させて前記拡大像の視野を移動するためのイメージシフト手段とを有する荷電粒子線装置において、
前記イメージシフト手段によるイメージシフト量の異なる複数の画像を取得する画像取得手段と、
前記画像取得手段によって取得した複数の画像を比較することによって前記イメージシフト手段の動作感度を計測するイメージシフト感度計測手段とを具備することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、前記一次荷電粒子線を試料上で走査するための偏向器を有することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、前記画像取得手段は、基準画像と、前記基準画像に対して前記イメージシフト手段によるイメージシフト動作量が既知であって移動方向が異なる複数の画像を取得することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項3に記載の荷電粒子線装置において、前記イメージシフト感度計測手段は、前記基準画像と前記イメージシフト動作量が既知で移動方向が異なる複数の画像間のずれに基づく演算から前記イメージシフト手段の動作感度を計測することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項4に記載の荷電粒子線装置において、前記基準画像及び前記感度計測手段によって計測された前記イメージシフト手段の動作感度を記憶する記憶手段を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項5に記載の荷電粒子線装置において、ドリフト補正手段を有し、前記ドリフト補正手段は、前記記憶手段に記憶した基準画像と当該基準画像と同じイメージシフト動作条件で取得した現在の試料像との間のずれ量と、前記記憶手段に記憶された前記イメージシフト手段の動作感度とから、前記ずれ量を補正するのに必要な前記イメージシフト手段の動作量を計算し、前記動作量となるように前記イメージシフト手段を制御することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 一次荷電粒子線の照射によって試料から得られた信号を用いて試料の拡大像を表示する試料像表示方法において、
前記一次荷電粒子線の照射領域を移動させて前記拡大像の視野を移動するためのイメージシフト手段を制御して、基準画像と前記基準画像に対して前記イメージシフト手段によるイメージシフト動作量が既知でイメージシフト方向の異なる複数の画像を取得するステップと、
前記基準画像と、前記基準画像に対する前記イメージシフト動作量が既知で方向が異なる複数の画像間のずれに基づいて前記イメージシフト手段の動作感度を計測するステップとを有することを特徴とする試料像表示方法。 - 請求項7に記載の試料像表示方法において、前記基準画像と前記計測した前記イメージシフト手段の動作感度とを記憶するステップを有することを特徴とする試料像表示方法。
- 請求項8に記載の試料像表示方法において、
前記基準画像と同じイメージシフト動作条件で試料像を再取得するステップと、
前記再取得した試料像と前記基準画像の画像間のずれを検出するステップと、
前記検出した画像間のずれ量と記憶した前記イメージシフト手段の動作感度とから、当該検出した画像間のずれ量を補正するのに必要な前記イメージシフト手段の動作量を計算するステップと、
計算された動作量となるように前記イメージシフト手段を制御するステップと
を有することを特徴とする試料像表示方法。 - 請求項9に記載の試料像表示方法において、通信回線を介して受信した他の機器からの指令に従って前記各ステップを実行することを特徴とする試料像表示方法。
- 請求項8に記載の試料像表示方法において、前記一次荷電粒子線を試料に照射するための光学条件が変化したとき、前記各ステップを実行することを特徴とする試料像表示方法。
- 荷電粒子線源から放出された一次荷電粒子線の試料上での照射領域を移動させて視野を移動するためのイメージシフト手段を有し、前記一次荷電粒子線の照射によって試料から発生した信号を用いて試料の拡大像を表示する荷電粒子線装置の前記イメージシフト手段の感度を計測する方法であって、
前記イメージシフト手段の動作条件を基準となる第1の条件にして第1の試料像を取得するステップと、
前記イメージシフト手段の動作条件を前記第1の条件と異なる第2の条件にして第2の試料像を取得するステップと、
前記イメージシフト手段の動作条件を前記第1の条件及び第2の条件と異なる第3の条件にして第3の試料像を取得するステップと、
前記第1の試料像と前記第2の試料像との間の第1のずれを検出するステップと、
前記第1の試料像と前記第3の試料像との間の第2のずれを検出するステップと、
前記第1のずれと第2のずれの情報を、前記イメージシフト手段の動作条件の変化とイメージシフト量の関係を表す方程式に当てはめることにより、前記イメージシフト手段の感度を計算するステップと
を有することを特徴とするイメージシフト感度計測方法。
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