JP2006130391A - Plasma reactor for gas treatment - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plasma reactor for gas treatment which has an increased length and an increased cross section of a plasma-generating region, is thereby capable of decomposition and purification of large amounts of harmful gases, is improved in adhesion of an electrode material to a dielectric and carries out plasma discharge effectively. <P>SOLUTION: This plasma reactor 4 decomposes and eliminates a harmful gas C passing through the plasma-generating region B formed by applying a voltage across a pair of electrodes E spaced apart with interposing the dielectric 5. The electrodes E are each formed by winding an electrode material 6 made of a strip like flat plate 7 or corrugated plate 8 on the outer circumference of the dielectric 5 having a circular cross-section, and the electrodes E are arranged concentrically. For example, three or more electrodes E are disposed in a plurality of layers, those having the same polarity are arranged alternately outward from the center to form the plasma-generating region B in two or more concentric layers. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、ガス処理用のプラズマリアクタに関する。すなわち、プラズマ発生領域を形成して、通過する有害ガスを分解浄化する、プラズマリアクタに関するものである。   The present invention relates to a plasma reactor for gas processing. That is, the present invention relates to a plasma reactor that forms a plasma generation region and decomposes and purifies the passing harmful gas.

《従来技術について》
図３の（３）図，（４）図は、この種従来例のプラズマリアクタを示し、（３）図は斜視図、（４）図は側断面図である。
排出規制対象ともなっている揮発性有機化合物ＶＯＣ，その他の有害物質を含有した有害ガスを分解浄化すべく、従来よりプラズマリアクタ１が使用されている。そして、この種のプラズマリアクタ１は、図示したように、中心電極である１次電極Ｆ１と、この１次電極Ｆ１の外側に間隔を存しつつ誘電体２を介して配設された２次電極Ｆ２と、を備えてなる。
そこで、１次電極Ｆ１と２次電極Ｆ２間に電圧を印加して、両者間でプラズマ放電させ、もって生起された低温プラズマのプラズマ発生領域Ａに、有害ガスを通過させることにより、含有された有害物質を分解除去していた。 《About conventional technology》
FIGS. 3 (3) and 3 (4) show this type of conventional plasma reactor, FIG. 3 (3) is a perspective view, and FIG. 4 (4) is a side sectional view.
Conventionally, a plasma reactor 1 has been used to decompose and purify harmful gases containing volatile organic compounds VOC and other harmful substances that are subject to emission control. As shown in the figure, this type of plasma reactor 1 includes a primary electrode F1 that is a central electrode, and a secondary electrode that is disposed outside the primary electrode F1 with a dielectric 2 interposed therebetween. And an electrode F2.
Therefore, a voltage was applied between the primary electrode F1 and the secondary electrode F2 to cause plasma discharge between the two, and the harmful gas was allowed to pass through the plasma generation region A of the low temperature plasma generated. Hazardous substances were decomposed and removed.

《先行技術文献情報》
このような従来例としては、例えば、次の特許文献１に示されたものが挙げられる。
特開２００３−３４０２７１号公報 《Information on prior art documents》
As such a conventional example, for example, the one disclosed in Patent Document 1 below can be cited.
JP 2003-340271 A

《問題点について》
ところで、このような従来例のガス処理用のプラズマリアクタ１については、多量の有害ガスを分解浄化することが困難である、という問題が指摘されていた。
すなわち、有害ガスを確実に分解浄化させるためには、プラズマ発生領域Ａにおいて、有害ガスをプラズマに十分に接触させることが必要である。つまり、有害ガスとプラズマとの接触が十分に確保され、接触時間も十分長く確保されることが必要である。
そこで、多量の有害ガスを分解浄化する場合には、少量の有害ガスを分解浄化する場合に比し、プラズマ発生領域Ａの断面積が大きいと共に長さも長いプラズマリアクタ１、つまり太くて長いプラズマリアクタ１が必要となる。しかしながら、この種従来例では、このように断面積が大きく長さも長いプラズマリアクタ１は、製造困難とされていた。 About the problem
By the way, regarding such a conventional plasma reactor 1 for gas treatment, it has been pointed out that it is difficult to decompose and purify a large amount of harmful gas.
That is, in order to reliably decompose and purify the harmful gas, it is necessary that the harmful gas is sufficiently brought into contact with the plasma in the plasma generation region A. That is, it is necessary that contact between the harmful gas and the plasma is sufficiently ensured and that the contact time is sufficiently long.
Therefore, in the case of decomposing and purifying a large amount of harmful gas, compared to the case of decomposing and purifying a small amount of harmful gas, the plasma reactor 1 having a large cross-sectional area and a long length in the plasma generation region A, that is, a thick and long plasma reactor. 1 is required. However, in this type of conventional example, the plasma reactor 1 having such a large cross-sectional area and a long length has been difficult to manufacture.

この点について、更に詳述する。まず、その１次電極Ｆ１と２次電極Ｆ２間の間隔距離を大きくし過ぎると、プラズマが発生しにくくなるので、プラズマ発生領域Ａの断面積を大きくすることには、限界があった。もって、小さな断面積のプラズマ発生領域Ａのプラズマリアクタ１しか製造されていなかった。
これに加え更に、プラズマ発生領域Ａの長さが長いプラズマリアクタも、製造が容易でなかった。すなわち一般的に、中心電極である１次電極Ｆ１は、円柱ロッド状の電極材３よりなり、外側の２次電極Ｆ２は、円筒パイプ状の誘電体２の外周に１枚の幅広面状の電極材３を被せた構造よりなるが、このような２次電極Ｆ２について、その誘電体２に電極材３を全体的，平均的に密着，止着することは容易でなかった。そこで、長さの長い２次電極Ｆ２そして長さの長いプラズマ発生領域Ａのプラズマリアクタ１を製造することは、実際上困難とされていた。
このように、この種従来例では、断面積が大きく長さも長いプラズマ発生領域Ａのプラズマリアクタ１、つまり太くて長いプラズマリアクタ１は、製造困難とされていた。つまり、断面積が小さく長さも短いプラズマリアクタ１しか製造されておらず、多量の有害ガスをそのまま供給して分解浄化することは、困難とされていた。 This point will be further described in detail. First, if the distance between the primary electrode F1 and the secondary electrode F2 is too large, plasma is hardly generated, and there is a limit to increasing the cross-sectional area of the plasma generation region A. Therefore, only the plasma reactor 1 in the plasma generation region A having a small cross-sectional area has been manufactured.
In addition, a plasma reactor having a long plasma generation region A is not easy to manufacture. That is, generally, the primary electrode F1 that is a central electrode is made of a cylindrical rod-shaped electrode material 3, and the outer secondary electrode F2 is formed on the outer periphery of the cylindrical pipe-shaped dielectric 2 with a single wide surface. Although it has a structure in which the electrode material 3 is covered, it is not easy to attach and fix the electrode material 3 to the dielectric 2 on the whole and on the average with respect to the secondary electrode F2. Therefore, it has been considered practically difficult to manufacture the long-length secondary electrode F2 and the long-length plasma generation region A plasma reactor 1.
Thus, in this type of conventional example, the plasma reactor 1 in the plasma generation region A having a large cross-sectional area and a long length, that is, a thick and long plasma reactor 1 has been difficult to manufacture. That is, only the plasma reactor 1 having a small cross-sectional area and a short length has been manufactured, and it has been difficult to decompose and purify by supplying a large amount of harmful gas as it is.

