JP2006139917A - イオンビーム加工装置および試料作製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明によるイオンビーム加工装置は、真空容器41を有しており、真空容器内には、デュオプラズマトロン81、イオンビームレンズ82、対物絞り83、などから構成されており、酸素イオンビーム照射とシリコンプローブ3により基板からマイクロサンプル6を摘出する。
【効果】本願によると、半導体デバイス等の歩留向上のために、途中の検査がウェーハを割ることなく実施でき、さらにウェーハをプロセスに問題となるような元素で汚染することなく、解析用サンプルを分離する試料作製方法およびイオンビーム加工装置が提供される。
【選択図】図1
Description
(1)イオン源と、試料を保持する試料台と、前記試料にイオン源から放出するイオンビームを照射する照射光学系と、前記イオンビームにより分離加工された試料片を移送するためのプローブとを有し、前記イオン源で生成されるイオンビームは、元素種として不活性ガス種、酸素または窒素のいずれかを含み、前記プローブはシリコン、ゲルマニウムまたはカーボンのいずれかを含むことを特徴とするイオンビーム加工装置とする。
これにより、半導体デバイス等の歩留向上のために、途中の検査がウェーハを割ることなく実施でき、さらにウェーハをプロセスに問題となるような元素で汚染することなく、ウェーハから解析用サンプルを分離または分離準備する方法を実現できるイオンビーム加工装置が提供される。
これにより、半導体デバイス等の歩留向上のために、途中の検査がウェーハを割ることなく実施でき、さらにウェーハをプロセスに問題となるような元素で汚染することなく、ウェーハから解析用サンプルを分離または分離準備する方法を実現できるイオンビーム加工装置が提供される。特に、高速に分離加工できるイオンビーム加工装置が提供される。
酸素イオンビームを用いたマイクロサンプル作製のための加工動作については従来とは異なり、イオンビームスポット径が比較的大きいことを考慮する必要がある。すなわち、従来のFIBようにビームスポット径0.1μmを使った微細な加工は困難であり、大まかな加工でマイクロサンプルを作製することが求められる。
次にイオンビーム加工装置18の構成と動作について図5を用いて説明する。
まず複数のウェーハからなるロット13が任意のN番目のプロセス11に投入される。N番目のプロセスまでには例えばウェーハ上に第1の膜形成工程がある。次に複数のウェーハのうち検査用ウェーハ14を選別し、残されたウェーハは待機する。選別した検査用ウェーハ14は、まず検査電子顕微鏡15に導入される。ここで異常が発見された場合には、その位置がアドレスとして記録され、その情報がウェーハ対応イオンビーム加工装置17に送られる。このウェーハ対応イオンビーム加工装置17で検査用ウェーハ14から検査すべき箇所を含むマイクロサンプル6を、酸素イオンビームとマニピュレータ先端に取り付けたプローブ、およびデポガスであるシリコン有機化合物によって作製したデポ膜等を用いて摘出する。したがって、このマイクロサンプルはウェーハ上に形成された膜からは分離されることになる。
また、以上のようにウェーハから解析用のマイクロサンプルを取り出すイオンビーム加工装置ばかりでなく、同装置に取りつけられ、電子ビーム照射装置から放出された電子ビームにより断面部などデバイス内部を観察して、デバイス解析をするイオンビーム加工装置も、本願に示すイオンビーム加工装置に含む。なお、電子ビーム照射方向はイオンビーム照射位置に向いており、断面加工後、試料を移動させることなく電子ビームで観察が可能になる。例えば、上記の実施例でシリコン製のステンシルマスクを用いて、酸素イオンの成形ビームを照射して断面を加工し、その断面を同一装置の走査電子顕微鏡カラムからの電子ビームによって観察することができる。
Claims (10)
- イオン源と、試料を保持する試料台と、前記試料にイオン源から放出するイオンビームを照射する照射光学系と、前記イオンビームにより分離加工された試料片を移送するためのプローブとを有し、前記イオン源で生成されるイオンビームは、元素種として不活性ガス種、酸素または窒素のいずれかを含み、前記プローブはシリコン、ゲルマニウムまたはカーボンのいずれかを含むことを特徴とするイオンビーム加工装置。
