JP2006110607A - レーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 レーザ照射レンズ32を昇降ステージ28に保持させて昇降可能とすると共に、レーザ照射レンズの先端部分に、押え部材34を一緒に昇降するように設け、その押え部材34でメタルマスク1を押えてフレーム3に密着させると共にレーザ照射レンズ32のメタルマスク1からの距離を一定に保ち、焦点ずれを生じることなく良好なレーザ溶接を可能とする。
【選択図】 図2
Description
2 マスク部
3 フレーム
4 開口
5 易切断線
8 蒸着マスク装置
10 メタルマスク貼り付け装置
11 支持台
12 X、Y、θステージ
13 テンションユニット
15 ベース部材
16 直動案内
17 クランプ
17a 固定爪
17b 可動爪
18 駆動手段(エアシリンダ)
20 フレーム支え
22 側枠
23 移動台
24 X−Yステージ
25 レーザ加工装置
27 昇降ポスト
28 昇降ステージ
29 光ファイバ
30 レーザ
32 レーザ照射レンズ
34 押え部材
34a 円筒部
34b カバー部
34c 押え部
34d 押え面
36 開口
37 回転装置
38 スポット溶接部
39 軸受
Claims (5)
- レーザを照射するレーザ照射レンズと、該レーザ照射レンズを保持して昇降する昇降ステージと、前記レーザ照射レンズの先端部分に、該レーザ照射レンズと一緒に昇降するように設けられた押え部材とを備え、該押え部材が、先端に、前記レーザ照射レンズによるレーザのスポットを取り囲む位置で加工対象物を押え付けるための押え面を有すると共に該押え面で前記加工対象物を押えた時に前記レーザ照射レンズが前記加工対象物に対するレーザ加工に適した位置となるように前記押え面のレーザ照射レンズに対する位置を定めていることを特徴とするレーザ加工装置。
- 前記押え部材が、前記レーザ照射レンズからのレーザ照射範囲を取り囲むよう先端に向かって細くなる円錐状の遮光性のカバー部を備えていることを特徴とする請求項1記載のレーザ加工装置。
- 前記押え部材に形成している円錐状のカバー部の一部に、開口を形成していることを特徴とする請求項2記載のレーザ加工装置。
- 前記押え部材が、前記カバー部に形成している開口の向きを変えることができるよう、前記レーザ照射レンズに対して回転可能であることを特徴とする請求項3記載のレーザ加工装置。
- 前記昇降ステージに前記押え部材を回転させる回転装置が設けられていることを特徴とする請求項4記載のレーザ加工装置。
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