JP2006135251A - レーザ結晶化装置 - Google Patents
レーザ結晶化装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006135251A JP2006135251A JP2004325308A JP2004325308A JP2006135251A JP 2006135251 A JP2006135251 A JP 2006135251A JP 2004325308 A JP2004325308 A JP 2004325308A JP 2004325308 A JP2004325308 A JP 2004325308A JP 2006135251 A JP2006135251 A JP 2006135251A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- substrate support
- phase change
- substrate
- crystallization apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60G—VEHICLE SUSPENSION ARRANGEMENTS
- B60G11/00—Resilient suspensions characterised by arrangement, location or kind of springs
- B60G11/26—Resilient suspensions characterised by arrangement, location or kind of springs having fluid springs only, e.g. hydropneumatic springs
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60G—VEHICLE SUSPENSION ARRANGEMENTS
- B60G2202/00—Indexing codes relating to the type of spring, damper or actuator
- B60G2202/10—Type of spring
- B60G2202/15—Fluid spring
- B60G2202/152—Pneumatic spring
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60G—VEHICLE SUSPENSION ARRANGEMENTS
- B60G2204/00—Indexing codes related to suspensions per se or to auxiliary parts
- B60G2204/40—Auxiliary suspension parts; Adjustment of suspensions
- B60G2204/43—Fittings, brackets or knuckles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60G—VEHICLE SUSPENSION ARRANGEMENTS
- B60G2206/00—Indexing codes related to the manufacturing of suspensions: constructional features, the materials used, procedures or tools
- B60G2206/01—Constructional features of suspension elements, e.g. arms, dampers, springs
- B60G2206/012—Hollow or tubular elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60G—VEHICLE SUSPENSION ARRANGEMENTS
- B60G2300/00—Indexing codes relating to the type of vehicle
- B60G2300/02—Trucks; Load vehicles
- B60G2300/024—Light trucks
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60G—VEHICLE SUSPENSION ARRANGEMENTS
- B60G2600/00—Indexing codes relating to particular elements, systems or processes used on suspension systems or suspension control systems
- B60G2600/22—Magnetic elements
- B60G2600/26—Electromagnets; Solenoids
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60Y—INDEXING SCHEME RELATING TO ASPECTS CROSS-CUTTING VEHICLE TECHNOLOGY
- B60Y2200/00—Type of vehicle
- B60Y2200/10—Road Vehicles
- B60Y2200/11—Passenger cars; Automobiles
- B60Y2200/116—Ambulances
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60Y—INDEXING SCHEME RELATING TO ASPECTS CROSS-CUTTING VEHICLE TECHNOLOGY
- B60Y2200/00—Type of vehicle
- B60Y2200/10—Road Vehicles
- B60Y2200/14—Trucks; Load vehicles, Busses
- B60Y2200/141—Light trucks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Recrystallisation Techniques (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
Abstract
【解決手段】 大出力レーザによる加熱結晶化を行う。シリコンウェハ8の搬送は、1方向の搬送を基本とする。その搬送方向に垂直な方向にレーザヘッド6を往復運動させてレーザ照射する。回転運動を加えてもよい。ウェハ受け9周辺部にウェハを位置決めする立ち上がり部分が有り、その一部に横からウェハを持ち上げる操作部が入る切り欠きを持つ。レーザスポット面積と照射時間を所定の範囲内とする。装置の一部が真空製膜装置の中にあってもよい。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明に係る直線走査型レーザ結晶化装置の一実施形態の概略図である。
