JP2006170899A - 光電式エンコーダ - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、分解能を向上させることのできる光電式エンコーダを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の光電式エンコーダは、照明光を出射する照明手段（１１，１２）と、前記照明光の光路に配置され、格子線と交差する方向に変位する移動格子（１５）と、前記照明光の光路に配置されたインデックス格子（１３）と、前記移動格子（１５）と前記インデックス格子（１３）とを経由した前記照明光を検出する検出手段（１６−１，１６−２，２１−１，２１−２）と、前記照明光を変調する変調手段（３０）とを備えたことを特徴とする。この光電式エンコーダでは、検出手段（３０）により検出した信号を、変調周期と同じ周期で復調すれば、信号に重畳していた多くのノイズが低減される。
【選択図】 図１

Description

本発明は、光電式エンコーダに関する。

一般に、光電式エンコーダには、移動格子の変位又は移動量を示す信号光を生成する光学系（エンコーダ光学系）と、その信号光に応じた電気信号を生成する検出部とが備えられる（特許文献１など）。検出部は、受光素子や受光回路からなる。
特開２００２−２４３５０３号公報

しかし、検出部の出力信号は、エンコーダ光学系内で発生した光学的ノイズの影響と、検出部内で発生した電気的ノイズの影響とを受けるので、ＳＮ比が低下している。このＳＮ比の低下は、光電式エンコーダの分解能向上の妨げとなる。
そこで本発明は、分解能を向上させることのできる光電式エンコーダを提供することを目的とする。

請求項１に記載の光電式エンコーダは、照明光を出射する照明手段と、前記照明光の光路に配置され、格子線と交差する方向に変位する移動格子と、前記照明光の光路に配置されたインデックス格子と、前記移動格子と前記インデックス格子とを経由した前記照明光を検出する検出手段と、前記照明光を変調する変調手段とを有することを特徴とする。
請求項２に記載の光電式エンコーダは、請求項１に記載の光電式エンコーダにおいて、前記インデックス格子は、前記照明光を２つの照明光に分岐し、前記２つに分岐された照明光を前記移動格子に照明して干渉させる干渉光学系を有することを特徴とする。

請求項３に記載の光電式エンコーダは、請求項２に記載の光電式エンコーダにおいて、前記変調手段は、前記２つの照明光のうち何れか一方の照明光を変調することを特徴とする。
請求項４に記載の光電式エンコーダは、請求項２又は請求項３に記載の光電式エンコーダにおいて、前記インデックス格子は、前記移動格子と同じ格子間隔で前記移動格子に平行に配置された回折格子であり、前記移動格子は、回折格子であることを特徴とする。

請求項５に記載の光電式エンコーダは、請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の光電式エンコーダにおいて、前記変調手段は、前記照明光の光量を変調することを特徴とする。
請求項６に記載の光電式エンコーダは、請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の光電式エンコーダにおいて、前記変調手段は、前記照明光の偏波面を変調することを特徴とする。

請求項７に記載の光電式エンコーダは、請求項２〜請求項４の何れか一項に記載の光電式エンコーダにおいて、前記変調手段は、前記２つの照明光の位相差を変調することを特徴とする。
請求項８に記載の光電式エンコーダは、請求項２〜請求項４の何れか一項に記載の光電式エンコーダにおいて、前記変調手段は、前記照明光の波長を変調することを特徴とする。

請求項９に記載の光電式エンコーダは、請求項１〜請求項８の何れか一項に記載の光電式エンコーダにおいて、前記周期変調の周波数は、略１ＭＨｚ以上であることを特徴とする。

本発明によれば、分解能を向上させることのできる光電式エンコーダが実現する。

[第１実施形態]
以下、第１実施形態を説明する。
本実施形態は、回折干渉方式の光電式リニアエンコーダの実施形態である。
先ず、本エンコーダの構成を説明する。図１は、本エンコーダの構成図である。本エンコーダの光学系部分には、光源１１、コリメータレンズ１２、インデックス回折格子１３、１対のミラー１４Ａ、１４Ｂ、移動回折格子１５、１対の受光素子１６−１，１６−２などが備えられる。