《本発明について》
本発明のガス処理用のプラズマリアクタは、このような実情に鑑み、上記従来例の課題を解決すべくなされたものである。
そして、その電極について、誘電体に帯状の電極材を螺旋状に巻き付けた構造を採用したこと、を特徴とする。更に、電極材に波板を用いたり、電極を同心円状に多重に配設したこと、を特徴とする。
もって本発明は、第１に、プラズマ発生領域の長さが増加し、第２に、プラズマ発生領域の断面積も増加し、第３に、誘電体への電極材の密着性が向上し、第４に、プラズマ放電が効果的に行われる、ガス処理用のプラズマリアクタを提案すること、を目的とする。 << About the present invention >>
In view of such a situation, the plasma reactor for gas treatment of the present invention has been made in order to solve the problems of the conventional example.
And the electrode employ | adopted the structure which wound the strip | belt-shaped electrode material around the dielectric material helically. Further, the present invention is characterized in that corrugated plates are used for the electrode material, or that the electrodes are arranged in multiple concentric circles.
Accordingly, the present invention firstly increases the length of the plasma generation region, secondly increases the cross-sectional area of the plasma generation region, and thirdly improves the adhesion of the electrode material to the dielectric, Fourthly, an object is to propose a plasma reactor for gas treatment in which plasma discharge is effectively performed.

《各請求項について》
このような課題を解決する本発明の技術的手段は、次のとおりである。まず、請求項１については次のとおり。
請求項１のガス処理用のプラズマリアクタは、誘電体を介し間隔を存して配設された対をなす電極間に電圧を印加し、形成されたプラズマ発生領域を通過する有害ガスを分解浄化する。そして該電極は、それぞれ断面円形の該誘電体の外周に、帯状の電極材を螺旋状に巻き付けた構造よりなり、相互間が同心円状に配設されていること、を特徴とする。
請求項２については次のとおり。請求項２のガス処理用のプラズマリアクタは、請求項１において、対をなす少なくとも一方の該電極が、その電極材として波板を用いてなること、を特徴とする。 <About each claim>
The technical means of the present invention for solving such a problem is as follows. First, claim 1 is as follows.
The plasma reactor for gas treatment according to claim 1 applies a voltage between a pair of electrodes arranged at intervals via a dielectric, and decomposes and purifies harmful gas passing through the formed plasma generation region. To do. Each of the electrodes has a structure in which a strip-shaped electrode material is spirally wound around the outer periphery of the dielectric having a circular cross section, and the electrodes are arranged concentrically.
Claim 2 is as follows. The plasma reactor for gas treatment according to claim 2 is characterized in that, in claim 1, at least one of the electrodes forming a pair uses a corrugated plate as its electrode material.

請求項３については次のとおり。請求項３のガス処理用のプラズマリアクタは、請求項１において、該電極が、少なくとも３個以上用いられ、略相似形をなし同心円状に多重に配設されると共に、同極のものが中心側から外側に交互に配されており、もって該電極間のプラズマ発生領域が、同心円の複数層状に形成されること、を特徴とする。
請求項４については次のとおり。請求項４のガス処理用のプラズマリアクタは、請求項１において、該電極間のプラズマ発生領域に、粒子状誘電体が充填されていること、を特徴とする。
請求項５については次のとおり。請求項５のガス処理用のプラズマリアクタは、請求項１において、中心の該電極が、請求項１の記載にかかわらず、帯状の該電極材を該誘電体に巻き付けた構造ではなく、代わりに、ロッド状やパイプ状の該電極材を用いた構造よりなること、を特徴とする。 Claim 3 is as follows. The plasma reactor for gas treatment according to claim 3 is the plasma reactor according to claim 1, wherein at least three of the electrodes are used, are substantially similar, are arranged in multiple concentric circles, and have the same polarity. The plasma generation regions between the electrodes are alternately formed from the side to the outside, and are formed in a plurality of concentric layers.
Claim 4 is as follows. A plasma reactor for gas treatment according to a fourth aspect is characterized in that, in the first aspect, a plasma generation region between the electrodes is filled with a particulate dielectric.
Claim 5 is as follows. The plasma reactor for gas treatment according to claim 5 is the plasma reactor according to claim 1, in which the central electrode is not a structure in which the strip-shaped electrode material is wound around the dielectric regardless of the description in claim 1, And a structure using the rod-like or pipe-like electrode material.

《作用について》
本発明のガス処理用のプラズマリアクタは、このようになっているので、次のようになる。
（１）このプラズマリアクタでは、電圧印加によりプラズマ放電して、プラズマ発生領域が形成され、通過する有害ガスが分解浄化される。
（２）そして各電極は、誘電体に帯状の電極材を螺旋状に巻き付けた構造よりなり、相互間が同心円状に配設され、波板製や平板製の電極材を用いてなる。なお中心電極は、これによらず、ロッド状やパイプ状の電極材を用いてもよい。
（３）又、３個以上の電極を、同極のものを交互に同心円状に多重に設ける構成が考えられ、この場合は、プラズマ発生領域が同心円の複数層状に形成される。更に、プラズマ発生領域に、粒子状誘電体を充填することも考えられる。 <About action>
Since the plasma reactor for gas treatment of the present invention is configured as described above, it is as follows.
(1) In this plasma reactor, plasma is discharged by applying a voltage, a plasma generation region is formed, and harmful gas passing therethrough is decomposed and purified.
(2) Each electrode has a structure in which a strip-shaped electrode material is spirally wound around a dielectric, and is disposed concentrically with each other, and is made of a corrugated or flat electrode material. The center electrode is not limited to this, and a rod-shaped or pipe-shaped electrode material may be used.
(3) A configuration in which three or more electrodes having the same polarity are alternately provided in multiple concentric circles is conceivable. In this case, the plasma generation region is formed in a plurality of concentric circular layers. It is also conceivable to fill the plasma generation region with a particulate dielectric.

