JP2006103254A - ノズルプレートの製造方法、ノズルプレート及びインクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】 加工精度の高いノズルを、安価に且つ容易に製造できるノズルプレートの製造方法、またこの製造方法で製造されたノズルプレート及び、この製造方法で製造されたノズルプレートを備えるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 あらかじめノズル１１ａの位置に対応して貫通孔１７が穿設された基板１２の一面５０に、ポリアミック酸シート５１と撥水層５２と感光層５３とを順次積層する工程と、感光層５３にノズル１１ａに対応した孔形状５５を含むパターンを形成する工程と、感光層５３のパターンの孔形状５５に従って、撥水層５２及びポリアミック酸シート５１にウエットエッチングでノズルを加工する工程と、感光層５３を除去する工程と、熱処理によりポリアミック酸をイミド化する工程とが備えられている。
【選択図】 図２

Description

本発明は、流体が吐出されるノズルを有するノズルプレートの製造方法、この製造方法で製造されたノズルプレート、及びこのノズルプレートを備えるインクジェットヘッドに関するものである。

流体を吐出するノズルプレートとしては、例えば、インクジェットプリンタのインク吐出用のノズルプレート等が知られている。このインクジェットプリンタのノズルプレートでは、ノズルの穴あけ加工に、レーザー加工装置やパンチ加工装置等を用いることが知られている。

例えば、特許文献１には、基板に貼り付けられたポリイミドフィルムに、レーザー光を照射してノズルを穿設する技術が記載されている。
特開２００３−２３１２６０号公報（図１参照）

インクジェットプリンタのノズルプレート等は、その孔径が小さいうえに高い加工精度が要求される。そのため、このような高精度なノズル加工に対応するためには、レーザー加工装置やパンチ加工装置も高価なものが必要であった。

また、インクジェットプリンタでは、記録の高密度化や高速度化のために、ノズルプレートに穿設されるノズル数が増加する傾向にある。しかしながら、レーザー加工装置やパンチ加工装置では、一度に加工できるノズル数に限界があるため、ノズル数が多くなるほど、１枚のノズルプレートにかかる加工時間が長くなるという問題もあった。

本発明は、上記課題を解消するものであり、加工精度の高いノズルを、安価に且つ容易に製造できるノズルプレートの製造方法、またこの製造方法で製造されたノズルプレート及び、このノズルプレートを備えるインクジェットヘッドを提供することを目的とするものである。

前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明におけるノズルプレートの製造方法は、流体が吐出されるノズルを有するノズルプレートの製造方法において、あらかじめノズルの位置に対応して貫通孔が穿設された基板の一面に、ポリアミック酸シートと撥水層と感光層とを順次積層する工程と、前記感光層に、前記ノズルに対応した孔形状を含むパターンを形成する工程と、前記感光層のパターンの孔形状に従って、撥水層及びポリアミック酸シートにウエットエッチングでノズルを加工する工程と、前記感光層を除去する工程と、熱処理によりポリアミック酸をイミド化する工程とが備えられることを特徴とするものである。

また、請求項２に記載の発明におけるノズルプレートの製造方法は、流体が吐出されるノズルを有するノズルプレートの製造方法において、あらかじめノズルの位置に対応して貫通孔が穿設された基板の一面に、感光性を有するポリアミック酸シートと感光性を有する撥水層とを順次積層する工程と、前記ポリアミック酸シート及び前記撥水層に、前記ノズルを形成するためのパターンを露光する工程と、前記撥水層及び前記ポリアミック酸シートにウエットエッチングでノズルを加工する工程と、熱処理によりポリアミック酸をイミド化する工程とが備えられることを特徴とするものである。

また、請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載のノズルプレートの製造方法において、前記撥水層は、熱処理前にはポリアミック酸を含有していることを特徴とするものである。

また、請求項４に記載の発明におけるノズルプレートの製造方法は、流体が吐出されるノズルを有するノズルプレートの製造方法において、あらかじめノズルの位置に対応する貫通孔が穿設された基板の一面に、撥水性成分が不均一に分散されたポリアミック酸シートと感光層とを順次積層する工程と、前記感光層に前記ノズルに対応した孔形状を含むパターンを形成する工程と、前記感光層のパターンの孔形状に従って、撥水性成分を含むポリアミック酸シートにウエットエッチングでノズルを加工する工程と、前記感光層を除去する工程と、熱処理によりポリアミック酸をイミド化する工程とが備えられ、前記ポリアミック酸シートでは、撥水性成分が前記基板の一面に近い側で含有されずに前記一面に遠い側で含有されるように分散されていることを特徴とするものである。

