JP2006142620A - Ink jet application apparatus and ink jet application system - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ink jet application apparatus which can easily manage drying of ink, and to provide an ink jet application system. <P>SOLUTION: The ink jet application apparatus 1 is equipped with an application part 3 which applies liquid droplets to an application object 30 by making the liquid droplets jetted from a nozzle 50 of an ink jet head where the nozzle 50 for jetting the liquid droplets is set; and a drying part 6 which is set in at least a part of a discharge route where the application object 30 with the liquid droplets applied is discharged from the application part 3, and which dries the liquid droplets applied on the application object. The ink jet application system is equipped with the application apparatus 1 which applies the liquid droplets to the application object 30; a drying chamber 6 which is set in at least a part of the discharge route where the application object 30 is discharged from the application apparatus 1, and which dries the liquid droplets applied on the application object; and a transfer robot 8 which transfers the application object 30 from the application apparatus 1 to the drying chamber 6. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、インクの液滴を噴射させて塗布対象に塗布するインクジェット塗布装置及びインクジェット塗布システムに関する。   The present invention relates to an ink jet coating apparatus and an ink jet coating system for spraying ink droplets to coat a coating target.

パーソナルコンピュータ等においては、その表示装置として液晶ディスプレイが用いられている。この液晶ディスプレイの製造工程においては、ノズルから微小な液滴を噴射するようになされたいわゆるインクジェット塗布装置（特許文献１参照）を用いて、透明基板上にR（赤）、G（緑）、B（青）の各色のインクを順次塗布することにより、これら各色のドットが順次配列されてなるカラーフィルタを作成するようになされている。   In personal computers and the like, a liquid crystal display is used as the display device. In the manufacturing process of this liquid crystal display, R (red), G (green), R (red), G (green) on a transparent substrate using a so-called inkjet coating device (see Patent Document 1) designed to eject fine droplets from nozzles. By applying B (blue) inks in sequence, a color filter in which dots of these colors are arranged in sequence is created.

カラーフィルタの周囲には、バックライトからの光を遮光するための遮光領域が設けられている。このような遮光領域においては、例えば黒色のインクを領域内の全面に塗布することにより、表示領域の周囲においてバックライトからの不要な光を遮光するようになされている。   A light shielding region for shielding light from the backlight is provided around the color filter. In such a light shielding region, for example, black ink is applied to the entire surface of the region to shield unnecessary light from the backlight around the display region.

カラーフィルタに各色のドットを塗布する場合やカラーフィルタの遮光領域に黒色のインクを塗布する場合には、インクジェット塗布装置が用いられている。インクジェット塗布装置においては、インクを噴射するためのノズルが複数設けられたインクジェットヘッドと塗布対象である基板とを相対的に移動させながらインクの塗布位置においてインクを噴射させるようになされている。
特開２００４−１１１０７４号公報 An ink jet coating apparatus is used when dots of each color are applied to the color filter or when black ink is applied to the light shielding region of the color filter. In an inkjet coating apparatus, ink is ejected at an ink application position while relatively moving an inkjet head provided with a plurality of nozzles for ejecting ink and a substrate to be coated.
JP 2004-111074 A

インクジェット塗布装置においては、塗布部においてインクが塗布されたカラーフィルタ等の基板を排出経路を介してカセットステーションと呼ばれる基板収納部に収納した後、乾燥工程に係る乾燥装置に搬送するようになされている。   In an ink jet coating apparatus, a substrate such as a color filter coated with ink in a coating section is stored in a substrate storage section called a cassette station via a discharge path, and then transported to a drying apparatus related to a drying process. Yes.

このようにインクジェット塗布装置においては、塗布部から乾燥装置に至る移動経路上に基板収納部が配置されており、この基板収納部に塗布済みの基板を一時保管するようになされていることにより、塗布部においてインクが塗布された後、乾燥工程に至るまでの時間が長くなる。   As described above, in the ink jet coating apparatus, the substrate storage unit is arranged on the movement path from the coating unit to the drying device, and the coated substrate is temporarily stored in the substrate storage unit. After ink is applied in the application section, the time until the drying process is extended.

塗布部においてインクが塗布された基板は、乾燥工程に至るまでの間においては外気に触れた状態となっており、この間にインクの自然乾燥が徐々に進み、乾燥装置によるインク乾燥処理の管理を難しくしていた。   The substrate on which the ink is applied in the application unit is in a state where it is in contact with the outside air until the drying process, and during this time, the natural drying of the ink gradually proceeds, and the ink drying process is managed by the drying device. It was difficult.

本発明は、このような技術的課題を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、インクの乾燥を容易に管理し得るインクジェット塗布装置及びインクジェット塗布システムを提供することである。   The present invention has been made to solve such technical problems, and an object of the present invention is to provide an ink jet coating apparatus and an ink jet coating system capable of easily managing the drying of ink.

本発明の実施の形態に係る特徴は、インクジェット塗布装置において、液滴を噴射するためのノズルが設けられたインクジェットヘッドのノズルから液滴を噴射させて塗布対象に液滴を塗布する塗布部と、液滴が塗布された塗布対象を塗布部から排出する排出経路の少なくとも一部に設けられ、塗布対象上に塗布された液滴を乾燥させる乾燥部とを備えることである。   A feature according to an embodiment of the present invention is that, in an inkjet coating apparatus, a coating unit that sprays droplets from a nozzle of an inkjet head provided with a nozzle for ejecting droplets to apply the droplets to a coating target; And a drying unit that is provided in at least a part of a discharge path for discharging the application target on which the droplet is applied from the application unit, and dries the droplet applied on the application target.