装置の構成は実施例1と同様であるが、シリコンウェハと搬送機構は複数の真空室を持つスパッタリングによる製膜装置の1室に収めた。光ヘッドは真空室外に有り、ビームスポット位置を変えられるガラス窓を通してレーザ光を照射した。光ヘッドを真空内に入れ、電源ケーブルや冷却水管を真空外から接続しても良い。
Claims (11)
- レーザ光源と、
シリコン基板上に相変化膜が設けられた段階の相変化メモリのプロセス基板を保持する基板支持部と、
前記レーザ光源から出射したレーザ光を前記基板支持部に保持されたシリコン基板上の相変化膜に収束して照射するレーザヘッドとを備え、
レーザ照射によって前記相変化膜を初期結晶化することを特徴とするレーザ初期結晶化装置。 - 請求項1記載のレーザ初期結晶化装置において、前記レーザヘッドから前記基板支持部に保持されたプロセス基板に照射されるレーザ光は、スポット面積が10-6cm2以上10-3cm2以下であり、プロセス基板上の各位置に対するレーザ照射時間が0.1μs以上1ms以下となるように前記基板支持部と前記レーザヘッドを相対的に駆動することを特徴とするレーザ初期結晶化装置。
- 請求項2記載のレーザ初期結晶化装置において、前記基板支持部に保持されたプロセス基板上でレーザスポットの形状が変化しないようにするオートフォーカス機構を有することを特徴とするレーザ初期結晶化装置。
- 請求項1記載のレーザ初期結晶化装置において、前記基板支持部はプロセス基板を着脱するウェハ操作機構の爪を差し込むことができる基板受け部を有することを特徴とするレーザ初期結晶化装置。
- 請求項1記載のレーザ初期結晶化装置において、透明窓を有する真空室を有する成膜装置を備え、前記基板支持部は前記真空室内に設けられ、前記レーザヘッドは前記真空室外に設けられていることを特徴とするレーザ初期結晶化装置。
- レーザ光源と、
シリコン基板上に相変化膜が設けられた段階の相変化メモリのプロセス基板を保持する基板支持部と、
前記レーザ光源から出射したレーザ光を前記基板支持部に保持されたプロセス基板上の相変化膜に収束して照射するレーザヘッドと、
前記基板支持部と前記レーザヘッドを相対的に駆動する相対駆動手段とを備え、
レーザ照射によって前記相変化膜を初期結晶化することを特徴とするレーザ初期結晶化装置。 - 請求項6記載のレーザ初期結晶化装置において、前記相対駆動手段は前記基板支持部を一方向に駆動する手段と前記レーザヘッドを前記基板支持部の駆動方向に交差する方向に往復駆動する手段を有することを特徴とするレーザ初期結晶化装置。
- 請求項6記載のレーザ初期結晶化装置において、前記相対駆動手段は前記基板支持部を回転駆動する手段と前記レーザヘッドを前記基板支持部の回転中心の方向に駆動する手段を有することを特徴とするレーザ初期結晶化装置。
- 請求項8記載のレーザ初期結晶化装置において、前記基板支持部に保持されたプロセス基板の中心からの距離により同心円状にレーザ光の照射条件を変えることを特徴とするレーザ初期結晶化装置。
- レーザ光源と、
シリコン基板上に相変化膜が設けられた段階の相変化メモリのプロセス基板を保持する基板支持部と、
前記レーザ光源から出射したレーザ光を前記基板支持部に保持されたプロセス基板上の相変化膜に収束して照射するレーザヘッドと、
前記基板支持部と前記レーザヘッドを相対的に駆動する相対駆動手段と、
前記基板支持部に対して前記レーザヘッドと反対側に、プロセス基板のレーザ光照射位置の裏面に照準した赤外光センサと、
前記赤外光センサの出力に基づいて前記レーザ光源の出力、レーザパルス周波数、レーザパルスデューティ及び/又は前記相対駆動手段による前記基板支持部又は前記レーザヘッドの駆動速度を制御する制御部とを備え、
レーザ照射によって前記相変化膜を初期結晶化することを特徴とするレーザ初期結晶化装置。 - 請求項10記載のレーザ初期結晶化装置において、前記赤外光センサの出力と前記制御部による制御量との関係を記憶したメモリを備えることを特徴とするレーザ初期結晶化装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004325308A JP2006135251A (ja) | 2004-11-09 | 2004-11-09 | レーザ結晶化装置 |
KR1020050010324A KR101100441B1 (ko) | 2004-11-09 | 2005-02-04 | 레이저 초기 결정화 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004325308A JP2006135251A (ja) | 2004-11-09 | 2004-11-09 | レーザ結晶化装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006135251A true JP2006135251A (ja) | 2006-05-25 |
JP2006135251A5 JP2006135251A5 (ja) | 2007-06-28 |
Family
ID=36728495
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004325308A Pending JP2006135251A (ja) | 2004-11-09 | 2004-11-09 | レーザ結晶化装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006135251A (ja) |
KR (1) | KR101100441B1 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009020927A (ja) * | 2007-07-10 | 2009-01-29 | Hitachi Computer Peripherals Co Ltd | 相変化方法及び相変化装置 |
KR101001551B1 (ko) * | 2008-06-18 | 2010-12-17 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 레이저 어닐링 장치 |
JP2015520507A (ja) * | 2012-07-25 | 2015-07-16 | シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント カンパニー リミティド | レーザアニーリング装置及びレーザアニーリング方法 |
JP2018049897A (ja) * | 2016-09-21 | 2018-03-29 | 株式会社日本製鋼所 | レーザ照射装置、レーザ照射方法、及び半導体装置の製造方法 |
JP2021077904A (ja) * | 2021-01-21 | 2021-05-20 | 株式会社日本製鋼所 | レーザ照射装置 |
JPWO2021131711A1 (ja) * | 2019-12-26 | 2021-07-01 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100810633B1 (ko) * | 2006-05-17 | 2008-03-06 | 삼성에스디아이 주식회사 | 레이저 조사장치, 레이저 결정화 장치 및 그를 이용한결정화 방법 |
JP2008093682A (ja) * | 2006-10-10 | 2008-04-24 | Tokyo Electron Ltd | レーザ発光装置の位置調整方法 |
