JP2006163733A - 圧力調整弁およびこれを備えた機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器 - Google Patents
圧力調整弁およびこれを備えた機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006163733A JP2006163733A JP2004353219A JP2004353219A JP2006163733A JP 2006163733 A JP2006163733 A JP 2006163733A JP 2004353219 A JP2004353219 A JP 2004353219A JP 2004353219 A JP2004353219 A JP 2004353219A JP 2006163733 A JP2006163733 A JP 2006163733A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- functional liquid
- secondary chamber
- diaphragm
- opening
- functional
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
- Ink Jet (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
【解決手段】 機能液タンク43からバルブハウジング69内の1次室70に導入した機能液を、バルブハウジング69内の2次室79を介して機能液滴吐出ヘッド3に供給すると共に、大気に面し2次室79の1つの面を構成するダイヤフラム75により、1次室70と2次室79とを連通する連通流路80に設けた弁体76を開閉動作させて、2次室79を圧力調整する圧力調整弁46の2次室79には、連通流路80の2次室側開口部92が開口すると共に、機能液滴吐出ヘッド3に連なる流出流路93の流出開口部94が開口し、2次室79の内面壁91は、最大マイナス変形したダイヤフラム75が接触する形状に形成されている。
【選択図】 図8
Description
すなわち、水頭に基づく単位面積当たりの圧力をP1とし、弁体本体111の背面の面積をS1とし、弁体付勢ばね114のばね力をW1としたときに、1次室70側から弁体76に作用する力F1は、
F1=(P1×S1)+W1
となる。なお、W1は、バルブシール112の弾性力を考慮した値となっており、ここでは、ばね力とバルブシール112の弾性力(付勢力)との合計をW1としている。
一方、2次室79側から弁体76に作用する力:F2は、2次室79の内圧をP2とし、ダイヤフラム75の面積をS2とし、受圧板付勢ばね95のばね力をW2としたときに、
F2=(P2×S2)−W2
となる。なお、P1およびP2は、ゲージ圧力である。また、ダイヤフラム75の中心径Dは、ダイヤフラム本体107の外径および受圧板108の外径の平均径であり、
S2=(D/2)×(D/2)×π
で表される。
なお、2次室79内の機能液圧力が弁体76の作動圧力となるが、2次室79内の圧力は、機能液の特性(例えば比重)が変わることでも変化する。その場合、作動圧力も変わってしまうが、圧力調整弁46の取り付け位置などを変更し、ノズル面37と圧力調整弁46との相対的な高低差を変えることで調整可能である。
まず、ブラックマトリクス形成工程(S101)では、図15(a)に示すように、基板(W)501上にブラックマトリクス502を形成する。ブラックマトリクス502は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス502を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス502を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
さらに、図15(c)に示すように、レジスト層504の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層504をパターニングして、バンク503を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク503とその下のブラックマトリクス502は、各画素領域507aを区画する区画壁部507bとなり、後の着色層形成工程において液滴吐出ヘッド3により着色層(成膜部)508R、508G、508Bを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
なお、本実施形態においては、バンク503の材料として、塗膜表面が疎液(疎水)性となる樹脂材料を用いている。そして、基板(ガラス基板)501の表面が親液(親水)性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク503(区画壁部507b)に囲まれた各画素領域507a内への液滴の着弾位置精度が向上する。
即ち、基板501の着色層508R、508G、508Bが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜509が形成される。
そして、保護膜509を形成した後、カラーフィルタ500は、次工程の透明電極となるITO(Indium Tin Oxide)などの膜付け工程に移行する。
なお、図示していないが、対向基板521およびカラーフィルタ500の外面(液晶層522側とは反対側の面)には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板521側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
一方、対向基板521におけるカラーフィルタ500と対向する面には、カラーフィルタ500の第1電極523と直交する方向に長尺な短冊状の第2電極526が所定の間隔で複数形成され、この第2電極526の液晶層522側の面を覆うように第2配向膜527が形成されている。これらの第1電極523および第2電極526は、ITOなどの透明導電材料により形成されている。
そして、第1電極523と第2電極526とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ500の着色層508R、508G、508Bが位置するように構成されている。
この液晶装置530が上記液晶装置520と大きく異なる点は、カラーフィルタ500を図中下側(観測者側とは反対側)に配置した点である。
この液晶装置530は、カラーフィルタ500とガラス基板等からなる対向基板531との間にSTN液晶からなる液晶層532が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板531およびカラーフィルタ500の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
対向基板531のカラーフィルタ500と対向する面上には、カラーフィルタ500側の第1電極533と直交する方向に延在する複数の短冊状の第2電極536が所定の間隔で形成され、この第2電極536の液晶層532側の面を覆うように第2配向膜537が形成されている。
そして、上記した液晶装置520と同様に、第1電極533と第2電極536との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ500の着色層508R、508G、508Bが位置するように構成されている。
この液晶装置550は、カラーフィルタ500を図中上側(観測者側)に配置したものである。