また本発明の実施の形態に係る特徴は、インクジェット塗布システムにおいて、液滴を噴射するためのノズルが設けられたインクジェットヘッドのノズルから液滴を噴射させて塗布対象に液滴を塗布する塗布装置と、液滴が塗布された塗布対象を塗布装置から排出する排出経路の少なくとも一部に設けられ、塗布対象上に塗布された液滴を乾燥させる乾燥室と、液滴が塗布された塗布対象を塗布装置から乾燥室に搬送する搬送ロボットとを備えることである。   In addition, according to the embodiment of the present invention, in the inkjet coating system, a coating apparatus that sprays droplets from a nozzle of an inkjet head provided with a nozzle for ejecting droplets to apply the droplets to a coating target. A drying chamber that is provided in at least a part of a discharge path for discharging the application target coated with the droplets from the coating apparatus, and dries the droplets coated on the coating target, and the coating target coated with the droplets And a transport robot for transporting the liquid from the coating device to the drying chamber.

本発明によれば、インクジェット塗布装置及びインクジェット塗布システムにおいてインクの乾燥を容易に管理することを可能とする。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it becomes possible to manage the drying of an ink easily in an inkjet coating device and an inkjet coating system.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図１に示すように、本発明の第１の実施の形態に係るインクジェット塗布装置１は、ノズルからインクの液滴を噴射するインクジェットヘッド４２を用いて塗布対象である基板３０にインクを塗布する塗布部３と、塗布部３に対して基板３０を導入すると共に、塗布済みの基板３０を排出する導入排出部４と、導入排出部４と基板３０を一時保管する基板収納部５との間の基板３０の排出経路に配置され、インク液滴を塗布した基板３０を乾燥させる乾燥部（乾燥室）６とを備えている。またインクジェット塗布システムは、インクジェット塗布装置１と、液滴が塗布された基板３０をインクジェット塗布装置１から排出する排出経路の少なくとも一部に設けられ、基板３０上に塗布された液滴を乾燥させる乾燥室（乾燥部６）と、液滴が塗布された基板３０をインクジェット塗布装置１から乾燥室に搬送する搬送ロボット８とを備えている。   As shown in FIG. 1, the inkjet coating apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention applies ink to a substrate 30 that is an application target using an inkjet head 42 that ejects ink droplets from nozzles. Between the coating unit 3, the substrate 30 is introduced into the coating unit 3, the introduction / discharge unit 4 that discharges the coated substrate 30, and the introduction / discharge unit 4 and the substrate storage unit 5 that temporarily stores the substrate 30. And a drying section (drying chamber) 6 for drying the substrate 30 coated with ink droplets. In addition, the inkjet coating system is provided in at least a part of a discharge path for discharging the inkjet coating apparatus 1 and the substrate 30 coated with droplets from the inkjet coating apparatus 1, and dries the droplets coated on the substrate 30. A drying chamber (drying unit 6) and a transport robot 8 that transports the substrate 30 coated with droplets from the inkjet coating apparatus 1 to the drying chamber are provided.

基板収納部５は、複数の基板３０を収納する収納棚を有し、各収納棚にインク塗布前の基板３０を収納した状態でインク塗布の前工程に係る装置からインクジェット塗布装置１に対する基板３０の搬入搬出部であるカセットステーション７に搬送される。またインク塗布及び乾燥後の基板３０を収納した状態でインク塗布及び乾燥後の後工程に係る装置に搬送される。   The substrate storage unit 5 has a storage shelf for storing a plurality of substrates 30, and the substrate 30 for the inkjet coating apparatus 1 from the device related to the pre-ink application process in a state where the substrate 30 before ink application is stored in each storage shelf. Are transferred to a cassette station 7 which is a loading / unloading unit. In addition, the substrate 30 after ink application and drying is stored in a state where the substrate 30 is accommodated, and is transported to a device related to a subsequent process after ink application and drying.

搬送ロボット８は、基板収納部５と乾燥装置５との間に配置され、ロボット本体１０に回動可能に支持されたリンク１２と、このリンク１２の先端部に回動可能に支持されたリンク１３と、このリンク１３の先端に回動可能に支持された搬送アーム１１とを有し、リンク１２、１３及びアーム１１を回動させることによって搬送アーム１１を種々の方向に向けて移動させることができると共に、リンク１２は、ロボット本体１０に上下動可能に支持されていることにより、リンク１３を介して搬送アーム１１を上下動させることができる。   The transfer robot 8 is disposed between the substrate storage unit 5 and the drying device 5, and is a link 12 that is rotatably supported by the robot body 10, and a link that is rotatably supported by the distal end portion of the link 12. 13 and a transport arm 11 rotatably supported at the tip of the link 13, and the transport arm 11 is moved in various directions by rotating the links 12, 13 and the arm 11. In addition, the link 12 is supported by the robot body 10 so as to be movable up and down, whereby the transfer arm 11 can be moved up and down via the link 13.

搬送ロボット８は、搬送アーム１１を回動させると共に上下動させることにより、基板収納部５からインク塗布前の基板３０を取り出して乾燥部６に導入し、また乾燥部６からインク塗布及び乾燥後の基板３０を取り出して基板収納部５に収納する。   The transfer robot 8 rotates the transfer arm 11 and moves it up and down to take out the substrate 30 before ink application from the substrate storage unit 5 and introduce it into the drying unit 6, and after applying and drying ink from the drying unit 6. The substrate 30 is taken out and stored in the substrate storage unit 5.