（４）さてそこで、このプラズマリアクタによると、第１に、誘電体に帯状の電極材を螺旋状に巻き付けた電極を採用したので、電極材の両端部を誘電体に止着することにより、電極の長さが長くても、誘電体に電極材を確実に密着させることができる。もって、電極材の巻き数を増やすことにより、容易に電極を長くすることができ、多量の有害ガスを分解浄化可能な、長さの長いプラズマ発生領域のプラズマリアクタを、容易に製造可能である。
第２に、プラズマを発生可能な電極間の間隔距離には限界が存するが、電極を多重に配設して、プラズマ発生領域を複数層状に形成することにより、断面積を増加させることができる。もって、この面からも多量の有害ガスを分解浄化可能な、断面積の大きなプラズマ発生領域のプラズマリアクタを、容易に製造可能である。
第３に、このプラズマリアクタは、電極の電極材として波板を用いた場合は、スプリング効果により誘電体への密着性が向上して、電極間の間隔距離が均一に保持され、もってプラズマ放電が安定する。
第４に、更にプラズマ発生領域に粒子状誘電体を充填することにより、プラズマ発生量が増加し、プラズマ作用が持続し、有害ガス通過時間も長くなる。
又、電極間の間隔距離が近いポイントにおいて、プラズマが集中発生する傾向があるが、このプラズマリアクタでは、巻かれた帯状の電極材の両側縁や、波板製の電極材の頂部や谷部において、この電極間の間隔距離が近いポイントが形成される。もって、プラズマの集中発生ポイントが、規則的にバランス良く形成され、ランダムに偏在形成されることは回避される。 (4) Now, according to this plasma reactor, first, since an electrode in which a strip-shaped electrode material is spirally wound around the dielectric is adopted, by fixing both ends of the electrode material to the dielectric, Even if the length of the electrode is long, the electrode material can be reliably adhered to the dielectric. Therefore, by increasing the number of turns of the electrode material, the electrode can be lengthened easily, and a plasma reactor in a long plasma generation region that can decompose and purify a large amount of harmful gas can be easily manufactured. .
Second, although there is a limit to the distance between electrodes capable of generating plasma, the cross-sectional area can be increased by arranging the electrodes in multiple layers and forming the plasma generation region in a plurality of layers. . Therefore, a plasma reactor having a large cross-sectional area and capable of decomposing and purifying a large amount of harmful gas can be easily manufactured from this aspect.
Third, in the case of using a corrugated plate as the electrode material of the electrode, this plasma reactor improves the adhesion to the dielectric due to the spring effect, and the distance between the electrodes is uniformly maintained. Is stable.
Fourth, by further filling the plasma generation region with the particulate dielectric, the amount of plasma generation increases, the plasma action continues, and the harmful gas passage time becomes longer.
In addition, plasma tends to be concentrated at the point where the distance between the electrodes is short, but in this plasma reactor, both side edges of the wound strip-shaped electrode material, and the top and valley of the corrugated electrode material The point where the distance between the electrodes is short is formed. Therefore, the plasma concentration points are regularly formed in a well-balanced manner and are not randomly distributed.

《本発明の特徴》
本発明に係るガス処理用のプラズマリアクタは、このように電極について、誘電体に帯状の電極材を螺旋状に巻き付けた構造を採用したこと、を特徴とする。更に、電極材に波板を用いたり、電極を同心円状に多重に配設したこと、を特徴とする。
そこで本発明は、次の効果を発揮する。 <Features of the present invention>
The plasma reactor for gas treatment according to the present invention is characterized by adopting a structure in which a strip-shaped electrode material is spirally wound around a dielectric as described above. Further, the present invention is characterized in that corrugated plates are used for the electrode material, or that the electrodes are arranged in multiple concentric circles.
Therefore, the present invention exhibits the following effects.

《第１の効果》
第１に、プラズマ発生領域の長さが増加する。すなわち、本発明のプラズマリアクタでは、誘電体に電極材を螺旋状に巻き付けた電極を採用したので、容易に電極の長さを長くすることができる。
前述したこの種従来例、つまり誘電体に１枚の幅広面状の電極材を被せていたこの種従来例に比し、長さが長くても、誘電体に電極材を確実に密着させることができる。
そこで、前述したこの種従来例の長さの短いプラズマ発生領域のプラズマリアクタに比し、長さの長い電極つまりプラズマ発生領域の長さが増加したプラズマリアクタが、容易に製造可能となる。このプラズマリアクタは、多量の有害ガスを分解浄化可能である。 << First effect >>
First, the length of the plasma generation region increases. That is, in the plasma reactor of the present invention, an electrode in which an electrode material is spirally wound around a dielectric is employed, so that the length of the electrode can be easily increased.
Compared to this kind of conventional example, that is, this kind of conventional example in which a dielectric material is covered with one wide-surface electrode material, the electrode material is securely adhered to the dielectric material even if the length is long. Can do.
Therefore, it is possible to easily manufacture a plasma reactor in which the length of the long electrode, that is, the plasma generation region is increased as compared with the plasma reactor in the plasma generation region having a short length as described above. This plasma reactor can decompose and purify a large amount of harmful gas.

《第２の効果》
第２に、プラズマ発生領域の断面積も増加する。すなわち、本発明のプラズマリアクタは、電極を多重に配設することにより、プラズマ発生領域が同心円の複数層状に形成され、容易にその断面積を増加させることができる。単層構造の前述したこの種従来例に比し、断面積を大きく太くすることができる。
このように、この種従来例の断面積の小さなプラズマ発生領域よりなるプラズマリアクタに比し、プラズマ発生領域の断面積が増加したプラズマリアクタが、容易に製造可能となる。もって、このプラズマリアクタは、この面からも、多量の有害ガスを分解浄化可能となる。 << Second effect >>
Second, the cross-sectional area of the plasma generation region also increases. That is, in the plasma reactor of the present invention, the plasma generation region is formed in a plurality of concentric layers by arranging the electrodes in multiple layers, and the cross-sectional area can be easily increased. Compared to the conventional example of this type having a single-layer structure, the cross-sectional area can be greatly increased.
Thus, a plasma reactor having an increased cross-sectional area of the plasma generation region can be easily manufactured as compared with a plasma reactor having a plasma generation region having a small cross-sectional area of this type of conventional example. Therefore, this plasma reactor can decompose and purify a large amount of harmful gas also from this aspect.

《第３の効果》
第３に、誘電体への電極材の密着性が向上する。本発明のプラズマリアクタにおいて、波板製の電極材を用いると、誘電体への密着性が向上し、電極間の間隔距離が均一に保持される。そこで、安定したプラズマ放電が実現されるようになり、性能面に優れている。 《Third effect》
Third, the adhesion of the electrode material to the dielectric is improved. When the corrugated electrode material is used in the plasma reactor of the present invention, the adhesion to the dielectric is improved and the distance between the electrodes is kept uniform. Therefore, stable plasma discharge is realized, and the performance is excellent.