KR100939679B1 (ko) * | 2007-12-11 | 2010-02-03 | (주)가하 | 자동 초점 조절 장치 및 그 방법 |
JP6602207B2 (ja) * | 2016-01-07 | 2019-11-06 | 株式会社ディスコ | SiCウエーハの生成方法 |
DE102016116241A1 (de) * | 2016-08-31 | 2018-03-01 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zum bearbeiten eines wafers und verfahren zum bearbeiten eines trägers |
KR102000015B1 (ko) * | 2017-05-18 | 2019-07-17 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
KR102117355B1 (ko) * | 2018-09-27 | 2020-06-02 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55150238A (en) * | 1979-05-10 | 1980-11-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method of irradiating laser beam |
JPS58197816A (ja) * | 1982-05-14 | 1983-11-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 薄膜結晶の製造方法 |
JPS61179524A (ja) * | 1985-02-04 | 1986-08-12 | Toshiba Corp | 多結晶シリコン膜の単結晶方法 |
JPS62222442A (ja) * | 1986-03-22 | 1987-09-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 書換型光記録媒体 |
JPH0227731A (ja) * | 1988-07-15 | 1990-01-30 | Seiko Epson Corp | 半導体装置 |
JPH06232271A (ja) * | 1993-01-29 | 1994-08-19 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 結線材料及び入出力制御方法 |
JPH0724587A (ja) * | 1993-07-13 | 1995-01-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ照射装置 |
JPH1126393A (ja) * | 1997-07-09 | 1999-01-29 | Sanyo Electric Co Ltd | レーザーアニール装置 |
JP2002299279A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Iwate Prefecture | レーザー加熱装置及びレーザー加熱方法 |
JP2003234288A (ja) * | 2002-02-07 | 2003-08-22 | Sony Corp | 多結晶半導体膜と半導体素子の製造方法及び製造装置 |
WO2003089184A1 (en) * | 2002-04-18 | 2003-10-30 | Applied Materials, Inc. | Thermal flux processing by scanning electromagnetic radiation |
JP2004103628A (ja) * | 2002-09-05 | 2004-04-02 | Hitachi Ltd | レーザアニール装置及びtft基板のレーザアニール方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003332257A (ja) | 2002-05-17 | 2003-11-21 | Fujitsu Ltd | 半導体結晶化方法及び装置 |
-
2004
- 2004-11-09 JP JP2004325308A patent/JP2006135251A/ja active Pending
-
2005
- 2005-02-04 KR KR1020050010324A patent/KR101100441B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55150238A (en) * | 1979-05-10 | 1980-11-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method of irradiating laser beam |
JPS58197816A (ja) * | 1982-05-14 | 1983-11-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 薄膜結晶の製造方法 |
JPS61179524A (ja) * | 1985-02-04 | 1986-08-12 | Toshiba Corp | 多結晶シリコン膜の単結晶方法 |
JPS62222442A (ja) * | 1986-03-22 | 1987-09-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 書換型光記録媒体 |
JPH0227731A (ja) * | 1988-07-15 | 1990-01-30 | Seiko Epson Corp | 半導体装置 |
JPH06232271A (ja) * | 1993-01-29 | 1994-08-19 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 結線材料及び入出力制御方法 |
JPH0724587A (ja) * | 1993-07-13 | 1995-01-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ照射装置 |
JPH1126393A (ja) * | 1997-07-09 | 1999-01-29 | Sanyo Electric Co Ltd | レーザーアニール装置 |
JP2002299279A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Iwate Prefecture | レーザー加熱装置及びレーザー加熱方法 |
JP2003234288A (ja) * | 2002-02-07 | 2003-08-22 | Sony Corp | 多結晶半導体膜と半導体素子の製造方法及び製造装置 |
WO2003089184A1 (en) * | 2002-04-18 | 2003-10-30 | Applied Materials, Inc. | Thermal flux processing by scanning electromagnetic radiation |