また、請求項５に記載の発明は、請求項１から４のいずれかに記載のノズルプレートの製造方法において、前記基板の貫通孔は、前記流体をノズルに供給する流路となることを特徴とするものである。

また、請求項６に記載の発明におけるノズルプレートは、請求項１から５のいずれかの製造方法で製造されたものである。

また、請求項７に記載の発明におけるインクジェットヘッドは、請求項１から５のいずれかの製造方法で製造されたノズルプレートを備えるものである。

請求項１に記載の発明によれば、ポリイミドではなく、ポリイミドの前駆体であるポリアミック酸のシートを用いているから、レーザー加工装置等の高価な加工装置を用いなくても、ウエットエッチングにより容易に加工でき、製造コストを削減できる。そして、ポリアミック酸は、ノズルの加工後に熱処理されてポリイミドになるから、耐インク性に優れたノズルを得ることができる。

また、ウエットエッチングでは、ノズル数が増加しても加工時間が増加しないから、ノズル数の多いノズルプレートの加工に好適となる。

請求項２に記載の発明によれば、ポリイミドではなく、ポリイミドの前駆体であるポリアミック酸のシートを用いているから、レーザー加工装置等の高価な加工装置を用いなくても、ウエットエッチングにより容易に加工でき、製造コストを削減できる。そして、ポリアミック酸は、ノズルの加工後に熱処理されてポリイミドになるから、耐インク性に優れたノズルを得ることができる。

また、ウエットエッチングでは、ノズル数が増加しても加工時間が増加しないから、ノズル数の多いノズルプレートの加工に好適となる。

さらに、ポリアミック酸シート及び撥水層が感光性を有しているから、感光層の成膜、パターニング、除去等の作業が不要となり、工数の削減によるコストダウンが可能となる。

請求項３に記載の発明によれば、撥水層はポリアミック酸を含んでいるから、ポリアミック酸シートのエッチング時に、同時にエッチングすることができ、また、ポリアミック酸シートと撥水層との親和性が高いために、層間の密着力が高められる。

請求項４に記載の発明によれば、ポリイミドではなく、ポリイミドの前駆体であるポリアミック酸のシートを用いているから、レーザー加工装置等の高価な加工装置を用いなくても、ウエットエッチングにより容易に加工でき、製造コストを削減できる。そして、ポリアミック酸は、ノズルの加工後に熱処理されてポリイミドになるから、耐インク性に優れたノズルを得ることができる。

また、ウエットエッチングでは、ノズル数が増加しても加工時間が増加しないから、ノズル数の多いノズルプレートの加工に好適となる。

さらに、ポリアミック酸シート自体に、撥水性成分が含まれ、この撥水性成分の分散率を基板の一面側に近い側と遠い側とで変えている。すなわち、後にノズルの前面となる側（流体の出口側）に撥水性成分が多く含有され、ノズルの後面となる側（流体の入口側）に撥水成分が少なく含有されているから、１枚のポリアミック酸シートで、基板に対する密着力を備えながら、流体の吐出に対する撥水性を十分に発揮することができる。これにより、撥水層の塗布やエッチング等の工数を削減することによるコストダウンが可能となる。

請求項５に記載の発明によれば、基板は、ポリアミック酸シートの加工時には補強材として使用される。そして、そのままノズルに連続する流路を備えたプレートとして利用されるので、取り外す必要もない。

請求項６に記載の発明によれば、容易に且つ簡単な工程で精度の高いノズルプレートを実現できる。

請求項７に記載の発明によれば、容易に且つ簡単な工程で精度高く製造されたノズルプレートを備えたインクジェットヘッドを実現できる。

以下に、本発明の基本的な実施形態について、図面に基づいて説明する。図１は本発明のノズルプレートが適用されたキャビティユニットの分解斜視図、図２（ａ）〜図２（ｇ）は第１実施形態のノズルプレートの製造工程を示す断面図、図３（ａ）〜図３（ｃ）は第２実施形態のノズルプレートの製造工程を示す断面図、図４（ａ）〜図４（ｇ）は第３実施形態のノズルプレートの製造工程を示す断面図、図５は本発明のノズルプレートを用いたヘッドユニットの部分断面図である。