光源１１は、例えば、波長λ＝８５０ｎｍのレーザ光を出射するレーザ光源であり、変調されている。
インデックス回折格子１３及び移動回折格子１５は、例えば、透過型かつ位相型の回折格子である。これらインデックス回折格子１３及び移動回折格子１５の格子線の方向及び格子ピッチｐは互いに同じである。格子ピッチｐは、５０μｍ以下、例えば、約２μｍである（このとき、本エンコーダの主信号ピッチＰは格子ピッチｐの半分の１μｍとなる。）。

受光素子１６−１，１６−２は、フォトダイオードなども光電素子である。
光源１１、コリメータレンズ１２、インデックス回折格子１３、ミラー１４Ａ、１４Ｂ、１対の受光素子１６−１，１６−２は、互いの位置が固定されている。それに対し、移動回折格子１５は、不図示の移動物体と共に変位する。その変位方向は、図１中に矢印で示すように、移動回折格子１５の格子の形成面と平行であって格子線と垂直な方向である。

なお、図１中には、この移動回折格子１５の移動方向をＸ方向とし、格子線方向をＹ方向とし、移動回折格子１５の法線方向をＺ方向とした右手系のＸＹＺ直交座標系を示した。以下、必要に応じてこの直交座標系を用いて説明する。
本エンコーダの回路部分には、受光回路２１−１，２１−２、基本波成分検出回路２２−１，２２−２、クロック回路２６、エンコーダ信号処理回路２７、光源駆動回路３０、ＤＣ成分検出回路３１、光量制御回路３２などが備えられる。

次に、本エンコーダの光学系部分の動作を説明する。
光源１１は、照明光を出射する。その照明光は、コリメータレンズ１２で平行光となり、インデックス回折格子１３上のＸ方向に並ぶ領域１３−１，１３−２を照明する。領域１３−１，１３−２の各々は、そこに設けられた回折格子の回折作用により各次数の回折光を生起させる。

インデックス回折格子１３の領域１３−１で生じた±１次回折光は、ミラー１４Ａ、１４Ｂで個別に偏向された後、移動回折格子１５の領域１５−１に重なって入射する。これらの±１次回折光は、領域１５−１に設けられた回折格子の回折作用によって統合される。統合された±１次回折光は干渉し、その干渉光（信号光）は、受光素子１６−１に入射する。受光素子１６−１は、後述する受光回路２１−１と共に信号光の光量を示す電気信号（以下、「干渉信号Ｉ−１」と称す。）を生成する。この干渉信号Ｉ−１の値は、移動回折格子１５のＸ方向の変位ｘによって決まる。

インデックス回折格子１３の領域１３−２で生じた±１次回折光は、ミラー１４Ａ、１４Ｂで個別に偏向された後、移動回折格子１５の領域１５−２に重なって入射する。これらの±１次回折光は、領域１５−２に設けられた回折格子の回折作用によって統合される。統合された±１次回折光は干渉し、その干渉光（信号光）は、受光素子１６−２に入射する。受光素子１６−２は、後述する受光回路２１−２と共に信号光の光量を示す電気信号（以下、「干渉信号Ｉ−２」と称す。）を生成する。この干渉信号Ｉ−２の値は、移動回折格子１５のＸ方向の変位ｘによって決まる。

なお、干渉信号Ｉ−２の位相が干渉信号Ｉ−１の位相と９０°だけずれるように、領域１３−１，１３−２，１５−１，１５−２に設けられた各回折格子の配置関係は予め最適化されている。
次に、本エンコーダの回路部分の動作を説明する。
光源駆動回路３０は、クロック回路２６から与えられる信号に同期して、照明光の光量が時間に応じて周期変調されるように光源１１を駆動制御する。

この周期変調中の照明光の光量の時間変化波形（以下、「変調波形」という。）は、所定の周波数ｆ、所定の振幅Ｒで変化する正弦波である。周波数ｆは、例えば３．３ＭＨｚである。この周期変調によると、受光素子１６−１，１６−２に入射する信号光の光量が周波数ｆで周期変調される。
一方の受光素子１６−１は、一方の受光回路２１−１によって連続的に駆動される。受光回路２１−１は、駆動中の受光素子１６−１から出力される信号に応じて干渉信号Ｉ−１を生成する。上述した周期変調によると、干渉信号Ｉ−１は、周波数ｆで周期変調される。この周期変調される干渉信号Ｉ−１は、基本波成分検出回路２２−１に与えられる。