JP2004103628A (ja) * | 2002-09-05 | 2004-04-02 | Hitachi Ltd | レーザアニール装置及びtft基板のレーザアニール方法 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009020927A (ja) * | 2007-07-10 | 2009-01-29 | Hitachi Computer Peripherals Co Ltd | 相変化方法及び相変化装置 |
KR101001551B1 (ko) * | 2008-06-18 | 2010-12-17 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 레이저 어닐링 장치 |
JP2015520507A (ja) * | 2012-07-25 | 2015-07-16 | シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント カンパニー リミティド | レーザアニーリング装置及びレーザアニーリング方法 |
US9455164B2 (en) | 2012-07-25 | 2016-09-27 | Shanghai Micro Electronics Equipment Co., Ltd. | Laser annealing apparatus and laser annealing method |
JP2018049897A (ja) * | 2016-09-21 | 2018-03-29 | 株式会社日本製鋼所 | レーザ照射装置、レーザ照射方法、及び半導体装置の製造方法 |
JPWO2021131711A1 (ja) * | 2019-12-26 | 2021-07-01 | ||
WO2021131711A1 (ja) * | 2019-12-26 | 2021-07-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法及び基板処理装置 |
JP7304433B2 (ja) | 2019-12-26 | 2023-07-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法及び基板処理装置 |
JP2021077904A (ja) * | 2021-01-21 | 2021-05-20 | 株式会社日本製鋼所 | レーザ照射装置 |
JP7159363B2 (ja) | 2021-01-21 | 2022-10-24 | Jswアクティナシステム株式会社 | レーザ照射装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101100441B1 (ko) | 2011-12-29 |
KR20060041687A (ko) | 2006-05-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101100441B1 (ko) | 레이저 초기 결정화 장치 | |
US7254056B2 (en) | Apparatus for optically pre-programming electrically-programmable phase-change memory devices | |
JP2006140395A (ja) | 半導体メモリおよびその製造方法 | |
US7459321B2 (en) | Method of storing a data bit in a fast-write alloy | |
TWI228714B (en) | Optical information recording medium, method for manufacturing the same, and initialization device | |
US7558187B2 (en) | Apparatus and method of initializing phase-change optical disk | |
US6683275B2 (en) | Method and apparatus for fabricating phase-change recording medium | |
Sun | Phase Transformations and Switching of Chalcogenide Phase-change Material Films Prepared by Pulsed Laser Deposition | |
JP4014942B2 (ja) | 光学情報記録媒体とその製造方法および初期化装置 | |
JP2004310985A (ja) | 情報記録媒体及びこれを利用した光学装置 | |
JP4971060B2 (ja) | 相変化方法及び相変化装置 | |
JP4171461B2 (ja) | 光ディスクの初期化装置及び初期化方法 | |
JP2918234B2 (ja) | 情報記録媒体 | |
US8279736B2 (en) | Multilevel recording method and system thereof | |
JP2931987B2 (ja) | 可逆光ディスクの初期化方法 | |
JPH01113936A (ja) | 情報の記録用部材 | |
JPH03171427A (ja) | 相変化型情報記録媒体の初期結晶化方法 | |
JPH10308034A (ja) | 光ディスク記録再生装置 | |
JPH0676355A (ja) | 情報記録媒体 | |
JP2001126256A (ja) | 近接場光を用いる情報記録消去方法及び装置 | |
JPH0237528A (ja) | 光情報記録信号の消去装置 | |
JPH09256144A (ja) | 成膜方法および成膜装置 | |
JPH04247334A (ja) | 光記憶媒体及びこれを使用する光記憶装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070509 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070509 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101008 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101019 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101220 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110301 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110428 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20110606 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20110606 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20111004 |