《第４の効果》
第４に、プラズマ放電が、効果的に行われるようになる。本発明のプラズマリアクタでは、プラズマ発生領域に粒子状誘電体を充填することにより、プラズマ発生量が増加し、プラズマ作用が維持され、有害ガス通過時間も延長される。
又、巻かれた電極材の帯状の側縁や、波板製の電極材の波の谷部等において、プラズマが集中発生するようになり、プラズマが集中発生するポイントが、規則的にバランス良く形成され、ランダムに偏在することなく形成されるようになる。
これらにより、このプラズマリアクタでは、プラズマ放電が効果的に行われ、有害ガスが効率よく分解浄化されるようになる。
このように、この種従来例に存した課題がすべて解決される等、本発明の発揮する効果は、顕著にして大なるものがある。 << 4th effect >>
Fourth, plasma discharge is effectively performed. In the plasma reactor of the present invention, by filling the plasma generation region with the particulate dielectric, the plasma generation amount is increased, the plasma action is maintained, and the harmful gas passage time is extended.
In addition, the plasma is concentrated at the strip-shaped side edges of the wound electrode material and the wave troughs of the corrugated electrode material, and the point where the plasma is concentrated is regularly balanced. It is formed without being unevenly distributed at random.
Thus, in this plasma reactor, plasma discharge is effectively performed, and harmful gases are efficiently decomposed and purified.
As described above, the effects exerted by the present invention are remarkably large, such as all the problems existing in this type of conventional example are solved.

《図面について》
以下、本発明のガス処理用のプラズマリアクタを、図面に示した発明を実施するための最良の形態に基づいて、詳細に説明する。
そして図１は、その第１実施例を示し、（１）図は、１次電極の斜視図、（２）図は、２次電極の斜視図、（３）図は、全体の正断面図である。図２は、その第２実施例を示し、（１）図は、全体の正断面図、（２）図は、全体の側断面図である。図３の（１）図は、平板の斜視図、（２）図は、波板の斜視図である。 《About drawing》
Hereinafter, the plasma reactor for gas treatment of the present invention will be described in detail based on the best mode for carrying out the invention shown in the drawings.
FIG. 1 shows the first embodiment, (1) FIG. 1 is a perspective view of a primary electrode, (2) FIG. 1 is a perspective view of a secondary electrode, and (3) FIG. It is. FIG. 2 shows the second embodiment, wherein (1) is a front sectional view of the whole, and (2) is a side sectional view of the whole. FIG. 3A is a perspective view of a flat plate, and FIG. 3B is a perspective view of a corrugated plate.

《プラズマリアクタ４の概要について》
まず、プラズマリアクタ４の概要について、図１の（３）図，図２の（１）図を参照して、説明する。このガス処理用のプラズマリアクタ４は、誘電体５を介し間隔を存して配設された、対をなす電極Ｅ間に電圧を印加し、形成されたプラズマ発生領域Ｂを通過する有害ガスＣを分解浄化する。
すなわち、このプラズマリアクタ４は、間隔を存して互いに絶縁され、放電極と接地極として対をなす内外の電極Ｅ間に、誘電体５が挟み込まれており、トランスで昇圧された高電圧の交流が印加される。もって、両電極Ｅ間でプラズマ放電させ、生起された低温プラズマにより、プラズマ発生領域Ｂを形成する。
そして、形成されたプラズマ発生領域Ｂに、有害ガスＣを滞留，通過させることにより、有害ガスＣ中に含有された有害物質を分解除去して、有害ガスＣを浄化する。
有害ガスＣとしては、例えば塩素系溶剤，その他の揮発性有機化合物を含有した排気ガスや、窒素酸化物，粒子状物質等を含有したディーゼルエンジンの排気ガスが、代表的である。そして、プラズマ放電により生起されたプラズマエネルギーの高速電子やイオンが、これらの有害物質と衝突，反応して、これらの有害物質を分解除去する。
プラズマリアクタ４は、概要このようになっている。 << About the outline of the plasma reactor 4 >>
First, an outline of the plasma reactor 4 will be described with reference to FIG. 1 (3) and FIG. 2 (1). In this plasma reactor 4 for gas treatment, a noxious gas C that passes through the formed plasma generation region B by applying a voltage between the paired electrodes E that are disposed with a gap through the dielectric 5. Decompose and purify.
That is, the plasma reactor 4 is insulated from each other with a gap, and the dielectric 5 is sandwiched between the inner and outer electrodes E which form a pair as a discharge electrode and a ground electrode, and a high voltage boosted by a transformer. An alternating current is applied. Accordingly, plasma is generated between the electrodes E, and a plasma generation region B is formed by the generated low temperature plasma.
Then, the harmful gas C is retained and passed through the formed plasma generation region B, whereby the harmful substances contained in the harmful gas C are decomposed and removed, and the harmful gas C is purified.
As the harmful gas C, for example, exhaust gas containing a chlorinated solvent and other volatile organic compounds, and exhaust gas of a diesel engine containing nitrogen oxide, particulate matter and the like are typical. Then, high-speed electrons and ions of plasma energy generated by the plasma discharge collide with and react with these harmful substances to decompose and remove these harmful substances.
The outline of the plasma reactor 4 is as described above.

《電極Ｅについて》
次に、このようなプラズマリアクタ４の電極Ｅについて、図１，図２，図３の（１）図，（２）図を参照して、説明する。この電極Ｅは、それぞれ断面円形の誘電体５の外周に、帯状の電極材Ｅを螺旋状に巻き付けた構造よりなる。
このような電極Ｅについて、更に詳述する。まず、電極Ｅの電極材６としては、例えばステンレス箔その他の金属箔製の１枚の細帯状をなす、平板７（図３の（１）図を参照）や波板８（図３の（２）図を参照）が、使用される。波板８は、波形の凹凸が、短手方向に直線的に平行で、長手方向に繰り返し連続的に、所定ピッチと高さで折曲形成されてなる。
電極Ｅの誘電体５としては、ガラス製が代表的であるが、セラミックス，アルミナ，樹脂等の誘電材料製のものも使用される。そして、誘電体５は断面円形をなし、通常は円筒パイプ状をなすが、中心電極である１次電極Ｅ１については、円柱ロッド状のものが使用されることが多い。
そして電極Ｅでは、帯状の電極材６が、誘電体５の外周に螺旋状に巻き付けられている。すなわち、図１の（１）図に示したように、巻き付けられた相互間に巻き間隔が存せず密に接して、螺旋状に巻き付けられるか、又は、図１の（２）図に示したように、巻き付けられた相互間に若干の巻き間隔を存しつつ、螺旋状に巻き付けられている。このような巻き間隔の存否については、適宜選択設定される。
又、電極材６として、平板７を使用するか波板８を使用するかも、適宜選択設定される。すべて平板７、又はすべて波板８とすることも可能であるが、対をなす一方が平板７で他方が波板８とする組み合わせも、代表的である。 <About electrode E>
Next, the electrode E of the plasma reactor 4 will be described with reference to FIGS. 1, 2 and 3 (1) and (2). The electrode E has a structure in which a strip-shaped electrode material E is spirally wound around the outer periphery of the dielectric 5 having a circular cross section.
Such an electrode E will be further described in detail. First, as the electrode material 6 of the electrode E, for example, a flat plate 7 (see FIG. 3A) and a corrugated plate 8 (see FIG. 2) see figure) is used. The corrugated plate 8 has corrugated irregularities that are linearly parallel to the short side direction and repeatedly bent continuously at a predetermined pitch and height in the longitudinal direction.
The dielectric 5 of the electrode E is typically made of glass, but those made of a dielectric material such as ceramics, alumina, and resin are also used. The dielectric 5 has a circular cross section and is generally a cylindrical pipe. However, the primary electrode E1 that is the central electrode is often a cylindrical rod.
In the electrode E, a strip-shaped electrode material 6 is spirally wound around the outer periphery of the dielectric 5. That is, as shown in FIG. 1 (1), there is no winding interval between the wound windings, and they are wound spirally, or shown in FIG. 1 (2). As described above, the coils are wound in a spiral shape with a slight winding interval between them. The presence or absence of such a winding interval is appropriately selected and set.
Whether the flat plate 7 or the corrugated plate 8 is used as the electrode material 6 is appropriately selected and set. It is possible to use all the flat plates 7 or all the corrugated plates 8, but a combination in which one of the pair is the flat plate 7 and the other is the corrugated plate 8 is also representative.