実施形態として図１に示すノズルプレート１１は、後述するインクジェットプリンタ１００のキャビティユニット１０に適用したもので、キャビティユニット１０の表面（前面、図１では最下面）側に取り付けられ、その表面から流体としてのインクを吐出するように構成されている。そして、ノズルプレート１１には、多数のノズル１１ａが列状に設けられている。

このノズルプレート１１の製造方法について図２（ａ）〜図２（ｄ）に基づいて説明する。

まず、図２（ａ）に示すように、あらかじめノズルの位置に対応する貫通孔１７が穿設された基板１２の一面５０に、ポリアミック酸シート５１と撥水層５２と感光層５３とを順次積層する。

ポリアミック酸シート５１は、ポリアミック酸をシート状に成形したもので、基板１２の一面５０に転写により積層される。ポリアミック酸は、ポリイミドの前駆体であり、後述する熱処理によって、耐インク性に優れたポリイミド樹脂となる。また、上記転写では、外周にポリアミック酸シート５１が形成されたローラ体を、基板１２上に押圧して相対的に転動させることで、ポリアミック酸シート５１を基板１２上に積層させている。基板１２にはあらかじめ貫通孔１７が穿設されているため、シート状のポリアミック酸を使用することで、孔の内部へのポリアミック酸の入り込み等の不都合を生じる心配が無い。ポリアミック酸シートとしては、デュポン社製のＰｙｒａｌｕｘ（登録商標）ＰＣシリーズ、新日鉄化学社製のエパネックス（登録商標）ＳＦＰシリーズが好適である。

撥水層５２は、あらかじめポリアミック酸の溶液に粉状の撥水性成分５７を分散させたものを、ポリアミック酸シート５１上に塗布することで成膜している。この撥水層５２はあらかじめシート状に成形しておいて、ポリアミック酸シート５１上に転写してもよい。撥水性成分５７としては、例えば、ＦＥＰ樹脂（４フッ化エチレン−６フッ化プロピレン共重合樹脂）や、ＰＦＡ樹脂（４フッ化エチレン−パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂）、ＰＣＴＦＥ樹脂（３フッ化塩化エチレン樹脂）、ＰＴＦＥ樹脂（４フッ化エチレン樹脂）等のフッ素系樹脂が好適である。この撥水層５２は、最終的にはノズルプレート１１の前面に配置されるので、特に流体が液体の場合には、濡れによる液体の拡がり等が防止されて、吐出性能の向上に効果を発揮する。

感光層５３は、フォトレジストであり、撥水層５２上に塗布することで成膜している。ここでは、ポジ型のフォトレジストを使用するものとする。

次に、感光層５３の上面を露光して現像を行い、図２（ｂ）に示すように、感光層５３に、ノズル１１ａに対応した孔形状５５を含むパターンを形成する。感光層５３はポジ型のフォトレジストなので、貫通孔１７と対応する位置において孔形状５５の部分が選択的に露光されて潜像が形成されるようなフォトマスクが使用される。

次に、感光層５３の上面（基板１２と反対側の面）にエッチング液をシャワー状に供給し、図２（ｃ）に示すように、感光層５３の孔形状５５に従って、撥水層５２及びポリアミック酸シート５１をウエットエッチングする。これにより、ノズルプレート１１のノズル１１ａが全て同時に貫通加工される。エッチング液には、ＮＭＰ（Ｎ−メチル−２−ピロリドン）等が好適である。

次に、感光層５３を除去した後に、熱処理が施され、ポリアミック酸シート５１及び撥水層５２に含まれるポリアミック酸がイミド化し、ポリイミド樹脂になる。これにより、図２（ｄ）に示すように、ノズルプレート１１が基板１２上に積層された状態で完成される。なお、感光層５３はフォトレジストであるため、専用のフォトレジスト除去液（アルカリ溶液）等が使用される。また、熱処理温度は、ポリアミック酸がイミド化する脱水縮合反応のために、３５０℃以上が必要である。