カラーフィルタ500の保護膜509の表面(対向基板551側の面)には液晶駆動用の電極556が形成されている。この電極556は、ITO等の透明導電材料からなり、後述の画素電極560が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極556の画素電極560とは反対側の面を覆った状態で配向膜557が設けられている。
この表示装置600においては、発光素子部603から基板601側に発した光が、回路素子部602及び基板601を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部603から基板601の反対側に発した光が陰極604により反射された後、回路素子部602及び基板601を透過して観測者側に出射されるようになっている。
また、第1層間絶縁膜611a上には電源線614が配設されており、この電源線614は、コンタクトホール612bを通じてドレイン領域607bに接続されている。
これら画素電極613、機能層617、及び、機能層617上に配設された陰極604によって発光素子が構成されている。なお、画素電極613は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極613の間にバンク部618が形成されている。
そして、各バンク部618の間には、画素電極613に対して上方に向けて次第に拡開した開口部619が形成されている。
正孔注入/輸送層617aは、画素電極613側から正孔を輸送して発光層617bに注入する機能を有する。この正孔注入/輸送層617aは、正孔注入/輸送層形成材料を含む第1組成物(機能液)を吐出することで形成される。正孔注入/輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
この表示装置600は、図20に示すように、バンク部形成工程(S111)、表面処理工程(S112)、正孔注入/輸送層形成工程(S113)、発光層形成工程(S114)、及び対向電極形成工程(S115)を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
無機物バンク層618aを形成したならば、図22に示すように、無機物バンク層618a上に有機物バンク層618bを形成する。この有機物バンク層618bも無機物バンク層618aと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部618が形成される。また、これに伴い、各バンク部618間には、画素電極613に対して上方に開口した開口部619が形成される。この開口部619は、画素領域を規定する。
また、撥液化処理は、有機物バンク層618bの壁面618s及び有機物バンク層618bの上面618tに施され、例えば4フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理(撥液性に処理)される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド3を用いて機能層617を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部619から溢れ出るのを防止することが可能となる。
しかしその一方で、正孔注入/輸送層617aは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第2組成物を正孔注入/輸送層617a上に吐出しても、正孔注入/輸送層617aと発光層617bとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層617bを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入/輸送層617aの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理(表面改質処理)を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第2組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入/輸送層617a上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入/輸送層617aの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第2組成物を正孔注入/輸送層617aに均一に塗布することができる。
この陰極604の上部には、電極としてのAl膜、Ag膜や、その酸化防止のためのSiO2、SiN等の保護層が適宜設けられる。
この表示装置700は、互いに対向して配置された第1基板701、第2基板702、及びこれらの間に形成される放電表示部703を含んで概略構成される。放電表示部703は、複数の放電室705により構成されている。これらの複数の放電室705のうち、赤色放電室705R、緑色放電室705G、青色放電室705Bの3つの放電室705が組になって1つの画素を構成するように配置されている。
そして、この隔壁708によって仕切られた領域が放電室705となっている。
第1基板701と第2基板702とは、アドレス電極706と表示電極711が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極706と表示電極711は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極706,711に通電することにより、放電表示部703において蛍光体709が励起発光し、カラー表示が可能となる。
この場合、第1基板701を液滴吐出装置1のセットテーブル14に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド3により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料(機能液)を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
表示電極711の形成の場合、アドレス電極706の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料(機能液)を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体709の形成の場合には、各色(R,G,B)に対応する蛍光材料を含んだ液体材料(機能液)を液滴吐出ヘッド3から液滴として吐出し、対応する色の放電室705内に着弾させる。
この表示装置800は、互いに対向して配置された第1基板801、第2基板802、及びこれらの間に形成される電界放出表示部803を含んで概略構成される。電界放出表示部803は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部805により構成されている。
3 機能液滴吐出ヘッド 6 機能液供給機構
11 X・Y移動機構 43 機能液タンク
44 機能液供給チューブ 46 圧力調整弁
69 バルブハウジング 70 1次室
79 2次室 80 連通流路
75 ダイヤフラム 76 弁体
91 内面壁 91a 端壁
92 2次室側開口部 91b 周壁
93 流出流路 94 流出開口部
97 流路溝 115 補助流路
116 エア抜き溝 117 第1エア抜き・液抜き溝
118 液抜き溝 121 第2エア抜き・液抜き溝
Claims (15)
- 機能液タンクからバルブハウジング内の1次室に導入した機能液を、前記バルブハウジング内の2次室を介して機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、
大気に面し前記2次室の1つの面を構成するダイヤフラムにより、大気圧を調整基準圧力として、前記1次室と前記2次室とを連通する連通流路に設けた弁体を開閉動作させて、前記2次室を圧力調整する圧力調整弁であって、