乾燥部６は、搬送ロボット８側の側面と導入排出部４側の側面とにそれぞれゲート機構１５、１６が設けられており、ゲート機構１６を開くことにより、搬送ロボット８によってインク塗布前の基板３０をゲート機構１６を介して乾燥部６の内部に導入することができ、また乾燥部６の内部からインク塗布及び乾燥後の基板３０を搬送ロボット８によって取り出すことができる。   The drying unit 6 is provided with gate mechanisms 15 and 16 on the side surface on the transport robot 8 side and the side surface on the introduction / discharge unit 4 side, respectively, and the substrate before ink application is performed by the transport robot 8 by opening the gate mechanism 16. 30 can be introduced into the drying unit 6 through the gate mechanism 16, and the substrate 30 after the ink application and drying can be taken out from the inside of the drying unit 6 by the transport robot 8.

また乾燥部６は、ゲート機構１５を開くことにより、導入排出部４に対してインク塗布前の基板３０を送り出すことができ、また導入排出部４からインク塗布及び乾燥後の基板３０を受け入れることができる。   Further, the drying unit 6 can open the gate mechanism 15 to send the substrate 30 before ink application to the introduction / discharge unit 4, and accept the substrate 30 after ink application and drying from the introduction / discharge unit 4. Can do.

乾燥部６においては、インク塗布前の基板３０に対しては乾燥処理を施すことなく搬送機構７０（図３）によりインクジェット塗布装置１の導入排出部４に送り出し、インク塗布後の基板３０に対しては乾燥処理を施した後、搬送ロボット８によって基板収納部５に排出するようになされている。   In the drying unit 6, the substrate 30 before ink application is sent to the introduction / discharge unit 4 of the ink jet coating apparatus 1 by the transport mechanism 70 (FIG. 3) without performing the drying process, and is applied to the substrate 30 after ink application. After the drying process, the substrate is discharged to the substrate storage unit 5 by the transfer robot 8.

図２に示すように、乾燥部６は、内部を外気から遮蔽する真空チャンバー５１と、この真空チャンバー５１の内部を真空状態にする真空ポンプ５２と、この真空チャンバー５１の対向する２つの側面において、基板３０の出し入れ口１５Ａ、１６Ａのゲート１５Ｂ、１６Ｂを開閉するゲート機構１５、１６とを備える。真空チャンバー５１の内部の底面には搬入された基板３０を下方から支持しながら持ち上げるリフトアップ機構５３が設けられている。このリフトアップ機構５３においては、モータ等を駆動源として上下動する複数の支持ピン５４が設けられ、真空チャンバー５１内に導入された基板３０を下方から支持するようになされている。   As shown in FIG. 2, the drying unit 6 includes a vacuum chamber 51 that shields the inside from outside air, a vacuum pump 52 that evacuates the inside of the vacuum chamber 51, and two opposing side surfaces of the vacuum chamber 51. The gate mechanisms 15 and 16 for opening and closing the gates 15B and 16B of the loading / unloading openings 15A and 16A of the substrate 30 are provided. A lift-up mechanism 53 is provided on the bottom surface inside the vacuum chamber 51 to lift the substrate 30 loaded from below. The lift-up mechanism 53 is provided with a plurality of support pins 54 that move up and down using a motor or the like as a drive source, and supports the substrate 30 introduced into the vacuum chamber 51 from below.

ゲート機構１５、１６、リフトアップ機構５３及び真空ポンプ５２は、制御部２により制御され、搬送ロボット８の搬送アーム１１によってインク塗布前の基板３０が真空チャンバー５１内に導入される際にゲート１６Ａを開く。搬送ロボット８は、ゲート１６Ｂが開いた出し入れ口１６Ａを介して搬送アーム１１により基板３０を真空チャンバー５１内に導入する。このときリフトアップ機構５３は、各支持ピン５４を上方に移動させて基板３０を下方から支持する。基板３０が支持ピン５４上に載置されると、搬送アーム１１は出し入れ口１６Ａから真空チャンバー５１の外部に退避する。   The gate mechanisms 15 and 16, the lift-up mechanism 53, and the vacuum pump 52 are controlled by the control unit 2, and the gate 16 </ b> A is introduced when the substrate 30 before ink application is introduced into the vacuum chamber 51 by the transfer arm 11 of the transfer robot 8. open. The transfer robot 8 introduces the substrate 30 into the vacuum chamber 51 by the transfer arm 11 through the loading / unloading port 16A where the gate 16B is opened. At this time, the lift-up mechanism 53 moves the support pins 54 upward to support the substrate 30 from below. When the substrate 30 is placed on the support pins 54, the transfer arm 11 is retracted from the entrance / exit 16 </ b> A to the outside of the vacuum chamber 51.

インクジェット塗布装置１においては、乾燥部６と導入排出部４との間で基板３０を受け渡す搬送機構７０が設けられている。この搬送機構７０においては、上方から柱形状の吊り下げ部材７２によって搬送アーム７１が支持されており、制御部２の制御によって駆動制御される駆動機構（図示せず）により、吊り下げ部材７２を矢印Ｘ方向に進退移動させると共に矢印Ｚ方向に上下動させることができる。   In the inkjet coating apparatus 1, a transport mechanism 70 that delivers the substrate 30 between the drying unit 6 and the introduction / discharge unit 4 is provided. In the transport mechanism 70, the transport arm 71 is supported from above by a column-shaped suspension member 72, and the suspension member 72 is moved by a drive mechanism (not shown) that is driven and controlled by the control of the control unit 2. It can be moved back and forth in the arrow X direction and moved up and down in the arrow Z direction.