このように、上記製造方法によると、ノズル１１ａがウエットエッチングにより加工され、全てのノズル１１ａを同時に加工できるので、１枚のノズルプレート１１に必要とされるノズル１１ａが多数化しても、加工時間は増加しないので、製造コストが嵩む心配がない。

また、ノズルプレート１１の撥水層５２には、熱処理前に、その下層のポリアミック酸シート５１と同じポリアミック酸が含有されている。一般的に撥水層５２をウエットエッチングで加工することが困難であるが、本発明では、撥水層をポリアミック酸の溶剤により、エッチングすることが可能となった。また、撥水層５２はその下地と同じ成分を有していることで、熱処理後に下層に対する密着力が高くなるという効果も発揮する。

次に、本発明のノズルプレートの製造方法に係る第２実施形態を、図面に基づいて説明する。図３（ａ）〜図３（ｃ）は第２実施形態のノズルプレートの製造工程を示す断面図である。第１実施形態と同様の説明には同一符号を付して詳細な説明を省略する。

第２実施形態では、まず、図３（ａ）に示すように、第１実施形態と同様の基板１２の一面５０に、感光性を有するポリアミック酸シート５１ａと感光性を有する撥水層５２ａとを順次積層する。

ポリアミック酸シート５１ａは、ポリアミック酸に感光性を付与してシート状に成形したものである。撥水層５２ａは、感光性が付与されたポリアミック酸の溶液に、第１実施形態と同様の粉状の撥水性成分５７を分散させたもので、ポリアミック酸シート５１ａに塗布される。なお、ポリアミック酸シート５１ａ及び撥水層５２ａの感光性をポジ型であるとするが、ネガ型であってもよい。

次に、前記撥水層５２ａの上面から撥水層５２ａ及びポリアミック酸シート５１ａを露光する。これらはポジ型の感光性であるため、ノズル１１ａに対応する部分が選択的に露光されるようなフォトマスクが使用される。これにより、撥水層５２ａ及びポリアミック酸シート５１ａの内部には、ノズル１１ａに対応する形状の潜像５６が形成される。

次に、撥水層５２ａの上面にエッチング液をシャワー状に供給することで、図３（ｃ）に示すように、潜像５６部分がウエットエッチングされ、ノズル１１ａが貫通加工される。エッチング液には、ＮＭＰ（Ｎ−メチル−２−ピロリドン）等が好適である。

この第２実施形態では、ポリアミック酸シート５１ａ及び撥水層５２ａが、いずれも感光性を有しているので、感光剤を塗布、露光、現像等するための工程が不要となり、工数の削減によるコストダウンを図ることができる。その他の作用、効果は第１実施形態と同様である。

次に、本発明のノズルプレートの製造方法に係る第３実施形態を、図面に基づいて説明する。図４（ａ）〜図４（ｄ）は第３実施形態のノズルプレートの製造工程を示す断面図である。第１実施形態と同様の説明には同一符号を付して詳細な説明を省略する。

第３実施形態では、まず、図４（ａ）に示すように、第１実施形態と同様の基板１２の一面５０に、撥水性成分５７が不均一に分散されたポリアミック酸シート５１ｂと、感光層５３とを順次積層する。

このポリアミック酸シート５１ｂは、ポリアミック酸の溶液に、粉状の撥水性成分５７を分散させたものであるが、シート状に成形するに際して、シートの一方面側では、撥水性成分５７の分散率がゼロで、シートの他方面側では、撥水性成分５７が多く分散されるように成形している。そして、前記撥水性成分５７の分散率がゼロである一方面が、前記基板１２の一面５０に重なるように転写されている。

次に、第１実施形態と同様に、感光層５３の上面を露光して現像を行い、図４（ｂ）に示すように、感光層５３に、ノズル１１ａに対応した孔形状５５を含むパターンを形成する。

次に、第１実施形態と同様に、感光層５３の上面にエッチング液をシャワー状に供給し、図４（ｃ）に示すように、感光層５３の孔形状５５に従って、ポリアミック酸シート５１ｂをウエットエッチングし、ノズル１１ａを貫通加工する。エッチング液には、ＮＭＰ（Ｎ−メチル−２−ピロリドン）等が好適である。

次に、感光層５３を除去した後に、熱処理が施され、ポリアミック酸シート５１ｂに含まれるポリアミック酸がイミド化し、ポリイミド樹脂になる。これにより、図４（ｄ）に示すように、ノズルプレート１１が基板１２上に積層された状態で完成される。