基本波成分検出回路２２−１は、与えられた干渉信号Ｉ−１の時間変化を参照し、その干渉信号Ｉ−１から周波数ｆで時間変化する成分の強度（１次成分）Ｉ₁−１を検出する。この検出動作は、クロック回路２６から与えられる信号に同期した同期検波からなる。こうして検出された１次成分Ｉ₁−１は、干渉信号Ｉ−１を周波数ｆで復調したものに相当する。以下、この１次成分Ｉ₁−１を「復調後の干渉信号Ｉ₁−１」と称す。

他方の受光素子１６−２は、他方の受光回路２１−２によって連続的に駆動される。受光回路２１−２は、駆動中の受光素子１６−２から出力される信号に応じて干渉信号Ｉ−２を生成する。上述した周期変調によると、干渉信号Ｉ−２は、周波数ｆで周期変調される。この周期変調される干渉信号Ｉ−２は、基本波成分検出回路２２−２に与えられる。
基本波成分検出回路２２−２は、与えられた干渉信号Ｉ−２の時間変化を参照し、その干渉信号Ｉ−２から周波数ｆで時間変化する成分の強度（１次成分）Ｉ₁−２を検出する。この検出動作は、クロック回路２６から与えられる信号に同期した同期検波からなる。こうして検出された１次成分Ｉ₁−２は、干渉信号Ｉ−２を周波数ｆで復調したものに相当する。以下、この１次成分Ｉ₁−２を「復調後の干渉信号Ｉ₁−２」と称す。

復調後の干渉信号Ｉ₁−１，Ｉ₁−２は、エンコーダ信号処理回路２７によって取り込まれる。エンコーダ信号処理回路２７は、復調後の干渉信号Ｉ₁−１，Ｉ₁−２を、移動回折格子１４のＸ方向の変位ｘを９０°ずれた位相で表す「ｓｉｎ信号」，「ｃｏｓ信号」として処理し、エンコーダ出力信号（カウント値）を生成する。
なお、上述した干渉信号Ｉ−１，Ｉ−２は、ＤＣ成分検出回路３１にも与えられる。ＤＣ成分検出回路３１は、与えられた干渉信号Ｉ−１，Ｉ−２の時間変化を参照し、時間変化しない成分の強度（ＤＣ次成分）Ｉ₀を検出する。このＤＣ成分Ｉ₀は、前述した周期変調の変調波形の振幅Ｒを表す。

このＤＣ成分Ｉ₀は、光量制御回路３２によって取り込まれる。光量制御回路３２は、そのＤＣ成分Ｉ₀の変動が抑えられる方向に光源駆動回路３０を制御する。これによって、周期変調の変調波形の振幅Ｒは、一定値に保たれる（フィードバック制御される。）。
次に、本エンコーダの効果を説明する。
本エンコーダでは、受光素子１６−１，１６−２に入射する信号光の光量が周波数ｆで周期変調されると共に、受光回路２１−１，２１−２が生成した干渉信号Ｉ−１，Ｉ−２が周波数ｆで復調される。

したがって、仮に干渉信号Ｉ−１，Ｉ−２にノイズが重畳されていたとしても、復調後の干渉信号Ｉ₁−１，Ｉ₁−２には、周波数ｆ以外の周波数で振動するノイズは、何ら含まれない。これは、本エンコーダの光学的ノイズ（光源１１の不安定性に起因するノイズなど）についても、電気的ノイズ（受光素子１６−１，１６−２，受光回路２１−１，２１−２内で発生するノイズ）についても同様に当てはまる。

さて、一般的な受光回路の出力信号に重畳されるノイズの周波数特性を図２に示した。この出力信号に重畳されるノイズの種類には、熱雑音、１／ｆ雑音、ショット雑音などが含まれる。０Ｈｚの近傍（ＤＣ近傍）の周波数帯域では、比較的レベルの高い熱雑音及び１／ｆ雑音の方が支配的であるため、図２（ａ）に示すようにノイズレベルが高いが、数百ｋＨｚ以上の周波数帯域（特に１ＭＨｚ以上の周波数帯域）では、比較的レベルの低いショット雑音の方が支配的となるため、図２（ｂ）に示すようにノイズレベルが格段に小さくなる。