この搬送機構７０の搬送アーム７１によって乾燥装置６と導入排出部４との間で基板３０を受け渡すことができる。すなわち、真空チャンバー５１内において支持ピン５４によりインク塗布前の基板３０が支持されると、制御部２によってゲート１５Ｂが開かれ、このゲート１５Ｂが開いた出し入れ口１５Ａを介して搬送アーム７１が真空チャンバー５１内に挿入される。この搬送アーム７１によって基板３０を下方から持ち上げて出し入れ口１５Ａから取り出す。搬送機構７０は、搬送アーム７１にインク塗布前の基板３０を載せた状態で搬送アーム７１を降下させることにより、基板３０を導入排出部４に移動させる。   The substrate 30 can be transferred between the drying device 6 and the introduction / discharge unit 4 by the transfer arm 71 of the transfer mechanism 70. That is, when the substrate 30 before ink application is supported by the support pins 54 in the vacuum chamber 51, the control unit 2 opens the gate 15B, and the transfer arm 71 is vacuumed through the entrance / exit 15A where the gate 15B is opened. It is inserted into the chamber 51. The transfer arm 71 lifts the substrate 30 from below and removes it from the loading / unloading port 15A. The transport mechanism 70 moves the substrate 30 to the introduction / discharge section 4 by lowering the transport arm 71 with the substrate 30 before ink application placed on the transport arm 71.

導入排出部４は、乾燥部６から搬送機構７０により送り出された基板３０を塗布部３に導入すると共に、塗布部３０においてインク液滴が塗布された基板３０を搬送機構７０を介して乾燥部６に排出するものであり、この導入排出部４においては、架台２上に設けられたガイドテーブル２２が設けられており、このガイドテーブル２２上にＸ方向にガイドレール（図示せず）が延設されている。ガイドレールにはＸ方向移動テーブル２３の下側面に設けられたガイド突起部（図示せず）が係合されており、これによりＸ方向移動テーブル２３は、ガイドテーブル２２上をガイドレールにガイドされてＸ方向に移動可能に支持されている。   The introduction / discharge unit 4 introduces the substrate 30 sent from the drying unit 6 by the transport mechanism 70 into the coating unit 3, and the substrate 30 coated with ink droplets in the coating unit 30 through the transport mechanism 70. In the introduction / discharge section 4, a guide table 22 provided on the gantry 2 is provided, and a guide rail (not shown) extends in the X direction on the guide table 22. It is installed. A guide protrusion (not shown) provided on the lower surface of the X-direction moving table 23 is engaged with the guide rail, whereby the X-direction moving table 23 is guided on the guide table 22 by the guide rail. And is supported so as to be movable in the X direction.

Ｘ方向移動テーブル２３上には、Ｙ方向に移動可能に支持されたＹ方向移動テーブル（図示せず）を介して基板保持テーブル２４が支持されており、この基板保持テーブル２４は、例えば真空吸着により基板を保持するようになされている。また基板保持テーブル２４の上面部には、基板保持テーブル２４に載置された基板３０を下方から支持しながら持ち上げるリフトアップ機構７５が設けられている。このリフトアップ機構７５においては、モータ等を駆動源として上下動する複数の支持ピン７６が設けられ、基板保持テーブル２４上の基板３０を下方から支持するようになされている。   A substrate holding table 24 is supported on the X direction moving table 23 via a Y direction moving table (not shown) supported so as to be movable in the Y direction. To hold the substrate. In addition, a lift-up mechanism 75 that lifts the substrate 30 placed on the substrate holding table 24 while supporting the substrate 30 from below is provided on the upper surface portion of the substrate holding table 24. In the lift-up mechanism 75, a plurality of support pins 76 that move up and down using a motor or the like as a drive source are provided to support the substrate 30 on the substrate holding table 24 from below.

Ｘ方向移動テーブル２３及びＹ方向移動テーブルは、モータ等を駆動源とした駆動機構によって制御部２の制御により移動する。   The X-direction moving table 23 and the Y-direction moving table are moved under the control of the control unit 2 by a driving mechanism using a motor or the like as a driving source.

導入排出部４のＸ方向移動テーブル２３は、図３に示すように、搬送機構７０によって基板保持テーブル２４上に載置されて基板保持テーブル２４に吸着されたインク塗布前の基板３０を、乾燥部６側からインクジェットヘッド４２の下方に移動させることができ、またインクジェットヘッド４２によってインク液滴が塗布された基板３０を、インクジェットヘッド４２の下方（図１）から乾燥部６側に移動させることができる。   As shown in FIG. 3, the X-direction moving table 23 of the introduction / discharge unit 4 dries the substrate 30 before being applied with the ink, which is placed on the substrate holding table 24 and sucked by the substrate holding table 24 by the transport mechanism 70. The substrate 30 can be moved from the side of the unit 6 to the lower side of the inkjet head 42, and the substrate 30 on which ink droplets are applied by the inkjet head 42 is moved from the lower side of the inkjet head 42 (FIG. 1) to the drying unit 6 side. Can do.