前記2次室には、前記連通流路の2次室側開口部が開口すると共に、前記機能液滴吐出ヘッドに連なる流出流路の流出開口部が開口し、
前記1つの面を除いた前記2次室の内面壁は、最大マイナス変形した前記ダイヤフラムが接触する形状に形成されていることを特徴とする圧力調整弁。 - 前記2次室は、前記ダイヤフラム側を底面とする円錐台形状に形成され、
前記2次室側開口部は、前記円錐台形状の頂面となる前記内面壁の端壁に開口し、
前記流出開口部は、前記円錐台形状のテーパ面となる前記内面壁の周壁に開口していることを特徴とする請求項1に記載の圧力調整弁。 - 前記2次室の内面壁には、最大マイナス変形した前記ダイヤフラムの接触を部分的に阻止して、前記2次室側開口部と前記流出開口部とを連通する補助流路が形成されていることを特徴とする請求項2に記載の圧力調整弁。
- 前記補助流路は、前記内面壁に形成され、前記2次室側開口部と前記流出開口部とを接続すると共に、開放部を最大マイナス変形した前記ダイヤフラムに覆われる細溝で構成されていることを特徴とする請求項3に記載の圧力調整弁。
- 前記ダイヤフラムは、膜状のダイヤフラム本体と、前記ダイヤフラム本体の内側に貼着され前記弁体を開閉動作させる受圧板と、を有し、
前記補助流路は、前記内面壁に形成され、前記2次室側開口部から前記受圧板の外周端を越える位置まで延び、開放部を最大マイナス変形した前記ダイヤフラムに覆われる細溝部と、前記細溝部と前記流出開口部とを連通すると共に、前記ダイヤフラムの前記受圧板の厚みと前記ダイヤフラムの張りとに起因して、前記ダイヤフラム本体と前記内面壁との間に生ずる間隙部とで構成されていることを特徴とする請求項3に記載の圧力調整弁。 - 前記2次室は、前記ダイヤフラムが鉛直姿勢を為し且つ前記2次室側開口部に対し前記流出開口部が鉛直方向下方に位置するように配設されていることを特徴とする請求項4または5に記載の圧力調整弁。
- 前記流出開口部は、前記周壁の下側斜面の上下中間部に開口しており、
前記内面壁には、前記流出開口部から下方に延びると共に且つ開放部を最大マイナス変形した前記ダイヤフラムに覆われる液抜き溝が形成されていることを特徴とする請求項6に記載の圧力調整弁。 - 前記内面壁には、前記2次室側開口部から上方に延びると共に且つ開放部を最大マイナス変形した前記ダイヤフラムに覆われるエア抜き溝が形成されていることを特徴とする請求項6または7に記載の圧力調整弁。
- 前記2次室の内面壁には、前記2次室側開口部から水平方向に延びると共に且つ開放部を最大マイナス変形した前記ダイヤフラムに覆われる第1エア抜き・液抜き溝が形成されていることを特徴とする請求項6ないし8のいずれかに記載の圧力調整弁。
- 前記内面壁には、前記流出開口部および前記補助流路のいずれか一方から前記2次室側開口部を迂回して上方に延びると共に開放部を最大マイナス変形した前記ダイヤフラムに覆われる第2エア抜き・液抜き溝が形成されていることを特徴とする請求項6または7に記載の圧力調整弁。
- 機能液を貯留する前記機能液タンクと、
前記機能液適吐出ヘッドに接続する請求項1ないし10のいずれかに記載の圧力調整弁と、
上流端部を前記機能液タンクに接続するとともに下流端部を前記圧力調整弁に接続する機能液供給流路と、を備えたことを特徴とする機能液供給機構。 - 請求項11に記載の機能液供給機構と、
ワークに対し機能液滴を吐出する前記機能液滴吐出ヘッドと、
前記ワークを前記機能液滴吐出ヘッドに対してX軸方向およびY軸方向に相対移動させるX・Y移動機構と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項12に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
- 請求項12に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
- 請求項13に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項14に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004353219A JP4492327B2 (ja) | 2004-12-06 | 2004-12-06 | 圧力調整弁およびこれを備えた機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004353219A JP4492327B2 (ja) | 2004-12-06 | 2004-12-06 | 圧力調整弁およびこれを備えた機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006163733A true JP2006163733A (ja) | 2006-06-22 |
JP4492327B2 JP4492327B2 (ja) | 2010-06-30 |
Family
ID=36665693
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004353219A Active JP4492327B2 (ja) | 2004-12-06 | 2004-12-06 | 圧力調整弁およびこれを備えた機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4492327B2 (ja) |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008230196A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Seiko Epson Corp | 弁装置、流体供給装置及び流体噴射装置 |
JP2010191258A (ja) * | 2009-02-19 | 2010-09-02 | Seiko Epson Corp | 圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置 |
JP2011207191A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
WO2012020645A1 (ja) * | 2010-08-10 | 2012-02-16 | 株式会社村田製作所 | 順止バルブ、燃料電池システム |
WO2012023395A1 (ja) * | 2010-08-20 | 2012-02-23 | 株式会社村田製作所 | 順止バルブ、燃料電池システム |
US8215758B2 (en) | 2008-11-19 | 2012-07-10 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Damper device, damper unit, liquid jetting apparatus, and method of manufacturing damper device |
US8356891B2 (en) | 2009-02-25 | 2013-01-22 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Damper, head unit, liquid jetting apparatus, and air-discharge method of damper |
US8376529B2 (en) | 2009-02-23 | 2013-02-19 | Seiko Epson Corporation | Pressure-regulating valve and liquid droplet ejection apparatus having the same |