なお、中心電極である１次電極Ｅ１については、上述によらない構造が可能である。すなわち、中心の１次電極Ｅ１は、帯状の電極材６を誘電体５に巻き付けた構造ではなく、代わりに、ロッド状やパイプ状の電極材６を用いた構造としてもよい。
つまり、中心電極である１次電極Ｅ１については、２次電極Ｅ２との間に誘電体５が位置すればよく、平板７や波板８を使用することなく、ステンレス製その他の金属製の円柱ロッドや円筒パイプとしてもよい。
電極Ｅは、このようになっている。 In addition, about the primary electrode E1 which is a center electrode, the structure which is not based on the above-mentioned is possible. That is, the central primary electrode E1 may have a structure using a rod-shaped or pipe-shaped electrode material 6 instead of a structure in which the belt-shaped electrode material 6 is wound around the dielectric 5.
That is, for the primary electrode E1 that is the center electrode, the dielectric 5 only needs to be positioned between the secondary electrode E2, and the cylindrical plate made of stainless steel or other metal is used without using the flat plate 7 and the corrugated plate 8. It may be a rod or a cylindrical pipe.
The electrode E is like this.

《第１実施例について》
次に、図１の第１実施例について説明する。この第１実施例のプラズマリアクタ４は、単層タイプよりなる。そして、中心電極である１次電極Ｅ１の外側に、間隔を存し同心円状にこれと対をなす２次電極Ｅが、配されている。
このような第１実施例のプラズマリアクタ４について、更に詳述する。まず、中心電極である１次電極Ｅ１は、図１の（１）図に示したように、円柱ロッド状をなす樹脂製の誘電体５の外周に、帯状で平板７製の電極材６が、密に螺旋状に巻き付けられている。
２次電極Ｅ２は、図１の（２）図に示したように、１次電極Ｅ１より径大の円筒パイプ状をなすガラス製の誘電体５の外周に、帯状で平板７製（又は波板８製でもよい）の電極材６が、若干の相互巻き間隔を存しつつ、螺旋状に巻き付けられている。
そして、図１の（３）図に示したように、このような１次電極Ｅ１と２次電極Ｅ２とが、同心円状に配設され、相互間の間隔に単層のプラズマ発生領域Ｂが形成される。
第１実施例は、このようになっている。 << About the first embodiment >>
Next, the first embodiment of FIG. 1 will be described. The plasma reactor 4 of the first embodiment is of a single layer type. A secondary electrode E is arranged outside the primary electrode E1, which is the central electrode, and is paired with a concentric circle with a space therebetween.
The plasma reactor 4 of the first embodiment will be further described in detail. First, as shown in FIG. 1 (1), the primary electrode E1, which is the center electrode, has a belt-like electrode material 6 made of a flat plate 7 on the outer periphery of a resin dielectric 5 having a cylindrical rod shape. It is tightly wound in a spiral.
As shown in FIG. 1 (2), the secondary electrode E2 is a belt-shaped flat plate 7 (or a wave) on the outer periphery of a glass dielectric 5 having a cylindrical pipe shape larger in diameter than the primary electrode E1. The electrode material 6 (which may be made of a plate 8) is wound spirally with a slight interwinding interval.
As shown in FIG. 1 (3), the primary electrode E1 and the secondary electrode E2 are arranged concentrically, and a single-layer plasma generation region B is formed in the space between them. It is formed.
This is the first embodiment.