したがって、例えば、本エンコーダの周期変調の周波数ｆが３．３ＭＨｚに設定されたならば、その周波数ｆは図２（ｂ）の周波数帯域に含まれるので、復調後の干渉信号Ｉ₁−１，Ｉ₁−２に残存するノイズのレベルは格段に小さくなり、復調後の干渉信号Ｉ₁−１，Ｉ₁−２のＳＮ比は向上する。そして、そのＳＮ比が向上した分だけ、本エンコーダの分解能は向上する。

因みに、仮に、本エンコーダにおいて周期変調及び復調が行われなかった場合には、例えば、受光素子１６−１，１６−２の入力パワー１０μＷに対し３０〜４０ｄＢのＳＮ比しか得られなかった。この場合、エンコーダ信号処理回路２７の内挿数は、高々２０００程度であり、分解能は約０．５ｎｍであった。
しかし、本エンコーダにおいて周期変調及び復調が行われると、周波数ｆ＝３．３ＭＨｚの設定下で、受光素子１６−１，１６−２の入力パワー１０μＷに対し６０〜７０ｄＢのＳＮ比が得られた。この場合、エンコーダ信号処理回路２７の内挿数を、１０⁵以上にすることができ、分解能は１０ｐｍ以下にすることができた。実に２桁も分解能が向上した。

また、本エンコーダでは、周期変調の変調波形の振幅Ｒがフィードバック制御されるので、周期変調及び復調を高精度に行うことができる。よって、本エンコーダの分解能は、より確実に向上する。
なお、本エンコーダの周期変調の周波数ｆは、３．３ＭＨｚ以外の値であってもよい。但し、略１ＭＨｚ以上の周波数帯域（図２（ｂ）：ショット雑音が支配的となる領域）に含まれている方が、ノイズレベルをより低減できるので望ましい。

また、本エンコーダでは、信号光を周期変調するために光源１１の出力を周期変調させたが、光源１１の出力を周期変調する代わりに、照明光の光路（例えば、コリメータレンズ１２とインデックス回折格子１３との間の光路）にオプティカルチョッパを挿入して照明光を周期的にオン／オフしてもよい。
また、本エンコーダでは、信号光を周期変調するために光源１１の出力を周期変調させたが、光源１１の出力を周期変調する代わりに、照明光の偏波面を周期変調してもよい。照明光の偏波面を周期変調する方法としては、例えば、照明光の光路（例えば、コリメータレンズ１２とインデックス回折格子１３との間の光路）にファラデー素子を挿入する方法（磁気光学効果によって偏波面を変調する方法）がある。

また、本エンコーダでは、信号光を周期変調するために光源１１の出力を周期変調させたが、光源１１の出力を周期変調する代わりに、照明光の波長を周期変調してもよい。照明光の波長を周期変調する方法としては、例えば、照明光の光路（例えば、コリメータレンズ１２とインデックス回折格子１３との間の光路）に音響光学素子（ＡＯＭ）を挿入する方法がある。

また、本エンコーダでは、信号光を周期変調するために光源１１の出力を周期変調させたが、光源１１の出力を周期変調する代わりに、±１次回折光の位相差を周期変調してもよい。±１次回折光の位相差を周期変調する方法としては、例えば、図３に示すように、±１次回折光の一方の光路に電気光学素子（ＥＯＭ）を挿入して一方の回折光の位相を周期変調する方法や、±１次回折光の間に予め光路長差を設けた上で照明光の波長を周期変調する方法などがある。

また、本エンコーダでは、周期変調の変調波形が正弦波に設定されたが、周期性を有した別の波形（パルス波、三角波など）に設定されてもよい。
また、本エンコーダでは、インデックス回折格子１３、移動回折格子１５の双方を透過型の回折格子としたが、何れか一方又は双方を反射型の回折格子にしてもよい。また、本エンコーダでは、インデックス回折格子１３、移動回折格子１５の双方を位相型の回折格子としたが、何れか一方又は双方を明暗からなる回折格子にしてもよい。また、本エンコーダのエンコーダ光学系（図１では、インデックス回折格子１３、ミラー１４Ａ，１４Ｂ）の構成は、同様の信号光を生成できるのであれば、他の構成に変更されてもよい。

また、本発明は、他のタイプの回折干渉方式の光電式エンコーダ（１相の信号光しか生成しないものや、複数相の信号光をバーニア方式で生成するものなど）にも適用可能である。
［第２実施形態］
以下、第２実施形態を説明する。