図３に示すように、Ｘ方向移動テーブル２３が乾燥部６側に移動した状態において、搬送機構７０（図２）により乾燥部６からインク塗布前の基板３０が基板保持テーブル２４上に載置されると、制御部２は、Ｘ方向移動テーブル２３を塗布部３に移動させることにより、図１に示すように、基板保持テーブル２４上に保持された基板３０を、インクジェットヘッド４２の下方に移動させることができる。   As shown in FIG. 3, the substrate 30 before ink application from the drying unit 6 is placed on the substrate holding table 24 by the transport mechanism 70 (FIG. 2) in a state where the X-direction moving table 23 is moved to the drying unit 6 side. Then, the control unit 2 moves the X-direction moving table 23 to the coating unit 3 to move the substrate 30 held on the substrate holding table 24 below the inkjet head 42 as shown in FIG. Can be moved.

基板３０がインクジェットヘッド４２の下方に移動した状態において、制御部２は、予め設定されている塗布位置を表すデータに基づいてインクジェットヘッド４２と基板３０との相対位置を移動制御しながら、インクジェットヘッド４２からインク液滴を噴射させる。これにより基板３０には、インク液滴が塗布される。   In a state where the substrate 30 is moved below the inkjet head 42, the control unit 2 controls the movement of the relative position between the inkjet head 42 and the substrate 30 based on data representing a preset application position, while controlling the inkjet head. Ink droplets are ejected from 42. As a result, ink droplets are applied to the substrate 30.

インク液滴の塗布が終了すると、制御部２は、Ｘ方向移動テーブル２３を乾燥部６側に移動させ、リフトアップ機構７５により基板３０を持ち上げた後、搬送機構７０により基板３０を下方から保持させて乾燥部６の真空チャンバー５１内に送り込む。この際、ゲート機構１５のゲート１５Ｂを開くと共に、真空チャンバー５１内のリフトアップ機構５３の支持ピン５４を上昇させる。   When the application of ink droplets is completed, the control unit 2 moves the X-direction moving table 23 toward the drying unit 6, lifts the substrate 30 by the lift-up mechanism 75, and then holds the substrate 30 from below by the transport mechanism 70. Then, it is fed into the vacuum chamber 51 of the drying unit 6. At this time, the gate 15B of the gate mechanism 15 is opened and the support pin 54 of the lift-up mechanism 53 in the vacuum chamber 51 is raised.

真空チャンバー５１内の支持ピン５４にインク塗布済みの基板３０が載置されると、制御部２は、支持ピン５４を降下させて真空チャンバー５１内の底面部に基板３０を載置する。この状態において、制御部２は、ゲート１５Ｂ、１６Ｂを閉じることにより、真空チャンバー５１内を外気から遮蔽し、真空ポンプを動作させることにより、真空チャンバー５１内を真空状態とする。これにより基板３０に塗布されたインク液滴の乾燥が促進される。   When the ink-coated substrate 30 is placed on the support pins 54 in the vacuum chamber 51, the control unit 2 lowers the support pins 54 and places the substrate 30 on the bottom surface in the vacuum chamber 51. In this state, the control unit 2 closes the gates 15B and 16B to shield the inside of the vacuum chamber 51 from the outside air, and operates the vacuum pump to place the inside of the vacuum chamber 51 in a vacuum state. As a result, drying of the ink droplets applied to the substrate 30 is promoted.

制御部２は、真空チャンバー５１内を予め設定された一定時間真空状態とした後、支持ピン５４を上昇させると共にゲート１６Ｂを開いて、出し入れ口１６Ａから搬送ロボット８の搬送アーム１１を真空チャンバー５１内に挿入し、基板３０を下方から保持する。基板３０を保持した搬送アーム１１は、基板３０を真空チャンバー５１から取り出して基板収納部５に排出する。   The controller 2 evacuates the interior of the vacuum chamber 51 for a predetermined time, then raises the support pin 54 and opens the gate 16B, and moves the transport arm 11 of the transport robot 8 from the entrance / exit 16A to the vacuum chamber 51. The substrate 30 is inserted from below and held from below. The transfer arm 11 holding the substrate 30 takes out the substrate 30 from the vacuum chamber 51 and discharges it to the substrate storage unit 5.

次に、インクジェット塗布装置１の塗布部３及び導入排出部４を外気から遮蔽する遮蔽カバーについて説明する。図１に示すように、インクジェット塗布装置１においては、塗布部３及び導入排出部４が遮蔽カバー１８によって覆われており、外気から遮蔽されている。遮蔽カバー１８の内部には、送気管１９を介してインクの溶媒ガスが供給されており、これにより遮蔽カバー１８の内部の塗布部３及び導入排出部４は、溶媒雰囲気に保たれている。   Next, a shielding cover that shields the coating unit 3 and the introduction / discharge unit 4 of the inkjet coating apparatus 1 from outside air will be described. As shown in FIG. 1, in the inkjet coating apparatus 1, the coating unit 3 and the introduction / discharge unit 4 are covered with a shielding cover 18 and are shielded from the outside air. The inside of the shielding cover 18 is supplied with an ink solvent gas through an air supply pipe 19, whereby the coating unit 3 and the introduction / discharge unit 4 inside the shielding cover 18 are maintained in a solvent atmosphere.

遮蔽カバー１８の乾燥部６側の側面には、乾燥部６のゲート１５の出し入れ口１５Ａに連通する導入排出口（図示せず）が形成されており、この導入排出口を介して乾燥部６と導入排出部４との間で基板３０を搬送するようになされている。   An inlet / outlet port (not shown) communicating with the inlet / outlet port 15A of the gate 15 of the drying unit 6 is formed on the side surface of the shielding cover 18 on the drying unit 6 side. The substrate 30 is transferred between the inlet / outlet portion 4 and the inlet / outlet portion 4.