《第２実施例について》
次に、図２の第２実施例について説明する。この第２実施例のプラズマリアクタ４は、３層タイプよりなる。そして、電極Ｅが４個用いられており、略相似形をなし同心円状に多重に配設されると共に、同極のものが中心側から外側に交互に配されており、対をなす一方が平板７製で、他方が波板８製となっている。そしてプラズマ発生領域Ｂが、同心円で３層形成されている。
このような第２実施例のプラズマリアクタ４について、更に詳述する。まず、その１次電極Ｅ１や２次電極Ｅ２は、上述した第１実施例のものに準じるが、２次電極Ｅ２については、平板７製に代え波板８製の電極材６が使用されている。
３次電極Ｅ３は、２次電極Ｅ２より径大の円筒パイプ状をなすガラス製の誘電体５の外周に、１次電極Ｅ１と同様に帯状で平板７製の電極材６が、螺旋状に巻き付けられている。４次電極Ｅ４は、３次電極Ｅ３より更に径大の円筒パイプ状をなすガラス製の誘電体５の外周に、２次電極Ｅ２と同様に帯状で波板８製の電極材６が、螺旋状に巻き付けられている。
そして、このような１次電極Ｅ１，２次電極Ｅ２，３次電極Ｅ３，４次電極Ｅ４等が、等間隔の同心円状に多重に配設されている。これと共に、１次電極Ｅ１と３次電極Ｅ３とが、配線９にて同極に接続され、又、２次電極Ｅ２と４次電極Ｅ４とが、配線９にて１次電極Ｅ１や３次電極Ｅ３とは異極に接続されている。
もって、１次電極Ｅ１と２次電極Ｅ２間の間隔、２次電極Ｅ２と３次電極Ｅ３間の間隔、３次電極Ｅ３と４次電極Ｅ４間の間隔に、それぞれ、プラズマ発生領域Ｂが形成される。つまり、計３個のプラズマ発生領域Ｂが、それぞれ層状に形成される。
第２実施例は、このようになっている。 << About 2nd Example >>
Next, the second embodiment of FIG. 2 will be described. The plasma reactor 4 of the second embodiment is of a three-layer type. And four electrodes E are used, are substantially similar and are arranged in multiple concentric circles, and the same poles are alternately arranged from the center side to the outside. It is made of flat plate 7 and the other is made of corrugated plate 8. The plasma generation region B is formed in three concentric layers.
The plasma reactor 4 of the second embodiment will be described in further detail. First, the primary electrode E1 and the secondary electrode E2 are the same as those of the first embodiment described above, but the electrode material 6 made of corrugated plate 8 is used instead of the plate 7 for the secondary electrode E2. Yes.
The tertiary electrode E3 is a belt-like electrode material 6 made of a flat plate 7 in a spiral shape on the outer periphery of the glass dielectric 5 having a cylindrical pipe shape larger in diameter than the secondary electrode E2. It is wound. The quaternary electrode E4 has a strip-like electrode material 6 made of a corrugated plate 8 spirally formed on the outer periphery of a glass dielectric 5 in the shape of a cylindrical pipe having a diameter larger than that of the tertiary electrode E3. It is wound in a shape.
Such primary electrode E1, secondary electrode E2, tertiary electrode E3, quaternary electrode E4, and the like are arranged in multiple concentric circles at equal intervals. At the same time, the primary electrode E1 and the tertiary electrode E3 are connected to the same polarity by the wiring 9, and the secondary electrode E2 and the quaternary electrode E4 are connected by the wiring 9 to the primary electrode E1 and the tertiary electrode. The electrode E3 is connected to a different polarity.
Accordingly, a plasma generation region B is formed in the interval between the primary electrode E1 and the secondary electrode E2, the interval between the secondary electrode E2 and the tertiary electrode E3, and the interval between the tertiary electrode E3 and the quaternary electrode E4, respectively. Is done. That is, a total of three plasma generation regions B are formed in layers.
The second embodiment is as described above.

《その他》
なお第１に、上述した図２の第２実施例では、３層のプラズマ発生領域Ｂが形成されるが、本発明はこれに限定されるものではなく、２層，４層，その他多層のプラズマ発生領域Ｂを形成することも可能である。すなわち、３個以上の電極Ｅを、同心円状に多重に適宜組み合わせ数で採用することにより、各種複数層のプラズマ発生領域Ｂを形成可能である。
なお第２に、各電極Ｅ間のプラズマ発生領域Ｂに、粒子状誘電体５を充填するようにしてもよい。例えば、図１の第１実施例では、第１電極Ｅ１と第２電極Ｅ２間のプラズマ発生領域Ｂについて、図２の第２実施例では、更に第２電極Ｅ２と第３電極Ｅ３間のプラズマ発生領域Ｂ、第３電極Ｅ３と第４電極Ｅ４間のプラズマ発生領域Ｂについて、それぞれ、粒子状とされたアルミナその他の誘電材料を、充填しておく構成も考えられる。
なお第３に、図１，図２中、１０はカバーである。このカバー１０は、例えば円筒パイプ状のガラス製よりなり、最外周に配され、もって絶縁用や全体の位置決め保持用として用いられている。
なお第４に、カバー１０の両端部、つまり上流側と下流側の端部には、各電極Ｅを位置決め保持する放射クロス枠やＯリングが、付設されている。
このプラズマリアクタ４は、このようになっている。 <Others>
First, in the second embodiment of FIG. 2 described above, the three-layer plasma generation region B is formed. However, the present invention is not limited to this, and two-layer, four-layer, and other multilayers are formed. It is also possible to form the plasma generation region B. That is, various three or more plasma generation regions B can be formed by employing three or more electrodes E in a suitable combination in a concentric manner.
Second, the particulate dielectric 5 may be filled in the plasma generation region B between the electrodes E. For example, in the first embodiment of FIG. 1, the plasma generation region B between the first electrode E1 and the second electrode E2, and in the second embodiment of FIG. 2, further, the plasma between the second electrode E2 and the third electrode E3. A configuration is also conceivable in which the generation region B and the plasma generation region B between the third electrode E3 and the fourth electrode E4 are each filled with particulate alumina or other dielectric material.
Thirdly, in FIGS. 1 and 2, 10 is a cover. The cover 10 is made of, for example, a cylindrical pipe-shaped glass, and is disposed on the outermost periphery, and is used for insulation and for overall positioning and holding.
Fourth, a radiation cross frame and an O-ring for positioning and holding each electrode E are attached to both ends of the cover 10, that is, upstream and downstream ends.
The plasma reactor 4 is as described above.

《作用等》
本発明のガス処理用のプラズマリアクタ４は、以上説明したように構成されている。そこで、以下のようになる。
（１）このプラズマリアクタ４では、誘電体５を介し間隔を存して配設された対をなす電極Ｅ間に、電圧を印加すると、→プラズマ放電により、プラズマ発生領域Ｂが形成される。→そして、形成されたプラズマ発生領域Ｂに、有害ガスＣを供給，通過させて、プラズマに接触させることにより、→有害ガスＣに含有された有害物質が、分解除去される。→もって、有害ガスＣが浄化されて排出される（図１の（３）図，図２の（１）図等を参照）。 《Action etc.》
The plasma reactor 4 for gas treatment of the present invention is configured as described above. Therefore, it becomes as follows.
(1) In this plasma reactor 4, when a voltage is applied between a pair of electrodes E arranged with a gap through a dielectric 5, a plasma generation region B is formed by plasma discharge. → Then, the harmful gas C is supplied to and passed through the formed plasma generation region B and brought into contact with the plasma, whereby the harmful substances contained in the harmful gas C are decomposed and removed. → Therefore, the harmful gas C is purified and discharged (see FIG. 1 (3), FIG. 2 (1), etc.).

（２）そして、このプラズマリアクタ４の各電極Ｅは、それぞれ断面円形の誘電体５の外周に、帯状の電極材６を螺旋状に巻き付けた構造よりなり、相互間が同心円状に配設されている（図１，図２を参照）。又、これらの電極Ｅは、電極材６として平板７や波板８が用いられている（図３の（１）図，（２）図も参照）。
なお、中心電極である第１電極Ｅ１は、このように、帯状の電極材６を誘電体５に巻き付けた構造ではなく、代わりに、ロッド状やパイプ状の電極材６を用いた構造としてもよい。 (2) Each electrode E of the plasma reactor 4 has a structure in which a strip-shaped electrode material 6 is spirally wound around the outer periphery of a dielectric 5 having a circular cross section, and is arranged concentrically between each other. (See FIGS. 1 and 2). In addition, these electrodes E use a flat plate 7 and a corrugated plate 8 as the electrode material 6 (see also FIG. 3 (1) and FIG. 2 (2)).
The first electrode E1, which is the center electrode, does not have a structure in which the strip-shaped electrode material 6 is wound around the dielectric 5 as described above, but instead has a structure using a rod-shaped or pipe-shaped electrode material 6. Good.