本実施形態は、影絵方式（スリットシャッター方式）の光電式リニアエンコーダの実施形態である。ここでは、第１実施形態との相違点のみ説明する。相違点は、光学系部分にある。
図４は、本エンコーダの構成図である。図４に示すとおり、本エンコーダの光学系部分には、光源１１、コリメータレンズ１２、インデックス格子１３’、移動格子１５’、受光素子１６−１，１６−２などが備えられる。

本エンコーダの原理は、光の回折・干渉作用を利用しないので、光源１１として、可干渉性の低いもの（ＬＥＤなど）を用いることができる。光源１１の波長λは、例えば、８５０ｎｍである。
また、インデックス格子１３’及び移動格子１５’としては、格子ピッチｐの比較的大きな透過型の明暗格子（遮光部と透過部とからなる格子）が用いられる。格子ピッチｐは、例えば、４０μｍである（このとき、本エンコーダの主信号ピッチＰは格子ピッチｐと同じく４０μｍとなる。）。

なお、図４中には、移動格子１５’の移動方向をＸ方向とし、格子線方向をＹ方向とし、移動格子１５’の法線方向をＺ方向とした右手系のＸＹＺ直交座標系を示した。以下、必要に応じてこの直交座標系を用いて説明する。
次に、本エンコーダの動作を説明する。光源１１から射出した照明光はコリメータレンズ１２で平行光となり、インデックス格子１３’上のＸ方向に並ぶ領域１３’−１，１３’−２を照明する。その照明光は、領域１３’−１，１３’−２に設けられた格子の透過部を透過する。

インデックス格子１３’の領域１３’−１，１３’−２を透過した照明光は、移動格子１５’の領域１５’−１，１５’−２に個別に入射し、その領域１５’−１，１５’−２に設けられた格子の透過部を透過する。
領域１３’−１及び領域１５’−１を透過した照明光（信号光）は、受光素子１６−１に入射する。受光素子１６−１は、受光回路２１−１と共に信号光の光量を示す電気信号（以下、「強度信号Ｉ−１」と称す。）を生成する。この強度信号Ｉ−１の値は、移動格子１５’のＸ方向の変位ｘによって決まる。

領域１３’−２及び領域１５’−２を透過した照明光（信号光）は、受光素子１６−２に入射する。受光素子１６−２は、受光回路２１−２と共に信号光の光量を示す電気信号（以下、「強度信号Ｉ−２」と称す。）を生成する。この強度信号Ｉ−２の値は、移動格子１５’のＸ方向の変位ｘによって決まる。
なお、強度信号Ｉ−２の位相が強度信号Ｉ−１の位相と９０°だけずれるように、領域１３’−１，１３’−２，１５’−１，１５’−２に設けられた各格子の配置関係は予め最適化されている。

本エンコーダの回路部分（図４の符号２１〜３２）は、第１実施形態の回路部分と同様に、光源１１の出力を周期変調することによって、受光素子１６−１，１６−２に入射する信号光の光量を周波数ｆ（＝３．３ＭＨｚ）で周期変調すると共に、受光回路２１−１，２１−２が生成した強度信号Ｉ−１，Ｉ−２を周波数ｆで復調する。
したがって、復調後の強度信号Ｉ₁−１，Ｉ₁−２に残存するノイズのレベルは確実に小さくなり、そのＳＮ比は向上する。そして、ＳＮ比が向上した分だけ、本エンコーダの分解能は向上する。

因みに、仮に、本エンコーダにおいて周期変調及び復調が行われなかった場合には、エンコーダ信号処理回路２７の内挿数は、高々２０００程度であり、分解能は約２０ｎｍであった。
しかし、本エンコーダにおいて周期変調及び復調が行われると、周波数ｆ＝３．３ＭＨｚの設定下で、エンコーダ信号処理回路２７の内挿数を、１０⁵以上にすることができ、分解能は０．４ｎｍ以下にすることができた。実に２桁も分解能が向上した。

