JP2006136913A - セラミックグリーンシート用レーザ加工装置及びグリーンシート用レーザ加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 レーザ源からセラミックグリーンシートに至るまでの前記レーザビームの光路上に、ビームのスポット形状を略矩形状にし、かつビーム強度分布を略均一にする光学素子を備えるセラミックグリーンシート用レーザ加工装置もしくはそのレーザ加工方法。
【選択図】 図1
Description
103 レーザ発振器
109 セラミックグリーンシート
203 レーザ発振部
221 回折型光学部品
222 マスク回転機構
223 マスク
261 転写レンズ
Claims (8)
- セラミックグリーンシートにレーザビームを照射してくり抜き加工するためのセラミックグリーンシート用レーザ加工装置であって、
レーザ源からセラミックグリーンシートに至るまでの前記レーザビームの光路上に、ビームのスポット形状を略矩形状にし、かつビーム強度分布を略均一にする光学素子を備えることを特徴とするセラミックグリーンシート用レーザ加工装置。 - 該光学素子は回折型光学部品であることを特徴とする請求項1に記載のセラミックグリーンシート用レーザ加工装置。
- セラミックグリーンシートにレーザビームを照射してくり抜き加工するためのセラミックグリーンシート用レーザ加工装置であって、
レーザ源からセラミックグリーンシートに至るまでの前記レーザビームの光路上に、レーザ源から順に、該レーザビームを整形する光学素子と、該セラミックグリーンシートに形成される内部電極パターンに対応する開口部を有するマスクとを配置し、
該光学素子を通過したレーザビームの照射領域が、該マスクの開口部より僅かに広く、かつ、該開口部と相補的な形状であることを特徴とするセラミックグリーンシート用レーザ加工装置。 - 該マスクの開口部及び該レーザビームの照射領域は、略多角形状であることを特徴とする請求項3に記載のセラミックグリーンシート用レーザ加工装置。
- 該マスクはマスクを回転させるためのマスク回転機構を備え、該マスクの開口部はU字状であることを特徴とする請求項3に記載のセラミックグリーンシート用レーザ加工装置。
- セラミックグリーンシートにレーザビームを照射してくり抜き加工するためのセラミックグリーンシート用レーザ加工方法であって、
ビームのスポット形状を矩形状にし、かつ均一なビーム強度分布に変換するレーザビーム変換工程と、
前記レーザビーム変換工程で変換されたレーザビームをセラミックグリーンシートに照射するレーザビーム照射工程と、を備えることを特徴とするセラミックグリーンシート用レーザ加工方法。 - セラミックグリーンシートにレーザビームを照射してくり抜き加工するためのセラミックグリーンシート用レーザ加工方法であって、
マスクの開口部より僅かに広く、かつ、該開口部と相補的な形状の照射領域となるように、レーザ源から照射されたレーザビームを整形するレーザビーム変換工程と、
前記レーザビーム変換工程で変換されたレーザビームをセラミックグリーンシートに照射するレーザビーム照射工程と、を有するセラミックグリーンシート用レーザ加工方法。 - 該マスクを回転させるためのマスク回転工程を備え、一のセラミックグリーンシートについてレーザビーム照射工程を行った後に、別のセラミックグリーンシートにレーザビーム照射工程を行う前に、マスク回転工程を行うことを特徴とする請求項7に記載のセラミックグリーンシート用レーザ加工方法。
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