WO2013089119A1 (ja) * | 2011-12-16 | 2013-06-20 | 株式会社村田製作所 | バルブ、燃料電池システム |
JP2013225355A (ja) * | 2013-08-09 | 2013-10-31 | Seiko Epson Corp | 圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置 |
CN105269962A (zh) * | 2014-07-23 | 2016-01-27 | 精工爱普生株式会社 | 液体喷射装置及其制造方法 |
JP2018096372A (ja) * | 2016-12-09 | 2018-06-21 | 船井電機株式会社 | 流体分注装置 |
CN112297631A (zh) * | 2019-07-31 | 2021-02-02 | 精工爱普生株式会社 | 流体储存器以及液体喷出装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002207518A (ja) * | 2001-01-10 | 2002-07-26 | Advance Denki Kogyo Kk | 圧力制御弁 |
JP2002310823A (ja) * | 2001-04-12 | 2002-10-23 | Surpass Kogyo Kk | 圧力計 |
JP2003186546A (ja) * | 2001-12-19 | 2003-07-04 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 定圧レギュレータ |
JP2003226022A (ja) * | 2002-02-01 | 2003-08-12 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録装置およびそのインク供給方法 |
JP2004114012A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-04-15 | Canon Inc | スリットコート式塗布装置 |
JP2004209461A (ja) * | 2002-11-12 | 2004-07-29 | Seiko Epson Corp | 機能液滴吐出ヘッドの吸引方法および吸引装置、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器 |
-
2004
- 2004-12-06 JP JP2004353219A patent/JP4492327B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002207518A (ja) * | 2001-01-10 | 2002-07-26 | Advance Denki Kogyo Kk | 圧力制御弁 |
JP2002310823A (ja) * | 2001-04-12 | 2002-10-23 | Surpass Kogyo Kk | 圧力計 |
JP2003186546A (ja) * | 2001-12-19 | 2003-07-04 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 定圧レギュレータ |
JP2003226022A (ja) * | 2002-02-01 | 2003-08-12 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録装置およびそのインク供給方法 |
JP2004114012A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-04-15 | Canon Inc | スリットコート式塗布装置 |
JP2004209461A (ja) * | 2002-11-12 | 2004-07-29 | Seiko Epson Corp | 機能液滴吐出ヘッドの吸引方法および吸引装置、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器 |
Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008230196A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Seiko Epson Corp | 弁装置、流体供給装置及び流体噴射装置 |
US8215758B2 (en) | 2008-11-19 | 2012-07-10 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Damper device, damper unit, liquid jetting apparatus, and method of manufacturing damper device |
JP2010191258A (ja) * | 2009-02-19 | 2010-09-02 | Seiko Epson Corp | 圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置 |
US8944575B2 (en) | 2009-02-19 | 2015-02-03 | Seiko Epson Corporation | Pressure-regulating valve and liquid droplet ejection apparatus having the same |
US8376529B2 (en) | 2009-02-23 | 2013-02-19 | Seiko Epson Corporation | Pressure-regulating valve and liquid droplet ejection apparatus having the same |
US8356891B2 (en) | 2009-02-25 | 2013-01-22 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Damper, head unit, liquid jetting apparatus, and air-discharge method of damper |
JP2011207191A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP5510548B2 (ja) * | 2010-08-10 | 2014-06-04 | 株式会社村田製作所 | 順止バルブ、燃料電池システム |
WO2012020645A1 (ja) * | 2010-08-10 | 2012-02-16 | 株式会社村田製作所 | 順止バルブ、燃料電池システム |
US9169938B2 (en) | 2010-08-20 | 2015-10-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Forward check valve and fuel cell system |
WO2012023395A1 (ja) * | 2010-08-20 | 2012-02-23 | 株式会社村田製作所 | 順止バルブ、燃料電池システム |
JP5565464B2 (ja) * | 2010-08-20 | 2014-08-06 | 株式会社村田製作所 | 順止バルブ、燃料電池システム |
JPWO2013089119A1 (ja) * | 2011-12-16 | 2015-04-27 | 株式会社村田製作所 | バルブ、燃料電池システム |
WO2013089119A1 (ja) * | 2011-12-16 | 2013-06-20 | 株式会社村田製作所 | バルブ、燃料電池システム |