（３）又、このプラズマリアクタ４については、電極Ｅを少なくとも３個以上用いる構成が考えられる（例えば、図２の第２実施例を参照）。すなわち、略相似形をなす電極Ｅを、同心円状に多重に配設すると共に、同極のものを、中心側から外側に交互に配する構成が考えられ、この場合には、プラズマ発生領域Ｂが、同心円の複数層状に形成される。
更に、電極Ｅ間のプラズマ発生領域Ｂに、粒子状誘電体を充填する構成も考えられる。 (3) The plasma reactor 4 may be configured to use at least three electrodes E (for example, see the second embodiment in FIG. 2). That is, a configuration is possible in which electrodes E having substantially similar shapes are arranged concentrically in multiple layers, and those having the same polarity are alternately arranged from the center side to the outside. In this case, the plasma generation region B is considered. Are formed in a plurality of concentric layers.
Furthermore, the structure which fills the plasma generation area | region B between the electrodes E with a particulate dielectric material is also considered.

（４）さてそこで、本発明のガス処理用のプラズマリアクタ４によると、次の第１，第２，第３，第４のようになる。
第１に、このプラズマリアクタ４は、電極Ｅとして、誘電体５に帯状の電極材６を螺旋状に巻き付けた構造のものを、採用したので、→巻かれた電極材６の両端部を、それぞれ誘電体５に対し、例えばバンド等にて止着することにより、→電極Ｅの長さが長くても、誘電体５に対し電極材６を全体的，平均的に、確実に密着させることができる。
そこで、→電極材６の巻き数を増やすことにより、容易に、電極Ｅの長さを長くすることができる。→もって有害ガスＣを、プラズマに十分に時間も長く接触させることが可能となり、→多量の有害ガスＣを分解浄化可能な、プラズマ発生領域Ｂの長さの長いプラズマリアクタ４が、容易に製造可能である。 (4) Now, according to the plasma reactor 4 for gas treatment of the present invention, the following first, second, third and fourth are obtained.
First, since this plasma reactor 4 employs a structure in which a strip-shaped electrode material 6 is spirally wound around a dielectric 5 as an electrode E, → both ends of the wound electrode material 6 are Each electrode 5 is securely attached to the dielectric 5 by, for example, a band or the like, so that the electrode material 6 is adhered to the dielectric 5 on the whole and on the average even if the electrode E is long. Can do.
Therefore, by increasing the number of turns of the electrode material 6, the length of the electrode E can be easily increased. → Harmful gas C can be brought into contact with the plasma for a sufficiently long time. → Plasma reactor 4 having a long plasma generation region B that can decompose and purify a large amount of harmful gas C is easily manufactured. Is possible.

第２に、このプラズマリアクタ４は、電極Ｅを、同極のものを交互に配しつつ、同心円状に多重に配設したことにより、→プラズマ発生領域Ｂが、同心円の複数層状に形成され、→もって容易に、その断面積を増加させることができる。
すなわち、プラズマ放電によりプラズマを発生可能な電極Ｅ間の間隔距離寸法には、自ずと限界が存するが、→このように、電極Ｅを多重に組合せて、プラズマ発生領域Ｂを多層化することにより、→その断面積を、広く大きくすることができる。
→もってこの面からも、有害ガスＣをプラズマに十分かつ確実に接触させることが可能となり、→多量の有害ガスＣを分解浄化可能な、断面積の増加したプラズマリアクタが、容易に製造可能である。 Secondly, in this plasma reactor 4, the electrodes E are alternately arranged with the same polarity, and are arranged in multiple concentric circles so that the plasma generation region B is formed in a plurality of concentric layers. →, the cross-sectional area can be easily increased.
That is, there is a limit to the distance between the electrodes E that can generate plasma by plasma discharge, but in this way, by combining the electrodes E in multiple layers, the plasma generation region B is multilayered. → The cross-sectional area can be increased widely.
→ From this aspect, it is possible to bring the harmful gas C into sufficient and reliable contact with the plasma. → A plasma reactor with an increased cross-sectional area that can decompose and purify a large amount of the harmful gas C can be easily manufactured. is there.

第３に、このプラズマリアクタ４では、多くの場合、電極Ｅの電極材６として、波板８が部分的又は全体的に用いられている。→そしてその場合には、波板８のスプリング効果により、電極材６の誘電体５への密着性が向上し、たるみ等の発生が防止されるので、→電極Ｅ間の間隔距離寸法が、均一に保持される。
特に、前述したように電極Ｅの長さを長くすべく、帯状の電極材６の巻き数を増やすと、→電極材６が、たるみ等を起こし易いが、→波板８製の電極材６の採用により、これらは解消される。→もって、電極Ｅ間の間隔距離寸法が均一保持され、プラズマ放電が安定する。 Thirdly, in this plasma reactor 4, in many cases, the corrugated plate 8 is used partially or entirely as the electrode material 6 of the electrode E. → And in that case, due to the spring effect of the corrugated plate 8, the adhesion of the electrode material 6 to the dielectric 5 is improved and the occurrence of sagging is prevented. Evenly held.
In particular, when the number of turns of the strip-shaped electrode material 6 is increased to increase the length of the electrode E as described above, the electrode material 6 is likely to sag, but the electrode material 6 made of the corrugated plate 8 These are eliminated by adopting. → Thus, the distance between the electrodes E is kept uniform, and the plasma discharge is stabilized.