この第３実施形態では、ポリアミック酸シート５１ｂ自体が撥水性を備え、且つその撥水性がシートの厚み方向で異なるように、撥水性成分５７を不均一に分散させているから、撥水層を別途に積層する工程が不要となり、工数の削減によるコストダウンを図ることができる。その他の作用、効果は第１実施形態と同様である。

次に、上述した本発明の実施形態に係るノズルプレート１１の適用例であるキャビティユニット１０について説明する。キャビティユニット１０は、図１に示すように、ノズル１１ａが多数設けられた長尺型であり、ノズルプレート１１の裏面側に、２枚のマニホールドプレート１２、１２、スペーサプレート１３及びベースプレート１４の４枚の薄い金属板をそれぞれ接着剤にて重ね接合した構造に構成されている。上述のポリアミック酸シート５１が積層される基板１２（図２、図３及び図４参照）は、図１に示す２枚のマニホールドプレートのうちの下側のマニホールドプレート１２に相当する。

ノズルプレート１１のノズル１１ａは、図１に示すように、全体としてノズルプレート１１の長辺方向（後述するＹ方向）に延びる２列の千鳥配列（合計４列）状に設けられている。

前記下側のマニホールドプレート１２にはノズルプレート１１が接着され、各ノズル１１ａに連通する多数の貫通孔１７が、上下両マニホールドプレート１２、１２及びスペーサプレート１３の各々の長辺方向に沿って、ノズル１１ａに対応する２列の千鳥配列状に一定ピッチで設けられている。そして、２枚のマニホールドプレート１２、１２には、インク通路１２ａ、１２ｂが、前記貫通孔１７の各列の両側に沿って延びるように穿設されている。但し、下側のマニホールドプレート１２におけるインク通路１２ｂは、このマニホールドプレート１２の上側のみに開放するように凹み形成されている。このインク通路１２ａ、１２ｂの上面は、上側のマニホールドプレート１２に対する前記スペーサプレート１３の積層により閉鎖される構造になっている。また、これらインク通路１２ａ、１２ｂは、ノズル１１ａの４列に対応して、４個設けられており、それぞれ両短辺側の端部から異なる色のインクを供給できるようになっている。

また、前記ベースプレート１４には、各ノズル１１ａと同数個の圧力室１６がノズル１１ａの列と対応して４列に穿設されている。この各圧力室１６の先端は、前記スペーサプレート１３及び両マニホールドプレート１２、１２に穿設されている貫通孔１７、１７、１７を介して各ノズル１１ａに連通している。一方、前記各圧力室１６の他端は、前記スペーサプレート１３に穿設された連通孔１８を介して、前記両マニホールドプレート１２、１２におけるインク通路１２ａ、１２ｂに連通している。

これにより、前記ベースプレート１４及びスペーサプレート１３の短辺寄りの両端部に穿設のインク供給口１９ａ、１９ｂから前記インク通路１２ａ、１２ｂ内に流入したインクは、このインク通路１２ａから前記各連通孔１８を通って前記各圧力室１６内に分配されたのち、この各圧力室１６内から前記貫通孔１７、１７、１７を通って、この圧力室１６に対応するノズル１１ａに至るという構成になっている（図５参照）。なお、前述したように４個のインク通路１２ａ、１２ｂには異なる色が供給されるため、ノズル１１ａの各列からはそれぞれ異なる色のインクが吐出される。

前記インク供給口１９ａは、図１に示すように、各インク通路１２ａ、１２ｂ毎に設けられ、インク供給源であるインクカートリッジ（図示せず）に接続される。そしてインク供給口１９ａは、その上面にそれぞれインク中の塵除去のためのフィルタ２９が接着剤にて固定されている。

ヘッドユニットは、図５に示すように、前記長尺型のキャビティユニット１０と、このキャビティユニット１０に対して接着剤または接着シートを介して接着し積層されるプレート型の圧電アクチュエータ２０と、その背面（上面）に外部機器との電気的接続のために重ね接合されたフレキシブルフラットケーブル４０とにより構成されている。圧電アクチュエータ２０は、フレキシブルフラットケーブル４０を介して供給される電気信号に基づき、圧力室１６と対応する箇所を選択的に変形して、圧力室１６内のインクに吐出圧力を与えることができる。