なお、本エンコーダの周期変調の周波数ｆは、３．３ＭＨｚ以外の値であってもよい。但し、１ＭＨｚ以上の周波数帯域（図２（ｂ））に含まれている方が、ノイズレベルをより低減できるので望ましい。
また、本エンコーダでは、信号光を周期変調するために光源１１の出力を周期変調させたが、光源１１の出力を周期変調する代わりに、照明光の光路（例えば、コリメータレンズ１２とインデックス格子１３’との間の光路）にオプティカルチョッパを挿入して照明光を周期的にオン／オフしてもよい。

また、本エンコーダでは、信号光を周期変調するために光源１１の出力を周期変調させたが、光源１１の出力を周期変調する代わりに、照明光の偏波面を周期変調してもよい。照明光の偏波面を周期変調する方法としては、例えば、照明光の光路（例えば、コリメータレンズ１２とインデックス格子１３’との間の光路）にファラデー素子を挿入する方法（磁気光学効果によって偏波面を変調する方法）がある。

また、本エンコーダでは、周期変調の変調波形が正弦波に設定されたが、周期性を有した別の波形（パルス波、三角波など）に設定されてもよい。
また、本エンコーダは、インデックス格子１３’、移動格子１５’として透過型の格子を用いたが、何れか一方又は双方を反射型の格子にしてもよい。また、本エンコーダのエンコーダ光学系（図４では、インデックス格子１３’、移動格子１５’）の構成は、同様の信号光を生成できるのであれば、他の配置関係に変形されてもよい。

また、本発明は、他のタイプの影絵方式の光電式エンコーダ（１相の信号光しか生成しないものや、複数相の信号光をバーニア方式で生成するものなど）にも適用可能である。

第１実施形態の構成図である。 一般的な受光回路の出力信号に重畳されるノイズの周波数特性を示す図である。 第１実施形態の変形例を説明する図である。 第２実施形態の構成図である。

符号の説明

１１ 光源
１２ コリメータレンズ
１３ インデックス回折格子
１４Ａ，１４Ｂ ミラー
１５ 移動回折格子
１６−１，１６−２ 受光素子
２１−１，２１−２ 受光回路
２２−１，２２−２ 基本波成分検出回路
２６ クロック回路
２７ エンコーダ信号処理回路
３０ 光源駆動回路
３２ 光量制御回路
３１ ＤＣ成分検出回路
１３’ インデックス格子
１５’ 移動格子

Claims (9)

1. 照明光を出射する照明手段と、
   前記照明光の光路に配置され、格子線と交差する方向に変位する移動格子と、
   前記照明光の光路に配置されたインデックス格子と、
   前記移動格子と前記インデックス格子とを経由した前記照明光を検出する検出手段と、
   前記照明光を変調する変調手段と
   を有することを特徴とする光電式エンコーダ。
2. 請求項１に記載の光電式エンコーダにおいて、
   前記インデックス格子は、前記照明光を２つの照明光に分岐し、
   前記２つに分岐された照明光を前記移動格子に照明して干渉させる干渉光学系を有する
   ことを特徴とする光電式エンコーダ。
3. 請求項２に記載の光電式エンコーダにおいて、
   前記変調手段は、前記２つの照明光のうち何れか一方の照明光を変調する
   ことを特徴とする光電式エンコーダ。
4. 請求項２又は請求項３に記載の光電式エンコーダにおいて、
   前記インデックス格子は、前記移動格子と同じ格子間隔で前記移動格子に平行に配置された回折格子であり、
   前記移動格子は、回折格子である
   ことを特徴とする光電式エンコーダ。
5. 請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の光電式エンコーダにおいて、
   前記変調手段は、
   前記照明光の光量を変調する
   ことを特徴とする光電式エンコーダ。
6. 請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の光電式エンコーダにおいて、
   前記変調手段は、
   前記照明光の偏波面を変調する
   ことを特徴とする光電式エンコーダ。
7. 請求項２〜請求項４の何れか一項に記載の光電式エンコーダにおいて、
   前記変調手段は、
   前記２つの照明光の位相差を変調する
   ことを特徴とする光電式エンコーダ。
8. 請求項２〜請求項４の何れか一項に記載の光電式エンコーダにおいて、
   前記変調手段は、
   前記照明光の波長を変調する
   ことを特徴とする光電式エンコーダ。
9. 請求項１〜請求項８の何れか一項に記載の光電式エンコーダにおいて、
   前記周期変調の周波数は、
   略１ＭＨｚ以上である
   ことを特徴とする光電式エンコーダ。
   

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