第４に、このプラズマリアクタ４では、電極Ｅ間のプラズマ発生領域Ｂに、粒子状誘電体を充填することにより、→プラズマ放電がより活発化し、プラズマ発生量が増加する。しかも、発生したプラズマが長持ちし、その作用がより持続化する。更に、有害ガスＣの通過時間・滞留時間も、長くなる。
ところで、プラズマリアクタ４では、電極Ｅ間の間隔距離寸法が小さく近いポイントにおいて、プラズマ放電が活発化し、プラズマが集中して強く発生する傾向がある。→これに対し、このプラズマリアクタ４では、螺旋状に巻かれた帯状の電極材６の両側縁や、波板８製の電極材６の波の頂部や谷部において、このような、電極Ｅ間の間隔距離寸法が小さく近いポイントが形成されるようになる。
従って、→プラズマが集中発生するポイントが、直線的に，一定間隔で，繰り返し，規則的に、形成されるようになる。→すなわち、電極Ｅ間の芯ズレ，間隔距離寸法の不均一，電極材６のたるみや凹凸等に起因して、プラズマが集中発生するポイントが、ランダムに，不均一に，偏在して形成されることは、回避される。→プラズマが集中発生するポイントは、電極材６の側縁や波の頂部や谷部において、芯ズレ，間隔不均一，たるみや凹凸等に優先して形成されるようになり、もって安定的に，バランス良く形成される。 Fourthly, in this plasma reactor 4, by filling the plasma generation region B between the electrodes E with the particulate dielectric, the plasma discharge becomes more active and the plasma generation amount increases. In addition, the generated plasma lasts longer, and its action is further sustained. Furthermore, the passage time and residence time of the harmful gas C are also increased.
By the way, in the plasma reactor 4, plasma discharge is activated at a point where the distance between the electrodes E is small, and the plasma tends to be concentrated and strongly generated. On the other hand, in this plasma reactor 4, such an electrode E is formed at both side edges of the strip-shaped electrode material 6 wound in a spiral shape, and at the top and valley of the wave of the electrode material 6 made of the corrugated plate 8. A point having a small interval distance dimension is formed.
Therefore, points where plasma is concentrated are formed linearly, repeatedly at regular intervals, and regularly. → In other words, the points where plasma is concentrated due to the misalignment between the electrodes E, the non-uniformity of the distance between the electrodes E, the slack or unevenness of the electrode material 6 are randomly and unevenly formed. Is avoided. → Plasma concentration occurs at the side edges of the electrode material 6 and the top and valleys of the wave, with priority given to misalignment, uneven spacing, sagging and irregularities, and so on. , Well formed.

本発明に係るガス処理用のプラズマリアクタについて、発明を実施するための最良の形態の説明に供し、その第１実施例を示し、（１）図は、１次電極の斜視図、（２）図は、２次電極の斜視図、（３）図は、全体の正断面図である。The plasma reactor for gas treatment according to the present invention will be described for the best mode for carrying out the invention, and a first embodiment will be shown. (1) FIG. 1 is a perspective view of a primary electrode, (2) The figure is a perspective view of the secondary electrode, and (3) is a front sectional view of the whole. 同発明を実施するための最良の形態の説明に供し、その第２実施例を示し、（１）図は、全体の正断面図、（２）図は、全体の側断面図である。The second embodiment of the present invention will be described with reference to the best mode for carrying out the invention. (1) FIG. 1 is an overall front sectional view, and (2) is an overall side sectional view. （１）図は、平板の斜視図、（２）図は、波板の斜視図である。（３）図は、この種従来例のプラズマリアクタの斜視図、（４）図は、同側断面図である。(1) The figure is a perspective view of a flat plate, (2) The figure is a perspective view of a corrugated sheet. (3) is a perspective view of this type of conventional plasma reactor, and (4) is a sectional side view of the same.

符号の説明Explanation of symbols

１ プラズマリアクタ（従来例）
２ 誘電体（従来例）
３ 電極材（従来例）
４ プラズマリアクタ（本発明）
５ 誘電体（本発明）
６ 電極材（本発明）
７ 平板
８ 波板
９ 配線
１０ カバー
Ａ プラズマ発生領域（従来例）
Ｂ プラズマ発生領域（本発明）
Ｃ 有害ガス
Ｅ 電極
Ｅ１ １次電極（本発明）
Ｅ２ ２次電極（本発明）
Ｅ３ ３次電極
Ｅ４ ４次電極
Ｆ１ １次電極（従来例）
Ｆ２ ２次電極（従来例） 1 Plasma reactor (conventional example)
2 Dielectric (conventional example)
3 Electrode material (conventional example)
4 Plasma reactor (present invention)
5 Dielectric (Invention)
6 Electrode material (present invention)
7 Flat plate 8 Corrugated plate 9 Wiring 10 Cover A Plasma generation area (conventional example)
B Plasma generation region (present invention)
C Toxic Gas E Electrode E1 Primary Electrode (Invention)
E2 secondary electrode (present invention)
E3 tertiary electrode E4 quaternary electrode F1 primary electrode (conventional example)
F2 secondary electrode (conventional example)

Claims (5)

誘電体を介し間隔を存して配設された対をなす電極間に電圧を印加し、形成されたプラズマ発生領域を通過する有害ガスを分解浄化する、ガス処理用のプラズマリアクタであって、
該電極は、それぞれ断面円形の該誘電体の外周に、帯状の電極材を螺旋状に巻き付けた構造よりなり、相互間が同心円状に配設されていること、を特徴とするガス処理用のプラズマリアクタ。 A plasma reactor for gas treatment, in which a voltage is applied between a pair of electrodes arranged at intervals via a dielectric to decompose and purify harmful gas passing through a formed plasma generation region,
Each of the electrodes has a structure in which a strip-shaped electrode material is spirally wound around the outer periphery of the dielectric having a circular cross section, and the electrodes are disposed concentrically with each other. Plasma reactor. 請求項１に記載したガス処理用のプラズマリアクタにおいて、対をなす少なくとも一方の該電極は、その電極材として波板を用いてなること、を特徴とするガス処理用のプラズマリアクタ。   2. The plasma reactor for gas treatment according to claim 1, wherein at least one of the electrodes forming a pair uses a corrugated plate as the electrode material. 請求項１に記載したガス処理用のプラズマリアクタにおいて、該電極は、少なくとも３個以上用いられ、略相似形をなし同心円状に多重に配設されると共に、同極のものが中心側から外側に交互に配されており、もって該電極間のプラズマ発生領域が、同心円の複数層状に形成されること、を特徴とするガス処理用のプラズマリアクタ。   2. The plasma reactor for gas treatment according to claim 1, wherein at least three or more electrodes are used, are substantially similar and are arranged in multiple concentric circles, and those having the same polarity are located outside from the center side. A plasma reactor for gas treatment, characterized in that the plasma generation regions between the electrodes are alternately formed in a plurality of concentric layers. 請求項１に記載したガス処理用のプラズマリアクタにおいて、該電極間のプラズマ発生領域に、粒子状誘電体が充填されていること、を特徴とするガス処理用のプラズマリアクタ。   The plasma reactor for gas treatment according to claim 1, wherein a plasma generation region between the electrodes is filled with a particulate dielectric. 請求項１に記載したガス処理用のプラズマリアクタにおいて、中心の該電極は、請求項１の記載にかかわらず、帯状の該電極材を該誘電体に巻き付けた構造ではなく、代わりに、ロッド状やパイプ状の該電極材を用いた構造よりなること、を特徴とするガス処理用のプラズマリアクタ。   In the plasma reactor for gas treatment according to claim 1, the center electrode is not a structure in which the belt-like electrode material is wound around the dielectric material, but instead is a rod-like shape, regardless of the description in claim 1. A plasma reactor for gas treatment, characterized by comprising a structure using a pipe-like electrode material.
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