本発明のノズルプレート１１は、前述した製造方法により、多数のノズル数であっても、加工コストが嵩むことなく製造されている。そのため、このノズルプレート１１を用いているインクジェットプリンタでは、記録密度や記録速度を向上させるためにノズル数を多くしても、ノズルプレートに係る部品コストの増加を抑制することができる。

また、ノズルプレート１１の撥水層５２が下層に対して高い密着力で付着しているため、公知のように、ワイパ部材で、ノズルプレート１１の表面のインクの拭き取り作業が繰り返されても、優れた耐久性を発揮することができる。

なお、本発明のノズルプレート１１は、インクジェットプリンタの構成に限定して使用されるものではなく、さらにインク以外の任意の流体の吐出にも使用できることは言うまでもない。

本発明のノズルプレートが適用されたキャビティユニットの分解斜視図である。 （ａ）〜（ｇ）は第１実施形態のノズルプレートの製造工程を示す断面図である。 （ａ）〜（ｃ）は第２実施形態のノズルプレートの製造工程を示す断面図である。 （ａ）〜（ｇ）は第３実施形態のノズルプレートの製造工程を示す断面図である。 本発明のノズルプレートを用いたヘッドユニットの部分断面図である。

符号の説明

１０ キャビティユニット
１１ ノズルプレート
１１ａ ノズル
１２ 基板（マニホールドプレート）
５０ 一面
５１ ポリアミック酸シート
５１ａ 感光性を有するポリアミック酸シート
５１ｂ 撥水成分が分散されたポリアミック酸シート
５２ 撥水層
５２ａ 感光性を有する撥水層
５３ 感光層
５５ 孔形状
５６ 潜像
５７ 撥水性成分

Claims (7)

1. 流体が吐出されるノズルを有するノズルプレートの製造方法において、
   あらかじめノズルの位置に対応して貫通孔が穿設された基板の一面に、ポリアミック酸シートと撥水層と感光層とを順次積層する工程と、
   前記感光層に、前記ノズルに対応した孔形状を含むパターンを形成する工程と、
   前記感光層のパターンの孔形状に従って、撥水層及びポリアミック酸シートにウエットエッチングでノズルを加工する工程と、
   前記感光層を除去する工程と、
   熱処理によりポリアミック酸をイミド化する工程とが備えられることを特徴とするノズルプレートの製造方法。
2. 流体が吐出されるノズルを有するノズルプレートの製造方法において、
   あらかじめノズルの位置に対応して貫通孔が穿設された基板の一面に、感光性を有するポリアミック酸シートと感光性を有する撥水層とを順次積層する工程と、
   前記ポリアミック酸シート及び前記撥水層に、前記ノズルを形成するためのパターンを露光する工程と、
   前記撥水層及び前記ポリアミック酸シートにウエットエッチングでノズルを加工する工程と、
   熱処理によりポリアミック酸をイミド化する工程とが備えられることを特徴とするノズルプレートの製造方法。
3. 前記撥水層は、熱処理前にはポリアミック酸を含有していることを特徴とする請求項１または２に記載のノズルプレートの製造方法。
4. 流体が吐出されるノズルを有するノズルプレートの製造方法において、
   あらかじめノズルの位置に対応する貫通孔が穿設された基板の一面に、撥水性成分が不均一に分散されたポリアミック酸シートと感光層とを順次積層する工程と、
   前記感光層に前記ノズルに対応した孔形状を含むパターンを形成する工程と、
   前記感光層のパターンの孔形状に従って、撥水性成分を含むポリアミック酸シートにウエットエッチングでノズルを加工する工程と、
   前記感光層を除去する工程と、
   熱処理によりポリアミック酸をイミド化する工程とが備えられ、
   前記ポリアミック酸シートでは、撥水性成分が前記基板の一面に近い側で含有されずに前記一面に遠い側で含有されるように分散されていることを特徴とするノズルプレートの製造方法。
5. 前記基板の貫通孔は、前記流体をノズルに供給する流路となることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のノズルプレートの製造方法。
6. 請求項１から５のいずれかの製造方法で製造されたノズルプレート。
7. 請求項１から５のいずれかの製造方法で製造されたノズルプレートを備えるインクジェットヘッド。

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