遮蔽カバー１８によって塗布部３及び導入排出部４が遮蔽されたインクジェット塗布装置１においては、塗布部３においてインク液滴が塗布された基板３０は、この塗布部３から導入排出部４に移動されて乾燥部６に排出されるまでの間、インク液滴の溶媒雰囲気内に置かれることになり、基板３０に塗布されたインク液滴の乾燥を抑制することができる。塗布されたインク液滴の乾燥が抑制された基板３０は、導入排出部４に隣接する乾燥部６に送られて乾燥処理される。これにより基板３０に塗布されたインク液滴は、乾燥が抑制された状態から、乾燥部６によって乾燥処理される。   In the inkjet coating apparatus 1 in which the coating unit 3 and the introduction / discharge unit 4 are shielded by the shielding cover 18, the substrate 30 coated with ink droplets in the coating unit 3 is moved from the coating unit 3 to the introduction / discharge unit 4. Until it is discharged to the drying unit 6, it is placed in the solvent atmosphere of the ink droplets, and drying of the ink droplets applied to the substrate 30 can be suppressed. The substrate 30 in which the drying of the applied ink droplets is suppressed is sent to the drying unit 6 adjacent to the introduction / discharge unit 4 to be dried. Thus, the ink droplets applied to the substrate 30 are dried by the drying unit 6 from a state where drying is suppressed.

以上説明したインクジェット塗布装置１において、制御部２は、図４に示す処理手順に従って基板３０に対するインク液滴の塗布を実行する。すなわち、インク塗布前の基板３０が収納された基板収納部５がカセットステージ７に搬入されると、制御部２は、ステップＳ１１において、搬送ロボット８によって基板収納部５からインク塗布前の基板３０を取り出して（図５）、乾燥装置６に導入し（図６）、搬送機構７０によって乾燥部６からインク塗布前の基板３０を導入排出部４の基板保持テーブル２４上に移動させる（図７）。そして制御部２は、基板保持テーブル２４によってインク塗布前の基板３０を吸着保持した後、Ｘ方向移動テーブル２３を塗布部３に移動する（図８）。これにより、インクジェットヘッド４２によって基板３０にインク液滴を塗布し得る状態となる。   In the inkjet coating apparatus 1 described above, the control unit 2 performs the application of ink droplets to the substrate 30 according to the processing procedure shown in FIG. That is, when the substrate storage unit 5 in which the substrate 30 before ink application is stored is carried into the cassette stage 7, the control unit 2 uses the transfer robot 8 to transfer the substrate 30 before ink application from the substrate storage unit 5 in step S11. 5 is taken out (FIG. 5) and introduced into the drying device 6 (FIG. 6), and the transport mechanism 70 moves the substrate 30 before ink application from the drying unit 6 onto the substrate holding table 24 of the introduction / discharge unit 4 (FIG. 7). ). Then, the controller 2 sucks and holds the substrate 30 before ink application by the substrate holding table 24, and then moves the X-direction moving table 23 to the application unit 3 (FIG. 8). As a result, ink droplets can be applied to the substrate 30 by the inkjet head 42.

制御部２は、ステップＳ１２に移って、基板保持テーブル２４をＸ方向及びＹ方向に移動させながら、インクジェットヘッド４２からインク液滴を噴射させることにより、基板３０上にインク液滴を塗布する。   The control unit 2 moves to step S <b> 12 and applies ink droplets onto the substrate 30 by ejecting ink droplets from the inkjet head 42 while moving the substrate holding table 24 in the X and Y directions.

基板３０に対するインク液滴の塗布が完了すると、制御部２は、ステップＳ１３に移って、Ｘ方向移動テーブル２３を乾燥部６側に移動させた後、搬送機構７０によってインク塗布後の基板３０を乾燥部６に受け渡す（図９）。   When the application of the ink droplets to the substrate 30 is completed, the control unit 2 moves to step S13, moves the X-direction moving table 23 to the drying unit 6 side, and then moves the substrate 30 after ink application by the transport mechanism 70. It passes to the drying part 6 (FIG. 9).

そして制御部２は、ステップＳ１４に移って、乾燥部６によりインク塗布後の基板３０を乾燥させる。乾燥部６による基板３０の乾燥処理が完了すると、制御部２は、ステップＳ１５に移って、搬送ロボット８によって乾燥部６から乾燥済みの基板３０を取り出して（図１０）、基板収納部５に排出する（図１１）。   Then, the control unit 2 moves to step S14 and causes the drying unit 6 to dry the substrate 30 after ink application. When the drying process of the substrate 30 by the drying unit 6 is completed, the control unit 2 moves to step S15, takes out the dried substrate 30 from the drying unit 6 by the transport robot 8 (FIG. 10), and stores it in the substrate storage unit 5. Discharge (FIG. 11).