US10711906B2 (en) | 2011-12-16 | 2020-07-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Valve and fuel cell system |
JP2013225355A (ja) * | 2013-08-09 | 2013-10-31 | Seiko Epson Corp | 圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置 |
CN105269962A (zh) * | 2014-07-23 | 2016-01-27 | 精工爱普生株式会社 | 液体喷射装置及其制造方法 |
JP2018096372A (ja) * | 2016-12-09 | 2018-06-21 | 船井電機株式会社 | 流体分注装置 |
JP7205053B2 (ja) | 2016-12-09 | 2023-01-17 | 船井電機株式会社 | 流体分注装置 |
CN112297631A (zh) * | 2019-07-31 | 2021-02-02 | 精工爱普生株式会社 | 流体储存器以及液体喷出装置 |
CN112297631B (zh) * | 2019-07-31 | 2024-03-29 | 精工爱普生株式会社 | 流体储存器以及液体喷出装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4492327B2 (ja) | 2010-06-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4258462B2 (ja) | 圧力調整弁、機能液供給装置および描画装置 | |
JP4321617B2 (ja) | 機能液供給装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法 | |
JP4561795B2 (ja) | 吸引装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法 | |
JP4511141B2 (ja) | 液滴吐出ヘッドへの機能液充填装置、並びに液滴吐出装置、電気光学装置および電気光学装置の製造方法 | |
JP4151653B2 (ja) | 機能液滴吐出ヘッドの初期充填方法、機能液滴吐出ヘッドの初期充填装置、機能液滴吐出ヘッド、機能液供給装置、液滴吐出装置、および電気光学装置の製造方法 | |
JP4501988B2 (ja) | 機能液滴吐出ヘッドの機能液充填方法、機能液供給装置および液滴吐出装置 | |
JP2008246337A (ja) | 機能液供給装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP4492327B2 (ja) | 圧力調整弁およびこれを備えた機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法 | |
JP2007275795A (ja) | 機能液供給装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP2009106881A (ja) | フィルタ、これを備えた圧力調整弁および機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法および電気光学装置 | |
JP2006159073A (ja) | 機能液供給装置、およびこれを備えた液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器 | |
JP4487778B2 (ja) | 圧力調整弁およびこれを備えた機能液供給機構、並びに液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法 | |
JP2008238126A (ja) | 気泡除去装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP2008238127A (ja) | 気泡除去装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP2006082069A (ja) | 圧力調整弁およびこれを備えた機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP4876398B2 (ja) | 描画装置および電気光学装置の製造方法 | |
JP4423946B2 (ja) | 吐出ヘッド機構およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法 | |
JP2006272679A (ja) | ヘッドキャップ、ヘッド吸引装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器 | |
JP4457756B2 (ja) | 機能液供給装置およびこれを備えたキャリッジ装置、並びに液滴吐出装置 | |
JP4710278B2 (ja) | 液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法 | |
JP2009142769A (ja) | コイルばね、流体機器におけるフィルタの取付け構造および圧力調整弁、並びに機能液供給機構、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法および電気光学装置 | |
JP2006082070A (ja) | 機能液充填方法、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器 | |
JP2009127657A (ja) | コイルばね、流体機器におけるフィルタの取付け構造、圧力調整弁および機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法および電気光学装置 | |
JP4715129B2 (ja) | 吐出ヘッド装置、液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法 | |
JP2009034621A (ja) | 吸引装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法および電気光学装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070913 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091027 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091225 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100316 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100329 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4492327 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130416 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130416 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140416 Year of fee payment: 4 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |