JP2006156267A - 表示装置の製造方法および表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板11上に第1電極14を形成する工程と、第1電極14上に、ガラス転移温度の異なる2以上の有機材料からなる混合層21を形成する工程と、ガラス転移温度の最も低い有機材料のガラス転移温度よりも高く、かつガラス転移温度の最も高い有機材料のガラス転移温度よりも低い温度で、混合層21の加熱処理を行う工程と、加熱処理された混合層21の上方に発光層18cを形成することで、少なくとも混合層21と発光層18cとを有する有機層18を形成する工程と、有機層18上に第2電極19を形成する工程とを含むことを特徴とする表示装置の製造方法およびその表示装置である。
【選択図】図1
Description
ここでは、アクティブマトリクス表示の上面発光型の有機発光ディスプレイを例にとり、各部材の詳細な構成を製造工程順に説明する。この有機発光ディスプレイは、基板上に第1電極、発光層を含む有機層および第2電極をこの順に備えた有機発光素子、いわゆる有機EL素子が設けられている。なお、背景技術で説明したものと同様の構成には同一の番号を付して説明する。
次に、本発明の表示装置の製造方法および表示装置にかかる第2の実施形態の一例について、図2を用いて説明する。なお、混合層21を形成する工程までは第1実施形態と同様であるため、省略する。
本発明の表示装置の製造方法および表示装置にかかる第3の実施形態について、図3を用いて説明する。なお、第1電極14上および補助電極15上を覆う状態で、平坦化絶縁膜13上に素子分離絶縁膜16を形成して、第1電極14の表面および補助電極15の表面を露出する工程までは、第1実施形態と同様であるため、省略する。
Claims (16)
- 基板上に第1電極、発光層を含む有機層および第2電極をこの順に備えた有機発光素子を設けてなる表示装置の製造方法であって、
前記基板上に前記第1電極を形成する工程と、
前記第1電極上に、ガラス転移温度の異なる2以上の有機材料からなる混合層を形成する工程と、
前記ガラス転移温度の最も低い前記有機材料の当該ガラス転移温度よりも高く、かつ前記ガラス転移温度の最も高い前記有機材料の当該ガラス転移温度よりも低い温度で、前記混合層の加熱処理を行う工程と、
加熱処理された前記混合層の上方に前記発光層を形成することで、少なくとも前記混合層と前記発光層とを有する前記有機層を形成する工程と、
前記有機層上に前記第2電極を形成する工程とを含む
ことを特徴とする表示装置の製造方法。 - 前記有機材料は、正孔輸送材料または正孔注入材料である
ことを特徴とする請求項1に記載の表示装置の製造方法。 - 前記ガラス転移温度の最も低い有機材料はアミン系材料であり、
前記ガラス転移温度の最も高い有機材料は非アミン系材料である
ことを特徴とする請求項1に記載の表示装置の製造方法。 - 前記ガラス転移温度の最も低い前記有機材料と前記ガラス転移温度の最も高い前記有機材料との前記ガラス転移温度の差は50℃以上である
ことを特徴とする請求項1に記載の表示装置の製造方法。 - 前記ガラス転移温度の最も低い前記有機材料の当該ガラス転移温度は150℃以下であり、前記ガラス転移温度の最も高い前記有機材料の当該ガラス転移温度は200℃以上である
ことを特徴とする請求項1に記載の表示装置の製造方法。 - 前記混合層の膜厚が、1nm以上200nm以下である
ことを特徴とする請求項1に記載の表示装置の製造方法。 - 前記第1電極を形成する工程では、
前記基板上に、前記第1電極と絶縁された状態で、前記第2電極の補助電極を形成し、
前記混合層を形成する工程では、
前記第1電極上および前記補助電極上を含む前記基板上に、前記混合層を形成するとともに、
前記有機層を形成する工程では、
少なくとも前記第1電極上の前記混合層上に前記有機層を形成し、
前記第2電極を形成する工程では、
前記補助電極の上方まで延設された状態で、前記第2電極を形成する
ことを特徴とする請求項1に記載の表示装置の製造方法。 - 前記混合層を形成する工程の後で、前記混合層の加熱処理を行う工程の前に、
前記混合層上に有機材料からなる第1の電荷輸送層を形成する工程を有し、
前記混合層を加熱処理する工程では、
前記混合層とともに前記第1の電荷輸送層の加熱処理を行い、
前記有機層を形成する工程では、前記第1の電荷輸送層上に当該第1の電荷輸送層と同一の有機材料からなる第2の電荷輸送層を形成した後、当該第2の電荷輸送層上に前記発光層を形成する
ことを特徴とする請求項1に記載の表示装置の製造方法。 - 基板上に第1電極、発光層を含む有機層および第2電極をこの順に備えた有機発光素子を設けてなる表示装置であって、
前記第1電極と前記発光層との間に、ガラス転移温度の異なる2以上の有機材料からなる混合層が設けられている
ことを特徴とする表示装置。 - 前記有機材料は、正孔輸送材料または正孔注入材料である
ことを特徴とする請求項9に記載の表示装置。 - 前記ガラス転移温度の最も低い前記有機材料はアミン系材料であり、
前記ガラス転移温度の最も高い前記有機材料は非アミン系材料である
ことを特徴とする請求項9に記載の表示装置。 - 前記ガラス転移温度の最も低い前記有機材料と前記ガラス転移温度の最も高い前記有機材料との前記ガラス転移温度の差は50℃以上である
ことを特徴とする請求項9に記載の表示装置。 - 前記ガラス転移温度の最も低い前記有機材料の当該ガラス転移温度は150℃以下であり、前記ガラス転移温度の最も高い前記有機材料の当該ガラス転移温度は200℃以上である
ことを特徴とする請求項9に記載の表示装置。 - 前記混合層の膜厚が、1nm以上200nm以下である
ことを特徴とする請求項9に記載の表示装置。 - 前記基板上に、前記第1電極と絶縁された状態で、前記第2電極の補助電極が設けられており、
前記混合層は、前記第1電極上および前記補助電極上を含む前記基板上に設けられているとともに、
前記第2電極は、前記補助電極の上方まで延設された状態で設けられている
ことを特徴とする請求項9に記載の表示装置。 - 前記混合層と前記発光層との間に、前記混合層上に設けられた有機材料からなる第1の電荷輸送層と、前記第1の電荷輸送層上に設けられるとともに当該第1の電荷輸送層と同一の有機材料からなる第2の電荷輸送層とが設けられている
ことを特徴とする請求項9に記載の表示装置。
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