制御部２は、ステップＳ１６に移って、基板収納部５に収納されているすべての基板３０に対するインク液滴の塗布が完了したか否かを判断する。このインクジェット塗布装置１においては、制御部２は、塗布が完了した基板３０の数をカウントすると共に、このカウント数が基板収納部５に収納されている基板３０の数と一致したとき、すべての基板３０に対するインク液滴の塗布が完了したと判断する。すべての基板３０に対する塗布が完了していないとき、制御部２は、ステップＳ１６において否定結果を得ることにより、上述のステップＳ１１に戻って、基板収納部５に収納されているインク塗布前の基板３０に対して、同様の処理を実行する。これに対してすべての基板３０に対する塗布処理が完了したとき、制御部２は、ステップＳ１６において肯定結果を得ることにより、この処理手順を終了する。   The control unit 2 moves to step S16 and determines whether or not the application of the ink droplets to all the substrates 30 stored in the substrate storage unit 5 is completed. In this ink jet coating apparatus 1, the control unit 2 counts the number of substrates 30 that have been applied, and when this count number matches the number of substrates 30 stored in the substrate storage unit 5, It is determined that the application of ink droplets to the substrate 30 has been completed. When the application to all the substrates 30 is not completed, the control unit 2 obtains a negative result in step S16, thereby returning to the above-described step S11 and the substrate before ink application stored in the substrate storage unit 5 The same processing is executed for 30. On the other hand, when the coating process for all the substrates 30 is completed, the control unit 2 ends the processing procedure by obtaining a positive result in step S16.

このようにして、本実施の形態に係るインクジェット塗布装置１においては、インク塗布後の基板３０の排出経路上に乾燥部６を設けていることにより、インク液滴の塗布が完了した基板３０は、基板収納部５に収納される前に、塗布部３から導入排出部４を介して乾燥部６に受け渡される。すなわちインク液滴の塗布が完了した基板３０は、塗布されたインクの乾燥が進む前に直ちに乾燥部６に排出されることになる。これにより自然乾燥による不確定な乾燥を抑制しつつ乾燥部６による管理された乾燥処理を施すことができ、その分、塗布されたインクの乾燥を乾燥部６の乾燥処理により容易に管理することが可能となる。   Thus, in the inkjet coating apparatus 1 according to the present embodiment, the drying unit 6 is provided on the discharge path of the substrate 30 after the ink application, so that the substrate 30 on which the application of the ink droplets is completed is performed. Before being stored in the substrate storage unit 5, the substrate is transferred from the coating unit 3 to the drying unit 6 through the introduction / discharge unit 4. That is, the substrate 30 on which the application of ink droplets has been completed is immediately discharged to the drying unit 6 before the applied ink is dried. As a result, the drying process managed by the drying unit 6 can be performed while suppressing indefinite drying due to natural drying, and accordingly, the drying of the applied ink can be easily managed by the drying process of the drying unit 6. Is possible.

また塗布部３及び導入排出部４が遮蔽カバー１８によって遮蔽されていることにより、塗布部３においてインク液滴が塗布された基板３０は、この塗布部３から導入排出部４に移動されて乾燥部６に排出されるまでの間、インク液滴の溶媒雰囲気内に置かれることになる。これにより、基板３０に塗布されたインク液滴の乾燥が抑制される。このように乾燥部６に排出されるまでの間、基板３０に塗布されたインク液滴の乾燥が抑制されることにより、自然乾燥による不確定な乾燥を抑制しつつ乾燥部６による管理された乾燥処理を施すことができ、その分、塗布されたインクの乾燥を乾燥部６の乾燥処理により容易に管理することが可能となる。   Further, since the coating unit 3 and the introduction / discharge unit 4 are shielded by the shielding cover 18, the substrate 30 coated with ink droplets in the coating unit 3 is moved from the coating unit 3 to the introduction / discharge unit 4 and dried. Until it is discharged to the unit 6, it is placed in the solvent atmosphere of the ink droplet. Thereby, drying of the ink droplets applied to the substrate 30 is suppressed. In this way, the ink droplets applied to the substrate 30 are restrained from being dried until they are discharged to the drying unit 6, thereby being controlled by the drying unit 6 while suppressing indefinite drying due to natural drying. The drying process can be performed, and accordingly, the drying of the applied ink can be easily managed by the drying process of the drying unit 6.

また導入排出部４に隣接した位置において、導入排出部４から基板３０を直線状に排出する経路上に乾燥部６を配置したことにより、インク塗布後の基板３０を直ちに乾燥部６に排出することができる。   Further, the drying unit 6 is disposed on a path for linearly discharging the substrate 30 from the introduction / discharge unit 4 at a position adjacent to the introduction / discharge unit 4, whereby the substrate 30 after ink application is immediately discharged to the drying unit 6. be able to.

上述の実施形態においては、乾燥部６と導入排出部４との間の基板３０の搬送手段として搬送アーム７１を用いた場合について述べたが、これに代えて、例えばベルト上に基板３０を載せて搬送する機構等、種々の搬送機構を用いることができる。   In the above-described embodiment, the case where the transfer arm 71 is used as the transfer means of the substrate 30 between the drying unit 6 and the introduction / discharge unit 4 is described, but instead, for example, the substrate 30 is placed on a belt. Various transport mechanisms such as a transport mechanism can be used.

またインクジェット塗布装置１の塗布部３及び導入排出部４を遮蔽カバー１８によって遮蔽するようにしたが、少なくとも導入排出部４が遮蔽カバー１８によって覆われていればよく、例えば導入排出部４のみを覆う遮蔽カバーを設ける構成、又はインクジェット塗布装置１が設置される環境全体を溶媒雰囲気に保つ構成を適用することができる。   In addition, the coating unit 3 and the introduction / discharge unit 4 of the inkjet coating apparatus 1 are shielded by the shielding cover 18, but it is sufficient that at least the introduction / discharge unit 4 is covered by the shielding cover 18. The structure which provides the shielding cover to cover or the structure which maintains the whole environment where the inkjet coating apparatus 1 is installed in a solvent atmosphere is applicable.

