JP2006133004A - 角速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、駆動振動用の駆動アームと屈曲振動用の屈曲アームとを有する振動子を備え、前記駆動アームおよび前記屈曲アームは枠体の一部に立設しており、前記駆動アームは少なくとも2つ立設するとともに、前記屈曲アームは前記枠体の一部と前記駆動アームとが連結する前記枠体の連結部間に立設した構成である。
【選択図】図1
Description
4 屈曲アーム
6 振動子
8 支持体
10 基台
12 枠体
14 角部
16 連結部
18 対向部
20 固定基部
22 接続部
24 振動吸収部
26 溝部
28 駆動用電極
30 圧電膜
32 モニタ用電極
34 基板
36 歪検知用電極
Claims (10)
- 駆動振動用の駆動アームと屈曲振動用の屈曲アームとを有する振動子を備え、前記駆動アームおよび前記屈曲アームは枠体の一部に立設しており、前記駆動アームは少なくとも2つ立設するとともに、前記屈曲アームは前記枠体の一部と前記駆動アームとが連結する前記枠体の連結部間に立設した角速度センサ。
- 前記枠体の連結部間と対向する前記枠体の対向部を固定用の固定基部とした請求項1記載の角速度センサ。
- 前記駆動アームと前記屈曲アームとは互いに反対方向に立設した請求項1記載の角速度センサ。
- 前記枠体の連結部間と対向する前記枠体の対向部を固定用の固定基部とし、前記屈曲アームを前記固定基部に向かって立設した請求項3記載の角速度センサ。
- 前記枠体の連結部間と、前記連結部間と対向する前記枠体の対向部とを接続する前記枠体の接続部には、前記枠体の振動を吸収する振動吸収部を形成した請求項1記載の角速度センサ。
- 前記振動吸収部は、前記枠体の接続部に凹部または溝部を設けて形成した請求項5記載の角速度センサ。
- 前記枠体は方形状であって、前記駆動アームは前記枠体の2つの角部間に設けた請求項1記載の角速度センサ。
- 前記駆動アームから前記角部までの距離と、前記駆動アームから前記連結部間の中心部までの距離とを略同等にした請求項7記載の角速度センサ。
- 前記枠体の連結部間の長さは前記屈曲アームの幅と略同等にした請求項1記載の角速度センサ。
- 前記屈曲アームの端部に錘部を設けた請求項1記載の角速度センサ。
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