- イオン源と、試料を保持する試料台と、前記試料にイオン源から放出するイオンビームを照射する照射光学系と、前記イオンビームにより分離加工された試料片を移送するためのプローブと、移送した試料片を載置するための試料ホルダを有し、前記イオン源で生成されるイオンビームは、元素種として不活性ガス種、酸素または窒素のいずれかを含み、前記試料ホルダはシリコン、ゲルマニウムまたはカーボンのいずれかを含むことを特徴とするイオンビーム加工装置。
- 請求項1または2に記載のイオンビーム加工装置において、イオンビームを照射する照射光学系がイオンビームのビームスポット径を縮小する手段を備え、試料表面上における前記イオンビームのビーム径が、光源サイズ以下になるように前記レンズを制御する制御手段を備えることを特徴とするイオンビーム加工装置。
- 請求項1または2に記載のイオンビーム加工装置において、イオンビームを照射する照射光学系が、イオンビームが通過できる開口パターンを有するマスクと、マスクを通過したイオンビームを試料上に投影して前記開口パターンの像を形成するための投射レンズとを含むことを特徴とするイオンビーム加工装置。
- イオン源と、試料を保持する試料台と、前記試料にイオン源から放出するイオンビームを照射する照射光学系と、前期試料にイオンビーム照射によって作製した断面を電子ビームによって観察するための電子ビーム照射系を有し、前記イオン源で生成されるイオンビームは、元素種として不活性ガス種、酸素または窒素のいずれかを含み、さらにイオンビームを照射する照射光学系が、イオンビームが通過できる開口パターンを有するマスクと、マスクを通過したイオンビームを試料上に投影して前記開口パターンの像を形成するための投射レンズを含むイオンビーム加工装置において、マスク材質がシリコン、ゲルマニウムまたはカーボンのいずれかを含むことを特徴とするイオンビーム加工装置。
- イオン源と、試料を保持する試料台と、前記試料にイオン源から放出するイオンビームを照射する照射光学系と、前記イオンビームにより分離加工された試料片を移送するためのプローブとを有し、前記イオン源で生成されるイオンビームは、元素種として不活性ガス種、酸素または窒素のいずれかを含み、さらにイオンビームを照射する照射光学系が、イオンビームが通過できる開口パターンを有するマスクと、マスクを通過したイオンビームを試料上に投影して前記開口パターンの像を形成するための投射レンズを含むイオンビーム加工装置において、マスク材質がシリコン、ゲルマニウムまたはカーボンのいずれかを含むことを特徴とするイオンビーム加工装置。
- イオンビームにより試料片を試料基板から分離する工程と、イオンビームアシストデポジションによりプローブと試料片を固定させる工程と、イオンビームアシストデポジションにより試料片を観察装置の試料ホルダにより固定する工程と、イオンビームにより試料片からプローブを分離する工程を含む試料作製方法において、イオンビームにより試料片からプローブを分離する工程が、プローブ材質に比較して選択的にデポジション膜のエッチング速度が高くなる効果を持つガスを供給する工程を含むことを特徴とする試料作製方法。
- 請求項7記載の試料作製方法において、プローブと試料片とを固定するイオンビームアシストデポジション膜がシリコンの酸化物を含む膜であって、イオンビームにより試料片からプローブを分離する工程において供給するガスを、2フッ化キセノンを含むガスとすることを特徴とする試料作製方法。
- 請求項7記載の試料作製方法において、プローブと試料片とを固定するイオンビームアシストデポジション膜がカーボンを主な成分の一つとする膜であって、イオンビームにより試料片からプローブを分離する工程において供給するガスを水または過酸化水素水を含むガスとすることを特徴とする試料作製方法。
- イオン源と、試料を保持する試料台と、前記試料にイオン源から放出するイオンビームを照射する照射光学系と、前記イオンビームにより分離加工された試料片を移送するためのプローブとを有するイオンビーム加工装置において、イオンビームは、酸素イオンビームで試料近傍に2フッ化キセノンを導入する機構を有することを特徴とするイオンビーム加工装置。
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