またインク塗布前の基板３０を基板収納部５から導入する導入経路と、インク塗布後の基板３０を乾燥部６を介して基板収納部５に排出する経路とを同一経路としたが、導入経路と排出経路とを異なる経路とするようにしてもよい。   Also, the introduction path for introducing the substrate 30 before ink application from the substrate storage unit 5 and the path for discharging the substrate 30 after ink application to the substrate storage unit 5 through the drying unit 6 are the same path. And the discharge route may be different routes.

本発明の実施の形態に係るインクジェット塗布装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the inkjet coating apparatus which concerns on embodiment of this invention. 図１のインクジェット塗布装置の乾燥部を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the drying part of the inkjet coating device of FIG. 本発明の実施の形態に係るインクジェット塗布装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the inkjet coating apparatus which concerns on embodiment of this invention. 図１のインクジェット塗布装置の塗布処理手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the coating process procedure of the inkjet coating apparatus of FIG. 図１のインクジェット塗布装置の基板の導入排出手順を示す略線図である。It is a basic diagram which shows the introductory discharge procedure of the board | substrate of the inkjet coating device of FIG. 図１のインクジェット塗布装置の基板の導入排出手順を示す略線図である。It is a basic diagram which shows the introductory discharge procedure of the board | substrate of the inkjet coating device of FIG. 図１のインクジェット塗布装置の基板の導入排出手順を示す略線図である。It is a basic diagram which shows the introductory discharge procedure of the board | substrate of the inkjet coating device of FIG. 図１のインクジェット塗布装置の基板の導入排出手順を示す略線図である。It is a basic diagram which shows the introductory discharge procedure of the board | substrate of the inkjet coating device of FIG. 図１のインクジェット塗布装置の基板の導入排出手順を示す略線図である。It is a basic diagram which shows the introductory discharge procedure of the board | substrate of the inkjet coating device of FIG. 図１のインクジェット塗布装置の基板の導入排出手順を示す略線図である。It is a basic diagram which shows the introductory discharge procedure of the board | substrate of the inkjet coating device of FIG. 図１のインクジェット塗布装置の基板の導入排出手順を示す略線図である。It is a basic diagram which shows the introductory discharge procedure of the board | substrate of the inkjet coating device of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１…インクジェット塗布装置、２…制御部、３…塗布部、４…導入排出部、５…基板収納部、６…乾燥部、７…カセットステーション、８…搬送ロボット、１８…遮蔽カバー、２１…架台、２２…ガイドステージ、２３…Ｘ方向移動ステージ、２４…基板保持テーブル、４２…インクジェットヘッド。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Inkjet coating device, 2 ... Control part, 3 ... Application | coating part, 4 ... Introduction discharge part, 5 ... Substrate storage part, 6 ... Drying part, 7 ... Cassette station, 8 ... Transfer robot, 18 ... Shielding cover, 21 ... Base: 22 ... Guide stage, 23 ... X direction moving stage, 24 ... Substrate holding table, 42 ... Inkjet head.

Claims (5)

液滴を噴射するためのノズルが設けられたインクジェットヘッドの前記ノズルから前記液滴を噴射させて塗布対象に前記液滴を塗布する塗布部と、
前記液滴が塗布された塗布対象を前記塗布部から排出する排出経路の少なくとも一部に設けられ、前記塗布対象上に塗布された液滴を乾燥させる乾燥部と、
を備えることを特徴とするインクジェット塗布装置。 A coating unit that sprays the droplets from the nozzles of an inkjet head provided with nozzles for ejecting the droplets to apply the droplets to a coating target;
A drying unit that is provided in at least a part of a discharge path for discharging the application target to which the droplet is applied from the application unit, and dries the droplet applied on the application target;
An inkjet coating apparatus comprising: 前記排出経路のうち、少なくとも前記塗布部と前記乾燥部との間を外気から遮蔽する遮蔽カバーを備えることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット塗布装置。   The inkjet coating apparatus according to claim 1, further comprising a shielding cover that shields at least a space between the coating unit and the drying unit from the outside air in the discharge path. 前記乾燥部は、前記塗布対象を排出する直線状の前記排出経路上に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット塗布装置。   The inkjet coating apparatus according to claim 1, wherein the drying unit is disposed on the linear discharge path for discharging the application target. 前記乾燥部は、前記塗布部から前記塗布対象を排出する排出機構に隣接する位置に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット塗布装置。   The inkjet coating apparatus according to claim 1, wherein the drying unit is disposed at a position adjacent to a discharge mechanism that discharges the application target from the coating unit. 液滴を噴射するためのノズルが設けられたインクジェットヘッドの前記ノズルから前記液滴を噴射させて塗布対象に前記液滴を塗布する塗布装置と、
前記液滴が塗布された塗布対象を前記塗布装置から排出する排出経路の少なくとも一部に設けられ、前記塗布対象上に塗布された液滴を乾燥させる乾燥室と、
前記液滴が塗布された塗布対象を前記塗布装置から前記乾燥室に搬送する搬送ロボットと、
を備えることを特徴とするインクジェット塗布システム。

A coating apparatus that sprays the droplets from the nozzles of an inkjet head provided with nozzles for ejecting the droplets to apply the droplets to a coating target;
A drying chamber provided in at least a part of a discharge path for discharging the application target coated with the droplets from the coating apparatus, and drying the droplets coated on the application target;
A transport robot for transporting the coating target coated with the droplets from the coating apparatus to the drying chamber;
An inkjet coating system comprising:

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